CN107972220B - 树脂材料供给装置及方法、树脂成形装置及树脂成形品制造方法 - Google Patents

树脂材料供给装置及方法、树脂成形装置及树脂成形品制造方法 Download PDF

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Abstract

一种树脂材料供给装置及方法、树脂成形装置及树脂成形品制造方法，树脂材料供给装置具备：供给对象物保持部，其保持作为供给树脂材料的对象的供给对象物；树脂材料供给口，其设置在该供给对象物保持部的上方；移动部，其使树脂材料供给口相对于保持在上述供给对象物保持部的供给对象物的水平方向的相对位置移动；及控制部，其以使上述相对位置自开始位置起不会于移动路径中通过同一位置2次以上地通过上述供给对象物的供给对象区域的整体而返回至该开始位置的方式控制移动部。通过使相对位置返回至开始位置，而对刚开始供给后树脂材料的供给量较少的开始位置附近再次供给树脂材料，从而使开始位置附近的树脂材料的量变得近乎均匀。

Description

树脂材料供给装置及方法、树脂成形装置及树脂成形品制造 方法
技术领域
本发明涉及一种供给树脂材料的树脂材料供给装置及方法、具有该树脂材料供给装置的树脂成形装置以及使用该树脂材料供给方法的树脂成形品制造方法。
背景技术
为了在光、热、湿气等环境保护电子零件，电子零件一般由树脂密封。树脂密封的方法中有压缩成形法或移送成形法等。压缩成形法是通过使用由下模与上模构成的成形模具，对下模的模槽供给树脂材料，将装设有电子零件的基板安装至上模后，一面对下模与上模进行加热，一面将两者合模进行成形。移送成形法是通过对上模与下模之一的模槽安装基板后，一面对下模与上模进行加热，一面将两者合模，并利用柱塞(plunger)将树脂压入至模槽进行成形。在移送成形法中，在柱塞对模槽供给树脂的路径中会残留树脂的一部分而产生浪费，并且会产生因树脂流动而导致半导体基板或配线损伤的问题，故而近年来压缩成形法成为主流。
在压缩成形中，一般而言，供给至模槽的树脂材料是粉末状或颗粒状(以下，将它们统称为粉体状)、或者液体状。粉体状的树脂材料在供给后不会在模槽内自由流动，关于液体状的树脂材料，在压缩成形中所使用的一般而言粘性较高，故而不太在模槽内流动。因此，在成形时，通过因对树脂材料进行加热而导致粘性下降，树脂在模槽内流动，而有对电子零件施加负荷的忧虑，故而树脂材料较佳为在成形前预先尽可能均匀地供给至模槽内。专利文献1所记载的压缩成形装置是一面在滑件的树脂材料供给口使树脂材料落下至载置于XY平台上的模槽，一面将树脂材料供给口的位置固定，使XY平台呈U形曲线状移动，由此对模槽内供给树脂材料。在图11中表示该现有的压缩成形装置中树脂材料供给口相对于模槽91的相对移动的轨道92。该U形曲线状的相对移动期间，一面将移动速度维持为固定的值，一面将树脂材料以固定的供给速度(每单位时间的树脂材料的供给量)供给，由此模槽91内的树脂材料不管处于哪一位置均变得均匀。
[背景技术文献]
[专利文献]
[专利文献1]日本特开2013-042017号公报。
发明内容
发明所要解决的问题：
一般而言，在对模槽投入树脂材料的装置中，在开始树脂材料的供给动作后至达到上述固定的供给速度为止需要时间(虽然仅需些许)，刚开始供给后的供给速度较该固定的供给速度低。因此，即便将模槽的移动速度设为固定，在模槽内，刚开始供给后的位置(开始位置)的树脂材料的量也较其他位置上的树脂材料的量减少。由此，模槽内的树脂材料变得不均匀。
本发明所要解决的问题在于提供一种能够以与现有相比变得近乎均匀的方式对树脂成形装置的模槽等供给对象物供给树脂材料的树脂材料供给装置及方法。
解决问题的技术手段：
为了解决上述问题而完成的本发明的树脂材料供给装置的特征在于具备：
a)供给对象物保持部，其保持供给树脂材料的对象的供给对象物；
