TWI733940B

TWI733940B - 檢查裝置

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Publication number: TWI733940B
Application number: TW106138785A
Authority: TW
Inventors: 中尾多通夫; 鳥本和宏
Original assignee: 日商大福股份有限公司
Priority date: 2016-11-30
Filing date: 2017-11-09
Publication date: 2021-07-21
Also published as: CN113758436B; KR102412923B1; TW201823668A; JP6610518B2; KR20180062398A; JP2018091657A; CN108120388B; CN108120388A; CN113758436A

Abstract

收容容器具備：容器本體，具有收容空間；及複數支棒狀體，設置在收容空間，且，將複數支棒狀體各自以沿著第1方向的姿態來設置，並且在懸臂狀態下被容器本體支撐，又，配置複數支棒狀體，且該等棒狀體是處於在第2方向及第3方向各方向上排列複數支的狀態，又，檢測體具備投光部與受光部，且該投光部與該受光部是處於排列在第2方向的狀態，投光部會將在第3方向上具有寬度的帶狀檢測光朝向受光部投射，投光部與受光部配置在第1方向的如下之位置上，該位置是棒狀體的前端部會通過投光部與受光部之間的位置。

Description

檢查裝置

發明領域本發明是有關於一種檢查裝置，具備檢測體及使前述檢測體移動的驅動部，並將收容收容物的收容容器作為檢查對象。

發明背景這種檢查裝置的以往例子已記載在日本專利特開2009-128338號公報(專利文獻1)上。在專利文獻1的檢查裝置中，是將金屬線片匣作為檢查對象的收容容器，且該金屬線片匣是將玻璃基板作為收容物而加以收容。並且，檢查對象的金屬線片匣具備有複數條金屬線，用來將已收容的玻璃基板加以定位。複數條金屬線各自是沿著容器左右方向被設置，且複數條金屬線是在排列在容器上下方向及容器前後方向上的狀態下被配置。

發明概要課題、用以解決課題之手段在專利文獻1的檢查裝置中，具備有投光部與受光部，且該投光部與該受光部是處於排列在容器前後方向的狀態，像這樣配備的投光部與受光部的組合共配備有3組，即，用來各自檢測金屬線兩端部的2組，與用來檢測金屬線中央部的1組。並且，從支撐著金屬線片匣的升降台在升降時藉由3組投光部與受光部檢測出金屬線的時間點之偏差，會檢測出金屬線的彎曲，亦即，檢測出用來將收容物加以定位之構件的歪斜。然而，當收容容器是專利文獻1的檢查裝置作為檢查對象之金屬線片匣時，由於金屬線片匣是有重量的物體，升降金屬線片匣所使用的升降台的驅動部需要使用輸出較大的產品，因此升降台的製造成本變高，使得檢查裝置的的製造成本因此而變高。又，在收容容器中，存在一種配備複數支在懸臂狀態下被容器本體支撐的棒狀體來取代複數條金屬線的收容容器。可以在這種配備有複數支處於懸臂狀態的棒狀體之收容容器中，檢測出棒狀體的歪斜的檢查裝置至今無人知曉。

於是，希望實現一種可以檢測出配備在收容容器上的棒狀體的歪斜，並且可以抑制製造成本的檢查裝置。

有鑑於上述內容之檢查裝置的特徵構成在於如下特點：一種檢查裝置，具備有檢測體及使前述檢測體移動的驅動部，並將收容收容物的收容容器作為檢查對象，前述收容容器具備：容器本體，具有收容前述收容物的收容空間；及複數支棒狀體，設置在前述收容空間，會將收容在前述收容空間的前述收容物加以定位，複數支前述棒狀體各自是以沿著第1方向的姿態被設置，並在前述棒狀體的一側的端部即基端部固定於前述容器本體，且另一側的端部即前端部沒有被固定的懸臂狀態下被前述容器本體支撐，複數支前述棒狀體是在對前述第1方向正交的第2方向、及對前述第1方向與前述第2方向正交的第3方向的各方向上排列複數支的狀態下被配置，前述驅動部會使前述檢測體在前述第3方向上移動，前述檢測體具備投光部與受光部，且該投光部與該受光部是處於排列在前述第2方向的狀態，前述投光部會將在前述第3方向上具有寬度的帶狀檢測光朝向前述受光部投射，前述投光部與前述受光部配置在前述第1方向的如下之位置上，該位置是在使前述容器本體載置在檢查用的載置部的狀態下，前述前端部會通過前述投光部與前述受光部之間的位置。

依據這些特徴構成，收容容器可以將收容物在已藉由複數支棒狀體定位的狀態下加以收容。並且，在這種收容容器中，雖然有可能會因為收容的收容物的荷重或棒狀體的自身重量而導致棒狀體產生歪斜，但是藉由檢查裝置進行檢查，就可以如下所述地檢測出棒狀體的歪斜。若將棒狀體未產生歪斜時的棒狀體的前端部的位置設成適當位置，則在棒狀體產生歪斜時，棒狀體的前端部的位置就會從適當位置偏離。並且，檢測裝置可以依據使檢測體移動時之檢測體在第3方向的位置或是帶狀檢測光中的被棒狀體遮蔽的位置，來檢測棒狀體的前端部在第3方向的位置，從而可以檢測出棒狀體的前端部從適當位置偏離的位置，亦即可以對棒狀體檢測出歪斜。又，藉由驅動部使檢測體在第3方向上移動來檢測棒狀體的前端部的位置，就不需要使收容容器移動。並且，由於檢測體比收容容器輕，與移動收容容器時相比，可以抑制檢查裝置的製造成本。像這樣，可以提供一種可以檢測出配備在收容容器上的棒狀體的歪斜，並且可以抑制製造成本的檢查裝置。

