JP2015005632A - 積層コイルの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】コイル部をずらし積層により形成した積層コイルにおいて、印刷ずれに起因する積層後の線状導体の位置ずれによる影響を抑制することができる積層コイルの製造方法を提供する。
【解決手段】線状導体３２ｅが印刷された区画Ａ３２ｅ及び第２の線状導体３２ｆが印刷された区画Ａ３２ｆの組が複数集まったグリーンシート１２２ｆを積層する工程と、線状導体３２ｄが印刷された区画Ａ３２ｂ及び線状導体３２ｃが印刷された区画Ａ３２ｃの組が複数集まったグリーンシート１２２ｅを積層する工程と、グリーンシート１２２ｅ上に、更にグリーンシート１２２ｄを区画分Ａ３２ｅだけ積層方向と直交する方向にずらして積層する工程と、を備え、線状導体３２ｅの線幅は、積層方向から見て、線状導体３２ｃの線幅よりも細い。
【選択図】図３

Description

本発明は、積層コイルの製造方法、特に、複数の線状導体が印刷されたグリーンシートを一層毎に積層方向と直交する方向にずらして積層する積層コイルの製造方法に関する。

従来の積層コイルの製造方法として、例えば、特許文献１に記載の電子部品の製造方法が知られている。この種の積層コイルの製造方法では、図８に示すように、複数の線状導体が印刷されたグリーンシートを、一層毎に積層方向と直交する方向にずらして積層し（この積層方法を以下で、ずらし積層と称す）、積層コイルを製造する。

具体的には、従来の積層コイルの製造方法では、各グリーンシートに同一の印刷パターン５００が印刷されている。この印刷パターン５００は、線状導体５０１が印刷された区画Ａ５０１と，線状導体５０２が印刷された区画Ａ５０２によって構成され、区画Ａ５０１と区画Ａ５０２とが交互に並んでいる。また、区画Ａ５０１と区画Ａ５０２とを積層方向で重ね合わせ、線状導体５０１と線状導体５０２とを接続することによって、一周分のコイルを形成することが可能である。従って、従来の積層コイルの製造方法では、グリーンシートを積層する際に、一層毎にグリーンシートを区画一つ分だけ積層方向と直交する方向にずらすことによって、二層で一周分のターンを描くコイルを形成することができる。さらに、従来の積層コイルの製造方法では、最上層のグリーンシートと最下層のグリーンシートを、積層方向と直交する方向に半区画分だけずらすことによって、積層コイル内の線状導体と外部電極との接続を可能にしている。以上のようにして、従来の積層コイルの製造方法では、各グリーンシートの印刷パターンを全て同一にしている。また、各グリーンシート上の印刷パターン５００は、同一の印刷マスクを用いて作製されている。

しかし、各グリーンシート上の印刷パターンを全て同一にすると、積層コイルの設計において自由度が少ない。従って、新たな積層コイルの製造方法として、図９に示すように、外部電極に接続される線状導体が印刷されたグリーンシートＭ６００，Ｍ７００上の印刷パターンを、コイル部を成す線状導体５０１，５０２が印刷されたグリーンシートＭ５００上の印刷パターン５００と異なる印刷パターン６００，７００とする積層コイルの製造方法が考えられている。

ところで、上述の新たな積層コイルの製造方法では、印刷パターン５００を作製する印刷マスクと印刷パターン６００を作製する印刷マスクとが異なっている。これにより、図１０に示すように、グリーンシートを積層する際に用いられるグリーンシート上の基準点ＲＰに対する線状導体が印刷される部分の位置が、グリーンシートＭ５００とグリーンシートＭ６００とでずれる可能性がある（以下で、印刷ずれと称す）。なお、グリーンシートＭ５００とグリーンシートＭ７００についても、印刷ずれを起こす可能性がある。

そうすると、グリーンシートＭ５００，Ｍ６００，Ｍ７００を積層した際に、図１１に示すように、グリーンシートＭ６００，Ｍ７００上の線状導体６０１，７０１が、グリーンシートＭ５００上の線状導体５０１に対して、積層方向と直交する方向にはみ出す可能性がある。つまり、同一のマスクにより作製された印刷パターン５００であれば、基準点ＲＰに対する線状導体が印刷される部分の位置は全て同じであるから、これらを積層しても、一部の線状導体が他の線状導体に対してはみ出すことはない。一方、印刷パターン５００と異なる印刷マスク６００，７００を用いて印刷パターンを作製すると、基準点ＲＰに対する線状導体が印刷される部分の位置は、印刷パターン５００，６００，７００に用いられたマスクの種類により異なってくる。その結果、積層後に一部の線状導体が、基準の線状導体に対して、ずれた位置に配置されることになり、結果として、一部の線状導体が他の線状導体に対してはみ出すことになる。なお、一般的に、異なる印刷マスクを用いたことに起因する印刷ずれによって発生する積層後の線状導体の位置ずれは、ずらし積層により発生する線状導体の位置ずれよりも大きい。

