JP6185722B2 - 基板処理装置、基板移載方法及び半導体装置の製造方法並びに状態検知プログラム - Google Patents
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Description
次に、本発明の第一の実施形態(実施例1)について、図9〜図11のフローチャートを用いて説明する。図9は本発明の実施例に係る基板処理装置1の動作を説明するフローチャートである。図10は、本発明の実施例に係る前記ウェーハ保持リング23の状態検知処理を説明するフローチャートである。図11は本発明の実施例に係る前記ウェーハ保持リング23及び前記ウェーハ保持リング23に載置されたウェーハ2の状態検知処理について説明するフローチャートである。尚、本実施形態における前記ウェーハ保持リング23の状態検知処理及び前記ウェーハ2の状態検知処理は、前記プログラム格納領域52に格納された前記保持部材状態検知プログラム53及び前記基板状態検知プログラム54のそれぞれを演算制御部45により実行される。
載機17を駆動させ前記フォトセンサ43a,43bにより前記ウェーハ保持リング23、及び該ウェーハ保持リング23上に載置されたウェーハ2の光量の波形データが取得され、前記ウェーハ保持リング23がそれぞれ装着されている各スロットに関連付けられて前記データ格納領域51に格納される。
次に、本発明の第二の実施形態(実施例2)について、図12及び図13を用いて説明する。尚、本実施例(実施例2)では、以下、実施例1と同じ構成である基板処理装置1と制御装置44、実施例1と同じフローである図9及び図10に示される状態検知を説明するフローチャート等について、同じ符号を用いて使用する場合があり、また、説明を省略する場合がある。
次に、本発明の第三の実施形態(実施例3)について、図14を用いて説明する。尚、本実施例(実施例3)では、以下、実施例1と同じ構成である基板処理装置1と制御装置44、実施例1と同じフローである図9及び図10に示される状態検知を説明するフローチャート等について、同じ符号を用いて使用する場合があり、また、説明を省略する場合がある。
又、本発明は以下の実施の態様を含む。
(付記10)更に、少なくとも前記保持部材の位置の基準となるデータを有する第1マスターデータ及び少なくとも前記基板保持部材に載置された基板の位置の基準となるデータを有する第2マスターデータを格納する記憶部を備えた付記1の基板処理装置が提供される。
(付記11)前記記憶部は、基板保持具の全スロットに対して設定される検知許容値を微調整するための検知許容値設定パターン及び前記検知許容値を設定するための検知許容値パターンを格納する付記10の基板処理装置が提供される。
(付記12)前記記憶部は、基板の種別に応じて検知許容値を変更するための基準値パターンを格納する付記10または付記11の基板処理装置が提供される。
2 ウェーハ
7 ボート
17 ウェーハ移載機
18 処理炉
41 検知部
43 フォトセンサ
44 制御装置
46 記憶部
47 判定部
49 搬送制御部
53 保持部材状態検知プログラム
54 基板状態検知プログラム
56 リング下基準値
57 リング上基準値
58 リングズレ許容範囲
61 ウェーハ下基準値
62 ウェーハ上基準値
63 ウェーハズレ許容範囲
Claims (15)
- 基板を載置する保持部材を装着された基板保持具と、複数枚又は一枚の基板を搬送する様に構成された基板搬送部と、前記基板保持具に装着された前記保持部材及び前記保持部材に載置された基板の状態を検知する検知部と、前記検知部により取得された前記保持部材及び前記保持部材に載置された基板の状態を示すデータと、予め正常な状態の前記保持部材を検知して取得した基準となる第1マスターデータ及び前記保持部材に載置された基板を検知して取得した基準となる第2マスターデータとを比較して基板の載置状態を判定する判定部と、前記判定部の判定結果に応じて前記基板保持具への基板の移載を行う前記基板搬送部を制御する搬送制御部と、少なくとも前記保持部材の位置の基準となるデータを有する第1マスターデータ、少なくとも前記保持部材に載置された基板の位置の基準となるデータを有する第2マスターデータ及び検知許容値を算出するための基準値を格納する記憶部と、を具備し、
前記搬送制御部は、
前記検知部に前記保持部材の状態を検知させて波形データを取得させ、
前記保持部材の状態を示す波形データと前記第1マスターデータとを比較し、
前記判定部の判定結果が異常なしであれば、前記保持部材に対して基板の搬送を前記基板搬送部に行わせ、
前記判定部の判定結果が異常有りであれば、処理を中断して前記基板搬送部を待機させる様に構成され、
前記基板保持具に前記基板を移載後、
前記検知部に前記保持部材に載置された基板の状態を検知させて波形データを取得させ、
前記判定部に前記保持部材に載置された基板の状態を示す波形データと前記記憶部に格納された前記第2マスターデータに前記基板の種別に応じて前記記憶部に格納された厚み基準値を加算した検知許容値データとを比較させ、前記基板の載置状態を判定させる基板処理装置。 - 前記基板保持具は、前記保持部材を装着する装着部が所定数設けられ、前記判定部による比較が前記装着部の数だけ繰返し行われる請求項1記載の基板処理装置。
- 前記判定部の判定結果が異常なしであれば、前記保持部材に対して基板の搬送が繰返し行われる請求項1記載の基板処理装置。
- 前記判定部の判定結果が異常有りであれば、前記装着部で発生した異常を解除する処理が終了する迄前記基板搬送部が待機する様に構成された請求項1記載の基板処理装置。
- 前記第1マスターデータは、リング下基準値、リング上基準値、リングズレ許容範囲のうち少なくとも一つで構成されている請求項1記載の基板処理装置。
