CN104807401B - 基板卡匣检测装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种基板卡匣检测装置，所述基板卡匣包括至少一层支撑单元，每层所述支撑单元包括多个支撑架，在每层所述支撑单元中，多个所述支撑架形成一个用于承载基板的支撑面，所述基板卡匣检测装置包括用于检测每层所述支撑单元中的每个所述支撑架的位置是否在预设范围内的传感机构。本发明通过对基板卡匣中各个支撑架的位置进行测量，然后判定每层支撑单元中的支撑架的位置是否在预设范围内，对于支撑架位置超出预设范围的支撑单元及时进行维修，从而防止了由于支撑架位置误差较大而造成的玻璃基板破损。并且，本发明有效解决了现有生产线中基板卡匣采用人工检查的弊端，提高了基板卡匣检查效率与精准度，减少了人力投入，提高了生产效率。

Description

基板卡匣检测装置
技术领域
本发明涉及显示面板制造领域，尤其涉及一种基板卡匣检测装置。
背景技术
显示面板在生产过程中，由于工序复杂、步骤繁多，作为衬底的玻璃基板需要多次往返于各个相对独立的生产设备之间。实际生产中通常使用可承载多张玻璃基板的卡匣作为存储和搬送玻璃基板的承载装置。因此，基板卡匣的质量和规格标准成为玻璃基板能否稳定取放的关键因素。
在生产过程中，如果基板卡匣中的支撑架不水平、或者相对位置误差较大，很容易造成玻璃基板的破损。然而，现有技术中还没有一种能够用来检测基板卡匣中支撑架的位置的装置。
发明内容
本发明的目的在于提供一种基板卡匣检测装置，以对基板卡匣中支撑架的位置进行检测。
为解决上述技术问题，本发明提供了一种基板卡匣检测装置，所述基板卡匣包括至少一层支撑单元，每层所述支撑单元包括多个支撑架，在每层所述支撑单元中，多个所述支撑架形成一个用于承载基板的支撑面，所述基板卡匣检测装置包括用于检测每层所述支撑单元中的每个所述支撑架的位置是否在预设范围内的传感机构。
优选地，所述传感机构包括与一层所述支撑单元中的多个所述支撑架的自由端一一对应的多个传感器，并且多个所述传感器能够沿所述支撑单元的层叠方向移动，以依次检测每层所述支撑单元中的所述支撑架的自由端的位置数据。
优选地，所述传感机构还包括数据处理器和存储器，所述存储器中存储有各个所述传感器待检测的支撑架的位置数据的预设值及误差范围，所述数据处理器用于将所述传感器测定的位置数据与所述预设值进行比较，并判断所述传感器测定的位置数据是否在所述误差范围内。
优选地，所述传感机构还包括报警器，当所述数据处理器判断出所述传感器测定的位置数据不在所述误差范围内时，所述数据处理器发送异常信号给所述报警器，所述报警器接收到所述异常信号后发出报警信号。
优选地，所述基板卡匣检测装置还包括能够沿所述支撑单元的层叠方向移动的安装基座，所述传感机构中的多个所述传感器均安装在所述安装基座上。
优选地，所述基板卡匣包括用于取放所述基板的开口面，每层所述支撑单元包括从与所述开口面邻接的两个相对的侧面伸出的多个端部支撑架、以及从所述开口面的对面伸出的至少一个中部支撑架，所述安装基座包括两个第一安装杆和连接两个所述第一安装杆的第二安装杆，两个所述第一安装杆分别与所述基板卡匣的两个侧面相对应，且每个所述第一安装杆上均设置有与所述端部支撑架对应的所述传感器，所述第二安装杆上设置有与所述中部支撑架对应的所述传感器。
优选地，所述传感器为光学传感器，所述传感器包括激光发射件和与所述激光发射件相对设置的激光接收件，所述激光发射件用于发出检测所述支撑件的自由端的激光，所述激光接收件用于接收所述激光发射件发出的激光，当所述传感器上升到相对应的所述支撑架的自由端的高度时，所述支撑架的自由端位于所述激光发射件和所述激光接收件之间，以使得所述激光接收件不能够接收到所述激光发射件的激光，所述激光接收件能够在未接收到所述激光发射件的激光时产生感应信号，并将该感应信号传送至所述数据处理器，所述数据处理器能够根据接收到所述感应信号的时间计算出被检测的所述支撑架的高度，并将该高度与所述预设值进行对比。
优选地，所述基板卡匣检测装置还包括第一驱动机构和导轨，所述导轨沿所述支撑单元的层叠方向设置，所述安装基座可滑动地设置在所述导轨上，所述第一驱动机构用于驱动所述安装基座沿所述导轨移动。