b)树脂材料供给口，其设置于该供给对象物保持部的上方；
c)移动部，其使上述树脂材料供给口相对于保持于上述供给对象物保持部的供给对象物的水平方向的相对位置移动；及
d)控制部，其以上述相对位置自开始位置起不会在移动路径中通过同一位置2次以上地返回至该开始位置的方式控制上述供给对象物的供给对象区域中的上述移动部的移动。
本发明的树脂材料供给方法的特征在于：一面使为供给树脂材料的对象的供给对象物与设置于该供给对象物的上方的树脂材料供给口的水平方向的相对位置以自开始位置起不会在移动路径中通过同一位置2次以上地返回至该开始位置的方式在上述供给对象物的供给对象区域移动，一面自该树脂材料供给口对该供给对象物供给树脂材料。
本发明的树脂成形装置的特征在于具备：
上述树脂材料供给装置；
压缩成形部，其具有第1成形模具、具有模槽的第2成形模具及将该第1成形模具与该第2成形模具合模的合模机构；及
移送部，其将通过上述树脂材料供给装置而被供给有树脂材料的供给对象物移送至上述模槽之上，自该供给对象物对该模槽供给该树脂材料。
本发明的树脂成形品制造方法的特征在于具有如下步骤：
通过上述树脂材料供给方法对上述供给对象物供给树脂材料的步骤；
将被供给有树脂材料的供给对象物移送至第2成形模具的模槽，且自该供给对象物对该模槽供给该树脂材料的步骤；及
将第1成形模具与模槽中被供给有树脂材料的第2成形模具合模的步骤。
发明的效果：
根据本发明，能够以与现有相比变得近乎均匀的方式对树脂成形装置的模槽等供给对象物供给树脂材料。
附图说明
图1为表示本发明的树脂材料供给装置的一个实施方案的概略构成图。
图2(a)为表示在树脂材料移送托盘供给有树脂材料的状态的图，图2(b)为将树脂材料移送托盘提升而形成树脂材料收容空间的状态的图。
图3为表示树脂材料移送托盘及于本实施方案的树脂材料供给装置中对该树脂材料移送托盘供给树脂材料的轨道的示例的俯视图。
图4为表示自树脂材料供给口朝树脂材料移送托盘的树脂材料收容部的树脂材料的供给速度的目标值与实测值之时间变化的曲线图。
图5(a)和图5(b)为供给至树脂材料移送托盘的树脂材料收容部的树脂材料的与相对位置的移动方向平行的纵剖面图，图5(a)为表示刚开始供给后的状态，图5(b)为表示供给结束时的状态。
图6为供给至树脂材料移送托盘的树脂材料收容部的树脂材料的与相对位置的移动方向垂直的纵剖面图。
图7(a)和图7(b)为表示树脂材料移送托盘及于本实施方案的树脂材料供给装置中对树脂材料移送托盘供给树脂材料的轨道的另一示例的俯视图。
图8为表示本实施方案的树脂材料供给装置的变形例的概略构成图。
图9为表示为本发明的树脂成形装置的一部分的压缩成形部的一个示例的纵剖面图。
图10为表示具备材料接收模组、成形模组及排出模组的树脂成形装置的示例的概略图。
图11为表示在现有的压缩成形装置中对模槽供给树脂材料的轨道的俯视图。
符号说明：
10、10A：树脂材料供给装置
11：树脂材料保持部
12：槽
121：树脂材料供给口
13：激励部
14：计量部
15：原供给部
151：原供给口
152：原供给部激励部
16：保持台
17：移动部
18：移送部
19：控制部
191：供给速度检测部
192：警报发送部
20、20A：树脂材料移送托盘
21、21A：树脂材料收容部
211：树脂材料收容框
2111：停止部
212：膜张力框材
2121：突出部
213：膜固定部
22、22A：开始位置
23、23A1、23A2、92：相对位置的移动的轨道
24、241、242、243、244：树脂材料收容部的边缘
245：树脂材料收容部的长边的边缘的中央
25：曲线的外侧的区域
30：压缩成形部
311：下部固定盘
312：上部固定盘
32：连杆
33：可动平台
34：合模装置
351：下部加热器
352：上部加热器
40：树脂成形装置
41：材料接收模组
411：基板接收部
42：成形模组
43：排出模组