用以實施發明之形態 1.實施形態針對將檢查裝置採用在容器收納設備的實施形態，基於圖式進行說明。如圖1及圖2所示，容器收納設備具備：收納架2，收納收容容器1；及堆高式起重機3，作為搬送收容容器1的搬送裝置。收納架2具備有複數個收納收容容器1的收納部4，該等收納部4是處於排列在上下方向Z及架長度方向X的狀態。又，收納架2具備：基板出入部5，用來對收容容器1取出放入板狀體B；容器出入部6，用來將沒有收容板狀體B的收容容器1(以下有時會稱為空的收容容器1)從收納架2取出；及檢查部7，用來檢查空的收容容器1。像這樣，收容在收容容器1的收容物為板狀體B，詳細來說的話，是液晶電視等所使用的玻璃基板。在物品收納設備中，設置有風扇過濾器單元8，而收納架2及堆高式起重機3是設置在空氣(氣體)會從天花板側朝向地板側往下方流動的空間中。

接著針對容器收容設備進行說明，從上下方向Z來看，是將沿著收納架2的方向作為架長度方向X，並將對此架長度方向X正交的方向作為架深度方向Y來進行說明。又，在架深度方向Y中，是將相對於收納架2而存在有堆高式起重機3的一側作為前側Y1，並將與前側Y1相反的一側作為後側Y2來進行說明。

[堆高式起重機] 堆高式起重機3具備：行走台車11，在形成於收納架2的前側Y1的行走路徑上，沿著棚長度方向X行走；桿柱12，豎立設置在行走台車11上；升降台13，沿著桿柱12在上下方向Z上被引導；及移載裝置14，被支撐在升降台13，且會在收納架2與自身之間移載收容容器1。又，在升降台13中，具備有迴旋裝置(圖未示)，該迴旋裝置會使移載裝置14繞著沿上下方向Z的軸心迴旋，藉由使移載裝置14迴旋180°，移載裝置14無論在與一對收納架2的任一個之間，就都可以移載收容容器1。並且，堆高式起重機3是藉由行走台車11的行走、升降台13的升降、以及移載裝置14的進退及迴旋，而在收納部4、基板出入部5、容器出入部6及檢查部7之間搬送收容容器1。再者，搬送至容器出入部6的收容容器1會從收納架2朝後方向Y2被取出，該取出的收容容器1會藉由洗淨裝置(圖未示)而被洗淨。被洗淨裝置洗淨過的洗淨後之收容容器1會回到容器出入部6。

在容器收納設備中，收容板狀體B的收容容器1被收納在收納部4，該收容容器1會藉由堆高式起重機3從收納部4被搬送至基板出入部5。在基板出入部5中，收容在收容容器1的板狀體B1會藉由移載機器人16以1片為單位被取出而被載置在搬運輸送機17，並且藉由搬運輸送機17搬送過來的板狀體B會藉由移載機器人16以1片為單位被收容在收容容器1。板狀體B在基板出入部5中的取出放入已完成的收容容器1，會藉由堆高式起重機3從基板出入部5被搬送至收納部4。

需要對收容容器1進行檢查時，該收容容器1會在藉由堆高式起重機3被搬送至基板出入部5，且藉由移載機器人16取出全部的板狀體B後，藉由堆高式起重機3被搬送至檢查部7。又，需要對收容容器1進行洗淨時，該收容容器1會在藉由堆高式起重機3被搬送至基板出入部5，且藉由移載機器人16取出全部的板狀體B後，藉由堆高式起重機3被搬送至容器出入部6。又，需要對收容容器1進行檢查及洗淨雙方時，該收容容器1會在藉由堆高式起重機3被搬送至基板出入部5，且藉由移載機器人16取出全部的板狀體B後，藉由堆高式起重機3被搬送至容器出入部6，又，洗淨後之收容容器1會藉由堆高式起重機3從容器出入部6被搬送至檢查部7。再者，在需要對收容容器1進行檢查及洗淨雙方的情況中，也可以將搬送至容器出入部6及檢查部7的順序進行交替。

[容器] 其次，針對收容容器1進行說明。再者，在容器收納設備中，收容容器1是以容器前後方向D1(第1方向)沿著架深度方向Y、容器左右方向D2(第2方向)沿著架長度方向X、容器上下方向D3(第3方向)沿著上下方向Z的姿態，來進行收納或搬送。因此，在收容容器1位在檢查部7的狀態下，容器前後方向D1會與架深度方向Y成為相同方向，容器左右方向D2會與架長度方向X成為相同方向，容器上下方向D3會與上下方向Z成為相同方向。又，容器前後方向D1的前側與架深度方向Y的前側Y1相同，容器前後方向D1的後側與架深度方向Y的後側Y2相同。

