TW422998B - Inductor element and the manufacturing method of the same - Google Patents

Description

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—- 五、發明說明（1) 發明所屬技術領域 本發明係關於電感元件及其製造方法 習知技術 在電子機器’市場上總是有其小塑化之要求’對於在 電子機器使用之零件也要求其小型化。原本具有導綠之電 子元件隨著表面組裝技術之進展，正移向無導線之所謂的 晶片零件。在電容器或電感器等以陶磁為主要構成材料之 元件’藉著使用以厚膜形成技術為基礎之薄片工法或網板 印刷技術等時烘烤陶磁及金屬製造，達成具有内部導體之 單片構造之實用化，使其形狀更小。 採用如下所示之製法製造這種形狀之電感元件。 首先’將陶磁粉體和含有黏合劑或有機溶劑等之溶液 混合。利用刮刀法將這該混合液塗抹於PET膜上，得到數 十數百μιη之綠片。其次，使用機械加工或雷射加工 等加工法’形成用以連接不同層之線圈圖案單位之間之通 孔。對於照這樣所得到之綠片，利用網板印刷塗抹銀或銀 -紀導電膏’形成相當於内部導體之導電性線圈圖案單 位。此時’在通孔也充滿膏，以在電氣上連接層間。 將該等綠片積層指定片數後，在適當之溫度、壓力下 將其壓接’然後，切開成相當於一個個的晶片，進行脫黏 合劑、供烤等熱處理。將這燒結體滾筒研磨，然後，塗抹 用以形成端子電極之銀膏’再進行熱處理。再利用電解電 鍵施加錫等覆膜。經過以上之製程，可在用陶磁構成.之絕 緣體之内部實現線圈構造，製作電感元件。

第4頁 ^22998 五、發明說明（2) 在這種電感元件也要求進一步小型化，在所謂的晶片 尺寸，其主流自3216(3.2x1. 6X0.9mm)形狀移向2012(2. 2 XI. 2 x0. 9mm)、1 608 ( 1. 6 X 0. 8 x〇. 8mm)等小型的，最 近1005(1 Χ〇.5ππη)之晶片尺寸的實用化了。在這種 小型化之趨勢，為了穩定的得到高品質的，對各製程要求 之尺寸精度（間隙）逐漸變得嚴格。 例如在1005之晶片尺寸之電感元件，在各内部導體層 之積層偏移至少不容許超過30/im。超過時，在電感值或 阻抗發生顯著之變動，在極端之情況有的露出内部導體。 這在201 0(2. 0 X 1, 0 X 0. 5mm)之晶片尺寸之元件内部内藏4 個線圈之電感陣列元件也一樣。 在習知之晶片尺寸比較大之電感元件之情況，該積層 偏移對特性之影響不至於顯著存在，但是在1〇〇5或2〇1〇程 度之晶片尺寸，積層偏移對元件特性之影響大。 在習知之晶片尺寸比較大之電感元件，在各層之内部 導體之線圈圖案形狀設為L字形或倒[字形。而且，將l字 开> 和倒L字形交互地積層’在該等圖案之端部設置通孔連 接層間之圖案，將照這樣形成之線圈之頭端及終端和拉出 用圖案連接。 可是’為了得到1005或2010型等小型尺寸之電感元 件’在將各層之内部導體之線圈圖案形狀設為L字形或倒L 字形並只是小其線圈圖案之情況，依據本發明者們之實驗 得知^部導體間之積層偏移顯著進展。 在小型尺寸之電感元件之情況，積層偏移進展之理由