特開２０１０−３９５７号公報

そこで、本発明の目的は、コイル部をずらし積層により形成した積層コイルにおいて、印刷ずれに起因する積層後の線状導体の位置ずれによる影響を抑制することができる積層コイルの製造方法を提供することである。

本発明の一の形態に係る積層コイルの製造方法は、
複数の線状導体が印刷されたグリーンシートを積層して、積層コイルを製造する製造方法であって、
第１の線状導体が印刷された長方形状の第１の区画、及び該第１の区画に隣接し、該第１の区画と同一形状を有し、かつ、第２の線状導体が印刷された第２の区画の組が複数集まった第１のグリーンシートを積層する第１のグリーンシート積層工程と、
前記第１の区画と同一形状を有し、かつ、第３の線状導体が印刷された第３の区画、及び該第３の区画に隣接し、前記第１の区画と同一形状を有し、かつ、第４の線状導体が印刷された第４の区画の組が複数集まった第２のグリーンシートを積層する第２のグリーンシート積層工程と、
前記第２のグリーンシート上に、更に前記第２のグリーンシートを前記第１の区画分だけ積層方向と直交する方向にずらして積層するずらし積層工程と、
を備え、
前記積層コイルを積層方向から透視すると、前記第３の線状導体と前記第４の線状導体とが環状を成し、
前記第１の線状導体の一端は、前記第１の区画の外縁を成す第１の辺と接続され、
前記第１の線状導体の一部であって前記第１の辺と隣接する第２の辺と最も近接している部分の線幅は、積層方向から見て、前記第３の線状導体における該第１の線状導体と重なる部分の線幅、又は前記第４の線状導体における該第１の線状導体と重なる部分の線幅よりも細いこと、
を特徴とする。

本発明の一の形態に係る積層コイルの製造方法では、前記第１の線状導体の一部であって前記第１の辺と隣接する第２の辺と最も近接している部分の線幅、つまり、該第１の線状導体における第１の区画の外縁に最も近い部分の線幅が、積層方向から見て、前記第３の線状導体における該第１の線状導体と重なる部分の線幅、又は前記第４の線状導体における該第１の線状導体と重なる部分の線幅よりも細い。これにより、前記第１の線状導体が積層された位置が、前記第３の線状導体、又は、前記第４の線状導体に対して、ずれた位置に積層されたとしても、第１の線状導体が、前記第３の線状導体、又は、前記第４の線状導体に対して、積層方向と直交する方向にはみ出すことが抑制される。結果として、前記第３の線状導体、又は、前記第４の線状導体を基準にマザー積層体をカットした際に、前記第１の線状導体が積層コイルの表面に露出することが防止される。さらに、前記第１の線状導体がコイルの内径側にはみ出すことが抑制されるため、インダクタンス値の減少を抑制することができる。つまり、本発明の一の形態に係る積層コイルの製造方法では、印刷ずれに起因する積層後の線状導体の位置ずれによる影響を抑制することができる。

本発明に係る積層コイルの製造方法によれば、印刷ずれに起因する積層後の線状導体の位置ずれによる影響を抑制することができる。

一実施形態に係る積層コイルの製造方法を用いて作製された積層コイルの外観斜視図である。 一実施形態に係る積層コイルの製造方法を用いて作製された積層コイルの分解斜視図である。 一実施形態に係る積層コイルの製造方法に用いられるグリーンシートの分解斜視図である。 図１のＡ−Ａ断面における断面図である。 第１変形例に係る積層コイルの製造方法を用いて作製された積層コイルの分解斜視図である。 第２変形例に係る積層コイルの製造方法を用いて作製された積層コイルの分解斜視図である。 第３変形例に係る積層コイルの製造方法を用いて作製された積層コイルの分解斜視図である。 特許文献１に記載の積層コイルの製造方法と同種の積層コイルの製造方法に用いられるグリーンシートの分解斜視図である。 新たな積層コイルの製造方法に用いられるグリーンシートの分解斜視図である。 新たな積層コイルの製造方法に用いられるグリーンシートの平面図である。 新たな積層コイルの製造方法によって製造された積層コイルの断面図である。

