TW552491B - Advanced pressure type flow control device - Google Patents
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Description
552491 A7 B7 經濟部智慧財產局g(工消費合作社印紫 五、發明説明(1 ) 發明所屬技術領域 本發明主要是有關於半導體製造設備或化學工廠等所 使用的壓力式流量控制裝置,更詳細言之,是有關於使用 新穎實驗式正確決定於流體速度小於音速的領域供給的流 體流量,根據此實驗式正確供給控制流體流量的改良型壓 力式流量控制裝置。 先行技術 半導體製造設備或化學工廠等大多以預定流量供給構 成原料的複數氣體,使原料氣體於反應爐中起化學反應, 產生指定氣體。於此情形下,如果原料氣體的供給流量不 正確,即會出現化學反應的過或不足,發生原料氣體殘留 於指定氣體中的事態。 成未反應狀態殘留的原料氣體變成不純氣體,降低指 定氣體的純度。特別是在未反應殘留氣體是***性氣體情 形下,於後續製造設備中,***危險性如影隨形,會發生 其處理格外費事的事態。 因此,必須對氣體流量作正確的供給控制,過去,大 多利用質量流調節器作爲流量控制裝置。不過,於質量流 調節器有①響應速度較慢、②低流量域的流量精度不佳、 ③作動時的麻煩多以及④成本高等多項缺點。 因此,有人指出採質量流調節器以外的方式提高氣體 流量控制精度的必要性。本發明人等應此需求,開發對臨 界條件大亦即音速域中通過孔口的流體強制設定並加以流 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(21〇x 297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝·
、1T 線 -5- 552491 A7 B7 五、發明説明(2 ) 量控制的壓力式流量控制裝置,日本特開平1 0-5 52 1 8號公 開此發明。 第5圖是過去所用流體流量理論式的說明圖。其考慮 以下游側壓力P2將從設定爲上游側壓力P!的上游側配管流 入孔板的流體供至下游側配管的情形。於此,上游側壓力 P i及下游側壓力P2以絕對壓力表示。 顯然,在通過孔口的流體速度達到音速前以及達到音 速後,流體的流量條件有極大的變化。於達到音速前的非 臨界條件(非音速域)下,固然下游側流量Q定爲Q = SC ( p2 (Pi-p2) ) 1/2/τ1/2,不過,在達到音速後的臨界條件( 音速域)下,QzSCPJT1/2卻成立。於此,Τ是通過孔口時 的流體的絕對溫度,S是孔口截面積,C是比例係數。 由流體力學可知,流體速度達到音速的臨界條件定爲 壓力比P2/P 1的臨界値。此臨界値使用氣體的比熱比η ,以 ( 2/ ( η+1 ) ) 界定。 比熱比η定爲n = Cp/Cv , Cp爲等壓比熱,Cv爲等容比 熱。就雙原子分子氣體而言,n = 7/5 = 1·4、re = 0.53。又,就 3 原子分子氣體而言,n = 8/6 = l .33、rc = 0.54。因此,以rc = 約0.5表示此數値。 發明欲解決之問題 考慮如第5圖5所示,上游側壓力P i恒定,下游側壓 力P2爲變數,構成臨界條件及非臨界條件的情形。由於臨 界條件爲 P2/Pi $ rc (=約 0.5 ),故 rcPi (与 〇·5 Pi )之 本紙浪又度適用令國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、1' 經濟部智慧財產局員工消贫合作社印製 552491 經濟部智慧財凌局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明(3 ) 領域爲音速域。相反地,P2>rcPi (与0·5 ρι)爲非音速域( 非臨界條件)。 如前述,在流體處於非臨界條件(非音速域)時,以 Qc-sc ( p2 ( P1-P2) ) 1/2/τ1/2表示通過孔口的流體流量。 爲了簡化此式,使Qc成爲Qc = K ( P2 ( Pi-P2) ) 1/2,比例 常數K以K=SC/T1/2表示。 此流量式從伯努利定理(Bernoulli、theorem)導出, 不過,伯努利定理是在流體爲非壓縮性時成立的理想條件 下的定理。由於實際氣體流通常壓縮或膨脹,故此理論流 量式Qc與實際流量比較,當然會有誤差。 非壓縮性近似滿足出現在流體壓力變化小,亦即比重 量的變化小情形下。在流體滿足此種理想條件時,使用此 流量式進行流體的流量控制。不過,由於大多不在此流體 條件範圍內,故若使用此流量式,即無法進行高精度流量 控制。 因此,本發明人等公開前述日本特開平1 0-5 52 1 8號, 提議強使壓力比PVPi較臨界壓力比Γ。小,設定臨界條件, 於此臨界條件下進行流量控制的方式。因此,所用理論流 量式定爲Qc^KPi,比例常數K定爲K = SC/T1/2。 由於流量Qc依存於下游側的流體條件,故此臨界條件 有高精度進行流量控制的優點。不過,此高精度控制性的 前提亦在於臨界條件成立。若以Qc^KPi對臨界條件不成立 的流體進行流量控制,會有相當程度的誤差。 