TW201730067A - 保管裝置及搬送系統 - Google Patents

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Abstract

本發明一形態之保管裝置具備有：一對之收納部，其等具有供前後寬度小於左右寬度之FOUP載置之複數個棚架，且對向於前後方向地被配置；及移載裝置，其係設置於收納部之間，且於收納部之棚架彼此之間移載FOUP。於收納部之各者中，被配置於相同高度位置之複數個棚架係排列於左右方向。移載裝置對複數個棚架之各者，以FOUP之前表面朝向左右方向之狀態載置FOUP。

Description

保管裝置及搬送系統
本發明係關於保管容器之保管裝置及搬送系統。
習知，半導體搬送系統設置有用於暫時性地保管將半導體晶圓等進行收容之前後寬度小於左右寬度之容器(FOUP：Front Opening Unified Pod)之保管裝置(保管庫)。作為保管裝置，已知具備有分別具有被排列於上下左右之複數個棚架之前後一對之收納部的構造(參照如下所述之專利文獻1)。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2003-171003號公報
如前述之保管裝置通常係於出貨目的地(利用該保管裝置之半導體製造工廠等)被組裝，但存在有於出貨目的地實施組裝作業之情形較於出貨來源地(該保管裝置之製造工廠等)實施組裝作業之情形，作業成本較高之傾向。因此，期望能夠將於出貨來源地所組裝之保管裝置直接或作為儘可能以較少數量之組裝單元來搬入出貨目的地。然而，為了使於出貨來源地所組裝之保管裝置能 進行出貨，必須使保管裝置小型化。
因此，本發明一形態之目的，在於提供可藉由提高容器之收納密度而實現小型化之保管裝置及包含該保管裝置之搬送系統。
本發明一形態之保管裝置具備有：一對之收納部，其等具有供前後寬度小於左右寬度之容器載置之複數個棚架，且對向於第1方向地被配置；及移載裝置，其係設置於一對之收納部之間，且於一對之收納部之棚架彼此之間移載容器；且於一對之收納部之各者中，被配置於相同高度位置之複數個棚架排列於與第1方向正交之第2方向，移載裝置對複數個棚架之各者，以容器之前表面朝向第2方向之狀態載置容器。
本發明一形態之保管裝置，在一對之收納部之各者中，以容器之前表面朝向棚架之排列方向(第2方向、即收納部之長度方向)之方式載置有容器。此處，容器之前後寬度小於容器之左右寬度。因此，根據上述保管裝置，相較於容器以其側面朝向棚架之排列方向之方式被載置於棚架之構成，可提高各收納部之長度方向上容器之收納密度。其結果，可縮短保管裝置之長度方向之全長而實現保管裝置之小型化。
於上述保管裝置中，亦可為移載裝置使自一對之收納部中之一收納部之棚架所接收的容器水平旋轉180度，並對一對之收納部中之另一收納部之棚架進行交接。根據該構成，由於可相對地減小被載置於沿上下方向鄰接之棚架之容器彼此的間隔，因此可提高各收納部之高度方向上容器之收納密度。其結果，可縮短保管 裝置之高度方向之全長而實現保管裝置之小型化。
於上述保管裝置中，亦可為一對之收納部分別具有可供沿著第1方向搬送容器之高架搬送車進行存取之埠，且一收納部之埠具有使被載置於該埠之容器水平旋轉180度之旋轉機構。於移載裝置使容器水平旋轉180度而將容器自一收納部之棚架移載至另一收納部之棚架之情形時，被載置於一收納部之棚架之容器之朝向與被載置於另一收納部之棚架的容器之朝向互為相反。另一方面，可藉由高架搬送車進行搬送之容器之朝向(相對於高架搬送車之移行方向之容器之朝向)已被預先決定。根據上述構成，藉由於一收納部之埠設置旋轉機構之簡易之構成，可使被載置於各收納部之埠之容器之朝向(即、剛入庫後之容器之朝向及即將出庫前之容器之朝向)與可藉由高架搬送車所搬送之朝向一致。其結果，沿著第1方向移行之高架搬送車可利用任一收納部之埠來進行入庫或出庫。藉此，可提高藉由高架搬送車所進行容器之入出庫作業之效率。
於上述保管裝置中，亦可為一對之收納部中之一收納部之埠係入庫用之埠，一對之收納部中之另一收納部之埠係出庫用之埠。根據該構成，可將一對之收納部區分為入庫專用之收納部與出庫專用之收納部。其結果，可順利地進行藉由高架搬送車所進行容器之入出庫，而可抑制高架搬送車之壅塞的產生。
