WO2009148007A1 - 電子回路 - Google Patents

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WO2009148007A1
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electronic circuit
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transmission
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忠広 黒田
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学校法人慶應義塾
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    • H01L2924/301—Electrical effects
    • H01L2924/30107—Inductance
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01L2924/30—Technical effects
    • H01L2924/301—Electrical effects
    • H01L2924/3025—Electromagnetic shielding

Definitions

  • the present invention relates to an electronic circuit capable of suitably performing communication between substrates such as stacked IC (Integrated Circuit) bare chips.
  • Patent Document 1 Large Scale Integration
  • the distance that can be communicated by magnetic field coupling is about the diameter of the coil.
  • Communicating over long distances can be achieved by increasing the coil size.
  • the inductance (L) of the coil increases and the parasitic capacitance (C) also increases.
  • the self-resonant frequency of the coil is inversely proportional to the 0.5th power of the product of L and C, the self-resonant frequency decreases when the size of the coil is increased. Communication can be performed without intersymbol interference by magnetic field coupling when the main frequency component of the signal exists in a frequency region below the self-resonant frequency. Therefore, increasing the coil size decreases the data transfer rate. Therefore, when it is desired to transfer data at high speed, the coil size cannot be increased.
  • an object of the present invention is to provide an electronic circuit capable of transferring data to a distant substrate at high speed by communication using inductive coupling in an electronic circuit in which substrates such as chips are stacked.
  • An electronic circuit includes a substrate n (n is an integer of 1 to N (N is an integer of N ⁇ 3)) having a transmitter that transmits a signal by inductive coupling. 1 ⁇ n ⁇ N ⁇ 2), and a relay that receives a signal transmitted from the transmitter or a signal relayed from another relay and relays the received signal by inductive coupling Substrate n + x (x is an integer of 1 ⁇ x ⁇ N ⁇ n ⁇ 1) and a substrate n + y (y is an integer of x ⁇ y ⁇ N ⁇ n) having a receiver that receives a signal relayed from the repeater ) And a laminate.
  • the electronic circuit of the present invention according to claim 2 is characterized in that the substrate having the repeater has information on a stacking position of the substrate stored in a memory via a wire.
  • the electronic circuit of the present invention according to claim 3 is characterized in that the stack position information is a remainder modulo an integer 2, 3 or 4 representing the stacking order of the substrates.
  • an electronic circuit of the present invention comprising at least two substrates n + x1, n + x2 (x1 ⁇ x2) having repeaters that relay in order from the substrate n, wherein the transmitter transmits a communication signal. From the above, after the relay of the board n + x1 relays and the relay of the board n + x2 relays, the transmitter transmits the next communication signal.
  • the electronic circuit of the present invention is characterized in that the transmitter, the receiver, and the repeater are all connected to a coil as an antenna and perform inductively coupled communication through the coil.
  • the electronic circuit of the present invention according to claim 6 is characterized in that the coil connected to the repeater is used for both transmission and reception.
  • the electronic circuit of the present invention according to claim 7 is characterized in that the transmitting coil and the receiving coil connected to the repeater are arranged coaxially with each other.
  • the electronic circuit of the present invention according to claim 8 is characterized in that the transmitting coil and the receiving coil are connected to the repeater at a distance that does not interfere with each other.
  • the electronic circuit of the present invention comprises three or more substrates having the repeater, and each repeater has one transmission coil and two reception coils or two transmission coils.
  • the coils and one receiving coil are connected to each of the three positions in such a manner that they are shifted in order from each other at a distance that does not interfere with each other.
  • the electronic circuit of the present invention according to claim 10 is characterized in that the direction in which data is relayed is switched by selecting one of the two receiving coils or selecting one of the two transmitting coils. To do.
  • the transmitter sends a current that changes when the transmission data changes according to the transmission data to the connected transmission coil.
  • the receiver has a hysteresis characteristic in which a threshold value for detecting a signal received by a connected receiving coil has a hysteresis characteristic that changes to a reverse polarity when the signal is detected.
  • the transmitter sends a pulse current having a polarity corresponding to a change in transmission data to the transmission coil to be connected, and the receiver is connected to the reception coil.
  • the threshold value for detecting the signal received by the coil for use has a hysteresis characteristic that changes to a reverse polarity when the latter half of the bipolar pulse is detected.
  • the electronic circuit of the present invention is characterized in that the transmitter asynchronously transmits timing pulses and synchronously transmits data, and the receiver asynchronously receives timing pulses and synchronously receives data. It is characterized by.
  • the electronic circuit of the present invention includes three or more substrates having the repeater, and the transmission coil and the receive coil do not interfere with each repeater with respect to the timing pulse. It is characterized in that it is connected to the three positions with a certain distance while being shifted in order for each substrate.
  • the electronic circuit of the present invention according to claim 15 is characterized in that T2 + ⁇ 2 ⁇ T1 ⁇ Tsetup.
  • T1 time required for data communication
  • T2 time required for timing pulse communication
  • Tsetup setup time for data transmission
  • ⁇ 2 reception timing pulse delay time for ensuring setup time
  • the electronic circuit of the present invention according to claim 16 is characterized in that the transmitter receives a signal relayed by the repeater and compares it with a transmission signal to detect an error.
  • the electronic circuit of the present invention according to claim 17 is characterized in that an enable signal to be sent to all the repeaters is transmitted by wired communication, and a disable signal to each repeater is transmitted by inductive coupling communication. .
  • the electronic circuit of the present invention is characterized in that the stack position information which is a remainder modulo 2, 3, or 4 is transmitted by wired communication for transmitting the enable signal.
  • the magnetic film is formed so as to overlap the region where the transmission coil exists, so that the reception coil whose relay order is earlier than the transmission coil is formed.
  • the inductive coupling with the later receiving coil is larger than the inductive coupling with the receiving coil.
  • the electronic circuit of the present invention according to claim 20 is characterized in that a metal film is formed so as to overlap with a region where the transmission coil exists, so that the transmission coil has a receiving coil whose relay order is later.
  • the inductive coupling with the reception coil whose relay order is earlier than that of the inductive coupling is reduced.
  • the electronic circuit of the present invention according to claim 21 is characterized in that the metal film is formed so as to overlap with a part of a region where the transmission coil exists, so that inductive coupling with a reception coil having a relay order before is performed. The degree of decrease is adjusted.
  • a plurality of coils are linearly arranged along one side, and a plurality of metal films are linearly arranged at intervals twice as large as the coils along a side opposite to the one side.
  • a plurality of the substrates arranged in a shape, the plurality of substrates rotated and rotated by 180 degrees with respect to the adjacent substrate, a metal film is stacked on every other coil, and the two substrates are paired, and the coil
  • the metal films are laminated in the direction of a straight line in which the metal films are arranged in a staggered manner by the interval of the coil in pairs.
  • an electronic circuit according to the present invention further comprising a substrate having a coil that communicates with another substrate to be laminated by inductive coupling and a repeater connected to the coil.
  • data in an electronic circuit in which substrates such as chips are stacked, data can be transferred to a distant substrate at high speed by inductive coupling communication.
  • the signal propagates in all directions with no directivity. Therefore, in order to realize the repeater, the first physical layer to the fifth layer in the network structure hierarchical model (OSI reference model).
  • OSI reference model network structure hierarchical model
  • the signal propagates in both directions of the coil.
  • a signal hereinafter referred to as “repetition” wraps around when the repeat transfer is performed. Input to its receiver again.
  • a signal hereinafter, this signal is referred to as “response” when the lower chip repeats the transferred signal to the lower chip is input to the receiver. If you repeat such a repeat or response as the next data from the above chip and repeat again, there is a problem that the response will come and go as long as the response continues, and the repeat operation will continue, and new data cannot be transferred This is solved by the present invention. Alternatively, when new data and previous data are repeated or responded to the receiver at the same time, there is a problem that the quality (SN ratio) of the received signal deteriorates, but this is solved by the present invention.
  • FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration of an electronic circuit according to the first embodiment.
  • FIG. 2 is a diagram illustrating an arrangement example of coils on a chip.
  • FIG. 3 is a diagram for explaining the operation of the first embodiment.
  • FIG. 4 is a diagram illustrating the waveform of each signal in the first embodiment.
  • FIG. 5 is a diagram illustrating waveforms of signals in the first embodiment.
  • FIG. 6 is a diagram illustrating a configuration of a receiver according to the second embodiment.
  • FIG. 7 is a diagram illustrating an arrangement example of coils between chips.
  • FIG. 8 is a diagram illustrating the structure of an electronic circuit according to the third embodiment.
  • FIG. 9 is a diagram illustrating a specific implementation example of the electronic circuit according to the third embodiment.
  • FIG. 10 is a diagram illustrating waveforms of signals in the third embodiment.
  • FIG. 11 is a diagram illustrating the structure of an electronic circuit according to the fourth embodiment.
  • FIG. 12 is a diagram illustrating a coil arrangement example of the electronic circuit according to the fourth embodiment.
  • FIG. 13 is a diagram illustrating the size and spacing of the coils arranged in the fourth embodiment.
  • FIG. 14 is a diagram illustrating the structure of an electronic circuit according to the fifth embodiment.
  • FIG. 15 is a diagram illustrating the structure of an electronic circuit according to the sixth embodiment.
  • FIG. 16 is a diagram illustrating the structure of a variation of the sixth embodiment.
  • FIG. 17 is a diagram illustrating the structure of an electronic circuit according to the seventh embodiment.
  • FIG. 18 is a diagram illustrating the structure of an electronic circuit according to the eighth embodiment.
  • FIG. 19 is a diagram illustrating the structure of an electronic circuit according to the eighth embodiment.
  • FIG. 20 is a diagram illustrating the structure of a variation of the eighth embodiment.
  • FIG. 21 is a diagram illustrating the structure of a variation of the eighth embodiment.
  • FIG. 22 is a diagram illustrating the structure of a modification of the eighth embodiment.
  • FIG. 23 is a diagram illustrating a structure of a variation of the eighth embodiment.
  • FIG. 24 is a diagram illustrating the configuration of the transmitter according to the ninth embodiment.
  • FIG. 25 is a diagram illustrating the waveform of each signal in the ninth embodiment.
  • FIG. 26 is a diagram illustrating the configuration of the transmitter according to the tenth embodiment.
  • FIG. 27 is a diagram illustrating waveforms of signals in the tenth embodiment.
  • FIG. 28 is a diagram illustrating the configuration of the receiver according to the tenth embodiment.
  • FIG. 29 is a diagram illustrating the configuration of the transmitter and the receiver according to the eleventh embodiment.
  • FIG. 30 is a diagram illustrating the waveform of each part of the eleventh embodiment.
  • FIG. 31 is a diagram illustrating the structure of an electronic circuit according to the twelfth embodiment.
  • FIG. 32 is a diagram illustrating waveforms at various parts in the twelfth embodiment.
  • FIG. 33 is a diagram showing an example of a data structure used for communication according to the present invention.
  • FIG. 34 is a diagram showing an example of an enable signal wiring structure according to the present invention.
  • FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration of an electronic circuit according to the first embodiment. Here, one chip repeater is shown. Actually, the chip on which the repeater is arranged is stacked and mounted together with the chip on which the repeater is not arranged.
  • FIG. 1A is a diagram for explaining the whole repeater of the present embodiment
  • FIG. 1B is a diagram showing a specific circuit thereof.
  • the repeater of this embodiment includes a reception coil 10, a receiver 20, a control circuit 40, a transmitter 50, and a transmission coil 60.
  • the reception coil 10 has a positive pulse voltage when the transmission signal Txdata of the upper or lower chip stacked and mounted at the corresponding position changes from low to high, and when the transmission signal Txdata changes from high to low. Produces a negative pulse voltage.
  • the receiver 20 is composed of an asynchronous receiving circuit including transistors 21, 22, 27 to 33, inverters 23 and 25, and resistors 24 and 26.
  • the receiver 20 constitutes a hysteresis comparator and includes a gate circuit, a gain circuit, and a hysteresis circuit.
  • the gate circuit is composed of transistors 21 and 22, inverters 23 and 25, and resistors 24 and 26, and can block a reception pulse by a disable signal so that no signal is input to the receiver.
  • the gain circuit is an inverter composed of a transistor 27 and a transistor 28, and a transistor 29 and a transistor 31, and amplifies the pulse voltage VR input from the receiving coil 10. When the pulse voltage VR exceeds a certain threshold value, the received signal Rxdata is inverted.