以下に、一実施形態に係る積層コイルの製造方法により製造された積層コイル及び該製造方法について説明する。

（積層コイルの構成 図１，図２参照）
以下に、一実施形態に係る積層コイルの製造方法により製造された積層コイルの構成について、図面を参照しながら説明する。ここで、積層コイル１の積層方向をｚ軸方向と定義し、ｚ軸方向から平面視したときに、積層コイルの長辺に沿った方向をｘ軸方向と定義し、短辺に沿った方向をｙ軸方向と定義する。なお、ｘ軸、ｙ軸及びｚ軸は互いに直交している。

積層コイル１は、積層体２０、コイル３０及び外部電極４０ａ，４０ｂを備えている。また、積層コイル１の形状は、図１に示すように、直方体である。

積層体２０は、図２に示すように、絶縁体層２２ａ〜２２ｇがｚ軸方向の正方向側からこの順に並ぶように積層されることにより構成されている。また、各絶縁体層２２ａ〜２２ｇは、ｚ軸方向から平面視したときに、長方形状を成している。従って、絶縁体層２２ａ〜２２ｇが積層されることにより構成された積層体２０の形状は、図１に示すように、直方体である。なお、以下で、各絶縁体層２２ａ〜２２ｇのｚ軸方向の正方向側の面を上面と称し、各絶縁体層２２ａ〜２２ｇのｚ軸方向の負方向側の面を下面と称す。また、絶縁体層２２ａ〜２２ｇの材料としては、磁性体（フェライト等）あるいは非磁性体（ガラスやアルミナ等、及びその複合体）が挙げられる。

外部電極４０ａは、図１に示すように、積層体２０のｘ軸方向の負方向側の表面及びその周囲の面の一部を覆うように設けられている。また、外部電極４０ｂは、積層体２０のｘ軸方向の正方向側の表面及びその周囲の面の一部を覆うように設けられている。なお、外部電極４０ａ，４０ｂの材料は、Ａｕ，Ａｇ，Ｐｄ，Ｃｕ，Ｎｉ等の導電性材料である。

コイル３０は、図２に示すように、積層体２０の内部に位置し、線状導体３２ａ〜３２ｅ及びビア導体３４ａ〜３４ｄにより構成されている。また、コイル３０は螺旋状を成しており、該螺旋の中心軸はｚ軸と平行である。つまり、コイル３０は、積層方向に進行しながら周回する螺旋状を成している。なお、コイル３０の材料は、Ａｕ，Ａｇ，Ｐｄ，Ｃｕ，Ｎｉ等の導電性材料である。

線状導体３２ａ（第１の線状導体）は、絶縁体層２２ｂの上面に設けられている線状の導体である。また、線状導体３２ａは、絶縁体層２２ｂにおける、ｘ軸方向の正方向側の外縁及びｙ軸方向の正方向側の外縁Ｌ１（第２の辺）に沿って設けられており、積層方向から見たときＬ字状を成している。そして、線状導体３２ａのｘ軸方向の負方向側の一端は、絶縁体層２２ｂのｘ軸方向の負方向側の外縁Ｌ２（第１の辺）に接続され、外縁Ｌ２から積層体２０の表面に露出し、外部電極４０ａと接続されている。さらに、線状導体３２ａのｘ軸方向の正方向側の他端は、絶縁体層２２ｂをｚ軸方向に貫通するビア導体３４ａと接続されている。

線状導体３２ｂ（第３の線状導体）は、絶縁体層２２ｃの上面に設けられている線状の導体である。また、線状導体３２ｂは、絶縁体層２２ｃにおける、ｘ軸方向の正負両側の外縁及びｙ軸方向の負方向側の外縁に沿って設けられており、積層方向から見たとき、ｙ軸方向の正方向側に開口部を有するコの字状を成している。そして、線状導体３２ｂにおけるｘ軸方向の正方向側の一端は、ビア導体３４ａと接続されている。さらに、線状導体３２ｂのｘ軸方向の負方向側の他端は、絶縁体層２２ｃをｚ軸方向に貫通するビア導体３４ｂと接続されている。

線状導体３２ｃ（第４の線状導体）は、絶縁体層２２ｄの上面に設けられている線状の導体である。また、線状導体３２ｃは、絶縁体層２２ｄにおける、ｘ軸方向の正負両側の外縁及びｙ軸方向の正方向側の外縁Ｌ３に沿って設けられており、積層方向から見たとき、ｙ軸方向の負方向側に開口部を有するコの字状を成している。従って、ｙ軸方向の正方向側に開口部を有するコの字状を成している線状導体３２ｂと線状導体３２ｃとを、積層方向から見ると、環状を成している。そして、線状導体３２ｃにおけるｘ軸方向の負方向側の一端は、ビア導体３４ｂと接続されている。さらに、線状導体３２ｃのｘ軸方向の正方向側の他端は、絶縁体層２２ｄをｚ軸方向に貫通するビア導体３４ｃと接続されている。