於上述保管裝置中，亦可為一對之收納部中之至少一個收納部具有：第1埠，其藉由搬送容器之高架搬送車於既定之停止位置使容器朝上下方向移動，而進行容器之入庫或出庫；及第2埠，其藉由高架搬送車於上述既定之位置使容器朝水平方向及上下方向移動，而進行容器之入庫或出庫。根據該構成，可將藉由停止 於既定之停止位置之高架搬送車所進行之入出庫作業(即、對第1埠及第2埠之存取)，作為一連串之移載動作來執行。例如，高架搬送車可於使容器入庫至第1埠及第2埠之一者後，使容器自第1埠及第2埠之另一者出庫。其結果，可順利地進行藉由高架搬送車所進行容器之入出庫，而可抑制高架搬送車之壅塞的產生。
本發明一形態之搬送系統包含有：上述保管裝置；及高架搬送車，其可對一對之收納部中之至少一個收納部進行存取，且以容器之前表面朝向第2方向之狀態沿著第1方向搬送該容器。上述搬送系統根據前述之理由，可縮短保管裝置之長度方向之全長而實現保管裝置之小型化。又，於上述搬送系統中，藉由高架搬送車所搬送之容器與被載置於收納部之容器，均為容器之前表面朝向第2方向之狀態。藉此，便可不需要於高架搬送車之移行方向與一對之收納部相互地對向之方向正交之情形時所需要的機構等(例如使被載置於收納部之容器水平旋轉90度之機構等)。因此，根據如上述般配置有高架搬送車與保管裝置之搬送系統，可簡化保管裝置之構造。
根據本發明一形態，可提供可藉由提高容器之收納密度來實現小型化之保管裝置及包含該保管裝置之搬送系統。
1、1A‧‧‧保管裝置
2‧‧‧框體
3A、3B‧‧‧收納部
4‧‧‧移載裝置
10‧‧‧高架搬送車
11‧‧‧把持機構
12‧‧‧皮帶
13‧‧‧升降機構
14‧‧‧水平移動機構
21、22‧‧‧側壁部
22a‧‧‧開口部
22b‧‧‧擋門
23‧‧‧頂板部
24‧‧‧支柱
31，31A‧‧‧棚架
31a‧‧‧第1棚架構件
31b‧‧‧第2棚架構件
32A、32B、32C‧‧‧埠
33‧‧‧轉盤(旋轉機構)
34‧‧‧支撐部
40‧‧‧導軌
41‧‧‧台車
41a‧‧‧移行車輪
42‧‧‧旋轉台
43‧‧‧桅桿
44‧‧‧升降台
45‧‧‧移載機構
45a‧‧‧叉架
50‧‧‧軌道
90‧‧‧FOUP(容器)
91‧‧‧本體部
92‧‧‧門
93‧‧‧凸緣部
94‧‧‧把手部
100、100A‧‧‧搬送系統
w1‧‧‧前後寬度
w2‧‧‧左右寬度
S‧‧‧開口
圖1係第1實施形態之保管裝置之俯視剖面圖。
圖2係沿圖1之II-II線之剖面圖。
圖3係沿圖1之III-III線之局部剖面圖。
圖4係沿圖1之IV-IV線之局部剖面圖。
圖5係圖1之保管裝置之側視圖。
圖6係第2實施形態之保管裝置之局部剖面圖。
以下，一面參照隨附圖式一面對本發明之實施形態詳細地進行說明。於圖式之說明中，對相同或相當之元件賦予相同之符號，並省略重複之說明。再者，於以下之說明中，將圖1面對紙面之右方向設為前方向，將左方向設為後方向，將上方向設為右方向，將下方向設為左方向。又，將朝向圖1之紙面近前側之方向設為上方向，將朝向紙面裡側之方向設為下方向。
[第1實施形態]
如圖1~圖5所示，第1實施形態之保管裝置1可收納複數個作為將複數個半導體晶圓進行收容之容器之FOUP(Front-Opening Unified Pod；前開式晶圓傳送盒)90。FOUP 90係國際半導體設備材料產業協會(SEMI；Semiconductor Equipment and Materials International)標準所規定，以用於搬送及保管於獨立微環境(mini-environment)方式之半導體製造工廠所使用之300mm半導體晶圓等為目的之載體。作為本實施形態中之一例，FOUP 90具備有本體部91、門92、凸緣部93、一對之把手部94、94。本體部91係收容半導體晶圓之箱狀之框體。於本體部91之前表面側設置有用於將半導體晶圓搬出搬入之開口，本體部91之背面側呈於俯視時帶有圓弧之彎曲形狀(參照圖1)。門92係封閉本體部91之開口之構件，且可相對於本體部91裝卸自如。凸緣部93係設置於本體 部91之上表面。凸緣部93係由後述之高架搬送車10之把持機構11所把持之部分。把手部94、94係設置於本體部91之兩個側面。作業人員例如自本體部91之背面側抱住FOUP 90，用雙手抓住把手部94並將FOUP 90抬起，藉此可容易地搬運FOUP 90。又，FOUP 90之前後寬度w1小於FOUP 90之左右寬度w2。