  • the hysteresis circuit is composed of cross-coupled PMOSs 32 and 33 connected to the output of the inverter. This circuit has a function of giving hysteresis to the threshold value, and makes it possible to correctly restore digital data from the pulse voltage VR.
  • This hysteresis circuit changes the threshold value of the input inverter according to the stored data.
  • a dotted line in the VR waveform of FIG. 4 represents a change in the threshold value of the inverter composed of the transistor 27 and the transistor 28.
  • the hysteresis circuit that has kept low as the reception signal Rxdata raises the threshold value of the inverter.
  • control circuit 40 controls the electronic circuit so as to function as a repeater.
  • the control circuit 40 can also control the electronic circuit so that it functions as a transmitter that transmits data or a receiver that receives data. Or control which switches between receivers can also be performed. Further, the control circuit 40 performs control to switch the transmitter and / or the receiver between enable (operation) and disable. When the coil is used for both transmission and reception, control is performed to switch the connection between the coil and the transmitter or receiver.
  • the transmitter 50 is composed of an asynchronous transmission circuit composed of transistors 51 to 54. These are directly driven by the transmission signal Txdata, and a transmission current IT having a waveform similar to that of the transmission signal Txdata is passed through the transmission coil 60.
  • the transmission coil 60 is driven by the transmitter 50 and generates an induction magnetic field for data transmission.
  • FIG. 2 is a diagram showing an arrangement example of coils on the chip.
  • 2A shows an example in which the transmission / reception coil 70 serves as both a transmission coil and a reception coil
  • FIG. 2B shows an example in which the reception coil 10 and the transmission coil 60 are arranged coaxially.
  • c) shows an example in which the receiving coil 10 and the transmitting coil 60 are arranged at positions separated from each other.
  • the same coil is used for both reception and transmission by switching over time.
  • the receiving coil 10 is enlarged and the transmitting coil 60 is made small and arrange
  • 2 (a) and 2 (b) can reduce the layout area compared to FIG. 2 (c), but it must be noted that the influence of repeat transmission is strongly applied to the receiver.
  • the present invention can be realized in any of these arrangements.
  • FIG. 3 is a diagram for explaining the operation of the first embodiment.
  • ID 0
  • communication reaches up to four chips (up to eight chips in total).
  • the control chip is a communication source (S in the meaning of Source) and the tenth memory chip is the communication destination (D in the meaning of Destination).
  • control chip transmits in (1).
  • memory chips 1 to 4 receive.
  • the memory chip 4 retransmits (repeats) the data.
  • 1 to 8 of the control chip and the memory chip receive.
  • the memory chip 8 retransmits the data in (5), since the memory chips 4 to 12 are received in (6), the data is received by the communication destination chip 10.
  • data can be transferred to the destination while repeating retransmission (repeat) no matter how many chips are stacked. Time (6) can be followed by time (1).
  • FIG. 4 and 5 are diagrams showing waveforms of signals in Example 1.
  • FIG. 4 shows waveforms of the transmission signal Txdata, the transmission current IT flowing through the transmission coil, the reception voltage VR generated at the reception coil, and the time points (1) to (6) of the reception signal Rxdata.
  • FIG. 5 shows the relationship among the data, transmission current, and reception voltage of the control chip and chips 4 and 8. It should be noted that, for example, the receiving coil of the chip 4 receives the same data three times. First, when the transmission data from the control chip is received in (2). Next, when the data retransmitted by the chip 4 in (4) is received up close (repetition signal). Therefore (as FIG. 4 is not accurate but as shown in FIG.
  • the received signal voltage in (4) is larger than the received signal voltage in (2) (however, in the case of FIG. 2 (c), transmission is performed). If the coil is installed far away from the receiving coil, the reception of repeat signals can be reduced accordingly).
  • the third time is when the data retransmitted by the chip 8 in (6) is received (it can be compared to just listening to Yamahiko of his voice) (response signal). This is the same received signal voltage as in (2).
  • the same data is repeatedly received, but immediately after receiving the new data Dm (if the previous data is 0, the new data is 1), the next new data Dm + 1 (if Dm is 1 is Dm + 1) Since the input threshold value of the receiver (hysteresis circuit) changes as shown by the dotted line in the figure, the same signal (repetition and response) as the received data is then Even if it is received twice in succession, there is no change in the output of the receiver.
  • both the repeat and response signals must have the same polarity as the data signal.
  • the transmitter is designed so that the winding direction of the transmission coil is opposite to the winding direction of the reception coil, or the reverse direction of the current flows even if the winding direction of the coil is the same, repeat and response The signal of is inverted. As a result, every time retransmission is performed by the repeater, the digital signal value is reversed and data cannot be transferred correctly.
  • the memory chip 12 since the memory chip 12 is located above the communication destination chip 10, it receives data but does not perform a repeat operation.
  • control chip since the control chip receives the data returned after being repeated in (4), it can be verified whether the repeat operation has been performed correctly by comparing with the data transmitted in (1). Similarly, since the chip 4 receives the data transmitted in (3) in (6), the repeat operation can be verified. If an error is detected, this is notified and the data is resent.
  • the control chip can send the next data after (6) is completed. This is because when the control chip transmits new data in (5), the data retransmitted by the chip 8 and the data transmitted by the control chip collide with each other in the receiving coil of the chip 4 in (6), and communication is not performed correctly. It is. That is, if the operations from (1) to (6) are repeated, the data string can be transferred from S to D one after another.
  • D is the chip 10 and the chip 12 does not perform the repeat operation.
  • the chip 12 performs the repeat operation in (7) (not shown).
  • the signal reaches only the chip 8 in (8) (not shown), even if the control chip transmits new data in (7) and reaches the chip 4 in (8), There is no conflict with the previous data.
  • the receiver directly inputs the output signal of the transmitter, so that a large reception signal is generated in the reception coil at the time of repetition. Also in the case of FIG. 2B, since the receiving coil and the transmitting coil are strongly magnetically coupled, a large received signal is generated in the receiving coil at the time of repetition. Since the coil also has a parasitic component, the received signal may vibrate due to the inductance and the capacitance, and the second received signal in FIGS. Such a problem can be solved by disabling the receiver by the control circuit so that it is not received at the time of repetition. When disable goes low, the signal from the receiving coil is not input to the receiver.
  • FIG. 6 is a diagram illustrating a configuration of a receiver according to the second embodiment.
  • the receiver of this embodiment includes transistors 27 to 33, 71 to 74, and NAND circuits 75 and 76.
  • the channel widths and channel lengths of the NMOS transistor 72 and the PMOS transistor 71 are designed to have the same ratio or the same size as those of the NMOS transistor 28 and the PMOS transistor 27 and between the NMOS transistor 31 and the PMOS transistor 29. As a result, a minute received signal generated in the coil can be amplified with high sensitivity.
  • the NMOS transistor 72 When the disable signal is low, the NMOS transistor 72 is turned on, the outputs and inputs of the transistors 73 and 74 are connected by the on-resistance of the NMOS transistor 72, and the potential at the center of the coil has the highest input sensitivity of the receiver. Signal transmission is possible by being biased to a potential.
  • the disable signal When the disable signal is high, the NMOS transistor 72 is turned off and the PMOS transistor 71 is turned on, so both the receiver inputs are low and the DC current of the receiver is cut. At this time, both outputs of the receiver become high, and the previous data is held in the latch composed of the NAND circuits 75 and 76 in the subsequent stage.
  • FIG. 7 is a diagram showing an arrangement example of coils between chips when the coils are arranged as shown in FIG. 2 (c).
  • FIG. 7A shows an example in which transmission coils Tx and reception coils Rx are alternately arranged at two positions for each relay chip
  • FIG. 7B shows transmission coils Tx at three positions.
  • An example is shown in which the receiving coils Rx are shifted in order for each relay chip.
  • the chip on which the repeater is arranged may be referred to as a relay chip.
  • the receiving coil Rx of the upper chip is arranged at a position coaxial with the transmitting coil Tx of the lower chip, and the upper chip is arranged at a position coaxial with the receiving coil Rx of the lower chip.
  • the signal is returned as a response in the same manner as described above.
  • This problem can be solved by controlling so that the receiver does not operate when the response comes back.
  • an undesirable effect such as a decrease in data transfer speed may occur.
  • a pair of receiving coils Rx is arranged on the chip above the transmitting coil Tx, and the transmitting coil Tx on the upper chip is far from the receiving coil Rx on the lower chip (upper 3), the retransmitted data will not return to the lower chip, so the next data is transferred to the lower level in the step (3) of FIG.
  • the chip may be transmitted. Therefore, data can be easily transferred at high speed.
  • FIG. 8 is a diagram illustrating the structure of an electronic circuit according to the third embodiment.
  • the three sets of coils can be programmed using bonding wiring, EEPROM, or the like for either transmission, reception, or disabled.
  • three types of programs are required depending on the stacking position of the chips. If two bonding wirings are used to distinguish between connection to the power supply potential or connection to the ground potential, four combinations can be made, so information on the stacking position of the chip can be transferred to the chip at the stage of chip mounting. Can be given. Alternatively, if high or low is written in 2 bits of the EEPROM mounted on the chip, four combinations can be made, so that information on the stacking position of the chip can be given to the chip at the test stage before mounting the chip. .
  • FIG. 9 is a diagram illustrating a specific implementation example of the electronic circuit according to the third embodiment.
  • the reception coil Rx, the downward repeat transmission coil Txd, and the upward repeat transmission coil Txu are arranged according to the stacking order of the chips. For example, in the case of FIG. 9A, there are three arrangement patterns so that the first, fourth, second and fifth from the bottom are the same.
  • Rx in FIG. 9 may be Tx
  • Txu and Txd may be Rxu and Rxd.
  • one communication channel is configured using three sets of coils. Inductive coupling must be sufficiently large between coils that want to communicate, but inductive coupling must be sufficiently small between coils that do not want to communicate. In consideration of manufacturing variations and the like, if it is desired to allow more margin for operation, it is necessary to further increase the distance between the transmission coil of the upper chip and the reception coil of the lower chip.
  • one communication channel may be configured using four sets of coils. Although the concept is exactly the same and only the number of coils is increased, the description is omitted, but it is within the scope of the present invention.
  • FIG. 10 is a diagram illustrating waveforms of signals in Example 3.
  • FIG. 10 shows time-series waveforms of the transmission voltage Txdata, the transmission current IT, the reception voltage VR, and the reception signal Rxdata. By repeating such signal propagation and transmission, the data string can be transferred from S to D.
  • FIG. 11 is a diagram illustrating the structure of an electronic circuit according to the fourth embodiment.
  • a plurality of chips are sequentially shifted and stacked, and after a spacer, a plurality of chips are sequentially shifted and stacked in the reverse direction, and this is repeated.
  • wire bonding can be performed at a position where another chip is below, so that the impact of bonding on the chip is reduced, and the durability of the chip is reduced.
  • the chip can be thinned.
  • FIG. 11 is a diagram illustrating the structure of an electronic circuit according to the fourth embodiment.
  • a plurality of chips are sequentially shifted and stacked, and after a spacer, a plurality of chips are sequentially shifted and stacked in the reverse direction, and this is repeated.
  • wire bonding can be performed at a position where another chip is below, so that the impact of bonding on the chip is reduced, and the durability of the chip is reduced.
  • the chip can be thinned.
  • FIG. 12 is a diagram illustrating an example of coil arrangement of an electronic circuit according to the fourth embodiment.
  • FIG. 13 is a diagram illustrating the size and spacing of the coils arranged in the fourth embodiment.
  • FIG. 12 shows an example in which one communication channel is configured using three sets of coils as shown in the third embodiment when chips are stacked in this way.
  • FIG. 12A shows a case where a downward repeat operation is realized
  • FIG. 12B shows a case where an upward repeat operation is realized.
  • FIG. 13 shows an example of the size and spacing of three sets of coils.
  • the numbers are representative examples and are not limited to these.
  • FIG. 12 differs from FIG. 9 in that the coil programming method changes only next to the spacer and the same program is used for other chips.
  • the communication distance is twice as long as in other cases.
  • the coils on both sides are designed to be about twice as large as the middle coil so that the communication distance is doubled.
  • the transmission signal of the chip 1 may reach the chips 3 and 4, but there is no problem because there is no receiving coil.
