JP6375186B2 - 基板収納容器、ロードポート装置および基板処理装置 - Google Patents

基板収納容器、ロードポート装置および基板処理装置 Download PDF

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Description

本発明は、半導体ウエハ、フォトマスク用のガラス基板、液晶表示装置用のガラス基板、光ディスク用の基板など（以下、単に「基板」と称する）を収容する基板収納容器、および、これに適用可能なロードポート装置および基板処理装置に関する。
従来、基板を２つの態様で支持する基板収納容器がある。この基板収納容器は、筐体と蓋と棚とクッションを備えている。この基板収納容器では、棚に基板を載置した状態と、クッションにより基板を棚から持ち上げた状態とを切り替えられるように構成されている。筐体は基板を収容する。蓋は筐体に着脱する。棚とクッションは、筐体の内部に設けられる。棚は、基板の下面が棚と接触した状態で、基板を載置する。クッションは、基板が棚から離れており、かつ、基板が動かない状態で、基板を保持する。棚による基板の支持は蓋が筐体から外れているときに行われる。これにより、基板収納容器から基板を搬出したり、基板収納容器に基板を搬入することができる。クッションによる基板の支持は蓋が筐体に装着されているときに行われる。これにより、基板収納容器を輸送するときに基板を好適に保護できる。
特開２００７−２２７９４１号公報
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合に、次のような問題があることが発明者によって見出された。
すなわち、蓋が基板収納容器から離脱しても、クッションが基板を保持したままであり、基板がクッションから外れない場合がある。この原因としては、クッションの表面に損傷が形成されたことや、クッションと基板Ｗとの摩耗粉がクッションに堆積したことなどが考えられる。
蓋が基板収納容器から離脱したときに基板がクッションから外れないと、基板は適切に棚に載置されず、基板同士の間隔が適切に確保できない。このため、外部搬送機構が基板同士の隙間に進入することが困難となる。また、蓋が基板収納容器から離脱したときに基板がクッションから外れないと、基板の動きがクッションによって規制されたままとなる。このため、外部の搬送機構が基板を保持することが困難となる。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、基板を適切に搬出できる基板収納容器、ロードポート装置および基板処理装置を提供することを目的とする。
本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、本発明は、基板収納容器であって、その内部で基板を収容可能な、かつ、その前面に開口を有する筐体と、前記筐体の内部に設けられ、基板の下面と接触し、基板を略水平姿勢で載置する棚部材と、前記筐体の内部に設けられ、基板の端部を支持する筐体用支持部材と、前記筐体の内部に設けられ、基板を移動させる移動機構と、前記筐体に着脱して前記開口を開閉する蓋と、前記蓋の裏面に取り付けられ、基板の端部を支持する蓋用支持部材と、を備え、前記筐体用支持部材は、基板の端部を上方に移動不能に支持する拘束部を有し、前記蓋が前記筐体に装着されている状態では、前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とは、基板の下面が前記棚部材と接触していない状態で基板の端部を挟持し、かつ、前記筐体用支持部材は基板の端部を前記拘束部で支持し、前記蓋が前記筐体から離脱するとき、前記移動機構は、前記拘束部に支持される基板を移動させて、基板の端部を前記拘束部から外し、基板を略水平姿勢で前記棚部材に載置させる基板収納容器である。
［作用・効果］蓋が筐体に装着されている状態では、筐体用支持部材と蓋用支持部材は、基板を挟持する。このとき、筐体用支持部材は拘束部で基板の端部を支持する。蓋が筐体から外れている状態では、棚部材が基板を載置する。
移動機構は、蓋の離脱時に拘束部に支持される基板を移動させる。移動機構は、さらに、基板の端部を拘束部から外し、基板を略水平姿勢で棚部材に載置させる。これにより、蓋が筐体から外れている状態では、基板の端部が拘束部から外れているので、基板は上方に移動可能である。また、基板は略水平姿勢で棚部材に載置されているので、基板間の上下方向におけるクリアランスは適切に確保されている。したがって、例えば、基板収納容器の外部に設けられる搬送機構は、基板収納容器内の基板を適切に搬出できる。
なお、移動機構は、蓋の離脱時に拘束部に支持されていない基板（例えば、自ずと（自重で）拘束部から外れた基板など）を移動させてもよいし、させなくてもよい。
また、基板が略水平姿勢で棚部材に載置されるまで、移動機構が基板と接触し続けてもよいし、そうでなくてもよい。すなわち、基板を略水平姿勢で棚部材に載置させることができれば、基板が略水平姿勢で棚部材に載置される前に、移動機構が基板から離れてもよい。
さらに、蓋が筐体から外れている状態では、筐体用支持部材が、拘束部以外の部位で基板と接触していてもよいし、筐体用支持部材の全体が基板から離れていてもよい。
上述した発明において、前記移動機構は、弾性変形可能な弾性部材を備え、前記蓋が前記筐体に装着されている状態では、前記弾性部材は、前記拘束部で基板を支持できるように弾性変形し、前記蓋が前記筐体から離脱するとき、前記弾性部材は、復元することによって、基板を移動させることが好ましい。移動機構は弾性部材を備えているので、移動機構は基板を移動させるための機構を別途に備えることを要しない。よって、移動機構の構造を簡素化でき、小型化できる。
上述した発明において、前記移動機構は、前記筐体に対する前記蓋の移動と、前記弾性部材の弾性変形とを連動させるリンク部材を備えることが好ましい。リンク部材は、蓋の着脱時の動きを利用して、弾性部材を動作させる。よって、移動機構の構造を一層簡素化でき、小型化できる。
上述した発明において、前記弾性部材は、基板に直接的に接触可能であることが好ましい。移動機構の構造を一層簡素化できる。
上述した発明において、前記移動機構は、さらに、前記弾性部材に連結され、基板に直接的に接触可能な接触部材を備えていることが好ましい。接触部材は、弾性部材とは別個の部材であり、基板に弾性部材が直接的に接触することがない。よって、基板を好適に保護できる。
上述した発明において、前記接触部材の移動方向を一方向に制限する案内部材を備えることが好ましい。基板を適切に移動させることができる。
上述した発明において、前記移動機構の可動域を規定して、前記移動機構が基板を移動させる範囲を一定にする規制部材を備えていることが好ましい。蓋が筐体から離脱するとき、基板の位置がばらつくことを防止できる。
上述した発明において、前記移動機構は、気体の供給および排出によって作動する気体作動部と、基板収納容器の外部機器と接続可能な接続ポートと、前記気体作動部と前記接続ポートとを接続する気体流路と、を備えることが好ましい。移動機構は気体作動部を備えているので、基板の移動をきめ細かく管理することが可能である。
上述した発明において、前記蓋用支持部材は、前記蓋に対して昇降可能であることが好ましい。蓋用支持部材は、基板と摺動することなく基板を昇降させることができる。よって、基板と蓋用支持部材との間における発塵を抑制できる。
上述した発明において、前記蓋に対して前記蓋用支持部材を昇降させる蓋用昇降機構を備えることが好ましい。蓋用昇降機構によれば、蓋を好適に昇降できる。
上述した発明において、前記蓋を前記筐体に固定するロック機構を備え、前記蓋用昇降機構は、前記ロック機構に連動連結されており、前記ロック機構の動作に連動して前記蓋用支持部材を前記蓋に対して昇降させることが好ましい。蓋用昇降機構は、ロック機構の動作を利用して、蓋用支持部材を昇降できる。
上述した発明において、前記蓋用昇降機構は、前記筐体に対して着脱する前記蓋の動きに連動して、前記蓋用支持部材を前記蓋に対して昇降させることが好ましい。蓋用昇降機構は、着脱時における筐体に対する蓋の動作を利用して、蓋用支持部材を昇降させる。よって、蓋用昇降機構の構造を簡素化でき、小型化できる。
上述した発明において、前記蓋用支持部材は、前記蓋に対して略水平方向に移動可能であることが好ましい。蓋が筐体に装着されている状態において、筐体用支持部材と蓋用支持部材は基板を一層好適に挟持できる。
上述した発明において、前記蓋用支持部材の材質は、弾力性を有する樹脂であることが好ましい。蓋用支持部材は、筐体用支持部材とともに基板を的確に保持できる。
また、本発明は、上述した発明に係る基板収納容器を載置可能な載置台と、前記載置台に載置された前記基板収納容器の前記蓋を開閉する蓋開閉機構と、を備えたロードポート装置である。
［作用・効果］本発明に係るロードポート装置によれば、上述した基板収納容器を好適に載置できる。
また、本発明は、上述した発明に係る基板収納容器を載置可能な載置台と、前記載置台に載置された前記基板収納容器の前記蓋を開閉する蓋開閉機構と、基板に対して処理を行う処理ユニットと、載置台に載置された前記基板収納容器から基板を搬出し、前記処理ユニットに搬入する搬送機構と、を備えた基板処理装置である。
［作用・効果］本発明に係る基板処理装置によれば、上述した基板収納容器に収容される基板に対して処理を行うことができる。
この発明に係る基板収納容器、ロードポート装置および基板処理装置によれば、移動機構は、蓋の離脱時に拘束部に支持される基板を移動させ、基板の端部を拘束部から外し、基板を略水平姿勢で棚部材に載置させる。これにより、基板収納容器内の基板Ｗを適切に搬出できる。