保管裝置1於大致長方體狀之框體2內具備一對之收納部3A、3B及被設置於收納部3A與收納部3B之間之移載裝置4。如圖1及圖2所示，框體2具備有：於前後方向(第1方向)上相對向之側壁部21、21、於左右方向(第2方向)上相對向之側壁部22、22、以及封閉側壁部21、21及側壁部22、22之上表面之頂板部23。又，沿著側壁部21於左右方向上隔開既定間隔地立設有支柱24。框體2藉由側壁部21、21、側壁部22、22及頂板部23，被設置為大致長方體狀。但是，框體2以可於後述之埠32A、32B與高架搬送車10之間移載FOUP 90之方式，形成為埠32A、32B朝外部開放之形狀(參照圖3及圖4)。作為本實施形態之一例，以高架搬送車10可自上方對埠32A、32B進行存取之方式，於框體2設置有在埠32A、32B之至少上方開放之開口S。
如圖1及圖2所示，收納部3A、3B係沿著各側壁部21、21，而於前後方向上被對向地配置。收納部3A係沿著前方側之側壁部21被配置，而收納部3B係沿著後方側之側壁部21被配置。各收納部3A、3B具有供FOUP 90載置之複數個棚架31。於各收納部3A、3B中，複數個棚架31係排列於上下方向及左右方向上。亦即，複數個棚架31係於上下方向上呈多段地設置。又，被配置於相同高度位置之複數個棚架31，係以於左右方向上並排之 方式被排列。
於各棚架31，以FOUP 90之前表面(即、相對於本體部91設置有門92之側之面)朝向左右方向之狀態載置有FOUP 90。如圖1所示，作為本實施形態之一例，於收納部3A之棚架31，以FOUP 90之前表面朝向右方向之狀態載置有FOUP 90。又，於收納部3B之棚架31上，以FOUP 90之前表面朝向左方向之狀態載置有FOUP 90。如上所述，FOUP 90之前後寬度w1小於FOUP 90之左右寬度w2。因此，藉由如前所述將FOUP 90載置於棚架31，可相較於將FOUP 90以其側面朝向棚架31之排列方向(即左右方向)之方式載置於棚架31之情形，提高各收納部3A、3B在左右方向上FOUP 90之收納密度。其結果，可縮短保管裝置1之左右方向之全長，而實現保管裝置1之小型化。
作為本實施形態之一例，各棚架31係由支撐FOUP 90底面之前表面側之一部分的第1棚架構件31a、及支撐FOUP 90底面之背面側之一部分的第2棚架構件31b所構成。第1棚架構件31a及第2棚架構件31b分別被安裝於支柱24。
具體而言，如圖1所示，構成收納部3A之棚架31之第1棚架構件31a及第2棚架構件31b，分別被安裝於支柱24之左側面及右側面。亦即，收納部3A之一個棚架31係由被安裝於一個支柱24之第1棚架構件31a與被安裝於位在該支柱24左側之一個支柱24之第2棚架構件31b的組所構成。另一方面，構成收納部3B之棚架31的第1棚架構件31a及第2棚架構件31b，分別被安裝於支柱24之右側面及左側面。收納部3B之一個棚架31係由被安裝於一個支柱24之第1棚架構件31a與被安裝於該支柱24 右側之一個支柱24之第2棚架構件31b的組所構成。於構成一個棚架31之第1棚架構件31a與第2棚架構件31b之間，以後述之移載裝置4之叉架45a可進入而進行FOUP 90之移載(撈貨或卸貨)之方式，設置有既定之間隔。
移載裝置4係於收納部3A、3B之棚架31彼此之間移載FOUP 90之裝置。移載裝置4藉由以下所述之機構，以FOUP 90之前表面朝向左右方向之狀態將FOUP 90載置於複數個棚架31之各者。如圖1及圖2所示，移載裝置4具備有：一對之導軌40、40，其等於收納部3A、3B之間沿著左右方向被鋪設；台車41，其可沿著該導軌40、40朝左右方向移動；旋轉台42，其係設置於台車41上；桅桿43，其係立設於旋轉台42上；升降台44，其係安裝為可相對於桅桿43被升降驅動；及移載機構45，其係安裝於升降台44上。再者，於圖2中，對移載對象之FOUP 90以外之FOUP 90省略圖示。