优选地，所述基板卡匣检测装置还包括传送机构，所述传送机构包括位于所述基板卡匣检测装置底部的驱动轮、位于所述驱动轮两侧的导向轮、以及驱动所述驱动轮转动的第二驱动机构，所述驱动轮用于传送并承载所述基板卡匣，所述导向轮用于限定所述基板卡匣的传送方向。
优选地，所述基板卡匣检测装置还包括定位机构，所述定位机构用于将所述基板卡匣固定在预定位置。
优选地，所述定位机构包括位置感应器和紧固组件，所述位置感应器用于检查所述基板卡匣是否处于所述预定位置，当所述基板卡匣处于所述预定位置时，所述位置感应器发送信号给所述紧固组件，以控制所述紧固组件将所述基板卡匣固定在所述预定位置。
优选地，所述基板卡匣检测装置还包括可编程逻辑器，所述可编程逻辑器包括与所述第一驱动机构相连的第一控制信号输出端和与所述第二驱动机构相连的第二控制信号输出端
本发明通过对基板卡匣中各个支撑架的位置进行测量，然后判定每层支撑单元中的支撑架的位置是否在预设范围内，对于支撑架位置不在预设范围内的支撑单元及时维修，从而防止了由于支撑架位置误差较大而造成的玻璃基板破损。并且，本发明有效解决了现有生产线中基板卡匣一直采用人工检查的弊端，提高了基板卡匣检查效率与精准度，减少了人力投入，提高了生产效率。
附图说明
附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。
图1是本发明实施例中基板卡匣检测装置的俯视图；
图2是本发明实施例中基板卡匣检测装置的侧视图；
图3是本发明实施例中传感器的示意图；
图4是本发明实施例中基板卡匣的正视图；
图5是本发明实施例中基板卡匣检测装置的外观示意图；
图6是基板卡匣检测装置的检测流程示意图。
在附图中，1：基板卡匣；11：支撑架；101：端部支撑架；102：中部支撑架；21：传感器；211：激光发射件；212：激光接收件；3：安装基座；31：第一安装杆；32：第二安装杆；4：导轨；5：锁链；6：驱动轮；7：导向轮；8：定位机构；9：外壳；91：透明视窗。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。
图1和图2分别是本发明实施例所提供的基板卡匣检测装置的俯视图和侧视图。其中，基板卡匣1包括至少一层支撑单元，每层所述支撑单元包括多个支撑架11，在每层所述支撑单元中，多个支撑架11形成一个用于承载基板的支撑面，所述基板卡匣检测装置包括用于检测每层所述支撑单元中的每个支撑架11的位置是否在预设范围内的传感机构。
所述传感机构通过对基板卡匣1中各个支撑架11的位置进行测量，然后判定每层支撑单元中的支撑架11的位置是否在预设范围内，对于每层支撑单元来说，只要检测出其中一个支撑架11的位置不在预设范围内，则锁定该层支撑单元，从而防止了由于支撑架11的位置误差较大而造成的玻璃基板破损。需要指出的是，此处的“锁定该层支撑单元”是指，不再继续向该层支撑单元中送入玻璃基板。本发明有效地解决了现有生产线中一直采用人工检查基板卡匣的弊端，提高了基板卡匣检查效率与精准度，减少了人力方面的投入，提高了生产效率。
具体地，所述传感机构包括与一层所述支撑单元中的多个支撑架11的自由端一一对应的多个传感器21，并且多个传感器21能够沿所述支撑单元的层叠方向移动，以依次检测每层所述支撑单元中的支撑架11的自由端的位置数据。这里的“自由端”指支撑架11未与基板卡匣1的外框相连的一端，即悬空的一端。
进一步地，所述传感机构还包括数据处理器和存储器，所述存储器中存储有各个传感器21待检测的支撑架11的位置数据的预设值及误差范围，所述数据处理器用于将传感器21测定的位置数据与所述预设值进行比较，并判断传感器21测定的位置数据是否在所述误差范围内。
优选地，所述传感机构还包括报警器，当所述数据处理器判断出传感器21测定的位置数据不在所述误差范围内时，所述数据处理器发送异常信号给所述报警器，所述报警器接收到所述异常信号后发出报警信号，以提醒操作人员进行处理。
以外形尺寸为2660mm(L)×2390mm(W)×1433mm(H)的基板卡匣为例，该基板卡匣通常包括20层支撑单元，那么可以将支撑架的位置误差范围设置为±8mm。如果当前检测的支撑单元中的每个支撑架的位置误差均在上述误差范围内，则当前支撑单元检测合格；如果当前检测的支撑单元中有一个或多个支撑架的位置误差超出上述误差范围，则所述报警器发出报警信号，同时在所述存储器中标记该支撑单元禁止使用，直到维修结束重新解锁。同时，可以将每层支撑单元中的各个支撑架的数据均记录在所述存储器中，以便后续导出查看。