第5頁 4 2 2998 ^ 五、發明說明（3) 如下所示。即，隨著晶片尺寸之小型化’為了得到指定之 電感值或阻抗，必須增多線圈之圈數’因而必須使每一層 之陶磁層之厚度變薄。還要求内部導體之電阻值低，不容 許導體厚度以和陶瓷片一樣之比例變薄。因而，晶片尺寸 變小變成發生印刷後之綠片顯著不平坦化之結果。 結果，對重疊之綠片施壓積層時’對於綠片本身比較 硬之導體部相排擠，結果發生顯著之積層偏移。尤其，在 習知之以L字形為基本之印刷圖案，積層後之綠片彼此經 由内部導體被壓成在立體上斜的’助長積層偏移。這種現 象在元件之晶片尺寸之小型化愈進展時變成為了元件品質 之穩定化無法迴避之課題。 這於此 公報，公開 7- 1 92954 m 樣之凹槽後 陶瓷片平坦 開了不自陶 然後剝離膜 變形小防止 開了沿著印 之壓力之方 課題提 了預先 公報， ，在該 化之方 瓷片剥 ’重複 積層偏 刷導體 法° 出各種提案。例如在特開平6 — 7 7 〇 7 4號 將印刷後之綠片壓平。又，在特開平 公開了預先在陶瓷片加工和導體圖案一 凹槽印刷導體膏，結果將包含了導體之 法。又’在特開平7- 1 92955號公報，公 離PET膜i也將其他陶瓷片積層後壓接， 以上製程之方法。此方法利用PET膜之 移又’在特開平6 ~ 2 0 8 4 3號公報，公 之周邊部⑨置複it貫穿?L以分散壓接時 所記載之方法 程或大幅度地 之方法複雜。 若利用上述各公報 片之積層方法再追加製 力之立場，變成比習知 ，變成在習知之陶瓷 變更。又，站在生產

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— 本發明係鑑於上述實況而想出來的，其目的在於提供 二種電感元件及其製造方法，將元件小型化製程也不會複 雜化、可抑制積層偏移。 本發明者們銳意檢討可在製程不複雜化下抑制積層偏 移之小寸之電感元件及其製造方法之結果，藉著在元件之 絕緣層間形成之線圈圖案單位之重複圖案形狀下工夫，發 現可抑制積層偏移’以至於完成本發明。 Λ 即’本發明之電感元件之製造方法包括： 形成成為絕緣層之製程； 在該綠片之表面形成複數導電性之線圈圖案單位時在 該綠片之表面配置複數包含1個該線圈圖 位二將在和該區分單位之長度方向近似垂直单之位之二 令點配置成點對稱之製程； "·刀早位之境界線之 # Κ立之複數綠片積層 案單位連接成線圈狀之 將點對稱地形成複數該線圈圖 後將用該綠片隔開之上下之線圈圖 製程；以及 將積層後之該綠片烘烤 為了在工業上大量生產 在綠片之表面形成複數線圈 圖案單位在一片綠片上之各 形狀形成。因線圈圖案單位 圈，而且需要在有限之區分 之截面積，一般具有沿著區 之製裎。 電感7L件’一般用網板印刷等 圖案單位。在習知，這種線圈 ，分單位全部以相同之方向及 ΐ要在積層方向連接而形成線 13之面積内儘可能增大線圈 刀單位之長度方向延伸之線狀

422998 五 '發明說明（5) 圖案。因在本線圈圖案單位之線狀圖案沿著區分單位之長 度方向延伸’而且在積層方向經由綠片重疊，積層之綠片 有在對於線狀圖案之長度方向（區分單位之長度方向）近似 垂直之方向易偏移之傾向。此傾向隨著元件之小型化即區 分單位之小面積化而顯著。 在本發明之電感元件之製造方法，將在和該區分單位 之長度方向近似垂直之方向接鄰之任意2個線圈圖案單位 相對於接鄰之區分單位之境界線之中點配置成點對稱。因 而’因在各區分單位内形成之線圈圖案單位之線狀圖案在 積層方向重疊，對於該線狀圖案想在垂直方向偏移，位於 其相鄰之區分單位之下側之線圈圖案單位之線狀圖案也就 阻礙偏移。結果’在本發明，尤其可有效地防止往和區分 單位之長度方向（線狀圖案之長度方向）近似垂直之方向之 積層偏移。此外，往區分單位之長度方向之積層偏移原本 就小，不成問題。 在本發明之電感元件之製造方法，最好在該綠片之表 Φ形成複數線圈圖案單位時將和該區分單位之長度方向接 鄰之任意2個線圈圖案單位在各區分單位内部配置於相同 之位置。或將和該區分單位之長度方向接鄰之任意2個線 圈圖案單位相對於接鄰之區分單位之境界線之中點配置成 點對稱也可。 在本發明之製造方法，最好用具有近似平行之二個線 兮圖案和連接該等線狀圖案之第丨端部之曲線狀圖案構成 μ各線圈圖案單位。又，最好用相對於分割該區分單位之

