WO1999022878A3 - Verfahren zur korrosionsfesten beschichtung von metallsubstraten mittels plasmapolymerisation - Google Patents

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur korrosionsfesten Beschichtung von Metallsubstraten mittels Plasmapolymerisation, bei dem das Substrat in einem Vorbehandlungsschritt einer mechanischen, chemischen und/oder elektrochemischen Glättung unterworfen wird und anschließend bei einer Temperatur von weniger als 200 °C und einem Druck von 10-5 bis 100 mbar einem Plasma ausgesetzt wird, wobei in einem ersten Schritt in einem reduzierenden Plasma die Oberfläche aktiviert und in einem zweiten Schritt das Plasmapolymere aus einem Plasma, das wenigstens eine ggf. Sauerstoff, Stickstoff oder Schwefel enthaltende, unter den Bedingungen des Plasmas verdampfbare Kohlenwasserstoff- oder siliciumorganische Verbindung, die Fluor enthalten kann, enthält, abgeschieden wird.
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