如圖3至圖6所示，收容容器1具備：容器本體22，具有收容板狀體B的收容空間21；及支撐部23，將收容在收容空間21的板狀體B從下方加以支撐。收容容器1具備有複數個支撐部23，該等支撐部23是處於排列在容器上下方向D3的狀態。並且，在收容容器1中，板狀體B是以沿著容器前後方向D1及容器左右方向D2的姿態被收容在收容空間21。

容器本體22具備：上框26；下框27，在容器上下方向D3上，位在比該上框26更下方處；中間框28，位在上框26與下框27之間，並固定在上框26及下框27。上框26、下框27及中間框28各自是將棒狀的框材組合而構成。

上框26是由上外框26A與上内框26B所構成，該上外框26A從容器上下方向D3來看，是形成為矩形，該上内框26B呈格子狀地配備在上外框26A所圍成的空間內，並固定在上外框26A。下框27是由下外框27A與下内框27B所構成，該下外框27A從容器上下方向D3來看，是形成為矩形，該下内框27B呈格子狀地配備在下外框27A所圍成的空間內，並固定在下外框27A。中間框28是由前框28A、右框28B、及左框28C所構成，該前框28A是相對於收容空間21位在容器前後方向D1的前側，該右框28B是相對於收容空間21位在容器左右方向D2的右側，該左框28C是相對於收容空間21位在容器左右方向D2的左側。前框28A是由固定在上外框26A及下外框27A並在容器上下方向D3延伸的1支框材所構成，且具備有複數支(在本實施形態中為3支)，該等前框28A是處於排列在容器左右方向D2的狀態。右框28B及左框28C各自是由在容器上下方向D3延伸的1支框材所構成，且具備有複數支(在本實施形態中為5支)，該等右框28B及左框28C是處於排列在容器前後方向D1的狀態。相對於收容空間21在容器前後方向D1的後側，並沒有具備中間框28。藉此，收容容器1相對於收容空間21在容器前後方向D1的其中一側即後側形成有出入口29，該出入口29是對收容空間21取出放入板狀體B的出入口。

複數支前框28A各自連結有複數支(在本實施形態中為3支)第1棒狀體23A，該等第1棒狀體23A是處於排列在容器上下方向D3的狀態，又，複數支第1棒狀體23A是以在容器左右方向D2及容器上下方向D3上排列複數支的狀態下被配置。第1棒狀體23A各自是以沿著容器前後方向D1的姿態被設置，並且是在第1棒狀體23A的前側的端部(一側的端部)即基端部固定在容器本體22的前框28A上，且後側的端部(另一側的端部)即前端部沒有被固定的懸臂狀態下被容器本體22支撐。複數支第1棒狀體23A各自形成為從基端部越往前端部側就越細的形狀。複數支第1棒狀體23A各自的前端部位在比容器本體22的後端更前方處，且位在與第2棒狀體23B或第3棒狀體23C相同的位置，該第2棒狀體23B或第3棒狀體23C在容器前後方向D1中是位在最後方。再者，複數支第1棒狀體23A相當於配置在收容空間21且會將收容在收容空間21的板狀體B加以定位的棒狀體。

複數支右框28B各自連結有複數支(在本實施形態中為5支)第2棒狀體23B，該等第2棒狀體23B是處於排列在容器上下方向D3的狀態，又，複數支第2棒狀體23B是以在容器前後方向D1及容器上下方向D3上排列複數支的狀態下被配置。複數支第2棒狀體23B各自是以沿著容器左右方向D2的姿態被設置，並且是在第2棒狀體23B的右側的端部即基端部固定在容器本體22的右框28B上，且左側的端部即前端部沒有被固定的懸臂狀態下被容器本體22支撐。複數支左框28C各自連結有複數支(在本實施形態中為5支)第3棒狀體23C，該等第3棒狀體23C是處於排列在容器上下方向D3的狀態，又，複數支第3棒狀體23C是以在容器前後方向D1及容器上下方向D3上排列複數支的狀態下被配置。複數支第3棒狀體23C各自是以沿著容器左右方向D2的姿態被設置，並且是在第3棒狀體23C的左側的端部即基端部固定在容器本體22的左框28C上，且右側的端部即前端部沒有被固定的懸臂狀態下被容器本體22支撐。

並且，在收容空間21中的容器左右方向D2的中央部，形成有可供複數支第1棒狀體23A配置的區域(配置區域E)。在收容空間21中的中央部朝右側，形成有可供複數支第2棒狀體23B配置的區域。在收容空間21中的中央部朝左側，形成有可供複數支第3棒狀體23C配置的區域。