431：树脂成形品保持部
46：主搬送装置
47：副搬送装置
91：模槽
F：离形薄膜
LM：下模(第2成形模具)
MC：模槽
P：树脂材料
PA：树脂材料收容空间
S：基板
UM：上模(第1成形模具)。
具体实施方式
在本发明的树脂材料供给装置及方法中，一面使树脂材料供给口相对于保持于供给对象物保持部的供给对象物的水平方向的相对位置以自开始位置起不会在移动路径中通过同一位置2次以上地返回至开始位置的方式在上述供给对象物的供给对象区域移动，一面自树脂材料供给口将树脂材料供给至供给对象物。由于如此般以使相对位置返回至开始位置的方式使该相对位置移动，故而将在移动结束时供给的树脂材料的一部分或全部供给至开始位置。由此，即便因刚开始树脂材料的供给后的树脂材料的供给速度较慢而使供给至该开始位置的树脂材料的量变少，也会通过在移动结束时所供给的树脂材料的一部分或全部被供给至开始位置而得以弥补，故而供给至供给对象物的树脂材料变得近乎均匀。另外，在移动路径中，相对位置不会通过同一位置2次以上，故而不存在对同一位置供给树脂材料2次以上而使树脂材料的供给量变多的情况。
在本发明的树脂材料供给装置及方法中，上述相对位置“返回至开始位置”除了包含上述相对位置返回至与开始位置为同一位置的情况以外，也包含树脂材料扩展而到达至如下位置的情况，该位置距开始位置仅隔开树脂材料到达至开始位置的程度的距离。
上述相对位置的移动可为通过供给对象物保持部的移动，也可为通过树脂材料供给口的移动，或者也可为通过供给对象物保持部与树脂材料供给口的两者的移动。
供给对象物例如可为树脂成形装置的模槽，也可为自树脂材料供给装置对设置于树脂成形装置的模槽搬送树脂材料的树脂材料搬送托盘。或者，也可为进行树脂成形的对象物亦即封装有电子零件的基板。
树脂材料可为粉体状，也可为液体状。
在本发明的树脂材料供给装置及方法中，为了对供给对象物均匀地供给树脂材料，通常将相对位置的移动速度及自树脂材料供给口对供给对象物供给树脂材料的供给速度设为固定。但是，例如于以下所示的情形时，上述移动速度及上述供给速度中的任一个或两个可变。于该情形时，由于移动速度较供给速度更容易控制，故而较理想为将移动速度设为可变而将供给速度设为等速。
作为将移动速度和/或供给速度设为可变的情形，可列举以下的示例。
当对矩形等具有角部的形状的模槽供给树脂材料时，若为了使相对位置顺利地移动而使该相对位置以曲线的轨道移动，则存在树脂材料未充分地扩散至角部附近的情况。因此，当于角部附近使相对位置呈曲线状移动时，通过使移动速度较呈直线状移动时变慢(和/或加快供给速度)，能够使树脂材料向角部附近的供给量变多，从而于模槽整体使树脂材料更近乎均匀。
另外，若使相对位置沿模槽的边缘移动，则树脂材料不会扩展至较该边缘更靠外侧，故而边缘附近的树脂材料的量较其他位置变多。因此，当使相对位置沿模槽的边缘移动时，通过使移动速度较于模槽的更内侧移动的情形时加快(及/或使供给速度变慢)，能够使树脂材料向边缘附近的供给量变少，从而于模槽整体使树脂材料更近乎均匀。
树脂材料的供给速度除了于上述刚开始供给后变慢以外，也存在因对树脂材料供给口送出树脂材料的装置的故障等而变得不稳定的情况。因此，可于本发明的树脂材料供给装置设置检测树脂材料的供给速度的供给速度检测部。于该情形时，也可进一步地于树脂材料供给装置设置通过供给速度检测部检测到供给速度的异常(超过或未达既定的设定范围)时，对装置的管理者发出声音、光、或者显示于显示装置(显示器)的图像等的警告的警告部。或者，也可于通过供给速度检测部检测到供给速度的异常时，停止移动部的动作及树脂材料自树脂材料供给口的供给。在本发明的树脂材料供给方法中，也同样地，可在对上述供给对象物供给树脂材料期间检测树脂材料的供给速度，进一步地，也可在检测到供给速度的异常时发出警告或停止树脂材料的供给。
以下，使用图1～图10，对本发明的树脂材料供给装置、树脂材料供给方法、树脂成形装置及树脂成形品制造方法的更具体的实施方案进行说明。