  • the reason why the middle coil is not enlarged is to prevent crosstalk between, for example, chip 3 and chip 5 (a distance corresponding to three chips). If the middle coil is designed to be the same size as the coils at both ends, the middle coil can transmit and receive the distance of two chips. Therefore, for example, in FIG. This is because crosstalk may occur in the coil (similarly, in FIG. 12B, the transmission coil of the chip 3 becomes the reception coil of the chip 5). Alternatively, in order to make this crosstalk sufficiently small, the same small coil is prepared at both ends, and a large coil is used for two chip distances and a small coil is used for one chip distance. Is more certain. It is easy to prepare two coils and use them properly according to the distance simply by adding a switching transistor to the transmission circuit.
  • FIG. 14 is a diagram illustrating the structure of an electronic circuit according to the fifth embodiment.
  • the magnetic field can be increased using magnetic material, or the magnetic field can be increased using metal wiring.
  • the gap between the transmission coil 60 and the reception coil 10 to be inductively coupled (for example, Tx1) And Rx2) can be strengthened.
  • repeat transfer can be performed even with the configuration shown in FIG. 7A, and the number of necessary coils can be reduced from three to two.
  • the magnetic material has a sufficiently large magnetic permeability in the horizontal direction with respect to the chip, the above effect is large.
  • the shorter the distance between the coil and the magnetic film the greater the effect.
  • FIG. 15 is a diagram illustrating the structure of an electronic circuit according to the sixth embodiment.
  • the present embodiment is an example of a case where a communication signal is attenuated using a metal wiring, and the metal film 140 is disposed so as to overlap the region where the transmission coil 60 and the reception coil 10 exist. Since eddy current flows through the metal film 140 to cancel the change in the magnetic field, the magnetic field coupling is attenuated.
  • the Rx2 coil is formed of the sixth wiring layer and the blocking pattern is formed of the first wiring layer (of course, the six layers and one layer are examples, and other layers having the same vertical relationship may be used.
  • the distance between the two is shorter, for example, the attenuation effect is larger in the case of four layers and three layers rather than six layers and one layer), and the coupling from Tx3 to Rx2 can be reduced. In this case, attention is required because the coupling from Tx1 to Rx2 is also reduced.
  • the distance between the metal film 140 and the receiving coil 10 is 1 ⁇ m
  • the distance between the transmitting coil 60 and the receiving coil 10 is 50 ⁇ m (this corresponds to the case where four layers and three layers are used)
  • the diameter of the transmitting and receiving coils is 1 ⁇ m
  • the insertion of the metal film 140 can greatly reduce the coupling between Tx3 and Rx2 that are not to be inductively coupled to 0.01 times the original. It has been confirmed. It has also been confirmed that the coupling between Tx1 and Rx2 to be inductively coupled is reduced to 0.3 times the original.
  • the coupling between Tx1 and Rx2 should be strong enough to allow communication, and the coupling between Tx3 and Rx2 should be weak enough not to interfere.
  • This adjustment can be made by changing the distance between the metal film and the receiving coil. For example, if 6 layers and 1 layer are used instead of 4 layers and 3 layers, the distance between them becomes longer, and the coupling between Tx1 and Rx2 becomes larger than 0.3.
  • the adjustment can be made by adjusting the overlapping area of the metal film 141 and the transmitting / receiving coil. The greater the overlap between the two, the greater the blocking effect and the weaker the coupling.
  • the attenuation effect can be adjusted by adjusting the opening of the mesh pattern formed by the metal film 142.
  • the narrower the opening the greater the blocking effect and the weaker the coupling.
  • FIG. 16 is a diagram illustrating a structure of a variation of the sixth embodiment.
  • the metal film 140 is formed on the same substrate as the receiving coil 10, but in this modification, the metal film 150 is formed on the same substrate as the transmitting coil 60. In this way, the same effect can be obtained even when the metal film 150 which is a blocking pattern is formed of, for example, the sixth wiring layer and the transmission coil 60 is formed of the first wiring layer.
  • FIGS. 15 and 16 can be easily realized by rotating chips having the same structure by 180 degrees or stacking them while shifting. Therefore, data can be transferred repeatedly by stacking chips having the same structure.
  • FIG. 17 is a diagram illustrating the structure of an electronic circuit according to the seventh embodiment.
  • the metal film 160 for magnetic field attenuation is disposed between the transmission coil 60 and the reception coil 10, whereby the coupling that is not desired to be inductively coupled can be greatly reduced, while the coupling that is desired to be inductively coupled is achieved. Can not be reduced so much.
  • the distance between the metal film 160 and the reception coil 10 and the transmission coil 60 is 25 ⁇ m
  • the distance between the transmission coil 60 and the reception coil 10 is 50 ⁇ m
  • the diameter of the transmission / reception coils 10 and 60 is 50 ⁇ m
  • the diameter of the metal film 160 is
  • the insertion of the metal film 160 can reduce the coupling between Tx5 and Rx3 that is not desired to be inductively coupled to 0.05, while the coupling between Tx1 and Rx3 that is desired to be inductively coupled is 0. .8 has been confirmed.
  • the metal-attenuating metal film has a maximum signal-to-noise ratio when it is one size larger than the transmission / reception coil.
  • FIG. 18 is a diagram illustrating the structure of an electronic circuit according to the eighth embodiment.
  • 18A is a top view
  • FIG. 18B is a left side view
  • FIG. 18C is a right side view.
  • a repeat path is realized by stacking chips having the same structure while rotating 180 degrees while being stacked.
  • the first substrate 171 which is the chip 1 having the metal film 174 arranged in one row at twice the spacing of the transmission / reception coil 173 arranged in one row and the second substrate which is the chip 2 having the same structure. If the layers are rotated 180 degrees with respect to 172 and shifted in the y-direction, as shown in FIG.
  • the transmission / reception coils 173 and the metal film 174 are overlapped and a space for bonding wiring is secured. it can.
  • the chip 3 and the chip 4 are stacked. If the chip 1 and the chip 2 are shifted with respect to the chip 3 and the chip 4 by the gap of the coil in the x direction and stacked as shown in FIG. 18C, the repeat path shown in FIG. 19 can be realized.
  • the reception coil Rx and the transmission coil Tx of the adjacent channel having the same repeat direction are close to each other, but when the signal transmission / reception of the adjacent channel is synchronized, Rx of the adjacent channel is disabled. That's fine.
  • the two receiving coils Rx are close to each other at the boundary with the adjacent channel whose repeat direction is opposite, and crosstalk with the transmitting coils Tx of the upper and lower chips becomes a problem.
  • the reception coil Rx of the channel 2 of the chip 5 receives a signal from the transmission coil Tx of the chip 3 directly above, but there is a possibility that the signal from the transmission coil Tx of the channel 3 of the chip 7 diagonally below may interfere.
  • the reception coil Rx of the channel 3 of the chip 5 receives a signal from the transmission coil Tx of the chip 7 immediately below, but there is a possibility that the signal from the transmission coil Tx of the channel 2 of the chip 3 diagonally above may interfere.
  • FIG. 21 shows the magnetic film 130 and the metal film 140 used together.
  • FIG. 22 uses a structure in which a metal film 191 is sandwiched between magnetic films 192.
  • the transmission coil Tx, the reception coil Rx, and the metal film 194 are stacked and mounted on the same substrate, chips having the same structure can be stacked while rotating 180 degrees.
  • One communication path can be formed using a coil. Compared to the example shown in FIG. 8, the number of coils required for the communication path can be reduced from 3 to 2.
  • FIG. 24 is a diagram illustrating a configuration of a transmitter and a receiver according to the ninth embodiment.
  • FIG. 25 is a diagram illustrating the waveform of each signal in the ninth embodiment.
  • the transmitter of this embodiment includes a delay device 81, an EXOR circuit 82, and transistors 83 and 84.
  • the receiver of this embodiment includes transistors 371 to 376 that are hysteresis comparators 370 and a frequency dividing circuit 380. If no response is returned as in the third to eighth embodiments, data transmission / repeat can be performed using the pulse transmitter shown in FIG. As shown in FIG.
  • the pulse transmitter flows a triangular wave current (IT) by a voltage signal having a pulse width ⁇ according to the change.
  • the transmission power can be greatly reduced.
  • the dotted line next to the received signal waveform in the figure indicates the input threshold value of the asynchronous receiver. After receiving the signal, lower the input threshold once and restore it.
  • the receiving side also obtains a pulse signal having a pulse width ⁇ / 2 when the polarity of transmission data is inverted, and divides the pulse signal to obtain a reception signal Rxdata.
  • FIG. 26 is a diagram illustrating a configuration of a transmitter according to the tenth embodiment.
  • FIG. 26A shows the configuration of the transmitter
  • FIG. 26B shows the configuration of the pulse generation circuit.
  • the transmitter according to this embodiment includes a pulse generation circuit 90, inverters 101 and 103, NOR circuits 102 and 104, and transistors 105 to 108, and constitutes a synchronous transmitter.
  • the pulse generation circuit 90 includes inverters 91 to 93 and a NAND circuit 94.
  • the pulse generation circuit 90 receives the clock Txclk and generates a pulse having a period corresponding to the delay by the inverters 91 to 93.
  • FIG. 27 is a diagram showing waveforms of signals in Example 10.
  • the transmitter causes a positive or negative pulse corresponding to transmission data to flow through the transmission coil 60 during the period of the pulse width of the pulse generation circuit 90. Therefore, power consumption can be significantly reduced as compared with the transmitter of the first embodiment (FIG. 1) in which a constant current continues to flow.
  • the minute voltage signal (VR) generated in the receiving coil is as shown in FIG.
  • FIG. 28 is a diagram illustrating a configuration of a receiver according to the tenth embodiment.
  • the receiver includes resistors 111 and 112, transistors 113 to 120 and 125, NAND circuits 121 and 122, and inverters 123 and 124, and constitutes a comparator with a latch as a whole.
  • a reception clock (synchronization signal) Rxclk is taken from the outside, and a reception signal Rxdata is output.
  • Transistors 113 and 114 form a differential pair of a differential amplifier, and receive signal VR from receiving coil 10.
  • NAND circuits 121 and 122 form a latch.
  • Data received by the differential amplifier is sampled in synchronization with the reception clock Rxclk input to the transistors 115 and 116, latched by the NAND circuits 121 and 122, and the reception signal Rxdata is restored.
  • This receiver is a synchronous type that uses the system clock for data recovery. As shown in FIG. 27, positive / negative can be determined in the middle of the first half (or second half) waveform of the received voltage signal and converted into a digital signal. Since the synchronous receiver of FIG. 27 consumes only charging / discharging power when a clock is applied, the asynchronous receiver of the first embodiment (FIG. 1) continues to flow a constant current even when no signal is received. In comparison, power consumption can be significantly reduced.
  • FIG. 29 is a diagram illustrating a configuration of a transmitter and a receiver according to the eleventh embodiment.
  • FIG. 30 is a diagram illustrating the waveform of each part of the eleventh embodiment.
  • the synchronous transmitter and the receiver shown in the tenth embodiment (FIGS. 27 and 28) are used for data communication, and the clock signal for taking the detection timing of the received data pulse is used in the first embodiment (FIG. 1).
  • the data includes a receiving coil 210, a receiver 220, a control circuit 230, a transmitter 250, and a transmitting coil 260.
  • the clock includes a reception coil 310, a receiver 320, a control circuit 330, a delay unit 228, a transmitter 350, a transmission coil 360, and a delay unit 270 that delays the clock by ⁇ 1.
  • the clock is transmitted repeatedly as shown in FIG.
  • the data transmission timing (3) is delayed by adjusting the delay amount ⁇ 1 of the reception clock signal so that the reception clock signal (4) can determine the positive / negative in the middle of the first half of the waveform of the reception data pulse.
  • the data (5) In the data transmitter, the data (5) must be input to the transmitter at least T setup time before the time when the clock (6) drives the transmitter.
  • the time required for data communication is T1
  • the time T2 required for clock communication (T1 and T2 are generally different because the transmission / reception circuits are different for data communication and clock communication).
  • the data transmission timing (6) arrives after T2 + ⁇ 1 + ⁇ 2. Therefore, (T2 + ⁇ 1 + ⁇ 2)-(T1 + ⁇ 1) ⁇ Tsetup, ie ⁇ 2 ⁇ Tsetup + T1-T2
  • the delay amount of the timing adjustment delay ⁇ 2 is secured.
  • FIG. 31 is a diagram showing the structure of an electronic circuit according to the twelfth embodiment.
