JP6057880B2 - 圧縮成形装置の樹脂材料供給方法及び供給装置 - Google Patents

Description

本発明は、半導体チップなどの電子部品を樹脂封止する方法に関し、特に圧縮成形のために顆粒状、粉末状、ペースト状、液状などの樹脂材料（以下、これらを総称して単に「樹脂材料」と呼ぶ。）を成形型のキャビティに供給する方法、及び装置に関する。

電子部品の薄型化に伴い、圧縮成形が用いられるようになってきている。圧縮成形では、離型フィルムで被覆した下型のキャビティに樹脂材料を供給し、該樹脂材料を加熱溶融して、上型に取り付けた、電子部品を装着した基板を該溶融樹脂に浸漬させた後、下型と上型を型締めすることで該樹脂を圧縮して成形が行われる。このような圧縮成形では、大型の基板の全体に亘って欠陥のない成形を行うためには、キャビティに所定量の樹脂材料を均一に過不足無く供給することが重要となる。

特許文献１には、キャビティに顆粒状樹脂Ｒを均一の厚さで過不足無く供給する方法が次のように記載されている（図１参照）。まず、下型１８のキャビティ１８ａの開口に対応した形状の開口を上下に有する矩形フレーム枠１１の下部の開口を離型フィルム１２で被覆し、矩形フレーム枠１１の下面で吸着して凹状収容部１３を作製する(a)。この凹状収容部１３を載置台１４に載せ、フィーダ１５から顆粒状樹脂Ｒを離型フィルム１２上で均一の厚さとなるように供給する(b)。その後、顆粒状樹脂Ｒを収容した凹状収容部１３を、矩形フレーム枠１１で囲まれた離型フィルム１２の部分がキャビティ１８ａの真上にくるようにして下型１８の型面に載置し(c)、矩形フレーム枠１１の下面での離型フィルム１２の吸着を解除した後、離型フィルム１２を、その上にある顆粒状樹脂Ｒと共にキャビティ１８ａ内に吸引して引き込む(d)。これによって、均一の厚さの顆粒状樹脂Ｒがキャビティ１８ａ内に供給される。その後、顆粒状樹脂Ｒを加熱溶融し(e)、この溶融樹脂Ｒｍをキャビティ１８ａ内に含む下型１８と、電子部品２０を装着した基板２１を、その装着面を下方に向けた状態で取り付けた上型１９とを型締めすることにより、電子部品２０を溶融樹脂Ｒｍに浸漬すると共に、溶融樹脂Ｒｍを樹脂加圧用のキャビティ底面部材１８ｂにより押圧する(f)。溶融樹脂Ｒｍが固化した後に上型１９と下型１８を型開きすることにより、電子部品２０の樹脂封止成形品が得られる(g)。

この方法では、図２に示すように、矩形フレーム枠１１の開口より大きいサイズの矩形の離型フィルム１２の対向する二辺１２ａ、１２ｂをそれぞれグリップ（把持部材）２５で把持し、これらのグリップ２５を離型フィルム１２の面内にて互いに反対方向に引っ張った（すなわち、同一平面内で一方向（図２中ではＸ方向）に引っ張った）後、矩形フレーム枠１１の下面に吸着し、矩形フレーム枠１１に装着することにより、凹状収容部１３を作製している。

特開2010-036542号公報

半導体基板はますます大型化しつつあり、それに伴ってキャビティ及びフレーム枠（凹状収容部）も大型化しつつある。一方、離型フィルムは、キャビティの内面形状になじむように変形する必要があるため、厚くすることはできない。このように薄い離型フィルムを大型のフレーム枠に用いた場合、特許文献１におけるように離型フィルムをその面内で一方向に引っ張るのみであると、離型フィルムにかかる面内のテンション（張力）も一方向のみであり、それに直交する方向には何らのテンションが加わらず、離型フィルムには、引張方向に直交する方向に波打つようなシワが発生するという問題が生じる。このようにシワがある離型フィルムを用いた場合、キャビティに供給される樹脂材料の厚さの均一性が保証されず、また、このシワが樹脂に転写されて成形品樹脂の表面凹凸欠陥となる。

本発明が解決しようとする課題は、大きなフレーム枠、大きな離型フィルムであっても、離型フィルムを、シワができないように適切にフレーム枠の下部に張設して凹状収容部を作製することができ、それにより樹脂材料をキャビティ内に均一の厚さで供給することができる圧縮成形装置の樹脂材料供給方法及び供給装置を提供することである。

