TWI484605B - 封裝基板及其製造方法 - Google Patents
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Description
本申請案主張於2007年12月26日向韓國智慧財產局申請的韓國專利第10-2007-0137663號,該案全文內容以引用方式併入本文。
本發明係有關於一種封裝用基板以及一種用來製造此封裝用基板的方法。
愈來愈多電子產品變得更小且功能更強大,結果,半導體晶片上的端子數目也跟著增加。因此,用來架設半導體晶片的封裝基板的凸塊部分(bump portions)也需要更精細的節距和更高的可靠度。
因為封裝基板凸塊部分需要更精細的節距和更高的可靠度,因此需要更新的技術來製造凸塊。
本發明一態樣為提供一種可在封裝基板上形成凸塊的快速且價廉的方法,並提供一種封裝基板,其中的焊料光阻(solder resist)層是水平地形成。
本發明另一態樣為提供一種製造封裝用基板的方法,包括,在一第一金屬層上堆疊一第二金屬層(其中形成有至
少一孔);在暴露於該孔中的該第一金屬層以及該第二金屬層上堆疊一阻障層;以一導電金屬填充該孔來形成至少一凸塊;在該凸塊上堆疊一絕緣層,並在該絕緣層上形成一電路圖案;及移除該第一金屬層、該第二金屬層和該阻障層。
在特定實施方式中,該第二金屬層包括鎳。該阻障層包括至少一種選自鈦和鉻中的金屬。絕緣層則可以是一焊料光阻。
本發明另一態樣為提供一種製造封裝用基板的方法,包括,在一載板的每一側上堆疊一第一金屬層並使該第一金屬層的至少一邊緣黏接到載板上;在一第一金屬層上堆疊一第二金屬層(其中形成有至少一孔);在暴露於該孔中的該第一金屬層以及該第二金屬層上堆疊一阻障層;以一導電金屬填充該孔來形成至少一凸塊;在該凸塊上堆疊一絕緣層,並在該絕緣層上形成一電路圖案;將該載板與該第一金屬層分離;及移除該第一金屬層、該第二金屬層和該阻障層。
該第二金屬層可包括鎳。該阻障層可包括至少一種選自鈦和鉻中的金屬。絕緣層則可以是一焊料光阻。
本發明再一態樣為提供一種封裝用基板。該封裝用基板包括一具有水平表面的焊料光阻層,一嵌埋在該焊料光阻層中的電路圖案,和一自該焊料光阻層中凸起的凸塊。
可在該凸塊上堆疊一表面處理層。
以下將部份透過實施方式詳細描述本發明態樣與優
點,習知技藝人士可部份透過這些說明或通過實施本發明來了解並實施本發明。
以下參照附圖說明本發明特定實施例之製造封裝用基板的方法與封裝用基板,其中不管圖式編號為何,該些圖中相同或相應的元件給予相同的元件符號,並省略多餘的解釋。
第1圖乃是依據本發明一實施方式之用以製造一封裝用基板方法的流程圖,且第2~10圖為代表此用以製造根據本發明實施例一封裝用基板之方法流程的截面示圖。在第2~10圖中,繪示出一第一金屬層211、一載板212、一第二金屬層22、一阻障層23、多個凸塊24、多個墊25、多層絕緣層26、多個開口27、和多層表面處理層28。
操作S11包括在第一金屬層上堆疊第二金屬層,其中有多個孔形成在第二金屬層上。第2、3圖代表其之對應製程。
為了使第一金屬層211不會彎曲,利用載板212來支撐第一金屬層211。載板212可在後續製程中加以移除。在特定實施方式中,第一金屬層211可以是一層銅。但是,可使用任一種可由蝕刻劑加以移除的金屬。
可利用電鍍在第一金屬層211上形成第二金屬層22。在此,可在第二金屬層22上形成多個孔231。可在後續製程中以金屬填充這些孔231的內部,而形成凸塊。可利用