  • FIG. 32 is a diagram illustrating waveforms at various parts in the twelfth embodiment.
  • the configuration of the third embodiment (FIG. 8) is used for the clock
  • the configuration of the first embodiment (FIG. 2 (b)) is used for the data. If the maximum communication distance that the clock and data reach is different, and the clock and data are repeated by different chips, the timing of both is missed by ⁇ 1, and the repeat operation is incorrect.
  • the clock is not received by a chip other than the target chip by using a plurality of coils. As a result, the clock and data can be accurately synchronized.
  • the current flowing through the transmission coil becomes IT in FIG. 25, and the transmission power can be greatly reduced.
  • the clock can be received by the asynchronous receiving circuit of the first embodiment (FIG. 1).
  • the inverted signal of the reception clock is used for the timing of the data synchronous receiver.
  • the dotted line next to the received signal waveform in the figure indicates the input threshold value of the asynchronous receiver. After receiving the low signal, the input threshold value is changed to a relatively high potential to improve the noise resistance while preparing for the reception of the high signal.
  • FIG. 33 is a diagram showing an example of a data structure used for communication according to the present invention.
  • the communication destination chip is specified in the header. If there are 16 chips, they can be expressed with 4 bits.
  • the 10th memory chip can be represented by 1001.
  • FIG. 34 is a diagram illustrating an example in which the stacking position information of the substrate is programmed by wire.
  • Each chip knows as a chip ID where (on which floor) it is mounted.
  • the chip ID can be programmed with a bonding wiring or a non-volatile memory mounted on the chip.
  • the disabled transmission / reception circuits are restored all at once before the next data transmission.
  • an enable signal for informing the return timing is broadcast from a control chip (not shown) to all the chips 197 via a common bonding wiring 198. Thereafter, the header information is again transmitted to each chip 197 by inductive coupling communication, and unnecessary transmission / reception circuits are disabled.
  • resistors 201, 204, and 207 and transistors 202, 205, and 208 are connected in series between the three pads P1 to P3 (203, 206, and 209) provided in each chip 197 and the power supply.
  • the bar / detection signal is input to the gates of the transistors 202, 205, and 208.
  • the enable wiring 211 is bonded to, as shown in FIG.
  • the stacking position of the chip is divided by 3 as the first and fourth from the bottom, and the remainder is 1
  • the remainder modulo the integer 3 representing the stacking order of the chips as the substrate can be used as the stacking position information. For example, when the enable wiring 211 is bonded to the pad P3 (209) as shown in FIG.
  • the chip ID is set so that the chips 4, 8, and 12 have the repeater function, and the other chips do not have the repeater function (that is, the received signal is sent to the transmitter and retransmitted). Can be programmed).
  • the repeater retransmits only once as shown in FIG. This is because the output of the receiver (that is, the input of the transmitter) does not change even if the data received is repeated and the data retransmitted by the next repeater returns like a response because the data is the same as the data received earlier. It is.
  • the transmitter / receiver When the transmitter / receiver is a synchronous circuit, even when the same data is continuously transmitted, the transmitter changes the current flowing in the transmission coil, causing a magnetic field change. If a change in the magnetic field occurs due to the response of the previously transmitted data, new data cannot be received until it disappears. Therefore, when the transmitter / receiver is a synchronous circuit, the retransmission operation must be controlled to be performed only once.
  • the transmission / reception of data is made into a synchronous circuit
  • the transmission / reception of the clock for generating the synchronous timing is configured by an asynchronous circuit
  • the clock does not become a signal multiple times in response, so the retransmission operation is limited to one time.
  • each repeater determines whether or not to retransmit data as follows. If D ⁇ ID ⁇ S, retransmit. In other words, if the repeater is between D and S, it is retransmitted. Otherwise, do not resend.
  • the transmission chip, the reception chip, and the relay chip may have the same structure.
  • the data is a discrete signal, which is a binary (digital) or multilevel signal.
  • the data also includes a control signal and the like.
  • the present invention may be an electronic circuit which is a chip such as a memory formed of a single substrate having a coil and a repeater connected to the coil.
  • a plurality of chips can be stacked and mounted in the slot of the personal computer, and communication between the chips can be performed by inductive coupling.

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Abstract

　電子回路は、積層実装されるチップの間において誘導結合によって通信する。送信器からの信号を受信して送信元と受信先とを認識して、自分が送信元と受信先との間に存在する場合に受信信号を中継し、自分が送信元と受信先との間に存在しない場合に該受信信号を中継しない中継器によってチップ間通信の信号を中継する電子回路。これにより、積層実装されるチップの間の誘導結合による通信によって、コイルの寸法よりも遠くのチップまでデータを高速に転送できる。

Description

電子回路
　本発明は、積層されるＩＣ（Integrated Circuit）ベアチップなどの基板間の通信を好適に行うことができる電子回路に関する。
　本発明者らは、ＬＳＩ（Large Scale Integration）チップのチップ上の配線により形成されるコイルを介して積層実装されるチップ間で誘導結合による通信を行う電子回路を提案している（特許文献１～７、非特許文献１～３参照。）。
特開２００５－２２８９８１号公報 特開２００５－３４８２６４号公報 特開２００６－０５０３５４号公報 特開２００６－０６６４５４号公報 特開２００６－１０５６３０号公報 特開２００６－１７３９８６号公報 特開２００６－１７３４１５号公報
D.Mizoguchi et al, "A 1.2Gb/s/pin Wireless Superconnect based on InductiveInter-chip Signaling (IIS)," IEEE International Solid-State CircuitsConference (ISSCC’04), Dig. Tech. Papers, pp. 142-143, 517, Feb.2004. N. Miura et al, "Analysisand Design of Transceiver Circuit and Inductor Layout for Inductive Inter-chipWireless Superconnect," Symposium on VLSI Circuits, Dig. Tech. Papers, pp.246-249, Jun. 2004. N. Miura et al, "CrossTalk Countermeasures in Inductive Inter-Chip Wireless Superconnect," inProc. IEEE Custom Integrated Circuits Conference (CICC'04), pp. 99-102, Oct.2004.
