JP5195527B2 - 流量制御装置及びプロセス装置 - Google Patents
流量制御装置及びプロセス装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5195527B2 JP5195527B2 JP2009049450A JP2009049450A JP5195527B2 JP 5195527 B2 JP5195527 B2 JP 5195527B2 JP 2009049450 A JP2009049450 A JP 2009049450A JP 2009049450 A JP2009049450 A JP 2009049450A JP 5195527 B2 JP5195527 B2 JP 5195527B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ozone
- pressure
- gas
- variable conductance
- valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 57
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 100
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 59
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 24
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 claims description 15
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 14
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 3
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 10
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 10
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 9
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 5
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 2
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 2
- 238000004880 explosion Methods 0.000 description 2
- 238000010301 surface-oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 2
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 239000012776 electronic material Substances 0.000 description 1
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 239000002360 explosive Substances 0.000 description 1
- 229910001385 heavy metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 150000001247 metal acetylides Chemical class 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000010865 sewage Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Flow Control (AREA)
Description
Q=C(p1−p2) …(1)
となる。
9…オゾンチャンバ(オゾン蓄積用チャンバ)
16…酸化処理容器(プロセスチャンバ、反応容器)
28…プロセス装置
32、33…可変コンダクタンスバルブ
36、41…流量制限器
34、35…圧力計
37、42…流量制限装置
38…バルブ制御装置
Claims (5)
- 反応容器に反応ガスを供給する配管に配置される流量制限器と、
前記配管の前記流量制限器の上流側に配置される第1の可変コンダクタンスバルブと、
前記配管の前記流量制限器の下流側に配置される第2の可変コンダクタンスバルブと、
前記流量制限器と前記第1の可変コンダクタンスバルブ間の圧力と前記流量制限器と前記第2の可変コンダクタンスバルブ間の圧力に基づいて、前記第1の可変コンダクタンスバルブと前記第2の可変コンダクタンスバルブを制御するバルブ制御装置と
を備え、
前記バルブ制御装置は、
前記流量制限器と前記第2の可変コンダクタンスバルブ間の圧力を一定とするように、前記第2の可変コンダクタンスバルブを制御し、
前記流量制限器のコンダクタンスと、前記流量制限器と前記第2の可変コンダクタンスバルブ間の圧力に基づき、前記反応ガスが目標流量となる前記流量制限器と前記第1の可変コンダクタンスバルブ間の目標圧力値を計算し、
前記流量制限器と前記第1の可変コンダクタンスバルブ間の圧力が前記目標圧力値を示すように前記第1の可変コンダクタンスバルブを制御する
ことを特徴とする流量制御装置。 - 前記流量制限器と前記第1の可変コンダクタンスバルブ間の圧力と前記流量制限器と前記第2の可変コンダクタンスバルブ間の圧力を検出する微差圧計を備える
ことを特徴とする請求項1に記載の流量制御装置。 - 反応容器に反応ガスを供給し、反応を行うプロセス装置において、
前記反応ガスを供給する配管には、
請求項1又は請求項2に記載の流量制御装置が備えられた
ことを特徴とするプロセス装置。 - 前記反応ガスはオゾンガスであり、
このオゾンガスが、液体オゾンとしてオゾン蓄積用チャンバ貯留され、
前記液体オゾンガスから気化したオゾンガスが、前記反応容器に供給される
ことを特徴とする請求項3に記載のプロセス装置。 - 前記チャンバは減圧されている
ことを特徴とする請求項4に記載のプロセス装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009049450A JP5195527B2 (ja) | 2009-03-03 | 2009-03-03 | 流量制御装置及びプロセス装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009049450A JP5195527B2 (ja) | 2009-03-03 | 2009-03-03 | 流量制御装置及びプロセス装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010204937A JP2010204937A (ja) | 2010-09-16 |
JP5195527B2 true JP5195527B2 (ja) | 2013-05-08 |
Family
ID=42966361
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009049450A Expired - Fee Related JP5195527B2 (ja) | 2009-03-03 | 2009-03-03 | 流量制御装置及びプロセス装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5195527B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104267747B (zh) * | 2014-09-18 | 2016-08-03 | 金永德实验室设备有限公司 | 一种流量检测装置及其数值建模方法 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020107110A (ja) | 2018-12-27 | 2020-07-09 | 株式会社堀場エステック | 流体制御装置 |
KR102619482B1 (ko) * | 2019-10-25 | 2024-01-02 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 막 증착 공정에서의 정상 펄스 프로파일의 변형 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000020135A (ja) * | 1998-06-29 | 2000-01-21 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 流量制御装置 |
JP3837280B2 (ja) * | 2000-09-01 | 2006-10-25 | 岩谷産業株式会社 | 高濃度オゾンガス供給方法及びその装置 |
JP4102564B2 (ja) * | 2001-12-28 | 2008-06-18 | 忠弘 大見 | 改良型圧力式流量制御装置 |
JP2007041870A (ja) * | 2005-08-03 | 2007-02-15 | Horiba Stec Co Ltd | ガス流量制御方法 |
JP2007102754A (ja) * | 2005-09-09 | 2007-04-19 | Advance Denki Kogyo Kk | 流量制御装置 |
-
2009
- 2009-03-03 JP JP2009049450A patent/JP5195527B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104267747B (zh) * | 2014-09-18 | 2016-08-03 | 金永德实验室设备有限公司 | 一种流量检测装置及其数值建模方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010204937A (ja) | 2010-09-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5195527B2 (ja) | 流量制御装置及びプロセス装置 | |
US5332555A (en) | Ozone beam generation apparatus and method for generating an ozone beam | |
JP4285885B2 (ja) | オゾン生成装置 | |
JP3948913B2 (ja) | オゾン生成装置 | |
JP2006298701A (ja) | 可変熱抵抗ブロック、加熱冷却装置及びオゾン供給装置 | |
JP4036623B2 (ja) | オゾン生成装置 | |
JP5453844B2 (ja) | 高濃度オゾン供給方法及び液体オゾン蓄積用ベッセル | |
JP5359380B2 (ja) | 液体オゾン蓄積量計測方法と液体オゾン蓄積量計測装置、その装置を備えた高濃度オゾンガス生成装置及びプロセス装置 | |
JP5470949B2 (ja) | 液体オゾン蓄積制御方法及びその装置 | |
JP5481783B2 (ja) | オゾン供給方法及びその装置 | |
US20080078503A1 (en) | Mechanical pump operating well for a long term and method of manufacturing the same | |
JP3919988B2 (ja) | 液体オゾン製造装置 | |
JP5470948B2 (ja) | オゾン供給装置 | |
JP2009136822A (ja) | オゾン水生成方法とその装置 | |
JP3919989B2 (ja) | 液体オゾン製造装置 | |
JP5245964B2 (ja) | 液体オゾン廃棄方法及び液体オゾン製造装置 | |
JP2004184195A (ja) | 残留オゾンチェック方法およびオゾン生成方法 | |
JP3922418B2 (ja) | 液体オゾン生成装置の爆発防止方法および液体オゾン生成装置 | |
JP4899451B2 (ja) | オゾン生成装置 | |
JP5453845B2 (ja) | 液体オゾン蓄積用ベッセル | |
JP4036622B2 (ja) | オゾン生成装置 | |
JP3996358B2 (ja) | オゾン製造装置 | |
JP4097371B2 (ja) | 液体オゾン生成装置 | |
JP2004183966A (ja) | 液体オゾン製造装置 | |
JP5481782B2 (ja) | オゾン供給装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20111209 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121227 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130108 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130121 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160215 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5195527 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |