TWI735629B - 框體治具、樹脂供給治具及其計量方法、模塑樹脂的計量裝置及方法、樹脂供給裝置、樹脂供給計量裝置及方法、與樹脂模塑裝置及方法 - Google Patents

框體治具、樹脂供給治具及其計量方法、模塑樹脂的計量裝置及方法、樹脂供給裝置、樹脂供給計量裝置及方法、與樹脂模塑裝置及方法 Download PDF

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Abstract

提供一種將框體的一側面開口部以單片薄膜無皺紋地覆蓋的框體治具、及使用其而在無連接空氣軟管等之下得以正確地計量重量之形成有樹脂收容部的樹脂供給用治具及其計量方法。

框體治具具備：內表面具有既定形狀的開口部的框體(13a)，該內表面對應於形成在模塑模具的夾持面上的模穴凹部；及薄膜把持部(13c)，把持將前述框體(13a)的一側開口部覆蓋地組裝的單片薄膜F的外周緣部，且至少於對向邊設置一對。

Description

框體治具、樹脂供給治具及其計量方法、模塑樹脂的計量裝置及方法、樹脂供給裝置、樹脂供給計量裝置及方法、與樹脂模塑裝置及方法
本發明係有關一種用於將單片薄膜與模塑樹脂一起搬送到模塑模具的框體治具、樹脂供給治具及其計量方法、模塑樹脂的計量裝置及方法、將模塑樹脂供給到樹脂供給治具的樹脂供給裝置、使用其等的樹脂供給計量裝置及方法、以及具備其等的樹脂模塑裝置及方法。
此外，單片薄膜係指除了預先形成為既定尺寸的各個薄膜之外，還包含從長尺寸狀或大尺寸的薄膜裁斷成既定尺寸所形成的薄膜。
作為當今半導體製造工廠中使用的樹脂模塑裝置，在作為工件的WLP(晶圓級封裝)或PLP(面板級封裝)的成型中，例如使用直徑為8英寸或直徑為12英寸的半導體晶圓或載體來進行樹脂模塑，或者使用300mm至600mm四方形大小(各邊為300mm至600mm大小)的工件(矩形板、基板、載體等)進行樹脂模塑。
此時，在利用上模中設置有模穴凹部的上模壓縮成型的模塑模具的情況，一般是進行將黏度高的 樹脂載放於工件的中心位置並一次向下模供給進行成型。此時，為將被供給到工件上的樹脂填充於模穴內，有必要使模塑樹脂大幅度流動，所以不適合於透過電線連接的電子零件的模塑成型。對此，亦進行利用下模壓縮成型的樹脂模塑，係於下模中設置模穴凹部，將含有該下模模穴凹部的下模夾持面以薄膜覆蓋且以均勻的厚度供給模塑樹脂，並且使保持在上模的工件浸泡在已熔融的模塑樹脂。
如此，在利用下模壓縮成型將薄膜及模塑樹脂供給到下模模穴凹部的情況，需要計量一次的樹脂模塑所需的樹脂並作供給。特別是在粉體樹脂或顆粒樹脂的情況，因為朝模具注入的同時會開始熔融，所以為減少開始注入時與注入完了時的時間差，有必要一次注入模塑樹脂。此時，在形成有上模模穴的上模壓縮成型的情況，雖可將樹脂載於基板並正確計量且一次將樹脂注入模具中，但在形成有下模模穴的下模壓縮成型的情況，基於將樹脂一次注入的理由而能考慮放在薄膜上再注入模具，被要求在保持薄膜上載放著樹脂的狀態下進行計量並搬送。若是高黏度的樹脂的情況，則亦可直接載放於薄膜上進行計量，但在顆粒樹脂或粉末樹脂的情況，為防止樹脂溢出，有必要將薄膜固定在框體的一面以形成樹脂收容部並進行計量及搬送。
因此，提案一種例如以離型薄膜封閉框體狀樹脂的樹脂收容用板的下方開口部，並對藉離型薄膜吸附固定機構吸附固定板周緣部的板，在注入側分配手 段設置饋送側計量手段(負載單元)以測量從料斗供給顆粒樹脂之前及之後的重量(參照專利文獻1：說明書段落[0028])而計量樹脂量的技術。且亦提案一種在樹脂材料的接收側分配手段設置板側計量手段(負載單元)以測量從料斗注入顆粒樹脂之前及之後的重量而計量樹脂量的技術(參照專利文獻1：說明書段落[0041])。或者提案將其等併用。
且亦提出了一種在用以對下模模穴供給顆粒樹脂的樹脂供給裝置的正下方設置電子天秤，一邊計量樹脂供給量是否已達到相對於初期值的目標值一邊進行樹脂供給的裝置(參照專利文獻2)。
先前技術文獻 專利文獻
專利文獻1 日本國特開2010-36542號公報
專利文獻2 日本國特開2005-335117號公報
如專利文獻1那樣，在用離型薄膜封閉樹脂收容用板的下方開口部並藉由離型薄膜吸附固定機構在板周緣部進行吸附固定的情況，是處在薄膜吸引用的軟管始終連接到該板之狀態。因此，在利用設於注入側分配手段或接收側分配手段中的給料機側計量手段來計量板在顆粒樹脂注入前後之重量時，並無法計量單獨的板(框體及薄膜)的正確重量。因此，無法正確地計量供給到樹脂收容用板的樹脂的量。
此外，如專利文獻2那樣設置用於測量樹脂供給裝置本身重量之電子天秤的情況，由於裝置構成大型化且重量增加，並且設有用於注入顆粒樹脂的電磁給料機，所以在振動收斂之前無法進行計量，計量會耗費時間，且亦有容易產生誤差的問題。
像這樣無法進行正確計量模塑樹脂時，則成型品質可能劣化，且當計量樹脂的計量耗費時間時，則耗費一次的樹脂模塑所需的時間，生產率亦會降低。
本發明之目的係解決上述習知技術的課題，並提供一種將框體的一側面開口部以單片薄膜無皺紋地覆蓋的框體治具、及使用其而在無連接空氣軟管等之下得以正確地計量重量之形成有樹脂收容部的樹脂供給用治具及其計量方法。
此外，還提供了一種正確計量模塑樹脂的計量裝置及方法、將模塑樹脂以無過多或不足地均勻地供給到樹脂供給治具的樹脂收容部、以及具備其等之樹脂計量供給裝置及方法。
且提供一種使用上述樹脂供給計量裝置及樹脂計量方法以提升成型品質及生產率的樹脂模塑裝置及方法。
本發明為實現上述目的而具備以下的構成。
一種框體治具，其特徵為具備：內表面具有既定形狀的開口部的框體，該內表面對應於形成在模塑模具的夾持面上的模穴凹部； 薄膜把持部，把持覆蓋前述框體的一側開口部而組裝的單片薄膜的外周緣部，至少於對向邊設置一對；及張力維持機構，能在把持著前述單片薄膜的外周緣部的狀態下維持既定的張力。
據此，可藉由至少設置在對向邊的一對的薄膜把持部，將覆蓋框體的一側開口部而組裝的單片薄膜的外周緣部把持，且在把持著單片薄膜的外周緣部的狀態下利用張力維持機構維持既定的張力，所以可在單片薄膜上無產生皺紋地進行組裝。
較佳為，前述框體係形成有表面難以附著模塑樹脂的被膜或使用模塑樹脂難以附著的材質。舉一個模塑樹脂難以附著之被膜的例子，可以使用硬鉻鍍敷、氟系塗層、釔系陶瓷。此外，舉一個模塑樹脂難以附著之材質的例子，例如，可以是陶瓷、耐熱樹脂等。因此，透過將框體表面的表面性質設為平滑面，可使模塑樹脂難以附著在框體開口部內。
一種樹脂供給治具，其特徵為具備：上述框體治具；覆蓋前述框體治具的框體的一側開口部的單片薄膜；及樹脂收容部，其藉由將前述單片薄膜的外周緣部以薄膜把持部把持著且施加有既定張力的狀態下進行保持，收容前述框體的一側開口被堵住所形成的模塑樹脂。
藉此，可在單片層膜上不產生皺紋下以簡單的構成來形成將框體的一側的開口部封閉之樹脂收容部。此 外，由於在框體未連接有薄膜吸附用的空氣吸引軟管等，因此可以正確地計量在模塑樹脂供給之前及之後的框體及薄膜單體的重量。
一種樹脂供給裝置，其特徵為：係對上述樹脂供給治具的樹脂收容部，一邊將模塑樹脂從樹脂注入部注入一邊至少在XY方向掃描，而將既定量的模塑樹脂供給到單片薄膜上。
依據上述構成，透過至少掃描樹脂注入部的XY方向，對樹脂收容部均勻地供給樹脂模塑所需的模塑樹脂，能對具有較寬面積的樹脂收容部均勻供給模塑樹脂，特別是可在未另外將顆粒樹脂或粉狀樹脂平坦化下無偏差地均勻地供給。
較佳為，在前述樹脂注入部設有能夠開閉注入口的擋板。因此，在藉由電磁給料機等定量搬送顆粒樹脂或粉狀樹脂時，可防止超過所需量之樹脂被注入或擴散到周圍。
較佳為，在前述樹脂注入部設有電離器，該電離器消除在框體開口部產生的靜電。
藉此，即使樹脂落下到框體開口部附近，也不會有因為靜電所致附著之情形。
較佳為，在前述樹脂注入部設有薄膜檢測感測器，該薄膜檢測感測器檢測單片薄膜在前述樹脂供給治具的張緊設置狀態。
藉此，防止樹脂供給治具中的單片薄膜的設定誤差而能防範模塑樹脂被誤注入。
