TW201731701A - 絲網印刷裝置、絲網印刷版、絲網印刷版之製造方法及帶有印刷層之基材之製造方法 - Google Patents
絲網印刷裝置、絲網印刷版、絲網印刷版之製造方法及帶有印刷層之基材之製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- TW201731701A TW201731701A TW105137802A TW105137802A TW201731701A TW 201731701 A TW201731701 A TW 201731701A TW 105137802 A TW105137802 A TW 105137802A TW 105137802 A TW105137802 A TW 105137802A TW 201731701 A TW201731701 A TW 201731701A
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- screen
- printing
- printed
- density portion
- pattern
- Prior art date
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41F—PRINTING MACHINES OR PRESSES
- B41F15/00—Screen printers
- B41F15/14—Details
- B41F15/44—Squeegees or doctors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41F—PRINTING MACHINES OR PRESSES
- B41F15/00—Screen printers
- B41F15/14—Details
- B41F15/34—Screens, Frames; Holders therefor
- B41F15/36—Screens, Frames; Holders therefor flat
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Screen Printers (AREA)
- Printing Methods (AREA)
- Printing Plates And Materials Therefor (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Abstract
本發明之課題在於提供一種即便增大基材與絲網印刷版之間隙，亦可實現高精度且滲色較小之印刷的絲網印刷裝置、絲網印刷版、絲網印刷版之製造方法、及帶有印刷層之基材之製造方法。 本發明之絲網印刷裝置100係將刮板17朝絲網印刷版21抵壓，而於具有曲面形狀之基材13之被印刷面15形成所期望之印刷圖案之印刷層。絲網27係隔有間隙地配置於被印刷面15上。絲網27上形成有修正印刷圖案，該修正印刷圖案係以與作為目標之所期望之印刷圖案一致的方式，對絲網27於刮板17將絲網27下壓並向印刷方向掃掠時，在印刷層之印刷方向、與印刷方向交叉之刮板17之寬度方向、及正交於印刷方向與寬度方向之被印刷面15之高度方向上因彈性變形而產生的印刷圖案偏移進行修正。
Description
本發明係關於絲網印刷裝置、絲網印刷版、絲網印刷版之製造方法及帶有印刷層之基材之製造方法。
於絲網印刷裝置中，一般設計具有與欲印刷之圖案相同形狀之印刷圖案的絲網印刷版。即，對被印刷面，使用具有所期望之印刷圖案之絲網版，以刮板按壓絲網版而進行印刷。於將該絲網印刷應用於例如顯示器等用途之加飾印刷之情形時，要求較高之尺寸精度。又，於印刷部與非印刷部之界面上，亦要求減小滲色。 若以刮板按壓，則絲網版會伸展彎曲，因此印刷圖案形變。雖該形變較微小，但於轉印時表現為印刷材料之偏移，而阻礙高精度之印刷。又，近年來，出現了對具有曲面之基材實施印刷之需求(參照專利文獻1等)。尤其於對凹曲面之印刷中，越為彎曲深度大之凹面越必須擴大基材之被印刷面與絲網印刷版之間隙。越擴大被印刷面與版面之距離，則因印刷時絲網版之伸展而使印刷部與非印刷部之直線性丟失，越會導致自所期望之圖案形變。其結果，即便於凹面進行印刷亦成為與欲印刷之圖案不同之形狀，從而產生無法實現所期望之印刷之問題。 [先前技術文獻] [專利文獻] [專利文獻1]美國專利第8561535號說明書
[發明所欲解決之問題] 本發明之目的在於提供一種即便擴大基材與絲網印刷版之間隙，亦可實現高精度且滲色較小之印刷的絲網印刷裝置、絲網印刷版、絲網印刷版之製造方法、及帶有印刷層之基材之製造方法。 [解決問題之技術手段] 本發明包含下述構成。 (1)一種絲網印刷裝置，其特徵在於：其係以刮板將具有可彈性變形之絲網之絲網印刷版下壓於具有曲面形狀之基材之被印刷面而形成所期望之印刷圖案之印刷層者，且 上述絲網係隔有間隙地配置於上述基材之被印刷面上； 上述絲網形成有修正印刷圖案，該修正印刷圖案係以與作為目標之上述所期望之印刷圖案一致的方式，對上述絲網於上述刮板將上述絲網下壓並向印刷方向掃掠時，在上述印刷層之印刷方向、與該印刷方向交叉配置之上述刮板之寬度方向、及正交於上述印刷方向與上述寬度方向之上述被印刷面之高度方向上因彈性變形而產生的印刷圖案偏移進行修正。 (2)一種絲網印刷版，其特徵在於：其係將可彈性變形之絲網之絲網緣部固定於框體，且用以於具有曲面形狀之基材進行絲網印刷者，且 上述絲網具有：低密度部，其使印刷材料通過；及高密度部，其限制上述印刷材料之通過；且 上述低密度部係與上述高密度部鄰接地配置，且其與上述高密度部之邊界線之至少一部分為曲線。 (3)一種絲網印刷版之製造方法，其特徵在於：其係將可彈性變形之絲網之絲網緣部固定於框體，將刮板抵壓於上述絲網，而於具有曲面形狀之基材之被印刷面形成所期望之印刷圖案之印刷層者，且包含如下步驟： 求出修正印刷圖案，該修正印刷圖案係以與作為與目標之上述所期望之印刷圖案一致的方式，對上述絲網於上述印刷層之印刷方向、與該印刷方向交叉配置之上述刮板之寬度方向、及正交於上述印刷方向與上述寬度方向之上述被印刷面之高度方向上因彈性變形而產生的印刷圖案偏移進行修正；及 將求出之上述修正印刷圖案形成於上述絲網。 (4)一種具有曲面形狀之帶有印刷層之基材之製造方法，其特徵在於：其係以刮板將具有可彈性變形之絲網之絲網印刷版下壓於具有曲面形狀之基材之被印刷面而形成所期望之印刷圖案之印刷層者，且 上述絲網具有修正印刷圖案，該修正印刷圖案係以與作為與目標之上述所期望之印刷圖案一致的方式，對上述絲網於上述刮板下壓上述絲網並向印刷方向掃掠時，在上述印刷層之印刷方向、與該印刷方向交叉配置之上述刮板之寬度方向、及正交於上述印刷方向與上述寬度方向之上述被印刷面之高度方向上因彈性變形而產生的印刷圖案偏移進行修正。 [發明之效果] 根據本發明，即便擴大基材之被印刷面與絲網印刷版之間隙，亦可實現高精度且滲色較小之印刷。
以下，對本發明之實施形態，參照圖式詳細地進行說明。 ＜第1構成例＞ 圖1係本發明之絲網印刷裝置之概略構成圖。 絲網印刷裝置100係將所期望之印刷圖案之印刷層形成於具有曲面形狀之基材13之被印刷面15。絲網印刷裝置100具有刮板17、台座19、絲網印刷版21、及刮板驅動部23。 絲網印刷版21配置於台座19上，且與基材13之被印刷面15之間形成特定之間隙。刮板17係刮板前端部25可按壓絲網27地配置於絲網印刷版21之上方。刮板驅動部23將刮板前端部25朝向絲網27下壓，一面使其與絲網27滑接一面使刮板17沿著圖中箭頭所示之印刷方向移動。絲網27藉由被刮板前端部25按壓，而向下側突出並抵接於基材13之被印刷面15。藉此，載於絲網上之印刷材料被轉印至被印刷面15，從而將絲網27之印刷圖案印刷於被印刷面15。本構成之刮板17與印刷方向正交而配置，但除直角以外亦可使其交叉配置。 作為台座19之材料，可使用較基材13更柔軟之材料，例如碳或樹脂。作為樹脂例如可使用BAKELITE(註冊商標)、PEEK(註冊商標)、氯乙烯、DURACON(註冊商標)等。該等樹脂亦可被實施用以賦予導電性之導電膜等之表面處理或碳等之混合等。又，台座19具有與基材13之被印刷面15大致相同形狀之向下凹陷之彎曲形狀的台座表面19a。又，台座19係自台座表面19a凹陷而形成收納基材13之凹槽19b。基材13於被收納於該凹槽19b之狀態下，使被印刷面15略微自台座表面19a突出。 台座19(至少表面)之體積電阻率較佳為109
Ωm以下，更佳為107
Ωm～108
Ωm。藉此，抑制印刷時所產生之靜電，且絲網27之自被印刷面15之離版變佳，進而印刷材料之分斷變佳，可不污染版地提高印刷精度。又，由於可降低靜電，故不會吸引塵埃等異物，可形成良好之印刷層。 另，基材13之向台座19之固定係不限於在台座10設置與基材13相同形狀之凹槽19b，並嵌入於該凹槽19b之方法。例如，雖省略圖示，但亦可為如下之方法：使台座19之表面開口吸引與真空裝置連接之外部空氣之複數個孔，從而真空吸附基材13。又，亦可於凹槽19b內設置吸引用之複數個孔20。 圖2(A)係絲網印刷版之俯視圖，圖2(B)係(A)之A-A剖視圖。 絲網印刷版21將可彈性變形之矩形形狀之絲網27之絲網緣部藉由接著劑等固定於四角形狀之樹脂製之框體29。絲網27係藉由特多龍、尼龍、聚酯等樹脂材料、或不鏽鋼材等金屬材料構成。 於本構成中，由於於圖1所示之具有曲面形狀之基材13進行印刷，故必須將絲網27以刮板17壓入。即，與通常平坦之絲網印刷版相比，必須將絲網27與被印刷面15之間隔擴大基材13之彎曲深度(最大高低差)存在之量。因此，作為絲網27之材料，較佳可使用伸展性較高之尼龍。 另，絲網27與被印刷面15之間隙(clearance)係最小間隙較佳為1 mm以上，更佳為2 mm以上。又，最大間隙較佳為15 mm以下，更佳為10 mm以下。若為上述範圍則可將絲網27確實地壓入至被印刷面15，從而獲得良好之離版。 圖3係絲網之俯視圖。 於安裝於絲網印刷版21之絲網27，如該圖所示般形成對應於印刷圖像之修正印刷圖案31。一般而言，絲網印刷版21之印刷圖案於由刮板17下壓至被印刷面15並向印刷方向掃掠時，絲網27於印刷方向與正交於該印刷方向之寬度方向彈性變形。因該彈性變形導致印刷位置偏移。因此，根據產生之偏移量，以與作為目標之所期望之印刷圖案一致之方式修正形成於絲網27之修正印刷圖案31。本絲網印刷版21係基於根據預設之基材13與絲網27之位置關係而唯一地決定修正印刷圖案31之修正印刷圖案之設計方法而製作。 修正印刷圖案31具有：低密度部33，其使印刷材料通過；及高密度部35，其限制印刷材料之通過。低密度部33與高密度部35鄰接地配置。修正印刷圖案31係其低密度部33與高密度部35之邊界線之至少一部分形成為修正線37。本構成例之絲網印刷版21具有基材13之被印刷面15上之印刷圖像成為矩形框之圖案，且修正線37為曲線。