在本发明中，传感器21可以是光学传感器。如图3所示，传感器21包括激光发射件211和与激光发射件211相对设置的激光接收件212，激光发射件211用于发出检测支撑件11的自由端的激光，激光接收件212用于接收激光发射件211发出的激光。当传感器21上升到相对应的支撑架11的自由端所在的高度时，支撑架11的自由端位于激光发射件211和激光接收件212之间，以使得激光接收件212不能够接收到激光发射件211的激光，激光接收件212能够在未接收到激光发射件211的激光时产生感应信号，并将该感应信号传送至所述数据处理器，所述数据处理器能够根据接收到所述感应信号的时间计算出被检测的支撑架11的高度，并将该高度与所述预设值进行对比。
进一步地，所述基板卡匣检测装置还包括能够沿所述支撑单元的层叠方向移动的安装基座3，所述传感机构中的多个传感器21均安装在安装基座3上。因此，只需驱动安装基座3沿所述支撑单元的层叠方向移动，即可实现使多个传感器21沿所述支撑单元的层叠方向移动。通常，安装基座3在上下移动时均采用匀速，在检测上述尺寸为2660mm(L)×2390mm(W)×1433mm(H)的基板卡匣时，安装基座3上升或者下降的时间大约为几十秒，整个检测过程大约持续几分钟，与传统的人工检测相比，本发明在很大程度上减少了对时间的消耗，提高了生产效率。
具体地，图4是本发明实施例中基板卡匣的正视图，结合图1的俯视图，基板卡匣1包括用于取放基板的开口面，每层所述支撑单元包括从与所述开口面邻接的两个相对的侧面伸出的多个端部支撑架101(图1中为两侧各6个)、以及从所述开口面的对面伸出的至少一个中部支撑架102(图1中为3个)，安装基座3包括两个第一安装杆31和连接两个第一安装杆31的第二安装杆32，两个第一安装杆31分别与基板卡匣1的两个侧面相对应，且每个第一安装杆31上均设置有与端部支撑架101对应的传感器21，第二安装杆32上设置有与中部支撑架102对应的传感器21。
在本发明中，第一安装杆31和第二安装杆32能够伸入基板卡匣1的内部进行精确的检测，在结构设计上避免了与基板卡匣1的干扰。此外，当基板卡匣1中的支撑单元的层数较多时，也可以在安装基座3上设置多层第一安装杆31和第二安装杆32，以减少传感器21的位移，提高检测效率，降低基板卡匣1在检测装置中的循环时间。
进一步地，所述基板卡匣检测装置还包括第一驱动机构和导轨4，如图2所示，导轨4沿所述支撑单元的层叠方向设置，安装基座3可滑动地设置在导轨4上。所谓“可滑动地设置”是指，安装基座3既可以在导轨4上滑动，又可以固定在导轨4的预定位置。所述第一驱动机构用于驱动安装基座3沿导轨4上下移动，对每层支撑单元中的支撑架(图2未示出)进行检测。所述第一驱动机构可以包括伺服电机。此外，安装基座3还可以与锁链5相连，并依靠锁链5进行辅助运动，以减少伺服电机的负载。
本领域技术人员应当理解的是，所述第一驱动机构还包括传动部件，该传动部件用于将伺服电机输出的旋转运动转化为直线运动。例如，所述传动部件可以包括互相啮合的齿轮齿条，齿轮固定在伺服电机的输出轴上，齿条与基座相连。或者，所述传动部件可以包括活塞，该活塞的活塞缸固定安装在安装基础上，活塞杆与安装基座3相连，通过活塞杆的伸缩来驱动安装基座3沿导轨4移动。
进一步地，所述基板卡匣检测装置还包括传送机构，如图1所示，所述传送机构包括位于基板卡匣检测装置底部的驱动轮6、位于驱动轮6两侧的导向轮7、以及驱动所述驱动轮6转动的第二驱动机构。所述第二驱动机构可以是马达。
其中，驱动轮6不仅可用于将基板卡匣1传送至待检测的位置，还可起到承载基板卡匣1的作用，有效节省了空间，提高了所述基板卡匣检测装置的空间利用率。导向轮7用于限定基板卡匣1的传送方向，以减少基板卡匣1在前进过程中的偏移。
进一步地，所述基板卡匣检测装置还包括定位机构8，定位机构8用于将基板卡匣1固定在预定位置。定位机构8包括位置感应器和紧固组件，所述位置感应器用于检查基板卡匣1是否处于所述预定位置，当基板卡匣1处于所述预定位置时，所述位置感应器发送信号给所述紧固组件，以控制所述紧固组件将基板卡匣1固定在所述预定位置。