複數個支撐部23各自是由被配備在相同高度的複數支(在本實施形態中為3支)第1棒狀體23A、複數支(在本實施形態中為5支)第2棒狀體23B及複數支(在本實施形態中為5支)第3棒狀體23C所構成。像這樣，複數個支撐部23各自包含在容器左右方向D2上排成1列的複數支第1棒狀體23A。並且，藉由將被配備在相同高度的複數支(在本實施形態中為3支)第1棒狀體23A、複數支(在本實施形態中為5支)第2棒狀體23B及複數支(在本實施形態中為5支)第3棒狀體23C在容器上下方向D3上排列複數支，就可具備複數個支撐部23，且該等支撐部23是處於排列在上下方向Z的狀態。支撐部23是將板狀體B中的容器左右方向D2之中央部用複數支第1棒狀體23A從下方加以支撐，並且將板狀體B中的容器左右方向D2之右側部(在容器左右方向D2上，位在比中央部還右側的部分)用複數支第2棒狀體23B從下方加以支撐，並將板狀體B中的容器左右方向D2之左側部(在容器左右方向D2上，位在比中央部還左側的部分)用複數支第3棒狀體23C從下方加以支撐。並且，構成為像這樣藉著由支撐部23將板狀體B從下方加以支撐，即可藉由支撐部23(特別是複數支第1棒狀體23A)將收容在收容空間21的板狀體B加以定位。

[檢查部] 如圖5及圖6所示，檢查部7具備：支撐台31，將收容容器1從下方加以支撐；及檢查裝置19，用來檢查收容容器1。檢查部7與容器出入部6在架長度方向X中，是設置在1台堆高式起重機3所行走的範圍內，且是以可藉由1台堆高式起重機3直接搬送的位置關係被設置。在本實施形態中，檢查部7與容器出入部6被配備在相同的收納架2中，且檢查部7與容器出入部6在架長度方向X上相鄰。再者，支撐台31相當於檢查用的載置部。

在支撐台31中，具備有定心裝置32。該定心裝置32在載置於支撐台31的收容容器1從上下方向Z來看的位置已從適當位置(圖4所示位置)往水平方向(架長度方向X及架深度方向Y)偏移位置時，會使其收容容器1移動至適當位置。定心裝置32具備有複數個支撐操作機構33，該等支撐操作機構33會支撐收容容器1，並且推壓操作收容容器1的側面。在本實施形態中，定心裝置32具備有4個支撐操作機構33。即，定心裝置32具備：從架長度方向X的右側推壓操作收容容器1的側面之支撐操作機構33、從架長度方向X的左側推壓操作收容容器1的側面之支撐操作機構33、從架深度方向Y的前側推壓操作收容容器1的側面之支撐操作機構33、及從架深度方向Y的後側推壓操作收容容器1的側面之支撐操作機構33。

如圖7及圖8所示，支撐操作機構33具備：基部36，固定在支撐台31上；容器支撐部37，將收容容器1從下方加以支撐；推壓部38，推壓操作收容容器1的側面；及連動部39，使容器支撐部37與推壓部38連動。容器支撐部37被基部36支撐成可沿著上下方向Z移動自如。推壓部38被基部36支撐成可沿著水平方向(架長度方向X或架深度方向Y)移動自如，而可對位在檢查部7的收容容器1進行遠近移動。並且，連動部39會將容器支撐部37與推壓部38加以連動，而可隨著容器支撐部37往下方移動，使得推壓部38往對收容容器1靠近之側移動，且，可隨著容器支撐部37往上方移動，使得推壓部38往對收容容器1遠離之側移動。

針對支撐操作機構33的各構成來追加說明。連動部39被基部36支撐成可繞著沿水平方向的搖動軸心搖動自如。容器支撐部37是藉由在連動部39旋轉自如地被支撐的輥體所構成，且是透過連動部39被基部36支撐。推壓部38是藉由在連動部39旋轉自如地被支撐的輥體所構成，且是透過連動部39被基部36支撐。並且，連動部39是藉由繞著搖動軸心搖動，而將姿態變更為待機姿態(參照圖7)與支撐姿態(參照圖8)。連動部39是藉由賦與勢能構件(圖未示)被賦與從支撐姿態朝向待機姿態的勢能，在支撐台31未支撐收容容器1的狀態下，連動部39會成為待機姿態。像這樣在連動部39成為待機姿態的狀態下，如圖7所示，容器支撐部37會位在上方位置，且推壓部38會位在離開位置。

並且，如圖8所示，在檢查部7中，在支撐台31支撐收容容器1的狀態下，將該收容容器1的高度作為支撐高度，在藉由堆高式起重機3搬送收容容器1至檢查部7時，堆高式起重機3會在以高於支撐高度的搬送高度(參照圖7)進行支撐的狀態下，使收容容器1移動至架深度方向Y的後側後，再使收容容器1從搬送高度下降至支撐高度。像這樣將收容容器1從搬送高度下降至支撐高度，容器支撐部37就會因為收容容器1的荷重而從上方位置移動至下方位置，並且收容容器1會藉由位在下方位置的容器支撐部37而被支撐在支撐高度上。並且，像這樣隨著容器支撐部37移動至下方位置，推壓部38會從離開位置(參照圖7)移動至接近位置(參照圖8)。收容容器1從搬送高度下降至支撐高度時，在收容容器1從上下方向Z來看的位置從適當位置往水平方向偏移時，藉由移動至接近位置的推壓部38來推壓操作收容容器1的側面，收容容器1的位置就會被修正至適當位置。

[檢查裝置] 如圖4、圖6及圖9所示，檢查裝置19具備：檢測體41；引導體42，在上下方向Z上引導檢測體41；驅動部43，使該檢測體41移動；及控制部H(參照圖5)，控制驅動部43，且，將收容板狀體B的收容容器1作為檢查對象。並且，控制部H會依據檢測體41的檢測資訊，判別出第1棒狀體23A是否產生歪斜。