此處所言之「曲線」亦可為連接短線段而近似成所期望之曲線之形狀。作為該短線段之長度較佳為300 mm以下，更佳為50 mm以下，進而較佳為10 mm以下。藉由連接該範圍之線段並近似為曲線而形成修正線37，可獲得與所期望之曲線相同程度之印刷精度，且可抑制絲網印刷版21之製造成本。另，下限值並無特別限制。 圖4係顯示以圖3所示之修正印刷圖案31之絲網27印刷之矩形狀之印刷圖像之俯視圖。另，圖中虛線表示基材13之外周緣，於基材13，形成有對應於絲網27之低密度部33之印刷圖像39。於該情形時，絲網27之低密度部33較基材13之外周緣更為朝外側延伸，於基材13之外周緣外側亦形成印刷圖像39。然而，由於基材13之外周緣外側之印刷圖像39被轉印至台座19，故於基材13上，如圖5所示般形成矩形狀之印刷圖像39a。惟基材13相對於台座表面19a突出100～300 μm左右，故印刷圖像39之印刷材料不會附著於台座，不會污染基材。 上述之絲網印刷版21之絲網27係如圖3所示，由低密度部33包圍高密度部35而形成。又，絲網印刷版21係其絲網27具有相對於X方向之絲網中心線LV
、與相對於Y方向之絲網中心線LH
之2個對稱軸。用於本構成之絲網印刷裝置100之絲網印刷版21不限於上述例，對稱軸可為1個，亦可為2個以上。又，亦可為不存在對稱軸者。 作為將修正印刷圖案形成於絲網27之方法，可使用包含使用光阻劑之掩膜處理之蝕刻等周知之技術。 ＜修正印刷圖案之設計方法＞ 接著，對絲網印刷版21之修正印刷圖案31之設計方法進行說明。 (修正處理之基本概念) (A)關於印刷方向之偏移 圖6係說明印刷方向之偏移之模式圖。 於以刮板17按壓絲網27之情形時，絲網27上之Px
點印刷於被印刷面15之位置並非Px
點之鉛直正下方Q，而偏移至Pxa
點。Q點與Pxa
點之偏移量係越接近印刷方向上之絲網27之中心即基準位置P0
則越小，再者，絲網27與基材13之間隙h越短則越小。以(1)式表示該印刷圖像之偏移量。 [數1]Δleft為刮板17之印刷上游側(圖6之左側)之絲網27之伸展量(AQ-APx
)。Δright為刮板17之印刷下游側(圖6之右側)之絲網27之伸展量(BQ-BPx
)。印刷上游側之印刷圖案較絲網27之中心之基準位置P0
朝向印刷上游側偏移，印刷下游側之印刷圖案較基準位置P0
朝向印刷下游側偏移。又，越接近圖中以A點及B點表示之框體29，印刷圖像39之偏移量ε1
越大。 (B)關於刮板寬度方向之偏移 圖7係說明正交於印刷方向之方向之偏移之模式圖。 於以刮板17按壓絲網27之情形時，絲網27亦於刮板寬度方向(Y方向)擴展。與印刷方向(X方向)之偏移之情形相同，根據圖中左側框體29為止之部分之伸展量、與圖中右側框體29為止之部分之伸展量，可藉由(2)式計算偏移量ε2
。 [數2]又，印刷圖像39係若將刮板17之寬度方向中央設為基準位置P0
，則圖中左側框體29為止之印刷圖案較基準位置P0
，朝向左側框體29偏移，圖中右側框體29為止之印刷圖案較基準位置P0
，朝向右側框體29偏移。又，越接近各框體29，印刷圖像39之偏移量ε2
越大。 根據上述關係，絲網上任意位置之偏移量均可在幾何學上求出。作為在幾何學上求出該修正印刷圖案31之方法，列舉例如求出設為目標之所期望之印刷圖案各位置之偏移方向及偏移量，並將與該偏移方向反向返回相同偏移量之點作為修正點的處理等。 因此，根據欲製作之帶有印刷層之基材，決定低密度部33與高密度部35之界面之修正線37。例如，如圖8所示，於將印刷圖像39a印刷於基材13之被印刷面15之情形時，將印刷圖像39a內周部之座標M(X,Y)設為平坦狀態之絲網27之座標N(x,y)即可。 具體而言，使用上述偏移量ε1
、ε2
藉由(3)、(4)式修正並求出絲網27之修正印刷圖案(x,y)31。 [數3]此處，X、Y為基材13之曲面形狀之被印刷面15上之座標。(3)、(4)式之偏移量ε1
、ε2
可如下求出。 首先，關於偏移量ε1
，可以(5)式求出(1)式之Δleft，以(6)式求出Δright。 [數4]根據(5)、(6)式，可以(7)式表示偏移量ε1
。 [數5]即，偏移量ε1
係藉由M之X座標、間隙h、絲網寬度L而可近似求出。 接著，考慮偏移量ε2
。首先，可以(8)式求出絲網版之伸展率k。 [數6]Wa為以刮板壓入時絲網之y方向(正交於印刷方向之方向)之長度，B為刮板17之正交於印刷方向之方向之寬度，fL
為圖7之左側框體29至刮板端部之長度。fr
為圖7之右側框體29至刮板端部之長度。 可以(9)式求出(2)式之Δleft，以(10)式求出Δright。 [數7]因此，根據(11)式可求出偏移量ε2
。 [數8]即，偏移量ε2
係藉由M之Y座標、間隙h、絲網寬度W、fL
、fr
而可近似求出。 使用上述偏移量ε1
、ε2
修正之修正印刷圖案31形成為與所期望之印刷圖案不同之圖案。圖9(A)係設為目標之所期望之印刷圖案之模式圖，(B)係形變印刷之印刷圖像39之模式圖，(C)係修正印刷圖案之模式圖。 圖9(A)所示之形成於絲網27之印刷圖案P(i,j)於被下壓時，因來自刮板17之按壓力與來自框體29之反力而伸展偏移。其結果，較形成於絲網27之設為目標之所期望之印刷圖案，實際之印刷圖像39形變為圖9(B)所示之放大之印刷圖案Q(i,j)。因此，將圖9(A)所示之目標印刷圖案P(i,j)根據上述偏移量ε1
、ε2