通常，基板卡匣1通过清洗装置后，由旋转机构对基板卡匣1进行换向，然后在通过上述传送机构将基板卡匣1传送进所述基板卡匣检测装置中，传送过程中两侧均有导向轮7防止基板卡匣1位置偏移。所述位置感应器能够确定基板卡匣1位置，当基板卡匣1完全进入所述基板卡匣检测装置后，位置感应器会发送信号给所述紧固组件，此时所述紧固组件将基板卡匣1可靠地固定住，防止其在检查过程中发生位置偏移。
由于所述紧固组件在固定基板卡匣1的过程会引起基板卡匣1轻微晃动，此时检测可能造成数据不准确，故此时应设置一个检测等待时间(一般为300s)，此时间后，基板卡匣1可以达到完全稳定，内部支撑架均保持静止，这时再驱动安装基座3上升，开始进行检测。
优选地，所述基板卡匣检测装置还包括可编程逻辑器件(PLC)，所述可编程逻辑器件包括与所述第一驱动机构相连的第一控制信号输出端和与所述第二驱动机构相连的第二控制信号输出端。所述可编程逻辑器件通过所述第一控制信号输出端输出控制第一驱动机构运转的第一控制信号，以实现基板卡匣1的进出；所述可编程逻辑器件通过所述第二控制信号输出端输出控制所述第二驱动机构运转的第二控制信号，以实现安装基座3的上下移动。
图5是本发明所提供的基板卡匣检测装置的外观示意图，所述基板卡匣检测装置还包括外壳9和设置在外壳9上的透明视窗91。其中，外壳9可以采用铝合金材料制成，透明视窗91可以采用塑料制成。在图5中，透明视窗91的位置对应于基板卡匣1所在的位置，以便于操作人员对基板卡匣1的检测过程进行监视，及时对异常情况进行处理。
图6是基板卡匣检测装置的检测流程示意图，图中箭头指基板卡匣的移动方向。具体检测过程如下：
将基板卡匣(图6未示出)由上游设备(通常是清洗装置)传送至基板卡匣检测装置中，并且使设置有多个传感器21的安装基座3伸入所述基板卡匣的内部，初始时刻安装基座3位于基板卡匣内的最底部，并且，安装基座3上的每个传感器21均与基板卡匣中最底层支撑单元中的支撑架一一对应；
驱动安装基座3从基板卡匣的底部向上匀速移动，使各个传感器21依次检测相应位置的支撑架的位置是否在预设范围内；
如果当前支撑单元中的所有支撑架的位置均在预设范围内，则继续检测下一个支撑单元；
如果当前支撑单元中有一个或多个支撑架的位置超出预设范围时，则标记当前支撑单元禁止使用，并发出报警信号，提醒操作人员维修。
在检测过程中，所述基板卡匣检测装置能够同步记录每层支撑单元中的各个支撑架的位置信息，对于不合格的支撑单元记录故障信息以备后续参考。
本发明所提供的基板卡匣检测装置通过对基板卡匣中各个支撑架的位置进行测量，然后判定每层支撑单元中的支撑架的位置是否在预设范围内，有效防止了由于支撑架位置误差较大而造成的玻璃基板破损。并且，本发明提高了基板卡匣检查效率与精准度，减少了人力方面的投入，提高了生产效率。
可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (11)

1.一种基板卡匣检测装置，所述基板卡匣包括至少一层支撑单元，每层所述支撑单元包括多个支撑架，在每层所述支撑单元中，多个所述支撑架形成一个用于承载基板的支撑面，其特征在于，所述基板卡匣检测装置包括用于检测每层所述支撑单元中的每个所述支撑架的位置是否在预设范围内的传感机构；
所述传感机构包括与一层所述支撑单元中的多个所述支撑架的自由端一一对应的多个传感器，并且多个所述传感器能够沿所述支撑单元的层叠方向移动，以依次检测每层所述支撑单元中的所述支撑架的自由端的位置数据。
2.根据权利要求1所述的基板卡匣检测装置，其特征在于，所述传感机构还包括数据处理器和存储器，所述存储器中存储有各个所述传感器待检测的支撑架的位置数据的预设值及误差范围，所述数据处理器用于将所述传感器测定的位置数据与所述预设值进行比较，并判断所述传感器测定的位置数据是否在所述误差范围内。
3.根据权利要求2所述的基板卡匣检测装置，其特征在于，所述传感机构还包括报警器，当所述数据处理器判断出所述传感器测定的位置数据不在所述误差范围内时，所述数据处理器发送异常信号给所述报警器，所述报警器接收到所述异常信号后发出报警信号。
4.根据权利要求1或2所述的基板卡匣检测装置，其特征在于，所述基板卡匣检测装置还包括能够沿所述支撑单元的层叠方向移动的安装基座，所述传感机构中的多个所述传感器均安装在所述安装基座上。