(1)本实施方案的树脂材料供给装置的构成：
在图1中表示本实施方案的树脂材料供给装置10的概略构成。树脂材料供给装置10为对为供给对象物的树脂材料移送托盘20供给粉体状的树脂材料P的装置。
树脂材料供给装置10具有保持树脂材料P的树脂材料保持部11及槽12。槽12的一端连接于树脂材料保持部11，另一端设置有为对树脂材料移送托盘20供给树脂材料P的开口的树脂材料供给口121。另外，树脂材料供给装置10具有：激励部13，其使树脂材料保持部11及槽12振动；及计量部14，其测定包含树脂材料P的树脂材料保持部11及槽12的重量。在树脂材料保持部11的上方，具有对该树脂材料保持部11供给树脂材料P的原供给部15。原供给部15是于其下部设置有为对树脂材料保持部11供给树脂材料P的开口的原供给口151及使该原供给部15振动的原供给部激励部152。树脂材料保持部11是配置于原供给口151的正下方。
在树脂材料供给口121的正下方配置有保持树脂材料移送托盘20的保持台(供给对象物保持部)16。在保持台16之下设置有使该保持台16沿水平方向移动的移动部17。移动部17能够使保持台16沿X方向(图1的横向)及Y方向(图1的与纸面垂直的方向)中的任一个以低于既定的最高速度的范围内的任意速度移动，且能够使保持台16沿X方向与Y方向的两者同时移动。因此，也能够使树脂材料供给口121与保持台16的水平方向的相对位置沿任意方向以任意速度移动。另外，一般将保持台16与移动部17合并而成者称为“XY平台”。
树脂材料供给装置10还具有将被供给树脂材料P之前的树脂材料移送托盘20搬入并载置于保持台16之上，并且将被供给树脂材料P之后的树脂材料移送托盘20自保持台16之上搬出的移送部18。
树脂材料供给装置10进一步地具有控制部19。控制部19通过电脑的硬件及软件而实现，控制自树脂材料供给口121将树脂材料P供给至树脂材料移送托盘20时的ON/OFF或供给速度，并且控制移动部17的动作。关于利用控制部19进行的控制的详细情况，以下与树脂材料供给装置10整体的动作一并进行说明。
如图2(a)所示，树脂材料移送托盘20具备具有对应于压缩成形装置的成形模具的模槽的形状、大小，且相当于上述供给对象区域的树脂材料收容部21。树脂材料收容部21由为具有长方形的开口部的框材的树脂材料收容框211及覆盖树脂材料收容框211的开口部的下面的离形薄膜F所构成。在树脂材料收容框211的下面设置有通过抽吸空气而使离形薄膜F吸附至该下面的吸附机构(未图示)。在树脂材料收容框211的开口部的内侧形成有内周侧的下端部分朝内侧突出而成的停止部2111。在树脂材料收容框211的内侧设置有对应于树脂材料收容框211的开口部的形状的长方形的框材，且是在外周侧具有突出部2121，剖面为倒L字形的环的膜张力框材212。树脂材料收容框211的侧面由移送部18固持。于移送部18之下设置有固持张设于树脂材料收容框211的下面的离形薄膜F的端部的膜固定部213。
树脂材料移送托盘20是如下述般通过树脂材料供给装置10使树脂材料收容部21接收树脂材料P的供给(图2(a))之后，由移送部18提升，则膜张力框材212相对于树脂材料收容框211通过自重相对地下降直至突出部2121抵接于停止部2111为止。由此，形成对应于成形模具的模槽的形状的树脂材料收容空间PA(图2(b))。
(2)本实施方案的树脂材料供给装置的动作及本实施方案的树脂材料供给方法
以下，对树脂材料供给装置10的动作(本实施方案的树脂材料供给方法)进行说明。
操作者预先对原供给部15供给树脂材料P。然后，操作者使用设置于树脂材料供给装置10的触控面板等输入装置(未图示)进行既定的操作，由此开始树脂材料供给装置10的动作。