進行轉換，形成圖9(C)所示之修正印刷圖案R(i,j)。此處，i、j為表示絲網上之位置之指標。 另，絲網27係不限於圖3所示之修正印刷圖案31，亦可為藉由修正印刷圖案形成印刷圖像之外周緣者。於該情形時，如圖10所示，將低密度部33之外緣形狀設為與修正線37同樣地被修正之修正線38。藉此，於基材13之被印刷面15利用修正線37、38形成矩形狀之印刷圖像。 再者，絲網27係如圖11所示，高密度部35亦可具有第一高密度部351與第二高密度部352。於該情形時，低密度部33較佳為如圖3之高密度部35般，形成於第一高密度部351之外周緣部。藉由將該低密度部33與第一高密度部351之邊界設為修正線37，可提高框狀之印刷層中接近基材中心之側之邊界線之印刷精度。 又，低密度部33較佳為如圖11所示，於其外周緣部形成有第二高密度部352。藉由將該低密度部33與第二高密度部352之邊界設為修正線38，可提高框狀之印刷層中遠離基材中心之側之邊界線之印刷精度。 接著，對上述之構成之作用進行說明。 根據本構成之絲網印刷裝置100、及使用其之絲網印刷方法，將絲網27朝基材13側下壓時印刷圖案無偏移，而抑制印刷精度之降低。即，絲網27係藉由框體29固定絲網緣部，且於被下壓時，因來自刮板17之按壓力與來自框體29之反力而伸展，於框體29之附近朝框體側偏移。 其結果，較形成於絲網27之印刷圖案，實際之非修正印刷圖像43(參照圖9(B))朝放大之方向偏移而形變(其中，忽略因與刮板17之摩擦引起之絲網27之伸縮、或絲網27之張力變化等)。該偏移量係越接近印刷方向上絲網27之中心即基準位置P0
(參照圖6、圖7)、即越自框體29背離，絲網27與基材13之間隙越小而越小。該現象於正交於印刷方向之方向上亦相同。 該等偏移量可藉由上述之計算式在幾何學上求出。基於求出之幾何學條件(修正點集合之偏移線)對印刷圖案施加修正。即，以抵消產生之偏移量之方式作成縮小印刷圖案之形狀之修正印刷圖案31。絲網印刷裝置100藉由使用該修正印刷圖案31進行印刷，可形成與作為目標之所期望之印刷圖案一致之印刷圖像39。 又，於該絲網印刷裝置100中，印刷材料於低密度部33通過，於高密度部35被限制通過。即，低密度部33與高密度部35之邊界線形成印刷圖像39之輪廓線。絲網印刷裝置100藉由將該邊界線之至少一部分作為修正線37而形成修正印刷圖案31，可修正因伸展引起之形變。 於該絲網印刷裝置100中，尤其適合於要求包圍中央部之框狀部分之印刷精度之印刷，以例如顯示器用途之加飾印刷為代表，於各種裝飾印刷等中，亦能夠以目標之所期望之印刷圖案高精度地進行印刷。 根據上述構成之絲網印刷裝置100，相較於根據絲網印刷之結果測定偏移量、基於該偏移量製作絲網版之方式，可降低絲網版之製造成本，且可縮短版製造期間。即，本構成之絲網27只要決定基材13之形狀、及基材13與絲網印刷版21之位置關係，則可唯一地決定修正印刷圖案31。因此，無需進行耗費作業時間之繁雜之絲網印刷版21之試作。例如，於新建構生產線之情形、或進行現有之生產線之產線切換之情形時，只要決定基材13之形狀與絲網印刷版21之位置關係，即可於決議其他生產線之各部細節之前，決定絲網印刷版21之規格。因此，可於較早之階段開始製作絲網印刷版21，可以短時間、且低成本建構所期望之基材之生產線。 ＜第2構成例＞ 接著，對使被支持於台座之基材傾斜、使離版進一步優化之構成例進行說明。 圖12係顯示於具有曲面形狀且傾斜之被印刷面進行絲網印刷之情況之模式圖。 本構成之絲網印刷裝置110，其台座19係以印刷開始之絲網27與基材13之被印刷面15之間隙為最大之姿勢支持基材13。作為使基材13傾斜而支持之構成，可使用上表面傾斜之台座19，但除此以外亦可為將台座19經由複數個調節器(省略圖示)而固定於台座支架(省略圖示)上之構造等。於該情形時，將台座19設定為縮短印刷方向上游側之調節器長度，加長印刷方向下游側之調節器長度。藉此，可以印刷開始之上述間隙為最大之姿勢支持基材13。 於上述構成之絲網印刷裝置110中，基材13藉由台座19而與絲網27面相對配置，絲網27與基材13之被印刷面15之間隙係於印刷方向之上游側之間隙h1
較於下游側之間隙h2
更寬。 即，台座19係以印刷開始之絲網27與基材13之間隙為最大之姿勢支持基材13。絲網27與基材13之被印刷面15成為朝向印刷方向下游側逐漸接近，間隙h1
朝向h2
減小之上升傾斜。 一般而言，於絲網27與被印刷面15平行之情形時，於印刷開始之位置藉由刮板17下壓之絲網27之與被印刷面15所成之角度係其印刷方向上游側大於印刷方向下游側。藉此，絲網27可良好地離版。然而，於印刷結束之位置，絲網27之與被印刷面15所成之角度係印刷方向上游側小於印刷方向下游側。即，絲網27之與被印刷面15所成之角度於印刷開始與印刷結束時顛倒。因此，於印刷方向下游側難以獲得良好之離版。 因此，本構成之台座19係以於印刷結束之位置亦為印刷方向上游側之絲網27與被印刷面15所成之角度大於印刷方向下游側之方式，使被印刷面15傾斜而支持基材13。 於絲網27存在所謂之「紗張力強度」之製造參數。紗張力強度係定義為於紗(絲網)拉伸後對絲網27之中央施加一些已定之載荷時之「壓入量」，壓入量可使用張力計(PROTEC公司，型號STG-75M)測定。若紗張力較強，則壓入量較小，若紗張力強度較弱，則壓入量較大。 發明者等人發現於對曲面基材之絲網印刷品質中該紗張力強度尤為重要之要素。絲網27之壓入量較佳為1 mm以上4 mm以下，更佳為1.15 mm以上3 mm以下。若絲網27之壓入量為該範圍，則離版較佳，可形成高精細之印刷層。 此處絲網27之尺寸使用長邊側為600～1000 mm，短邊側為400～800 mm者。可認為於使用更小之絲網27之情形時較佳為小於上述範圍之壓入量，於使用更大之絲網27之情形時較佳為大於上述範圍之壓入量。 圖13係概略性顯示在圖12所示之狀況下所使用之修正印刷圖案之俯視圖。 該絲網印刷版21之修正印刷圖案41係由於印刷開始較多地壓入刮板17，故修正量r1