上記課題を解決するために成された本発明に係る圧縮成形装置の樹脂材料供給方法は、
上型と下型とから成る圧縮成形用型の下型キャビティに樹脂材料を供給するために、該下型キャビティの開口に対応した形状の開口を上下に有するフレーム枠と該フレーム枠の下部の開口を被覆した離型フィルムとにより作製した凹状収容部に樹脂材料を供給する方法であって、
a) 前記フレーム枠よりも大きい離型フィルムを、フィルム把持部材によって二以上の方向において両側で保持することにより該離型フィルムを張設するフィルム張設工程と、
b) 前記張設された離型フィルムの上に前記フレーム枠を、前記フィルム把持部材よりも内側において該フレーム枠の下部全周が接触するように配置するフレーム枠配置工程と、
c) 前記フレーム枠を前記フィルム把持部材に対して前記離型フィルムの面に垂直な方向に移動させて、前記フレーム枠の内側の領域の前記離型フィルムを前記フレーム枠と同じ方向に移動させることにより該フレーム枠内での前記離型フィルムの張力を増加させる張力調整工程と
を含むことを特徴とする。

本発明に係る圧縮成形装置の樹脂材料供給方法では、まず、離型フィルムがフィルム把持部材によって二以上の方向において両側で保持され、それによりフィルム把持部材間で張設される。このように張設された離型フィルム上にフレーム枠を、その下部全周が接触するように配置すると、離型フィルムはそのフレーム枠の内部において、該二以上の方向に張力がかかって張設された状態となる。そのため、本発明に係る圧縮成形装置の樹脂材料供給方法によると、離型フィルムには、従来のように一方向にのみ引っ張っていた場合に生じていた波状のシワが発生しない。なお、ここで離型フィルムの上にフレーム枠の下部全周を接触させる場合、単に接触させるだけでもよいし、接触させた後、フレーム枠を離型フィルムに沈めるようにして押し付けてもよい。

その後、そのフレーム枠内の離型フィルム上に顆粒状、粉末状、ペースト状、液状などの樹脂材料を均一な厚さで供給し、該樹脂材料と共に離型フィルムを下型キャビティ内に引き込むことにより、下型キャビティ内に樹脂材料を均一の厚さで供給することができる。

フレーム枠が大きい場合、そのフレーム枠内での離型フィルムの張力が不十分であると、離型フィルムの自重により離型フィルムはフレーム枠内の中央部分で下方にたるんで（垂下して）しまう。上記張力調整工程でフレーム枠内での離型フィルムの張力を調整することにより、フレーム枠の大きさと離型フィルムの厚さに応じて、離型フィルムに無理な力を掛けることなく、しかも、フレーム枠内での緩みのない、適切な張力での離型フィルムの張設が可能となる。

本発明に係る圧縮成形装置の樹脂材料供給方法は、フレーム枠が矩形である場合、前記二以上の方向は垂直な二方向とし、前記フィルム把持部材は垂直な二方向において両側に設けられたフィルム把持具とすることができる。この場合、矩形のフレーム枠は、その辺が該二方向に平行となるように、該フィルム把持具の間に（フレーム枠の下部全周が離型フィルムに接触するようにして）配置する。

本発明に係る圧縮成形装置の樹脂材料供給方法は、フレーム枠が円形である場合、前記フィルム把持部材は円形のフィルム把持具とすることができる。この場合、フィルム把持具は、その中心を挟む少なくとも二方向の両側において離型フィルムを把持し、フィルム把持具内に離型フィルムを張設する。そして、円形のフレーム枠は、そうしてフィルム把持具内に張設された離型フィルム上に（フレーム枠の下部全周が離型フィルムに接触するようにして）配置する。