於台車41設置有移行車輪41a、41a。藉由移行車輪41a、41a被支撐於導軌40、40上，使台車41可沿著導軌40、40移行。移載裝置4可藉由使用未圖示之驅動機構使台車41移行，而決定移載機構45左右方向上之位置。具體而言，移載裝置4可藉由台車41之移行控制，使移載機構45移動至與進行FOUP 90之移載之對象之棚架31對應之左右方向上的位置。
移載裝置4可藉由利用未圖示之驅動機構使升降台44沿上下方向升降，而決定移載機構45上下方向上之位置。具體而言，移載裝置4可藉由升降台44之升降控制，使移載機構45移動至與進行FOUP 90之移載之對象之棚架31對應之上下方向上的 位置。
移載裝置4可藉由利用未圖示之驅動機構使旋轉台42旋轉，而使桅桿43及升降台44與旋轉台42一起水平地旋轉，從而決定移載機構45所對向之方向(即、移載機構45可進行存取之方向)。例如，如圖1及圖2所示，於進行被載置於收納部3B之棚架31之FOUP 90的撈貨，或進行朝向收納部3B之棚架31之FOUP 90之卸貨之情形時，移載裝置4藉由旋轉台42之旋轉控制，而以移載機構45對向於收納部3B之方式使旋轉台42旋轉。
移載機構45例如為伸縮自如之機器手，且於其前端部設置有叉架45a。叉架45a可將被載置於棚架31之FOUP 90自下方撈起並加以支撐。例如，於叉架45a之上表面設置朝上方突出之突起(未圖示)，並且於FOUP 90之底面設置可***該突起之孔部(未圖示)。亦即，藉由叉架45a上表面之突起被***FOUP 90底面之孔部，而以FOUP 90不會自叉架45a滑落之方式被定位於既定之位置。
移載裝置4藉由前述之機構，被構成為使自一收納部(例如收納部3A)之棚架31所接收之FOUP 90水平旋轉180度，並交接至另一收納部(例如收納部3B)之棚架31。以下，以移載裝置4將自收納部3B之棚架31所接收之FOUP 90交接至收納部3A之棚架31之情形為例，對移載裝置4之移載動作之一例進行說明。
首先，移載裝置4藉由台車41之移行控制、升降台44之升降控制、及旋轉台42之旋轉控制，將移載機構45移動至與載置有撈貨對象之FOUP 90之收納部3B之棚架31對應的撈貨位置。接著，移載裝置4使移載機構45伸長，而使叉架45a進入撈 貨對象之FOUP 90之下方。接著，移載裝置4以叉架45a通過第1棚架構件31a與第2棚架構件31b之間而撈起撈貨對象之FOUP 90之方式，使升降台44上升。然後，移載裝置4藉由縮短移載機構45而取得FOUP 90。
接著，移載裝置4以移載機構45對向於收納部3A之方式，使旋轉台42水平旋轉180度。藉此，叉架45a上之FOUP 90被水平旋轉180度。亦即，於被叉架45a撈起前之狀態(載置於收納部3B之棚架31上之狀態)下前表面朝向左方向之FOUP 90，變化為前表面朝向右方向之狀態。接著，移載裝置4藉由台車41之移行控制及升降台44之升降控制，將移載機構45移動至對應於FOUP 90之移載目的地之收納部3A之棚架31的卸貨位置。接著，移載裝置4使移載機構45伸長，而使叉架45a上之FOUP 90進入作為移載目的地之棚架31之上方。接著，移載裝置4以叉架45a通過構成該棚架31之第1棚架構件31a與第2棚架構件31b之間之方式，使升降台44下降。藉此，FOUP 90自叉架45a被交接至移載目的地之棚架31。
再者，由於在移載裝置4於相同收納部(收納部3A或收納部3B)內將FOUP 90自一個棚架31朝向另一棚架31進行移載之情形時，不進行利用旋轉台42所進行180度之水平旋轉，因此於移載之前後FOUP 90之朝向不變。
根據前述之旋轉式之移載裝置4，可使叉架45a之厚度相對地減小，其結果，可使被載置於沿上下方向相鄰之棚架31之FOUP 90彼此之間隔相對地減小。亦即，可沿上下方向相鄰之棚架31彼此之間隔相對地減小。藉此，可提高各收納部3A、3B在 高度方向上之FOUP 90之收納密度。其結果，可縮短保管裝置1高度方向之全長，而實現保管裝置1之小型化。
如圖3及圖4所示，於包含保管裝置1與高架搬送車10之搬送系統100中，作為一例，高架搬送車用之軌道50係以通過在各收納部3A、3B沿左右方向排列之棚架31之列(作為本實施形態之一例為5列)中最左側之列之上方之方式，而沿著前後方向被鋪設。軌道50例如鋪設於設置有保管裝置1之半導體製造工廠之頂棚附近。高架搬送車10例如為懸吊式搬送車(OHT；Overhead Hoist Transfer)，且以被懸吊於軌道50之狀態沿著軌道50朝單向(作為本實施形態之一例為自前側朝向後側之方向)移行。亦即，作本實施形態中，收納部3A係配置於高架搬送車10之移行方向上游側，而收納部3B係配置於高架搬送車10之移行方向下游側。
