JP4866682B2 - 圧力センサを保有する流量制御装置を用いた流体供給系の異常検出方法 - Google Patents
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Description
又、前記圧力式流量制御装置FCSには、音速ノズルやオリフィス等の絞り機構の上流側及び又は下流側の流体圧力を検出する圧力センサと、各検出圧力を外部へ表示するための手段が備えられており、この圧力センサにより流体が現実に圧力式流量制御装置FCSを通して流通していなくても、流体供給系の各部の圧力を容易に検知することができる。
図13を参照して、圧力式流量制御装置FCS又は熱式質量流量制御装置MFCから成る流量制御装置Dの上流側には、パージガス供給系Bとプロセスガス供給系Aが並列状に接続され、また流量制御装置Dの下流側にはプロセスガス使用系Cが接続されている。
更に、前記各ガス供給系A、B及びガス使用系Cには夫々バルブV1、V2及びV3が夫々介設されている。
ところが、流量制御装置Dとして熱式質量流量制御装置MFCを利用している場合には、例えばこれを用いてプロセスガス使用系Cのガス圧力の変動を検出し、この検出値からバルブV3のシートリークを検出するようなことは出来ない。
尚、このことは、流量制御装置Dの上流側のバルブV1及びバルブV2についても同様であり、通常これ等バルブV1,V2のシートリークは、各バルブV1、V2を管路より外し、別途に設けたシートリーク試験装置によってチェックをするようにしている。そのため、多くの手数と時間を必要とすると云う問題がある。
図14(a)及び図14(b)は、従前の圧力式流量制御装置FCSの基本構成の一例を示すものであり、コントロール弁2、圧力検出器6、27、音速ノズルやオリフィスから成る絞り機構8、流量演算回路13、流量設定回路14、演算制御回路16、流量出力回路12等から圧力式流量制御装置FCSの要部が形成されている。尚、図14(a)及び図14(b)では絞り機構8にオリフィスが使用されている。
図14(a)及び図14(b)において、3はオリフィス上流側配管、4は弁駆動部、5はオリフィス下流側配管、9はバルブ、15は流量変換回路、10、11、22、28は増幅器、7は温度検出器、17、18、29はA/D変換器、19は温度補正回路、20、30は演算回路、21は比較回路、Qcは演算流量信号、Qfは切換演算流量信号、Qeは流量設定信号、Qoは流量出力信号、Qyは流量制御信号、P1はオリフィス上流側気体圧力、P2はオリフィス下流側気体圧力、kは流量変換率である
また、当該圧力式流量制御装置FCSは、図14(a)及び図14(b)に記載されている基本回路の他に、演算等に必要な処理プログラムやデータ等の記憶装置や各種の演算処理部が設けられていることは勿論である。
また、前記図14(b)の圧力式流量制御装置FCSは、臨界状態と非臨界状態の両方の流れ状態となる気体の流量制御に主として用いられるものであり、オリフィス8を流れる気体の流量はQc=KP2 m(P1−P2)n(Kは比例定数、mとnは定数)として与えられる。
例えば、いま流量変換回路15の変換率が1に設定されているときに、流量設定信号Qe=5Vが入力されると、切換演算流量信号Qf(Qf=kQc)は5Vとなり、上流側圧力P1が3(kgf/cm2abs)になるまでコントロール弁2が開閉操作されることになり、P1=3(kgf/cm2abs)に対応する流量Qc=KP1の気体がオリフィス8を流通することになる。
また、当該圧力式流量制御装置FCSには、所謂流量自己診断機構(図示省略)が設けられており、後述するように初期設定した圧力降下特性と診断時の圧力降下特性とを対比して、異常状態を判定すると共にその判定結果を出力するよう構成されている。
尚、図1において、V1、V2、V3はバルブであり、流体圧駆動部や電動駆動部を備えた自動開閉弁が一般に使用されている。
イ バルブV1の動作異常
a.所定の実ガス(プロセスガスGp)を流通せしめて、FCSにより所定の設定流量のガスを流通させる。この時、FCSの流量指示値や圧力指示値(配管路1a及び又は配管路1b)が0へと変化する場合には、バルブV1の動作に異常(不動作)があることになる。
b.FCSへ所定の実ガス(プロセスガスGp)を流通せしめて、FCSの実ガス制御流量が所定流量となっているか否かを診断中(以下、実ガス流量自己診断時と呼ぶ)に、FCSから供給圧不足のエラー信号が発信された場合には、バルブV1の動作に異常(不動作)があることになる。
a.パージガスGとしてN2を流通せしめて、FCSにより所定の設定流量のガスを流通させる。この時FCSの流量指示値や圧力指示値が0へと変化する場合には、バルブV2の動作異常(不動作)があることになる。
b.FCSへN2ガスを流通せしめて、FCSのN2制御流量が設定流量となっているか否かを診断中(以下、N2流量自己診断時と呼ぶ)に、FCSから供給圧不足のエラー信号が発信された場合には、バルブV2の動作に異常(不動作)があることになる。
a.N2又は実ガスを流した状態下におけるN2流量自己診断時又は実ガス流量自己診断時に、FCSから流量自己診断エラー信号が発信された場合には、バルブV3の動作に異常(不動作)があることになる。
b.配管1c等の真空引きの際に、FCSの圧力出力表示が零に下降しない場合には、バルブV3の動作に異常(不動作)があることになる。
c.FCSの流量設定時に、前記流量設定値を適宜に変化させてもFCSの圧力表示値に変化がない場合には、バルブV3の動作異常(不動作)があることになる。
イ バルブV1のシートリーク
a.N2によるFCSの流量自己診断時に、バルブV1にシートリークがあると、N2が実ガスGp側へ逆流し、バルブV1の上流側の実ガスGpがN2と実ガスGpとの混合ガスになる。
その後、FCSの実ガス流量自己診断を実施すると、当該実ガス流量自己診断が混合ガスで行われることになり、診断値が異常値となる。
この診断値が異常値となることにより、バルブV1にシートリークがあることが判明する。
実ガス流量自己診断時の診断値が異常値となった場合には、バルブV2にシートリークが発生していることになる。
何故なら、FCSの上流側配管1aの実ガスGp内へN2ガスが混入することになり、FCSでは混合ガスによる実ガス流量自己診断が行われるために、診断値が異常値となる。
FCSによる流量制御の完了後、バルブV3を閉の状態に保持すると共に、FCSの流量設定を0(流量が零となるように設定)にする。
その後、FCSの圧力指示値が下降すれば、バルブV3にシートリークが発生していることになる。
尚、本フローシートは、図1においてイ.各バルブV1、V2、V3、FCS及び配管系1a、1b、1c等には、シートリーク以外の外部リーク(例えば継手やボンネット等からの漏れ)は無いこと、ロ.各バルブの駆動部は正常に動作すること、ハ.FCSは正常に動作すること、ニ.V1、V2は同時に開放することが無いこと等が前提となっている。
また、P1が上昇すれば、V2の動作は正常と判断される(ステップS11)。
その後ステップS21でFCSの圧力表示P1をチェックし、圧力表示P1が増圧しなければ、ステップS22でバルブV1、V2にシートリークが無いと判断して、異常チェックを完了する(ステップS31)。
尚、流量自己診断とは、前記したように初期設定した圧力降下特性と診断時の圧力降下特性とを対比し、その差が予め定めた範囲外となった場合に異常と判断するものである。
また、圧力降下特性の形態の欄の数値(1〜4)は、後述するように具体的な故障Aに対して夫々発生する圧力降下特性の形態の類形を示すものである。
即ち、図3では、ガス供給源側からの供給圧不足のために、100%流量保持時に制御圧が不足することになり、圧力降下特性の形態が後述する類形4の形態となる。
また、図4・(b)では、オリフィス2次側の外部からリークガスが2次側へ流入するためオリフィス2次側圧力が上昇し、圧力降下特性の形態は上記図4・(a)の場合と同じ類形2の形態となる。
逆に、図5・(b)では、フローファクタ(F.F.)の小さなガスが流入するため、絞り機構(オリフィス)からガスが抜け難くなり、圧力降下特性における圧力降下が遅れる(類形1の形態)。尚、以下の記述では、絞り機構をオリフィスでもって表現する。
逆に、図6・(b)ではオリフィスが拡経するため、オリフィスからガスが抜け易くなり、圧力降下が早まることになる(類形3の形態)。
また、零点がマイナス側に変動しているときには、圧力降下が早まることになり、その圧力降下特性は類形3の形態となる。
[類形1の圧力降下特性(診断直後から圧力降下が遅れる)]
フローファクターの小さなガスの混入、オリフィスへの生成物の付着・ゴミ詰まり、コントロールバルブのゴミの噛み、生成物付着(シートリーク)、ゼロ点のプラス変動等の故障の場合に発生する。
[類形2の圧力降下特性(診断途中から圧力降下が遅れる)]
2次側バルブのエアオペレーション機構の故障、2次側への外部からのリーク等の故障の場合に発生する。
[類形3の圧力降下特性(診断直後から圧力降下が早くなる)]
フローファクターの大きなガスの混入、不適切なゼロ点入力、腐食による穴(オリフィス)の詰まり、オリフィスプレートの破損、ゼロ点のマイナス変動等の故障の場合に発生する。
[類形4の圧力降下特性(診断時の初期が100%流量に達しない)]