檢測體41具備投光部41A與受光部41B，且該投光部41A與該受光部41B是處於排列在架長度方向X(容器左右方向D2)的狀態。並且，投光部41A會將在上下方向Z(容器上下方向D3)上具有寬度的帶狀檢測光L朝向受光部41B投射。投光部41A與受光部41B連結至共通的連結體44而使相對位置固定。驅動部43會使檢測體41在上下方向Z上移動。並且，控制部H構造成會從顯示投光部41A及受光部41B之高度的資訊、及受光部41B接受的檢測光L的資訊，來判別出配備在收容容器1的複數支第1棒狀體23A是否產生歪斜。再者，在控制部H中記憶著高度資訊及粗細資訊，該高度資訊是顯示在將收容容器1載置在支撐台31的狀態中，排列在上下方向Z的複數支第1棒狀體23A各自之高度的資訊，該粗細資訊是顯示第1棒狀體23A在上下方向Z的粗細的資訊。

接著，針對檢測體41來追加說明，在說明檢測體41與收容容器1的位置關係時，沒有特別說明時，是以收容容器1被支撐台31支撐的狀態為前提進行說明。並且，將架長度方向X的一側(右側)作為第1側X1，將其相反側(左側)作為第2側X2，將架長度方向X中，以相同高度被配備在收容容器1的複數支第1棒狀體23A當中，從位在最靠近第1側X1的第1棒狀體23A到位在最靠近第2側X2的第1棒狀體23A的範圍設為配置區域E。

並且，投光部41A相對於配置區域E是位在第2側X2，受光部41B相對於配置區域E是位在第1側X1。像這樣，投光部41A與受光部41B配置在包含配置區域E的架長度方向X(容器左右方向D2)的外側，且該配置區域E是支撐部23所含有之複數支第1棒狀體23A的配置區域。又，在使投光部41A及受光部41B升降至與第1棒狀體23A對應之高度的狀態下，投光部41A與受光部41B是配置在第1方向的架深度方向Y的如下之位置上，該位置是在使收容容器1載置在支撐台31的狀態下，第1棒狀體23A的前端部會通過投光部41A與受光部41B之間的位置。因此，在使投光部41A及受光部41B升降至與第1棒狀體23A對應之高度的狀態下，從投光部41A投射的帶狀檢測光L將會被第1棒狀體23A的前端部遮蔽一部分。

又，投光部41A在架長度方向X中是位在第1棒狀體23A與第3棒狀體23C之間，受光部41B在架長度方向X中是位在第1棒狀體23A與第2棒狀體23B之間。即，投光部41A與受光部41B是位在第2棒狀體23B與第3棒狀體23C之間，並且在架長度方向X上，相對於複數支第1棒狀體23A的配置區域E配置在外側。因此，投光部41A或受光部41B不會干涉第1棒狀體23A、第2棒狀體23B及第3棒狀體23C，可以在上下方向Z上移動。

接著，針對控制部H執行的檢查控制進行說明。控制部H在執行檢查控制前，檢測體41會位在待機高度(圖5所示高度)。此待機高度是位在比搬送高度之收容容器1中的下框27還高的高度，且比支撐高度之收容容器1中的上框26還低的高度。並且，控制部H在藉由存在感測器(圖未示)檢測出已載置在支撐台31後，就會執行檢查控制。在檢查控制中，從待機高度下降至開始高度後，會再上升至完成高度，之後又再下降至待機高度。開始高度是與排列在上下方向Z上的複數支第1棒狀體23A當中位在最下方的第1棒狀體23A對應的高度。在檢測體41位在開始高度的狀態下，位在最下方的適當姿態之第1棒狀體23A的前端部會位在檢測光L中的上下方向Z的中央部。完成高度是與排列在上下方向Z上的複數支第1棒狀體23A當中位在最上方的第1棒狀體23A對應的高度。在檢測體41位在完成高度的狀態下，位在最上方的適當姿態之第1棒狀體23A的前端部會位在檢測光L中的上下方向Z的中央部。

並且，在檢查控制中，會在排列在上下方向Z上的複數支第1棒狀體23A的各個設定高度中，確認受光部41B中的檢測光L的受光狀態，並對於設置在各設定高度的複數支第1棒狀體23A，判別出第1棒狀體23A是否產生歪斜。具體來說，例如，對於排列在上下方向Z上的複數支第1棒狀體23A當中位在最下方的5支第1棒狀體23A，是在使檢測體41位在與位在最下方的5支第1棒狀體23A對應的高度(開始高度)的狀態下，確認受光部41B中的檢測光L的受光狀態。此時，若受光部41B不接受檢測光L的上下方向Z的範圍如圖10所示，是在第1棒狀體23A的上下方向Z的寬度加上容許偏移量的寬度以下，並且不接受檢測光L的上下方向Z的位置是在預先設定的位置時，則判斷位在最下方的5支第1棒狀體23A沒有產生歪斜。又，若受光部41B不接受檢測光L的上下方向Z的範圍如圖11或圖12所示，是比在第1棒狀體23A的上下方向Z的寬度加上容許偏移量的寬度更大時，或不接受檢測光L的上下方向Z的位置從預先設定的位置往上下方向Z偏移時，則判斷位在最下方的5支第1棒狀體23A產生歪斜。因應檢測體41從開始高度上升至完成高度，對排列在上下方向Z上的複數支第1棒狀體23A進行這種判別。