422998 五'發明說明（6) 寬度方向之令心線線對稱之圖索媒士、> A 藉著採用這種線圈圖案單位，各線圈圖案單位° 性下使積層偏移更小。 了在得到所要之電感元件特 又，最好將複數忒綠片積層成隔著該 接鄰之二個線圈圖案單位相對於分 在積層方向 積層，可使積層偏移更小。藉…種位置關係將綠片 又，最好在該厚度3《綠片 綠片厚度之1/3〜2/3之線圈圖荦單&。&办成厚度馮 叫口系早位。在將像這樣比較薄 之綠片積層之情況，易發生積> # χ工價增侷移，但是在本發明，在 這種情況也可使積層偏移變小。此外 厚度超過綠片之厚度之2/3之情：V，，圖案單位之 7 /手又心以d之清況，在本發明也有難抑制 積層偏移之傾向。在線圈圖案單位之厚度小於綠片之厚度 之1 /3。。之情況，積層偏移變成問題之可能性小，但是線圈 圖案單位之電阻變大，不適合作為電感元件。 。，，本發明之製造方法，在該烘烤製程之前具有每該 區土單位切割積層後之該綠片之製程也可，在該供烤製程 之前具有每複數該區分單位切割積層後之該綠片之製程也 可。藉著每該區分單位切割積層後之該綠片，可得到在電 ^件之内部具有單一線圏之元件。又，藉著每複數該區 刀單位切割積層後之該綠片，可得到在電感元件之内部具 有複數線圈之元件（也稱為電感陣列元件）。 、 本發明之電感元件包括： 元件本體’具有複數層絕緣層；

42咖8 五、發明說明（7) 導電性線圈圖案單位，在該電感元件之内部在該絕緣 層之間沿著一平面方向形成複數在一平面内接鄰之線圈圖 案單位係相對於包含各線圈圖案單位之區分單位彼此間之 境界線之中點點對稱之圖案；以及 連接部，將用該絕緣層隔開之上下之線圈圖案單位連 接成線圈狀。 本發明之電感元件可利用上述本發明之製造方法製 造，將元件小型化製程也不會複雜化，可抑制積層偏移。 圖式簡單說明 圖1係表示本發明之一實施形態之電感元件之部分分 解立體圖。 圖2 A及圖2B係表示在綠片上形成之線圈圖案單位之 排列之平面圖。_ 圖3A係表示將圖2 A及圖2B所示綠片積層後之線圈圖 案單位之排列之平面圖。 圖3 B係沿著圖3 A之ΙΠ B - HI B線之主要部分之剖面圖。 圖3C及圖3D係用以說明積層偏移之主要部分之剖面 圖。 圖4 A及圖4B係表示本發明之其他實施形態之線圈圖 案單位之排列之平面圖。 圖5A係表示將圖4 A及圖4B所示綠片積層後之線圈圖 案單位之排列之平面圖。 圖5B係沿著圖5A之VB-VB線之主要部分之剖面圖。 圖6係表示本發明之其他實施形態之電感元件之主要

第10頁 * 2 9 S S 422998 ， -------—--—--- 务、發明説明⑻ 鄯分透視立體圖。 圖7 A及圖7 B係表不在本發明之比較例1使用之綠片表 面形成之線圈圖案單位之排列之平面圖。 圖8A係表示將圖7A及圖7B所示綠片積層後之線圈圖案 單位之徘列之平面圖。 圖8B沿著圖8A之V ΙΠΒ-V KB線之主要部分之剖面圖。 圖9 A及圖9 B係表示在本發明之比較例2使用之綠片表 面形成之線圈圖案單位之排列之平面圖。 圖10A係表示將圖9A及圖9B所示綠片積層後之線圈圖 案單位之排列之平面圖。 圖10B係表示沿著圖10A之XB-xb線之主要部分之剖面 圈。 發明之實施例 以下參照附加圖面更詳細說明本發明。 實施形態1 $ 如圖1所示，本實施形態之電感元件具有元件本體i。 在兀件本體1之兩端各自和端子電極仏及扑一體化。在元 件本體1之内部經由絕緣層7將線圈圖案單位2 a及2 b交互積 廣。在本實施形態，將在最上部積層之線圈圖案單位2“口 二方ί端子電極3a連接，將在最下部積層之線圈圖案單位 2d和另-方之端子電極3b連接D該等線圈圖案單位^、 2b '2C以及2d經由在絕緣層7形成之通孔 成線圈2。 妖正婼工傅 構成元件本體丨之絕緣層7用例如鐵氡體、鐵氧體玻璃