　磁界結合で通信できる距離は、コイルの直径程度である。
　コイルのサイズを大きくすれば、遠い距離と通信できる。しかし、コイルのサイズを大きくすると、コイルのインダクタンス（Ｌ）が大きくなり、寄生容量（Ｃ）も大きくなる。コイルの自己共振周波数はＬとＣの積の０.５乗に逆比例するから、コイルのサイズを大きくすると自己共振周波数が下がる。磁界結合でシンボル間干渉を起さずに通信できるのは、信号の主な周波数成分が自己共振周波数以下の周波数領域に存在する場合であるから、コイルのサイズを大きくするとデータ転送速度が下がる。したがって、高速にデータ転送を行いたい場合、コイルのサイズを大きくできない。
　本発明は、上記問題点に鑑み、チップ等の基板が積層される電子回路において、誘導結合による通信によって、遠くの基板までデータを高速に転送できる電子回路を提供することを目的とする。
　請求項１記載の本発明の電子回路は、誘導結合によって信号を送信する送信器を有する基板ｎ（ｎは、１からＮ（Ｎは、Ｎ≧３の整数）の順に積層される基板の内１≦ｎ≦Ｎ－２の１つを表す）と、前記送信器から送信される信号又は他の中継器から中継される信号を受信して該受信信号を誘導結合によって中継する中継器を有する基板ｎ＋ｘ（ｘは、１≦ｘ≦Ｎ－ｎ－１の整数）と、前記中継器から中継される信号を受信する受信器を有する基板ｎ＋ｙ（ｙは、ｘ＜ｙ≦Ｎ－ｎの整数）とを積層して備えることを特徴とする。
　また、請求項２記載の本発明の電子回路は、前記中継器を有する基板は、有線を介して又はメモリに記憶されて、該基板の積層位置情報を有することを特徴とする。
　また、請求項３記載の本発明の電子回路は、前記積層位置情報は、前記基板の積層順を表す整数の２、３又は４を法とする剰余であることを特徴とする。
　また、請求項４記載の本発明の電子回路は、基板ｎから順に中継する中継器を有する少なくとも２枚の基板ｎ＋ｘ1、ｎ＋ｘ2（ｘ1＜ｘ2）を備え、前記送信器が通信信号を送信してから、基板ｎ＋ｘ1の中継器が中継し、基板ｎ＋ｘ2の中継器が中継した後に、前記送信器は次の通信信号を送信することを特徴とする。
　また、請求項５記載の本発明の電子回路は、前記送信器、受信器及び中継器は、いずれもアンテナとしてのコイルに接続され、該コイルを介して誘導結合通信することを特徴とする。
　また、請求項６記載の本発明の電子回路は、前記中継器に接続される前記コイルは、送信及び受信に兼用されることを特徴とする。
　また、請求項７記載の本発明の電子回路は、前記中継器に接続される送信用コイル及び受信用コイルは、互いに同軸に配置されていることを特徴とする。
　また、請求項８記載の本発明の電子回路は、前記中継器には、送信用コイル及び受信用コイルが相互に干渉しない程度の距離をおいて接続されていることを特徴とする。
　また、請求項９記載の本発明の電子回路は、前記中継器を有する３枚以上の基板を備え、該各中継器には、１つの送信用コイルと２つの受信用コイル又は２つの送信用コイルと１つの受信用コイルが相互に干渉しない程度の距離をおいて３つの位置に該各基板毎に順にずらして接続されていることを特徴とする。
　また、請求項１０記載の本発明の電子回路は、前記２つの受信用コイルのどちらかを選択又は２つの送信用コイルのどちらかを選択することによってデータを中継する方向を切換えることを特徴とする。
　また、請求項１１記載の本発明の電子回路は、前記送信器は、接続される送信用コイルに、送信データに応じた所定の電流であって送信データが変化するときに変化する電流を流し、前記受信器は、接続される受信用コイルで受信する信号を検出するしきい値が、信号を検出したときに逆極性に変化するヒステリシス特性を有することを特徴とする。
　また、請求項１２記載の本発明の電子回路は、前記送信器は、接続される送信用コイルに、送信データの変化に応じた極性のパルス電流を流し、前記受信器は、接続される受信用コイルで受信する信号を検出するしきい値が、双極性パルスの後半を検出したときに逆極性に変化するヒステリシス特性を有することを特徴とする。
　また、請求項１３記載の本発明の電子回路は、前記送信器は、タイミングパルスを非同期送信し、データを同期送信し、前記受信器は、タイミングパルスを非同期受信し、データを同期受信することを特徴とする。
　また、請求項１４記載の本発明の電子回路は、前記中継器を有する３枚以上の基板を備え、タイミングパルスについて、各中継器には、送信用コイルと受信用コイルとが相互に干渉しない程度の距離をおいて３つの位置に各基板毎に順にずらして接続されていることを特徴とする。
　また、請求項１５記載の本発明の電子回路は、Ｔ2＋τ2－Ｔ1≧Ｔsetup
ここで、
　　Ｔ1：データ通信に要する時間
　　Ｔ2：タイミングパルス通信に要する時間
　　Ｔsetup：データ送信のセットアップ時間
　　τ2：セットアップ時間確保のための受信タイミングパルス遅延時間
であることを特徴とする。
　また、請求項１６記載の本発明の電子回路は、前記送信器は、前記中継器が中継する信号を受信して送信信号と比較して誤りを検出することを特徴とする。
　また、請求項１７記載の本発明の電子回路は、すべての前記中継器へ送るenable信号を有線通信によって送信し、個々の中継器へのdisable信号を誘導結合通信によって送信することを特徴とする。
　また、請求項１８記載の本発明の電子回路は、前記enable信号を送信する有線通信によって前記２、３又は４を法とする剰余である前記積層位置情報を送信することを特徴とする。
　また、請求項１９記載の本発明の電子回路は、磁性体膜が前記送信用コイルが存在する領域に重ねて形成されることによって該送信用コイルに対して、中継順序が前の受信用コイルとの誘導性結合よりも中継順序が後の受信用コイルとの誘導性結合を大きくしたことを特徴とする。
　また、請求項２０記載の本発明の電子回路は、金属膜が前記送信用コイルが存在する領域に重ねて形成されることによって該送信用コイルに対して、中継順序が後の受信用コイルとの誘導性結合よりも中継順序が前の受信用コイルとの誘導性結合を小さくしたことを特徴とする。
　また、請求項２１記載の本発明の電子回路は、前記金属膜は、前記送信コイルが存在する領域の一部に重ねて形成されることによって中継順序が前の受信用コイルとの誘導性結合の減少の程度が調整されていることを特徴とする。
　また、請求項２２記載の本発明の電子回路は、一辺に沿って複数のコイルを直線状に並べ、その一辺に対向する辺に沿って該コイルの２倍の間隔で複数の金属膜を直線状に並べた前記基板を複数備え、それら複数の基板を隣接基板に対して１８０度回転して積層して１つおきのコイルに金属膜を重ね、その２枚の基板をペアとして、前記コイル及び金属膜が並んでいる直線の方向に前記ペア単位でコイルの間隔だけ互い違いにずらせて積層されていることを特徴とする。
　また、請求項２３記載の本発明の電子回路は、積層される他の基板との間で誘導結合によって通信するコイルと該コイルに接続される中継器とを有する基板を備えることを特徴とする。
　本発明によれば、チップ等の基板が積層される電子回路において、誘導結合による通信によって、遠くの基板までデータを高速に転送できる。
　また、従来の無線通信の場合は、信号が四方に指向性なく伝播するので、リピータの実現のためには、ネットワーク構造の階層モデル（ＯＳＩ参照モデル）における第１層の物理層から第５層のセッション層までを用いた複雑な制御を必要としているためにコストや処理時間が大きい。
　磁界結合においても、信号はコイルの両面方向に伝播する。例えば、チップを積層して、上のチップから受信した信号をリピートして下のチップに転送する場合にリピート転送する際に、信号（以下、この信号を「復唱」と言う）が回り込んで再び自身の受信器に入力する。更に、転送された信号を下のチップが更にもう一つ下のチップにリピート転送する際の信号（以下、この信号を「応答」と言う）もさきほどの受信器に入力する。このような復唱又は応答を、上のチップからの次のデータだと理解して再びリピートすると、いつまでも応答がこだまのように往来してリピート動作が続き、新しいデータを転送できないという問題があるが、本発明によりこれが解消される。あるいは、新しいデータと前回のデータの復唱又は応答が同時に受信器に入力すると、受信信号の品質（ＳＮ比）が劣化するという問題があるが、本発明によりこれが解消される。
図１は、実施例１による電子回路の構成を示す図である。 図２は、チップ上のコイルの配置例を示す図である。 図３は、実施例１の動作を説明する図である。 図４は、実施例１の各信号の波形を示す図である。 図５は、実施例１の各信号の波形を示す図である。 図６は、実施例２による受信器の構成を示す図である。 図７は、チップ間のコイルの配置例を示す図である。 図８は、実施例３による電子回路の構造を示す図である。 図９は、実施例３による電子回路の具体的な実現例を示す図である。 図１０は、実施例３の各信号の波形を示す図である。 図１１は、実施例４による電子回路の構造を示す図である。 図１２は、実施例４による電子回路のコイル配置例を示す図である。 図１３は、実施例４で配置されるコイルの大きさと間隔を示す図である。 図１４は、実施例５による電子回路の構造を示す図である。 図１５は、実施例６による電子回路の構造を示す図である。 図１６は、実施例６の変化例の構造を示す図である。 図１７は、実施例７による電子回路の構造を示す図である。 図１８は、実施例８による電子回路の構造を示す図である。 図１９は、実施例８による電子回路の構造を説明する図である。 図２０は、実施例８の変化例の構造を示す図である。 図２１は、実施例８の変化例の構造を示す図である。 図２２は、実施例８の変化例の構造を示す図である。 図２３は、実施例８の変化例の構造を示す図である。 図２４は、実施例９による送信器の構成を示す図である。 図２５は、実施例９の各信号の波形を示す図である。 図２６は、実施例１０による送信器の構成を示す図である。 図２７は、実施例１０の各信号の波形を示す図である。 図２８は、実施例１０による受信器の構成を示す図である。 図２９は、実施例１１による送信器及び受信器の構成を示す図である。 図３０は、実施例１１の各部の波形を示す図である。 図３１は、実施例１２による電子回路の構造を示す図である。 図３２は、実施例１２の各部の波形を示す図である。 図３３は、本発明の通信に用いるデータ構造の一例を示す図である。 図３４は、本発明のenable信号の配線構造の一例を示す図である。
　以下、添付図面を参照しながら本発明を実施するための形態について詳細に説明する。
　図１は、実施例１による電子回路の構成を示す図である。ここでは、１つのチップの中継器を示している。実際には、この中継器が配置されているチップは中継器が配置されていないチップと共に積層実装される。図１(a)は、本実施例の中継器の全体を説明する図であり、図１(b)は、その具体的な回路を示す図である。本実施例の中継器は、受信コイル１０、受信器２０、制御回路４０、送信器５０、及び送信コイル６０から成る。
　受信コイル１０は、対応する位置に積層実装された上又は下のチップの送信信号Ｔxdataがローからハイに変化する際には正のパルス電圧が、送信信号Ｔxdataがハイからローに変化する際には負のパルス電圧が発生する。
　受信器２０は、トランジスタ２１、２２、２７～３３、インバータ２３、２５、及び抵抗２４、２６から成る、非同期受信回路で構成される。受信器２０はヒステリシス比較器を構成しており、ゲート回路とゲイン回路とヒステリシス回路から成る。ゲート回路はトランジスタ２１、２２、インバータ２３、２５、及び抵抗２４、２６からなり、disable（休止）信号によって受信パルスを遮断し受信器に信号が入力しないようにできる。ゲイン回路はトランジスタ２７とトランジスタ２８、及びトランジスタ２９とトランジスタ３１からなるインバータであって、受信コイル１０から入力されるパルス電圧ＶRを増幅する。パルス電圧ＶRが一定のしきい値を超えると受信信号Ｒxdataが反転する。ヒステリシス回路はインバータの出力に接続された、クロスカップルのＰＭＯＳ３２、３３で構成される。この回路が上記しきい値にヒステリシスを与える機能を持っており、パルス電圧ＶRからディジタルデータを正しく復元することを可能にしている。このヒステリシス回路は保持しているデータに応じて入力インバータのしきい値を変化させる。図４のＶR波形中に点線で示したのは、トランジスタ２７とトランジスタ２８からなるインバータのしきい値の変化を表している。初期状態で、受信信号Ｒxdataとしてローを保持していたヒステリシス回路は、インバータのしきい値を高くする。入力に正のパルスが入力されてこのしきい値を超えると受信信号Ｒxdataが反転し、ハイになる。ヒステリシス回路により今度はインバータのしきい値が低くなり、次にしきい値を超える負のパルス電圧が入力されるまで受信信号Ｒxdataが保持される。この繰り返しで正負のパルス電圧から正しくディジタルデータを復元することができる。
　制御回路４０は、ここでは、この電子回路が中継器として機能するように制御する。また、制御回路４０は、この電子回路が、データを送信する送信器又はデータを受信する受信器として機能するように制御することもできるし、必要に応じて、機能をこれら中継器、送信器又は受信器の間で切換える制御をすることもできる。さらに、制御回路４０は、送信器及び／又は受信器をenable（動作）とdisableとに切換える制御をする。また、コイルが送信用と受信用とに兼用される場合には、そのコイルと送信器又は受信器との接続を切換える制御をする。