首先，移送部18将被供给树脂材料P之前的树脂材料移送托盘20搬入并载置于保持台16之上。继而，移动部17通过控制部19的控制，以将树脂材料供给口121配置于树脂材料移送托盘20的树脂材料收容部21中的既定的开始位置22(参照图3)的正上方的方式，使保持台16沿水平方向移动。在图3的示例中，将具有大致长方形的上表面的树脂材料收容部21的长边的边缘的附近且该长边的中央245附近的位置设为开始位置22，但开始位置也可为树脂材料收容部21内的任一位置。
接着，计量部14测定将树脂材料保持部11及槽12以及收容于它们中的树脂材料P加在一起后的重量。由于树脂材料保持部11及槽12的重量已知，故而通过自此处所测定的重量减去所述树脂材料保持部11及槽12的重量，可求出树脂材料保持部11及槽12内的树脂材料P的重量。于该树脂材料P的重量较应供给至树脂材料移送托盘20的树脂材料收容部21的树脂材料的重量足够多的情形时，开始下一段落中所述的对树脂材料收容部21的树脂材料P的供给动作。另一方面，在该树脂材料P的重量不充分或者为零的情形时，控制部19以自原供给部激励部152对原供给部15赋予既定时间的振动的方式，控制该原供给部激励部152。由此，将原供给部15内的树脂材料P通过原供给口151仅供给既定的量至树脂材料保持部11。
接着，控制部19以自激励部13对树脂材料保持部11及槽12以固定的强度赋予振动的方式控制该激励部13。由此，自树脂材料供给口121对树脂材料移送托盘20的树脂材料收容部21以固定的供给速度供给树脂材料P。与该振动的赋予的开始同时地，控制部19以使树脂材料供给口121相对于树脂材料收容部21的水平方向的相对位置移动的方式，控制移动部17。
图3中，作为一个示例，表示该相对位置移动的轨道23。相对位置首先自开始位置22起沿树脂材料收容部21的一长边的边缘241移动至一短边的边缘242附近，于此处以描画U字的方式，即，以转U形弯的方式，一面朝向另一长边的边缘243侧沿短边方向(短边延伸方向)移动与树脂材料供给口121的宽度相同程度的距离，一面使长边方向(长边延伸的方向)的移动的朝向反转。另外，此处的短边方向的移动距离若为自树脂材料供给口121供给的树脂材料P扩展的范围内，则也可较树脂材料供给口121的宽度长。其后，当相对位置返回至长边方向的中央245附近时，同样地转U形弯而移动至上述一短边的边缘242附近。通过以此方式反复于一短边的边缘附近与长边方向的中央附近转U形弯，当到达至另一长边的边缘243附近时，相对位置沿该另一长边的边缘243移动至另一短边的边缘244附近。因此，相对位置一面朝向上述一长边的边缘241侧沿短边方向移动与树脂材料供给口121的宽度相同程度的距离，一面使长边方向的移动的朝向反转(转U形弯)。以后，相对位置一面在长边方向的中央245附近与另一短边的边缘244附近反复转U形弯，一面移动至一长边的边缘241附近。如此，相对位置通过为供给对象区域的树脂材料收容部21的整体，最后沿一长边的边缘241返回至开始位置22。在以上所述的相对位置的移动期间，继续自树脂材料供给口121朝树脂材料收容部21供给树脂材料P。
此处，相对位置“通过供给对象物的供给对象区域的整体”除了包含以使树脂材料供给口通过供给对象区域的整体的方式使相对移动的轨道的间隔紧密地(以树脂材料供给口的宽度程度)填满的情形以外，也包含轨道之间以自树脂材料供给口供给的树脂材料扩展而遍及至供给对象区域整体的程度隔开的情况。进一步地，也包含轨道与供给对象区域的端部之间以自树脂材料供给口供给的树脂材料扩展而遍及至供给对象区域整体的程度隔开的情况。
如图4所示，树脂材料P的供给速度自刚开始供给后起一定期间(图中的「上升期间」)内未达到目标值。因此，如图5(a)所示，于开始供给时供给至开始位置22附近的树脂材料P的供给量较其后供给的位置变少。另外，于图5(a)中，自开始位置22观察，于相对位置的移动方向的相反侧也存在树脂材料P，其原因在于：树脂材料供给口121具有一定的宽度，以及树脂材料P自树脂材料供给口121落下至树脂材料收容部21时沿水平方向扩展。而且，当相对位置通过树脂材料收容部21的整体后返回至开始位置22时，对刚开始供给后树脂材料P的供给量较少的开始位置22附近再次供给树脂材料P，故而开始位置22附近的树脂材料P的量与无该再次的供给的情形时相比，变得接近于其他位置上的树脂材料P的量(亦即，近乎均匀)(图5(b))。