上記課題を解決するために成された本発明に係る圧縮成形装置用の樹脂材料供給装置は、
上型と下型とから成る圧縮成形用型の下型キャビティに樹脂材料を供給するために、該下型キャビティの開口に対応した形状の開口を上下に有するフレーム枠と該フレーム枠の下部の開口を被覆した離型フィルムとにより作製した凹状収容部に樹脂材料を供給する装置であって、
a) 前記フレーム枠よりも大きい離型フィルムを二以上の方向において両側で保持することにより該離型フィルムを張設するフィルム把持部材と、
b) 前記フィルム把持部材により張設された離型フィルムの上かつ前記フィルム把持部材よりも内側において前記フレーム枠の下部全周が接触するように、前記フィルム把持部材に対して前記フレーム枠を配置するフレーム枠配置部材と、
c) 前記フレーム枠を前記フィルム把持部材に対して前記離型フィルムの面に垂直な方向に移動させて、前記フレーム枠の内側の領域の前記離型フィルムを前記フレーム枠と同じ方向に移動させることにより該フレーム枠内での前記離型フィルムの張力を増加させる張力調整部材と
を備えることを特徴とする。

本発明に係る圧縮成形装置用の樹脂材料供給装置では、まず、離型フィルムがフィルム把持部材によって二以上の方向において両側で保持され、それによりフィルム把持部材間で張設される。このように張設された離型フィルムに、フレーム枠配置部材により、フレーム枠を、その下部全周が離型フィルムに接触するように配置すると、離型フィルムはフレーム枠の内部において、該二以上の方向に張力がかかって張設された状態となる。そのため、本発明に係る圧縮成形装置用の樹脂材料供給装置によると、離型フィルムには、従来のように一方向にのみ引っ張っていた場合に生じていた波状のシワが発生しない。なお、ここでも、離型フィルムの上にフレーム枠の下部全周を接触させる場合、単に接触させるだけでもよいし、接触させた後、フレーム枠を離型フィルムに沈めるようにして押し付けてもよい。

その後、そのフレーム枠内の離型フィルム上に均一な厚さの樹脂材料を供給し、該樹脂材料と共に離型フィルムを下型キャビティ内に引き込むことにより、下型キャビティ内に樹脂材料を均一の厚さで供給することができる。

また、張力調整部材によってフレーム枠内での離型フィルムの張力を調整することにより、フレーム枠の大きさと離型フィルムの厚さに応じて、離型フィルムに無理な力を掛けることなく、しかも、フレーム枠内での緩みのない、適切な張力での離型フィルムの張設が可能となる。

フレーム枠が矩形である場合、前記二以上の方向は垂直な二方向とし、前記フィルム把持部材は垂直な二方向において両側に設けられたフィルム把持具とすることができる。この場合、フレーム枠配置部材は、矩形のフレーム枠を、その辺が該二方向に平行となるように、該フィルム把持具の間に（フレーム枠の下部全周が離型フィルムに接触するようにして）配置する。

フレーム枠が円形である場合、前記フィルム把持部材は円形のフィルム把持具とすることができる。この場合、フィルム把持具は、その中心を挟む少なくとも二方向の両側において離型フィルムを把持することによりフィルム把持具内に離型フィルムを張設する。そして、フレーム枠配置部材は、円形のフレーム枠を、そうしてフィルム把持具内に張設された離型フィルム上に（フレーム枠の下部全周が離型フィルムに接触するようにして）配置する。

本発明に係る圧縮成形装置の樹脂材料供給方法及び供給装置によると、大きなフレーム枠、大きな離型フィルムであっても、離型フィルムを、シワができないように適切にフレーム枠の下部に張設して凹状収容部を作製することができ、それにより樹脂材料をキャビティ内に均一の厚さで供給することができる。

従来の圧縮成形の手順を説明する概略図。 従来の圧縮成形装置における離型フィルムの張設方法を説明する平面概略図(a)、及び側面概略図(b)。 本発明の一実施例に係る圧縮成形装置の概略構成図。 同実施例に係る圧縮成形装置用の樹脂材料供給装置の凹状収容部作製部の平面概略図(a)、及びA-A断面図(b)。 同実施例の樹脂材料供給装置における樹脂材料供給方法を説明するフローチャート。 同実施例の樹脂材料供給装置において、離型フィルムをグリップにより張設し(a)、張力を調整し(b)、フレーム枠を離型フィルム上に配置し(c)、その後フレーム枠を接触させて配置した状態(d)、及びグリップに張設した離型フィルムにフレーム枠の全重量が負荷されるようにした状態(e)を示す説明図。 同実施例の矩形の離型フィルムにかかる力を図示した平面概略図。 本発明の別の実施例に係る圧縮成形装置用の樹脂材料供給装置の凹状収容部作製部の平面概略図(a)、及びA-A断面図(b)。 同実施例の樹脂材料供給装置における凹状収容部の作製方法を説明するフローチャート。 同実施例の樹脂材料供給装置において、離型フィルムをグリップにより張設し(a)、フレーム枠を離型フィルム上に配置し(b)、フレーム枠を接触させて配置し(c)、その後張力を調整した状態(d)を示す説明図。 同実施例において、円形の離型フィルムにかかる力を図示した平面概略図。 本発明の別の実施例に係る圧縮成形装置用の樹脂材料供給装置の凹状収容部作製部の平面概略図(a)、及びA-A断面図(b)。