第11頁 五、發明說明（9) 複合材料等磁性魏、七祭 等電介質等構玻璃複合材料1晶化玻璃 銀、把、或：L!!!案單位2a、2b、2c以及2d用例如 銀為主之燒結體，：其=屬m子電極以及儿係以 雷舻由瞄认 ,再素面^加銅、錄、錫、錫錯合金等 成^可 端子電極3a^用該等金屬之單層或雙層構 其次說明圖1所示電感元件之製造方法。 m及所不，首先準備綠片17a及17b。綠片 ^ r $人你藉考將陶磁粉體和含有黏合劑或有機溶劑等之 後形成黏結劑液’制刮刀法 於PET膜等基膜上並乾燥後，將基膜等剝離而得到劑液綠塗片抹 之厚度未特別限定，係數十〜數百以ro。 在陶磁粉體上未特別限定，使用例如鐵氧體'鐵氧體 玻璃複合材料 '氧化鋁玻璃複合材料、、结晶化玻璃等。在 黏合劑上未特別限定，使用丁醛樹脂（butyral resin)、 壓克力系樹脂等。有機溶劑使用甲苯、二甲笨、丁 乙醇等β 其次’使用機械加工或雷射加工等加工法，對該等綠 fl7a及17b以指定之圖案形成用以連接不同層之線圈圖案 單位2a及2b之間之通孔4。對於照這樣所得到之綠片i 7a及 1 7b，利用網板印刷塗抹銀或銀_鈀導電膏，成行列狀地形 成複數導電線圈圖案單位2a或2b。此時，在通孔4也充滿 膏。線圈圖案單位2a及2b之塗抹厚度未特別限定，一般約 5 ~ 4 0 # m 〇

五、發明說明（ίο) 各線圈圖案單位2a及2b ’自平面箭號側看整體上係近 似U字形’具有近似平行之一對線狀圖案1 0、連接該等線 狀圖案10之第1端部之曲線狀圖案12以及在線狀圖案1〇之 第2端部形成之一對連接部6。在一對連接部6之中之某一 個形成通孔4 11 各線圈圖案單位2a或2b就區分成行列狀之各區分單位 1 5形成綠片1 7a或1 7b。在本實施形態，各區分單位1 5之長 度方向Y和各線圈圖案單位2a或2b之線狀圖案10之長度方 向一致〇 各線圈圖案單位2a或2b相對於分割區分單位1 5之寬度 方向X之t心線S1係線對稱圖案。又，如圖2 A及圖2B所 示’將任意一個線圈圖案單位2a(或2b)和對於該線圈圖案 單位2a(或2b)經由綠片1 7a(或17b)位於下層側或上層側之 線圈圖案單位2b(或2a)相對於分割區分單位15之長度方向 之中心線S2配置於線對稱位置。 各線圈圖案單位2a或2b之連接部6，在本實施形態自 平面箭號側看係近似圓形。 在著眼於線圈圖案單位2a之情況，其一方之連接部6 可經由通孔4和位於正下層之線圈圖案單位2b之一個連接 部連接’線圈圖案單位2a之另一方之連接部6可經由省略 圖示之通孔和位於正上層之線圈圖案單位2b之一個連接部 連接。於是’藉著經由連接部6及通孔4將線圈圖案單位2a 和2b連接成螺旋狀’如圖】所示，在元件本體1之内部形成 小型之線圈2。