儘管使用Qc = KPi作爲流量式,雖在實際流量大情形下 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 裝 ; 訂 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 552491 A7 B7 五、發明説明(4 ) 臨界條件成立,即會隨著流量變小,上游側壓力Pi與^游 側壓力P2接近,出現非臨界條件。由於在此情形下,此流 量式不成立,故會在流量控制方面存在大的誤差。 亦即,習知壓力式流量控制裝置存在有二個重大缺點 。第一,由於在非臨界條件下使用的理論流量式以非壓縮 性流體爲前提,故在非臨界條件下的壓縮性流體的流s控 制方面會發生大的誤差。第二,即便使用臨界條件的流量 式,亦由於隨著下游側壓力P2上昇,故出現非臨界條件, 流量式變化,發生大的誤差。 因此,本發明改良型壓力式流量控制裝置的第一目的 在於,確立高精度匹含非臨界領域中壓縮性流體的實際流 量的流量實驗式,使用此流量實驗式,高精度進行非臨界 領域的流量控制。又,其第二目的在於,一面平常判斷流 體條件爲臨界條件或非臨界條件,一面於臨界條件下,使 用Qc^KPiK流量式,於非臨界條件下,使用前述流量實驗 式,實現對流量的全部領域的高精度流量控制。 用以解決問題之手段 申請專利範圍第1項之發明爲一種改良型壓力式流量 控制裝置,其特徵在於:於流體流經流量控制用孔口時, 使用孔口的上游側壓力Pi及孔口的下游側壓力P2 ,以 Qc = KP2m ( Pi-P2) n ( K爲比例常數,m及η爲常數)運算 通過孔口的流體流量Qc。 申請專利範圍第2項之發明爲一種改良型壓力式流量 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -8 - 經濟部智总財產局員工消費合作社印製 552491 A7 ___ _B7__ 五、發明説明(5 ) 控制裝置,其特徵在於:包括:流量控制用孔口;控制閥 ,其設於孔口的上游側配管;上游側壓力感測器,其設在 孔口與控制閥間,檢測上游側壓力p 1;下游側壓力感測器 ,其設於孔口的下游側配管,檢測下游側壓力P2之流量運 算手段,其根據上游側壓力Ρι及下游側壓力P2,以 Qc = KP2m ( Ρ「Ρ2) n ( K爲比例常數,m及η爲常數)對運 算流量Qc加以運算;流量設定手段,其指示以設定流量 Qs將流體供至下游側;減法手段,其運算設定流量Qs與 運算流量Qc之流量差AQ;以及驅動部,其對啓閉閥啓閉 控制,使此流量差△Q成爲零;對供至下游側配管的設定 流量Qs的流體進行供給控制。 申請專利範圍第3項之發明是如申請專利範圍第2項 之改良型壓力式流量控制裝置,其中在處於自前述孔口流 出的流體的速度小於音速狀態的非臨界條件下作動。 申請專利範圍第4項之發明爲一種改良型壓力式流量 控制裝置,其特徵在於:包括:流量控制用孔口;控制閥 ,其設於孔口的上游側配管;上游側壓力感測器,其設於 孔口與控制閥之間,檢測上游側壓力Pi;下游側壓力感測 器,其設在孔口的下游側配管,檢測下游側壓力P2;臨界 條件判斷手段,其藉上游側壓力Pi與下游側壓力P2的壓力 比判斷自孔口流出的流體是否處於臨界條件(音速域); 非臨界流量運算手段,其於非臨界條件下,根據上游側壓 力Pi及下游側壓力P2,以Qc = KP2m ( P「P2) n ( K爲比例 常數,m及η爲常數)對運算流量QC加以運算;臨界流量 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS )八4規格(210X 297公釐) 裝 ; 訂 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -9- 552491 A 7 B7 五、發明説明(6 ) 運算手段,其在臨界條件下,以Qc^KPi ( K爲比例常數) 運算前述運算流量QC;流量設定手段,其指示以設定流量 Qs將流體供至下游側;減法手段,其運算設定流量Qs與 運算流量Qc的流量差AQ;以及驅動部,其對控制閥啓閉 控制,使此流量差△ Q成爲零;對供至下游側配管的設定 流量Qs的流體進行供給控制。 申請專利範圍第5項之發明是如申請專利範圍第3或4 項之改良型壓力式流量控制裝置,其中以(2/ ( n+ 1 )) 不過,η爲以Cp/Cv)界定的流體分子的比熱比) 計算臨界壓力比,於壓力比在臨界壓力 比r。以下時,判斷爲臨界條件,又在大於臨界壓力時,判 斷爲非臨界條件。 發明之實施形態 第1圖是本發明非臨界條件下流量實驗式與流量測定 側的比較圖。本發明人等檢討用於非臨界條件的習知理論 流量式。由伯努利定理導出的習知流量式爲(^==〖(?2(?1-P2 ) ) 1/2。將其改寫成 Qc = KP21/2 ( Pi-P2 ) ) 1/2。 此習知流量式對非壓縮性流體而言是正確式子。例如 ,其對非壓縮性液體等流體是精度充份的流量式。爲了使 此流量式適於氣體等壓縮性流體,須確立盡可能不改變此 結構形式且具有複數參數的實驗流量式。 因此,本發明人等提議以Qc = KP2m ( PrPa ) n作爲實 驗流量式,導入m及n二參數供匹合用。於此,比例常數 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Μ規格(210X 297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 訂 經濟部智慧財產局g(工消費合作社印製 10- 552491 Α7 __ Β7 五、發明説明(7 ) K定爲K = sc/T1/2,其根據氣體流的物質條件及絕對溫度T 計算。 ----- I- 1 11— : I I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 於第1圖中,橫軸表示下游側壓力P2 ,單位爲kPaA ( 千帕絕對壓力)。又,縱軸表示流量q,單位爲SCCM,表 示標準狀態下cc/min (分)的流量。p2 = 4 8 [kPaA]的縱虛 線表示臨界値r·。的位置,左側的(A )領域表示臨界條件領 域,右側的(B )領域表示非臨界條件領域。 於圖中,黑色菱形圓示流量實測値。爲求與此實測値 一致,藉由運算前述實驗流量式n匹合 ,決定參數m、η。結果,得出m = 0 471 52以及n = 0.59492 〇 藉實驗流量式計算的流量以黑色四角形圖示。此實驗 流重式於非臨界條件(B )的全部領域高精度匹合實測値, 又,於臨界條件(A )領域,在接近縱虛線的領域,亦匹合 實側質。由於藉m及η二自由參數匹合,故即使於臨界條 件領域的一部份亦出現匹合領域。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 根據本發明人等的硏究,可知二參數m、η値依存於所 控制流量範圍。前述m = 0.47 1 52及η = 0.59492的値固然爲 在0至10sc cm領域中成立的値,不過,若流量範圍變成〇 至lOOsccm或0至lOOOsccm, m及η値即顯然與這些値不 一致。 基於參數的觀點歸納對各流量範圍匹合的m及η値, 明確獲得0.40<m<0.50及0,50<η<0·65的範圍。因此,對應 於所控制流量範圍,使用自此範圍選出的最適參數m、η於 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210X 297公釐) -11 - 552491 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 _五、發明説明(8 ) 實際流量控制。 前述m = 0.47 1 52及n = 〇.59492的値只不過是選自此範 圍的一個m、η例子。因此,須特別指出自伯努利定理推得 的m = 0.5及η = 0.5不包含於這些範圍內的情形。這意指實 際流體與非壓縮性流體的所謂理想流體間有很大的不同。 本發明發現對此實際流體具體成立的流量實驗式。 根據以上,非臨界條件下的流量控制若利用Qc = KP2m (P1-P2) n ( 〇.40<m<0.50、0·50<η<0.65)作爲實驗流量式 ,即可實現高精度的流量控制。其遠較由伯努利定理推得 的習知Qc = KP21/2 ( ) 1/2更能再現實測値。同時,藉 由倂用臨界條件下的理論流量式Qc = KPi,可涵蓋非臨界條 件及臨界條件的全部領域,達成高精度的流量控制。 第2圖是本發明使用實驗流量式的改良型壓力式流量 控制裝置第1實施形態的使用構成例。此改良型壓力式流 量控制裝置2以所供給流體處於非臨界條件下,亦即自孔 口 4流出的流體的流體速度小於音速爲前提。 於此改良型壓力式流量控制裝置2配置形成有孔口 4a 的孔口 4、上游側配管6、下游側配管8、上游壓力感測器 下游側壓力感測器12、溫度感測器14、控制電路16、 閥驅動部20及控制閥22。 控制電路16固然主要由微電腦及機內程式構成,不過 ,可由電子電路構成,亦可由電子電路及泛用個人電腦構 成。此控制電路16由利用實驗流量式運算流量QC的流量 運算手段1 7、指示應流出的設定流量Q s的流量設定手段 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝. 訂 線 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Μ規格(21〇X29*7公釐〉 -12- 經濟部智慧財4笱3工消費合作社印製 552491 A7 B7 五、發明説明(9 ) 18以及計算運算流量Qc與設定流量Qs的流量差 △ Q (=Qs-Qc)的減法電路19構成。流量差AQ可用QC-Qs算出。 於此改良型壓力式流量控制裝置2上游側連接內裝高 壓氣體的氣槽24、適度調整此高壓氣體的氣體壓力的調整 器26以及自供給側配管27將此氣體供至控制閥22的閥28 〇 供流量控制的氣體流通的控制側配管29、閥3 0、室3 2 以及具有真空泵功能的乾式泵34連接於改良型壓力式流量 控制裝置2下游側。 其次,說明此改良型壓力式流量控制裝置2的控制動 作。於上游側,將預定壓力的氣體供至供給側配管27 ,於 下游側,控制側配管29藉乾式泵34設定爲低壓。 藉控制閥22將氣體供至上游側配管6,藉上游側壓力 感測器1 〇計測此氣體的上游側壓力Pi。同時,藉下游側壓 力感測器1 2計測自孔口 4供至下游的氣體的下游側壓力P2 。又藉溫度感測器1 4測定通過孔口 4的氣體的溫度。 此實施例藉由乾式泵34的排氣調整,將自孔口 4a流 出的流體速度設定成較音速小,通常,非臨界條件成t ° 因此,控制電路16不運算壓力比Ρ2/Ρι,不進行與臨界値 rc的比較判斷。亦即,此實施例以通常成立的非臨 界條件爲前提,進行流量控制。 將上游側壓力Pi、下游側壓力p2及氣體溫度T輸入流 量運算手段1 7。此流量運算手段1 7根據氣體溫度T計算比 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