高架搬送車10可對一對之收納部3A、3B中之至少一收納部(作為本實施形態之一例為兩個收納部3A、3B)進行存取(細節將於後述)。又，高架搬送車10以FOUP 90之前表面朝向左右方向(第2方向)之狀態，沿著前後方向(第1方向)搬送FOUP 90。作為本實施形態之一例，高架搬送車10以FOUP 90之前表面朝向右側之狀態，沿著自前側朝向後側之方向搬送FOUP 90。
高架搬送車10具備有：把持機構11，其可把持FOUP 90之凸緣部93；升降機構13，其藉由把持機構11所連接之皮帶12之送出、捲取，而可升降把持機構11；及水平移動機構14，其可使升降機構13朝與高架搬送車10之移行方向(於本實施形態中為「前後方向」)正交之方向(於本實施形態中為「左右方向」)水平移動。
如圖1及圖3所示，於收納部3A最左側之列之最上段(較其他列之最上段低1段之段)設置有以可供高架搬送車10進行存取之方式將上方開放之埠32A。具體而言，高架搬送車10藉由停止於埠32A之上方，並利用升降機構13使把持機構11升降，而可於與埠32A之間進行FOUP 90之移載(卸貨或撈貨)。再者，作為本實施形態之一例，埠32A與收納部3A之其他棚架31同樣地，由第1棚架構件31a及第2棚架構件31b所構成。
如圖1及圖4所示，於收納部3B之最左側之列之最上段(較其他行之最上段低1段之段)，設置有以可供高架搬送車10進行存取之方式將上方開放之埠32B。具體而言，高架搬送車10藉由停止於埠32B之上方，並使用升降機構13使把持機構11升降，而可於與埠32B之間進行FOUP 90之移載(卸貨或撈貨)。埠32B具有使被載置於該埠32B上之FOUP 90水平旋轉180度之旋轉機構。
作為本實施形態之一例，埠32B係由可水平旋轉180度之轉盤(旋轉機構)33及被安裝於轉盤33上之一對之支撐部34、34所構成。支撐部34、34係相互地分開既定間隔而被設置之長方體狀之構件。支撐部34、34於正常狀態(可移載FOUP 90之狀態)下朝前後方向延伸。藉此，FOUP 90底面之前表面側之一部分及背面側之一部分，係成為由支撐部34、34所支撐。又，支撐部34、34之間隔係設為移載裝置4之叉架45a可進入而進行FOUP 90之移載(撈貨或卸貨)之大小。轉盤33藉由以在支撐部34、34上載置有FOUP 90之狀態進行旋轉，而使FOUP 90之朝向旋轉180度。
藉由在埠32B設置轉盤33，可將被入庫至埠32A之FOUP 90自埠32B進行出庫，或將被入庫至埠32B之FOUP 90自 埠32A進行出庫。以下，對此具體地進行說明。又，作為本實施形態之一例，高架搬送車10以FOUP 90之前表面朝向相對於移行方向(自前側朝向後側之方向)之右側之方式搬送FOUP 90。
首先，對將被入庫至埠32A之FOUP 90自埠32B進行出庫之情形進行說明。於該情形時，藉由FOUP 90自停止於埠32A上方之高架搬送車10被交接至埠32A，進行FOUP 90朝向埠32A之入庫。於剛入庫後，被載置於埠32A之FOUP 90，成為該FOUP 90之前表面朝向右方向之狀態(參照圖1及圖3)。
被入庫至埠32A之FOUP 90，於利用移載裝置4移載至收納部3B之過程中，藉由移載裝置4之水平旋轉(旋轉台42之旋轉動作)，而成為FOUP 90之前表面朝向左方向之狀態(參照圖1之收納部3B自左側起第2至4列之FOUP 90)。亦即，被入庫至埠32A之FOUP 90，於最終為了出庫而被移載至埠32B時，會成為朝向與可藉由高架搬送車10進行搬送之朝向為相反側之狀態(即、FOUP 90之前表面朝向左方向之狀態)。因此，若FOUP 90藉由移載裝置4被移載至埠32B，轉盤33便水平旋轉180度。藉此，可使埠32B上之FOUP 90之朝向與可藉由高架搬送車10進行搬送之朝向(即、FOUP 90之前表面朝向右方向之狀態)一致(參照圖1及圖4)。其結果，高架搬送車10可將被載置於埠32B之FOUP 90進行出庫。