　送信器５０は、トランジスタ５１～５４から成る、非同期送信回路で構成される。これらを送信信号Ｔxdataで直接駆動し、送信信号Ｔxdataと同様の波形形状の送信電流ＩTを送信コイル６０に流す。
　送信コイル６０は、送信器５０によって駆動され、データ送信のために誘導磁界を発生する。
　図２は、チップ上のコイルの配置例を示す図である。図２(a)は、送受信コイル７０が送信コイルと受信コイルとを兼ねる例を示し、図２(b)は、受信コイル１０と送信コイル６０とを同軸に配置する例を示し、図２(c)は、受信コイル１０と送信コイル６０とを離れた位置に配置する例を示す。図２(a)においては、同一のコイルを受信用と送信用に時間で切り替えて兼用している。図２(b)においては、受信コイル１０を大きく、送信コイル６０を小さくして同軸に配置する。図２(c)においては、送信コイル６０で送信した信号が受信コイル１０で無視できる程度に小さく受信されるぐらい両者が離れていることが望ましい。図２(a)や図２(b)は、図２(c)に比べてレイアウト面積を小さくできるが、リピート送信の影響が受信器に強く及ぶ点に注意しなければならない。本発明はこのいずれの配置でも実現できる。
　図３は、実施例１の動作を説明する図である。図３は、コントロールチップ（ＩＤ＝０）の下に１６枚のメモリチップを積層した場合の時点（１）～（６）の信号の伝播の様子を示している。ここでは、上下４つずつのチップ（計８つのチップ）まで通信が届くと仮定する。例えば、コントロールチップが通信元（Sourceの意味でＳ）で、１０番目のメモリチップが通信先（Destinationの意味でＤ）とする。
　まず、（１）でコントロールチップが送信する。次に（２）でメモリチップの１から４までが受信する。（３）でメモリチップ４がそのデータを再送（リピート）する。（４）でコントロールチップとメモリチップの１から８までが受信する。次に（５）でメモリチップ８がそのデータを再送すると、（６）でメモリチップの４から１２までが受信するので、データは通信先のチップ１０に受信される。以上のようにすれば、どれだけチップが積層されていても、再送（リピート）を繰り返しながら、データを目的地まで転送できる。時点（６）の次には時点（１）を続けることができる。
　図４及び図５は、実施例１の各信号の波形を示す図である。図４は、送信信号Ｔxdata、送信コイルに流れる送信電流ＩT、受信コイルに発生する受信電圧ＶR、及び受信信号Ｒxdataの時点（１）～（６）の波形を示す。図５は、コントロールチップ、及びチップ４、８のデータ、送信電流、及び受信電圧の相互の関係を示す。注意すべき点は、例えばチップ４の受信コイルは、同じデータを３回受信する点である。まずは、（２）でコントロールチップからの送信データを受信したとき。次は、（４）でチップ４が再送したデータを間近で受信したとき（復唱信号）。したがって（図４は正確ではないが図５で示したように）、（２）での受信信号電圧よりも（４）での受信信号電圧は大きい（ただし、図２（c）の場合は送信コイルを受信コイルから遠く離して設置すれば、その分リピート信号の受信を小さくできる）。そして３回目は（６）でチップ８が再送したデータを受信したとき（ちょうど自分の声の山彦を聞いたのに喩えることができる）（応答信号）。これは（２）のときと同じ受信信号電圧である。
　このように同じデータを繰り返し受信するが、新しいデータＤm（先のデータが０ならば新しいデータは１）を受信した直後に、その次の新しいデータＤm+1（Ｄmが１ならばＤm+1は０）を受信するのに備えて、受信器（ヒステリシス回路）の入力しきい値は図の点線で示すように変化するので、上記のように受信データと同じ信号（復唱と応答）をその後２回続けて受信しても、受信器の出力に変化はない。
　ここで、復唱と応答の信号がいずれもデータ信号と同極でなければならない。例えば、送信コイルの巻く方向が受信コイルの巻く方向と反対になっていたり、コイルの巻く方向は同じでも逆向きの電流が流れるように送信器が設計されていると、リピート動作で復唱や応答の信号が反転する。その結果、リピータで再送するたびに、ディジタル信号値が逆転して、正しくデータ転送できない。
　なお、メモリチップ１２は、通信先のチップ１０を超える位置にあるので、データを受信するが、リピート動作はしない。
　また、（４）でコントロールチップはリピートされて戻ってきたデータを受信するので、（１）で送信したデータと比較することで、リピート動作が正しく行われたかどうかを検証できる。同様に、チップ４は（３）で送信したデータを（６）で受信するので、リピート動作を検証できる。誤りが検出された場合は、そのことを通達してデータの送り直しをする。
　コントロールチップが次のデータを送信できるのは、（６）が終了した後である。なぜなら、（５）でコントロールチップが新しいデータを送信すると、（６）においてチップ４の受信コイルで、チップ８が再送したデータとコントロールチップが送信したデータが衝突し、通信が正しく行われないからである。つまり、（１）から（６）までの操作を繰り返せば、ＳからＤに次々とデータ列を転送できる。
　この例ではＤがチップ１０でありチップ１２はリピート動作をしないが、例えばＤがチップ１５の場合チップ１２はリピート動作を（７）（不図示）で行う。しかしその信号は（８）（不図示）でチップ８にまでしか届かないので、（７）でコントロールチップが新しいデータを送信してそれが（８）でチップ４に届いても、チップ４で一つ前のデータと衝突することはない。
　コイルの配置が図２(a)の場合は、受信器が送信器の出力信号を直接入力するので、復唱の際に受信コイルに大きな受信信号を生じる。また、図２(b)の場合も、受信コイルと送信コイルが強く磁界結合するので、復唱の際に受信コイルに大きな受信信号を生じる。コイルには容量成分も寄生するので、インダクタンスとキャパシタンスで受信信号が振動する場合があり、図４や図５の２番目の受信信号が負の極性にも振れて、誤動作の原因となり得る。こうした問題は、復唱時には受信しないように制御回路が受信器をdisableすることで解決できる。disableがローになると、受信コイルからの信号が受信器に入力されない。
　図６は、実施例２による受信器の構成を示す図である。本実施例の受信器は、トランジスタ２７～３３、７１～７４、及びＮＡＮＤ回路７５、７６から成る。ＮＭＯＳトランジスタ７２とＰＭＯＳトランジスタ７１のチャネル幅とチャネル長は、ＮＭＯＳトランジスタ２８とＰＭＯＳトランジスタ２７及びＮＭＯＳトランジスタ３１とＰＭＯＳトランジスタ２９のそれらと比が等しい、あるいは同じサイズに設計されている。そのことで、コイルに生じる微小な受信信号を高感度に増幅することができる。
　disable信号がローのときはＮＭＯＳトランジスタ７２がオンして、トランジスタ７３、７４の出力と入力がＮＭＯＳトランジスタ７２のオン抵抗で接続されて、コイルの中央の電位が受信器の入力感度が最も高くなる電位にバイアスされて信号伝送が可能となる。disable信号がハイのときには、ＮＭＯＳトランジスタ７２がオフしてＰＭＯＳトランジスタ７１がオンするため受信器の入力はともにローになり、受信器の直流電流がカットされる。このとき受信器の両出力は共にハイとなり、後段のＮＡＮＤ回路７５、７６から成るラッチでは前のデータが保持される。図１の受信器のdisable方法は高速に信号伝送に復帰できるという利点があるものの、直流電力をdisable中にも消費するという欠点がある。本実施例のようにして受信器をdisableすると、受信器の直流電力をカットすることができる。リピート動作に関与しないチップの受信器で待機電力を削減することができる。
　図７は、コイルを図２(c）のように配置した場合のチップ間のコイルの配置例を示す図である。図７(a)は、２箇所の位置に送信コイルＴxと受信コイルＲxを、各中継チップ毎に交互に配置する例を示し、図７(b)は、３箇所の位置に送信コイルＴxと受信コイルＲxを各中継チップ毎に順にずらせて配置する例を示す。以下、中継器が配置されるチップを中継チップと呼ぶことがある。
　図７(a)に示す例のように、下のチップの送信コイルＴxと同軸の位置に上のチップの受信コイルＲxが配置され、下のチップの受信コイルＲxと同軸の位置に上のチップの送信コイルＴxが配置される場合は、信号が先程の説明と同様にリピート信号が応答となり戻ってくる。
　この問題は、応答が帰ってくる頃には、受信器が動作しないように制御することで解決できる。しかし、複数のチップにまたがるタイミング制御のために、データ転送速度が遅くなるなどの望ましくない効果を生じる場合もある。
　ところが、図７(b)に示すように、送信コイルＴxの上のチップに対となる受信コイルＲxが配置され、上のチップの送信コイルＴxが下のチップの受信コイルＲxとは遠く（上のチップの厚さの２倍程度以上に）離れて配置された場合は、再送データが下のチップに戻ってくることはないので、図３の（３）の段階で次のデータを下のチップが送信しても構わない。したがって、高速にデータを転送することが容易にできる。
　図８は、実施例３による電子回路の構造を示す図である。例えば、図８に示すように、３組のコイルを使って１つの通信チャネルを構成すれば、データを待たせることなく次々と送信することができ、データの転送速度を高くできる。その代わり３倍のチップ面積が必要になる。３組のコイルは、送信用と受信用と未使用（disabled）のいずれかに、ボンディング配線やEEPROMなどを用いてプログラムできる。例えば、図８の場合、チップの積層位置に応じて３通りのプログラムが必要になる。２本のボンディング配線を用いて、それぞれを電源電位に接続するか接地電位に接続するかで区別すれば、４通りの組み合わせが作れるので、チップの積層位置に関する情報をチップの実装段階でチップに与えることができる。あるいは、チップに搭載されたEEPROMの２ビットにハイ又はローを書き込めば、やはり４通りの組み合わせを作れるので、チップの積層位置に関する情報をチップの実装前のテストの段階でチップに与えることができる。
　図９は、実施例３による電子回路の具体的な実現例を示す図である。受信コイルＲxと下向きリピート用送信コイルＴxdと上向きリピート用送信コイルＴxuをチップの積層順位に応じて配置する。例えば図９(a)の場合は、下から１番目と４番目、２番目と５番目がそれぞれ同じになるように、３通りの配置パターンとなる。
　図９(b)に示すように、Ｔxdを動作させＴxuを未使用にしてＲxの出力を制御回路を介してＴxdに入力すると、下向きのリピート動作を実現できる。また、図９(c)に示すように、Ｔxuを動作させＴxdを未使用にしてＲxの出力を制御回路を介してＴxuに入力すると、上向きのリピート動作を実現できる。このように２つのＴxのいずれか一方を使うことで、下向きのリピート動作及び上向きのリピート動作を容易に実現することができる。
　ここでは、１つの受信コイルと２つの送信コイルを組み合わせる例を示したが、１つの送信コイルと２つの受信コイルを組み合わせて受信コイルを選択的に動作させることで同様の原理で同じ効果を奏することができる。具体的には例えば図９におけるＲxをＴxとし、Ｔxu、ＴxdをＲxu、Ｒxdとすれば良い。
　上記説明では３組のコイルを使って１つの通信チャネルを構成した。通信したいコイル間では誘導結合が十分大きくなければならないが、通信したくないコイル間では誘導結合が十分小さくなければならない。製造ばらつきなども考慮して、更に動作に余裕を入れたい場合は、上のチップの送信コイルと下のチップの受信コイルとの間の距離を更に遠くする必要がある。例えば４組のコイルを使って１つの通信チャネルを構成しても良い。考え方は全く同じでコイルの数を増やしただけであるので説明は省略するが、本発明の範囲内である。
　図１０は、実施例３の各信号の波形を示す図である。図１０は、送信電圧Ｔxdata、送信電流ＩT、受信電圧ＶR、及び受信信号Ｒxdataの時系列の波形を示す。こうした信号の伝播伝送を繰り返せば、ＳからＤにデータ列を転送できる。
　図１１は、実施例４による電子回路の構造を示す図である。本実施例は、複数のチップを順にずらせて積層し、スペーサを介してから、複数のチップを逆方向に順にずらせて積層し、これを繰り返すものである。図１１に示すように、複数のチップをずらしながら積層することで、下に別のチップがある位置でワイヤボンディングをすることができるので、ボンディングがチップに与える衝撃が緩和され、チップの耐久性が向上し、チップを薄く出来る利点がある。それに比べて、例えば図１８(b)に示すようにチップを交互にずらして積層すると、下に別のチップがないところでボンディングをすることになるので、ボンディングの衝撃が僅かであっても、チップが破損しやすくなり、チップを薄くするのが比較的難しくなる。また、電源線のように各チップに供給されるワイヤボンディングをチップからチップへと効率良く連結していくことも可能になり、限られた空間でより効率良くワイヤボンディングができる利点もある。一方で、例えばチップ５にワイヤボンディングをするための空間を作るために、チップ４とチップ５の間にシリコンなどでできたスペーサを挿入する必要があり、このために（以下に述べるように）規則性が崩れる。
　図１２は、実施例４による電子回路のコイル配置例を示す図である。図１３は、実施例４で配置されるコイルの大きさと間隔を示す図である。図１２は、このようにチップを積層した場合に、実施例３に示すように３組のコイルを使って１つの通信チャネルを構成した例を示す。図１２(a)が下向きのリピート動作を実現した場合で、図１２(b)が上向きのリピート動作を実現した場合である。また、図１３は、３組のコイルの大きさと間隔の例を示す。数字は、代表的な一例であり、この限りではない。
　図１２と図９を比較すると、チップの積層順位に応じて、３組のコイルを送信用と受信用と未使用（disable）のいずれかにプログラムすることで、下向き、又は、上向きのリピート動作を実現できる点は共通している。プログラムは、ボンディング配線やEEPROMなどを用いることで実施例３と同様に実施できる。
　図１２が図９と異なる点は、スペーサの隣だけ、コイルのプログラムの仕方が変化し、他のチップでは同じプログラムになる点である。