線状導体３２ｄ（第３の線状導体）は、絶縁体層２２ｅの上面に設けられている線状の導体である。また、線状導体３２ｄは、絶縁体層２２ｅにおける、ｘ軸方向の正負両側の外縁及びｙ軸方向の負方向側の外縁に沿って設けられており、積層方向から見たとき、ｙ軸方向の正方向側に開口部を有するコの字状を成している。つまり、線状導体３２ｄは、線状導体３２ｂと同一の形状である。従って、ｙ軸方向の負方向側に開口部を有するコの字状を成している線状導体３２ｃと線状導体３２ｄとを、積層方向から見ると、環状を成している。そして、線状導体３２ｄにおけるｘ軸方向の正方向側の一端は、ビア導体３４ｃと接続されている。さらに、線状導体３２ｄのｘ軸方向の負方向側の他端は、絶縁体層２２ｅをｚ軸方向に貫通するビア導体３４ｄと接続されている。

線状導体３２ｅ（第１の線状導体）は、絶縁体層２２ｆの上面に設けられている線状の導体である。また、線状導体３２ｅは、絶縁体層２２ｆにおける、ｘ軸方向の負方向側の外縁及びｙ軸方向の正方向側の外縁Ｌ４（第２の辺）に沿って設けられており、積層方向から見たときＬ字状を成している。そして、線状導体３２ｅのｘ軸方向の負方向側の一端は、ビア導体３４ｄと接続されている。さらに、線状導体３２ｅのｘ軸方向の正方向側の他端は、絶縁体層２２ｆのｘ軸方向の正方向側の外縁Ｌ５（第１の辺）に接続され、外縁Ｌ５から積層体２０の表面に露出し、外部電極４０ｂと接続されている。

以上のように構成された積層コイル１において、線状導体３２ａの外縁Ｌ１に沿う部分Ｐ１は、積層方向から見たときに、外縁Ｌ３と沿う部分Ｐ３と重なっている。そして、部分Ｐ１の線幅ｄ１は、部分Ｐ３の線幅ｄ３よりも細い。また、線状導体３２ｅの外縁Ｌ４に沿う部分Ｐ４は、積層方向から見たときに、線状導体３２ｃの外縁Ｌ３と沿う部分Ｐ３と重なっている。そして、部分Ｐ４の線幅ｄ４は、部分Ｐ３の線幅ｄ３よりも細い。

（製造方法 図３参照）
一実施形態に係る積層コイルの製造方法について以下に説明する。なお、グリーンシートの積層方向をｚ軸方向と定義する。また、一実施形態に係る積層コイルの製造方法により作製される積層コイル１の長辺方向をｘ軸方向と定義し、短辺方向をｙ軸方向と定義する。

まず、絶縁体層２２ａ〜２２ｇとなるべきグリーンシートを準備する。具体的には、酸化第二鉄（Ｆｅ₂Ｏ₃）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）及び酸化ニッケル（ＮｉＯ）を所定の比率で秤量した後、それぞれの材料を原材料としてボールミルに投入し、湿式調合を行う。得られた混合物を乾燥してから粉砕し、得られた粉末を仮焼する。さらに、仮焼粉末をボールミルにて湿式粉砕した後、乾燥してから解砕して、フェライトセラミック粉末を得る。

このフェライトセラミック粉末に対して結合剤（酢酸ビニル、水溶性アクリル等）と可塑剤、湿潤剤、分散剤を加えてボールミルで混合を行い、その後、減圧により脱泡を行う。得られたセラミックスラリーをドクターブレード法により、キャリアフィルム上にシート状に形成して乾燥させ、絶縁体層２２ａ〜２２ｇとなるべきグリーンシート１２２ａ〜１２２ｇを作製する。

次に、グリーンシート１２２ｂ〜１２２ｅにレーザービームを照射し、ビアホールを形成する。更に、Ａｕ，Ａｇ，Ｐｄ，Ｃｕ，Ｎｉ等を主成分とする導電性ペーストをビアホールに対して充填することにより、ビアホール導体３４ａ〜３４ｄを形成する。なお、ビアホールに導電性ペーストを充填する工程は、後述する線状導体３２ａ〜３２ｅを形成する工程と同時に行われてもよい。

ビアホール形成後又はビアホール導体形成後に、グリーンシート１２２ｂ〜１２２ｆの表面上に、Ａｕ，Ａｇ，Ｐｄ，Ｃｕ，Ｎｉ等を主成分とする導電性ペーストを、スクリーン印刷により塗布し、線状導体３２ａ〜３２ｅを形成する。