減除法(a substrative method)或半加成法(semi-additive method),來達成在第一金屬層211上堆疊第二金屬層22並形成該些孔231的目的。
減除法可涉及在第一金屬層211的整個表面上堆疊一電鍍層,然後再利用蝕刻移除部分電鍍層,而形成第二金屬層22。半加成法則是在第一金屬層211上堆疊一層光敏層,利用曝光和顯影欲形成第二金屬層22於其上之部分光敏層來移除該些光敏層部分,接著執行電鍍,而形成第二金屬層22。
在特定實施方式中,第二金屬層22可以是一層銅層,同時在某些其他實施方式中,第二金屬層22可以是一層鎳層。當然,可使用各類型的其他金屬。
操作S12可包括在暴露於該些孔的多個第一金屬層部分上和第二金屬層上堆疊一阻障層,其中第4圖代表一相對應的製程。
阻障層23可以是在以蝕刻移除第一金屬層211與第二金屬層22時未被移除的層,且可包括鈦或鉻。可在暴露於外界中的第一金屬層211與第二金屬層22的表面上,堆疊阻障層23。可利用諸如無電電鍍、電鍍及濺鍍法來堆疊該阻障層23。
操作S13可包括以導電金屬來填充該些孔而形成凸塊,其中第5圖代表一相對應的製程。
以一層乾膜覆蓋在不希望被電鍍的區域上,之後,才在希望進行電鍍的孔231內部實施電鍍,藉以形成凸塊,
如第5圖所示。凸塊可以是由銅所製成的,也可在形成凸塊24的同時形成電路圖案。
操作S14可包括在凸塊上堆疊一層絕緣層並形成電路圖案在絕緣層上,其中第6圖代表一相對應的製程。
絕緣層26可以是一種焊料光阻。當絕緣層26被堆疊在凸塊24上方時,第二金屬層22和絕緣層26會彼此具有水平的介面。稍後,當第二金屬層22被移除時,絕緣層26會被暴露在外界環境下,使得所有凸塊24均自水平的絕緣層26上凸起相同的高度。可在絕緣層26上形成電路圖案,並在此電路圖案上堆疊另一絕緣層。可形成墊25做為最外層,並與外界電子元件形成電連接。移除載板212即可獲得如第7圖所示的組態。
操作S15可包括移除第一金屬層、第二金屬層和阻障層,其中第8、9圖代表相對應的製程。
第一金屬層211和第二金屬層22可以是銅層,也可以不是銅層。可使用適合用來移除相對應金屬的蝕刻劑。在此,阻障層23不一定須和第一金屬層211及第二金屬層22一同被移除。如果使用鈦或鉻做為阻障層23,並以鎳做為第二金屬層22,可在不傷害阻障層23的情況下,使用蝕刻劑來移除鎳。如此,可利用阻障層23來保護凸塊24。
在繼續進行上述製程時,可形成開口27以露出墊25。稍後,可在墊25和凸塊24的表面上實施鎳電鍍或金電鍍,以形成表面處理層28。
第11圖是依據本發明另一實施方式來製造封裝用基
板的另一方法流程圖,且第12~21圖為代表此用以製造根據本發明另一實施例之一封裝用基板之另一方法流程的截面示圖。在第12~21圖中,繪示出一第一金屬層311、一載板312、一黏劑313、一第二金屬層32、一阻障層33、多個凸塊34、多個墊35、多層絕緣層36、多個開口37、和多層表面處理層38。
操作S21包括在一載板的任一面上堆疊一第一金屬層,使得每一第一金屬層的至少一邊緣黏接到載板上。第12圖代表其相應的製程。
此特定實施方式示出一種利用載板312的兩面來製造一對封裝基板的方法。為了能在後續製程中輕易地移除載板312,可只在邊緣上以黏劑313黏住第一第一金屬層311。可以一覆銅的積層做為載板312。
操作S32可包括在第一金屬層堆疊一第二金屬層(其上有多個孔),其中第13圖代表一相對應的製程。