　さらに、スペーサを挟んだチップ間では、例えばチップ４とチップ５の間、又はチップ０とチップ１の間では、通信距離がそれ以外の場合に比べて２倍に長くなる点である。そのため、３つのコイルの中で両側のコイルは真ん中のコイルの２倍程度に大きくして、２倍の通信距離となるように設計する。こうすると、例えばチップ１の送信信号は、チップ３や４まで届くかもしれないが、そこには受信コイルがないので問題を生じない。
　真ん中のコイルを大きくしない理由は、例えばチップ３とチップ５の間（チップ３枚分の距離）でクロストークを生じないようにするためである。もし、真ん中のコイルも両端のコイルと同じ大きさに設計すると、真ん中のコイルでも２つのチップの距離だけ送受信できることになるので、例えば図１２(a)でチップ５の送信コイルがチップ３の受信コイルに（同様に図１２(b)でチップ３の送信コイルがチップ５の受信コイルに）クロストークとなり得るからである。あるいは、このクロストークを十分に小さくするためには、両端にも真ん中と同じ小さいコイルを用意し、大きなコイルは２枚のチップ距離用に、小さなコイルは１枚のチップ距離用にと使い分けた方がより確実になる。２つのコイルを用意して、距離に応じて使い分けることは、切替え用のトランジスタを送信回路に追加するだけで容易にできる。
　図１４は、実施例５による電子回路の構造を示す図である。再送データが元のチップに戻ってこないようにするには、コイルの数を増やして距離を大きくとる方法の他に、磁性体材料を用いて磁界を増強したり、金属配線を用いて磁界を減衰する方法もある。図１４に示すように磁性体材料でできた磁性体膜１３０を送信コイル６０及び受信コイル１０が存在する領域に重ねて配置すると、誘導結合させたい送信コイル６０と受信コイル１０の間（例えばＴx1とＲx2）の誘導結合を強めることができる。その結果、図７(a)のような構成でもリピート転送でき、必要なコイルの数を３組から２組に削減できる。ここで磁性体材料は、チップと垂直方向の透磁率に比べてチップと水平方向の透磁率が十分に大きいと上記効果が大きい。また、コイルと磁性体膜の間の距離が短いほど、効果が大きい。
　図１５は、実施例６による電子回路の構造を示す図である。本実施例は、金属配線を用いて通信信号の減衰をした場合の例であり、金属膜１４０を送信コイル６０及び受信コイル１０が存在する領域に重ねて配置している。金属膜１４０に渦電流が流れて磁界の変化を打ち消すので、磁界結合が減衰される。例えばＲx2のコイルを第６配線層で形成し、遮断用のパターンを第１配線層で形成すると（もちろん６層と１層は一例であって同様の上下関係の他の層を使っても良い。両者の距離が短いほど、例えば６層と１層ではなくて４層と３層にした方が減衰効果は大きい）、Ｔx3からＲx2への結合を低減できる。この場合、Ｔx1からＲx2への結合も低下するので注意を要する。例えば、金属膜１４０と受信コイル１０の間の距離を１μｍ、送信コイル６０と受信コイル１０の間の距離を５０μｍ（これは４層と３層を用いた場合に相当する）、送受信コイルの直径を５０μｍ、金属膜１４０の直径を１００μｍとして電磁界解析シミュレーションを行うと、金属膜１４０を挿入したことで、誘導結合させたくないＴx3とＲx2の結合を元の０．０１倍に大きく低減できることが確認されている。また、誘導結合させたいＴx1とＲx2の結合も元の０．３倍に低減することも確認されている。
　すなわち、Ｔx1とＲx2の結合は通信が出来る程度に強くして、Ｔx3とＲx2の結合は混信しない程度に弱くすべきである。この調整は、金属膜と受信コイルの距離を変えることで調整できる。例えば４層と３層ではなく、６層と１層を用いると、両者の距離が長くなり、Ｔx1とＲx2の結合は０．３よりも大きくなる。
　あるいは、図１５(c)に示すように金属膜１４１と送受信コイルとの重なる面積を加減することで調整できる。両者の重なりが大きいほど遮断効果が大きく結合は弱まる。
　また、図１５(d)に示すように、金属膜１４２で作る網目パターンの開口部を加減することでも減衰効果を調整できる。開口部が狭いほど遮断効果が大きく結合は弱まる。
　図１６は、実施例６の変化例の構造を示す図である。実施例６は、受信コイル１０と同一の基板に金属膜１４０を重ねて形成したが、本変化例は、送信コイル６０と同一の基板に金属膜１５０を重ねて形成するものである。このように遮断用のパターンである金属膜１５０を例えば第６配線層で形成し、送信コイル６０を第１配線層で形成しても同様の効果が得られる。
　また、図１５及び図１６で示した実施例６は、同一構造のチップを１８０度回転したり、ずらしながら積層することでも容易に実現できる。したがって、同じ構造のチップを積層して、データをリピート転送できる。
　図１７は、実施例７による電子回路の構造を示す図である。本実施例は、磁界減衰用の金属膜１６０を送信コイル６０と受信コイル１０の中間に配置するものであり、これにより、誘導結合させたくない結合を大きく低減できる一方で、誘導結合させたい結合はあまり低減しないようにできる。例えば、金属膜１６０と受信コイル１０及び送信コイル６０の間の距離を２５μｍ、送信コイル６０と受信コイル１０の間の距離を５０μｍ、送受信コイル１０、６０の直径を５０μｍ、金属膜１６０の直径を１００μｍとして電磁界解析シミュレーションを行うと、金属膜１６０を挿入したことで、誘導結合させたくないＴx5とＲx3の結合を０．０５に低減できる一方で、誘導結合させたいＴx1とＲx3の結合を０．８にできることが確認されている。
　さらに、磁界減衰用の金属膜は、送受信コイルと比べて、一回り大きいサイズのときに、信号対雑音比が最大になることも、電磁界解析シミュレーションで確認できている。
　図１８は、実施例８による電子回路の構造を示す図である。図１８(a)は上面図、図１８(b)は左側面図、図１８(c)は右側面図である。本実施例は、同一構造のチップを１８０度回転しながらずらして積層することで、リピート経路を実現するものである。まず、１列に並んだ送受信コイル１７３及び、送受信コイル１７３の２倍の間隔で１列に並んだ金属膜１７４を有するチップ１である第１基板１７１を同一構造のチップ２である第２基板１７２に対して１８０度回転しｙ方向にずらして積層すれば、図１８(b)に示すように、互いの送受信コイル１７３と金属膜１７４を重ねて、かつ、ボンディング配線のためのスペースを確保できる。同様にしてチップ３とチップ４とを積層する。そしてチップ３とチップ４に対してチップ１とチップ２をｘ方向にコイルの間隔だけずらして図１８(c)に示すように積層すれば、図１９に示すリピート用経路を実現できる。
　図１９に示すように（図１８(c)と同じ）、２つの送受信コイルの一方をＴxに他方をＲxに（時々に応じて）使い分けることにより、下方向のリピート動作と上方向のリピート動作のいずれも時々刻々と変えて実現できる。送信コイルＴx、受信コイルＲx、金属膜１８０を示す。
　図１９のように複数のリピートチャネルを配置する場合、同一チップで隣接チャネルの送信コイルＴxと受信コイルＲxの間の干渉が問題となるが、送信コイルＴxが送信するときは、隣接する受信コイルＲxをdisableにすることで解決できる。
　図１９に示す例の場合、リピート方向が同じ隣接チャネルの受信コイルＲxと送信コイルＴxが接近しているが、隣接チャネルの信号送受信が同期している場合は、隣接チャネルのＲxをdisableにすればよい。
　一方、図１９に示すように、リピート方向が反対の隣接チャネルとの境界において、２つの受信コイルＲxが接近していて、上下のチップの送信コイルＴxとのクロストークが問題となる。例えば、チップ５のチャネル２の受信コイルＲxは真上のチップ３の送信コイルＴxから信号を受信するが、斜め下のチップ７のチャネル３の送信コイルＴxからの信号が混信する可能性がある。同様に、チップ５のチャネル３の受信コイルＲxは真下のチップ７の送信コイルＴxから信号を受信するが、斜め上のチップ３のチャネル２の送信コイルＴxからの信号が混信する可能性がある。しかし、磁界減衰用の金属膜１８０を挿入することで、クロストークは大幅に低減することができ、コイルの配列ピッチをおよそ半分に小さくすることができることが電磁界解析シミュレーションで確認できている。
　また、図２０に示す例のように２つのコイルずつに金属膜１９０が重なるように配置すると、リピート方向が同じ隣接チャネルの受信コイルＲxと送信コイルＴxが接近しないようにできる。
　さらに、図２１や図２２に示すように、磁性体膜と金属膜を組み合わせて使うことで、こうした効果を増大させることもできる。
　図２１は、磁性体膜１３０に金属膜１４０を併用するものである。
　図２２は、金属膜１９１を磁性体膜１９２でサンドイッチする構造を使用するものである。
　また、図２３に示すように、同一基板内に送信コイルＴx、受信コイルＲx、及び金属膜１９４を積層実装すれば、同一構造のチップを１８０度回転しながら積層することができ、２組のコイルを用いて１つの通信路を形成できる。図８に示す例に比べて通信経路に必要なコイルの数を３から２に削減できる。
　図２４は、実施例９による送信器及び受信器の構成を示す図である。図２５は、実施例９の各信号の波形を示す図である。本実施例の送信器は、遅延器８１、ＥＸＯＲ回路８２及びトランジスタ８３、８４から成る。本実施例の受信器は、ヒステリシス比較器３７０であるトランジスタ３７１～３７６及び分周回路３８０から成る。実施例３～８のように応答が返ってくることのない場合には、図２４に示すパルス送信器を用いてデータ送信・リピートが可能である。図２５に示すようにパルス送信器は送信データの極性が反転するときにのみ、その変化に応じてパルス幅τの電圧信号によって三角波電流（ＩT）を流す。データ送信後も電流（ＩT）が流れ続ける実施例１（図１）の送信器に比べて、送信電力を大幅に低減できる。なお、図中の受信信号波形の傍の点線は非同期受信器の入力しきい値を示す。信号を受信した後、入力しきい値を一度下げてから元に戻す。これにより、受信側でも送信データの極性が反転するときにパルス幅τ／２のパルス信号を得て、これを分周して受信信号Ｒxdataを得る。
　図２６は、実施例１０による送信器の構成を示す図である。図２６(a)は、送信器の構成を示し、図２６(b)はパルス発生回路の構成を示す。本実施例の送信器は、パルス発生回路９０、インバータ１０１、１０３、ＮＯＲ回路１０２、１０４、及びトランジスタ１０５～１０８から成り、同期式送信器を構成する。実施例３～８のように応答が返ってくることのない場合には、図２６に示す同期式送信器を用いてデータ送信・リピートが可能である。パルス発生回路９０は、インバータ９１～９３、及びＮＡＮＤ回路９４から成る。パルス発生回路９０は、クロックＴxclkを入力してインバータ９１～９３による遅延に相当する期間のパルスを発生する。
　図２７は、実施例１０の各信号の波形を示す図である。送信器はパルス発生回路９０のパルス幅の期間の、送信データに応じた正又は負のパルスを送信コイル６０に流す。したがって一定の電流を流し続ける実施例１（図１）の送信器と比べて、著しく消費電力を削減することができる。この場合、受信コイルに生じる微小電圧信号（ＶR）は、図２７に示すようになる。
　図２８は、実施例１０による受信器の構成を示す図である。受信器は、抵抗１１１、１１２、トランジスタ１１３～１２０、１２５、ＮＡＮＤ回路１２１、１２２、及びインバータ１２３、１２４から成り、全体としてラッチつき比較器を構成している。外部から受信クロック（同期信号）Ｒxclkをとり、受信信号Ｒxdataを出力する。トランジスタ１１３、１１４が差動アンプの差動対をなし、受信コイル１０からの信号ＶRを受ける。ＮＡＮＤ回路１２１、１２２はラッチを形成している。差動アンプで受信したデータはトランジスタ１１５、１１６へ入力される受信クロックＲxclkに同期してサンプリングされ、ＮＡＮＤ回路１２１、１２２によりラッチされ、受信信号Ｒxdataが復元される。この受信器はデータの再生にシステムのクロックを用いる同期式である。図２７に示すように受信電圧信号の前半（又は後半）の波形の真ん中で正負を判定してディジタル信号に変換できる。図２７の同期式受信器は、クロックが印加された際の充放電電力のみを消費するため、信号が来ていない間も一定の電流を流し続ける実施例１（図１）の非同期受信器に比べて、著しく消費電力を削減することができる。
　図２９は、実施例１１による送信器及び受信器の構成を示す図である。図３０は、実施例１１の各部の波形を示す図である。本実施例１１は、データ通信に実施例１０（図２７、図２８）に示す同期送信器及び受信器を用い、受信データパルスの検出タイミングを取るためのクロック信号に実施例１（図１）に示す非同期送信器及び受信器を用いて構成した例である。データについて、受信コイル２１０、受信器２２０、制御回路２３０、送信器２５０、及び送信コイル２６０を備える。クロックについて、受信コイル３１０、受信器３２０、制御回路３３０、遅延器２２８、送信器３５０、送信コイル３６０を備え、さらに、クロックをτ1遅延させる遅延器２７０を備える。
　クロックは図５のようにしてリピート伝送される。受信クロック信号(4)が受信データパルスの前半の波形の真ん中で正負を判定できるように、受信クロック信号の遅延量τ1を調整してデータ送信タイミング(3)を遅らせる。データ送信器では、クロック(6)が送信器を駆動する時刻よりもセットアップ（Ｔsetup）時間以上前にデータ(5)が送信器に入力していなければならない。データ通信に要する時間をＴ1、クロック通信に要する時間Ｔ2とする（データ通信用とクロック通信用では送受信回路が異なるのでＴ1とＴ2は一般に異なる）。クロック送信タイミング(1)を基準に各信号の伝播時間を求めると、図３０に示すように、データ(5)はＴ1+τ1後に到着する。また、データ送信タイミング(6)はＴ2+τ1+τ2後に到着する。したがって、
　　(Ｔ2＋τ1＋τ2)－(Ｔ1＋τ1)≧Ｔsetup　すなわち
　　τ2≧Ｔsetup＋Ｔ1－Ｔ2
を満たすように、タイミング調整用遅延τ2の遅延量を調整して、送信器のセットアップ時間を確保する。