図１（ａ）は蓋が筐体に装着されているときの基板収納容器の外観を示す斜視図であり、図１（ｂ）は蓋が筐体に装着されていないときの基板収納容器の外観を示す斜視図である。 図２（ａ）は筐体の内部を示す平面図であり、図２（ｂ）は筐体２の内部を示す側面図であり、図２（ｃ）は筐体２の内部を示す側面図である。 図３（ａ）は蓋および蓋用支持部材を示す斜視図であり、図３（ｂ）は蓋および蓋用支持部材を示す側面図である。 図４（ａ）は基板処理装置の平面図であり、図４（ｂ）は基板処理装置の側面図である。 図５（ａ）、５（ｂ）、５（ｃ）は蓋を筐体に着脱するときの基板収納容器の内部を示す図である。 蓋が筐体から離脱するときの基板収納容器の内部を示す図である。 実施例２に係る筐体の内部を示す平面図である。 図８（ａ）、８（ｂ）、８（ｃ）は蓋を筐体に着脱するときの基板収納容器の内部を示す平面図である。 実施例３に係る基板収納容器とロードポート装置を示す拡大側面図である。 図１０（ａ）、１０（ｂ）は実施例４に係る蓋を示す正面図と側面図である。 図１１（ａ）、１１（ｂ）、１１（ｃ）は蓋を筐体に着脱するときの基板収納容器の内部を示す側面図である。 図１２（ａ）、１２（ｂ）、１２（ｃ）は蓋を筐体に着脱するときの基板収納容器の内部を示す側面図である。 図１３（ａ）は実施例６に係る蓋を示す背面図であり、図１３（ｂ）、１３（ｃ）、１３（ｄ）は実施例６に係る蓋を示す側面図である。 図１４（ａ）、１４（ｂ）、１４（ｃ）は蓋を筐体に着脱するときの基板収納容器の内部を示す側面図である。 図１５（ａ）、１５（ｂ）、１５（ｃ）は変形実施例に係る蓋を示す側面図である。 変形実施例に係る筐体の内部を示す平面図である。 変形実施例に係る基板収納容器とロードポート装置を示す拡大側面図である。 変形実施例に係る筐体用支持部材と基板収納容器とロードポート装置を示す拡大側面図である。 変形実施例に係る筐体の内部を示す平面図である。
１．基板収納容器の構成
図１（ａ）、（ｂ）を参照する。基板収納容器１の外形は略直方体である。基板収納容器１は、複数の基板Ｗを収容可能である。「基板Ｗ」は、例えば、半導体ウエハ、フォトマスク用のガラス基板、液晶表示装置用のガラス基板、プラズマディスプレイ用の基板、光ディスク用の基板、磁気ディスク用の基板、光磁気ディスク用の基板などである。
基板収納容器１は、筐体２と蓋３とを備えている。蓋３は筐体２の前面に取り付けられる。図１（ｂ）に示すように、筐体２の前面には開口Ａが形成されている。蓋３は開口Ａを閉塞する。蓋３が筐体２に着脱するとき、蓋３は、開口Ａと向かい合ったまま、開口Ａに対して略垂直な前後方向に移動する。前後方向は略水平である。筐体２の内部には、基板Ｗを収容するための空間Ｓ（図２参照）が形成されている。基板収納容器１は少なくとも１枚の基板Ｗを収納可能に構成されている。基板収納容器１は標準的には２５枚の基板Ｗを収納するが、以下では便宜上、基板Ｗを３枚まで収納可能な基板収納容器１を例にとって説明する。
図１（ａ）、（ｂ）に加えて、図２（ａ）乃至２（ｃ）を参照する。筐体２は、上板部４と底板部５と右側壁部６と左側壁部７と後壁部８とを有する。各部４乃至８は、上述した空間Ｓを画定する。図２（ａ）では、図示の便宜上、上板部４と底板部５の図示を省略している。図２（ｂ）では右側壁部６と左側壁部７の図示を省略している。図２（ｃ）では後壁部８の図示を省略している。
以下では、前後方向のうち、後壁部８から開口Ａに向かう方向を、適宜に「前方向」と呼び、前方向と反対の方向を「後方向」と呼ぶ。
筐体２の内部には、棚部材１１ａ、１１ｂ、１１ｃが設けられている。棚部材１１ａ、１１ｂ、１１ｃは、上下方向に並ぶように配置されている。各棚部材１１ａ、１１ｂ、１１ｃは、基板Ｗを略水平姿勢で下方向から支持する。各棚部材１１ａ、１１ｂ、１１ｃは、基板Ｗの下面と接触する。なお、本明細書において基板Ｗの下面とは基板Ｗの下部周縁を含む概念である。以下では、棚部材１１ａ、１１ｂ、１１ｃを特に区別しない場合には、単に「棚部材１１」と呼ぶ。後述するように、各棚部材１１には基板Ｗが１枚ずつ載置される。後述する保持アーム４７ａは各棚部材１１に基板Ｗを搬入し、また、各棚部材１１の基板Ｗを搬出する。したがって、各棚部材１１の間には保持アーム４７ａによる基板Ｗの搬入および搬出が安全に行えるだけの上下間隔（クリアランス）が設けられている。
本実施例では、各棚部材１１は右棚部材１２と左棚部材１３とを含む。右棚部材１２は右側壁部６から張り出しており、左棚部材１３は左側壁部７から張り出している。
筐体２の内部には、さらに、筐体用支持ブロック１４が設けられている。筐体用支持ブロック１４は固定アーム１５を介して筐体２に連結されている。筐体用支持ブロック１４には、筐体用支持部材１６ａ、１６ｂ、１６ｃが形成されている。筐体用支持部材１６ａ、１６ｂ、１６ｃは、上下方向に並ぶように配置されている。各筐体用支持部材１６ａ、１６ｂ、１６ｃは、基板Ｗの端部を支持する。以下、筐体用支持部材１６ａ、１６ｂ、１６ｃを特に区別しない場合には、単に「筐体用支持部材１６」と呼ぶ。
筐体用支持部材１６の材質は、例えば、樹脂である。各筐体用支持部材１６には、１つの溝部１７が形成されている。図２（ｂ）に示すように、溝部１７は後方向に凹んでいる。溝部１７は側面視で例えば略Ｖの字形状を呈する。
溝部１７は下傾斜部１７ａと最奥部１７ｂと上傾斜部１７ｃを有する。下傾斜部１７ａは最奥部１７ｂの下側に隣接しており、上傾斜部１７ｃは最奥部１７ｂの上側に隣接している。
ここで、筐体用支持部材１６と棚部材１１との高さ関係を説明する。筐体用支持部材１６ａの最奥部１７ｂの位置は、基板Ｗと接触する棚部材１１ａの接触面よりも高い。筐体用支持部材１６ａの下傾斜部１７ａの下端は、棚部材１１ａの接触面と同等の高さ、または、それよりも低い。筐体用支持部材１６ｂと棚部材１１ｂとの高さ関係、および、筐体用支持部材１６ｃと棚部材１１ｃとの高さ関係も、同様である。
基板収納容器１は、さらに、移動機構３１を備えている。移動機構３１は、筐体２の内部に設けられている。移動機構３１は、バネ３２と可動プレート３３と押し子３４とロッド３５と備えている。
バネ３２は、例えば、圧縮コイルバネである。バネ３２の一端は筐体２の後壁部８に固定され、バネ３２の他端は可動プレート３３に連結されている。バネ３２が圧縮変形しているとき、バネ３２は復元力を蓄積する。バネ３２の復元力は、可動プレート３３を前方向に押圧する。バネ３２は、本発明における弾性部材の例である。
可動プレート３３には、２つの押し子３４と４本のロッド３５が取り付けられている。可動プレート３３と押し子３４とロッド３５は一体に移動する。一方の押し子３４は筐体用支持部材１６の右方に配置され、他方の押し子３４は筐体用支持部材１３の左方に配置されている。各押し子３４の先端部は、基板Ｗと直接的に接触可能に配置されている。本実施例では、各押し子３４の先端部は、複数の基板Ｗと一括して接触する。各ロッド３５の軸心は前後方向と平行である。各ロッド３５の他端は、開口Ａの近傍まで延びている。押し子３４は、本発明における接触部材の例である。ロッド３５は、本発明におけるリンク部材の例である。
基板収納容器１は、さらに、案内部材３６を備えている。案内部材３６は、ロッド３５を前後方向に移動可能に支持する。これにより、案内部材３６は、押し子３４の移動方向を前後方向に間接的に制限する。前後方向は、本発明における一方向の例である。
基板収納容器１は、さらに、規制部材３７を備えている。規制部材３７は、移動機構３１の可動域を規定して、移動機構３１が基板Ｗを移動させる範囲を一定にする。本実施例では、規制部材３７は、フランジ部３７ａとストッパー部３７ｂとを備えている。フランジ部３７ａは、ロッド３５に取り付けられている。ストッパー部３７ｂは、筐体２に固定されている。ロッド３５が図２（ｂ）に示す所定の位置に移動したとき、フランジ部３７ａはストッパー部３７ｂに当接し、規制部材３７はロッド３５が所定の位置よりも前方向に移動することを禁止する。ロッド３５が所定の位置にあるとき、押し子３４は最も前方向の位置にある。すなわち、規制部材３７は、押し子３４の最前位置を規定する。
図３（ａ）、３（ｂ）を参照する。蓋３が筐体２に装着されているとき、筐体２の内部と接する蓋３の面を「裏面３ｂ」と呼ぶ。裏面３ｂには、蓋用支持ブロック２１が固定されている。蓋用支持ブロック２１には、蓋用支持部材２３ａ、２３ｂ、２３ｃが形成されている。蓋用支持部材２３ａ、２３ｂ、２３ｃは、上下方向に並ぶように配置されている。蓋３が筐体２に装着されているとき、蓋用支持部材２３ａ、２３ｂ、２３ｃはそれぞれ、筐体用支持部１６ａ、１６ｂ、１６ｃと略同じ高さ位置で向かい合う。各蓋用支持部材２３ａ、２３ｂ、２３ｃは、基板Ｗの端部を支持する。以下、蓋用支持部材２３ａ、２３ｂ、２３ｃを特に区別しない場合には、単に「蓋用支持部材２３」と呼ぶ。
蓋用支持部材２３の材質は、例えば、樹脂である。より好ましくは、蓋用支持部材２３の材質は、弾力性を有する樹脂である。蓋用支持部材２３は、筐体用支持部材１６と同様な形状を有している。すなわち、各蓋用支持部材２３には、溝部２４が形成されている。各溝部２４は下傾斜部２４ａと最奥部２４ｂと上傾斜部２４ｃを有する。
２．ロードポート装置および基板処理装置の構成
図４（ａ）、４（ｂ）を参照して、基板収納容器１が適用される基板処理装置４１を説明する。基板処理装置４１は、ロードポート部４２と処理部４３を備えている。ロードポート部４２は、複数のロードポート装置４２０、４２１、４２２を有している。各ロードポート装置４２０、４２１、４２２はそれぞれ載置台４４と蓋開閉機構４５とを備えている。載置台４４は基板収納容器１を載置する。蓋開閉機構４５は、載置台４４に載置された基板収納容器１を開閉する。蓋開閉機構４５は、シャッター部材４５ａとシャッター部材用駆動機構４５ｂとを備える。シャッター部材４５ａは基板収納容器１に対して蓋３を着脱するとともに、基板収納容器１から取り外した蓋３を保持する。シャッター部材用駆動機構４５ｂは、蓋３を開ける場合、シャッター部材４５ａを位置Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３の順に移動させる（図４（ｂ）参照）。シャッター部材４５ａが位置Ｐ１と位置Ｐ２との間で移動するとき、シャッター部材４５ａに保持される蓋３は、開口Ａと向かい合ったまま、前後方向に移動する。
処理部４３は、搬送機構４７と処理ユニット４８を備える。搬送機構４７は、載置台４４に載置された基板収納容器１と処理ユニット４８に対してアクセスする。搬送機構４７は、基板Ｗを保持するための保持アーム４７ａと、保持アーム４７ａを移動させるための保持アーム用駆動機構４７ｂを備えている。処理ユニット４８は基板Ｗに処理を行う。
３．動作例
次に、実施例１に係る基板収納容器１の動作例を説明する。以下では、まず、蓋３が筐体２から外れている状態を説明し、続いて、蓋３を筐体２に取り付けるときの動作例と、蓋３が筐体２から取り外されるときの動作例を説明する。最後に、基板収納容器１から基板Ｗを搬出する動作例を簡単に説明する。