ここで、図３に示すように、グリーンシート１２２ｂには、印刷パターン２００が印刷される。印刷パターン２００は、線状導体３２ａ、及び線状導体３２ａをｘ軸及びｙ軸と平行な平面上で１８０°回転させた形状を成す線状導体３２ｇを含む。そして、印刷パターン２００が印刷されたグリーンシート１２２ｂは、線状導体３２ａが印刷された区画Ａ３２ａ（第１の区画）、及び線状導体３２ｇが印刷された区画Ａ３２ｇ（第２の区画）によって構成され、区画Ａ３２ａと区画Ａ３２ｇとは隣接し、ｘ軸方向に交互に並んでいる。また、区画Ａ３２ａと区画Ａ３２ｇとからなる組が格子状に並んでいる。さらに、区画Ａ３２ａと区画Ａ３２ｇとは、共に長方形状であり、つまり同一の形状である。

また、グリーンシート１２２ｆには、印刷パターン３００が印刷される。印刷パターン３００は、線状導体３２ｅ、及び線状導体３２ｅをｘ軸及びｙ軸と平行な平面上で１８０°回転させた形状を成す線状導体３２ｆを含む。そして、印刷パターン３００が印刷されたグリーンシート１２２ｆは、線状導体３２ｅが印刷された区画Ａ３２ｅ（第１の区画）、及び線状導体３２ｆが印刷された区画Ａ３２ｆ（第２の区画）によって構成され、区画Ａ３２ｅと区画Ａ３２ｆとは隣接し、ｘ軸方向に交互に並んでいる。また、区画Ａ３２ｅと区画Ａ３２ｆとからなる組が格子状に並んでいる。さらに、区画Ａ３２ｅと区画Ａ３２ｆとは、共に長方形状であり、つまり同一の形状である。また、区画Ａ３２ｅと区画Ａ３２ｆとは、区画Ａ３２ａと同一の形状である。

さらに、グリーンシート１２２ｃ〜１２２ｅには、同じマスクを用いて、線状導体３２ｂ〜３２ｄを含む印刷パターン４００が印刷される。印刷パターン４００が印刷されたグリーンシート１２２ｃ〜１２２ｅは、線状導体３２ｂ（３２ｄ）が印刷された区画Ａ３２ｂ（第３の区画）、及び線状導体３２ｃが印刷された区画Ａ３２ｃ（第４の区画）によって構成され、区画Ａ３２ｂと区画Ａ３２ｃとは隣接し、ｘ軸方向に交互に並んでいる。また、区画Ａ３２ｂと区画Ａ３２ｃとからなる組が格子状に並んでいる。区画Ａ３２ｂ及び区画Ａ３２ｃは、共に長方形状であり、区画Ａ３２ｅと同一の形状である。

次に、グリーンシート１２２ａ〜１２２ｇをこの順に並ぶように積層・圧着して、未焼成のマザー積層体を得る。

具体的には、まず、アルミナ基板（図示しない）等の保持基板上にグリーンシート１２２ｇを積層する。

次に、グリーンシート１２２ｇの上にグリーンシート１２２ｆを積層する。

さらに、グリーンシート１２２ｆの上にグリーンシート１２２ｅを積層する。これにより、グリーンシート１２２ｅ上の線状導体３２ｄ（３２ｂ）が、グリーンシート１２２ｅを挟んで線状導体３２ｅの上に配置される。これと同時に、グリーンシート１２２ｅ上の線状導体３２ｃが、グリーンシート１２２ｅを挟んで線状導体３２ｆの上に配置される。

続いて、グリーンシート１２２ｅの上にグリーンシート１２２ｄを積層する。このとき、グリーンシート１２２ｄを、グリーンシート１２２ｅを基準として、ｘ軸方向の正方向側に１区画分だけずらして積層する。これにより、グリーンシート１２２ｄ上の線状導体３２ｃが、グリーンシート１２２ｄを挟んで線状導体３２ｄ（３２ｂ）の上に配置される。これと同時に、グリーンシート１２２ｄ上の線状導体３２ｄ（３２ｂ）が、グリーンシート１２２ｄを挟んで線状導体３２ｃ上に配置される。

その後、グリーンシート１２２ｄの上にグリーンシート１２２ｃを積層する。このとき、グリーンシート１２２ｃを、グリーンシート１２２ｄを基準として、ｘ軸方向の負方向側に１区画分だけずらして積層する。これにより、グリーンシート１２２ｃ上の線状導体３２ｂ（３２ｄ）が、グリーンシート１２２ｃを挟んで線状導体３２ｃの上に配置される。これと同時に、グリーンシート１２２ｃ上の線状導体３２ｃが、グリーンシート１２２ｃを挟んで線状導体３２ｄ（３２ｂ）の上に配置される。