5.根据权利要求4所述的基板卡匣检测装置，其特征在于，所述基板卡匣包括用于取放所述基板的开口面，每层所述支撑单元包括从与所述开口面邻接的两个相对的侧面伸出的多个端部支撑架、以及从所述开口面的对面伸出的至少一个中部支撑架，所述安装基座包括两个第一安装杆和连接两个所述第一安装杆的第二安装杆，两个所述第一安装杆分别与所述基板卡匣的两个侧面相对应，且每个所述第一安装杆上均设置有与所述端部支撑架对应的所述传感器，所述第二安装杆上设置有与所述中部支撑架对应的所述传感器。
6.根据权利要求5所述的基板卡匣检测装置，其特征在于，所述传感器为光学传感器，所述传感器包括激光发射件和与所述激光发射件相对设置的激光接收件，所述激光发射件用于发出检测所述支撑件的自由端的激光，所述激光接收件用于接收所述激光发射件发出的激光，当所述传感器上升到相对应的所述支撑架的自由端的高度时，所述支撑架的自由端位于所述激光发射件和所述激光接收件之间，以使得所述激光接收件不能够接收到所述激光发射件的激光，所述激光接收件能够在未接收到所述激光发射件的激光时产生感应信号，并将该感应信号传送至所述数据处理器，所述数据处理器能够根据接收到所述感应信号的时间计算出被检测的所述支撑架的高度，并将该高度与所述预设值进行对比。
7.根据权利要求4所述的基板卡匣检测装置，其特征在于，所述基板卡匣检测装置还包括第一驱动机构和导轨，所述导轨沿所述支撑单元的层叠方向设置，所述安装基座可滑动地设置在所述导轨上，所述第一驱动机构用于驱动所述安装基座沿所述导轨移动。
8.根据权利要求7所述的基板卡匣检测装置，其特征在于，所述基板卡匣检测装置还包括传送机构，所述传送机构包括位于所述基板卡匣检测装置底部的驱动轮、位于所述驱动轮两侧的导向轮、以及驱动所述驱动轮转动的第二驱动机构，所述驱动轮用于传送并承载所述基板卡匣，所述导向轮用于限定所述基板卡匣的传送方向。
9.根据权利要求8所述的基板卡匣检测装置，其特征在于，所述基板卡匣检测装置还包括定位机构，所述定位机构用于将所述基板卡匣固定在预定位置。
10.根据权利要求9所述的基板卡匣检测装置，其特征在于，所述定位机构包括位置感应器和紧固组件，所述位置感应器用于检查所述基板卡匣是否处于所述预定位置，当所述基板卡匣处于所述预定位置时，所述位置感应器发送信号给所述紧固组件，以控制所述紧固组件将所述基板卡匣固定在所述预定位置。
11.根据权利要求8至10中任意一项所述的基板卡匣检测装置，其特征在于，所述基板卡匣检测装置还包括可编程逻辑器，所述可编程逻辑器包括与所述第一驱动机构相连的第一控制信号输出端和与所述第二驱动机构相连的第二控制信号输出端。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI541112B (zh) * 2015-01-09 2016-07-11 力晶科技股份有限公司 機械手臂的檢測裝置與檢測方法
CN204937899U (zh) * 2015-09-10 2016-01-06 合肥京东方光电科技有限公司 一种基板卡匣
CN107799430B (zh) * 2016-08-29 2021-10-15 北京北方华创微电子装备有限公司 晶片位置检测方法
JP6610518B2 (ja) * 2016-11-30 2019-11-27 株式会社ダイフク 検査装置
CN106986187B (zh) * 2017-05-19 2019-08-13 武汉华星光电技术有限公司 一种传送设备
CN109031446A (zh) * 2018-07-18 2018-12-18 杭州依美洛克医学科技有限公司 载玻片检测装置
JP7066592B2 (ja) * 2018-10-12 2022-05-13 株式会社ダイフク 収容システム
CN110104406A (zh) * 2019-04-10 2019-08-09 浙江威星智能仪表股份有限公司 一种基表自动上线设备
CN112059497B (zh) * 2019-06-11 2022-06-24 宝山钢铁股份有限公司 一种高可靠型压靠式夹板对中装置
CN110908005B (zh) * 2019-11-20 2022-10-11 深圳怡化电脑股份有限公司 一种票箱内介质状态检测装置、设备及介质状态检测方法