- 前記記憶部は、基板保持具の全スロットに対して設定される検知許容値を微調整するための検知許容値設定パターン及び前記検知許容値を設定するための検知許容値パターンを格納する請求項1の基板処理装置。
- 前記第2マスターデータは、リング下基準値、リング上基準値、リングズレ許容範囲、ウェーハ下基準値、ウェーハ上基準値、ウェーハズレ許容範囲のうち少なくとも一つで構成されている請求項1記載の基板処理装置。
- 前記搬送制御部は、前記基板が処理された後、
前記検知部に前記保持部材に載置された基板の状態を検知させて波形データを取得させ、
前記基板の状態を示す波形データと前記第2マスターデータとを比較するように構成されている請求項1記載の基板処理装置。 - 前記搬送制御部は、前記基板が処理された後、
前記検知部に前記保持部材の状態を検知させて波形データを取得させ、
前記保持部材の状態を示す波形データと前記第1マスターデータとを比較するように構成されている請求項1記載の基板処理装置。 - 基板が載置される保持部材の状態を検知させて波形データを取得させ、前記保持部材の状態を示す波形データと予め正常な状態の前記保持部材を検知して取得した基準となる第1マスターデータとを比較し、前記保持部材自体の状態を判定する工程と、
保持部材が装着された基板保持具に対して、前記基板を移載する移載工程と、
前記保持部材に載置された基板の状態を検知させて波形データを取得させ、取得された前記基板の状態を示す波形データと、前記保持部材に載置された基板を検知して取得した基準となる第2マスターデータに前記基板の種別に応じて前記記憶部に格納された厚み基準値を加算した前記検知許容値データとを比較して前記保持部材に載置された基板の載置状態を判定する判定工程を有し、
前記保持部材自体の状態の判定結果が異常なしであれば、前記移載工程を実行し、
前記保持部材自体の状態の判定結果が異常有りであれば、処理を中断する様に構成され、
前記移載工程後、前記判定工程を実行する基板移載方法。 - 基板が載置される保持部材の状態を検知させて波形データを取得させる工程と、
前記保持部材の状態を示す波形データと予め正常な状態の前記保持部材を検知して取得した基準となる第1マスターデータとを比較し、前記保持部材自体の状態を判定する工程と、
保持部材が装着された基板保持具に対して、前記基板を移載する移載工程と、
前記保持部材に載置された基板の状態を検知させて波形データを取得させ、取得された前記基板の状態を示す波形データと、前記保持部材に載置された基板を検知して取得した基準となる第2マスターデータに前記基板の種別に応じて前記記憶部に格納された厚み基準値を加算した前記検知許容値データとを比較して前記保持部材に載置された基板の載置状態を判定する判定工程と、前記基板保持具を処理炉内に装填して基板を処理する処理工程を有し、
前記保持部材自体の状態の判定結果が異常なしであれば、前記移載工程は、実行され、
前記保持部材自体の状態の判定結果が異常有りであれば、処理を中断する様に構成され、
前記移載工程後、前記判定工程を実行する半導体装置の製造方法。 - 前記処理工程は、
前記保持部材に載置された基板の状態の判定結果が異常なしであれば実行されるよう構成されている請求項11記載の半導体装置の製造方法。 - 前記処理工程後、前記判定工程を実行するよう構成されている請求項11記載の半導体装置の製造方法。
- 前記処理工程後、前記検知部に前記保持部材の状態を検知させて波形データを取得させ、
前記保持部材の状態を示す波形データと前記第1マスターデータとを比較するように構成されている請求項11記載の半導体装置の製造方法。 - 基板を載置する保持部材を装着された基板保持具と、複数枚又は一枚の基板を搬送する様に構成された基板搬送部と、前記基板保持具に装着された前記保持部材及び前記保持部材に載置された基板の状態を検知する検知部と、前記検知部により取得された前記保持部材及び前記保持部材に載置された基板の状態を示すデータと、予め正常な状態の前記保持部材を検知して取得した基準となる第1マスターデータ及び前記保持部材に載置された基板を検知して取得した基準となる第2マスターデータとを比較して基板の状態を判定する判定部と、前記判定部の判定結果に応じて前記基板保持具への基板の移載を行う前記基板搬送部を制御する搬送制御部と、少なくとも前記保持部材の位置の基準となるデータを有する第1マスターデータ、少なくとも前記保持部材に載置された基板の位置の基準となるデータを有する第2マスターデータ及び検知許容値を算出するための基準値を格納する記憶部と、を具備する基板処理装置に、
前記検知部に前記保持部材の状態を検知させて波形データを取得させ、前記保持部材の状態を示す波形データと予め正常な状態の前記保持部材を検知して取得した基準となる第1マスターデータとを比較して前記保持部材の状態を判定する第1判定手順と、
前記保持部材が装着された基板保持具に対して、前記基板を移載する移載手順と、
前記検知部に前記保持部材に載置された基板の状態を検知させて波形データを取得させ、前記保持部材に載置された基板を検知して取得した基準となる第2マスターデータに前記基板の種別に応じて前記記憶部に格納された厚み基準値を加算した前記検知許容値データとを比較して前記保持部材に載置された基板の載置状態を判定する第2判定手順と、を有する状態検知プログラムを実行させ、
前記第1判定手順の結果が異常なしであれば、前記移載手順を実行させ、
前記第1判定手順の結果が異常有りであれば、処理を中断させる様に構成され、
前記移載手順後、前記第2判定手順を実行させるよう構成されている状態検知プログラム。
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