2.其他的實施形態接著，針對檢查裝置的其他實施形態進行說明。

(1)在上述實施形態中，雖然容器本體22是用框材組合而構成，但是適當地變更容器本體22的構成亦可。具體來說，例如在框材組成的容器本體22的左右側面或是上表面及下表面配備板材，將容器本體22構成為橫置筒狀亦可。又，像這樣將容器本體22構成為橫置筒狀時，構成為安裝風扇過濾器單元來塞住容器本體22的前面，並將已藉由風扇過濾器單元清淨化的外部空氣吸入收容空間21亦可。

(2)在上述實施形態中，雖然是在使收容容器1被支撐台31支撐的狀態下，將投光部41A與受光部41B配置在已從出入口29進入收容空間21內的位置，但是適宜地變更投光部41A與受光部41B的配置亦可。具體來說，例如，構造成將投光部41A與受光部41B配置成會相對於容器本體22位在容器左右方向D2的外側，投光部41A從收容空間21的外部朝向受光部41B投射檢測光L，受光部41B在收容空間21的外部接受通過收容空間21的檢測光L亦可。

(3)在上述實施形態中，雖然將投光部41A與受光部41B連結至共通的連結體44上，藉由單一的驅動部43，使投光部41A與受光部41B一體地在容器上下方向D3上移動，但是構造成具備使投光部41A在容器上下方向D3上移動的驅動部43、及使受光部41B在容器上下方向D3上移動的驅動部43來作為驅動部43，使投光部41A與受光部41B各別在容器上下方向D3上移動亦可。

(4)在上述實施形態中，雖然構造成利用藉由堆高式起重機3搬送收容容器1至支撐台31時的動作，使投光部41A與受光部41B從出入口29進入收容空間21，但是構造成具備使投光部41A與受光部41B在容器前後方向D1上移動的第2驅動部，在收容容器1被支撐台31支撐的狀態下，藉由第2驅動部使投光部41A與受光部41B在容器前後方向D1上移動，使得投光部41A與受光部41B相對於收容空間21，移動至容器前後方向D1的後側的位置(收容空間21的外部的位置)、以及使得投光部41A與受光部41B相對於收容空間21，移動至容器前後方向D1的前側的位置(已進入收容空間21的位置)亦可。

(5)在上述實施形態中，雖然支撐部23是由複數支第1棒狀體23A、複數支第2棒狀體23B、及複數支第3棒狀體23C構成，但是支撐部23僅由複數支第1棒狀體23A構成亦可，支撐部23由複數支第1棒狀體23A、複數支第2棒狀體23B、或複數支第3棒狀體23C之任一者構成亦可。又，收容容器1雖具備包含第1棒狀體23A的支撐部23，但是收容容器1不具備包含第1棒狀體23A的支撐部23亦可。具體來說，構造成在收容容器1的底面具備支撐板，在其支撐板上，將板狀體B以沿著容器前後方向D1及容器上下方向D3的姿態縱姿態)來收容，並藉由相對於其板狀體B位在容器左右方向D2的兩側的複數支第1棒狀體23A，對板狀體B在容器左右方向D2上的位置進行定位亦可。

(6)在上述實施形態中，雖然是將第1方向作為容器前後方向D1、將第2方向作為容器左右方向D2、將第3方向作為容器上下方向D3，但是適宜地變更這些方向的關係亦可。具體來說，例如將第1方向作為容器上下方向D3，將複數支第1棒狀體23A各自以沿著容器上下方向D3的姿態來設置亦可，又，將第2方向作為容器上下方向D3，具備投光部41A與受光部41B，且該投光部41A與該受光部41B是處於排列在容器上下方向D3狀態亦可。

(7)在上述實施形態中，雖然是將收容在收容容器1的收容物作為板狀體B，但是收容在收容容器1的收容物為晶圓等其他板狀體亦可，又，收容物的形狀為箱形狀或圓柱狀等其他形狀亦可。

(8)再者，在上述之各實施形態所揭示的構成，只要沒有發生矛盾，也可與其他的實施形態所揭示的構成組合而應用。關於其他的構成，在本說明書中所揭示的實施形態在全部之點上均只不過是例示。因此，在不脫離本揭示的主旨之範圍內，可適當地進行各種改變。

3.上述實施形態的概要以下，針對在上述所說明過之檢查裝置的概要進行說明。

檢查裝置是一種具備有檢測體及使前述檢測體移動的驅動部，並將收容收容物的收容容器作為檢查對象的檢查裝置，前述收容容器具備：容器本體，具有收容前述收容物的收容空間；及複數支棒狀體，設置在前述收容空間，會將收容在前述收容空間的前述收容物加以定位，複數支前述棒狀體各自是以沿著第1方向的姿態被設置，並且是在前述棒狀體的一側的端部即基端部固定在前述容器本體，且另一側的端部即前端部沒有被固定的懸臂狀態下被前述容器本體支撐，複數支前述棒狀體是在對前述第1方向正交的第2方向、及對前述第1方向與前述第2方向正交的第3方向的各方向上排列複數支的狀態下被配置，前述驅動部會使前述檢測體在前述第3方向上移動，前述檢測體具備投光部與受光部，且該投光部與該受光部是處於排列在前述第2方向的狀態，前述投光部會將在前述第3方向上具有寬度的帶狀檢測光朝向前述受光部投射，前述投光部與前述受光部配置在前述第1方向的如下之位置上，該位置是在使前述容器本體載置在檢查用的載置部的狀態下，前述前端部會通過前述投光部與前述受光部之間的位置。