US20220044950A1 (en) * 2020-08-05 2022-02-10 Changxin Memory Technologies, Inc. Storage system, query system and storage method for reticles, and computer device
CN112362004B (zh) * 2020-11-05 2022-12-23 惠科股份有限公司 卡匣的检测装置及检测方法，基板加工生产线
CN112548446A (zh) * 2020-11-27 2021-03-26 北京石油化工学院 自动输料垫板焊接工作台
CN113838685B (zh) * 2021-10-11 2023-01-03 苏州旗开得电子科技有限公司 一种电容成型机防错机构
CN114087994B (zh) * 2021-12-01 2024-04-16 江西凯安智能股份有限公司 一种黄铜板带生产加工用尺寸检测装置
CN115759139B (zh) * 2022-12-13 2023-06-02 菏泽市产品检验检测研究院 一种基于物联网的压力管道的无损检测装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4806773A (en) * 1984-10-18 1989-02-21 Canon Kabushiki Kaisha Wafer position detecting method and apparatus
CN102721692A (zh) * 2012-06-19 2012-10-10 深圳市华星光电技术有限公司 玻璃基板卡匣的检测装置
CN203012159U (zh) * 2012-12-27 2013-06-19 京东方科技集团股份有限公司 卡匣检测装置和卡匣
CN103412347A (zh) * 2013-07-23 2013-11-27 合肥京东方光电科技有限公司 卡匣和卡匣的检测方法
CN203858376U (zh) * 2014-03-07 2014-10-01 北京京东方光电科技有限公司 卡匣内玻璃基板的检测装置

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW344847B (en) * 1996-08-29 1998-11-11 Tokyo Electron Co Ltd Substrate treatment system, substrate transfer system, and substrate transfer method
JPH1124057A (ja) * 1997-07-07 1999-01-29 Daihen Corp 液晶用ガラス基板の位置検出装置
JP2002261152A (ja) * 2001-02-27 2002-09-13 Micronics Japan Co Ltd カセットの位置検出方法及び装置
US7255524B2 (en) * 2003-04-14 2007-08-14 Brooks Automation, Inc. Substrate cassette mapper
JP4012189B2 (ja) * 2004-10-26 2007-11-21 Ｔｄｋ株式会社 ウエハ検出装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4806773A (en) * 1984-10-18 1989-02-21 Canon Kabushiki Kaisha Wafer position detecting method and apparatus
CN102721692A (zh) * 2012-06-19 2012-10-10 深圳市华星光电技术有限公司 玻璃基板卡匣的检测装置
CN203012159U (zh) * 2012-12-27 2013-06-19 京东方科技集团股份有限公司 卡匣检测装置和卡匣
CN103412347A (zh) * 2013-07-23 2013-11-27 合肥京东方光电科技有限公司 卡匣和卡匣的检测方法
CN203858376U (zh) * 2014-03-07 2014-10-01 北京京东方光电科技有限公司 卡匣内玻璃基板的检测装置

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