在前述樹脂注入部亦可設有框體敲擊部，該框體敲擊部敲擊前述框體，使附著於含有傾斜部的開口部的內表面的模塑樹脂落入樹脂收容部。
藉此，即使假設模塑樹脂附著於框體開口部，亦可利用框體敲擊部敲擊框體使之落下到樹脂收容部而進行樹脂模塑。
一種模塑樹脂的計量裝置，其特徵為使用前述樹脂供給治具計量模塑樹脂的重量的計量裝置，其中，由供給前述模塑樹脂到前述樹脂收容部之前的前述樹脂供給治具的重量及供給前述模塑樹脂到前述樹脂收容部之後的前述樹脂供給治具的重量，計量樹脂模塑所需的樹脂量。
藉此，由於在框體未連接有薄膜吸附用的空氣吸引軟管等，因此可以正確地計量在模塑樹脂供給之前及之後的框體及薄膜單體的重量。因此，可以正確地計量一次的樹脂模塑所需的樹脂量。
此外，一種樹脂供給計量裝置，其特徵為具備：前述任一項樹脂供給治具、前述任一項之樹脂供給裝置及前述模塑樹脂的計量裝置。
因此，利用樹脂供給裝置將模塑樹脂均勻地供給到形成在樹脂供給治具中的樹脂收容部，且正確地測量樹脂供給治具在模塑樹脂供給前後之重量，藉此可正確計量樹脂供給量。
一種樹脂模塑裝置，其特徵為具備：前述樹脂供給計量裝置，且將向樹脂收容部供給一次的樹脂 模塑所需的模塑樹脂的樹脂供給治具搬送到模塑模具並進行模塑成型。
藉此，正確且快速地計量一次份的樹脂模塑所需的模塑樹脂並供給到形成在樹脂供給治具中的樹脂收容部，並從樹脂供給治具將單片薄膜及模塑樹脂轉移到模塑模具並進行模塑成型，可以提升成型品質及生產率。
一種模塑樹脂的計量方法，其特徵包含：準備具有樹脂收容部的樹脂供給治具之工序，內表面具有既定形狀的開口部的框體之一側開口部被單片薄膜覆蓋，該內表面對應於形成在模塑模具的夾持面上的模穴凹部；及計量工序，係藉由將模塑樹脂供給前後的前述樹脂供給治具直接支撐於計量裝置，以計量前述模塑樹脂的重量。
因此，透過將模塑樹脂供給前後的樹脂供給治具利用計量裝置直接支撐，可以正確地計量模塑樹脂的供給量。
亦可作成：進一步包含對前述樹脂收容部，透過樹脂供給裝置將既定量的模塑樹脂從框體的一側開口均勻地供給到前述單片薄膜的工序，並將取得前述模塑樹脂供給到前述樹脂收容部之前的前述樹脂供給治具的重量與模塑樹脂供給到前述樹脂收容部之後的前述樹脂供給治具的重量之差分所計量之既定量的樹脂，從前述樹脂供給裝置進行供給。
或者，亦可作成：將取得前述模塑樹脂供給到前述樹脂收容部之前的前述樹脂供給治具的重量與模塑樹脂供給到前述樹脂收容部之後的前述樹脂供給治具的重量之差分所計算之樹脂量，由前述計量裝置一邊進行計量一邊從前述樹脂供給裝置供給模塑樹脂。
藉此，可以在相同的位置連續地進行模塑樹脂的計量和供給，並可減少裝置面積且快速進行樹脂供給動作。
一種樹脂供給計量方法，係從一側開口部將既定量的模塑樹脂一邊供給到樹脂供給治具一邊進行計量的樹脂供給計量方法，該樹脂供給治具係藉由使覆蓋另一側開口部的單片薄膜保持在內表面具有既定形狀的開口部之框體而形成樹脂收容部，該內表面對應模穴凹部，該樹脂供給計量方法之特徵包含：使前述框體以另一側開口部被覆蓋的方式重疊於前述單片薄膜，同時以在前述單片薄膜的外周緣部的至少對向邊被把持且施加有既定張力的狀態下進行保持而形成具有前述樹脂收容部之前述樹脂供給治具的工序；藉由將前述樹脂供給治具直接支撐於計量裝置上而計量前述樹脂供給治具的重量之計量工序；對前述樹脂收容部，從前述框體的一側開口部藉由樹脂供給裝置將既定量的模塑樹脂均勻地供給到前述單片薄膜上之工序，從前述模塑樹脂供給到前述樹脂收容部之前的前述樹脂供給治具的重量與前述模塑樹脂供給到前述樹脂收容部之後的前述樹脂供給治具的重量，將前述計量裝置 所計量之樹脂模塑所需的樹脂量，從前述樹脂供給裝置進行供給。
依據前述樹脂供給計量方法，可在形成樹脂收容部的單片薄膜上不產生皺紋下供給模塑樹脂。此外，在樹脂供給治具未連接有空氣吸引用的軟管下可計量樹脂供給前後之樹脂供給治具的正確重量而無過多或不足地供給一次的樹脂模塑所需的樹脂量。
較佳為，具備平台部，係在將前述單片薄膜維持吸附保持在一側的狀態下將前述框體重疊在前述單片薄膜上，以覆蓋另一側開口部，同時在維持把持著該單片薄膜的外周緣部並施加張力之狀態下使之保持於前述框體而在樹脂供給治具中形成樹脂收容部，在前述平台部設置有貫通孔或切口，前述計量裝置係使計量銷從前述平台部的一側穿過貫通孔或者經由切口部支撐前述樹脂供給治具，藉以計量前述樹脂供給治具的重量。
藉此，在維持使單片薄膜吸附保持於平台部的狀態下組裝於框體可於樹脂供給治具形成樹脂收容部，而且透過將計量裝置配置在平台部的正下方並直接支撐樹脂供給治具而可進行計量。
因此，可在無需設置面積下在同一位置快速且正確地進行樹脂供給治具的組裝動作與樹脂供給治具及模塑樹脂的計量動作。
由於前述樹脂供給裝置係至少掃描樹脂注入部的XY方向而對前述樹脂收容部均勻地供給樹脂模塑所需的模塑樹脂，所以能對具有較寬面積的樹脂收容 部均勻供給模塑樹脂，特別是在未另外將顆粒樹脂或粉狀樹脂平坦化之下可無偏差地均勻地供給。
較佳為，前述樹脂供給裝置係重複在供給到樹脂收容部的樹脂量達到既定量之前暫時停止供給動作並在利用前述計量裝置計量後，變更每單位時間的樹脂注入量進行供給的動作。
藉此，可以一邊微調一邊供給模塑樹脂，以盡可能接近目標樹脂供給量。
此外，樹脂模塑方法之特徵為：包含將藉由前述任一項樹脂供給計量方法向樹脂收容部供給樹脂模塑所需的模塑樹脂的樹脂供給治具，藉由樹脂供給裝載器搬送到模塑模具並將單片薄膜及模塑樹脂轉移到前述模塑模具之工序。
藉此，透過正確且快速計量一次份的樹脂模塑所需的模塑樹脂，且無過多或不足地供給到形成在樹脂供給治具中的樹脂收容部，並從樹脂供給裝載器將單片薄膜及模塑樹脂轉移到模塑模具，可以提升成型品質及生產率。
若使用如上述的框體治具，則能將框體的一側開口部以單片薄膜無皺紋地覆蓋。
此外，依據樹脂供給治具及其計量方法，在上述框體治具未連接有空氣軟管等之下可在供給模塑樹脂之前正確地計量框體和薄膜單體的重量。
此外，關於模塑樹脂的計量裝置及方法，可正確計量模塑樹脂。
此外，在樹脂供給裝置中，能夠將模塑樹脂(特別是顆粒樹脂、粉狀樹脂、液狀樹脂)均勻地供給到樹脂供給治具的具有較寬的面積之樹脂收容部。
此外，在具備其等的樹脂計量供給裝置及方法中，可在計量位置處無過多或不足地供給模塑樹脂。
此外，可提供使用上述樹脂供給計量裝置及樹脂計量方法提升成型品質及生產率的樹脂模塑裝置及方法。
Ud‧‧‧分配單元
Up‧‧‧壓機單元
Uw‧‧‧工件處理單元
W‧‧‧工件
1‧‧‧工件供給部
2‧‧‧成型品收納部
M‧‧‧成型品
3‧‧‧硬化爐
4‧‧‧機器人搬送裝置
4a‧‧‧機械手臂
5‧‧‧按壓部
5a‧‧‧柱
6‧‧‧模塑模具
6A‧‧‧上模
6B‧‧‧下模
6C‧‧‧下模模穴凹部
6a:上模夾持面
6b:空氣吸附孔
6c:空氣吸引路徑
6d:工件保持銷
6e:下模塊
6f:下模模穴件
6g:下模可動夾具
6g1、6g2:空氣吸引路徑
6h:螺旋彈簧
6i:密封環
6j:推動器
8:薄膜供給部
8a:薄膜卷
F:單片薄膜
9:分配器
9a:第1儲存部
9b:第2儲存部
9c:擠型機構
9d:注射器
10:工件裝載器
11:樹脂供給裝載器
11a:裝載器手爪
12:薄膜回收部
13:樹脂供給治具
13a:框體
13a1:外框體
13b:支點框體
13c:薄膜夾盤
13d:旋轉桿
13e:旋轉軸
13f:棘輪機構
13g:傾斜部
13n:卡止孔
14:導軌
15:上推銷
16:槽
17:平台部
17a:薄膜吸附孔
17b:貫通孔
18:刀具
20:薄膜下垂檢測部
21:計量裝置
21a:計量銷
22:樹脂收容部
23:掃描機構
23a:X軸驅動引導件
23b:Y軸驅動引導件
23c:Z軸驅動引導件
23d:掃描軸
23e:伺服馬達
24:擋板
24a:開閉缸
25:廢棄樹脂回收箱盒
26:電離器
27:框體敲擊部
27a:敲擊柱
28:薄膜檢測感測器
28a:升降缸
圖1是表示樹脂模塑裝置的概略構成的平面佈置圖。
圖2是表示單片薄膜的供給工序和樹脂供給治具的組裝構成的說明圖。