　τ2の値がマイナスの値になった場合は、クロック送信器の前に（τ2の）遅延は不要である。
　図３１は、実施例１２による電子回路の構造を示す図である。図３２は、実施例１２の各部の波形を示す図である。本実施例は、クロックについて実施例３（図８）の構成を用い、データについて実施例１（図２(b)）の構成を用いた例である。クロックとデータが到達する最大通信距離が異なり、クロックとデータが異なるチップでリピートされると、両者のタイミングをτ1で調整し損じることになり、リピート動作を誤る。実施例１２はクロックについて複数コイルを用いて目標のチップ以外のチップに受信されないようにする。これにより、クロックとデータの同期を正確にとることができる。実施例９（図２４）に示したパルス送信回路でクロックを送信すると、送信コイルを流れる電流は図２５のＩTのようになり、送信電力を大幅に削減できる。クロックは、実施例１（図１）の非同期受信回路で受信することができる。ただし、受信パルス信号の後半（前半とは極性が逆）でクロック信号を受信することになるので、受信クロックの反転信号をデータ同期受信器のタイミングに使う。なお、図中の受信信号波形の傍の点線は非同期受信器の入力しきい値を示す。ロー信号を受信した後は、入力しきい値を比較的高い電位に変えることでノイズ耐性を高めながら、ハイ信号の受信に備える。
　図３３は、本発明の通信に用いるデータ構造の一例を示す図である。ヘッダには、通信先チップが指定されている。チップが１６枚ある場合は、４ビットで表現できる。例えば１０番目のメモリチップは、1001で表せる。ヘッダの後にデータ列のペイロードがある。この例では、３２ビットのデータ列である。
　図３４は、基板の積層位置情報を有線によりプログラムする例を示す図である。各チップは、自分がどの位置（何階）に実装されたかをチップＩＤとして知っている。例えば、ボンディング配線やチップに搭載された不揮発性メモリで、チップＩＤをプログラムできる。
　disableにした送受信回路は、次のデータ伝送の前に一斉に復帰させる。復帰のタイミングを知らせるenable信号は、図３４(a)に示すようにコントロールチップ（不図示）から共通のボンディング配線１９８を介してすべてのチップ１９７にブロードキャストする。その後、再び各チップ１９７に誘導結合通信でヘッダ情報が伝えられ、不要な送受信回路はdisableになる。
　このenable配線を利用して、更にチップの積層位置に関する情報をチップの実装段階でチップに与えることができる。図３４(b)に示す例では、各チップ１９７に備えた３つのパッドＰ１～Ｐ３（２０３、２０６、２０９）と電源との間に抵抗２０１、２０４、２０７及びトランジスタ２０２、２０５、２０８を直列に接続してトランジスタ２０２、２０５、２０８のゲートにバー/detection信号を入力する。このどのパッド２０３、２０６、２０９にenable配線２１１をボンディングするかによって、図３４(b)に示すように、チップの積層位置が下から１番目と４番目のように３で割って余りが１となる積層順位（すなわちmod３＝１）か、２番目と５番目のように３で割って余りが２となる積層順位（すなわちmod３＝２）か、３番目と６番目のように３で割って余りが０となる積層順位（すなわちmod３＝０）かをチップに知らせることができる。すなわち、基板であるチップの積層順を表す整数の３を法とする剰余を積層位置情報とすることができる。例えば、図３４(b)に示すようにenable配線２１１をパッドＰ３（２０９）にボンディングした場合、バー/detection信号をローにしてenable信号をローにすると、Ｄ１とＤ２はハイになり、Ｄ３はローになる。このようにして、enable配線２１１がどのパッド２０３、２０６、２０９にボンディングされたかを電気的に調べることができる。enable信号をローにしたときにＤ３がローになるように、抵抗２０１、２０４、２０７の抵抗値は十分に高く選定する。また、積層順位を調べるときにはenable信号として直流電流が流れるが、バー/detection信号をハイにすればトランジスタ２０２、２０５、２０８はオフになり直流電流は流れなくなる。
　先の例では、チップ４、８、１２がリピータ機能を持つように、チップＩＤを使って設定し、他のチップはリピータ機能を持たない（つまり受信信号が送信器に送られて再送されることはない）ようにプログラムできる。
　まず、ヘッダの４ビットを３２のメモリチップに送信する。つまり全部のメモリチップがヘッダのデータを受信する。
　送受信器が非同期回路の場合は、図５に示すように、リピータが再送するのは一度限りである。なぜなら、受信したデータをリピートし、次のリピータが再送したデータが応答のように戻ってきても、先程受信したデータと同じデータなので、受信器の出力（つまり送信器の入力）は変わらないからである。
　送受信器が同期回路の場合は、同じデータを続けて送信するときも、送信器は送信コイルに流れる電流を変化させ、磁場の変化を生ずる。先程送信したデータの応答による磁場の変化が生じると、それが消えるまで、新しいデータを受信できない。したがって、送受信器が同期回路の場合は、再送動作は一回に限るように制御しなければならない。
　データの送受信を同期回路にした場合、その同期タイミングを作るクロックの送受信を非同期回路で構成すれば、クロックは応答で複数回の信号にならないので、再送動作は一回に限られる。
　各チップがヘッダ情報を受け取った後に、各リピータは、データ再送をすべきかどうかを以下のように判定する。もし、Ｄ＜ＩＤ＜Ｓならば再送する。つまりそのリピータがＤとＳの間にあれば再送する。そうでなければ、再送しない。
　こうして、ペイロードデータ列の送受信を始める。
　各送受信器は、自分が送信先の場合のみ、つまりＩＤ＝Ｓの場合のみ、データを受信する。ＩＤ＞Ｓの場合は、送受信回路をdisableにしたり、あるいは受信した信号を新しく取り込まない。
　送信チップと受信チップと中継チップとは同じ構造のものであっても良い。
　なお、本発明は上記実施例に限定されるものではない。また、以上の説明でデータは、離散信号であり、２値（ディジタル）又は多値の信号である。また、データは、制御信号なども含む。
　本発明は、コイルとこのコイルに接続される中継器とを有する１枚の基板から成るメモリ等のチップである電子回路であっても良い。この場合、複数のチップがパソコンのスロットに積層装着されて、チップ間の通信を誘導結合によるものとすることができる。
　明細書、特許請求の範囲及び図面を含む２００８年　６月　３日に出願の日本特許出願２００８－１４６２４８の開示は、そのまま参考として、ここにとり入れるものとする。
　本明細書で引用したすべての刊行物、特許及び特許出願は、そのまま参考として、ここにとり入れるものとする。
　２１、２２、２７～３３、５１～５４、７１～７４、８３、８４、９１～９３、１０５～１０８、１１３～１２０、１２５、２０２、２０５、２０８、３７１～３７６　トランジスタ
　１０、２１０、３１０　受信コイル
　２０、２２０、３２０　受信器
　２３、２５、１０１、１０３、１２３、１２４　インバータ
　２４、２５、１１１、１１２、２０１、２０４、２０７　抵抗
　４０、２３０、３３０　制御回路
　５０、２５０、３５０　送信器
　６０、２６０、３６０　送信コイル
　７０、１７３　送受信コイル
　７５、７６、１２１、１２２　ＮＡＮＤ回路
　８１、２２８、２７０　遅延器
　８２　ＥＸＯＲ回路
　９０　パルス発生回路
　１０２、１０４　ＮＯＲ回路
　１３０、１９２　磁性体膜
　１４０、１４１、１４２、１５０、１６０、１７４、１８０、１９０、１９４　金属膜
　１７１　第１基板
　１７２　第２基板
　１９７　チップ
　１９８　ボンディング配線
　２０３、２０６、２０９　パッド
　２１１　enable配線
　３７０　ヒステリシス比較器
　３８０　分周回路
　Ｒx　受信コイル
　Ｔx　送信コイル
 

Claims (23)

  1. 　誘導結合によって信号を送信する送信器を有する基板ｎ（ｎは、１からＮ（Ｎは、Ｎ≧３の整数）の順に積層される基板の内１≦ｎ≦Ｎ－２の１つを表す）と、
    　前記送信器から送信される信号又は他の中継器から中継される信号を受信して該受信信号を誘導結合によって中継する中継器を有する基板ｎ＋ｘ（ｘは、１≦ｘ≦Ｎ－ｎ－１の整数）と、
    　前記中継器から中継される信号を受信する受信器を有する基板ｎ＋ｙ（ｙは、ｘ＜ｙ≦Ｎ－ｎの整数）と
    を積層して備えることを特徴とする電子回路。
  2. 　前記中継器を有する基板は、有線を介して又はメモリに記憶されて、該基板の積層位置情報を有することを特徴とする請求項１記載の電子回路。
  3. 　前記積層位置情報は、前記基板の積層順を表す整数の２、３又は４を法とする剰余であることを特徴とする請求項２記載の電子回路。
  4. 　基板ｎから順に中継する中継器を有する少なくとも２枚の基板ｎ＋ｘ1、ｎ＋ｘ2（ｘ1＜ｘ2）を備え、前記送信器が通信信号を送信してから、基板ｎ＋ｘ1の中継器が中継し、基板ｎ＋ｘ2の中継器が中継した後に、前記送信器は次の通信信号を送信することを特徴とする請求項１乃至３いずれかに記載の電子回路。
  5. 　前記送信器、受信器及び中継器は、いずれもアンテナとしてのコイルに接続され、該コイルを介して誘導結合通信することを特徴とする請求項１乃至４いずれかに記載の電子回路。
  6. 　前記中継器に接続される前記コイルは、送信及び受信に兼用されることを特徴とする請求項５記載の電子回路。
  7. 　前記中継器に接続される送信用コイル及び受信用コイルは、互いに同軸に配置されていることを特徴とする請求項５記載の電子回路。
  8. 　前記中継器には、送信用コイル及び受信用コイルが相互に干渉しない程度の距離をおいて接続されていることを特徴とする請求項５記載の電子回路。
  9. 　前記中継器を有する３枚以上の基板を備え、該各中継器には、１つの送信用コイルと２つの受信用コイル又は２つの送信用コイルと１つの受信用コイルが相互に干渉しない程度の距離をおいて３つの位置に該各基板毎に順にずらして接続されていることを特徴とする請求項８記載の電子回路。
  10. 　前記２つの受信用コイルのどちらかを選択又は２つの送信用コイルのどちらかを選択することによってデータを中継する方向を切換えることを特徴とする請求項９記載の電子回路。
  11. 　前記送信器は、接続される送信用コイルに、送信データに応じた所定の電流であって送信データが変化するときに変化する電流を流し、前記受信器は、接続される受信用コイルで受信する信号を検出するしきい値が、信号を検出したときに逆極性に変化するヒステリシス特性を有することを特徴とする請求項５記載の電子回路。
  12. 　前記送信器は、接続される送信用コイルに、送信データの変化に応じた極性のパルス電流を流し、前記受信器は、接続される受信用コイルで受信する信号を検出するしきい値が、双極性パルスの後半を検出したときに逆極性に変化するヒステリシス特性を有することを特徴とする請求項５記載の電子回路。
  13. 　前記送信器は、タイミングパルスを非同期送信し、データを同期送信し、
    　前記受信器は、タイミングパルスを非同期受信し、データを同期受信することを特徴とする請求項１乃至５いずれかに記載の電子回路。
  14. 　前記中継器を有する３枚以上の基板を備え、タイミングパルスについて、各中継器には、送信用コイルと受信用コイルとが相互に干渉しない程度の距離をおいて３つの位置に各基板毎に順にずらして接続されていることを特徴とする請求項１３記載の電子回路。
  15. 　Ｔ2＋τ2－Ｔ1≧Ｔsetup
    ここで、
    　　Ｔ1：データ通信に要する時間
    　　Ｔ2：タイミングパルス通信に要する時間
    　　Ｔsetup：データ送信のセットアップ時間
    　　τ2：セットアップ時間確保のための受信タイミングパルス遅延時間
    であることを特徴とする請求項１３記載の電子回路。
  16. 　前記送信器は、前記中継器が中継する信号を受信して送信信号と比較して誤りを検出することを特徴とする請求項１乃至１５いずれかに記載の電子回路。
  17. 　すべての前記中継器へ送るenable信号を有線通信によって送信し、個々の中継器へのdisable信号を誘導結合通信によって送信することを特徴とする請求項１乃至１６いずれかに記載の電子回路。
  18. 　前記enable信号を送信する有線通信によって前記２、３又は４を法とする剰余である前記積層位置情報を送信することを特徴とする請求項１７記載の電子回路。
  19. 　磁性体膜が前記送信用コイルが存在する領域に重ねて形成されることによって該送信用コイルに対して、中継順序が前の受信用コイルとの誘導性結合よりも中継順序が後の受信用コイルとの誘導性結合を大きくしたことを特徴とする請求項８乃至１８いずれかに記載の電子回路。
  20. 　金属膜が前記送信用コイルが存在する領域に重ねて形成されることによって該送信用コイルに対して、中継順序が後の受信用コイルとの誘導性結合よりも中継順序が前の受信用コイルとの誘導性結合を小さくしたことを特徴とする請求項８乃至１９いずれかに記載の電子回路。
  21. 　前記金属膜は、前記送信コイルが存在する領域の一部に重ねて形成されることによって中継順序が前の受信用コイルとの誘導性結合の減少の程度が調整されていることを特徴とする請求項２０記載の電子回路。
  22. 　一辺に沿って複数のコイルを直線状に並べ、その一辺に対向する辺に沿って該コイルの２倍の間隔で複数の金属膜を直線状に並べた前記基板を複数備え、それら複数の基板を隣接基板に対して１８０度回転して積層して１つおきのコイルに金属膜を重ね、その２枚の基板をペアとして、前記コイル及び金属膜が並んでいる直線の方向に前記ペア単位でコイルの間隔だけ互い違いにずらせて積層されていることを特徴とする請求項２０又は２１記載の電子回路。
  23. 　積層される他の基板との間で誘導結合によって通信するコイルと該コイルに接続される中継器とを有する基板を備えることを特徴とする電子回路。
     
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