-13 - 552491 A7 B7 五、發明説明(10) 例常數K,根據二壓力Pi · p2計算P2m ( Pl_p2) η,最終 以Qc = KP2m ( Pi-Pz) η對運算流量QC加以運算。此運算流 量Qc顯示孔口 4目前所供給的流量。 可供至下游側的目標流量經由流量設定手段1 8以設定 流量Qs形式輸入。將此設定流量Qs及前述運算流量Qc輸 入,以△QtQs-Qc計算流量差AQ。此流量差意指AQ若爲 負,流量即不足,若爲負,流量即過剩。 因而,將此流量差AQ的信號輸入閥驅動部20,對啓 閉控制閥22啓閉控制,使此流量差△ Q成爲零。因此,若 流量不足(△0>〇),控制閥22即略微擴大開度,若流量 過剩(Δ(3<〇),控制閥22即略微減小開度,自動加以調 整,使△Q成爲零。 由於此改良型壓力式流量控制裝置2連續計測上游側 壓力Pi及下游側壓力Ρ2,故具有高速進行控制閥22的啓 閉的連續控制,可同時達成流量控制的高精度化、自動化 與高速化的優點。 前面業已說明構成本發明要點的實驗流量式Qc = KP2m (Pi-P2 ) n不僅正確表達非臨界條件下的流量,且正確表 達臨界條件的領域中鄰接臨界値的領域的流量。因此,不 限於以非臨界條件爲前提的流體控制系統,此改良型壓力 式流量控制裝置2亦可用於包含非臨界條件及臨界條件二 者的領域。 第3圖是本發明使用實驗流量式的改良型壓力式流量 控制裝置第2實施形態的使用構成圖。由於此第2實施形 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210X297公釐) ---------批衣-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
、1T 線 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 -14- 552491 A7 B7 五、發明説明(11) 態與第2圖中第1實施形態的不同點僅在於改良型壓力式 流量控制裝置3的控制電路1 6的內部構造,其他構造與第 2圖相同,因此,以下僅說明不同點,其他部份的說明則省 略。 第2實施形態根據上游側壓力Pi及下游側壓力P2算出 壓力比P2/P i,平常判斷流體處於臨界條件或非臨界條件, 於臨界條件下使用流量式Qc^KPi,於非臨界條件下使用實 驗流量式Qc = KP2m ( P「P2) n ,以目前最嚴密的方式進行 流量控制。 由於此第2實施形態的改良型壓力式流量控制裝置3 爲最佳模式,因此,稱此改良型壓力式流量控制裝置3爲 NFCS ( New Flow Control System (新型流量控制系統)) 。控制電路16由壓力比運算手段15a、臨界條件判斷手段 15b、臨界流量運算手段17a、非臨界流量運算手段17b、 流量設定手段1 8以及減法手段1 9構成。 一輸入上游側壓力Pi及下游側壓力P2,壓力比運算手 段1 5a即計算壓力比PVPi,並記憶其値I·。。將此値r輸入 臨界條件判斷手段1 5b,並將其與臨界値比較。 如前述,臨界値r。定爲(2/ ( η+1 ) ) “(η·1),就雙原 子分子氣體而言,re = 0.53,就非線型3原子分子氣體而言 ,rc = 0.54,記成 re =約 0.5。 於r>r。時爲非臨界條件,藉非臨界流量運算手段17b ,以Qc = KP2m ( Ρ^Ρ!) n計算運算流量QC。於r。時爲 臨界條件,藉臨界條件運算手段17a,以(^ = 1^1計算運算 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) w-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -5-Ϊ» 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -15- 552491 A7 B7 經濟部智慧財1局員工消費合作社印製 五、發明説明(12) 流量Qc。一面如此平時檢查目前流體處於臨界條件或非臨 界條件,一面以適當流量式推定實際流量。 最後,藉減法手段1 9計算設定流量q s與運算流量Q c 的流量差△ Q,作動閥驅動部20,對控制閥22啓閉控制, 使流量差AQ成爲零。 第4圖是控制用流量式不同情形下的流量比較圖。黑 色愛形表不使用臨界條件的流量式Q = K P1於全部領域(臨 界條件和非臨界條件)的情形,其相當於習知FCS ( Flow Control System (流量控制系統))。另一方面,黑色三角 形相當於第3圖所示NFCS (新型FCS)。 設定成於最大流量爲80 [SCCM],設定流量Qs爲 100%時,流出80 [SCCM]的流量。因此,經察,流量越大 ,越滿足臨界條件(音速域),流量越小,越轉變成非臨 界條件(非音速域)。 由於習知FCS (黑色菱形)僅用QzKPi的流量式控制 全部領域,因此,在設定流量大情形下,滿足臨界條件, 其顯示正値流量。然而,由於若設定流量變小,即轉變成 非臨界條件,因此,臨界條件的流量式反映不出正確流量 ,會出現明明設定流量爲10%流量卻爲〇的錯誤結果。因 此,於小流量域需有校正FC S的機構。 