圖3是接於圖2之後的樹脂供給治具的樹脂供給前的計量工序和模塑樹脂供給工序的說明圖。
圖4是表示接於圖3之後的樹脂供給治具的樹脂供給後的計量工序和樹脂供給治具的搬送工序的說明圖。
圖5是樹脂供給治具的俯視圖。
圖6是表示模塑模具的構成的剖視圖。
圖7是表示將單片薄膜和模塑樹脂供給到圖6的下模的工序之說明圖。
圖8是表示接於圖7之後的單片薄膜和模塑樹脂的供給工序之說明圖。
圖9是表示接於圖8之後的樹脂模塑工序的說明圖。
圖10是表示分配器將顆粒狀樹脂供給到樹脂供給治具的一例之說明圖。
圖11是表示分配器將液狀樹脂供給到樹脂供給治具的一例之說明圖。
圖12是表示設置有複數個分配器的情況的說明圖。
圖13是有關涉及其他例的樹脂供給治具的俯視圖。
圖14是顯示涉及圖10的其他例的分配器的一例之說明圖。
以下，針對本發明的框體治具、樹脂供給治具及其計量方法、計量裝置、樹脂供給裝置、樹脂供給計量裝置及方法、以及樹脂模塑裝置及方法的較佳實施形態，連同附圖一起詳細說明。在以下，使用是以各邊大約600mm的矩形狀工件作為工件且以大於矩形狀工件尺寸的單片薄膜作為薄膜進行樹脂模塑的樹脂模塑裝置作說明。當然，作為工件，不僅是上述那樣的大尺寸，亦可以是300mm×100mm左右之較小短條狀的工件。雖然工件的一例是以短條矩形作說明，但未必受此所限，亦可以是圓形的晶圓或載體。此外作為樹脂模塑裝置的一例，以假設下模是可動模、上模是固定模來作說明。雖樹脂模塑裝置具備模具開閉機構，但省略圖示且以模塑模具的構造為中心作說明。
首先，參照圖1說明樹脂模塑裝置的概略構成。在該樹脂模塑裝置中，控制單元(未圖示)控制後 述的各部進行各種動作。在本實施例的模塑裝置係連結工件處理單元Uw、兩台壓機單元Up和分配單元Ud(供給單元)，並且對裝置內中的工件W自動執行樹脂模塑的構成。
工件處理單元Uw具備例如工件供給部1、成型品收納部2、硬化爐3和機器人搬送裝置4。在工件供給部1中，例如在工件W方面收納有各邊約600mm的大小的工件(矩形面板、基板、載體等)。在成型品收納部2中，於後述的按壓部5中儲存有經樹脂模塑的成型品M。硬化爐3係將藉由以後述的按壓部5將經樹脂模塑成半硬化狀態的成型品M分別收納在設於爐內的多層架並進行後硬化，使樹脂封裝部加熱硬化。機器人搬送裝置4係在將其包圍配置的各部之間進行工件W及成型品M的轉移或搬送。該機器人搬送裝置4係例如從工件供給部1取出工件W並作供給，將成型品M搬送到硬化爐3，從硬化爐3朝成型品收納部2依序搬送並收納。機器人搬送裝置4係例如使用垂直多關節型、水平多關節型或將其等複合之多關節型的機器人，且透過將工件W和成型品M吸附或把持而保持在機械手臂4a上並作搬送。此外，在工件處理單元Uw中，亦可將冷卻成型品M的冷卻部、進行成型品之外觀檢查等之檢查部、讀取與各個工件W賦予關聯的成型條件之數據讀取部、及用以將工件W或成型品M的表背面反轉的反轉部配置在機器人搬送裝置4的周圍。例如，於工件供給部1，當工件W中要進行樹脂模塑成型的表面(成型面)被朝上地供給時，反轉部使成型面朝向下表面。此外，反轉部係以成型面朝上的方式使之反轉，直到樹脂模塑成型完成後的成型品M收納到成型品收納部2中為止。
壓機單元Up中的按壓部5係具備有用於壓縮成型的模具6(上模6A和下模B)，該壓縮成型的模具6在使台板(platen)對設於四個角落處的柱5a升降的公知的模具開閉機構上進行開閉。在本實施例中，壓機單元Up設在兩個位置，但亦可設置在一個位置處，也可以設置在三個或更多個位置處。
樹脂供給治具13，係在從分配器9(樹脂供給裝置)向分配單元Ud中的從薄膜供給部8供給的單片薄膜F供給模塑樹脂(例如顆粒樹脂、粉末樹脂、液狀樹脂等)的狀態下被供給到按壓部5的模塑模具6中。在薄膜供給部8設置有捲繞有長形卷狀薄膜的薄膜卷8a。在薄膜端由此薄膜卷8a抽到平台部17(參照圖2A)的狀態下，藉由刀具18切斷(裁斷)成任意尺寸的矩形並作為單片薄膜F被吸附保持在平台部17上。在平台部17上，薄膜吸附用的薄膜吸附孔17a被設置在四邊(參照圖2A)。且在平台部17的複數個位置設有用以***後述的計量裝置21(例如，電子天秤)的計量銷21a的貫通孔17b。計量裝置21係配置在平台部17的正下方(參照圖3H)。此外，亦可設置供計量銷21a通過的切口以取代設置於平台部17中的貫通孔17b，再者亦可作成從平台部17的外周側支撐框體13a。貫通孔17b只要是在可臨時支撐框體13a的位置即可，且計量銷21a不一定需要是銷的形狀，亦可為塊狀。將具備上述的樹脂供給治具13、分配器9及計量裝置21的構成定義為樹脂供給計量裝置。
透過對覆蓋框體13a一側開口的單片薄膜F賦予所需的張力(tension)並支撐而在樹脂供給治具13形成樹脂收容部22。利用分配器9將一次份的樹脂模塑所需的模塑樹脂R(顆粒樹脂)從框體13a的另一側開口供給到該樹脂收容部22。此外亦可使用粉末樹脂、液狀樹脂或單片樹脂、或其等組合來代替顆粒樹脂。
單片薄膜F係具耐熱性且於模塑後容易從模具表面及樹脂表面剝離者，以使用具柔軟性及延展性，例如PTFE、ETFE、PET、FEP薄膜、氟含浸玻璃布、聚丙烯薄膜、聚偏二氯乙烯等作為主成分的單層膜或複層膜較佳。
工件裝載器10從機器人搬送裝置4的機械手臂4a接取工件W並搬入按壓部5的模塑模具6(上模6A)中。此外，工件裝載器10從模塑模具6接取成型品M並轉移到機器人搬送裝置4的機械手臂4a。在從模塑模具6取出成型品M之際，工件裝載器10亦將已使用過的薄膜F吸附保持地取出，所取出的單片薄膜F回收到薄膜回收部12中。
樹脂供給裝載器11係接收被賦予所需張力而保持在樹脂供給治具13上的單片薄膜F及被供給到該薄膜F上的模塑樹脂R(顆粒樹脂)，並朝模塑模具6(下模6B)搬送。樹脂供給治具13係如同後述，供給一次份 的樹脂模塑所需的模塑樹脂R之前後的重量係由配置在平台部17的下方(圖1中的樹脂供給位置下方，參照圖3H)的計量裝置21所計量。工件裝載器10及樹脂供給裝載器11係設置成沿著順著裝置的長邊方向舖設的複數導軌14而往復移動。且形成以從導軌14上的位置正交的方式使裝載器手(未圖示)朝各部(例如，按壓部5)移動。此外，在樹脂供給裝載器11的裝載器手的下部，設置有可藉由氣缸等開閉的裝載器手爪11a(參照圖2D)。
此處，參照圖2和圖5針對樹脂供給治具13的構成進行說明。
如圖2D所示，樹脂供給治具13係具備在內表面上具有既定形狀(例如矩形形狀)的框體13a，該框體對應於包圍後述之下模模穴凹部6C的下模夾持面的平面形狀。在樹脂供給治具13中作為支點部的向單片薄膜F賦予張力的支點框體13b是沿著框體13a設置成矩形形狀(參照圖5)。作為支點部，亦可使用框體13a的外側角部來取代設置支點框體13b。
另外，於樹脂供給裝置13的外側，設有將單片薄膜F的外周緣部遍及全周的範圍進行把持的複數個薄膜夾盤13c(薄膜把持部)(將在框體13a具備有薄膜夾盤13c(薄膜把持部)的構造定義為框體治具)。具體言之，如圖2D所示，為把持並搬送矩形的單片薄膜F，在對向的邊上設置能開閉的一對的薄膜夾盤13c。在本實施例中，薄膜把持部雖設置在框體治具的對向的邊之四個位置(XY方向)上，但至少有對向的一對邊即可。一對 的薄膜夾盤13c係使用開閉型夾盤，並將矩形的單片薄膜F的外周緣部夾入並保持在各邊上。一對的薄膜夾盤13c的長邊方向兩端係藉由一對旋轉桿13d(旋轉構件)分別支撐。一對旋轉桿13d係在框體13a中設置成能以形成在比薄膜夾盤13c還內側的旋轉軸13e為中心進行旋轉。因此，一對的薄膜夾盤13c成為設置在旋轉桿13d中的旋轉軸13e的對向側。旋轉桿13d係設置有僅在沿著對支點框體13b偏移的方向上旋轉的偏移機構。一對的薄膜夾盤13c係處在始終分開的狀態，成為如後述般在外框體13a1接近框體13a時利用凸輪機構將薄膜端部夾入。