３．１．蓋３が筐体２から取り外されている状態
図４（ａ）、４（ｂ）を参照する。載置台４４には、基板収納容器１が載置されている。基板収納容器１は開放されている。シャッター部材４５ａは、例えば、位置Ｐ２または位置Ｐ３において蓋３を保持している。
図５（ａ）を参照して、より詳細に説明する。図５（ａ）の左側の図は側面図であり、右側の図は平面図である。蓋３は、例えば、実線で示す位置にある。各棚部材１１には、基板Ｗが略水平姿勢で載置されている。各基板Ｗの下面は棚部材１１と接触している。筐体用支持部材１６（より詳しくは、下傾斜部１７ａ）は、基板Ｗの後部の端部を受けている。言い換えれば、基板Ｗの端部が下傾斜部１７ａに接触している。
バネ３２は可動プレート３３を前方向に押圧し、可動プレート３３に連結されたロッド３５およびフランジ部３７ａを前方向に押圧している。フランジ部３７ａはストッパー部３７ｂによって前方向への移動が規制されている。ストッパー部３７ｂがロッド３５の前方向の移動を規制しているとき、ロッド３５および押し子３４は最前位置に位置している。最前位置に位置するとき、押し子３４は基板Ｗと接触していてもよい。バネ３２の復元力はストッパー部３７ｂに受けとめられるので、押し子３４が基板Ｗと接触していても、押し子３４が基板Ｗをさらに前方向に押圧することはない。
３．２．蓋３が筐体２に取り付けられるときの動作例
図４（ｂ）を参照する。シャッター部材４５ａは、蓋３を保持して、位置Ｐ２から位置Ｐ１に移動する。図５（ａ）乃至５（ｃ）を参照して、より詳細に説明する。
図５（ａ）を参照する。シャッター部材４５ａによって蓋３が点線で示す位置に移動すると、蓋用支持部材２３（下傾斜部２４ａ）が基板Ｗの前部の端部と接触する。この時、基板Ｗは棚部材１１によって下方向から支持されるとともに、後方向の端部が筐体用支持部材１６の下傾斜部１７ａに接触している。
この状態から、図５（ｂ）に示すように、蓋３がさらに後方向に移動すると、基板Ｗの各端部が下傾斜部１７ａおよび下傾斜部２４ａに沿って上昇しつつ、後方向に移動する。基板Ｗの上昇に伴って基板Ｗの下面が棚部材１１から離脱する。
他方、蓋３はロッド３５の他端と接触し、ロッド３５を後方向に押圧して、バネ３２を圧縮する。ロッド３５の後方向への移動によってフランジ部３７ａがストッパー部３７ｂから離れる。可動プレート３３および押し子３４はロッド３５と一体に後方向に移動する。筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３が基板Ｗを上昇させている間、基板Ｗは押し子３４と接触していない状態に保つことができる。このため、後方向に移動中の押し子３４と基板Ｗとの摩擦によるパーティクルの発生を防止することができる。但し、押し子３４が後方向に移動する際、押し子３４は基板Ｗと接触していてもよい。
押し子３４は蓋３と同じ速度で後方向に水平移動している。一方、基板Ｗは下傾斜部１７ａおよび下傾斜部２４ａに沿って上昇するため蓋３よりも低速で後方向に水平移動する。これにより、押し子３４は基板Ｗよりも速い速度で後方向に水平移動するため、押し子３４を基板Ｗの端部に接触しない状態を維持したままで後方向に移動させる構成が容易に実現できる。
図５（ｃ）を参照する。図５（ｃ）は蓋３が開口Ａまで移動し、蓋３が筐体２に装着された状態を示している。このとき、基板Ｗの各端部は最奥部１７ｂ、２４ｂまで上昇し、バネ３２はさらに圧縮変形し、押し子３４はさらに後方向に移動している。
蓋３が筐体２に装着されている状態では、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３は、基板Ｗの端部を最奥部１７ｂ、２４ｂで挟むように支持する（以下、適宜に「挟持する」という）。基板Ｗの下面は棚部材１１と接触していない。
３．３．蓋３が筐体２から取り外されるときの動作例
図４（ｂ）を参照する。シャッター部材４５ａは、蓋３を保持して、位置Ｐ１から位置Ｐ２に移動する。以下、具体的に説明する。
図５（ｃ）、５（ｂ）を参照する。蓋３はシャッター部材４５ａによって開口Ａから前方向に移動する。蓋用支持部材２３は蓋３と一体に前方向に移動する。基板Ｗの前部の端部は最奥部２４ｂから外れ、棚部材１１に載置される状態になるまで下傾斜部２４ａに沿って下降する。
この際、基板Ｗの後部は、自ずと棚部材１１まで下降する場合と、そうでない場合がある。
前者の場合、蓋３が離脱すると、基板Ｗの後部は、押し子３４に押されなくても棚部材１１まで下降する。基板Ｗは、略水平姿勢を保ちつつ、前方向に移動しながら下降する（図５（ｂ）参照）。そして、基板Ｗは、略水平姿勢で棚部材１１に載置される（図５（ａ）参照）。
後者の場合、基板Ｗの後部は、押し子３４に押されなければ、棚部材１１まで下降できない。後者の例としては、蓋３が離脱したときに基板Ｗの端部が自重によって最奥部１７ｂから外れない場合や、蓋３の離脱によって基板Ｗの端部がその自重によって最奥部１７ｂから外れたとしても基板Ｗの端部が棚部材１１に載置されるまで下傾斜１７ａを下降しない場合が考えられる。
図６を参照する。図６は、蓋３が離脱したときに基板Ｗａの端部が最奥部１７ｂから外れない場合を例示している。図示するように、蓋３が筐体２から離脱したとき、基板Ｗａの前方向の端部は蓋用支持部材２３から離脱しているが、基板Ｗａの後方向の端部は筐体用支持部材１６の最奥部１７ｂから離脱しておらず最奥部１７ｂに支持されたままである。この結果、基板Ｗａは、基板Ｗａの後部が基板Ｗａの前部よりも高い傾斜姿勢となる。
ここで、最奥部１７ｂの上側には上傾斜部１７ｃが連なっている。基板Ｗａが最奥部１７ｂで支持されているときには、基板Ｗａの後部の端部は上方に移動不能である。本明細書では、上方に移動不能に支持することを適宜に「拘束する」という。最奥部１７ｂは、本発明における拘束部の例である。
他方、ロッド３５は、バネ３２によって前方向に押圧されているので、蓋３が移動した分だけ前方向に移動する。押し子３４はロッド３５と一体に前方向に移動する。
蓋３が離脱するときに少なくとも一部の基板Ｗが自ずと棚部材１１まで下降しない場合、押し子３４はその一部の基板Ｗを前方向に押す。図６では、押し子３４が基板Ｗａを押す力Ｆを模式的に示す。そして、押し子３４は基板Ｗの後部を強制的に棚部材１１上に載置される状態まで下降させる。例えば、基板Ｗが最奥部１７ｂに支持されている場合には、押し子３４はその基板Ｗを最奥部１７ｂから強制的に外す。例えば、基板Ｗが下傾斜部１７ａで止まっている場合には、押し子３４はその基板Ｗを下傾斜部１７ａに沿って強制的に滑り落とす。ここで、「基板Ｗを最奥部１７ｂから外す」とは、基板Ｗを最奥部１７ｂから離すという意味である。その結果、蓋３が離脱するときに自ずと棚部材１１まで下降しない基板Ｗであっても、略水平姿勢で棚部材１１に載置される。
フランジ部３７ａとストッパー部３７ｂが当接すると、押し子３４は最前位置で静止する。前後方向における各基板Ｗの位置は、押し子３４によって一定とされるため、押し子３４は基板Ｗの前後方向の整列部材としても機能する。
蓋３と蓋用支持部材２３が前方向にさらに移動すると、蓋３はロッド３５から離れ、蓋用支持部材２３（下傾斜部２４ａ）は基板Ｗから離れる。筐体用支持部材１６（下傾斜部１７ａ）は基板Ｗと接触したままであってもよい。
３．４．基板収納容器１から基板Ｗを搬出する動作例
図４（ａ）、４（ｂ）を参照する。蓋３とシャッター部材４５ａは、位置Ｐ３に位置している。保持アーム４７ａは筐体２の内部に進入する。具体的には、上下方向に隣り合う２つの基板Ｗの間に保持アーム４７ａが進入する。そして、保持アーム４７ａが僅かに上昇し、１枚の基板Ｗを棚部材１１から浮かせて保持する。その後、保持アーム４７ａは、基板Ｗを保持したまま、筐体２の外部に退出する。そして、保持アーム４７ａは、その基板Ｗを処理ユニット４８に搬送する。
４．実施例１の効果
移動機構３１は、蓋３が離脱するときに自ずと棚部材１１に載置される状態まで下降しない基板Ｗを移動させる。蓋３が離脱するときに最奥部１７ｂに保持されたままの基板Ｗがある場合、移動機構３１は、その基板Ｗを移動させ、最奥部１７ｂから外す。これにより、最奥部１７ｂによる基板Ｗの拘束が解除され、各基板Ｗは上方に移動可能になる。また、各基板Ｗは、略水平姿勢で棚部材１１に載置される。これにより、基板Ｗ間の上下方向におけるクリアランスを適切に確保できる。したがって、保持アーム４７ａは、基板Ｗ間の隙間に好適に進入でき、かつ、基板Ｗを好適に保持することができる。すなわち、搬送機構４７は、基板収納容器１から基板Ｗを適切に搬出できる。
基板Ｗが後方向に移動する際、基板Ｗの後部は押し子３４に向かって移動するが、押し子３４はロッド３５によって後退するため、押し子３４が基板Ｗの後方向への移動を妨げることがない。このため、筐体用支持部材１６は基板Ｗを最奥部１７ｂで好適に支持できる。基板Ｗが後方向に移動する際、バネ３２は、復元力を蓄積する。そして、蓋３が離脱するとき、バネ３２は基板Ｗの後方向端部を最奥部１７ｂから外したり棚部材１１に向けて下降させるための復元力を発揮する。このように構成される移動機構３１によれば、例えばアクチュエータや駆動機構など、基板Ｗを移動させるための動力源や動力機構を別途に移動機構３１が備えることを要しない。移動機構３１の構造を簡素化でき、小型化できる。
移動機構３１はロッド３５を備えている。ロッド３５は、筐体２に対する蓋３の移動と、バネ３２の弾性変形とを好適に連動させる。本実施例では、装着時の蓋３の動きに連動してバネ３２を圧縮変形させ、離脱時の蓋３の動きに連動してバネ３２を復元させる。このように、蓋２の移動を好適に利用して、バネ３２の動作を好適に制御できる。よって、移動機構３１の構造を一層簡素化でき、小型化できる。
また、ロッド３５は、蓋３とバネ３２との間で、基板Ｗを介さずに力を伝達しバネ３２を圧縮できる。よって、基板Ｗに不必要な力を与えることがなく、基板Ｗを損傷させるおそれがない。
移動機構３１は、バネ３２とは別個に押し子３４を備えている。よって、押し子３４の材質、形状などを基板Ｗに合わせて設計できる。また、バネ３２が基板Ｗと直接的に接触することがない。よって、基板Ｗを好適に保護できる。