（第１実施例）
本発明に係る圧縮成形装置用の樹脂材料供給装置の一実施例について、図３及び図４を参照しながら説明する。この樹脂材料供給装置３０は、上型３８ａと下型３８ｂとを備える圧縮成形装置の下型キャビティ３９内に樹脂材料（本実施例では顆粒状樹脂）３４を均一の厚さで供給するための装置であり、凹状収容部作製部３１と、樹脂材料供給部３２と、セッティング部３３から構成される。本実施例の下型キャビティ３９の平面形状は矩形である。なお、図４(a)において、離型フィルム３７は点線で示している。

本実施例では、下型キャビティ３９に樹脂材料３４を均一の厚さで供給するために用いられる凹状収容部３５は、該下型キャビティ３９とほぼ同形の矩形状開口を上下に有するフレーム枠３６と、このフレーム枠３６の下面を被覆する離型フィルム３７により形成される。凹状収容部作製部３１は、そのような凹状収容部３５を作製するための装置であり、前記フレーム枠３６を囲繞する大きさの矩形状の外枠部材６０と、該外枠部材６０の各辺の内側に配置される4組の棒状グリップ４１〜４４と、各棒状グリップ４１〜４４を外枠部材６０の各辺の内側に保持すると共に各棒状グリップ４１〜４４と各辺の間の距離を調整する幅調整ネジ６１とから成る。各棒状グリップ４１〜４４は、上下の把持片ペア４１ａ・４１ｂ〜４４ａ・４４ｂと、離型フィルム３７を挟んでそれらを固定する2本の固定ネジ４６から成る。

フレーム枠３６の各辺の上部のほぼ中心には、それぞれ1個のフレーム枠保持部材５０が固定されている。フレーム枠保持部材５０はフレーム枠３６の各辺から外側に突出しており、その突出部にはそれぞれ高さ調整ネジ５１が設けられている。

本実施例の樹脂材料供給装置３０の動作を、本発明の特徴的部分である凹状収容部作製部３１の部分を中心に、図５のフローチャート、図４及び図６を参照しながら以下に説明する。
まず、フレーム枠３６の開口を被覆することができる大きさの矩形の離型フィルム３７の各辺を各グリップ４１、４２、４３、４４の上下の把持片ペア４１ａ・４１ｂ〜４４ａ・４４ｂで挟み、各把持片ペア４１ａ・４１ｂ〜４４ａ・４４ｂを固定ネジ４６で締めることによって、離型フィルム３７を4本のグリップ４１〜４４で保持する。これにより、離型フィルム３７は、矩形の対向する二辺間において（すなわち、図４(a)中のＸ方向とＹ方向の二方向において）保持され、張設される（ステップＳ１１、図６(a)）。なお、ここで離型フィルム３７をＸ、Ｙの二方向の両側のグリップ４１〜４４で保持・張設する際、離型フィルム３７は必ずしも平面状に緊張した状態で張設しておく必要はなく、多少の緩みやたわみがあっても良い。

その後、各グリップ４１〜４４とそれに対応する外枠部材６０の各辺の間の2個の幅調整ネジ６１を締めることにより、グリップ４１、４３をＸ方向に、グリップ４２、４４をＹ方向に、それぞれ引っ張り、離型フィルム３７に緩みやシワ、たるみが無くなった時点で幅調整ネジ６１を固定する（ステップＳ１２、図６(b)）。

その後、こうして張設した離型フィルム３７の上方にフレーム枠３６を置く（図６(c)）。このとき、フレーム枠３６の各辺のフレーム枠保持部材５０の突出部が、高さ調整ネジ５１を介して各グリップ４１〜４４の上面に載ることになる。この4本の高さ調整ネジ５１を締め又は緩めることにより、フレーム枠３６を、その下部全周が離型フィルム３７に丁度接触するようにする（ステップＳ１３、図６(d)）。このように、フレーム枠３６の下部全周を離型フィルム３７に丁度接触させるだけであっても、凹状収容部３５の下面を構成する離型フィルム３７はシワのない、きれいな平面状となっている。