そして、グリーンシート１２２ｃ上にグリーンシート１２２ｂを積層する。これにより、グリーンシート１２２ｂ上の線状導体３２ａが、グリーンシート１２２ｂを挟んで線状導体３２ｂ（３２ｄ）の上に配置される。これと同時に、グリーンシート１２２ｂ上の線状導体３２ｇが、グリーンシート１２２ｂを挟んで線状導体３２ｃの上に配置される。

さらに、グリーンシート１２２ｂの上にグリーンシート１２２ａを積層する。

積層終了後に、未焼成のマザー積層体を静水圧プレスなどにより加圧して本圧着を行う。

次に、マザー積層体をカット刃により所定寸法の積層体２０にカットする。その後、未焼成の積層体２０に、脱バインダー処理及び焼成を施す。脱バインダー処理は、例えば、低酸素雰囲気中において５００℃で２時間の条件で行う。焼成は、例えば、８００℃〜９００℃で２．５時間の条件で行う。

焼成後に、外部電極４０ａ，４０ｂを形成する。まず、Ａｇを主成分とする導電性材料からなる電極ペーストを積層体２０の表面に塗布する。次に、塗布した電極ペーストを約８００℃の温度で１時間の条件で焼き付ける。これにより、外部電極４０ａ，４０ｂの下地電極が形成される。

最後に、下地電極の表面にＮｉ／Ｓｎめっきを施す。これにより、外部電極４０ａ，４０ｂが形成される。以上の工程により、積層コイル１が完成する。

なお、上述の積層コイルの製造方法では、積層コイル１に加え、線状導体３２ｂ〜３２ｄ、３２ｆ、３２ｇを含む積層コイルが製造される。該積層コイルは、外部電極４０ａ，４０ｂと積層体内部のコイルとの接続関係が積層コイル１と異なる以外に大きな相違点はないため、詳細な説明は省略する。なお、線状導体３２ｂ〜３２ｄ、３２ｆ、３２ｇを含む積層コイルは、ｚ軸を中心に１８０°回転させると、積層コイル１と同じ構造の積層コイルとなる。

（効果 図２〜図４参照）
上述の一実施形態に係る積層コイルの製造方法で作製された積層コイル１では、図２に示すように、線状導体３２ａ，３２ｅの外縁Ｌ１，Ｌ４に沿う部分Ｐ１，Ｐ４の線幅ｄ１，ｄ４は、線状導体３２ｃの外縁Ｌ３に沿う部分Ｐ３の線幅ｄ３よりも細い。これにより、線状導体３２ａ，３２ｅが積層された位置が、印刷ずれに起因して線状導体３２ｃに対してずれた位置に積層された場合でも、図４に示すように、線状導体３２ａ，３２ｅが、線状導体３２ｃに対して、積層方向と直交する方向（より詳細にはｙ軸方向の正方向側）にはみ出すことが抑制される。結果として、線状導体３２ｃを基準にマザー積層体をカットした際に、線状導体３２ａ，３２ｅが積層コイル１の表面に露出することが防止される。さらに、線状導体３２ａ，３２ｅがｙ軸方向の負方向側にずれた場合に、線状導体３２ａ，３２ｅがコイルの内径側にはみ出すことが抑制されるため、インダクタンス値の減少を抑制することができる。つまり、本発明の一の形態に係る積層コイルの製造方法では、印刷ずれに起因する積層後の線状導体の位置ずれによる影響を抑制することができる。

また、上述の一実施形態に係る積層コイルの製造方法では、図３に示すように、グリーンシート１２２ｃを、グリーンシート１２２ｄを基準として、ｘ軸方向に１区画分だけずらして積層している。つまり、本実施形態に係る積層コイルの製造方法では、ｙ軸方向に向かって、ずらし積層を行っていないため、線状導体３２ｂが、線状導体３２ｃに対してｙ軸方向にずれて配置されることが抑制される。これにより、線状導体３２ｃを基準にマザー積層体をカットした際に、線状導体３２ｂが、積層コイル１の表面へ露出することが抑制される。さらに、線状導体３２ｂが、コイルの内径側にはみ出すことも抑制されるため、インダクタンス値の減少を抑制することができる。また、グリーンシート１２２ｄを、グリーンシート１２２ｅを基準として、ｘ軸方向に１区画分だけずらして積層している。これについても、上記と同様の効果を奏する。

（第１変形例 図５参照）
第１変形例に係る積層コイルの製造方法で作製された積層コイル１Ａと積層コイル１との相違点は、線状導体３２ａ，３２ｅの形状である。具体的には、積層コイル１Ａにおける線状導体３２ａ，３２ｅは、図５に示すように、ｘ軸方向の正負両側の外縁及びｙ軸方向の正負両側の外縁に沿って設けられている。