使相对位置移动的速度(移动速度)既可固定，也可如以下所例示般设为根据位置可变。另外，关于相对位置的移动速度，与刚开始移动后即上升期间相比，略微移动后的控制更容易。因此，在本实施方案中，将较上升期间后的时间的移动速度设为可变。例如，在轨道23中转U形弯的部位，供给至曲线的外侧的区域(图3中标注符号25而表示的区域)的树脂材料P的量与直线的部位相比变少，故而通过在转U形弯的部位使相对位置的移动速度变慢，而略多地对该曲线部分供给树脂材料P。如此，略多地供给至曲线的树脂材料P扩展至树脂材料P的量较少的曲线的外侧，由此能够使树脂材料P的供给量近乎均匀。
另外，如图6所示，因相对位置沿树脂材料收容部21的边缘24移动时所供给的树脂材料P1不会扩展至边缘24侧，故而若使相对位置以等速移动，则变得较于树脂材料收容部21的更内侧移动时所供给的树脂材料P2多。因此，通过使相对位置沿树脂材料收容部21的边缘24移动时的移动速度较于其他位置的移动速度快，能够使树脂材料P的供给量近乎均匀。
利用本实施方案的树脂材料供给装置10供给树脂材料的树脂材料移送托盘的树脂材料收容部(及对应于其的压缩成形装置的成形模具的模槽)的平面形状并不限于图3所示的长方形，可设为长方形以外的四边形、四边形以外的多边形、圆形等任意的形状。例如在使用树脂材料收容部21A为圆形的树脂材料移送托盘20A的情形时，可使相对位置沿图7(a)所示的轨道23A1移动。在该移动中，相对位置是将树脂材料收容部21A的边缘附近作为开始位置22A，首先，沿该边缘呈圆弧状移动将近90°之后，一面朝向圆的中心移动相当于树脂材料供给口121的宽度的量，一面转U形弯，呈同心圆(圆弧)状朝反方向移动将近90°之后，进一步地转U形弯，反复进行该动作直至到达至该圆之中心附近。此处设为“将近90°”而非90°的原因在于：为了确保转U形弯所需的区域。继而，相对位置在该圆的中心附近移动将近180°，一面朝向树脂材料收容部21A的边缘移动相当于树脂材料供给口121的宽度的量，一面转U形弯，呈同心圆(圆弧)状向反方向移动将近90°之后，进一步地转U形弯，反复进行该动作直至到达至边缘附近。进一步地，相对位置于边缘附近移动将近180°后，进行与此前相同的自边缘附近朝向圆的中心的操作，其后进行自圆的中心朝向边缘附近的操作。然后，在相对位置于该边缘附近呈圆弧状移动时到达至开始位置22A，结束一连串的移动。
在图7(a)的示例中，相对位置每当移动将近90°时转U形弯，在到达至圆的中心或边缘时移动将近180°，但也可如在图7(b)中以轨道23A2所示般，每当移动将近180°时转U形弯，在到达至圆的中心或边缘时移动将近360°。
在图8中表示变形例的树脂材料供给装置10A的概略构成。变形例的树脂材料供给装置10A除了具有上述树脂材料供给装置10所具有的构成要素以外，还具有供给速度检测部191及警报发送部192。供给速度检测部191在对供给对象物供给树脂材料期间，获取计量部14所计量的重量，由该重量的时间变化检测树脂材料向供给对象物的供给速度。警报发送部192在利用供给速度检测部191所检测出的树脂材料的供给速度偏离既定范围的情形时发出警报音。警报发送部192也可代替发出警报音，而发出光或于画面上显示图像。若供给速度偏离既定范围，则供给至供给对象物的树脂材料的量会偏离目标值，故而通过以此方式发出警报，能够防止以错误的树脂材料的量进行树脂成形。另外，也可代替设置警报发送部192，而设置在利用供给速度检测部191检测出的树脂材料的供给速度偏离既定范围的情形时使装置停止的停止控制部。