具體言之，如圖5中所示，在該薄膜夾盤13c的旋轉軸13e上設有供棘輪齒與棘爪嚙合的棘輪機構(單向離合器機構)13f(張力維持機構)。棘輪機構13f係允許薄膜夾盤13c以旋轉軸13e為中心僅朝從支點框架13b分開的方向旋轉既定角度(往圖2F中的箭頭開啟方向旋轉並上拉)。藉此，使薄膜夾盤13c在朝一方向旋轉後的既定旋轉位置停止並多段鎖定，藉此可在維持著施加於單片薄膜F上的張力之狀態下進行搬送，且成為在要解除的情況係在成為一定以上的旋轉角度時可解除的構成。此外亦可取代棘輪機構13f而改為作成藉由像伺服馬達或轉矩馬達的驅動機構對單片薄膜施加任意的張力且維持所施加的張力之構成。在這種情況下，與設置棘輪機構13f的構成相比，樹脂供給裝置13容易大型化，另一方面，雖然可隨時調整施加到單片薄膜F的 張力這點是理想的，但因為難以成為樹脂供給裝置單體，所以會導致難以正確地完成後述的計量。
此外，旋轉桿13d係由在框體13a外側設置成可動的外框體13a1所支撐。外框體13a1係構成為與藉由設於樹脂供給裝載器11中的未圖示之氣缸等的驅動源而進退移動的卡止部卡合，從而能相對於框體13a的各邊進行接觸或離開。又，一對的薄膜夾盤13c係形成為當外框體13a1朝向接近框體13a的方向移動時，的薄膜夾盤13c依未圖示之凸輪機構而關閉。藉此，如後述般，可藉由一對的薄膜夾盤13c分別夾入單片薄膜F的各外周緣部(參照圖2E)。
如圖2E所示，在透過一對的薄膜夾盤13c把持著單片薄膜F的外周緣部(四邊)的狀態下，透過利用未圖示的升降驅動機構(氣缸驅動、螺線管驅動、馬達驅動等)升降的上推銷15將旋轉桿13d上推。此時，旋轉桿13d係以旋轉軸13e為中心旋轉使薄膜夾盤13c沿著對支點框體13b分離的方向偏移(往箭頭開啟的方向旋轉並上拉)以將薄膜夾盤13c多段鎖定。藉此，覆蓋樹脂供給治具13的框體開口部的單片薄膜F的端部彼此隔介著支點框體13b而增加被分開的量並在施加有所需張力的狀態下一體地保持。此外，在使旋轉桿13d返回原本的位置之情況，當再次透過上推銷15使旋轉桿13d上推達既定角度時，棘輪機構13f(參照圖5)的嚙合被解除而能使旋轉桿13d回到原本的位置。
如同一圖所示，藉由使薄膜夾盤13c以旋轉軸13e為中心旋轉使薄膜夾盤13c從支點框體13b分離，可使單片薄膜F的端部彼此隔介著支點框體13b被分離的量增加而增強張力。特別是藉由以配置在四邊上的薄膜夾盤13c的旋轉軸13e為中心的各個旋轉，使得單片薄膜F的張力可按每一邊作多段調整，所以可將能對單片薄膜F施加適當的張力的樹脂供給治具13作成小型且簡易的構成。
如以上所述，藉由框體狀樹脂供給治具13與覆蓋其一側(下方側)開口的單片薄膜F而形成樹脂收容部22。從分配器9(參照圖1)對已賦予該所需張力的單片薄膜F，例如從分配器9(參照圖1)自另一側(上方側)的開口通過槽16(樹脂注入部)供給一次份的樹脂模塑所需的模塑樹脂R(顆粒樹脂)，且不偏倚(參照圖3J)地均勻(平坦)供給到單片薄膜F上。此外，在框體13a的上部開口形成有俯視呈矩形的越靠近開口側口徑越寬的傾斜部13g。透過將模塑樹脂R供給到該傾斜部13g的內側，可以將模塑樹脂R以任意形狀供給到單片薄膜F上。在這種情況下，藉由傾斜部13g來防止被供給到單片薄膜F上的模塑樹脂R騎上框體13a。此外，包含傾斜部13g在內藉由將框體13a的內側作成圓形，也可以將模塑樹脂R供給到單片薄膜F(參照圖13)上的圓形區域內。據此，光是變更部分的構成，就可在無關乎外形是圓形或矩形的模穴的形狀之下利用同樣的單片薄膜F的搬送構造。此外，框體13a係以採用金屬材(例如，鋁材)且在 該金屬基材的表面形成有樹脂難以附著的被膜者較佳。作為模塑樹脂難以附著的被膜的一例，可以使用硬鉻鍍敷、氟系塗層、釔系陶瓷。又，除了金屬基材以外，也可以使用模塑樹脂不易附著在基材本身的材料。舉一材質的例子，例如可以是陶瓷、耐熱樹脂等。因此，藉由將框體13a的表面的表面特性設為平滑，可使模塑樹脂R難以附著。
此外，在框體13a的複數個部位設置有卡止孔13n，以供樹脂供給裝載器11的裝載器手爪11a***並卡止(圖5中的每一邊各兩個)。然後，如圖4N所示，將模塑樹脂R供給到形成樹脂收容部22的單片薄膜F上，在計量完成的狀態下，樹脂供給裝載器11的裝載器手爪11a使樹脂供給治具13(框體13a)被夾持並搬送到模塑模具6。
此處，當透過樹脂供給裝載器11的裝載器手爪11a使樹脂供給治具13從平台部17被上舉時(參照圖4M)，如張力不足則單片薄膜F可能因模塑樹脂R的重量而在中央等處下垂。於是，亦可將薄膜下垂檢測部20設置在接***台部17的位置(參照圖5)。作為薄膜下垂檢測部20，可設為具備發光部與受光部並檢測其等間之遮蔽狀態或遮蔽位置的光學或雷射感測器之構成。作為一例，可作成在包夾樹脂供給治具13的位置處設有發光部與受光部之構成。此外，作為薄膜下垂檢測部20，藉由檢測在平台部17上的空間中的遮蔽物，可以檢測當將樹脂供給治具13上舉時單片薄膜F是否從適當的位置 下垂(單片薄膜F的張緊設置狀態)。薄膜下垂檢測部20能僅設置一對以檢測在一個方向的下垂，亦能如圖5所示設置兩組以在交叉的2個方向上作檢測。此外，作為薄膜下垂檢測部20，只要能檢測單片薄膜F的下垂則可設為任何構成。例如，亦可以是接觸感測器(開關)，亦可設為在將當樹脂供給治具13上舉到既定高度時檢測下垂的單片薄膜F是否接觸之構成。此外，薄膜下垂檢測部20係為作成不在樹脂供給治具13設置電氣配線而設置在樹脂供給治具13的外部。
此外，將圖3所示之矩形的單片薄膜F的各邊各自把持的薄膜夾盤13c亦可作成使在各邊的上推量均勻或不同。在這種情況下，例如，透過使按單片薄膜F的各邊設置的上推銷15的上推量均一，可以施加與以旋轉軸13e為中心的旋轉量對應的張力。此外，亦可使在對向的邊上的一對的薄膜夾盤13c組之上推量不同。在這種情況下，因應於單片薄膜F的各邊的長度或依因從薄膜卷8a抽出的方向等所致薄膜拉伸的容易性等，使每組薄膜夾盤13c的上推量不同，也能使施加到單片薄膜F的各邊的張力均一。此外，在矩形的單片薄膜F是長方形的情況，薄膜夾盤13c係至少在短邊側的對向邊設置一對即可。
例如，若為圖3所示那樣的橫向長型薄膜，則使在長邊方向(同一圖的左右方向)拉扯的兩邊(右邊及左邊)的一對的薄膜夾盤13c的上推量，與在短邊方向(同一圖的上下方向)拉扯的兩邊(上邊及下邊)的一對的薄膜 夾盤13c的上推量相異即可。亦即，將長邊方向的薄膜夾盤13c的上推量設成大於短邊方向的薄片夾盤13c的上推量即可。換言之，透過對長邊拉伸的量多，無論邊的長度為何都可設成被均勻拉伸的狀態。據此，能使在長邊方向及短邊方向上施加於薄膜F的張力均等。
另外，如同一圖所示，並不限於將單片薄膜F按每一邊作一體地夾持的情況，薄膜夾盤13c亦可在一邊分割成複數個作設置。在這種情況下，依據在單片薄膜F上產生的皺紋的狀態(位置)，改變處在一邊的位置處的薄膜夾盤13c的旋轉量，施加張力使單片薄膜F扭轉而能以拉伸著皺紋的狀態進行保持。例如，當有一部分張力提高時，則會在該位置以外的位置處產生皺紋。因此，可作成首先在均勻地將薄膜夾盤13c上頂並施加張力後，在發生皺紋時減弱該部分的張力或提高該部分以外的張力之構成，再者，薄膜夾盤13c亦可作成不僅為了以在與邊部的延伸方向交叉的方式拉扯而以既定長度在單片薄膜F的邊進行把持的構成，且是為了作成以在單片薄膜F的角部從中心拉開的方向拉伸的方式而把持單片薄膜F的角部之構成。
藉此，透過改變已分割之薄膜夾盤13c與支點框體13b的偏移量，且藉由以因應在單片薄膜F產生的皺紋的方向或皺紋的大小來扭轉薄膜F的方式施加張力，可以解消薄膜固有的皺紋的產生。
其次，參照圖6說明按壓部5所具備的模塑模具6的構成。本實施例係例示壓縮成型用的模塑模 具6。此模塑模具6係透過在任意位置設置加熱器(未圖示)，對模塑樹脂R進行加熱硬化，對工件W進行樹脂模塑而製造成型品M。為了將工件W吸附保持，在上模6A的上模夾持面6a上形成空氣吸附孔6b及與此連通的空氣吸引路徑6c。此外，在矩形工件W的外緣部，工件保持銷6d在複數個位置設置於對向位置。工件保持銷6d係將工件W的外周面按壓並保持。工件保持銷6d可以是圓柱狀銷或角柱狀銷，較佳為，作成隔著彈性體壓抵於工件W的構成。此外，工件保持銷6d亦可作為在吸附和保持工件W時將工件W定中心的引導件。依據這樣的構成，例如與工件W的外周被L形爪狀鉤保持的構成相比，可以擴大模穴的面積。