供給圧力の不足、1次側バルブのエアオペレーション機構の故障、(プレフィルタの)ゴミ詰まり、コントロールバルブの駆動部の伝達系の異常(コントロールバルブの故障)等の場合に発生する。
次に、入口弁V1を開、圧力式流量制御装置FCSを閉にする。
そして、入口弁V1を開放すると同時に、圧力式流量制御装置FCSを強制開放する(以後、FCSは強制開放を維持する)と共に、数秒後あとに入口弁V1を閉鎖する。
その後、圧力式流量制御装置FCSの圧力指示値と供給圧力Pを測定して、リーク量発生弁のシートリークによる圧力式流量制御装置を含むガス供給系の圧力降下特性を測定した。
先ずリーク量の算式に先立って、FCSの圧力降下特性から圧力降下率R=ΔP/Δt×v(Pa abs・m3/s)・・・(1)
を計算する。但し、(1)式において、ΔP(Pa abs)は、時間Δt(s)間の圧力指示値の変位であり、v(m3)はFCS系の内容積(v=6.09×10-6m3)である。
Q(sccm)=−1(atm)/{760(Torr)×133.3(Pa・abs/Torr)}×273(K)/(273+T)(K)×v(m3)×106(cc/m3)×ΔP(Pa・abs)/Δt(s)/60
=60×106/(760×133.3)×273/(273+T)×R
=K×273/(273+T)×R・・・・・(2)
但し、Tはガス温度(℃)である。
図12の(a)は、定格流量10sccmの圧力式流量制御装置FCSのリーク発生弁V3のリーク量10sccmのときの圧力降下特性を示すものであり、また、図12の(b)は、定格流量2000sccmの圧力式流量制御装置FCSのリーク発生弁V3のリーク量が4sccmのときの圧力降下特性を示すものである。
Claims (5)
- 流量の設定機構と流量及び圧力の表示機構及び又は流量自己診断機構とで構成される圧力センサを保有する流量制御装置を備えた流体供給系における前記流量制御装置の上流側及び又は下流側に設けたバルブの異常を、前記流量制御装置の圧力の表示値及び又は流量自己診断機構の診断値を用いて検出する方法であって、異常検出の対象とするバルブを、流量制御装置の上流側に設けたパージガス供給系のバルブとプロセスガス供給系のバルブ及び流量制御装置の下流側のプロセスガス使用系に設けたバルブとすると共に、検出する異常の種類をバルブの開閉動作及びシートリークとした圧力センサを保有する流量制御装置を用いた流体供給系の異常検出方法。
- 流量制御装置の流量自己診断機構を、初期設定をした圧力降下特性と診断時の圧力降下特性とを対比して異常を診断する構成の機構とすると共に、プロセスガスとパージガスとの混合ガスが流入した際の前記診断値の変化から、プロセスガス供給系又はパージガス供給系のバルブのシートリークを検出するようにした請求項1に記載の流量制御装置を用いた流体供給系の異常検出方法。
- バルブのシートリーク異常が検出されたときに、そのリーク量Q(sccm)を演算、表示するようにした請求項1に記載の流量制御装置を用いた流体供給系の異常検出方法。
- バルブシートからのリーク量Q(sccm)を、Q=K・273・R/(273+T)(但し、Kは定数、Tは温度(℃)、Rは圧力降下率(Pa abs・m3/s)であり、且つRは、密閉配管系の内容積v(m3)及びΔt(sec)間の圧力指示値の変位がΔP(Pa abs)のとき、R=−ΔP×v/Δtにより与えられる値である。)により演算するようにした請求項3に記載の流量制御装置を用いた流体供給系の異常検出方法。
- 流量の設定機構と流量及び圧力の表示機構及び又は流量自己診断機構とで構成される圧力センサを保有する流量制御装置を備えた流体供給系における前記流量制御装置並にその上流側及び又は下流側に設けたバルブの異常を、前記流量制御装置の圧力の表示値及び又は流量自己診断機構の診断値を用いて検出する方法において、前記流量制御装置の流量自己診断機構を、初期設定をした圧力降下特性と診断時の圧力降下特性とを対比して異常を診断する構成の機構とすると共に、当該流量自己診断機構による流量自己診断時の圧力降下特性が、前記初期設定時の圧力降下特性に対比して、診断直後から圧力降下が遅れ出すか、診断途中から圧力降下が遅れ出すか、診断直後から圧力降下が早まるか、診断開始時の圧力が初期設定時の圧力に達していないか、の何れの形態に該当するかを判別し、前記判別された流量自己診断時の圧力降下特性の形態から、検出された異常の原因を判定するようにした圧力センサを保有する流量制御装置を用いた流体供給系の異常検出方法。
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