第13頁 4229q8 五、發明說明（11) 如圖2A及圖2B所示，在本實施形態，係將在和各區分 單位15之長度方向Y近似垂直之方向X接鄰之任意2個線圈 圖案單位2a及2a (或2b及2b)相對於接鄰之區分單位15之 縱境界線1 5V之中點1 5C1配置成點對稱。又，將在各區分 單位15之長度方向Y接鄰之任意2個線圈圖案單位2a及2a (或2b及2b)相對於接鄰之區分單位15之橫境界線15H之中 點1 5C2配置成點對稱。 其次，將該等綠片17a及17b交互積層指定片數後，在 適當之溫度、壓力下將其壓接。此外，實際上，除了綠片 17a及17b以外，形成了圖1所示線圈圖案單位2C或2d之綠 片也和綠片17a及17b —起積層。又，視需要也追加積層並 壓接未形成任何線圈圖案單位之綠片。 在本實施形態，在綠片1 7a及1 7b之表面各自形成之線 圈圖案單位2a及2b之形狀及配置設為上述之條件α因而， 如圖3Β所示，在壓接綠片i7a及i7t)時，可使沿著垂直於區 分單位15之長度方向之方向X之積層偏移aWx比習知的格 外小。這是由於如下所示之理由。 即’在本實施形態’如圖2A及圖2B所示，將在和各區 分單位15之長度方向γ近似垂直之方向X接鄰之任意2個線 圈圖案單位2a及2a (或2b及2b)相對於接鄰之區分單位15 之縱境界線15V之中點15C1配置成點對稱。因而，如圖3C 所示，藉著將在各區分單位15内形成之線圈圖案單位之線 狀圖案1 0在積層方向Z重疊，想在對於該線狀囷案丨〇垂直 之方向X偏移，位於其相鄰之區分單位15之下側之線圈圖

第〗4頁 422998 五、發明說明（12) 案單位之線狀圖案10也會阻止偏移。結果，在本實施形 態，尤其可有效地防止往和區分單位1 5之長度方向（線狀 圖案10之長度方向）Y近似垂直之方向X之積層偏移。 而，例如如圖1 0 A所示，在將在方向X接鄰之任意2個 線圈圖案單位2a”及2a”（或2b”及2bn )相對於接鄰之區分單 位1 5之縱境界線1 5 V配置成線對稱之情況，由於以下之理 由易發生積層偏移。 即，在圖1 0A之情況，如圖3D所示，在各區分單位1 5 内形成之線圈圖案單位之線狀圖案10因在積層方向Z重 疊，對於該線狀圖案1 0想在垂直方向X偏移。在圖3D之情 況，和圖3C之情況不同，線狀圖案1 〇想在方向X偏移，也 不存在妨礙該偏移之圖案。 在本實施形態，如圖3C所示，因線狀圖案1〇在積層方 向Z相錯開地排列，尤其可有效地防止往和線狀圖案丨〇之 長度方向Y近似垂直之方向X之積層偏移。此外，往線狀圖 案10之長度方向Y之積層偏移AWy(省略圖示）原本就小， 不成問題。 在本實施形態，綠片1 7 a及1 7 b積層後，沿著各區分單 位1 5之境界線1 5 Η及1 5 V分割成配置於每一個元件本體j之 部分。在本實施形態，如在綠片1 7a或1 7b之一個區分單位 1 5内含有一個圖案單位2a或2b般切割積層綠片，得到相當 於元件本體1之綠晶片。 然後’進行綠晶片之脫黏合劑處理及烘烤等熱處理 在脫黏合劑處理之環境溫度未特別限定，約1 5 〇〜2 5 0 °C。

422998 五、發明說明（13) 又’供烤溫度未特別限定，約8 5 〇〜g 6 t。 然後，將所得到之燒結體之兩端部滾筒研磨，然後， 塗抹用以形成圖1所示端子電極3a&3b之銀膏，進行熱處 理，再利用電解電鍍施加錫、錫鉛合金等覆膜，得到端子 電極3a及3b。經過以上之製程，可在用陶磁構成之元件本 體1之内部實現線圈2，製作電感元件。 此外’在本發明，X方向之積層偏移AWx如圖3B所 示’意指在經由絕緣層7在積層方向（上下方向）2積層之線 圈圖案單位2a(或2b)之線狀圖案1〇彼此之中心位置在X方 向之偏移。又，Y方向之積層偏移，圖上雖所示，意 指在經由絕緣層7在積層方向（上下方向）2積層之線圈圖案 單位2a(或2b)之連接部6彼此之中心位置在γ方向之偏移。 實施形態2 如圖4A及圖4B所示，在本實施形態之電感元件之製造 方法，在綠片17a及17b之各區分單位15内形成之線圈圖案 單位2a及2b’之圖案形狀本身和上述實施形態1之線圈圖 案單位2a及2b之圖案形狀相同，但是圖案之配置不同。 即’在本實施形態’如圖4A及圖4B所示，將在各區分單位 15之長度方向Y接鄰之任意2個線圈圖案單位2a，及2a’（或 2b’及2b’）以相對於接鄰之區分單位15之橫境界線15ί1之中 點1 5C2不是點對稱配置。即，在本實施形態，將在各區分 單位15之長度方向Υ接鄰之任意2個線圈圖案單位2a，及2a’ C或2b’及2b’）在區分單位15内部配置於相同位置。 此外’在將在和各區分單位15之長度方向γ近似垂直