このとき、線状導体３２ａのｙ軸方向の正方向側の外縁Ｌ１（第２の辺）に沿う部分Ｐ１の線幅ｄ１は、線状導体３２ｃのｙ軸方向の正方向側の外縁Ｌ３に沿う部分Ｐ３の線幅ｄ３より細い。さらに、線状導体３２ａのｙ軸方向の負方向側の外縁Ｌ６（第２の辺）に沿う部分Ｐ６の線幅ｄ６は、線状導体３２ｂのｙ軸方向の負方向側の外縁Ｌ７に沿う部分Ｐ７の線幅ｄ７、及び線状導体３２ｄのｙ軸方向の負方向側の外縁Ｌ８に沿う部分Ｐ８の線幅ｄ８よりも細い。

また、線状導体３２ｅのｙ軸方向の正方向側の外縁Ｌ４（第２の辺）に沿う部分Ｐ４の線幅ｄ４は、線状導体３２ｃのｙ軸方向の正方向側の外縁Ｌ３に沿う部分Ｐ３の線幅ｄ３より細い。さらに、線状導体３２ｅのｙ軸方向の負方向側の外縁Ｌ９（第２の辺）に沿う部分Ｐ９の線幅ｄ９は、線状導体３２ｂのｙ軸方向の負方向側の外縁Ｌ７に沿う部分Ｐ７の線幅ｄ７、及び線状導体３２ｄのｙ軸方向の負方向側の外縁Ｌ８に沿う部分Ｐ８の線幅ｄ８よりも細い。

上記のように構成された積層コイル１Ａでは、線状導体３２ａ，３２ｅが、線状導体３２ｂ〜３２ｄに対して、積層方向と直交する方向にはみ出すことが抑制される。従って、積層コイル１Ａを作製する積層コイルの製造方法では、印刷ずれに起因する積層後の線状導体の位置ずれによる影響を抑制することができる。なお、積層コイル１Ａにおける他の構成は積層コイル１と同様である。従って、積層１Ａにおいて線状導体３２ａ，３２ｅ以外の説明は積層コイル１での説明のとおりである。

（第２変形例 図６参照）
第２変形例に係る積層コイルの製造方法で作製された積層コイル１Ｂと積層コイル１との相違点は、線状導体３２ａ〜３２ｅの形状である。具体的には、積層コイル１Ｂにおける線状導体３２ａ〜３２ｅは、図６に示すように、各線状導体の角部分が曲線によって構成されている点である。

上記のように構成された積層コイル１Ｂについても、積層コイル１と同様の効果を奏する。つまり、積層コイル１Ｂを作製する積層コイルの製造方法では、印刷ずれに起因する積層後の線状導体の位置ずれによる影響を抑制することができる。また、積層コイル１Ｂにおける他の構成は積層コイル１と同様である。従って、積層１Ｂにおいて線状導体３２ａ〜３２ｅ以外の説明は積層コイル１での説明のとおりである。

（第３変形例 図７参照）
第３変形例に係る積層コイルの製造方法で作製された積層コイル１Ｃと積層コイル１との相違点は、線状導体３２ａ〜３２ｅの形状である。具体的には、積層コイル１Ｃにおける線状導体３２ａ〜３２ｅは、図７に示すように、半楕円を描くように絶縁体層２２ｂ〜２２ｆ上に設けられている。

このとき、線状導体３２ａのｙ軸方向の正方向側の外縁Ｌ１（第２の辺）に最も近接している部分Ｐ１Ｃの線幅ｄ１Ｃは、ｚ軸方向から見て、線状導体３２ｃにおける部分Ｐ１Ｃと重なる部分Ｐ３Ｃの線幅ｄ３Ｃより細い。さらに、線状導体３２ｅのｙ軸方向の正方向側の外縁Ｌ４（第２の辺）に最も近接している部分Ｐ４Ｃの線幅ｄ４Ｃは、ｚ軸方向から見て、線状導体３２ｃにおける部分Ｐ４Ｃと重なる部分Ｐ３Ｃの線幅ｄ３Ｃより細い。

上記のように構成された積層コイル１Ｃについても、積層コイル１と同様の効果を奏する。つまり、積層コイル１Ｃを作製する積層コイルの製造方法では、印刷ずれに起因する積層後の線状導体の位置ずれによる影響を抑制することができる。

なお、積層コイル１Ｃでは、外縁Ｌ１に最も近接している部分Ｐ１Ｃの線幅ｄ１Ｃ、及び外縁Ｌ４に最も近接している部分Ｐ４Ｃの線幅ｄ４Ｃを細くしている。これは、線状導体３２ｃを基準にマザー積層体をカットした際に、線状導体３２ａ，３２ｅが積層コイル１の表面に露出することを防止するために、最も効果的な部分だからである。