然而,由於在NFCS時,於臨界條件下使用臨界條件 的流量式Qc^KP!,於非臨界條件下使用非臨界條件的實驗 流量式Qc = KP2m ( ) n ,算出與設定流量成正比的正 確流量Qc,相對於流量Q的設定%的直線性如第4圖的黑 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁 •裝· 訂 線 本紙張尺度適用中國國家標率(CNS ) A4規格(210X297公釐) -16- 552491 經濟部智慧財產¾員工消費合作社印製 Μ _____ _B1五、發明説明(Ι3) 三角所示獲得保證。 本發明不限於上述實施形態,當然,不超出本發明技 術思想範圍的種種變形例、設計變更等均包含在其技術範 圍內。 發明效果 根據申請專利範圍第1項之發明,由於以正確再現實 際流量的實驗流量式Qc = KP2m ( PzP2 ) n運算通過孔口的 流體流量,故可實現高精度進行流量控制的改良型壓力式 流量控制裝置。 根據申請專利範圍第2項之發明,由於相對於設定流 量Qs,以Qc = KP2m ( n對運算流量Qc加以運算, 對控制閥啓閉控制,使二者的流量差△QCrQs-Qc或Qc-Qs )成爲零,故可實現能正確且高速地將供給流量控制於 設定流量的改良型壓力式流量控制裝置。 根據申請專利範圍第3項之發明,由於在自孔口流出 的流體處於非臨界條件時,作動申請專利範圍第2項之改 良型壓力式流量控制裝置,故可提供高精度的改良型壓力 式流量控制裝置。 根據申請專利範圍第4項之發明,由於在自孔口流出 的流體處於臨界條件時,使用臨界條件的流量式QtKPh 在處於非臨界條件時,使用非臨界條件的實驗流量式 Qc = KP2m ( P!-P2 ) n ,進行流量控制,故即使流體於臨界 條件至非臨界條件間變化,並可一面高速隨此變化調整, 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· -訂 線 -17- 圖 〇 較圖 比明 量說 流的 。的式 圖形論 双情理 ϋ 同量 ffl不穿 it式體 ^量疗 態流用 形用所 M制去 實控過 2 是是 ^圖圖 置 4 5 裝第第 制 控 經濟部智慧財產^員工消費合作社印製 552491 B7 五、發明説明(14) 高精度進行流體的流量控制。 根據申請專利範圍第5項之發明,由於只要檢測孔口 的上游側壓力p i及下游側壓力p2,即可正確判斷流體處於 臨界條件或非臨界條件,可應付所有流體控制。 圖面之簡單說明 第1圖是本發明非臨界條件下流量實驗式與流量測定 値的比較圖。 第2圖是本發明使用實驗流量式的改良型壓力式流量 控制裝置第1實施形態的使用構成圖。 第3圖是本發明使用實驗流量式的改良型壓力式流量 符號說明 2 改良型壓力式流量控制裝置 3 改良型壓力式流量控制裝置(NFCS ) 4 孔口 4a 孔口 6 上游側配管 8 下游側配管 10 上游側壓力感測器 12 下游側壓力感測器 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 裝 ; 訂 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -18- 經濟部智慧財產笱員工消費合作社印焚 552491 A7 B7 五、發明説明(15) 14 溫度感測器 15a 壓力比運算手段 15b 臨界條件判斷手段 16 控制電路 17 流量運算手段 17a 臨界流量運算手段 17b 非臨界流量運算手段 18 流量設定手段 19 減法手段 20 閥驅動器 22 控制閥 2 4 氣槽 26 調整器 27 供給側配管 28 閥 29 控制側配管 30 閥 32 室 34 乾式泵
Pi 上游側壓力 P2 下游側壓力 r 壓力比() rc 臨界値
Qc 運算流量 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
-19- 552491 A7 B7五、發明説明(16)Qs 設定流量△ Q 流量差 裝-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
、1T 線 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標孳(CNS ) Α4規格(210X 297公釐) -20-
Claims (1)
- 552491 A8 B8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申讀專利範圍 1 1. 一種改良型壓力式流量控制裝置,其特徵在於:在 流體流經流量控制用孔口時,使用孔口的上游側壓力Pi及 孔口的下游側壓力P2 ,以Qc = KP2m ( )n ( K爲比例常 數,m及η爲常數)運算通過孔口的流體流量Qc。 2. —種改良型壓力式流量控制裝置,其特徵在於:流 量控制用孔口;設於孔口上游側配管的控制閥;設於孔口 與控制閥之間,檢測上游側壓力P i的上游側壓力感測器; 設於孔口下游側配管,檢測下游側壓力P2的下游側壓力感 測器;以Qc = KP2m ( Ρ^Ρ:) n(K爲比例常數,m及η爲常 數)運算上游側壓力Pi及下游側壓力Ρ2之流量Qc的流量 運算手段;指示以設定流量QS將流體供至下游側之流量設 定手段;運算設定流量Qs與運算流量Qc的流量差△ Q之 運算手段;以及,對控制閥啓閉控制,使此流量差△ Q爲 零之驅動部所構成,可供給控制供至下游側配管的設定流 量Qs的流體。 3. 