第16頁 42 ㈡ 98 z 五、發明說明（14) 之方向X接鄰之任意2個線圈圖案單位2a，及2a，（或2b’及 2b’）相對於接鄰之區分單位15之縱境界線15V之_點15(：1 配置成點對稱上和上述實施形態1 一樣。 本實施形態之電感元件之製造方法也將在和各區分單 位15之長度方向Y近似垂直之方向X接鄰之任意2個線圈圖 案單位2a’及2a’ （或2b’及2b’）相對於接鄰之區分單位15 之縱境界線1 5 V之中點1 5 C1配置成點對稱。因而，如圖5 a 及圖5B所示’因在各區分單位15内形成之線圈圖案單位 2a (2b’）之線狀圖案10在積層方向z重疊，對於該線狀圖 案10想在垂直方向X偏移，位於其相鄰之區分單位15之下 側之線圈圖案單位2 b ’（ 2 a ’）之線狀圖案1 〇阻礙偏移。結 果’在本實施形態’尤其可有效地防止往和區分單位15之 長度方向（線狀圖案10之長度方向）γ近似垂直之方向X之積 層偏移。 又’在本實施形態，藉著將在各區分單位15之長度方 向Y接鄰之任意2個線圈圖案單位2a，及2a’ （或2b，及2b，） 在區分單位15内部配置於相同位置，線圈圖案單位 2a’（2b’）之重複圖案不僅在X方向，在γ方向也變成相錯開 之配置。結果，也可期待也縮小γ方向之積層偏移AWy。 實施形態3 在本實施形態之電感陣列元件（電感元件之一種），如 圖6所示’在單一之元件本體1〇1内沿著元件本體1〇1之長 度方向配置複數線圈102。在元件本體ιοί之側端部和各線 圈102對應形成複數端子電極l〇3a及103b。

422998 五、發明說明（15) 圖6所示本實施形態之電感陣列元件在元件本體丨〇 1内 部形成複數線圈1 〇 2上和圖1所示電感元件不同，但是各線 圈102之構造和圖1所示線圈一樣，具有相同之作用效果。 圖6所示電感陣列元件之製造方法和圖1所示電感元件 之製造方法幾乎一樣’只是在將圖2A及圖2B所示綠片1 7a 及17b積層後切斷時如在切斷後之晶片内殘留複數線圈圖 案單位2a及2b般切斷上不同。 此外’本發明未限定為上述實施形態，可在本發明之 範圍内進行各種改變。 例如，在各區分單位内形成之線圈圖案單位之具體形 狀未限定為圖示之實施形態，可進行各種改變。 其次，依照實施例及比較例說明本發明，但是本發明 未限定為該等實施例。 實施例1 首先’準備成為圖1所示元件本體1之各絕緣層7之綠 片。照如下所示製作綠片。以指定之比例混合由（Nicu2n) FeJ4構成之鐵氧體粉末和由甲苯構成之有機溶劑、聚丁酸 乙烯醋（polyvinyl butyral)構成之黏合劑，得到黏結劑 液。利用刮刀法將這黏結劑液塗抹於等PET膜上並乾燥 後’得到厚度tl = 1 5 " m之複數綠片。 其次，對該等綠片進行雷射加工，以指定圖案形成直 徑80 " m之通孔《然後，利用網板印刷在該等綠片塗抹銀 f後乾燥’如圖2A及圖2B所示，以上述之點對稱之重複圖 案各自形成導電線圈圖案單位2a及21)。