上記の実施例では、グリップ４１〜４４で離型フィルム３７を保持した後、幅調整ネジ６１により、離型フィルム３７が緩みやたるみの無い平面状に張設されるようにし、その後、その状態の離型フィルム３７の上面にフレーム枠３６の下部全周を丁度接触させるようにしたが、別の方法として、グリップ４１〜４４で離型フィルム３７を保持し、幅調整ネジ６１で離型フィルム３７を張設する際、多少の緩みやたるみを持たせたままにしておくという方法をとることもできる。この場合、そのような離型フィルム３７上にフレーム枠３６を載置し、離型フィルム３７上にフレーム枠３６の全重量ｗが負荷されるようにする（図６(a)→図６(e)）ことにより、離型フィルム３７に張力（テンション）が掛かり、フレーム枠３６の下部開口の内部で離型フィルム３７がシワのない、きれいな平面状に張設されることになる。

更に、その後、高さ調整ネジ５１を締めることにより、離型フィルム３７に負荷されるフレーム枠３６の重量を軽減し、離型フィルム３７に掛かるテンションを小さくすることもできる。この方法によれば、フレーム枠３６の大きさと離型フィルム３７の厚さ（強さ）を勘案して高さ調整ネジ５１の締め具合を調整することにより、離型フィルム３７に最適なテンションを掛けることができるようになる。

以上のようにして、離型フィルム３７がフレーム枠３６の内部において、Ｘ方向とＹ方向の二方向に張力がかかって張設された状態となり、凹状収容部３５が作製される。本実施例の樹脂材料供給装置３０ではこのような構成であるため、離型フィルム３７には、従来のように一方向にのみ引っ張っていた場合に生じていた波状のシワが発生しない。

図７(a)は、図６(d)の離型フィルム３７にかかる力を示す平面図であり、図７(b)は、図６(e)の離型フィルム３７にかかる力を示す平面図である。図７では、離型フィルム３７がグリップ４１〜４４によって把持されている部分を二点鎖線で、フレーム枠３６の外周縁を点線で示している。図７(a)、(b)に示すように、本実施例の樹脂材料供給装置３０では、凹状収容部３５の下面を形成する離型フィルム３７に、その面内で、互いに対向する二点において、反対方向に等しい力がかかる。そのため、矩形の離型フィルム３７は対向する二辺それぞれにおいて均一の力で互いに反対方向に引っ張られ、シワが無くなる。

このようにして形成された凹状収容部３５は、幅調整ネジ６１及び高さ調整ネジ５１により外枠部材６０に固定され、一体化した状態で、その後の、凹状収容部３５内への樹脂材料３４の供給及び離型フィルム３７と樹脂材料３４の下型キャビティ３９への引き込みを行うことができる。もちろん、特許文献１に記載のように、このように張設された離型フィルム３７をフレーム枠３６の下面に吸着などすることにより固定した後、幅調整ネジ６１を緩めて外枠部材６０を取り外し、凹状収容部３５のみでそこへの樹脂材料３４の供給及び離型フィルム３７と樹脂材料３４の下型キャビティ３９への引き込みを行ってもよい。

次に、樹脂材料供給部３２において、凹状収容部３５の離型フィルム３７上に樹脂材料３４が均一な厚さで供給される（ステップＳ１４、図３）。

最後に、そうして均一な厚さで樹脂材料３４が供給された凹状収容部３５を、セッティング部３３において、上型３８ａと下型３８ｂから成る圧縮成形装置の下型キャビティ３９の直上に配置し、下型キャビティ３９側から吸引することにより、離型フィルム３７及び樹脂材料３４を下型キャビティ３９内に引き込む（ステップＳ１５、図３）。

（第２実施例）
本発明に係る樹脂材料供給装置の第２実施例として、下型キャビティの形状が円形である圧縮成形装置に適用する場合について説明する。樹脂材料供給部３２及びセッティング部３３については、第１実施例と同じなので説明は省略する。