藉由這樣的構成，收容容器可以將收容物在已藉由複數支棒狀體定位的狀態下加以收容。並且，在這種收容容器中，雖然有可能會因為收容的收容物的荷重或棒狀體的自身重量而導致棒狀體產生歪斜，但是藉由檢查裝置進行檢查，就可以如下所述地檢測出棒狀體的歪斜。若將棒狀體未產生歪斜時的棒狀體的前端部的位置設成適當位置，則在棒狀體產生歪斜時，棒狀體的前端部的位置就會從適當位置偏離。並且，檢測裝置可以依據使檢測體移動時之檢測體在第3方向的位置或是帶狀檢測光中的被棒狀體遮蔽的位置，來檢測棒狀體的前端部在第3方向的位置，從而可以檢測出棒狀體的前端部從適當位置偏離的位置，亦即可以對棒狀體檢測出歪斜。又，藉由驅動部使檢測體在第3方向上移動來檢測棒狀體的前端部的位置，就不需要使收容容器移動。並且，由於檢測體比收容容器小型且輕，與移動收容容器時相比，可以抑制檢查裝置的製造成本。像這樣，可以提供一種可以檢測出配備在收容容器上的棒狀體的歪斜，並且可以抑制製造成本的檢查裝置。

此處，較為適宜的是，將前述第1方向作為容器前後方向，將前述第2方向作為容器左右方向，將前述第3方向作為容器上下方向，前述收容物是以沿著前述容器前後方向及前述容器左右方向的姿態被收容在前述收容空間的板狀體，前述收容容器具備複數個支撐部，該等支撐部是處於排列在前述容器上下方向的狀態，且會將收容在前述收容空間的前述板狀體從下方加以支撐，複數個前述支撐部各自包含在前述容器左右方向上排成1列的複數支前述棒狀體，前述投光部與前述受光部是相對於前述支撐部各自所包含的複數支前述棒狀體的配置區域，被配置在前述容器左右方向的外側。

依據此種構成，藉由複數個支撐部各自支撐板狀體，在收容容器中，就可以收容複數片板狀體，且該等板狀體是處於排列在容器上下方向的狀態。並且，藉由像這樣收容板狀體，就可以藉由在容器左右方向上排成1列的棒狀體將板狀體從下方加以支撐。雖然棒狀體有可能會因為板狀體的荷重或棒狀體的自身重量，導致棒狀體的前端部往下方下降而使棒狀體歪斜，但是藉由檢查裝置進行檢查，就可以檢測出棒狀體的歪斜。由於投光部與受光部是相對於支撐部各自所包含的複數支棒狀體的配置區域，被配置在容器左右方向的外側，因此可以藉由投光部與受光部彙整檢測出1個支撐部所包含的複數支棒狀體的前端部的位置。因此，不需要具備複數組投光部與受光部的組合，因此可以抑制檢測部的成本。

又，較為適宜的是，前述投光部與前述受光部連結至共通的連結體而使相對位置固定。

依據此種構成，由於投光部與受光部是藉由連結體而使相對位置固定，因此在藉由驅動部使投光部與受光部在第3方向上移動時，投光部與受光部的相對位置不會偏移。因此，可以避免由於投光部與受光部相對地在第3方向上偏移而在棒狀體的檢測上產生誤差。

又，較為適宜的是，前述收容容器相對於前述收容空間在前述第1方向的一側形成有出入口，該出入口是對前述收容空間取出放入前述收容物的出入口，前述投光部與前述受光部配置在如下之位置上，該位置是在使前述收容容器載置在前述載置部的狀態下，已從前述出入口進入前述收容空間內的位置。

依據此種構成，在使收容容器載置在載置部的狀態下，投光部與受光部在第2方向中會位在容器本體的內測。因此，例如，投光部與受光部在第2方向中是位在容器本體的外側時，必須考慮收容容器的形狀或檢測部的設置位置，以使得從投光部投射的檢測光不會干涉容器本體，但是藉由使投光部與受光部在第2方向中是位在容器本體的內測，就不需要如同上述地考慮收容容器的形狀或檢測部的設置位置。産業上之可利用性