下模6B是在下模塊6e上一體地支撐形成下模模穴底部的下模模穴件6f。在下模模穴件6f的周圍形成下模模穴側部的下模可動夾具6g是隔著螺旋彈簧6h浮動地支撐於下模塊6e上。利用下模模穴件6f及下模可動夾具6g形成下模模穴凹部6C。下模可動夾具6g與下模模穴件6f之間係設有密封環6i(O型環)而被密封。此外，在下模可動夾具6g分別設有空氣吸引路徑6g1、6g2，用於將單片薄膜F吸附保持於含有下模模穴凹部6C的下模面。空氣吸引路徑6g1從下模模穴件6f與下模可動夾具6g之間隙吸附薄膜內周側，空氣吸引路徑6g2是在下模可動夾具6g的夾持面吸附薄膜外周側。因此，單片薄膜F係被以可追隨下模模穴凹部6C的凹狀之方式吸附。此外，在上模6A與下模6B之間亦可設有 當開始模具夾持動作時用以在模具內形成減壓空間之上下一對的夾持塊(未圖示)。
此外，在下模6B的下模可動夾具6g的外側設置有推動器6j(張力施加機構)。該推動器6j係為進一步增強朝向單片薄膜F的張力而設置。例如，當透過樹脂供給裝載器11使單片薄膜F與樹脂供給治具13一起被搬入下模6B時，單片薄膜F會因為來自下模6B的輻射熱而伸展導致張力降低，在這種情況下，若單片薄膜F的張力降低而產生下垂時，則單片薄膜F的中心部會因為單片薄膜F的自重或所供給的模塑樹脂R的重量而下垂。在這種情況下，當單片薄膜F載置於下模6B上時，單片薄膜F的下垂有時會起皺紋。此外，推測當單片薄膜F的中心部的下垂變大時，認為會導致模塑樹脂R在中心聚集，且難以在模穴內均勻地供給模腔樹脂R。因此，推動器6j係構成為設置在與下模6B的旋轉桿13d對應的位置，並且例如藉升降驅動機構(例如，氣缸驅動、螺線管驅動、馬達驅動等的驅動機構)升降，使旋轉桿13d可旋轉。該推動器6j係為增加一對的薄膜夾盤13c的偏移量並進一步增強朝向單片薄膜F的張力而設置。此外，該推動器6j也可用於棘輪機構13f之解除。
當透過樹脂供給裝載器11將單片薄膜F與樹脂供給治具13一起載置於下模6B(下模可動夾具6g)時，配置在旋轉桿13d正下的推動器6j作動使旋轉桿13d沿著增加薄膜夾盤13c的偏移量的方向旋轉。藉此，可防止在模具夾持之前單片薄膜F的張力降低。當然，亦 可在薄膜F接近下模6B時，沿著使薄膜夾盤13c的偏移量增加的方向旋轉。
其次，參照圖2，針對單片薄膜F的供給工序與樹脂供給治具13的組裝工序進行說明，參照圖3，針對樹脂供給治具的樹脂供給前之計量工序與模塑樹脂供給計量工序作說明，參照圖4，針對樹脂供給治具的樹脂供給後之計量工序與樹脂供給治具的搬送工序作說明。
於圖2A中，將薄膜端從薄膜供給部8(參照圖1)中的薄膜卷8a拉到平台部17的上側。薄膜端係在例如藉未圖示之夾盤手把持著的狀態下被拉出既定量到平台部17上。
其次，如圖2B所示，使平台部17上升以與長尺寸的薄膜F密接。接著，利用未圖示的吸引裝置從薄膜吸附孔17a進行吸引而在與平台部17的矩形的四邊對應的位置將薄膜F吸附保持且無皺紋的狀態下，作動刀具18而切成比模穴凹部大之既定的矩形尺寸。在本實施例中，將其切割成比下模可動夾具6g的外形大的矩形。圖2C顯示切割後的單片薄膜F。單片薄膜F係處在被平台部17吸附保持的狀態。
其次，在圖2D中，在已切斷的單片薄膜F上重疊藉由樹脂供給裝載器11的裝載器手爪11a所保持的框體13a。裝載器手爪11a被***卡止孔13n而在保持將框體13a卡止的狀態下載置於被吸附保持在平台部17上的單片薄膜F上。此時，外框體13a1位於比框體13a 還偏離外方的位置，由旋轉桿13d所支撐的薄膜夾盤13c係在比單片薄膜F的外周緣部還外側處於開放狀態。
在圖2E中，成為外框體13a1藉由搭載於樹脂供給裝載器11側的氣缸機構而在接近框體13a的方向移動，係由旋轉桿13d所保持的薄膜夾盤13c在單片薄膜F的四邊且其外周緣部進入一對的薄膜夾盤13c之間的狀態。此時，藉未圖示的凸輪機構使設置在各邊上的一對的薄膜夾盤13c分別關閉，從而夾住單片薄膜F的各邊外周緣部。此外，事先解除利用平台部17的薄膜吸附孔17a的吸附動作。且使未圖示之驅動源作動而開始上推銷15的上推動作。
接著，在圖2F中，當上推銷15與旋轉桿13d抵接時，轉動桿13d是以旋轉軸13e為中心沿箭頭方向旋轉。旋轉方向係為使薄膜夾盤13c從支點框體13b偏移(分開)的朝向。藉此，因為單片薄膜F會被薄膜夾盤13c從兩側拉伸，所以單片薄膜F的端部隔介支點框體13b被拉開的量、即單片薄膜F被捲繞的角度增加而在支點框體13b之間使薄膜張力增加(將旋轉桿13d往開啟方向旋轉並上拉)。且此時，圖5所示的棘輪機構13f作動，旋轉桿13d在旋轉位置被多段地保持，所以在加強覆蓋框體13a的框體開口部的薄膜張力之狀態下被維持。因此，形成框體13a的一側開口(下部開口)被單片薄膜F所覆蓋的樹脂收容部22。另外，因為單片薄膜F朝向平台部17的吸附被解除，故能以任何強度使張力作用於單片薄膜F以拉伸皺紋。
如此，藉由作成使薄膜夾盤13c對支點框體13b(支點部)上下移動並收縮單片薄膜F的構成，例如，與將薄膜夾盤13c沿橫向拉動地施加張力的構成相比，可以有效地對單片薄膜F施加張力。此外，在俯視圖中可將對單片薄膜F施加張力的裝置構成予以小型化。亦即，單片薄膜F尺寸越大，為了施加同等的張力，拉伸量會變大，但在將薄膜夾盤13c沿橫向拉伸時，必須在裝置內確保因應其拉伸量的面積而無法避免裝置大型化。相對地，依據上述本實施例中的構成，即使為提高朝向單片薄膜F的張力而加大拉伸量，亦可在不增加裝置面積之下有效地抑制裝置的大型化。此外，由於將薄膜夾盤13c設為可繞旋轉軸13e旋轉，並且將旋轉桿13d的薄膜夾盤13c側以上推銷15向上推動並使之旋轉，因此能以小的力量朝單片薄膜F施加張力。
其次，在圖3G中，利用樹脂供給裝載器11的裝載器手爪11a將框體13a的保持解除並從卡止孔13n退避。裝載器手爪11a係移動到樹脂供給裝載器11側(參照圖1)並從平台部17的正上方退避。此外，透過使旋轉桿13d旋轉，上推銷15係停止在薄膜夾盤13c從支點框體13b偏移的位置(使張力作用於單片薄膜F的狀態)。
其次，在圖3H中，使上推銷15從旋轉桿13d分離的方式退避並開始利用配置在平台部17正下方的計量裝置21進行計量動作。計量銷21a與貫通孔17b對位並待機，計量裝置21係設置成能夠藉由未圖示的升降機構而升降。
在本實施例中，因為要在平台部17上的一個部位進行單片薄膜F的切斷與單片薄膜F朝向框體治具把持及計量，所以在計量時有必要使計量銷21a在平台部17通過貫通孔17b進行上下，但是也可以作成將計量裝置21配置在別的位置進行計量。此外在別的位置進行計量的情況，因為也沒有平台部17，所以也不需要計量銷21a和貫通孔17b。
其次，在圖3I中，藉由使計量裝置21上升且計量銷21a貫穿平台部17的貫通孔17b將樹脂供給治具13(框體13a)從平台部17上推，以計量在樹脂注入前之樹脂供給治具13及單片薄膜F的重量。亦可將此時所計量的初期重量歸零設定之後再計量後述之樹脂量，或者亦可從後述之樹脂注入後的重量減去初期重量來計量樹脂量。
其次，在圖3J中，計量裝置21的計量銷21a保持從平台部17將樹脂供給治具13(框體13a)上推的狀態且使後述的分配器9(參照圖1)掃描以將顆粒樹脂R供給到框體13a的樹脂收容部22。分配器9透過後述的掃描機構23(掃描部)使槽16一邊在XY方向掃描一邊藉由電磁給料機將顆粒樹脂R連續均勻(平坦)地供給到單片薄膜F上。顆粒樹脂R係被供給一次份的樹脂模塑操作所需的量。
其次，在圖4K中，顯示利用分配器9將顆粒樹脂R均勻(平坦)地供給到樹脂收容部22(在單片薄膜F上)的狀態。當顆粒樹脂R的供給停止時，藉由計量裝置21計量樹脂注入後的重量。在樹脂供給治具13未連接電氣配線及空氣吸引用軟管等之下，框體及單片薄膜F的重量為單體且可直接正確地計量。其結果，可以即時且正確地計量一次的樹脂模塑所需的顆粒樹脂R的樹脂量。