蓋３を筐体２に取り付ける動作の間、および、蓋３が筐体２に装着された状態では、押し子３４は基板Ｗと接触しない。よって、押し子３４と基板Ｗとの接触機会を低減でき、不要な発塵を回避できる。さらに、蓋３が筐体２から離脱するとき、押し子３４は、自ずと棚部材１１まで下降する基板Ｗと接触しない。よって、押し子３４と基板Ｗとの接触機会をさらに低減できる。
案内部材３６は、押し子３４の移動方向を前後方向に制限する。押し子３４は前後方向に往復直線移動するのみである。よって、押し子３４は基板Ｗを適切な方向に移動させることができる。
図２（ｃ）に示すように、押し子３４は上下方向に長尺で左右方向に薄板状の基板当接面を有している。上記のように、押し子３４の移動方向は案内部材３６によって前後方向に制限されているため、押し子３４の基板当接面は前後方向に沿って前方向に移動して、筐体２内の基板Ｗをその上下位置に拘わらず整列状態を保ったまま複数の基板を同時に前方向に移動させることができる。
規制部材３７は、押し子３４の可動域を規定する。これにより、押し子３４の最前位置が一定となり、移動機構３１が基板Ｗを移動させる範囲が一定となる。よって、蓋３が筐体２から離脱するとき、基板Ｗの位置が前後方向にばらつくことを防止できる。その結果、搬送機構４１は基板Ｗを一層適切に搬出できる。
蓋用支持部材２３の材質が弾力性を有する樹脂である場合、蓋用支持部材２３は基板Ｗを的確に保持できる。筐体用支持部材１６の材質が弾力性を有する樹脂である場合、筐体用支持部材１６は基板Ｗを的確に保持できる。
また、ロードポート装置４２０、４２１、４２２は、基板収納容器１を好適に載置できる。
基板処理装置４１は、基板収納容器１に収容される基板Ｗに対して液処理や熱処理などの処理を行うことができる。
以下、図面を参照してこの発明の実施例２を説明する。実施例２に係る基板収納容器１は、移動機構と規制部材の構造が、実施例１と異なる。以下の説明では、実施例１と同じ構成については同符号を付すことで、詳細な説明を省略する。
１．基板収納容器の構成
図７を参照する。基板収納容器１は移動機構５１を備える。移動機構５１は、複数のバネ５２を備える。バネ５２は、例えば、片持ちバネやカンチレバースプリングである。バネ５２は、基端部５２ａと接触部５２ｂと凸部５２ｃを有する。基端部５２ａは、筐体２に固定されている。本実施例では、一部のバネ５２の基端部５２ａは右側壁部６に固定され、他のバネ５２の基端部５２ａは左側壁部７に固定されている。バネ５２が基端部５２ａを支点として変位する（撓む／反る）ことによって、接触部５２ｂと凸部５２ｃが移動する。これにより、接触部５２ｂの前後方向における位置が変化する。バネ５２は、本発明における弾性部材の例である。
接触部５２ｂは、基板Ｗと直接的に接触する。接触部５２ｂは、複数の基板Ｗに一括して接触してもよいし、１枚の基板Ｗのみに接触してもよい。後者の場合、複数のバネ５２が上下方向に配置される。
基板収納容器１は規制部材５７を備える。規制部材５７は、凸部５２ｃと当接可能である。規制部材５７は、筐体用支持ブロック１４に固定されている。接触部５２ｂが図７において実線で示す位置に移動したとき、凸部５２ａは規制部材５７と当接する。これにより、規制部材５７は接触部５２ｂが所定の位置よりも前方向に移動することを禁止する。接触部５２ｂが所定の位置にあるとき、接触部５２ｂは最前位置にある。
２．動作例
２．１．蓋３が筐体２から取り外されている状態
図８（ａ）を参照する。蓋３は、例えば、実線で示す位置にある。基板Ｗは棚部材１１に載置されている。筐体用支持部材１６は、基板Ｗの後部の端部を受けている。バネ５２は規制部材５７と当接している。
２．２．蓋３を筐体２に取り付けるときの動作例
図８（ａ）を参照する。蓋３が点線で示す位置に移動する。蓋用支持部材２３が基板Ｗの前部の端部と接触する。
図８（ｂ）を参照する。蓋３がさらに後方向に移動する。筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３とは、基板Ｗを後方向に移動しながら上昇させ、基板Ｗを棚部材１１から離脱させる。基板Ｗが後方向に移動すると、基板Ｗはバネ５２と接触する。基板Ｗは、バネ５２を変形させながら、さらに後方向に移動する。
図８（ｃ）を参照する。蓋３が開口Ａまで移動し、蓋３が筐体２に装着される。蓋３が筐体２に装着された状態では、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３は、基板Ｗの下面が棚部材１１と接触していない状態で、基板Ｗの端部を挟持する。このとき、バネ５２は撓んでおり、筐体用支持部材１６は最奥部１７ｂで基板Ｗを支持している。
２．３．蓋３が筐体２から取り外されるときの動作例
蓋３が筐体２から離脱するとき、図８（ｃ）示す状態から図８（ｂ）に示す状態を経由して図８（ａ）に示す状態に遷移する。以下、具体的に説明する。
蓋３および蓋用支持部材２３が一体に開口Ａから前方向に移動する。バネ５２は、基板Ｗを前方向に移動させる。図８（ｂ）では、バネ５２が基板Ｗを押す力Ｆを模式的に示す。バネ５２は、最奥部１７ｂに支持されている全ての基板Ｗを移動させる。その結果、各基板Ｗは最奥部１７ｂから外れ、棚部材１１まで下降する（図８（ａ）参照）。
バネ５２が規制部材５７に当接すると、接触部５２ｂは最前位置で静止する。蓋３と蓋用支持部材２３がさらに前方に移動すると、蓋用支持部材２３は基板Ｗから離れる。
３．実施例２の効果
蓋３が筐体２から離脱するとき、移動機構５１は、最奥部１７ｂに支持されている全ての基板Ｗを移動させる。よって、実施例１と同様の作用効果が得られる。すなわち、蓋３が筐体２から離脱するとき、基板Ｗを最奥部１７ｂから外し、かつ、基板Ｗを略水平姿勢で棚部材１１に載置できる。よって、搬送機構４７は、基板収納容器１から基板Ｗを適切に搬出できる。
また、移動機構５１はバネ５２を備えている。バネ５２は、装着時の蓋３の動きによって後退しつつ変形する。このようにバネ５２が後退しているため、同じく蓋３の動きによって後退する基板Ｗの動作を阻害しない。これにより、筐体用支持部材１６は基板Ｗを最奥部１７ｂで好適に支持できる。また、離脱時の蓋３の動きを利用して、バネ５２は復元し、基板Ｗを移動させる。基板Ｗは蓋３の後退時にバネ５２に直接作用してこれを変形さ
せている。このように、蓋３の動きをバネ５２に伝達する機構が必要ないため、移動機構５１の構造を簡素化でき、小型化できる。
バネ５２は、装着時の蓋３の動きを、基板Ｗを介して利用する。よって、実施例１で示したロッド３５等を省略することができる。これにより、移動機構５１をさらに簡素化できる。また、ロッド３５等を省略することで、パーティクル等の発生をさらに抑制できる。
各バネ５２が１枚の基板Ｗのみに接触する構成の場合、各基板Ｗをそれぞれ適切に移動させることができる。
以下、図面を参照してこの発明の実施例３を説明する。実施例３に係る基板収納容器１は、移動機構の構造が、実施例１と異なる。以下の説明では、実施例１と同じ構成については同符号を付すことで、詳細な説明を省略する。
１．基板収納容器の構成
図９を参照する。移動機構６１は、エアシリンダ６２を備える。エアシリンダ６２は、気体の供給および排出によって伸縮する。エアシリンダ６２は、シリンダ部６２ａとピストンロッド６２ｂと有する。シリンダ部６２ａは、筐体２に固定されている。ピストンロッド６２ｂはシリンダ部６２ａに対して前後方向に移動可能である。ピストンロッド６２ｂの先端は、可動プレート３３に固定されている。エアシリンダ６２は、本発明における気体作動部の例である。
移動機構６１は、さらに、気体供給管６３と気体供給ポート６４と気体排出管６５と気体排出ポート６６とを有する。気体供給管６３は、シリンダ部６２ａに気体（例えば、不活性ガス）を供給する経路である。気体供給管６３の一端はシリンダ部６２ａに接続される。気体供給管６３の他端は気体供給ポート６４に接続される。気体排出管６５は、シリンダ部６２ａから気体を排出する経路である。気体排出管６５の一端はシリンダ部６２ａに接続される。気体排出管６５の他端は気体排出ポート６６に接続される。気体供給ポート６４と気体排出ポート６６は、基板収納容器１の外部に設けられる外部機器７０と接続可能である。気体供給管６３と気体排出管６５は、本発明における気体流路の例である。気体供給ポート６４と気体排出ポート６６は、本発明における接続ポートの例である。
外部機器７０は、例えば、ロードポート部４２に設けられている。外部機器７０は、エアシリンダ６２に対する気体の供給および排出を制御する。外部機器７０は、気体供給管７１と気体供給ポート７２と供給弁７３と気体排出管７４と気体排出ポート７５と排出弁７６と制御部７７とを備えている。気体供給管７１の一端は、気体供給源に接続されている。気体供給源はロードポート部４２の外部にあってもよいし、ロードポート部４２に備えられていてもよい。気体供給源は、例えば、エアコンプレッサおよびエアフィルタであってもよいし、不活性ガス等のボンベであってもよい。気体供給管７１の他端は、気体供給ポート７２に接続されている。気体供給ポート７２は、気体供給ポート６４と連結可能である。気体供給管７１の途中には、供給弁７３が設けられている。気体排出管７４の一端は、気体排出部に接続される。気体排出部はロードポート部４２の外部にあってもよいし、ロードポート部４２に備えられていてもよい。気体排出部は、例えば真空ポンプ、排気ブロア、エジェクタ等である。気体排出管７４の他端は、気体排出ポート７５に接続されている。気体排出ポート７５は、気体排出ポート６６と連結可能である。気体排出管７４の途中には、排出弁７６が設けられている。制御部７７は供給弁７３と排出弁７６を操作し、エアシリンダに対する気体の供給および排出を制御する。
ここで、気体供給ポート６４、７２が互いに連結されると、各気体供給ポート６４、７２がそれぞれ開く。これにより、気体供給管６３、７１は連通する。気体供給ポート６４、７２が互いに分離すると、各気体供給ポート６４、７２がそれぞれ閉じる。これにより、気体供給管６３、７１の他端はそれぞれ閉塞される。気体排出ポート６６、７５も同様である。
２．動作例
２．１．基板収納容器１を載置台４４に載置するときの動作例
基板収納容器１が載置台４４に載置されると、気体供給ポート６４、７２同士が連結し、気体排出ポート６６、７５同士が連結する。これにより、気体供給管６３、７１が連通し、気体排出管６５、７４が連通する。
２．２．蓋３が筐体２に取り付けられるときの動作例