較大，且向著印刷結束修正量r2
逐漸減小。 上述構成之絲網印刷裝置110藉由具備上述修正印刷圖案41、與可傾斜支持該基材13之台座19，而可獲得高精度且無滲色之印刷圖像39。於該情形時，印刷圖案之偏移量根據向著印刷結束逐漸減少之高度方向(Z方向)之間隙而變化。因此，修正印刷圖案41亦考慮根據該逐漸減少之間隙h1
～h2
(參照圖12)而變化之印刷圖案之偏移量而進行修正。其結果，於該絲網印刷裝置110中，印刷開始至印刷結束離版均為良好。 因此，根據本構成例之絲網印刷裝置110，即便增大基材13與絲網印刷版21之間隙，亦可始終實現高精度且滲色較小之印刷，可抑制印刷圖案之變形。 又，絲網27係以其對稱軸為沿著印刷方向之方向、及正交於印刷方向之方向的朝向支持於框體29。藉此，可簡單地求出為了獲得修正印刷圖案31所需之幾何學條件。又，即便為包含不具有對稱軸之修正印刷圖案之絲網27，亦可藉由上述之計算式唯一求出對應於基材13之曲面形狀之修正印刷圖案，而可降低製造成本、或縮短絲網版之製作時間。 如此，本發明並非限定於上述實施形態，相互組合實施形態之各構成、或本領域技術人員基於說明書之記載以及熟知之技術進行變更、應用亦為本發明所預定，且包含於尋求保護之範圍。 如以上所述，本說明書中揭示了以下事項。 (1)一種絲網印刷裝置，其特徵在於：其係以刮板將具有可彈性變形之絲網之絲網印刷版下壓於具有曲面形狀之基材之被印刷面而形成所期望之印刷圖案之印刷層者，且 上述絲網係隔有間隙地配置於上述基材之被印刷面上； 上述絲網形成有修正印刷圖案，該修正印刷圖案係以與作為目標之上述所期望之印刷圖案一致的方式，對上述絲網於上述刮板將上述絲網下壓並向印刷方向掃掠時，在上述印刷層之印刷方向、與該印刷方向交叉配置之上述刮板之寬度方向、及正交於上述印刷方向與上述寬度方向之上述被印刷面之高度方向上因彈性變形而產生的印刷圖案偏移進行修正。 根據該絲網印刷裝置，抑制因下壓絲網時之印刷圖案偏移引起之印刷精度降低。即，以在幾何學上抵消偏移量之方式作成縮小印刷圖案之修正印刷圖案。藉由使用該修正印刷圖案進行印刷，可獲得與作為目標之所期望之印刷圖案一致之印刷圖像。 (2)如(1)之絲網印刷裝置，其中上述絲網具有：低密度部，其使印刷材料通過；及高密度部，其限制上述印刷材料之通過；且上述低密度部與上述高密度部鄰接地配置，且其與上述高密度部之邊界線之至少一部分經修正。 根據該絲網印刷裝置，印刷材料於低密度部通過，於高密度部被限制通過。即，低密度部與高密度部之邊界線形成印刷圖像之輪廓線。絲網印刷裝置藉由將該邊界線之至少一部分作為修正線而形成修正印刷圖案，可修正因伸展引起之形變。 (3)如(2)之絲網印刷裝置，其中上述低密度部包圍構成上述高密度部之第一高密度部而形成。 根據該絲網印刷裝置，即便於要求包圍中央部之框狀部分之印刷精度之情形時，亦可高精度地印刷設為目標之所期望之印刷圖案。 (4)如(2)或(3)之絲網印刷裝置，其中上述低密度部被構成上述高密度部之第二高密度部包圍而形成。 根據該絲網印刷裝置，即便於要求框狀印刷外周部之印刷精度之情形時，亦可高精度地印刷設為目標之所期望之印刷圖案。 (5)如(1)至(4)中任一項之絲網印刷裝置，其中上述絲網具有至少1個以上之對稱軸。 根據該絲網印刷裝置，絲網以對稱軸成為沿著印刷方向且正交於印刷方向之方向之中央的朝向支持於框體。藉此，可簡單地求出為了獲得修正印刷圖案所需之幾何學條件。 (6)如(1)至(5)中任一項之絲網印刷裝置，其中上述絲網於俯視下具有多角形形狀。 根據該絲網印刷裝置，可簡單地求出為了獲得絲網之修正印刷圖案所需之幾何學條件。 (7)如(1)至(5)中任一項之絲網印刷裝置，其中上述絲網於俯視下具有矩形形狀。 根據該絲網印刷裝置，絲網藉由以一邊成為與印刷方向平行之方式支持於框體，可以縱橫2種捕捉印刷偏移。藉此，可簡單地求出為了獲得修正印刷圖案所需之幾何學條件。 (8)如(1)至(7)中任一項之絲網印刷裝置，其具有台座，該台座係以印刷開始之上述間隙為最大之姿勢支持上述基材。 根據該絲網印刷裝置，台座於印刷結束之位置，亦可以印刷方向上游側之絲網與被印刷面所成之角度大於印刷方向下游側之方式，使被印刷面傾斜而支持基材。藉此，絲網印刷裝置係印刷開始至印刷結束離版均為良好。 (9)如(1)至(8)中任一項之絲網印刷裝置，其中上述絲網與上述基材之被印刷面之間隙係於上述印刷方向之上游側較於下游側更寬。 根據該絲網印刷裝置，印刷開始至印刷結束離版均為良好。 (10)一種絲網印刷版，其特徵在於：其係將可彈性變形之絲網之絲網緣部固定於框體，且用以於具有曲面形狀之基材進行絲網印刷者，且上述絲網具有：低密度部，其使印刷材料通過；及高密度部，其限制上述印刷材料之通過；上述低密度部係與上述高密度部鄰接地配置，且其與上述高密度部之邊界線之至少一部分為曲線。 根據該絲網印刷版，印刷材料於低密度部通過，於高密度部被限制通過。即，低密度部與高密度部之邊界線形成印刷圖像之輪廓線。