第18頁 42299δ 五、發明說明（16) 各線圈圖案單位2a或2b在乾燥後之厚度t2為10 ’ 如圖2 A所不’具有近似平行之2個線狀圖案1 0和曲線狀圖 案1 2以及連接部6。連接部6之外徑D係1 2 0 y m，曲線狀圖 案1 2之外周部之半徑r係1 50以m。曲線狀圖案1 2之形狀係 元全之1/2圓弧β又，線狀圖案10之寬度W1係90/zm。曲線 狀圖案1 2之寬度和線狀圖案1 0之寬度W1約相等。係印刷單 一之線圈圖案單位2a或2b之範圍之區分單位15之橫向寬度 W0係0_ 52mm ’縱向長度L〇係1, 1 。線圈圖案單位之厚度 t2和綠片之厚度tl之比係2/3。 將照适樣印刷了線圈圖案單位2a及2b之綠片交互積層 1 0片後，在50 c、80 0kg/cm2之壓力下壓接後，用刀子切 開該積層體，觀察其剖面，評價χ方向之積層偏移AWx之 最大值。 其結果如表1所示。t 2/ 11=2/3時積層偏移AWx之最 大值係20 //in，確認了係小值。其次，除了改變t2及^以 外，以相同之條件形成綠片之積層體，求得積層偏移 之結果也如表1所示。確認了t 2/ tl大於2/3時積層偏移 △ Wx變大。

第19頁 4以998 表1 五、發明說明（17) 印刷乾燥後的竦圈豳案厚度 10 8 5 3 15 15 20 ?.0 綠片厚片tl(# m) 15 15 15 15 15 30 40 60 t2/tl 2/3 S/15 1/3 1/5 1/1 1/2 1/2 1/^5 扪 種厝偽移〇 m) △ Wx 比較例1 300 300 300 30 500 150 40 10 600 比較例2 60 60 60 20 100 150 20 15 700 實施例1 20 15 15 15 100 15 15 15 20 贫矻例2 15 15 15 15 80 15 15 15 20 實施例2 除了使用以圖4A及圖4B所示重複圖案配置之線圈圖案 單位2a及2b替代以圖2A及圖2B所示重複圖案配置之線圈 圖案單位2 a及2 b以外，和上述實施例1 一樣將綠片壓接 後，得到積層體。 用刀子切開該積層體’觀察其剖面，評價X方向之積 層偏移AWx之最大值。 其結果如表1所示。t 2/ t U2/3時積層偏移ΛΨχ之最 大值係1 5只m。又，除了改變12及11以外，以和實施例1相 同之條件形成綠片之積層體，求得積層偏移AWx之結果也 如表1所示。積層偏移係和實施例1等值以下。 比較例1 除了使用圖7A、圖7B、圖8A以及圖8B所示形狀之線圈 圖案單位8a及8b替代圖2A所示形狀之線圈圖案單位2a及計 以外，和上述實施例1 一樣將綠片壓接後，得到積層體。 線圈圖案單位8a及8b各自係整體上成近似L字形，具 有線寬W1為8 0 # m之γ方向長邊側線狀圖案和線寬—樣之χ

第20頁 2 2998 五、發明說明（18) 方向短邊側線狀圖案。長邊側線狀圖案之長度係〇. 55mm， 短邊側線狀圖案之長度係0.23mm。在上下積層之線圈圖案 單位8a、8b在連接部6經由通孔連接，構成線圈。 用刀子切開該積層體，觀察其剖面，評價X方向之積 層偏移AWx之最大值。 其結果如表1所示。t 2/ tl = 2/ 3時積唐偏移之最 大值係3 0 0仁m。又，除了改變12及11以外，以和實施例1 相同之條件形成綠片之積層體，求得積層偏移AWx之結果 也如表1所示。在綠片之積層厚度tl大於30#m之情況，積 層偏移不太大，但是在小於30 /zm而且t 2/ tl大於1/3之 情況’在比較例1確認了積層偏移變大。 比較例2 除了使用圖9A、圖9B、圖1 0A以及圖1 0B所示形狀之線 圈圖案單位2a’及2b’替代圖2A所示形狀之線圈圖案單位2a 及2 b以外，和上述實施例1 一樣將綠片壓接後’得到積層 體。 線圈圖案單位2a’及2b’之圖案本身和在實施例1之線 圈圖案單位2a及2b相同，但是其重複圖案之配置不同。 即，線圈圖案單位2a’及2b’在各區分單位15内配置於相同 之位置’相對於區分單位15之縱境界線15V之中心15C1不 是點對稱’相對於橫境界線1 5H之中心1 5C2也不是點對 稱。 在綠片積層後用刀子切開該積層體’觀察其剖面’評 價X方向之積層偏移之最大值。