在以上的示例中，以对树脂材料移送托盘20供给树脂材料的情形为例进行了说明，但也可自树脂材料供给装置10对具有上述以外的构成的树脂材料移送托盘供给树脂材料。另外，也可将成形模具设为可搬送，自树脂材料供给装置10对该成形模具的模槽供给树脂材料，也可自树脂材料供给装置10对封装有电子零件的基板的表面供给树脂材料。树脂材料并不限于粉体状，也可使用液体状。
(3)本实施方案的树脂成形装置(压缩成形装置)及树脂成形品制造方法的实施方案：
本实施方案的树脂成形装置具有上述树脂材料供给装置10及压缩成形部30。以下，使用图9对压缩成形部30的构成进行说明。
在压缩成形部30中，在下部固定盘311的四角分别立设有连杆32(一共4根)，在连杆32的上端附近设置有长方形的上部固定盘312。在下部固定盘311与上部固定盘312之间设置有长方形的可动平台33。可动平台33在四角设置有供连杆32通过的孔，可沿连杆32上下移动。在下部固定盘311之上，设置有为使可动平台33上下移动的装置的合模装置34。
在可动平台33的上面配置有下部加热器351，在下部加热器351之上，设置有作为上述第2成形模具的下模LM。
在上部固定盘312的下表面配置有上部加热器352，在上部加热器352之下，安装有为上述第1成形模具的上模UM。在上模UM的下面，能够安装封装有半导体芯片的基板S。上模UM与下模LM系相互对向地配置。
压缩成形部30的动作如下。首先，通过基板移动机构(未图示)，在上模UM的下面安装封装有半导体芯片的基板S。接着，如上所述般将在树脂材料供给装置10中被供给有树脂材料P的树脂材料移送托盘20通过移送部18移送至下模LM的正上方，将树脂材料收容空间PA内的树脂材料P与离形薄膜F一并收容至模槽MC内。另外，向上模UM的基板S的安装与向下模LM的树脂材料P的收容也可以与上述相反的顺序进行。
在该状态下，通过利用下部加热器351对模槽MC内的树脂材料P进行加热而使其软化，并且通过上部加热器352对基板S进行加热。在树脂材料P及基板S已被加热的状态下，通过合模装置34使可动平台33上升，将成形模具(上模UM与下模LM)合模，使树脂材料P硬化。在树脂材料P硬化后，通过利用合模装置34使可动平台33下降而开模。
通过以上所述的树脂材料供给装置10及压缩成形部30的动作(树脂成形品制造方法)，而制造树脂密封有半导体芯片的树脂密封品(树脂成形品)。所获得的树脂密封品系通过下模LM的内面由离形薄膜F被覆，而自下模LM顺利地脱模。
接着，使用图10，对本发明的树脂成形装置的其他实施方案进行说明。本实施方案的树脂成形装置40具有材料接收模组41、成形模组42、及排出模组43。材料接收模组41是用以自外部接收树脂材料P及基板S并送出至成形模组42的装置，具备上述树脂材料供给装置10，并且具有基板接收部411。1台成形模组42具备1组上述压缩成形部30。在图10中表示有3台成形模组42，但在树脂成形装置40中可设置任意台数的成形模组42。另外，即便在将树脂成形装置40组装完成而开始使用之后，也能够增减成形模组42。排出模组43的作用为将利用成形模组42制造的树脂成形品自成形模组42搬入并保持，并具有树脂成形品保持部431。
以贯穿材料接收模组41、1或多台成形模组42及排出模组43的方式，设置有搬送基板S、树脂材料移送托盘20及树脂成形品的主搬送装置46。上述移送部18构成主搬送装置46的一部分。另外，在各模组内，在主搬送装置46与该模组内的装置之间设置有搬送基板S、树脂材料移送托盘20及树脂成形品的副搬送装置47。
此外，树脂成形装置40具有用以使上述各模组动作的电源及控制部(均未图示)。