此外，在透過分配器9向樹脂收容部22供給的方法方面，可以一邊掃描既定樹脂量一邊連續地供給，但為了不會過多或不足地進行正確供給，可在樹脂量到達既定量之前暫時停止供給動作並藉由計量裝置21計量後，變更每單位時間的樹脂注入量並供給達到既定量。
例如，在藉由分配器9供給100g的顆粒樹脂R時，首先，連續地注入達到90g，使電磁給料機暫時停止並計量。以藉由改變計量後電磁給料機的振幅或振動數中至少一者使每單位時間的樹脂注入量減少的方式進行變更。然後，在進行了減少每單位時間的樹脂注入量的變更後，少量注入，再次停止注入並計量，藉由重複該操作，可以供給100g的目標值。
又，在晶圓等圓形工件的情況，在沿著框體內的最外周向呈圓形地供給樹脂後，暫時停止供給樹脂並使分配器9從最外周稍微向內側移動。於該移動時對樹脂進行計量之後，沿著最外周的圓形一邊稍往內側的圓形移動一邊供給樹脂。亦可因應此時計量的結果按每個內周每次變更樹脂注入量。藉由重複該操作，可以將樹脂均勻地供給到中心。
在圖4L中，當樹脂量的計量完成時，計量裝置21下降而從平台部17分離。此時，由計量銷21a支撐的樹脂供給治具13(框體13a)再次被轉移到平台部17。
其次，在圖4M中，樹脂供給裝載器11移動到樹脂供給治具13上，裝載器手爪11a進入卡止孔13n以與框體13a卡合。
最後，在圖4N中，裝載器手爪11a上升將從平台部17被供給顆粒樹脂R的樹脂供給治具13提升，並拉進供樹脂供給裝載器11移動的導軌14側。此時，例如會有當所供給的模塑樹脂R的重量過大且施加到單片薄膜F上的張力無法適當地搬送模塑樹脂R時，單片薄膜F在中心等處下垂的情形。為此，可以在將樹脂供給治具13提升到任意檢測位置的狀態下停止操作，並且能夠藉由薄膜下垂檢測部20(參照圖5)檢測平台部17上的空間中的屏蔽狀態。亦即，當單片薄膜F的張力不足且單片薄膜F在中心等處下垂時，操作上推銷15以使樹脂供給治具13下降並再次施加張力。藉由視需要而適當地重複這樣的操作，可在施加適當的張力後搬送單片薄膜F。此外，亦可在薄膜下垂檢測部20檢測到單片薄膜F的下垂時，作為異常狀態發出警告並使裝置停止。
此外，推測有因工件W中的晶片的搭載狀態等而將模塑樹脂R偏倚地供給到單片薄膜F上的情形。在這種情況下，假設單片薄膜F的非中央部份(偏向 一方的位置)下垂。於是，如圖5所示，在交叉的兩個方向上設置兩組薄膜下垂檢測部20時，即使是單片薄膜F中的非中央部份下垂時，仍可檢測單片薄膜F在該位置下垂的狀態。藉此，可適當地檢測單片薄膜F的下垂狀態，並且在施加適當的張力之後搬送單片薄膜F。
接著，樹脂供給裝載器11以保持著樹脂供給治具13的狀態下，沿著圖1的導軌14進行搬送，並搬入既定的按壓部5的模塑模具6(下模6B)中。此處係通過按壓部5中的柱5a的間隙將樹脂供給治具13供給到模塑模具6。在這種情況下，就樹脂供給治具13而言，成為不將薄膜夾盤13c沿橫向拉動，且使薄膜夾盤13c相對於支點框體13b(支點部)在上下方向上移動而施加張力(將旋轉桿13d往開啟的方向旋轉並上拉)的構成，因為可建構成小型化，所以可通過有限的柱5a的間隙將樹脂供給治具13搬入到模塑模具6中。此外，即使在不使用柱5a的情況而在按壓部5中利用框板來保持台板的側面那樣的壓機構造亦能獲得相同的效果。
藉由使用上述樹脂供給治具13，由於能一邊保持既定的張力一邊進行搬送，因此能在單片薄膜F上不產生皺紋的情況下轉移到模塑模具6。此外，由於正確地計量一次份量的樹脂模塑所需的顆粒樹脂R並供給到樹脂收容部22，因此能夠提高成型品的成型品質。
其次，參照圖7和圖8，針對利用樹脂供給治具13朝模塑模具6供給單片薄膜F及模塑樹脂R的動作進行說明。圖7和圖8係僅圖示出下模6B作說明。
在圖7A中，保持著樹脂供給治具13的樹脂供給裝載器11進入已開啟模具的模塑模具6的下模6B的上方而進行對位，且以單片薄膜F的顆粒樹脂R的搭載面與下模模穴件6f的上表面重疊，且以框體13a與下模可動夾具6g重疊的方式進行對位。
其次，如圖7B所示，使樹脂供給裝載器11下降，框體13a會下降直到與下模可動夾具6g抵接為止。此時，設置在下模6B中的推動器6j係配置在與旋轉桿13d對應的位置。
當單片薄膜F靠近下模6B時，單片薄膜F會有因來自下模6B的輻射熱而伸展並發生如上述薄膜下垂的問題之虞。因此，如圖7C所示，使未圖示的驅動源作動以將推動器6j上推，使旋轉桿13d圍繞旋轉軸13e進一步旋轉。旋轉方向係為薄膜夾盤13c從支點框體13b偏移(分離)的方向。藉此，由於單片薄膜F被薄膜夾盤13c從兩側進一步拉動，所以薄膜F相對於支點框體13b捲繞的角度進一步增大，換言之，被薄膜夾盤13c所夾持的單片薄膜F的端部從支點框體13b(支點部)偏移(離開)，使得在支點框體13b的內側單片薄膜F被拉伸，而在支點框體13b之間的薄膜張力增加。又此時，由於圖3所示的棘輪機構13f會作動，旋轉桿13d係被保持在旋轉位置，所以係在增強封閉框體13a的開口的薄膜張力的狀態下被維持。
在圖8D中，從設置在下模可動夾具6g中的空氣吸引路徑6g1和6g2開始吸引動作，並且使單片 薄膜F的內外周沿著下模模穴凹部6C被吸附保持。由於單片薄膜F係在薄膜張力被增強的狀態下被吸附保持，因此可以有效地防止皺紋的發生。
其次，在圖8E中，當使未圖示的驅動源作動而將推動器6j上推到既定高度後往下方退避時，因為棘輪機構13f(參照圖3)會被解除，所以旋轉桿13d會沿著靠近支點框體13b的方向(箭頭方向)旋轉。此時，薄膜夾盤13c返回與下模可動夾具6g的夾持面平行的水平姿態。在這種狀態下，藉由使外框體13a1向外方移動，利用未圖示的凸輪機構來解除將單片薄膜F的外周緣部夾持的薄膜夾盤13c的夾持。藉此，單片薄膜F可以保持與顆粒樹脂R一起被吸附保持的狀態下被轉移至下模6B。在此等動作之際，因為會成為單片薄膜F利用下模可動夾具6g的吸附在內都是被吸附保持於下模模穴凹部6C的狀態，所以即使解除夾盤也不會損及單片薄膜F的吸附保持狀態。
接著，如圖8F所示，樹脂供給裝載器11是在保持夾著樹脂供給治具13(框體13a)的狀態往上方移動並從按壓部5退避。如以上所述，完成將單片薄膜F和顆粒樹脂R朝下模6B供給之工序。
依據以上的單片薄膜F朝向模塑模具6的供給動作，能夠將單片薄膜F無皺紋地向模塑模具6作供給。此外，在將單片薄膜F搬入模塑模具6之際雖有因輻射熱而使單片薄膜F伸展之虞，但是透過藉由推動器6j(張力施加機構)再度增強張力，也可以防止在將單片薄膜F朝模塑模具6安置時發生皺紋。
其次，參照圖9說明接於圖7和圖8之後的樹脂模塑動作的一例。在圖9A中，如同前述，設為在下模6B中，藉由樹脂供給裝載器11搬入單片薄膜F及顆粒樹脂R。
在圖9A中，透過工件裝載器10(參照圖1)向上模6A搬入例如各邊600mm的大型工件W(工件、矩形基板等)，並被設置在上模夾持面6a的空氣吸附孔6b和空氣吸引路徑6c所吸附保持。此時，矩形工件W的外周面是透過在複數個位置上設置於對向位置處的工件保持銷6d將工件W的外周面按壓保持而被定位於上模6A並被轉移。此外，在工件邊緣內具有定位銷的工件的情況，能以該定位銷定位。此外，矩形工件W係藉由工件W的外周面被工件保持銷6d均勻地按壓而被工件保持銷6d定中心。此外單片薄膜F及顆粒樹脂R的搬入及工件W的搬入可同時進行，也可以在搬入工件W後將單片薄膜F和顆粒樹脂R搬入。
其次，如圖9B所示，將模塑模具6閉模。例如，使下模6B上升而在與上模6A之間夾持工件W。此外，在上模6A與下模6B夾持工件W之前，上模6A與下模6B之間的模具空間被關閉以形成減壓空間，以在減壓環境下進行模塑成型者較佳。
接著，透過將模塑模具6進一步鎖模，使螺旋彈簧6h被壓縮，下模可動夾具6g移動以接近下模塊6e。因此，下模模穴凹部6C中的模穴的高度(深度)降低(淺)，工件W浸入在下模模穴凹部6C中熔融的顆粒樹脂R中，並施加樹脂壓力從而進行加熱加壓。圖9C顯示在模塑模具6的模具鎖模動作完成且將工件W浸入在下模模穴凹部6C中熔融的顆粒樹脂R中並加熱加壓使之硬化的狀態(壓縮成型)。