制御部７７は、供給弁７３と排出弁７６を操作して、エアシリンダ６２を収縮させる。押し子３４は、後方向に退避する。
押し子３４が後方向に退避した後、蓋３が開口Ａに向かって後方向に移動する。筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３とは、実施例１と同様に、下傾斜部１７ａおよび下傾斜部２４ａに沿って基板Ｗを上昇させ、棚部材１１に載置される基板Ｗを持ち上げる。
蓋３が開口Ａに移動し、蓋３が筐体２に装着される。この状態では、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３とは、実施例１と同様に、下傾斜部１７ａおよび下傾斜部２４ａに沿って基板Ｗを上昇させ、基板Ｗを最奥部１７ｂ、２４ｂで挟持する。押し子３４は後方向に退避しており、基板Ｗと接触しない。
２．３．蓋３が筐体２から取り外されるときの動作例
蓋３が開口Ａから前方向に移動する。基板Ｗの前部は、棚部材１１まで下降する。基板Ｗの後部は、自ずと棚部材１１まで下降する場合と、そうでない場合がある。前者の場合、基板Ｗは略水平姿勢で棚部材１１に載置される。後者の例としては、基板Ｗが最奥部１７ｂに支持されたままである場合や、基板Ｗが下傾斜部１７ａの途中で止まっている場合がある。いずれにしても、後者の場合、基板Ｗは傾斜姿勢となる。
蓋３が筐体２から離脱した後、制御部７７は、供給弁７３と排出弁７６を操作して、エアシリンダ６２を伸張させる。押し子３４が前方向に移動する。これにより、蓋３が離脱しても自ずと棚部材１１まで下降しなかった基板Ｗを強制的に移動させ、棚部材１１に略水平姿勢で載置させる。
３．実施例３の効果
移動機構６１は、エアシリンダ６２を備えている。このエアシリンダ６２を制御することによって、押し子３４の位置、移動量、移動速度、移動時刻等を柔軟に管理できる。例えば、上述した動作例のように、蓋３を装着する前に押し子３４を後方向に移動させたり、蓋３が離脱した後に押し子３４を前方向に移動させることができる。
また、外部機器７０はエアシリンダ６２に対して気体の供給および排出を行うだけで押し子３４を前後に移動させることができるので、外部機器７０は押し子３４を容易に制御することができる。
また、外部機器７０は基板収納容器１の外部に設けられている。よって、基板収納容器１の構造が複雑化することを好適に抑制できる。
以下、図面を参照してこの発明の実施例４を説明する。実施例４に係る基板収納容器１は、蓋用支持部材２３が蓋３に対して昇降可能である点で、実施例１と異なる。以下の説明では、実施例１と同じ構成については同符号を付すことで、詳細な説明を省略する。
１．基板収納容器の構成
図１０（ａ）、１０（ｂ）を参照する。図１０（ａ）、１０（ｂ）はそれぞれ、蓋３の正面図と側面図を示す。基板収納容器１は、ロック機構８１と蓋用昇降機構８５とを備える。
ロック機構８１は、蓋３を筐体２に固定する。ロック機構８１は、キー溝８２とギヤ８３とロック部材８４とを備える。キー溝８２は、蓋３の表面に配置されている。キー溝８２には、ロック機構８１を操作するためのキーが挿入される。ギヤ８３は、キーの操作に応じて正逆両方向に回転する。ロック部材８４は、ギヤ８３に連動連結されている。ロック部材８４は、ギヤ８３の回転によって退避位置と突出位置との間で移動する。退避位置では、ロック部材８４の全体が蓋３の内部に収まる（図１０（ａ）参照）。突出位置では、ロック部材８４の一部が蓋３の外部に突出する（図１０（ｂ）参照）。
蓋開閉機構４５（図４（ａ）（ｂ）参照）は、ロック機構８１を動作させる。具体的には、蓋開閉機構４５はキー（不図示）を備え、キーをキー溝８２に挿入してロック機構８１を操作する。筐体２は、突出位置にあるロック部材８４と凹凸結合可能な凹部（不図示）を有する。蓋３が筐体２に装着されているときにロック部材８４が突出位置に移動すると、ロック部材８４が凹部と結合し、蓋３は筐体２に固定される。蓋３が筐体２に装着されているときにロック部材８４が退避位置に移動すると、ロック部材８４は凹部から離脱し、筐体２に対する蓋３の固定が解除される。
蓋用昇降機構８５は、ロック機構８１の動作と連動して、蓋用支持部材２３を蓋３に対して昇降させる。蓋用昇降機構８５は、ギヤ８６とラック８７とを備える。ギヤ８６は、ギヤ８３と噛み合う。ラック８７は、ギヤ８６と連動連結されている。ギヤ８３が回転すると、ギヤ８６が回転し、ラック８７が昇降する。このように、蓋用昇降機構８５はロック機構８１と連動連結されている。
ラック８７には、蓋用支持ブロック２１が固定されている。ロック部材８４が突出位置に移動するとき、蓋用支持部材２３は蓋３に対して上昇する。ロック部材８４が退避位置に移動するとき、蓋用支持部材２３は蓋３に対して下降する。ここで、ロック部材８４が退避位置／突出位置にあるときの蓋用支持部材２３の位置を、「下方位置」／「上方位置」と呼ぶ。
蓋３が筐体２に装着されている状態では、蓋用支持部材２３と棚部材１１と筐体用支持部材１６との高さ関係は、次のようになる。蓋用支持部材２３が下方位置にあるとき、蓋用支持部材２３の最奥部２４ｂの位置は、棚部材１１ａの接触面と略同等の高さであり、筐体用支持部１６の最奥部１７ｂよりも低い。蓋用支持部材２３が上方位置にあるとき、蓋用支持部材２３の最奥部２４ｂの位置は、筐体用支持部１６の最奥部１７ｂと同等の高さであり、棚部材１１ａの接触面よりも高い。
２．動作例
２．１．蓋３が筐体２から取り外されている状態
図１１（ａ）を参照する。蓋３は、例えば、実線で示す位置にある。ロック部材８４は退避位置にある。蓋用支持部材２３は下方位置にある。
２．２．蓋３を筐体２に取り付けるときの動作例
図１１（ａ）を参照する。蓋３が点線で示す位置に移動する。蓋用支持部材２３の最奥部２４ｂが、基板Ｗの前部の端部と接触する。
図１１（ｂ）を参照する。蓋３が開口Ａに移動し、蓋３が筐体２に装着される。基板Ｗの後方向の端部は、下傾斜部１７ａに沿って移動し、最奥部１７ｂに達する。この動作中、基板Ｗの前方向の端部は最奥部２４ｂに支持されたままであり、基板Ｗは蓋用支持部材２３に対して移動しない。筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３は、基板Ｗの下面が棚部材１１と接触していない状態で、基板Ｗの端部を挟持する。基板Ｗは傾斜姿勢である。
図１１（ｃ）を参照する。ロック部材８４が退避位置から突出位置に移動し、蓋３が筐体２に固定される。ロック部材８４の移動に連動して、蓋用支持部材２３は下方位置から上方位置に移動する。基板Ｗの前部の端部は、最奥部２４ｂに支持されたまま上昇し、基板Ｗは略水平姿勢になる。蓋３を筐体２に固定する動作の間、基板Ｗの前部の端部は最奥部２４ｂに支持されたままであり、基板Ｗは蓋用支持部材２３に対して移動しない。
２．３．蓋３が筐体２から取り外されるときの動作例
図１１（ｃ）示す状態から図１１（ｂ）に示す状態を経由して図１１（ａ）に示す状態に遷移する。以下、簡単に説明する。
図１１（ｃ）、１１（ｂ）を参照する。ロック部材８４が突出位置から退避位置に移動し、蓋用支持部材２３が蓋３に対して下降し、上方位置から下方位置に移動する。筐体２に対する蓋３の固定が解除され、基板Ｗの前部の端部は最奥部２４ｂに支持されたまま下降する。
図１１（ｂ）、１１（ａ）を参照する。蓋３および蓋用支持部材２３が一体に開口Ａから前方向に移動する。基板Ｗの後方向の端部は、下傾斜部１７ａを移動し、棚部材１１まで下降する。この際、各基板Ｗは、自ら下降してもよいし、押し子３４に押されることによって下降してもよい。全ての基板Ｗが略水平姿勢で棚部材１１に載置される。蓋３が筐体２から離脱する動作の間、基板Ｗの前部に端部は最奥部２４ｂに支持されたままであり、基板Ｗは蓋用支持部材２３に対して移動しない。
蓋３と蓋用支持部材２３がさらに前方向に移動すると、蓋用支持部材２３は基板Ｗから離れる。
３．実施例４の効果
蓋用支持部材２３は蓋３に対して昇降可能である。よって、蓋用支持部材２３は、基板Ｗの前方向の端部を最奥部２４ｂで支持したまま、基板Ｗの端部を昇降できる。よって、蓋３を筐体２に取り付けるとき、および、蓋３が筐体２から離脱するとき、基板Ｗと蓋用支持部材２３との間でパーティクル等が発生することを抑制できる。
また、基板収納容器１は、蓋用昇降機構８５を備えているので、蓋用支持部材２３を好適に昇降できる。
また、蓋用昇降機構８５は、ロック機構８１の動作を利用して、蓋用支持部材２３を昇降させる。よって、例えばアクチュエータや駆動機構など、蓋用支持部材２３を昇降させるための動力源や動力機構を別途に蓋用昇降機構８５が備えることを要しない。すなわち、蓋用昇降機構８５の構造を簡素化でき、小型化できる。
以下、図面を参照してこの発明の実施例５を説明する。実施例５に係る基板収納容器１は、蓋用支持部材２３が蓋３に対して前後方向に移動可能である点で、実施例１と異なる。以下の説明では、実施例１と同じ構成については同符号を付すことで、詳細な説明を省略する。
１．基板収納容器の構成
図１２（ａ）乃至１２（ｃ）を参照する。基板収納容器１は、蓋用支持部材２３を蓋３に対して前後方向に移動させる蓋用進退機構８８を備える。蓋用進退機構８８はバネ８９を備える。バネ８９は、例えば、圧縮コイルバネである。バネ８９の一端は蓋３に固定され、バネ８９の他端は蓋用支持ブロック２１に連結されている。バネ８９が伸縮すると、蓋用支持部材２３は蓋３に対して前後方向に移動する。
２．動作例
２．１．蓋３が筐体２から取り外されている状態
図１２（ａ）を参照する。蓋３は、例えば、実線で示す位置にある。バネ８９は変形しておらず、自然な長さに保たれている。
２．２．蓋３を筐体２に取り付けるときの動作例
図１２（ａ）を参照する。蓋３が点線で示す位置に移動する。蓋用支持部材２３が基板Ｗと接触する。
図１２（ｂ）を参照する。蓋３がさらに後方向に移動する。筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３とは、棚部材１１に載置されている基板Ｗを上昇させる。
図１２（ｃ）を参照する。蓋３が開口Ａまで移動し、蓋３が筐体２に装着される。筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３とは、最奥部１７ｂ、２４ｂで基板Ｗを挟持する。バネ８９は圧縮変形し、蓋用支持部材２３は蓋３に対して前方向に移動する。バネ８９は、蓋用支持部材２３を後方向に押圧する。