本実施例の樹脂材料供給装置において凹状収容部は、前記下型キャビティの開口と同形の円形開口を上下に有する円形のフレーム枠７６と、このフレーム枠７６を被覆する離型フィルム７７とにより形成される。この凹状収容部を作製するための装置である凹状収容部作製部７１（図８）は、該円形のフレーム枠７６を囲繞する上下の把持片ペア８０ａ、８０ｂと、その円周に等間隔に配置された8本の固定ネジ８６で構成される円形のグリップ８０から成る。また、フレーム枠７６の上部には、円周上の等間隔の3箇所に、フレーム枠７６から外側に突出するフレーム枠保持部材８７が固定されており、その突出部にはそれぞれ高さ調整ネジ８８が設けられている。

本実施例の凹状収容部作製部７１の動作を、図９のフローチャート、図８及び図１０を参照しながら以下に説明する。
まず、円形の離型フィルム７７をグリップ８０の把持片ペア８０ａ、８０ｂの間に挟み、把持片ペア８０ａ、８０ｂを固定ネジ８６で締めることによって、離型フィルム７７を円形のグリップ８０で保持し、その内部に張設する（ステップＳ２１、図１０(a)）。なお、ここで離型フィルム７７をグリップ８０で保持・張設する際、離型フィルム７７は必ずしも平面状に緊張した状態でなくてもよく、多少の緩みやたわみがあっても良い。

こうしてグリップ８０内にフレーム枠７６を置く。このとき、高さ調整ネジ８８は最も締めた状態、すなわち高さ調整ネジ８８がフレーム枠保持部材８７の下方から最も長く突出した状態としておく。これにより、フレーム枠７６の下面はグリップ８０内に張設された離型フィルム７７には接触しない状態となっている（図１０(b)）。その後、高さ調整ネジ８８を緩めると、フレーム枠７６はその自重ｗにより徐々に降下してゆく。そして或る時点で、フレーム枠７６の下部全周が離型フィルム７７に接触した状態となる（ステップＳ２２、図１０(c)）。このとき、離型フィルム７７は、張力（テンション）がほぼゼロで、フレーム枠７６内部に張設された状態となる。

この状態のフレーム枠７６及び離型フィルム７７で構成される凹状収容部を樹脂材料供給に用いてもよいが、内部に供給される樹脂材料３４の重量により、離型フィルム７７がたわむ可能性がある。そこで、上記のようにフレーム枠７６の下面全周が離型フィルム７７に丁度接触した状態からさらに高さ調整ネジ８８を緩めてフレーム枠７６を下げてゆき、離型フィルム７７に適度な張力（テンション）がかかったところで、高さ調整ネジ８８を固定する。このように、本実施例の樹脂材料供給装置では、大型の円形の凹状収容部であっても、シワのない離型フィルム７７がフレーム枠７６の下部の開口に適度な張力（テンション）で張設される（ステップＳ２３、図１０(d)）。

図１１は、図１０(d)の離型フィルム７７にかかる力を示す平面図である。凹状収容部の下面を形成する離型フィルム７７に、その面内において、フレーム枠７６の外周縁（点線）を起点として、円の中心から外側に向けて均等な力がかかる。そのため、円形の離型フィルム７７はその円の中心から放射状に等しい力で引っ張られ、シワが無くなる。

（第３実施例）
第２実施例の変形例として、矩形の下型キャビティに対応する凹状収容部を作製するための装置である凹状収容部作製部９１（図１２）の例を説明する。本実施例のグリップ９０は矩形の把持片ペア９０ａ、９０ｂと固定ネジ９３とから成る。下型キャビティと同形の開口を上下に有するフレーム枠９６の各辺の上部には、各辺から外側に突出するフレーム枠保持部材９４が固定され、その突出部にはそれぞれ高さ調整ネジ９２が設けられている。
本実施例でも、第２実施例の場合と同じようにステップＳ２１〜ステップＳ２３の動作を行い、高さ調整ネジ９２によってフレーム枠９６内の離型フィルム９７にかかる張力を調整することにより、離型フィルム９７にシワやたわみなどの無い凹状収容部を作製することができる。