可利用電鍍在第一金屬層311上形成第二金屬層32。在第二金屬層32上形成多個孔洞331。在後續製程中以金屬填充這些孔331而形成凸塊34。可利用減除法(a substrative method)或半加成法(semi-additive method),來達成在第一金屬層311上堆疊第二金屬層32並形成該些孔331的目的。在特定實施方式中,第二金屬層32可以是一層銅層,同時在其他特定實施方式中,第二金屬層32可以是一層鎳層。當然,可使用各類型之其他可蝕刻的金屬。
操作S23可包括在暴露於該些孔的多個第一金屬層部
分上和第二金屬層上堆疊一阻障層,其中第14圖代表一相對應的製程。
阻障層33可以是在以蝕刻移除第一金屬層311與第二金屬層32時未被移除的層,且可包括鈦或鉻。可在暴露於外界中的第一金屬層311與第二金屬層32的表面上,堆疊阻障層33。可利用諸如無電電鍍、電鍍及濺鍍法來堆疊該阻障層33。
操作S24可包括以導電金屬來填充該些孔而形成凸塊,其中第15圖代表一相對應的製程。
以一層乾膜覆蓋在不希望被電鍍的區域上,之後,才在希望進行電鍍的孔331內部實施電鍍,藉以形成凸塊34,如第15圖所示。凸塊34可以是由銅所製成的。
操作S25可包括在凸塊上堆疊一層絕緣層並形成電路圖案在絕緣層上,其中第16圖代表一相對應的製程。
絕緣層36可以是一種焊料光阻。當絕緣層36被堆疊在凸塊34上方時,第二金屬層32和絕緣層36會彼此水平接觸。稍後,當第二金屬層32被移除時,絕緣層36會被暴露在外界環境下,使得所有凸塊34均自平整的絕緣層36上凸起相同的高度。可在絕緣層36上形成電路圖案,並在此電路圖案上堆疊另一絕緣層。可形成墊35做為最外層,並與外界電子元件形成電連接。可繞著載板312對稱地執行堆疊操作。
操作S26可包括使載板與第一金屬層分離,第17圖代表相對應的製程。
第17圖中的點-虛線代表可執行晶粒切割的位置處。其可位在比黏劑313更裡面的地方,使得可沿著這些線切割,可輕易地使載板與第一金屬層分離開來。第18圖以後代表可在之前耦接到載板312上之該對封裝基板之一的基板上實施的製程。這些實施在另一基板上的製程可基本上大致相同。
操作S27可包括移除第一金屬層、第二金屬層和阻障層,其中第19圖代表相對應的製程。
第一金屬層311和第二金屬層32可以是銅層,也可以不是銅層。可使用適合用來移除相對應金屬的蝕刻劑。在此,阻障層33不一定須和第一金屬層311及第二金屬層32一同被移除。如果使用鈦或鉻做為阻障層33,並以鎳做為第二金屬層32,可在不傷害阻障層33的情況下,使用蝕刻劑來移除鎳。如此,可利用阻障層33來保護凸塊34。
在繼續進行上述製程時,可形成開口57以露出墊35。稍後,可在墊35和凸塊34的表面上實施鎳電鍍或金電鍍,以形成表面處理層38。
第22圖示出依據本發明另一實施方式之封裝板的橫斷面圖。在第22圖中,示出封裝基板40、凸塊44、墊45、焊料光阻層46、開口47、表面處理層48和電路圖案49。
依據本發明一實施方式之封裝基板40可以是一用來架設半導體晶片的基板,其中該此半導體晶片可與墊45彼此電連接。在此實施方式的封裝基板40中,電路圖案49是嵌埋在焊料光阻層46內。此外,凸塊44可從焊料光
阻層46中凸出。此焊料光阻層46可以是水平的,且該些凸塊44可實質凸起幾乎相同的高度。
