JP4549692B2 - 配線基板の製造方法 - Google Patents
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誘電体層と導体層とが交互に積層された配線基板の製造方法であって、
支持基板に形成された下地誘電体シートの主表面上に、該主表面に包含されるよう配された土台部上に金属箔が密着した金属箔密着体と、該金属箔密着体を包むよう形成され、且つ該金属箔密着体の周囲領域にて前記下地誘電体シートと密着して該金属箔密着体を封止する第一誘電体シートと、該第一誘電体シート上に形成された第一導体層と、該第一導体層と前記金属箔とを接続するために前記第一誘電体シートに貫通形成され、且つ前記金属箔とは異なる材料からなる第一ビア導体と、を有する積層シート体を形成する工程と、
前記積層シート体の周囲部を除去して前記金属箔の端部を露出させる工程と、
前記積層シート体における前記金属箔上の領域である配線積層部を前記金属箔が付着した状態で前記支持基板から分離する工程と、
前記配線積層部に付着した前記金属箔をエッチング除去する金属箔除去工程と、
を備えることを特徴とする。
この場合、前記土台部は、前記金属箔側から接着層と土台層とがこの順に積層されて構成されるものとすることができる。
また、除去されるべき前記積層シート体の前記周囲部は、前記金属箔密着体の外縁端付近を含むようにすることができ、前記積層シート体は、1つの前記配線基板に対応する個体を複数含むようにすることもできる。
さらに、前記積層シート体を形成する工程において、前記金属箔密着体は、半硬化状態の前記下地誘電体シート上に配されるようにすることもできる。
図5は、本発明の配線基板の製造方法により得られる配線基板1の断面構造の概略を表す図である。配線基板1は、高分子材料からなる誘電体層(B1〜B3、SR)と導体層(M1、M2、PD)とが交互に積層された構造を有する。その第一主表面MP1は電子部品を搭載するための搭載面とされ、主表面をなす第一誘電体層B1には、電子部品と接続するための、周知のハンダで構成された突起状の金属端子(ハンダバンプ)FBが形成されている。また、第二主表面MP2は、外部基板へ接続するための接続面とされ、主表面をなす誘電体層(ソルダーレジスト層)SRには開口が形成されており、該開口内には外部基板への接続を担うハンダボール(後述)を設置するための金属端子(金属パッド)PDが露出している。
5 金属箔密着体
5b 金属箔
10 積層シート体
11 第一誘電体シート
20 支持基板
21 下地誘電体シート
100 配線積層シート体
Claims (5)
- 誘電体層と導体層とが交互に積層された配線基板の製造方法であって、
支持基板に形成された下地誘電体シートの主表面上に、該主表面に包含されるよう配された土台部上に金属箔が密着した金属箔密着体と、該金属箔密着体を包むよう形成され、且つ該金属箔密着体の周囲領域にて前記下地誘電体シートと密着して該金属箔密着体を封止する第一誘電体シートと、該第一誘電体シート上に形成された第一導体層と、該第一導体層と前記金属箔とを接続するために前記第一誘電体シートに貫通形成され、且つ前記金属箔とは異なる材料からなる第一ビア導体と、を有する積層シート体を形成する工程と、
前記積層シート体の周囲部を除去して前記金属箔の端部を露出させる工程と、
前記積層シート体における前記金属箔上の領域である配線積層部を前記金属箔が付着した状態で前記支持基板から分離する工程と、
前記配線積層部に付着した前記金属箔をエッチング除去する金属箔除去工程と、
を備えることを特徴とする配線基板の製造方法。 - 前記土台部は、前記金属箔側から接着層と土台層とがこの順に積層されて構成されることを特徴とする請求項1に記載の配線基板の製造方法。
- 除去されるべき前記積層シート体の前記周囲部は、前記金属箔密着体の外縁端付近を含むことを特徴とする請求項1または2に記載の配線基板の製造方法。
- 前記積層シート体は、1つの前記配線基板に対応する個体を複数含むことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の配線基板の製造方法。
- 前記積層シート体を形成する工程において、前記金属箔密着体は、半硬化状態の前記下地誘電体シート上に配されることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の配線基板の製造方法。
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