上記実施例は本発明の一例であり、本考案の趣旨の範囲で適宜に変形や修正、追加が許容される。例えば、圧縮成形装置に樹脂材料を供給する樹脂材料供給装置において、以下のように、上記実施例の各工程を適宜な自動機構を用いて実施する（自動運転する）ことができる。
すなわち、矩形の或いは円形のフレーム枠を用いて樹脂材料を供給する樹脂材料供給装置において、（樹脂材料供給装置に設けた基台の上に載置した）矩形の或いは円形の離型フィルムを、適宜な駆動機構にて所要数のグリップで把持して該離型フィルムに張力（テンション）を加え張設し、適宜な駆動機構にてフレーム枠を離型フィルムの上に載置することができる。
また、適宜な駆動機構によってグリップを、フレーム枠の下面に垂直な方向に上方又は下方に移動させ張力を調整しても良い。このとき、グリップを上方に移動させると離型フィルムはフレーム枠の下端面の外周縁に掛かり、下方に移動させると装置基台の縁に掛かることになる。このように張設した離型フィルムをフレーム枠の下面に固定することにより凹状収容部を作製することができる。

このような駆動機構として、エアシリンダー機構、エアスプリング機構、カム機構、リンク機構、直線ソレノイド機構などを用いることができる。

また、上記実施例において、適宜な自動機構を用いて、ロール巻状の離型フィルムを所要の長さに切断した矩形の離型フィルム、或いは、円形に切り抜いた円形の離型フィルムを用いることができる。

３０…圧縮成形装置用の樹脂材料供給装置
３１、７１、９１…凹状収容部作製部
３２…樹脂材料供給部
３３…セッティング部
３４…樹脂材料
３５…凹状収容部
３６、７６、９６…フレーム枠
３７、７７、９７…離型フィルム
３９…下型キャビティ
４１〜４４、８０、９０…グリップ
４１ａ・４１ｂ〜４４ａ・４４ｂ、８０ａ・８０ｂ、９０ａ・９０ｂ…上下の把持片ペア
４６、８６、９３…固定ネジ
５０、８７、９４…フレーム枠保持部材
５１、８８、９２…高さ調整ネジ
６０…外枠部材
６１…幅調整ネジ

Claims (10)