因此,當封裝基板40被安裝在不同的主機板上時,可讓填充劑可輕易地在主機板與封裝基板40之間流動。換言之,可避免因為焊料光阻層46之凸出物阻塞填充劑流動的現象。因此,可以相同的可靠度來將封裝基板40安裝在另一主機板上。
焊料光阻層46可以是水平的。達到此目的的方法之一為使焊料光阻層46與第二金屬層間具有水平介面,一如前述實施方式製程中所述一般。
在墊45及凸塊44的表面上堆疊出表面處理層48。可利用電鍍鎳之後,再電鍍金來製造此表面處理層48。
依據如上之本發明特定實施方式,可經由電鍍法形成凸塊,使得可以較低成本和較短的製造時間來形成凸塊於封裝基板上。此外,焊料光阻層46也可不往凸塊的方向凸出,而是形成一平整表面。
雖然已參照特定實施例詳細敘述本發明精神,然而該等實施例僅是用於說明本發明,而非限制本發明。須了解熟悉此技術者可在不偏離本發明範圍及精神的情況下變化或修改該實施例。因此,可在所附申請專利範圍中找到未在上文闡述之許多實施例。
22、32‧‧‧第二金屬層
23、33‧‧‧阻障層
24、34、44‧‧‧凸塊
25、35、45‧‧‧墊
26、36‧‧‧絕緣層
27、37、47‧‧‧開口
28、38、48‧‧‧表面處理層
40‧‧‧封裝基板
46‧‧‧焊料光阻層
49‧‧‧電路圖案
211、311‧‧‧第一金屬層
212、312‧‧‧載板
231‧‧‧孔
313‧‧‧黏劑
第1圖乃是依據本發明一實施方式之用以製造一封裝
用基板方法的流程圖;第2~10圖為代表用以製造根據本發明實施例一封裝用基板之方法流程的截面示圖。
第11圖乃是依據本發明另一實施方式之用以製造一封裝用基板方法的流程圖;第12~21圖為代表用以製造根據本發明另一實施例一封裝用基板之方法流程的截面示圖;第22圖示出依據本發明另一實施方式之封裝板的橫斷面圖。
S11~S15‧‧‧步驟
Claims (8)
- 一種製造封裝用基板的方法,該方法包括以下步驟:在一第一金屬層上堆疊一第二金屬層,該第二金屬層中形成有至少一個孔;在該孔之內側及外側於該第一金屬層以及該第二金屬層的表面上堆疊一阻障層;形成至少一個凸塊,使得一導電金屬填充於該孔中且擴張至該孔周圍;在該凸塊上堆疊一絕緣層,並在該絕緣層上形成一電路圖案;及從該凸塊與絕緣層移除該第一金屬層、該第二金屬層和該阻障層,其中該阻障層是在該第一金屬層與該第二金屬層移除後才移除。
- 如申請專利範圍第1項所述之方法,其中該第二金屬層包含鎳。
- 如申請專利範圍第1項所述之方法,其中該阻障層包含鈦與鉻中之一。
- 如申請專利範圍第1項所述之方法,其中該絕緣層是一焊料光阻。
- 一種製造一封裝用基板的方法,該方法包括以下步驟:在一載板的每一側上堆疊一第一金屬層,該第一金屬層的至少一個邊緣是黏接到該載板;在一第一金屬層上堆疊一第二金屬層,該第二金屬層中形成有至少一個孔;在該孔之內側及外側於該第一金屬層以及該第二金屬層的表面上堆疊一阻障層;形成至少一個凸塊,使得一導電金屬填充於該孔中且擴張至該孔周圍;在該凸塊上堆疊一絕緣層,並在該絕緣層上形成一電路圖案;將該載板與該第一金屬層分離;及移除該第一金屬層、該第二金屬層和該阻障層,其中該阻障層是在該第一金屬層與該第二金屬層移除後才移除。
- 如申請專利範圍第5項所述之方法,其中該第二金屬層包含鎳。
- 如申請專利範圍第5項所述之方法,其中該阻障層包含鈦與鉻中之一。
- 如申請專利範圍第5項所述之方法,其中該絕緣層是一焊料光阻。
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