積層コイル１Ｃにおける他の構成は積層コイル１と同様である。従って、積層１Ｃにおいて線状導体３２ａ〜３２ｅ以外の説明は積層コイル１での説明のとおりである。

（その他の実施形態）
本発明に係る積層コイルの製造方法は、前記実施形態に係る積層コイルの製造方法に限らずその要旨の範囲内において変更可能である。例えば、線状導体３２ａの線幅ｄ１のみを線状導体３２ｃの線幅ｄ３よりも細くし、線状導体３２ｅの線幅ｄ４を線幅ｄ３と同じにしてもよい。

また、線状導体３２ｂ，３２ｄと線状導体３２ｃとは、互いに点対称な構造を有している。しかしながら、線状導体３２ｂ，３２ｄと線状導体３２ｃとは、ｚ軸方向から透視したときに環状をなしていればよく、互いに点対称な構造を有していなくてもよい。

さらに、線状導体３２ａ，３２ｅにおいて、積層コイル１及び積層コイル1Ａでは、絶縁体層２２ｂにおけるｙ軸方向に位置する外縁Ｌ１，Ｌ６に沿う部分の線幅ｄ１、ｄ６、及び絶縁体層２２ｆにおけるｙ軸方向に位置する外縁Ｌ４，Ｌ９に沿う部分の線幅ｄ４、ｄ９のみを細くしたが、これに加え、ｘ軸方向の外縁に沿う部分の線幅を細くしてもよい。

以上のように、本発明は、積層コイルの製造方法に対して有用であり、特にコイル部をずらし積層により形成した積層コイルにおいて、印刷ずれに起因する積層後の線状導体の位置ずれの影響を抑制することができる点において優れている。

Ａ３２ａ，Ａ３２ｅ 第１の区画
Ａ３２ｂ 第３の区画
Ａ３２ｃ 第４の区画
Ａ３２ｆ，Ａ３２ｇ 第２の区画
ｄ１，ｄ１Ｃ，ｄ３，ｄ３Ｃ，ｄ４，ｄ４Ｃ 線幅
Ｌ１，Ｌ４，Ｌ６，Ｌ９ 第２の辺
Ｌ２，Ｌ５ 第１の辺
１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃ 積層コイル
１２２ａ〜１２２ｇ グリーンシート
３２ａ，３２ｅ 第１の線状導体
３２ｂ，３２ｄ 第３の線状導体
３２ｃ 第４の線状導体
３２ｆ，３２ｇ 第２の線状導体

Claims (4)

1. 複数の線状導体が印刷されたグリーンシートを積層して、積層コイルを製造する製造方法であって、
   第１の線状導体が印刷された長方形状の第１の区画、及び該第１の区画に隣接し、該第１の区画と同一形状を有し、かつ、第２の線状導体が印刷された第２の区画の組が複数集まった第１のグリーンシートを積層する第１のグリーンシート積層工程と、
   前記第１の区画と同一形状を有し、かつ、第３の線状導体が印刷された第３の区画、及び該第３の区画に隣接し、前記第１の区画と同一形状を有し、かつ、第４の線状導体が印刷された第４の区画の組が複数集まった第２のグリーンシートを積層する第２のグリーンシート積層工程と、
   前記第２のグリーンシート上に、更に前記第２のグリーンシートを前記第１の区画分だけ積層方向と直交する方向にずらして積層するずらし積層工程と、
   を備え、
   前記積層コイルを積層方向から透視すると、前記第３の線状導体と前記第４の線状導体とが環状を成し、
   前記第１の線状導体の一端は、前記第１の区画の外縁を成す第１の辺と接続され、
   前記第１の線状導体の一部であって前記第１の辺と隣接する第２の辺と最も近接している部分の線幅は、積層方向から見て、前記第３の線状導体における該第１の線状導体と重なる部分の線幅、又は前記第４の線状導体における該第１の線状導体と重なる部分の線幅よりも細いこと、
   を特徴とする積層コイルの製造方法。
2. 前記第２のグリーンシート積層工程では、前記第１のグリーンシート上に前記第２のグリーンシートを積層すること、
   を特徴とする請求項１に記載の積層コイルの製造方法。
3. 前記第１のグリーンシート積層工程が、前記ずらし工程の後に行われること、
   を特徴とする請求項１又は請求項２に記載の積層コイルの製造方法。
4. 前記ずらし積層工程において、前記第２のグリーンシートをずらす方向は、前記第２の辺と平行な方向であること、
   を特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の積層コイルの製造方法。

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