如申請專利範圍第2項所述之改良型壓力式流量控 制裝置,其中在自前述孔板流出的流體的速度小於音速 狀態的非臨界條件下作動。 4. 一種改良型壓力式流量控制裝置,其特徵在於:流 量控制用孔口;設於孔口上游側配管的控制閥;設於孔 口與控制閥之間,檢測上游側壓力Pi的上游側壓力感測 器;設於孔口下游側配管,檢測下游側壓力P2的下游側 壓力感測器;藉上游側壓力P i與下游側壓力Ρ·2的壓力比 判斷自孔口流出的流體是否處於臨界條件(音速域)的臨 ^.-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X29*7公釐) -21 - 552491 A8 B8 C8 D8 六、申讀專利範圍 2 界條件判斷手段;在非臨界條件下,根據上游側壓力p 1 及下游側壓力 p2 ,以Qc = KP2m ( ) n ( κ爲比例常數 ,m及η爲常數)對運算流量Qc加以運算之非臨界流量運 算手段;在臨界條件下,以Qc^KPi ( K爲比例常數)運算 前述運算流量Qc的臨界流量運算手段;下指令以設定流量 Qs將流體供至下游側的流量設定手段;運算設定流量Qs 與運算流量Qc的流量差△ Q的減法手段;以及,對控制閥 啓閉控制,使該流量差△ Q爲零的驅動部所構成,可供給 控制供至下游側配管的設定流量Qs的流體。 5 ·如申請專利範圍第3或4項所述之改良型壓力式流 量控制裝置,其中臨界壓力比( )係以(2/ ( η+ι ))n/ ( m > (但是,η爲Cp/Cv所定義的流體分子的比熱 比)計算,於壓力比PS/Pi在臨界壓力比re以下時判斷爲 臨界條件,又在大於臨界壓力比時,判斷爲非臨界條件。 ^-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺^適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) -22-
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JP5195527B2 (ja) * | 2009-03-03 | 2013-05-08 | 株式会社明電舎 | 流量制御装置及びプロセス装置 |
CN102640070B (zh) | 2009-12-01 | 2015-04-22 | 株式会社富士金 | 压力式流量控制装置 |
JP5669402B2 (ja) * | 2010-01-08 | 2015-02-12 | 三菱重工業株式会社 | ヒートポンプ及びヒートポンプの熱媒流量演算方法 |
US8747029B2 (en) * | 2010-05-03 | 2014-06-10 | Mac Equipment, Inc. | Low pressure continuous dense phase convey system using a non-critical air control system |
JP5761960B2 (ja) * | 2010-10-29 | 2015-08-12 | 三菱重工業株式会社 | 熱源装置 |
KR101284052B1 (ko) | 2011-04-15 | 2013-07-10 | 한국건설기술연구원 | 차압을 이용한 분배기 분배유량 산출방법 |
JP5175965B2 (ja) * | 2011-10-03 | 2013-04-03 | 国立大学法人東北大学 | 流量レンジ可変型流量制御装置 |
US20130240045A1 (en) * | 2012-03-15 | 2013-09-19 | Xiufeng Pang | Method for Determining a Fluid Flow Rate With a Fluid Control Valve |
US20130312421A1 (en) * | 2012-05-24 | 2013-11-28 | Solar Turbines Incorporated | Fuel control system for a gas turbine engine |
EP2667159B1 (en) * | 2012-05-24 | 2021-12-01 | Air Products And Chemicals, Inc. | Method of, and Apparatus for, Measuring the Mass Flow Rate of a Gas |
KR101737373B1 (ko) * | 2012-05-31 | 2017-05-18 | 가부시키가이샤 후지킨 | 빌드다운 방식 유량 모니터 장착 유량 제어 장치 |
US9454158B2 (en) | 2013-03-15 | 2016-09-27 | Bhushan Somani | Real time diagnostics for flow controller systems and methods |
JP5797246B2 (ja) | 2013-10-28 | 2015-10-21 | 株式会社フジキン | 流量計及びそれを備えた流量制御装置 |
JP6216389B2 (ja) * | 2013-10-31 | 2017-10-18 | 株式会社フジキン | 圧力式流量制御装置 |
JP6372998B2 (ja) * | 2013-12-05 | 2018-08-15 | 株式会社フジキン | 圧力式流量制御装置 |