有關本揭示之技術可以利用在將收容收容物的收容容器作為檢查對象的檢查裝置上。

1‧‧‧收容容器2‧‧‧收納架3‧‧‧堆高式起重機4‧‧‧收納部5‧‧‧基板出入部6‧‧‧容器出入部7‧‧‧檢查部8‧‧‧風扇過濾器單元11‧‧‧行走台車12‧‧‧桿柱13‧‧‧升降台14‧‧‧移載裝置16‧‧‧移載機器人17‧‧‧搬運輸送機19‧‧‧檢查裝置21‧‧‧收容空間22‧‧‧容器本體23‧‧‧支撐部23A‧‧‧第1棒狀體(棒狀體)23B‧‧‧第2棒狀體23C‧‧‧第3棒狀體26‧‧‧上框26A‧‧‧上外框26B‧‧‧上内框27‧‧‧下框27A‧‧‧下外框27B‧‧‧下内框28‧‧‧中間框28A‧‧‧前框28B‧‧‧右框28C‧‧‧左框29‧‧‧出入口31‧‧‧支撐台（載置部）32‧‧‧定心裝置33‧‧‧支撐操作機構36‧‧‧基部37‧‧‧容器支撐部38‧‧‧推壓部39‧‧‧連動部41‧‧‧檢測體41A‧‧‧投光部41B‧‧‧受光部42‧‧‧引導體43‧‧‧驅動部44‧‧‧連結體B‧‧‧板狀體（收容物）D1‧‧‧容器前後方向（第1方向）D2‧‧‧容器左右方向（第2方向）D3‧‧‧容器上下方向（第3方向）E‧‧‧配置區域H‧‧‧控制部L‧‧‧檢測光X‧‧‧架長度方向X1‧‧‧第1側X2‧‧‧第2側Y‧‧‧架深度方向Y1‧‧‧前側Y2‧‧‧後側Z‧‧‧上下方向

圖1是物品收納設備的平面圖。圖2是物品收納設備的側面圖。圖3是收容容器的立體圖。圖4是檢查部的平面圖。圖5是檢查部的側面圖。圖6是檢查部的背面圖。圖7是顯示支撐操作機構的圖。圖8是顯示支撐操作機構的圖。圖9是檢測部的立體圖。圖10是顯示檢測體的檢測狀態的圖。圖11是顯示檢測體的檢測狀態的圖。圖12是顯示檢測體的檢測狀態的圖。

1‧‧‧收容容器

7‧‧‧檢查部

19‧‧‧檢查裝置

21‧‧‧收容空間

22‧‧‧容器本體

23‧‧‧支撐部

23A‧‧‧第1棒狀體(棒狀體)

23B‧‧‧第2棒狀體

23C‧‧‧第3棒狀體

27A‧‧‧下外框

27B‧‧‧下內框

28‧‧‧中間框

28A‧‧‧前框

28B‧‧‧右框

28C‧‧‧左框

29‧‧‧出入口

32‧‧‧定心裝置

33‧‧‧支撐操作機構

41‧‧‧檢測體

41A‧‧‧投光部

41B‧‧‧受光部

42‧‧‧引導體

44‧‧‧連結體

D1‧‧‧容器前後方向(第1方向)

D2‧‧‧容器左右方向(第2方向)

E‧‧‧配置區域

X‧‧‧架長度方向

X1‧‧‧第1側

X2‧‧‧第2側

Y‧‧‧架深度方向

Y1‧‧‧前側

Y2‧‧‧後側

Claims

一種檢查裝置，具備：檢測體；及驅動部，使前述檢測體移動，該檢查裝置具有以下的特徵：將收容收容物的收容容器作為檢查對象，前述收容容器具備：容器本體，具有收容前述收容物的收容空間；及複數支棒狀體，設置在前述收容空間，會將收容在前述收容空間的前述收容物加以定位，複數支前述棒狀體各自是以沿著第1方向的姿態被設置，並在前述棒狀體的一側的端部即基端部固定於前述容器本體，且另一側的端部即前端部沒有被固定的懸臂狀態下被前述容器本體支撐，複數支前述棒狀體是以在對前述第1方向正交的第2方向、及對前述第1方向與前述第2方向正交的第3方向的各方向上排列複數支的狀態下被配置，前述驅動部會使前述檢測體在前述第3方向上移動，前述檢測體具備投光部與受光部，且該投光部與該受光部是處於排列在前述第2方向的狀態，前述投光部會將在前述第3方向上具有寬度的帶狀檢測光朝向前述受光部投射，前述投光部與前述受光部配置在前述第1方向的如下之位置上，該位置是在使前述容器本體載置在檢查用的載置部的狀態下，前述前端部會通過前述投光部與前述受光部之間的位置。
如請求項1之檢查裝置，其中，將前述第1方向作為容器前後方向，將前述第2方向作為容器左右方向，將前述第3方向作為容器上下方向，前述收容物是以沿著前述容器前後方向及前述容器左右方向的姿態被收容在前述收容空間的板狀體，前述收容容器具備複數個支撐部，該等支撐部是處於排列在前述容器上下方向的狀態，且會將收容在前述收容空間的前述板狀體從下方加以支撐，複數個前述支撐部各自包含在前述容器左右方向上排成1列的複數支前述棒狀體，前述投光部與前述受光部是相對於前述支撐部各自所包含的複數支前述棒狀體的配置區域，被配置在前述容器左右方向的外側。
如請求項1或2之檢查裝置，其中，前述投光部與前述受光部連結至共通的連結體而使相對位置固定。
如請求項1或2之檢查裝置，其中，前述收容容器相對於前述收容空間在前述第1方向的一側形成有出入口，該出入口是對前述收容空間取出放入前述收容物的出入口，前述投光部與前述受光部配置在如下之位置上，該位置是在使前述收容容器載置在前述載置部的狀態下，已從前述出入口進入前述收容空間內的位置。