第21頁 422998 五'發明說明（19) 其結果如表1所示。t 2/ tl=2/3時積層偏移Z\Wx之最 大值係6 Ο μ m。又’除了改變t2及t1以外，以和實施例1相 同之條件形成綠片之積層體’求得積層偏移AWx之結果也 如表1所示。在綠片之積層厚度丨1大於30 之情況’積層 偏移不太大，但是在小於30 而且t 2/ 1:1大於1/3之情 況，在比較例2確認了積層偏移變大。 評價 如表1所示，將實施例1及實施例2和比較例1及比較例 2比較後得知，尤其在綠片之厚度u為3〜25 //m、t 2/ tl 為1 / 3〜2 / 3之情況，藉著使用實施例1及實施例2之製造方 法，和比較例1及比較例2比較後，確認了可降底積層偏移 △ Wx。

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Claims (1)

1. 422998 六、申請專利範圍 1· 一種電感元件之製造方法，包括： 形成成為絕緣層之製程； 在該綠片之表面形成複數導電性之線圈圖案單位時在 該綠片之表面配置複數包含1個該線圈圖案單位之區分單 位並將在和該區分單位之長度方向近似垂直之方向°°接鄰之 任意2個線圈圖案單位相對於接鄰之區分單位之境*界線之 中點配置成點對稱之製程； 1 ''' 將點對稱地形成複數該線圈圓案單位之複數綠片 後將用該綠片隔開之上下之線圈圖案單位連接成線圈 製程；以及 將積層後之該綠月烘烤之製裎。 2. 如申請專利範圍第1項之電感元件之製造方去，盆 中在該綠片之表面形成複數線圈圖案單仿 & ’ ’其 了 |反呵將和該區公留 位之長度方向接鄰之任意2個線圈圖幸置 矿早 内部配置於相同之位置。 f m 3. 如申請專利範圍第1項之電感元件之製造方 中用具有近似平行之二個線狀圖案和速拢^’其 第1端部之曲線狀圖案構成該各線圈圖案單位。、 M系之 4. 如申請專利範圍第1項之電感元件之製二 中用相對於分割該區分單位之寬度方南化'’其 圖案構成該各線圏圖案單位。 線線對稱之 5. 如申請專利範圍第1項之.電感元件之 中將複數該綠片積層成隔著該綠片在藉爲士’其 線圈圖案單位相對於分割該區分單位 设州 < 〜個 見度方向之中心線

   第23頁 II1HH 連接部， 接成線圈狀。 元件，其中 寬度方向之 ^ ^229 9 8 六、申請專利範圍 位於線對稱位置。 6‘如申請專利範圍第1項之電感元件之製造： 中在該厚度3〜25 之綠片之表面形成厚度為綠 1/3-2/3之線圈圖案單位。 7.如申請專利範圍第1項之電感元件之製造： 中在該烘烤製程之前具有每該區分單位切割積層 片之製程。 8·如申請專利範圍第1項之電感元件之製造： 中在該烘烤製程之前具有每複數該區分單位切割 該綠片之製程。 9. 一種電感元件，包括： 元件本體，具有複數層絕緣層； 導電性線圈圖案單位，在該電感元件之内部 層ί間沿著一平面方向形成複數在一平面内接鄰 案單位係相對於包含各線圈圖案單位之區分單位 境界線之中點點對稱之圖案；以及 將用該絕緣層隔開之上下之綠^ _胃 1 Y .如申請專利範圍第9項之電感 圖案單位係相對於分割該區分單位之 對稱之圓案。 緣層如申請專利範圍第9項之電感元件，其 、’ 上下接鄰並連接之二個線圈圖幸 該區分嚴# _ 吗口系早位係 刀单仇之寬度方向之中心線位於線對稱位 「法，其 丨厚度之 r法，其 後之該綠 Γ法，其 積層後之 在該絕緣 之線圈圖 彼此間之 案單位連 該各線圈 中心線線 隔著該絕 對於分割

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