JP6321972B2 (ja) * | 2014-01-21 | 2018-05-09 | 株式会社フジキン | 圧力式流量制御装置及びその流量制御開始時のオーバーシュート防止方法 |
WO2016009491A1 (ja) * | 2014-07-15 | 2016-01-21 | 富士機械製造株式会社 | 検査方法 |
JP6416529B2 (ja) | 2014-07-23 | 2018-10-31 | 株式会社フジキン | 圧力式流量制御装置 |
US9904299B2 (en) * | 2015-04-08 | 2018-02-27 | Tokyo Electron Limited | Gas supply control method |
EP3320408A1 (en) * | 2015-07-10 | 2018-05-16 | Pivotal Systems Corporation | Method and apparatus for gas flow control |
WO2017040100A1 (en) * | 2015-08-31 | 2017-03-09 | Mks Instruments, Inc. | Method and apparatus for pressure-based flow measurement in non-critical flow conditions |
JP6600568B2 (ja) * | 2015-09-16 | 2019-10-30 | 東京エレクトロン株式会社 | 流量制御器の出力流量を求める方法 |
US10274972B2 (en) * | 2015-09-16 | 2019-04-30 | Tokyo Electron Limited | Method of inspecting gas supply system |
JP6541584B2 (ja) * | 2015-09-16 | 2019-07-10 | 東京エレクトロン株式会社 | ガス供給系を検査する方法 |
KR102028372B1 (ko) * | 2015-09-24 | 2019-10-04 | 가부시키가이샤 후지킨 | 압력식 유량 제어 장치 및 그 이상 검지 방법 |
CN108369425B (zh) * | 2015-12-25 | 2021-03-02 | 株式会社富士金 | 流量控制装置以及使用流量控制装置的异常检测方法 |
JP6600854B2 (ja) * | 2016-08-24 | 2019-11-06 | 株式会社フジキン | 圧力式流量制御装置、その流量算出方法および流量制御方法 |
CN106352931B (zh) * | 2016-10-09 | 2018-02-13 | 无锡洋湃科技有限公司 | 一种测量多相流中气液两相各自流量的临界流喷嘴流量计及测量方法 |
US10983538B2 (en) | 2017-02-27 | 2021-04-20 | Flow Devices And Systems Inc. | Systems and methods for flow sensor back pressure adjustment for mass flow controller |
US10865635B2 (en) | 2017-03-14 | 2020-12-15 | Baker Hughes Oilfield Operations, Llc | Method of controlling a gas vent system for horizontal wells |
JP7097085B2 (ja) * | 2017-07-25 | 2022-07-07 | 株式会社フジキン | 流体制御装置 |
WO2019107215A1 (ja) * | 2017-11-30 | 2019-06-06 | 株式会社フジキン | 流量制御装置 |
CN107830902A (zh) * | 2017-12-12 | 2018-03-23 | 杭州天马计量科技有限公司 | 一种气体流量计 |
US11002461B2 (en) | 2018-02-15 | 2021-05-11 | Johnson Controls Technology Company | System and method for output compensation in flow sensors |
US10558227B2 (en) * | 2018-02-15 | 2020-02-11 | Johnson Controls Technology Company | System and method for output compensation in flow sensors using pulse width modulation |
US11269362B2 (en) * | 2018-04-27 | 2022-03-08 | Fujikin Incorporated | Flow rate control method and flow rate control device |
CN111103020B (zh) * | 2018-10-29 | 2022-06-03 | 北京七星华创流量计有限公司 | 流量检测装置、流量控制***及流量检测方法 |