其次，對被入庫至埠32B之FOUP 90自埠32A進行出庫之情形進行說明。於該情形時，藉由FOUP 90自停止於埠32B上方之高架搬送車10被交接至埠32B，而進行FOUP 90朝向埠32B之入庫。於剛入庫後，被載置於埠32B之FOUP 90，成為該FOUP 90之前表面朝向右方向之狀態(參照圖1及圖4)。
此處，於不使被入庫至埠32B之FOUP 90水平旋轉180度之情形時，該FOUP 90於利用移載裝置4移載至收納部3A之過程中，藉由移載裝置4之水平旋轉(旋轉台42之旋轉動作)，而成為FOUP 90之前表面朝向左方向之狀態。亦即，被入庫至埠32B之FOUP 90，於最終為了出庫而被移載至埠32A時，成為朝向與可藉由高架搬送車10進行搬送之朝向為相反側之狀態(即、FOUP 90之前表面朝向左方向之狀態)。
因此，轉盤33使被入庫至埠32B之FOUP 90水平旋轉180度。藉此，該FOUP 90成為FOUP 90之前表面朝向左方向之狀態。其結果，該FOUP 90於利用移載裝置4移載至收納部3A之過程中，成為FOUP 90之前表面朝向右方向之狀態。亦即，被入庫至埠32B之FOUP 90，於最終為了出庫而被移載至埠32A時，成為可藉由高架搬送車10進行搬送之朝向。其結果，高架搬送車10可將被載置於埠32A之FOUP 90進行出庫。
如前所述，藉由一收納部(於本實施形態中作為一例為收納部3B)之埠32B具備有轉盤33之簡易之構成，可使被載置於各收納部3A、3B之埠32A、32B的FOUP 90之朝向(即、剛入庫後之FOUP 90之朝向及即將出庫前之FOUP 90之朝向)與可藉由高架搬送車10進行搬送之朝向一致。其結果，高架搬送車10無論任一收納部3A、3B之埠32A、32B均可為了進行入庫或出庫而加以利用。藉此，可提高利用高架搬送車10所進行FOUP 90之入出庫作業之效率。
此處，亦可將埠32A、32B中之一埠設為入庫用之埠， 而將另一埠設為出庫用之埠。根據該構成，可將收納部3A、3B區分為入庫專用之收納部與出庫專用之收納部。其結果，可順利地進行利用高架搬送車10所進行FOUP 90之入出庫，而可抑制高架搬送車10之壅塞之產生。例如，可將高架搬送車10之移行方向上游側之收納部(於本實施形態中之收納部3A)之埠32A設為入庫用之埠，而將高架搬送車10之移行方向下游側之收納部(於本實施形態中之收納部3B)之埠32B設為出庫用之埠。於該情形時，1台高架搬送車10可藉由一連串之移行動作，而進行FOUP 90之入庫及出庫雙方。具體而言，1台高架搬送車10於在上游側之埠32A將FOUP 90卸貨(入庫)後，可自下游側之埠32B將FOUP 90進行撈貨(出庫)。其結果，可提高高架搬送車10之使用效率。
如圖5所示，作為實施形態之一例，於左側之側壁部22中，在與位於收納部3A最左側之列之既定高度位置的特定之棚架31A上之空間鄰接之部分，設置有開口部22a，並設置有封閉該開口部22a之擋門22b。此處，被載置於棚架31A之FOUP 90，成為前表面朝向右方向之狀態。因此，作業人員可藉由打開擋門22b(作為本實施形態之一例使其朝後方向滑動)，而對被載置於棚架31A之FOUP 90進行存取。作業人員藉由自背面側抱住該FOUP 90，並用雙手抓住一對之把手部94，而可容易地取出該FOUP 90。又，作業人員於將FOUP 90收納於棚架31A之情形時，可藉由與取出FOUP 90時之動作相反之動作，而容易地將FOUP 90收納於棚架31A。如此，於保管裝置1中，由於以FOUP 90之前表面朝向左右方向之方式被載置於棚架31，因此可藉由於側壁部22設置開口部22a之簡易之構成，來構成作業人員可容易地將FOUP 90搬出 搬入之手動埠。具體而言，無需於保管裝置1內部設置變更FOUP 90之朝向之機構等，便可構成可自保管裝置1之端側將FOUP 90搬入搬出之手動埠。
於前述之保管裝置1中，在收納部3A、3B之各者，FOUP 90係以FOUP 90之前表面朝向棚架31之排列方向(即收納部3A、3B之長度方向)之方式被載置。此處，FOUP 90之前後寬度w1小於FOUP 90之左右寬度w2。因此，根據保管裝置1，相較於FOUP 90以FOUP 90之側面朝向棚架31之排列方向之方式被載置於棚架31之構成，可提高各收納部3A、3B長度方向上FOUP 90之收納密度。其結果，可縮短保管裝置1之長度方向之全長，而實現保管裝置1之小型化。