３．実施例５の効果
蓋用支持部材２３は蓋３に対して前後方向に移動可能である。このため、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３との間隔を変えることができる。よって、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３は基板Ｗを一層好適に挟持できる。
基板収納容器１は蓋用進退機構８８を備えているので、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３との間隔（厳密には、最奥部１７ｂと最奥部２４ｂとの間隔）を、基板Ｗの外形寸法に一致させることができる。よって、基板Ｗの外形寸法にばらつきや誤差がある場合であっても、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３とは基板Ｗを好適に挟持できる。
蓋用進退機構８８はバネ８９を備えている。バネ８９は、蓋用支持部材２３を後方向に押圧する。これにより、蓋用進退機構８８は、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３との間隔を、基板Ｗの外形寸法に容易に追従させることができる。また、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３は基板Ｗを適度な強さで挟持できる。
以下、図面を参照してこの発明の実施例６を説明する。実施例６に係る基板収納容器１は、蓋用支持部材２３が蓋３に対して昇降可能、かつ、前後動可能である点で、実施例１と異なる。以下の説明では、実施例１と同じ構成については同符号を付すことで、詳細な説明を省略する。
１．基板収納容器の構成
図１３（ａ）乃至１３（ｄ）を参照する。基板収納容器１は、蓋用昇降機構９１と蓋用進退機構９５と蓋用案内機構９７を備えている。蓋用昇降機構９１は、蓋３に対して蓋用支持部材２３を上下方向に変位させる。蓋用進退機構９５は、蓋３に対して蓋用支持部材２３を前後方向に変位させる。蓋用案内機構９７は、蓋用支持部材２３を上下方向および前後方向に案内する。
蓋用昇降機構９１は、筐体２に対して着脱する蓋３の動きに連動して、蓋用支持部材２３を蓋３に対して昇降させる。具体的には、装着時における蓋３の動きに連動して、蓋用昇降機構９１は蓋用支持部材２３を蓋３に対して上昇させる。また、離脱時における蓋３の動きに連動して、蓋用昇降機構９１は蓋用支持部材２３を蓋３に対して下降させる。以下、蓋用昇降機構９１の構造を説明する。
蓋用昇降機構９１は連結板９２を備える。連結板９２は、蓋用支持ブロック２１に固定されている。連結板９２は、蓋用支持ブロック２１から下方に延びている。
図１４（ａ）を参照する。蓋用昇降機構９１は、さらに固定台９３を備えている。固定台９３は、筐体２に固定されている。固定台９３は、連結板９２と接触可能な位置に配置されている。固定台９３は、連結板９２が接触して案内可能な傾斜面９３ａを有する。傾斜面９３ａは後方向に向かって高くなるように傾斜している。
蓋用進退機構９５は、バネ９６を備える。バネ９６は、例えば、圧縮コイルバネである。バネ９６は前後方向に伸縮可能な姿勢で配置されている。バネ９６の一端は蓋３に固定され、バネ９６の他端は蓋用支持ブロック２１に連結されている。バネ９６が伸縮すると、蓋用支持部材２３は蓋３に対して前後方向に移動する。
蓋用案内機構９７は、連結ピン９８と案内部材９９を備える。連結ピン９８は、蓋用支持ブロック２１に固定されている。案内部材９９は、蓋３に固定されている。案内部材９９は、連結ピン９８を挿入するための孔を有している。連結ピン９８が案内部材９９の孔形状に沿って摺動することによって、蓋用支持部材２３は、蓋３に対して昇降および前後動する。
具体的には、図１３（ｂ）、１３（ｃ）に示すように、蓋用支持部材２３は上下方向に移動可能である。図１３（ｃ）、１３（ｄ）に示すように、蓋用支持部材２３は前後方向に移動可能である。
ここで、図１３（ｂ）、１３（ｃ）、１３（ｄ）に示す蓋用支持部材２３の位置をそれぞれ、「下方位置」、「上方位置」、「収縮位置」と呼ぶ。蓋用支持部材２３が下方位置にあるとき、蓋用支持部材２３の最奥部２４ｂの位置は、棚部材１１ａの接触面と同等の高さである。蓋用支持部材２３が上方位置および収縮位置のいずれかにあるとき、蓋用支持部材２３の最奥部２４ｂの位置は、筐体用支持部１６の最奥部１７ｂと同等の高さであり、棚部材１１ａの接触面よりも高い。
２．動作例
２．１．蓋３が筐体２から取り外されている状態
図１４（ａ）を参照する。蓋３は、例えば、点線で示す位置にある。蓋用支持部材２３は下方位置にある。
２．２．蓋３を筐体２に取り付けるときの動作例
図１４（ａ）を参照する。蓋３が実線で示す位置に移動する。蓋用支持部材２３の最奥部２４ｂが、基板Ｗの前部の端部と接触する。また、連結板９２は固定台９３と接触する。
図１４（ｂ）を参照する。蓋３がさらに後方向に移動する。基板Ｗの後部の端部は、下傾斜部１７ａに沿って上昇し、最奥部１７ｂに達する。連結板９２は固定台９３の傾斜面９３ａに沿って上昇する。蓋用支持部材２３は蓋３と一体に後方向に移動しつつ、蓋３に対して上方向に移動する。そして、蓋用支持部材２３は下方位置から上方位置に移動する。基板Ｗは略水平姿勢を保ちつつ、上昇する。
図１４（ｃ）を参照する。蓋３が開口Ａに移動し、蓋３が筐体２に装着される。バネ９６は圧縮変形する。蓋用支持部材２３は蓋３に対して前方向に移動する。バネ９６は、蓋用支持部材２３を後方向に押圧する。
上述した蓋３を筐体２に取り付ける動作の間、基板Ｗの前部に端部は最奥部２４ｂに支持されたままであり、基板Ｗは蓋用支持部材２３に対して移動しない。
２．３．蓋３が筐体２から離脱するときの動作例
図１４（ｃ）示す状態から図１４（ｂ）に示す状態を経由して図１４（ａ）に示す状態に遷移する。蓋３が筐体２から離脱するとき、基板Ｗは略水平姿勢を保ちつつ、棚部材１１まで下降する。蓋３が筐体２から離脱する動作中、基板Ｗは蓋用支持部材２３に対して摺動しない。
３．実施例６の効果
蓋用支持部材２３は、基板Ｗと摺動することなく、基板Ｗの端部を昇降させることができる。よって、基板Ｗと蓋用支持部材２３との間で塵埃が発生することを防止できる。また、蓋用支持部材２３は蓋３に対して前後方向に移動可能である。よって、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３は基板Ｗを好適に挟持できる。
蓋用昇降機構９１は、筐体２に対する蓋３の前後動を利用して、蓋用支持部材２３を上下動させる。よって、蓋用昇降機構９１の構造を簡素化でき、小型化できる。
基板収納容器１は、蓋用案内機構９７を備えている。よって、蓋用支持部材２３を適切な方向に移動させることができる。具体的には、蓋３に対する蓋用支持部材２３の移動方向を上下方向と前後方向に制限できる。
この発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。
（１）上述した各実施例では、複数の筐体用支持部材１６が一体に成形されていたが、これに限られない。例えば、各筐体用支持部材１６は互いに分離されていてもよい。蓋用支持部材２３の構造についても同様である。
（２）上述した実施例１では、蓋３が筐体２から外れている状態では、筐体用支持部材１６の下傾斜部１７ａが、基板Ｗと接触していたが、これに限られない。すなわち、蓋３が筐体２から外れている状態において、筐体用支持部材１６の全体が基板Ｗから離れていてもよい。
（３）上述した各実施例では、複数の筐体用支持部材１６は上下方向に１列に並ぶように配置されていたが、これに限られない。複数の筐体用支持部材１６が上下方向に複数列に並ぶように配置されていてもよい。複数の筐体用支持部材１６が上下方向に千鳥に配置されていてもよい。蓋用支持部材２３の配置についても同様である。
（４）上述した各実施例において、移動機構３１、５１，６１は、少なくとも基板Ｗが最奥部１７ｂから外れるまで基板Ｗと接触していればよい。その限りにおいて、移動機構３１、５１、６１が基板Ｗと接触する期間を適宜に変更できる。
勿論、移動機構３１、５１、６１は、基板Ｗが棚部材１１に略水平姿勢で載置されるまで基板Ｗと接触していてもよい。この場合、実施例１で説明した通り、移動機構３１、５１、６１を、下傾斜部２４ａで止まっている基板Ｗと接触させることができる。また、棚部材１１上における基板Ｗの位置を揃えることができる。
あるいは、移動機構３１、５１，６１は、基板Ｗが最奥部１７ｂから外れるまで基板Ｗと接触し、基板Ｗが最奥部１７ｂから外れた後で基板Ｗが棚部材１１に到達する前に基板Ｗから離れてもよい。本変形実施例によっても、移動機構３１、５１，６１は、棚部１１まで下降するきっかけを基板Ｗに与え、各基板Ｗを略水平姿勢で棚部材１１に載置させることができる。また、移動機構３１、５１，６１の可動域を小さくできる。
（５）上述した実施例１において、案内部材３６はロッド３５を案内することにより、押し子３４の移動方向を間接的に制限したが、これに限られない。案内部材３６は、押し子３４と直接的に接触し、押し子３４の移動方向を直接的に制限してもよい。
（６）上述した実施例１において、規制部材３７は、ロッド３５の最前位置を規制することにより押し子３４の可動域を間接的に規定したが、これに限られない。規制部材３７は、押し子３４と直接的に接触し、押し子３４の可動域を直接的に規定してもよい。
（７）上述した各実施例１乃至３および５では、蓋３が筐体２に装着されているとき、蓋用支持部材２３が筐体用支持部１６と略同じ高さ位置で向かい合い、最奥部１７ｂと最奥部２４ｂとが略同じ高さであったが、これに限られない。筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３とが、基板Ｗの下面が棚部材１１に接触していない状態で基板Ｗを挟持できる限り、最奥部１７ｂ、２４ｂの高さは異なってもよい。
例えば、蓋用支持部材２３の最奥部２４ｂの位置が、棚部材１１の接触面と同等の高さであってもよい。換言すれば、実施例４、６において蓋用昇降機構８５、９１を省略してもよい。本変形実施例では、筐体用支持部材１６と蓋用支持部材２３とが基板Ｗを挟持するとき、基板Ｗは傾斜姿勢となる。ただし、基板Ｗが棚部材１１と接触していないので、基板Ｗを適切に保持できる。