絲網印刷藉由將該邊界線之至少一部分作為修正線形成修正印刷圖案，可修正因伸展引起之形變。 (11)如(10)之絲網印刷版，其中上述低密度部係包圍構成上述高密度部之第一高密度部而形成。 根據該絲網印刷版，即便於要求包圍中央部之框狀部分之印刷精度之情形時，亦可高精度地印刷設為目標之所期望之印刷圖案。 (12)如(10)或(11)之絲網印刷版，其中上述絲網具有至少1個以上之對稱軸。 根據該絲網印刷版，絲網以對稱軸成為沿著印刷方向且正交於印刷方向之方向之中央的朝向支持於框體。藉此，可簡單地求出為了獲得修正印刷圖案所需之幾何學條件。 (13)如(10)至(12)中任一項之絲網印刷版，其中上述絲網於俯視下具有多角形形狀。 根據該絲網印刷版，可簡單地求出為了獲得絲網之修正印刷圖案所需之幾何學條件。 (14)如(10)至(13)中任一項之絲網印刷版，其中上述絲網於俯視下具有矩形形狀。 根據該絲網印刷版，絲網藉由以一邊成為與印刷方向平行之方式支持於框體，可以縱橫2種捕捉印刷偏移。藉此，可簡單地求出為了獲得修正印刷圖案所需之幾何學條件。 (15)一種絲網印刷版之製造方法，其特徵在於：其係將可彈性變形之絲網之絲網緣部固定於框體，將刮板抵壓於上述絲網，而於具有曲面形狀之基材之被印刷面形成所期望之印刷圖案之印刷層者，且包含如下步驟： 求出修正印刷圖案，該修正印刷圖案係以與作為目標之上述所期望之印刷圖案一致的方式，對上述絲網於上述印刷層之印刷方向、與該印刷方向交叉配置之上述刮板之寬度方向、及正交於上述印刷方向與上述寬度方向之上述被印刷面之高度方向上因彈性變形而產生的印刷圖案偏移進行修正；及 將求出之上述修正印刷圖案形成於上述絲網。 根據該絲網印刷版之製造方法，可獲得抑制因下壓絲網時之印刷圖案偏移引起之印刷精度降低之絲網印刷版。即，藉由使用在幾何學上抵消偏移量之修正印刷圖案進行印刷，可獲得與作為目標之所期望之印刷圖案一致之印刷圖像。 (16)一種具有曲面形狀之帶有印刷層之基材之製造方法，其特徵在於：其係以刮板將具有可彈性變形之絲網之絲網印刷版下壓於具有曲面形狀之基材之被印刷面而形成所期望之印刷圖案之印刷層者，且 上述絲網具有修正印刷圖案，該修正印刷圖案係以與作為目標之上述所期望之印刷圖案一致的方式，對上述絲網於上述刮板下壓上述絲網並向印刷方向掃掠時，在上述印刷層之印刷方向、與該印刷方向交叉配置之上述刮板之寬度方向、及正交於上述印刷方向與上述寬度方向之上述被印刷面之高度方向上因彈性變形而產生的印刷圖案偏移進行修正。 根據該帶有印刷層之基材之製造方法，可獲得抑制因下壓絲網時之印刷圖案偏移引起之印刷精度降低之帶有印刷層之基材。 又，參照特定之實施形態詳細地說明本發明，但對本領域技術人員而言應明瞭，於不脫離本發明之精神與範圍內可施加各種修正或變更。 本申請案係基於2015年11月18日申請之日本專利申請案2015-226118、及2016年10月4日申請之日本專利申請案2016-196607者，其內容以引用之方式併入本文中。
13‧‧‧基材
15‧‧‧被印刷面
17‧‧‧刮板
19‧‧‧台座
19a‧‧‧台座表面
19b‧‧‧凹槽
20‧‧‧孔
21‧‧‧絲網印刷版
23‧‧‧刮板驅動部
25‧‧‧刮板前端部
27‧‧‧絲網
29‧‧‧框體
31‧‧‧修正印刷圖案
33‧‧‧低密度部
35‧‧‧高密度部
37‧‧‧修正線
38‧‧‧修正線
39‧‧‧印刷圖像
39a‧‧‧印刷圖像
41‧‧‧修正印刷圖案
43‧‧‧非修正印刷圖像
100‧‧‧絲網印刷裝置
110‧‧‧絲網印刷裝置
351‧‧‧第一高密度部
352‧‧‧第二高密度部
A-A‧‧‧線
A‧‧‧點
B‧‧‧點
B‧‧‧寬度
fL‧‧‧ 絲網寬度、左側框體29至刮板端部之長度
fr‧‧‧ 絲網寬度、右側框體29至刮板端部之長度
h‧‧‧間隙
h1‧‧‧ 間隙
h2‧‧‧ 間隙
i‧‧‧指標
j‧‧‧指標
L‧‧‧絲網寬度
LH‧‧‧絲網中心線
LV‧‧‧ 絲網中心線
M(X,Y)‧‧‧座標
N(x,y)‧‧‧座標
P0‧‧‧基準位置
P(i,j)‧‧‧目標之印刷圖案
Px‧‧‧點
Pxa‧‧‧ 點
Q‧‧‧點
Q(i,j)‧‧‧放大之印刷圖案
r1‧‧‧ 修正量
r2‧‧‧ 修正量
R(i,j)‧‧‧修正印刷圖案
W‧‧‧絲網寬度
X‧‧‧方向
Y‧‧‧方向
ε1‧‧‧ 偏移量
ε2‧‧‧ 偏移量
15‧‧‧被印刷面
17‧‧‧刮板
19‧‧‧台座
19a‧‧‧台座表面
19b‧‧‧凹槽
20‧‧‧孔
21‧‧‧絲網印刷版
23‧‧‧刮板驅動部
25‧‧‧刮板前端部
27‧‧‧絲網
29‧‧‧框體
31‧‧‧修正印刷圖案
33‧‧‧低密度部
35‧‧‧高密度部
37‧‧‧修正線
38‧‧‧修正線
39‧‧‧印刷圖像
39a‧‧‧印刷圖像
41‧‧‧修正印刷圖案
43‧‧‧非修正印刷圖像
100‧‧‧絲網印刷裝置
110‧‧‧絲網印刷裝置
351‧‧‧第一高密度部
352‧‧‧第二高密度部
A-A‧‧‧線
A‧‧‧點
B‧‧‧點
B‧‧‧寬度
fL‧‧‧ 絲網寬度、左側框體29至刮板端部之長度
fr‧‧‧ 絲網寬度、右側框體29至刮板端部之長度
h‧‧‧間隙
h1‧‧‧ 間隙
h2‧‧‧ 間隙
i‧‧‧指標
j‧‧‧指標
L‧‧‧絲網寬度
LH‧‧‧絲網中心線
LV‧‧‧ 絲網中心線
M(X,Y)‧‧‧座標
N(x,y)‧‧‧座標
P0‧‧‧基準位置
P(i,j)‧‧‧目標之印刷圖案
Px‧‧‧點
Pxa‧‧‧ 點
Q‧‧‧點
Q(i,j)‧‧‧放大之印刷圖案
r1‧‧‧ 修正量