在模塑模具6中完成加熱硬化後，進行模塑模具6的開模。此處，在保持著成型品M對上模6A的上模夾持面6a的吸附保持與單片薄膜F朝向含有下模模穴凹部6C的下模夾持面的吸持保持的狀態下，進行開模。因此，如圖9D所示，在已打開模具的狀態下，成為成型品M被吸附並保持在上模6A的上模夾持面6a上，且單片薄膜F被吸附保持在含有下模模穴凹部6C的下模夾持面的狀態。如此，透過設成將成型品M與使用後的單片薄膜F設置在分開的模具的狀態，在有關將此等從按壓部5取出並搬送到各個收納/收容處方面係可簡化工序。
接著，在圖1中，成型品M從上模6A被解除吸附並被轉移到工件裝載器10(上表面側)。此外，使用過的單片薄膜F係藉由工件裝載器10(下表面側)從下模6B轉移。此時，為了將成型品M從上模夾持面6a轉移到工件裝載器10，以從空氣吸引孔6b噴出壓縮空氣者較佳，因為將單片薄膜F從下模表面轉移到工件裝載器10，故以從空氣吸引路徑6g1,6g2噴出壓縮空氣者較佳。成型品M係從工件裝載器10轉移到機器人搬送裝置4的機械手臂4a。使用過的單片薄膜F從工件裝載器10排出到薄膜回收部12並被回收。機械手臂4a係保 持成型品M並將其朝既定的硬化爐3搬入。在硬化爐3中進行成型品M的後硬化。隨後，機械手臂4a從硬化爐3中取出成型品M，完成對工件W的所有工序而完成成型品M的製造工序。接著，成型品M被搬入成型品收納部2中以收納成型品M。
如此，依據本實施例，透過使用搬送上述單片薄膜F的樹脂供給治具13，可降低薄膜的使用量以謀求減少運轉成本，可以提升大尺寸的成型品的成型品質且抑制設置面積。
其次，參照圖10至圖12說明分配器9的構成例。
首先，參照圖10說明供給顆粒樹脂R的分配器9的構成。顆粒樹脂R被儲存在固定到分配單元Ud的第1儲存部9a中。既定量的顆粒樹脂R從該第1儲存部9a供給到位於第1儲存部9a下方的第2儲存部9b並暫時儲存。從第1儲存部9a朝第2儲存部9b供給顆粒樹脂R係例如開放擋板並藉由電磁給料機注入。槽16連接到第2儲存部9b，並且藉由未圖示的電磁給料機饋送定量的顆粒樹脂R並朝樹脂收容部22注入。此外，第2儲存部9b及槽16透過掃描機構23對樹脂收容部22的XYZ方向掃描，並均勻地供給一次的樹脂模塑所需的模塑樹脂。在這種情況下，亦可作成槽16側至少在XY方向移動，並且樹脂收容部22側可以透過平台部17的升降而在Z方向上移動。掃描機構23為，Y軸驅動引導件23b與X軸驅動引導件23a連接，以便能在X軸方向上移動， 並且Z軸驅動引導件23c連接到Y軸驅動引導件23b，以便能在Y軸方向上移動。並且掃描軸23d連接到Z軸驅動引導件23c，以便能在Z軸方向上移動。X軸驅動引導件23a、Y軸驅動引導件23b及Z軸驅動引導件23c具備有驅動源(馬達、氣缸等)和驅動傳遞機構(滾珠螺桿和螺帽、導軌、直線導軌等)並可沿各軸方向往復運動。
第2儲存部9b和槽16一體地支撐在掃描軸23d上。因此，使第2儲存部9b及槽16相對於形成在樹脂供給治具13中的樹脂收容部22沿XYZ方向掃描，並均勻(平坦)地供給一次的樹脂模塑所需的顆粒樹脂R，可以將具有均勻厚度的顆粒樹脂供給到較寬面積的樹脂收容部。顆粒樹脂的供給方法可以用一筆劃似地作線狀供給、以螺旋狀作供給、或者以描繪同心圓的方式一邊改變徑向位置一邊作供給等之各種方法。
此外，較佳為，在槽16的注入口設有可開閉的擋板24。由於顆粒樹脂係透過電磁給料機定量地送出，所以當希望立即停止注入時可防止被注入超過所需量的樹脂及在沿XY方向移動時不必要的樹脂在周圍擴散。擋板24係藉由支撐於掃描軸23d的開閉缸24a而開閉。此外，雖然在槽16搭載一次的樹脂模塑所需的模塑樹脂，但因為可透過改變擋板24和槽16的振幅或頻率來停止樹脂注入，所以也可搭載複數次的模塑所需的樹脂。此外，在擋板24的寬度係越朝向注入口的下方變越窄的形態時，因為可在不用將模塑樹脂切斷或推入的情況下利用注入口堵住模塑樹脂，故更佳。
此外，較佳為，在槽16的注入口的下方設有廢棄樹脂回收箱盒25。在從第2儲存部9b供給顆粒樹脂R的一開始，供給量容易有誤差。因此，使電磁給料機剛作動後的顆粒樹脂R落入廢棄樹脂回收箱盒25上並回收，直到樹脂供給量穩定為止。
另外，在槽16的前方，用於消除在框體13a的開口部產生的靜電的電離器26是與掃描軸23d一體設置。因此，即使是顆粒樹脂R落下並附著於框體13a的傾斜部13g的情況，或即使框體13a整體達到既定重量而附著在框體13a上未落到下模的情況，亦可在未因靜電而產生附著之下確實地落在下模上。
此外，在槽16的前方亦可設置框體敲擊部27，用於敲擊框體13a以使附著於框體13a的開口的顆粒樹脂R落下到樹脂收容部22中。框體敲擊部27係成為例如藉由與掃描軸23d一體設置的敲擊柱27a而升降。藉此，即使顆粒樹脂R暫時黏著在含有框體13a的傾斜部13g在內的開口部內表面上，透過以框體敲擊部27敲擊框體13a而例如對附著在傾斜部13g上的顆粒樹脂R施加振動，可使之落入樹脂收容部22地進行樹脂模塑。
此外，在槽16的前方設置有薄膜檢測感測器28(例如，壓力感測器、接觸感測器、高度限制的雷射感測器等)。薄膜檢測感測器28係透過與掃描軸23d一體設置的升降缸28a而被支撐成可升降。該薄膜檢測感測器28係檢測單片薄膜F是否以適當的張力張緊設置在樹脂供給治具13的張緊設置狀態。在將單片薄膜F張緊設置於樹脂供給治具13後，於利用分配器9注入顆粒樹脂R之前，使掃描軸23d在樹脂收容部22上沿XY方向掃描，利用薄膜檢測感測器28透過接觸壓力或反射光來檢測薄膜的張力程度。藉此，可以防止樹脂供給治具13中的單片薄膜F的安置誤差，能防止顆粒樹脂R被誤注入之情況。
由於分配器9至少能夠沿XY方向移動，所以與在顆粒樹脂R注入樹脂收容部22的一處後使之平坦化相比，以在朝樹脂收容部22注入樹脂時成為均勻的方式散佈者較能確實且快速使顆粒樹脂平坦化。
此外，如圖14所示，亦可在分配器9安裝能使該掃描軸23d在Z軸驅動引導件23c與掃描軸23d之間正反方向旋轉的伺服馬達23e。藉此，在晶圓等圓形工件的情況，能以沿著框體13a內的外周使槽16的出口方向始終成為順著外周的方式藉由伺服馬達23e一邊使掃描軸23d沿既定方向旋轉，一邊使槽16的朝向沿著與工件外圓周垂直的方向(徑向)或平行的方向(切線方向)地供給模塑樹脂。
其次，參照圖11針對供給液狀樹脂R的分配器9的構成作說明。掃描機構23係與圖10相同。
在圖11中，分配器9具備具有活塞的擠型機構9c與內建液狀樹脂R的注射器9d。擠型機構9c具有圓筒，形成在注射器9d內推壓與氣缸桿連結的活塞而吐出液狀樹脂R。分配器9係可交換地對掃描軸23d設置。分 配器9係形成當收納在注射器9d中的液狀樹脂R的剩餘量減少時可與其他分配器9交換。在注射器9d的下方設有廢棄樹脂回收箱盒25。使擠型機構9c剛作動後的液狀樹脂R落入廢棄樹脂回收盒箱25上並回收，直到來自注射器9d的液狀樹脂供給量穩定為止。
此外，分配器9不限定為單數，如圖12所示，亦可設為複數個(例如兩個)，並對形成在樹脂供給治具13中的樹脂收容部22進行供給。在這種情況下，可作成複數個分配器9係分擔樹脂注入區域並各自作供給，亦可作成複數個分配器9依掃描機構23取同步地至少沿XY方向或XYZ掃描而供給到樹脂收容部22。
此外，雖在圖11所示的實施形態中交換注射器9d，但在向樹脂收容部22供給大量的模塑樹脂R時，亦可作成在外部設置樹脂供給槽，且以軟管朝注射器9d連續地供給模塑樹脂R之構造。
其次，參照圖13，針對樹脂供給治具13的其他例作說明。和圖5相同的構件賦予相同的編號並援用說明。圖5的樹脂供給治具13為，假設基板或板作為工件，而框體13a形成為矩形且形成有矩形的中空孔，但在作為工件是使用半導體晶圓或eWLB(嵌入晶圓級球柵陣列)等之圓形工件的情況，以使用內表面是圓形的樹脂供給治具13者較佳，其中該內表面形成有對應於模穴凹部和工件外形的圓形中空孔。框體13a的外形和單片薄膜F的外形與圖5同樣成為矩形。