（８）上述した実施例６では、蓋用昇降機構９１と蓋用進退機構９５と蓋用案内機構９７を備えていたが、これに限られない。例えば、蓋用進退機構９５を省略してもよい。本変形実施例では、蓋用案内機構９７が蓋用支持部材２３を案内する方向を、上下方向のみに変更する。本変形実施例によれば、蓋用支持部材２３は蓋３に対して昇降可能である。
あるいは、実施例６の蓋用昇降機構９１に代えて、実施例４の蓋用昇降機構８５を適用してもよい。すなわち、基板収納容器１は、蓋用昇降機構８５と蓋用進退機構９５と蓋用案内機構９７を備えてもよい。
図１５（ａ）乃至（ｄ）を参照する。本変形実施例では、蓋用進退機構９５のバネ９６を、蓋用昇降機構８５のラック８７と蓋用支持ブロック２１との間に設置する。また、蓋用案内機構９７の案内部材９９をラック８７に固定する。蓋用案内機構９７が蓋用支持部材２３を案内する方向を、前後方向のみに変更する。本変形実施例によっても、蓋用支持部材２３は蓋３に対して昇降可能、かつ、前後動可能である。また、本変形実施例によれば、蓋用支持部材２３は、図１５（ａ）乃至（ｄ）に示す４つの位置に移動可能である。よって、蓋用支持部材２３は一層適切に基板Ｗを支持できる。
（９）上述した各実施例において、基板収納容器１は、筐体２内の雰囲気を遮蔽するための遮蔽部材をさらに備えてもよい。
例えば、遮蔽部材は、基板Ｗが支持されるスペースと、移動機構３１、５１、６１、１２１の少なくとも一部が設置されるスペースとの間で、雰囲気を遮断してもよい。これによれば、移動機構３１が発生したパーティクルが、基板Ｗが支持されるスペースに進入することを防止できる。
図１６を参照する。基板収納容器１は、遮蔽部材として隔壁１０１とベローズ１０３を備えている。隔壁１０１は、基板Ｗが支持されるスペースＳ１を、移動機構３１の大部分が設置されるスペースＳ２から隔てる。隔壁１０１には、押し子３４を挿入するための開口が形成されている。押し子３４は、隔壁１０１を貫通するように設置されている。押し子３４には、ベローズ１０３が取り付けられている。ベローズ１０３の基端部は隔壁１０１に取り付けられている。ベローズ１０３は、押し子３４の前後動に応じて伸縮可能である。隔壁１０１とベローズ１０３は、スペースＳ１とスペースＳ２の雰囲気を遮断する。
その他の例として、遮蔽部材は、基板Ｗが支持されるスペースと、案内部材３６、規制部材３７、５７の少なくともいずれが設置されるスペースとの間で、雰囲気を遮断してもよい。また、遮蔽部材は、蓋３が筐体２に装着されているときに、基板Ｗが支持されるスペースと、蓋に取り付けられる各種機構８１、８５，８８、９１、９５、９７の少なくともいずれかが設置されるスペースとの間で、雰囲気を遮断してもよい。
（１０）上述した各実施例において、さらに、基板収納容器１は、筐体２内に気体を供給する気体供給口と、筐体２内の気体を排出する気体排出口を備えてもよい。さらに、気体供給口および気体排出口は、基板Ｗから移動機構３１、５１、６１に向かって気体が流れるように配置されていることが好ましい。例えば、気体供給口を、気体排出口よりも前方向に配置してもよい。また、気体供給口を、気体排出口よりも下方に配置してもよい。これによれば、移動機構３１、５１、６１が発生したパーティクルを、基板Ｗが支持されるスペースを通過させずに筐体２の外部に排出することができる。
図１９はこのように構成した基板収納容器１の平面図である。底板部５の開口Ａに近接した位置にはスペースＳ１と連通するように、気体供給口２０１が複数個形成されている。この気体供給口２０１には気体供給ポート６４（実施例３参照）が配設される。また、底板部５の後壁部８に近接した位置にはスペースＳ２と連通するように気体排出口２０２が複数個形成されている。この気体排出口２０２には気体排出ポート６６（実施例３参照）が配設される。
さらに、隔壁１０１の後方向位置には連通孔２０３が上下方向に複数個形成される。気体供給ポート６４、７２を相互に接続し、気体排出ポート６６、７２を相互に接続した状態で、実施例３と同様に、外部機器７０から不活性ガス等をスペースＳ１に送りこみつつ、スペースＳ２から筐体２内の気体を外部に排出することにより、前方向から後方向への気流が筐体２の内部に形成され、スペースＳ１内の気体がスペースＳ２に向けて排出される。
（１１）上述した実施例３では、気体作動部として、エアシリンダ６２を例示したが、これに限られない。例えば、移動機構１１１は、気体の供給および排出によって膨張および収縮可能なバルーンまたはエアバッグを気体作動部として備えてもよい。
図１７を参照する。移動機構１１１は、複数のバルーン１１２を備える。バルーン１１２は、各最奥部１７ｂに配置されている。図１７では、収縮した状態のバルーン１１２を示す。バルーン１１２は、本発明における気体作動部の例である。
さらに、移動機構１１１は、気体流路１１３と接続ポート１１５とを備えている。気体流路１１３は、バルーン１１２に気体を供給および排出する。気体流路１１３の少なくとも一部が、配管で構成されていてもよいし、筐体用支持部材１６の内部に形成されていてもよい。接続ポート１１５は、外部機器１２０と接続可能である。
外部機器１２０はロードポート部４２に設けられている。外部機器１２０は、気体供給管１２１と供給弁１２２と気体排出管１２３と排出弁１２４と三方弁１２５と気体共通管１２６と気体ポート１２７と制御部１２８とを備えている。気体供給管１２１の一端は、気体供給源に接続されている。気体供給管１２１の途中には、供給弁１２２が設けられている。気体排出管１２３の一端は、気体排出部に接続される。気体排出管１２３の途中には、排出弁１２４が設けられている。気体供給管１２１の他端および気体排出管１２３の他端は、三方弁１２５に接続されている。三方弁１２５にはさらに、気体共通管１２６の一端が接続されている。三方弁１２５は、気体供給管１２１および気体排出管１２３のいずれかを気体共通管１２６に連通接続する。気体共通管１２６の他端は、気体ポート１２７に接続されている。気体ポート１２７は、接続ポート１１５と連結可能である。制御部１２８は供給弁１２２と排出弁１２４と三方弁１２５を操作する。これにより、制御部１２８は、バルーン１１２に対する気体の供給および排出を制御する。
バルーン１１２に気体が供給されると、図１８に示すように、バルーン１１２が膨張する。バルーン１１２が膨張すると、バルーン１１２は、最奥部１７ｂに支持されている基板Ｗを移動させ、基板Ｗを最奥部１７ｂから外すことができる。よって、移動機構１１１は、基板Ｗを略水平姿勢で棚部材１１に載置させることができる。その結果、本変形実施例によっても、搬送機構４７は、基板収納容器１から基板Ｗを適切に搬出できる。
また、バルーン１１２から気体が排出されると、図１７に示すように、バルーン１１２が収縮する。バルーン１１２が収縮すると、筐体用支持部材１６は最奥部１７ｂで基板Ｗを支持できる。
（１２）上述した実施例６において、蓋用案内部材９９は蓋３とは別体であったが、これに限られない。すなわち、蓋３が蓋用案内部材９９とは一体であってもよい。例えば、連結ピン９８が摺動する溝を蓋３に形成してもよい。これによれば、蓋３および蓋用支持部材２３の全体を薄型化できる。
（１３）実施例１では、移動機構３１は可動プレート３３および押し子３４を前方向に押圧するためのバネ３２を備えていたが、これに限られない。例えば、移動機構３１は、蓋３の動きと押し子３４の前後動とを、バネ３２を介さずに、連動させるリンク機構を備えてもよい。具体的には、リンク機構は、筐体２に対する蓋３の後方向への動きと、押し子３４の後方向への動きとを連動させ、筐体２に対する蓋３の前方向への動きと、押し子３４の前方向への動きとを連動させる。本変形実施例によれば、バネ３２等を省略できる。
（１４）上述した各実施例では、ロードポート装置４２０、４２１、４２２はそれぞれ、１つの載置台４４を備えていたが、これに限られない。すなわち、複数の載置台を備えるロードポート装置に変更してもよい。また、上述した実施例では、ロードポート装置４２０、４２１、４２２はそれぞれ、１つの基板収納容器１を載置するものであったが、これに限られない。すなわち、複数の基板収納容器１を載置できるロードポート装置に変更してもよい。
（１５）上述した各実施例１−６および上記（１）から（１４）で説明した各変形実施例については、さらに各構成を他の実施例の構成または他の変形実施例の構成に置換または組み合わせるなどして適宜に変更してもよい。
１ … 基板収納容器
２ … 筐体
３ … 蓋
３ｂ … 裏面
１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ … 棚部材
１６ａ、１６ｂ、１６ｃ、１６ … 筐体用支持部材
１７ｂ … 最奥部（拘束部）
２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ … 蓋用支持部材
３１、５１、６１、１２１ … 移動機構
３２、５２ … バネ（弾性部材）
３４ … 押し子（接触部材）
３５ … ロッド（リンク部材）
３６ … 案内部材
３７、５７ … 規制部材
４１ … 基板処理装置
４２… ロードポート部
４４ … 載置台
４５ … 蓋開閉機構
４７ … 搬送機構
４８ … 処理ユニット
６２ … エアシリンダ（気体作動部）
６３ … 気体供給管（気体流路）
６４ … 気体供給ポート（接続ポート）
６５ … 気体排出管（気体流路）
６６ … 気体排出ポート（接続ポート）
７０、１２０ … 外部機器
８１ … ロック機構
８５、９１ … 蓋用昇降機構
１１１ … バルーン１１２（気体作動部）
１１３ … 気体流路
１１５ … 接続ポート
４２０、４２１、４２２ … ロードポート装置
Ａ … 開口
Ｗ、Ｗａ … 基板

Claims (20)

  1. 基板収納容器であって、
    その内部で基板を収容可能な、かつ、その前面に開口を有する筐体と、
    前記筐体の内部に設けられ、基板の下面と接触し、基板を略水平姿勢で載置する棚部材と、
    前記筐体の内部に設けられ、基板の端部を支持する筐体用支持部材と、
    前記筐体の内部に設けられ、基板を移動させる移動機構と、
    前記筐体に着脱して前記開口を開閉する蓋と、
    前記蓋の裏面に取り付けられ、基板の端部を支持する蓋用支持部材と、
    を備え、