r2‧‧‧ 修正量
R(i,j)‧‧‧修正印刷圖案
W‧‧‧絲網寬度
X‧‧‧方向
Y‧‧‧方向
ε1‧‧‧ 偏移量
ε2‧‧‧ 偏移量
圖1係本發明之第1構成例之絲網印刷裝置之概略構成圖。 圖2(A)係絲網印刷版之俯視圖，(B)係(A)之A-A剖視圖。 圖3係形成有修正印刷圖案之絲網之俯視圖。 圖4係顯示以圖3所示之絲網印刷之矩形狀之印刷圖像之俯視圖。 圖5係顯示形成有印刷圖像之基材之俯視圖。 圖6係說明印刷方向之偏移之模式圖。 圖7係說明正交於印刷方向之方向之偏移之模式圖。 圖8係用以說明自欲製作之帶有印刷層之基材上之座標決定修正印刷圖案之座標之順序的模式圖。 圖9(A)係設為目標之所期望之印刷圖案之模式圖，(B)係形變印刷之印刷圖像之模式圖，(C)係修正印刷圖案之模式圖。 圖10係顯示包含印刷圖像之外周緣修正之修正印刷圖案之俯視圖。 圖11係顯示包含印刷圖像之外周緣及內周緣修正之修正印刷圖案之俯視圖。 圖12係顯示第2構成例之絲網印刷裝置之絲網印刷狀況之模式圖。 圖13係概略性顯示圖12所示之絲網印刷裝置之修正印刷圖案之俯視圖。
13‧‧‧基材
15‧‧‧被印刷面
17‧‧‧刮板
19‧‧‧台座
19a‧‧‧台座表面
19b‧‧‧凹槽
20‧‧‧孔
21‧‧‧絲網印刷版
23‧‧‧刮板驅動部
25‧‧‧刮板前端部
27‧‧‧絲網
29‧‧‧框體
100‧‧‧絲網印刷裝置
Claims (16)
- 一種絲網印刷裝置，其特徵在於：其係以刮板將具有可彈性變形之絲網之絲網印刷版下壓於具有曲面形狀之基材之被印刷面而形成所期望之印刷圖案之印刷層者，且 上述絲網係隔有間隙地配置於上述基材之被印刷面上； 上述絲網上形成有修正印刷圖案，該修正印刷圖案係以與作為目標之上述所期望之印刷圖案一致的方式，對上述絲網於上述刮板將上述絲網下壓並向印刷方向掃掠時，在上述印刷層之印刷方向、與該印刷方向交叉配置之上述刮板之寬度方向、及正交於上述印刷方向與上述寬度方向之上述被印刷面之高度方向上因彈性變形而產生的印刷圖案偏移進行修正。
- 如請求項1之絲網印刷裝置，其中上述絲網具有：低密度部，其使印刷材料通過；及高密度部，其限制上述印刷材料之通過；且 上述低密度部與上述高密度部鄰接地配置，且其與上述高密度部之邊界線之至少一部分經修正。
- 如請求項2之絲網印刷裝置，其中上述低密度部包圍構成上述高密度部之第一高密度部而形成。
- 如請求項2或3之絲網印刷裝置，其中上述低密度部被構成上述高密度部之第二高密度部包圍而形成。
- 如請求項1至4中任一項之絲網印刷裝置，其中上述絲網具有至少1個以上之對稱軸。
- 如請求項1至5中任一項之絲網印刷裝置，其中上述絲網於俯視下具有多角形形狀。
- 如請求項1至5中任一項之絲網印刷裝置，其中上述絲網於俯視下具有矩形形狀。
- 如請求項1至7中任一項之絲網印刷裝置，其具有台座，該台座係以印刷開始之上述間隙為最大之姿勢支持上述基材。
- 如請求項1至8中任一項之絲網印刷裝置，其中上述絲網與上述基材之被印刷面之間隙係於上述印刷方向之上游側較於下游側更寬。
- 一種絲網印刷版，其特徵在於：其係將可彈性變形之絲網之絲網緣部固定於框體，且用以於具有曲面形狀之基材進行絲網印刷者，且 上述絲網具有：低密度部，其使印刷材料通過；及高密度部，其限制上述印刷材料之通過； 上述低密度部係與上述高密度部鄰接地配置，且其與上述高密度部之邊界線之至少一部分為曲線。
- 如請求項10之絲網印刷版，其中上述低密度部係包圍構成上述高密度部之第一高密度部而形成。
- 如請求項10或11之絲網印刷版，其中上述絲網具有至少1個以上之對稱軸。
- 如請求項10至12中任一項之絲網印刷版，其中上述絲網於俯視下具有多角形形狀。
- 如請求項10至13中任一項之絲網印刷版，其中上述絲網於俯視下具有矩形形狀。
- 一種絲網印刷版之製造方法，其特徵在於：其係將可彈性變形之絲網之絲網緣部固定於框體，將刮板抵壓於上述絲網，而於具有曲面形狀之基材之被印刷面形成所期望之印刷圖案之印刷層者，且包含如下步驟： 求出修正印刷圖案，該修正印刷圖案係以與作為目標之上述所期望之印刷圖案一致的方式，對上述絲網於上述印刷層之印刷方向、與該印刷方向交叉配置之上述刮板之寬度方向、及正交於上述印刷方向與上述寬度方向之上述被印刷面之高度方向上因彈性變形而產生的印刷圖案偏移進行修正；及 將求出之上述修正印刷圖案形成於上述絲網。
- 一種具有曲面形狀之帶有印刷層之基材之製造方法，其特徵在於：其係以刮板將具有可彈性變形之絲網之絲網印刷版下壓於具有曲面形狀之基材之被印刷面而形成所期望之印刷圖案之印刷層者，且 上述絲網具有修正印刷圖案，該修正印刷圖案係以與作為與目標之上述所期望之印刷圖案一致的方式，對上述絲網於上述刮板下壓上述絲網並向印刷方向掃掠時，在上述印刷層之印刷方向、與該印刷方向交叉配置之上述刮板之寬度方向、及正交於上述印刷方向與上述寬度方向之上述被印刷面之高度方向上因彈性變形而產生的印刷圖案偏移進行修正。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2015226118 | 2015-11-18 | ||
| JP??2015-226118 | 2015-11-18 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TW201731701A true TW201731701A (zh) | 2017-09-16 |