又，移載裝置4使自收納部3A、3B中之一收納部之棚架31所接收的FOUP 90水平旋轉180度，並交接至另一收納部之棚架31。如前所述，藉由將移載裝置4設為如此之構造，可使被載置於在上下方向鄰接之棚架31之FOUP 90彼此之間隔相對地減小。藉此，可提高各收納部3A、3B高度方向上FOUP 90之收納密度。其結果，可縮短保管裝置1高度方向之全長，而實現保管裝置1之小型化。
又，收納部3A、3B各分別具有可供沿著自前側向後側之方向(第1方向)移行而搬送FOUP 90之高架搬送車10進行存取之埠32A、32B。收納部3A、3B中之一收納部之埠(作為本實施形態之一例為收納部3B之埠32B)，具有使被載置於該埠32B之FOUP 90水平旋轉180度之轉盤33。移載裝置4由於在將FOUP 90自收納部3A之棚架31移載至收納部3B之棚架31時，使FOUP 90 水平旋轉180度，因此被載置於收納部3A之棚架31之FOUP 90之朝向與被載置於收納部3B之棚架31之FOUP 90之朝向互為相反。於移載裝置4將FOUP 90自收納部3B之棚架31移載至收納部3A之棚架31之情形時亦相同。另一方面，可利用高架搬送車10進行搬送之FOUP 90之朝向(相對於高架搬送車10之移行方向之FOUP 90之朝向)預先被決定。根據上述構成，藉由於收納部3B之埠32B設置轉盤33之簡易之構成，可使被載置於各收納部3A、3B之埠32A、32B之FOUP 90之朝向(即、剛入庫後之FOUP 90之朝向及即將出庫前之FOUP 90之朝向)與可利用高架搬送車10進行搬送之朝向一致。其結果，高架搬送車10無論任一收納部3A、3B之埠32A、32B均可為了進行入庫或出庫而加以利用。藉此，可提高利用高架搬送車10所進行之FOUP 90之入出庫作業之效率。
又，搬送系統100包含有：保管裝置1；及高架搬送車10，其可對一對之收納部3A、3B中之至少一收納部(作為本實施形態之一例之兩個收納部3A、3B)進行存取，且以FOUP 90之前表面朝向左右方向之狀態，沿著前後方向搬送該FOUP 90。於搬送系統100中，根據前述之理由，可縮短保管裝置1之長度方向及上下方向各者之全長，而實現保管裝置1之小型化。又，於搬送系統100中，藉由高架搬送車10所搬送之FOUP 90與被載置於收納部3A、3B之FOUP 90，均成為FOUP 90之前表面朝向左右方向之狀態。藉此，無需於高架搬送車10之移行方向與收納部3A、3B相互地對向之方向為正交之情形時所需要之機構等(例如使被載置於收納部3A、3B之FOUP 90水平旋轉90度之機構等)。因此，根據如前所述之配置有保管裝置1與高架搬送車10之搬送系統100，可 簡化保管裝置1之構造。
[第2實施形態]
使用圖6，對第2實施形態之保管裝置1A進行說明。保管裝置1A與保管裝置1主要的差異，在於保管裝置1A被構成為收納部3A自左側起第2列最上段之棚架可作為用以進行FOUP 90之入庫或出庫之埠32C而利用。於保管裝置1A中，收納部3A具有兩個埠32A、32C。埠32A與埠32C係設置為高度位置(上下方向上之位置)及水平位置(左右方向上之位置)二者互不相同。具體而言，埠32C位於較埠32A更高一段之右側一列。
作為一例，於保管裝置1A中，框體2係形成為被載置於收納部3A自左側起第2列最上段之棚架(埠32C)的FOUP 90之上方及左側方開放。具體而言，頂板部23及支柱24之一部分被切缺。藉此，停止於埠32A上方之高架搬送車10，可藉由所謂橫向移載而對埠32C進行存取。具體而言，如圖6所示，停止於埠32A上方之高架搬送車10，利用水平移動機構14使升降機構13朝右方向移動，並利用升降機構13使把持機構11升降，藉此可於與埠32C之間進行FOUP 90之移載。