CN110543192A (zh) * | 2018-10-31 | 2019-12-06 | 北京七星华创流量计有限公司 | 基于压力检测的质量流量控制方法及装置 |
US11914407B2 (en) * | 2019-04-25 | 2024-02-27 | Fujikin Incorporated | Flow rate control device |
US20200348702A1 (en) * | 2019-04-30 | 2020-11-05 | Illinois Tool Works Inc. | Advanced pressure based mass flow controllers and diagnostics |
LU101299B1 (en) | 2019-07-08 | 2021-01-11 | Luxembourg Inst Science & Tech List | Volume flowmeter and method for determining a volumetric flow rate |
CN113324605B (zh) * | 2021-05-26 | 2023-05-23 | 北京七星华创流量计有限公司 | 气体质量流量控制器和气体质量流量控制方法 |
US20230036266A1 (en) * | 2021-07-27 | 2023-02-02 | Pratt & Whitney Canada Corp. | Controlling gaseous fuel flow |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4222403A (en) * | 1978-10-12 | 1980-09-16 | Fuji Kinzoku Kohsaku Co., Ltd. | Automatic drain exhaust valve |
FR2594541A1 (fr) * | 1986-02-14 | 1987-08-21 | Air Liquide | Procede de controle du debit d'un fluide dans une vanne et appareil pour la mise en oeuvre de ce procede |
US5365795A (en) * | 1993-05-20 | 1994-11-22 | Brower Jr William B | Improved method for determining flow rates in venturis, orifices and flow nozzles involving total pressure and static pressure measurements |
JPH09189586A (ja) * | 1996-01-10 | 1997-07-22 | Toshiba Corp | オリフィス式流量測定装置 |
US5868159A (en) * | 1996-07-12 | 1999-02-09 | Mks Instruments, Inc. | Pressure-based mass flow controller |
JP3580645B2 (ja) | 1996-08-12 | 2004-10-27 | 忠弘 大見 | 圧力式流量制御装置 |
JP3684307B2 (ja) | 1998-10-19 | 2005-08-17 | シーケーディ株式会社 | ガス供給制御装置 |
US6510746B1 (en) * | 1999-07-12 | 2003-01-28 | Ford Global Technologies, Inc. | Gas flow measurement |
JP2001027556A (ja) * | 1999-07-15 | 2001-01-30 | Toshiharu Kagawa | 可変開口型オリフィス流量計 |
JP2001201376A (ja) * | 1999-11-09 | 2001-07-27 | Nikkiso Co Ltd | 気体混合粉体中の粉体の流量を測定する粉体流量測定装置および方法 |
JP2001201414A (ja) * | 2000-01-20 | 2001-07-27 | Smc Corp | 複合センサ及び複合センサを備えたフローコントローラ |
US6539968B1 (en) * | 2000-09-20 | 2003-04-01 | Fugasity Corporation | Fluid flow controller and method of operation |
-
2001
- 2001-12-28 JP JP2001399433A patent/JP4102564B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2002
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Also Published As
Publication number | Publication date |
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