    前記筐体用支持部材は、基板の端部を上方に移動不能に支持する拘束部を有し、
    前記蓋が前記筐体に装着されている状態では、前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とは、基板の下面が前記棚部材と接触していない状態で基板の端部を挟持し、かつ、前記筐体用支持部材は基板の端部を前記拘束部で支持し、
    前記蓋が前記筐体から離脱するとき、前記移動機構は、前記拘束部に支持される基板を移動させて、基板の端部を前記拘束部から外し、基板を略水平姿勢で前記棚部材に載置させ、
    前記移動機構は、弾性変形可能な弾性部材を備え、
    前記蓋が前記筐体に装着されている状態では、前記弾性部材は、前記拘束部で基板を支持できるように弾性変形し、
    前記蓋が前記筐体から離脱するとき、前記弾性部材は、復元することによって、基板を移動させ、
    前記移動機構は、前記筐体に対する前記蓋の移動と、前記弾性部材の弾性変形とを連動させるリンク部材を備える基板収納容器。
  2. 基板収納容器であって、
    その内部で基板を収容可能な、かつ、その前面に開口を有する筐体と、
    前記筐体の内部に設けられ、基板の下面と接触し、基板を略水平姿勢で載置する棚部材と、
    前記筐体の内部に設けられ、基板の端部を支持する筐体用支持部材と、
    前記筐体の内部に設けられ、基板を移動させる移動機構と、
    前記筐体に着脱して前記開口を開閉する蓋と、
    前記蓋の裏面に取り付けられ、基板の端部を支持する蓋用支持部材と、
    を備え、
    前記筐体用支持部材は、基板の端部を上方に移動不能に支持する拘束部を有し、
    前記蓋が前記筐体に装着されている状態では、前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とは、基板の下面が前記棚部材と接触していない状態で基板の端部を挟持し、かつ、前記筐体用支持部材は基板の端部を前記拘束部で支持し、
    前記蓋が前記筐体から離脱するとき、前記移動機構は、前記拘束部に支持される基板を移動させて、基板の端部を前記拘束部から外し、基板を略水平姿勢で前記棚部材に載置させ、
    前記移動機構は、弾性変形可能な弾性部材を備え、
    前記蓋が前記筐体に装着されている状態では、前記弾性部材は、前記拘束部で基板を支持できるように弾性変形し、
    前記蓋が前記筐体から離脱するとき、前記弾性部材は、復元することによって、基板を移動させ、
    前記基板収納容器は、さらに、前記移動機構と当接可能に設けられる規制部材を備え、
    前記規制部材は、前記移動機構と当接することにより前記移動機構の可動域を規定して、前記移動機構が基板を移動させる範囲を一定にする基板収納容器。
  3. 基板収納容器であって、
    その内部で基板を収容可能な、かつ、その前面に開口を有する筐体と、
    前記筐体の内部に設けられ、基板の下面と接触し、基板を略水平姿勢で載置する棚部材と、
    前記筐体の内部に設けられ、基板の端部を支持する筐体用支持部材と、
    前記筐体の内部に設けられ、基板を移動させる移動機構と、
    前記筐体に着脱して前記開口を開閉する蓋と、
    前記蓋の裏面に取り付けられ、基板の端部を支持する蓋用支持部材と、
    を備え、
    前記筐体用支持部材は、基板の端部を上方に移動不能に支持する拘束部を有し、
    前記蓋が前記筐体に装着されている状態では、前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とは、基板の下面が前記棚部材と接触していない状態で基板の端部を挟持し、かつ、前記筐体用支持部材は基板の端部を前記拘束部で支持し、
    前記蓋が前記筐体から離脱するとき、前記移動機構は、前記拘束部に支持される基板を移動させて、基板の端部を前記拘束部から外し、基板を略水平姿勢で前記棚部材に載置させ、
    前記移動機構は、
    気体の供給および排出によって作動する気体作動部と、
    基板収納容器の外部機器と接続可能な接続ポートと、
    前記気体作動部と前記接続ポートとを接続する気体流路と、
    を備える基板収納容器。
  4. 基板収納容器であって、
    その内部で基板を収容可能な、かつ、その前面に開口を有する筐体と、
    前記筐体の内部に設けられ、基板の下面と接触し、基板を略水平姿勢で載置する棚部材と、
    前記筐体の内部に設けられ、基板の端部を支持する筐体用支持部材と、
    前記筐体の内部に設けられ、基板を移動させる移動機構と、
    前記筐体に着脱して前記開口を開閉する蓋と、
    前記蓋の裏面に取り付けられ、基板の端部を支持する蓋用支持部材と、
    を備え、
    前記筐体用支持部材は、基板の端部を上方に移動不能に支持する拘束部を有し、
    前記蓋が前記筐体に装着されている状態では、前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とは、基板の下面が前記棚部材と接触していない状態で基板の端部を挟持し、かつ、前記筐体用支持部材は基板の端部を前記拘束部で支持し、
    前記蓋が前記筐体から離脱するとき、前記移動機構は、前記拘束部に支持される基板を移動させて、基板の端部を前記拘束部から外し、基板を略水平姿勢で前記棚部材に載置させ、
    前記蓋用支持部材は、前記蓋に対して昇降可能である基板収納容器。
  5. 基板収納容器であって、
    その内部で基板を収容可能な、かつ、その前面に開口を有する筐体と、
    前記筐体の内部に設けられ、基板の下面と接触し、基板を略水平姿勢で載置する棚部材と、
    前記筐体の内部に設けられ、基板の端部を支持する筐体用支持部材と、
    前記筐体の内部に設けられ、基板を移動させる移動機構と、
    前記筐体に着脱して前記開口を開閉する蓋と、
    前記蓋の裏面に取り付けられ、基板の端部を支持する蓋用支持部材と、
    を備え、
    前記筐体用支持部材は、基板の端部を上方に移動不能に支持する拘束部を有し、
    前記蓋が前記筐体に装着されている状態では、前記筐体用支持部材と前記蓋用支持部材とは、基板の下面が前記棚部材と接触していない状態で基板の端部を挟持し、前記筐体用支持部材は基板の端部を前記拘束部で支持し、かつ、前記移動機構は基板と接触しておらず、
    前記蓋が前記筐体から離脱するとき、前記移動機構は、前記拘束部に支持される基板を移動させて、基板の端部を前記拘束部から外し、基板を略水平姿勢で前記棚部材に載置させる基板収納容器。
  6. 請求項３から５のいずれかに記載の基板収納容器において、
    前記移動機構は、弾性変形可能な弾性部材を備え、
    前記蓋が前記筐体に装着されている状態では、前記弾性部材は、前記拘束部で基板を支持できるように弾性変形し、
    前記蓋が前記筐体から離脱するとき、前記弾性部材は、復元することによって、基板を移動させる基板収納容器。
  7. 請求項２または６に記載の基板収納容器において、
    前記移動機構は、前記筐体に対する前記蓋の移動と、前記弾性部材の弾性変形とを連動させるリンク部材を備える基板収納容器。
  8. 請求項１、２、６および７のいずれかに記載の基板収納容器において、
    前記弾性部材は、基板に直接的に接触可能である基板収納容器。
  9. 請求項１、２、６および７のいずれかに記載の基板収納容器において、
    前記移動機構は、さらに、前記弾性部材に連結され、基板に直接的に接触可能な接触部材を備えている基板収納容器。
  10. 請求項９に記載の基板収納容器において、
    前記接触部材の移動方向を一方向に制限する案内部材を備える基板収納容器。
  11. 請求項１、３から１０のいずれかに記載の基板収納容器において、
    前記移動機構の可動域を規定して、前記移動機構が基板を移動させる範囲を一定にする規制部材を備えている基板収納容器。
  12. 請求項４または５に記載の基板収納容器において、
    前記移動機構は、
    気体の供給および排出によって作動する気体作動部と、
    基板収納容器の外部機器と接続可能な接続ポートと、
    前記気体作動部と前記接続ポートとを接続する気体流路と、
    を備える基板収納容器。
  13. 請求項１から３、および、５から１２のいずれかに記載の基板収納容器において、
    前記蓋用支持部材は、前記蓋に対して昇降可能である基板収納容器。
  14. 請求項４または１３に記載の基板収納容器において、
    前記蓋に対して前記蓋用支持部材を昇降させる蓋用昇降機構を備える基板収納容器。
  15. 請求項１４に記載の基板収納容器において、
    前記蓋を前記筐体に固定するロック機構を備え、
    前記蓋用昇降機構は、前記ロック機構に連動連結されており、前記ロック機構の動作に連動して前記蓋用支持部材を前記蓋に対して昇降させる
    基板収納容器。
  16. 請求項１４に記載の基板収納容器において、
    前記蓋用昇降機構は、前記筐体に対して着脱する前記蓋の動きに連動して、前記蓋用支持部材を前記蓋に対して昇降させる基板収納容器。
  17. 請求項１から１６のいずれかに記載の基板収納容器において、
    前記蓋用支持部材は、前記蓋に対して略水平方向に移動可能である
    基板収納容器。
  18. 請求項１から１７のいずれかに記載の基板収納容器において、
    前記蓋用支持部材の材質は、弾力性を有する樹脂である基板収納容器。
  19. 請求項１から１８のいずれかに記載の基板収納容器を載置可能な載置台と、
    前記載置台に載置された前記基板収納容器の前記蓋を開閉する蓋開閉機構と、
    を備えたロードポート装置。
  20. 請求項１から１８のいずれかに記載の基板収納容器を載置可能な載置台と、
    前記載置台に載置された前記基板収納容器の前記蓋を開閉する蓋開閉機構と、
    基板に対して処理を行う処理ユニットと、
    載置台に載置された前記基板収納容器から基板を搬出し、前記処理ユニットに搬入する搬送機構と、
    を備えた基板処理装置。
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