如此，收納部3A具有藉由高架搬送車10於埠32A上方之位置(既定之停止位置)使FOUP 90沿上下方向移動，而進行FOUP 90之入庫或出庫之埠(第1埠)32A。又，收納部3A具有藉由高架搬送車10於埠32A上方之位置使FOUP 90沿水平方向及上下方向移動，而進行FOUP 90之入庫或出庫之埠(第2埠)32C。根據該構成，可將藉由停止於既定之停止位置之高架搬送車10所進行 之入出庫作業(即、對埠32A及埠32C之存取)，作為一連串之移載動作來執行。例如，高架搬送車10可於使FOUP 90入庫至埠32A及埠32C之一者後，使FOUP 90自埠32A及埠32C之另一者出庫。其結果，可順利地進行藉由高架搬送車10所進行FOUP 90之入出庫，而可抑制高架搬送車10之壅塞的產生。又，即便於包含保管裝置1A及高架搬送車10之搬送系統100A中，亦可發揮與前述之搬送系統100同樣之效果。
以上，雖已對本發明一形態進行說明，但本發明並不限定於上述實施形態。例如，可在被設置於一收納部之一個以上之埠進行FOUP 90之入庫及出庫雙方，而於另一收納部不進行FOUP 90之入庫及出庫之情形(例如，如第2實施形態般設為於一收納部設置2個埠32A、32C(於上述例中為收納部3A)之構成之情形等)。於如此之情形時，由於不會產生被入庫至一收納部之埠之FOUP 90自另一收納部之埠出庫之狀況(或被入庫至另一收納部之埠之FOUP 90自一收納部之埠出庫之狀況)，因此亦可不如第1實施形態般於一個埠設置轉盤(旋轉機構)。
又，亦可採用組合前述之第1實施形態及第2實施形態之構成的構成。於該情形時，成為於一收納部(於上述例中為收納部3A)側設置有兩個埠32A、32C，而於另一收納部(於上述例中為收納部3B)側設置有一個埠32B之構成。
又，本發明一形態之搬送系統所搬送之容器，並不限定於收容有複數個半導體晶圓之FOUP 90，亦可為收容有玻璃晶圓、光罩等之其他容器。又，本發明一形態之搬送系統並不限定於半導體製造工廠，亦可應用於其他設施。
1‧‧‧保管裝置
2‧‧‧框體
3A、3B‧‧‧收納部
4‧‧‧移載裝置
21、22‧‧‧側壁部
24‧‧‧支柱
31‧‧‧棚架
31a‧‧‧第1棚架構件
31b‧‧‧第2棚架構件
32A、32B‧‧‧埠
33‧‧‧轉盤(旋轉機構)
34‧‧‧支撐部
40‧‧‧導軌
41‧‧‧台車
42‧‧‧旋轉台
43‧‧‧桅桿
44‧‧‧升降台
45‧‧‧移載機構
45a‧‧‧叉架
91‧‧‧本體部
90‧‧‧FOUP(容器)
92‧‧‧門
93‧‧‧凸緣部
94‧‧‧把手部
w1‧‧‧前後寬度
w2‧‧‧左右寬度

Claims (6)

  1. 一種保管裝置，其具備有：一對之收納部，其等具有供前後寬度小於左右寬度之容器載置之複數個棚架，且對向於第1方向地被配置；及移載裝置，其係設置於上述一對之收納部之間，且於上述一對之收納部之上述棚架彼此之間移載上述容器；且於上述一對之收納部之各者中，被配置於相同高度位置之上述複數個棚架係排列於與上述第1方向正交之第2方向，上述移載裝置對上述複數個棚架之各者，以上述容器之前表面朝向上述第2方向之狀態載置上述容器。
  2. 如請求項1之保管裝置，其中，上述移載裝置使自上述一對之收納部中之一收納部之上述棚架所接收的上述容器水平旋轉180度，並對上述一對之收納部中之另一收納部之上述棚架進行交接。
  3. 如請求項2之保管裝置，其中，上述一對之收納部分別具有可供沿著上述第1方向搬送上述容器之高架搬送車進行存取之埠，且一上述收納部之上述埠，具有使被載置於該埠之上述容器水平旋轉180度之旋轉機構。
  4. 如請求項3之保管裝置，其中，上述一對之收納部中之一收納部的上述埠係入庫用之埠，上述一對之收納部中之另一收納部之上述埠係出庫用之埠。
  5. 如請求項1或2之保管裝置，其中，上述一對之收納部中之至少一個上述收納部具有： 第1埠，其藉由搬送上述容器之高架搬送車於既定之停止位置使上述容器朝上下方向移動，而進行上述容器之入庫或出庫；及第2埠，其藉由上述高架搬送車於上述既定之停止位置使上述容器朝水平方向及上下方向移動，而進行上述容器之入庫或出庫。
  6. 一種搬送系統，其包含有：請求項1所記載之保管裝置；及高架搬送車，其可對上述一對之收納部中之至少一個收納部進行存取，且以上述容器之前表面朝向上述第2方向之狀態沿著上述第1方向搬送該容器。
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