1. 上型と下型とから成る圧縮成形用型の下型キャビティに樹脂材料を供給するために、該下型キャビティの開口に対応した形状の開口を上下に有するフレーム枠と該フレーム枠の下部の開口を被覆した離型フィルムとにより作製した凹状収容部に樹脂材料を供給する方法であって、
   a) 前記フレーム枠よりも大きい離型フィルムを、フィルム把持部材によって二以上の方向において両側で保持することにより該離型フィルムを張設するフィルム張設工程と、
   b) 前記張設された離型フィルムの上に前記フレーム枠を、前記フィルム把持部材よりも内側において該フレーム枠の下部全周が接触するように配置するフレーム枠配置工程と、
   c) 前記フレーム枠を前記フィルム把持部材に対して前記離型フィルムの面に垂直な方向に移動させて、前記フレーム枠の内側の領域の前記離型フィルムを前記フレーム枠と同じ方向に移動させることにより該フレーム枠内での前記離型フィルムの張力を増加させる張力調整工程と
   を含むことを特徴とする圧縮成形装置の樹脂材料供給方法。
2. 前記フレーム枠が矩形であり、
   前記二以上の方向が垂直な二方向であり、
   前記フィルム把持部材が、前記垂直な二方向において両側に設けられたフィルム把持具から成り、そして
   前記フレーム枠配置工程において、前記フレーム枠を、その辺が前記垂直な二方向に平行となるように、前記フィルム把持具の間に、フレーム枠の下部全周が前記離型フィルムに接触するようにして配置する
   ことを特徴とする請求項１に記載の圧縮成形装置の樹脂材料供給方法。
3. 上型と下型とから成る圧縮成形用型の下型キャビティに樹脂材料を供給するために、該下型キャビティの開口に対応した形状の開口を上下に有するフレーム枠と該フレーム枠の下部の開口を被覆した離型フィルムとにより作製した凹状収容部に樹脂材料を供給する方法であって、
   a) 前記フレーム枠よりも大きい離型フィルムを、フィルム把持部材によって二以上の方向において両側で保持することにより該離型フィルムを張設するフィルム張設工程と、
   b) 前記張設された離型フィルムの上に前記フレーム枠を、該フレーム枠の下部全周が接触するように配置するフレーム枠配置工程とを備え、
   前記フレーム枠が円形であり、
   前記フィルム把持部材が、円形のフィルム把持具から成り、
   前記フィルム張設工程において、前記フィルム把持具が、その中心を挟む少なくとも二方向の両側において前記離型フィルムを把持することにより前記フィルム把持具内に前記離型フィルムを張設し、そして
   前記フレーム枠配置工程において、前記フレーム枠を、前記張設された離型フィルム上に、前記フレーム枠の下部全周が前記離型フィルムに接触するようにして配置する
   ことを特徴とする圧縮成形装置の樹脂材料供給方法。
4. さらに、
   c) 前記フレーム枠を前記フィルム把持部材に対して前記離型フィルムの面に垂直な方向に移動させることにより該フレーム枠内での前記離型フィルムの張力を増加又は減少させる張力調整工程
   を含むことを特徴とする請求項３に記載の圧縮成形装置の樹脂材料供給方法。
5. 請求項１〜４のいずれかに記載の樹脂材料供給方法を用いることを特徴とする樹脂材料の圧縮成形方法。
6. 上型と下型とから成る圧縮成形用型の下型キャビティに樹脂材料を供給するために、該下型キャビティの開口に対応した形状の開口を上下に有するフレーム枠と該フレーム枠の下部の開口を被覆した離型フィルムとにより作製した凹状収容部に樹脂材料を供給する装置であって、
   a) 前記フレーム枠よりも大きい離型フィルムを二以上の方向において両側で保持することにより該離型フィルムを張設するフィルム把持部材と、
   b) 前記フィルム把持部材により張設された離型フィルムの上かつ前記フィルム把持部材よりも内側において前記フレーム枠の下部全周が接触するように、前記フィルム把持部材に対して前記フレーム枠を配置するフレーム枠配置部材と、
   c) 前記フレーム枠を前記フィルム把持部材に対して前記離型フィルムの面に垂直な方向に移動させて、前記フレーム枠の内側の領域の前記離型フィルムを前記フレーム枠と同じ方向に移動させることにより該フレーム枠内での前記離型フィルムの張力を増加させる張力調整部材と
   を備えることを特徴とする圧縮成形装置用の樹脂材料供給装置。
7. 前記フレーム枠が矩形であり、
   前記二以上の方向が垂直な二方向であり、
   前記フィルム把持部材が、前記垂直な二方向において両側に設けられたフィルム把持具から成り、そして
   前記フレーム枠配置部材が、前記フレーム枠を前記フィルム把持具の間に、その辺が前記垂直な二方向に平行となるように、且つ、フレーム枠の下部全周が前記離型フィルムに接触するように配置するものである
   ことを特徴とする請求項６に記載の圧縮成形装置用の樹脂材料供給装置。
8. 上型と下型とから成る圧縮成形用型の下型キャビティに樹脂材料を供給するために、該下型キャビティの開口に対応した形状の開口を上下に有するフレーム枠と該フレーム枠の下部の開口を被覆した離型フィルムとにより作製した凹状収容部に樹脂材料を供給する装置であって、
   a) 前記フレーム枠よりも大きい離型フィルムを二以上の方向において両側で保持することにより該離型フィルムを張設するフィルム把持部材と、
   b) 前記フィルム把持部材により張設された離型フィルムの上で前記フレーム枠の下部全周が接触するように、前記フィルム把持部材に対して前記フレーム枠を配置するフレーム枠配置部材とを備え、
   前記フレーム枠が円形であり、
   前記フィルム把持部材が円形のフィルム把持具から成り、
   該フィルム把持具が、その中心を挟む少なくとも二方向の両側において前記離型フィルムを把持することにより前記フィルム把持具内に前記離型フィルムを張設するものであり、そして
   前記フレーム枠配置部材が、前記フレーム枠を、前記フレーム枠の下部全周が前記離型フィルムに接触するように配置するものである
   ことを特徴とする圧縮成形装置用の樹脂材料供給装置。
9. さらに、
   c) 前記フレーム枠を前記フィルム把持部材に対して前記離型フィルムの面に垂直な方向に移動させることにより該フレーム枠内での前記離型フィルムの張力を増加又は減少させる張力調整部材
   を備えることを特徴とする請求項８に記載の圧縮成形装置用の樹脂材料供給装置。
10. 請求項６〜９のいずれかに記載の樹脂材料供給装置を備えることを特徴とする樹脂材料の圧縮成形装置。

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