此外，上述實施形態係針對將模塑樹脂R和單片薄膜F搬送並轉移到模塑模具6的形成有下模模穴凹部6C的下模夾持面的情況作說明，但亦可作成利用上模壓縮成型之僅將單片薄膜F搬送並轉移到形成有上模模穴凹部的上模夾持面。此外在這種情況下，模塑樹脂R係載放於工件上並安置在下模。在這種情況下，亦可作成分配器9在XY方向上掃描工件，並開閉槽16的注入口或注射器9d，以注入模塑樹脂(顆粒樹脂、粉狀樹脂、液狀樹脂等)。同樣在這種情況下，與長尺寸薄膜相比，可以透過減少單片薄膜F的使用量來降低運轉成本。同樣地，亦可作成對形成有下模模穴凹部的下模夾持面僅搬送並移轉單片薄膜F。此外，亦可作成以相同的方式將單片薄膜F供給到上模與下模。此外，模塑模具6係使用壓縮成型用模具作了說明。但亦可為轉注成型(transfer molding)用的模具。
此外，依據上述那樣的樹脂供給治具13，除了對模塑模具6中因輻射熱而伸展的單片薄膜F追加施加張力的構成以外，也可以作成在供給到模塑模具6之前以追加方式進行施加的構成。在這種情況下，例如即使在需要預熱難以搬送的樹脂、例如會因為搬送時的環境氣體的流動而有導致粉末狀樹脂散佈之虞的粉狀樹脂時，如果在供給並預熱模塑樹脂R時可對單片薄膜F施加張力，則可在藉其預熱消除單片薄膜F的鬆弛後再進行搬送。
此外，分配單元Ud雖可如上述般組合到樹脂模塑裝置作使用，但也可作為其單體作使用。在這種情況下，可考慮在分配單元Ud中準備用於保持被施加既定張力的單片薄膜F的樹脂供給治具13，並且對另外設置的壓機單元Up一起供給樹脂供給治具13之工序。即使在這種情況下，也可以如上述實現使用有分配單元Ud和樹脂供給治具13的效果。
11a:裝載器手爪
13:樹脂供給治具
13a:框體
13a1:外框體
13b:支點框體
13c:薄膜夾盤
13d:旋轉桿
13e:旋轉軸
13g:傾斜部
13n:卡止孔
15:上推銷
16:槽
17:平台部
17a:薄膜吸附孔
17b:貫通孔
21:計量裝置
21a:計量銷
22:樹脂收容部
F:單片薄膜
R:模塑樹脂

Claims (19)

  1. 一種框體治具，其特徵為具備：內表面具有既定形狀的開口部的框體，該內表面對應於形成在模塑模具的夾持面上的模穴凹部；薄膜把持部，把持覆蓋前述框體的一側開口部而組裝的單片薄膜的外周緣部，至少於對向邊設置一對；支點框體，其沿著前述框體設置且成為向前述單片薄膜賦予張力的支點部；及使前述薄膜把持部沿著對前述支點框體分離的方向偏移的偏移機構，且具備：張力維持機構，可在使藉由前述薄膜把持部把持著前述單片薄膜的外周緣部的狀態下沿著對前述支點框體分離的方向偏移的狀態予以保持並對前述單片薄膜維持既定的張力。
  2. 如請求項1之框體治具，其中前述框體係形成有表面難以附著模塑樹脂的被膜或使用模塑樹脂難以附著的材質。
  3. 一種樹脂供給治具，其特徵為具備：如請求項1或2之框體治具；覆蓋前述框體治具的框體的一側開口部的單片薄膜；及樹脂收容部，其藉由將前述單片薄膜的外周緣部以薄膜把持部把持著且施加有既定張力的狀態下進行 保持，收容前述框體的一側開口被堵住所形成的模塑樹脂。
  4. 一種樹脂供給裝置，其係藉由對如請求項3之樹脂供給治具的樹脂收容部，一邊將模塑樹脂從樹脂注入部注入一邊至少在XY方向掃描，而將既定量的模塑樹脂供給到單片薄膜上。
  5. 如請求項4之樹脂供給裝置，其中在前述樹脂注入部設有能夠開閉注入口的擋板。
  6. 如請求項4之樹脂供給裝置，其中在前述樹脂注入部設有電離器，該電離器消除在框體開口部產生的靜電。
  7. 如請求項4之樹脂供給裝置，其中在前述樹脂注入部設有薄膜檢測感測器，該薄膜檢測感測器檢測單片薄膜在前述樹脂供給治具的張緊設置狀態。
  8. 如請求項4之樹脂供給裝置，其中在前述樹脂注入部設有框體敲擊部，該框體敲擊部敲擊前述框體，使附著於含有傾斜部的開口部的內表面的模塑樹脂落入樹脂收容部。
  9. 一種模塑樹脂的計量裝置，係使用如請求項3之樹脂供給治具計量模塑樹脂的重量的計量裝置，其中，由供給前述模塑樹脂到前述樹脂收容部之前的前述樹脂供給治具的重量及供給前述模塑樹脂到前述樹脂收容部之後的前述樹脂供給治具的重量，計量樹脂模塑所需的樹脂量。
  10. 一種樹脂供給計量裝置，其特徵為具備如請求項3之 樹脂供給治具、如請求項4至8中任一項之樹脂供給裝置及如請求項9之模塑樹脂的計量裝置。
  11. 一種樹脂模塑裝置，其具備如請求項10之樹脂供給計量裝置，且將向樹脂收容部供給一次的樹脂模塑所需的模塑樹脂的樹脂供給治具，搬送到模塑模具並進行模塑成型。
  12. 一種模塑樹脂的計量方法，其特徵為包含：準備具有樹脂收容部的樹脂供給治具之工序，內表面具有既定形狀的開口部的框體之一側開口部被單片薄膜覆蓋，該內表面對應於形成在模塑模具的夾持面上的模穴凹部；及計量工序，係藉由將模塑樹脂供給前後的前述樹脂供給治具直接支撐於計量裝置，以計量前述模塑樹脂的重量。
  13. 如請求項12之模塑樹脂的計量方法，其進一步包含對前述樹脂收容部，透過樹脂供給裝置將既定量的模塑樹脂從前述框體的另一側開口均勻地供給到前述單片薄膜上的工序，並將取得前述模塑樹脂供給到前述樹脂收容部之前的前述樹脂供給治具的重量與模塑樹脂供給到前述樹脂收容部之後的前述樹脂供給治具的重量之差分所計量之既定量的樹脂，從前述樹脂供給裝置進行供給。
  14. 如請求項12之模塑樹脂的計量方法，其進一步包含對前述樹脂收容部，透過樹脂供給裝置將既定量的模塑樹脂從前述框體的另一側開口均勻地供給到前述單 片薄膜上之工序，並將取得前述模塑樹脂供給到前述樹脂收容部之前的前述樹脂供給治具的重量與模塑樹脂供給到前述樹脂收容部之後的前述樹脂供給治具的重量之差分所計算之樹脂量，由前述計量裝置一邊進行計量一邊從前述樹脂供給裝置供給模塑樹脂。
  15. 一種樹脂供給計量方法，係從一側開口部將既定量的模塑樹脂一邊供給到樹脂供給治具一邊進行計量的樹脂供給計量方法，該樹脂供給治具係藉由使覆蓋另一側開口部的單片薄膜保持在內表面具有既定形狀的開口部之框體而形成樹脂收容部，該內表面對應模穴凹部，其特徵包含：使前述框體以另一側開口部被覆蓋的方式重疊於前述單片薄膜，同時以在前述單片薄膜的外周緣部的至少對向邊被把持且施加有既定張力的狀態下進行保持而形成具有前述樹脂收容部之前述樹脂供給治具的工序；藉由將前述樹脂供給治具直接支撐於計量裝置上而計量前述樹脂供給治具的重量之計量工序；對前述樹脂收容部，從前述框體的一側開口部藉由樹脂供給裝置將既定量的模塑樹脂均勻地供給到前述單片薄膜上之工序，從前述模塑樹脂供給到前述樹脂收容部之前的前述樹脂供給治具的重量與模塑樹脂供給到前述樹脂收容部之後的前述樹脂供給治具的重量，將前述計量裝置所計量之樹脂模塑所需的樹脂量，從前述樹脂供給 裝置進行供給。
  16. 如請求項15之樹脂供給計量方法，其中具備平台部，係在維持將前述單片薄膜吸附保持在一側的狀態下將前述框體重疊在前述單片薄膜上，以覆蓋另一側開口部，同時在維持把持著該單片薄膜的外周緣部並施加張力之狀態下使之保持於前述框體而在樹脂供給治具中形成樹脂收容部，在前述平台部設置有貫通孔或切口，前述計量裝置係使計量銷從前述平台部的一側穿過前述貫通孔或者經由切口部支撐前述樹脂供給治具，藉以計量前述樹脂供給治具的重量。
  17. 如請求項15之樹脂供給計量方法，其中前述樹脂供給裝置係至少掃描樹脂注入部的XY方向，以對前述樹脂收容部均勻地供給樹脂模塑所需的模塑樹脂。
  18. 如請求項15至17中任一項之樹脂供給計量方法，其中，前述樹脂供給裝置係重複在供給到樹脂收容部的樹脂量達到既定量之前暫時停止供給動作並在利用前述計量裝置計量後，變更每單位時間的樹脂注入量進行供給的動作。
  19. 一種樹脂模塑方法，係包含將藉由如請求項15至18中任一項之樹脂供給計量方法向樹脂收容部供給樹脂模塑所需的模塑樹脂的樹脂供給治具，藉由樹脂供給裝載器搬送到模塑模具並將單片薄膜及模塑樹脂轉移到前述模塑模具之工序。
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