对树脂成形装置40的动作进行说明。基板S是由操作者保持于材料接收模组41的基板接收部411。主搬送装置46及副搬送装置47将基板S自基板接收部411搬送至处于成形模组42中的1台中的压缩成形部30，并将基板S安装至该压缩成形部30的上模UM。继而，主搬送装置46及副搬送装置47将树脂材料移送托盘20搬入至树脂材料供给装置10。在树脂材料供给装置10中，如上所述般对树脂材料移送托盘20供给树脂材料P。主搬送装置46及副搬送装置47将被供给有树脂材料P的树脂材料移送托盘20搬送至在上模UM安装有基板S的成形模组42的压缩成形部30，将树脂材料移送托盘20配置于该压缩成形部30的下模LM之上后，将树脂材料P自树脂材料移送托盘20供给至下模LM的模槽MC。其后，通过主搬送装置46及副搬送装置47将树脂材料移送托盘20自压缩成形部30搬出，其后在该压缩成形部30中进行压缩成形。在利用该压缩成形部30进行压缩成形期间，对其他压缩成形部30进行与此前相同的操作，由此可在多个压缩成形部30间一面错开时间一面并行地进行压缩成形。通过压缩成形而获得的树脂成形品是通过主搬送装置46及副搬送装置47自压缩成形部30搬出，搬入至排出模组43的树脂成形品保持部431并保持。使用者适当将树脂成形品自树脂成形品保持部431取出。
本发明当然并不限定于上述各实施方案，除上述说明中所述的方面以外，也能够进行各种变形。

Claims (10)

1.一种树脂材料供给装置，其特征在于，具备：
a)供给对象物保持部，其保持供给对象物，该供给对象物作为被供给树脂材料的对象；
b)树脂材料供给口，其设置在该供给对象物保持部的上方；
c)移动部，其使上述树脂材料供给口相对于保持在上述供给对象物保持部的供给对象物的水平方向的相对位置移动；及
d)控制部，其以上述相对位置自开始位置起不会在移动路径中通过同一位置2次以上地返回至该开始位置的方式控制上述供给对象物的供给对象区域中的上述移动部的移动。
2.根据权利要求1所述的树脂材料供给装置，其中，上述相对位置的移动速度及自上述树脂材料供给口供给的树脂材料的供给速度中的任一个或两个可变。
3.根据权利要求2所述的树脂材料供给装置，其中，上述移动速度可变，且上述供给速度为等速。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的树脂材料供给装置，其具备供给速度检测部，该供给速度检测部检测自上述树脂材料供给口供给的树脂材料的供给速度。
5.一种树脂材料供给方法，其特征在于：一面使为供给树脂材料的对象的供给对象物与设置在该供给对象物的上方的树脂材料供给口的水平方向的相对位置以自开始位置起不会在移动路径中通过同一位置2次以上地返回至该开始位置的方式在上述供给对象物的供给对象区域移动，一面自该树脂材料供给口对该供给对象物供给树脂材料。
6.根据权利要求5所述的树脂材料供给方法，其中，上述相对位置的移动速度及自上述树脂材料供给口供给的树脂材料的供给速度中的任一个或两个可变。
7.根据权利要求6所述的树脂材料供给方法，其中，上述移动速度可变，且上述供给速度为等速。
8.根据权利要求5至7中任一项所述的树脂材料供给方法，其检测自上述树脂材料供给口供给的树脂材料的供给速度。
9.一种树脂成形装置，其特征在于，具备：
根据权利要求1至4中任一项所述的树脂材料供给装置；
压缩成形部，其具有第1成形模具、具有模槽的第2成形模具及将该第1成形模具与该第2成形模具合模的合模机构；及
移送部，其将通过上述树脂材料供给装置而被供给有树脂材料的供给对象物移送至上述模槽之上，自该供给对象物对该模槽供给该树脂材料。
10.一种树脂成形品制造方法，其特征在于，具有如下步骤：
通过根据权利要求5至8中任一项所述的树脂材料供给方法对上述供给对象物供给树脂材料的步骤；
将被供给有树脂材料的供给对象物移送至第2成形模具的模槽，且自该供给对象物对该模槽供给该树脂材料的步骤；及
将第1成形模具与模槽中供给有树脂材料的第2成形模具合模的步骤。
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