| TWI701151B TWI701151B (zh) | 2020-08-11 |
Family
ID=58803058
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| TW105137802A TWI701151B (zh) | 2015-11-18 | 2016-11-18 | 絲網印刷裝置、絲網印刷版、絲網印刷版之製造方法及帶有印刷層之基材之製造方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP6840978B2 (zh) |
| CN (1) | CN107031176B (zh) |
| TW (1) | TWI701151B (zh) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019018384A (ja) * | 2017-07-12 | 2019-02-07 | サカエ理研工業株式会社 | スクリーン印刷機 |
| JP6959636B2 (ja) * | 2017-08-22 | 2021-11-02 | マイクロ・テック株式会社 | スクリーン印刷装置及びスクリーン印刷方法 |
| CN107498987A (zh) * | 2017-08-31 | 2017-12-22 | 广东星弛光电科技有限公司 | 一种弧面块体丝网印刷冶具及其使用方法 |
| KR20210074330A (ko) * | 2018-12-11 | 2021-06-21 | 마이크로·텍 가부시끼가이샤 | 인쇄 제판, 인쇄기, 인쇄 제판의 제조 방법, 및 인쇄 방법 |
| CN110695811B (zh) * | 2019-10-28 | 2021-05-04 | 瑞安市联胜科技有限公司 | 一种减轻眼镜框体受压变形程度的夹持制造设备 |
| CN110641171A (zh) * | 2019-10-29 | 2020-01-03 | 广州柳川智能装备有限公司 | 一种针对异形瓶的印刷补偿工艺 |
| CN110641172B (zh) * | 2019-10-29 | 2021-07-20 | 广州柳川智能装备有限公司 | 一种异形瓶印刷的智能控制***及其丝印方法 |
| CN110757945B (zh) * | 2019-12-02 | 2021-08-20 | 信利（惠州）智能显示有限公司 | 印刷丝网及印刷装置 |
| CN111559161A (zh) * | 2020-04-07 | 2020-08-21 | 苏州腾晖光伏技术有限公司 | 一种选择性发射极太阳能电池片的正面电极网版 |
| CN112078262B (zh) * | 2020-08-27 | 2022-04-08 | 金邦达有限公司 | 丝网印刷品的制作方法及智能卡制作方法 |
| CN116529583A (zh) * | 2020-11-19 | 2023-08-01 | 株式会社岛津制作所 | 应力发光材料的制造方法、应力发光体的制造方法、应变测定方法、应力发光体、应力发光涂料和应力发光体的制造装置 |
| CN112937086B (zh) * | 2021-02-23 | 2023-04-28 | 珠海市鑫时代科技有限公司 | 一种高效纸质打印设备 |
| KR20240053212A (ko) * | 2022-10-17 | 2024-04-24 | 한국기계연구원 | 인공지능을 이용한 스크린 프린팅 패턴 학습 및 보정 방법과 이를 수행하는 시스템 및 프로그램 |
Family Cites Families (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2717707B2 (ja) * | 1989-07-14 | 1998-02-25 | 株式会社村田製作所 | スクリーン印刷方法、印刷版の製造方法及びそれらのための装置 |
| JPH0395236U (zh) * | 1990-01-18 | 1991-09-27 | ||
| JPH06340054A (ja) * | 1993-06-01 | 1994-12-13 | Tokyo Process Service Kk | スクリーン印刷方法 |
| JP3310540B2 (ja) * | 1996-05-22 | 2002-08-05 | 松下電器産業株式会社 | スクリーン印刷方法とその装置 |
| JP3072830B2 (ja) * | 1996-07-06 | 2000-08-07 | アオイ電子株式会社 | 印刷用メッシュスクリーン |
| JP2002154281A (ja) * | 2000-11-21 | 2002-05-28 | Tdk Corp | スクリーン印刷版及び印刷方法 |
| US7182019B2 (en) * | 2004-01-23 | 2007-02-27 | Exatec, Llc | Screen printing apparatus |
| JP4893056B2 (ja) * | 2006-03-28 | 2012-03-07 | 株式会社日立プラントテクノロジー | スクリーン印刷装置 |
| JP5084174B2 (ja) * | 2006-05-25 | 2012-11-28 | 株式会社村田製作所 | スクリーン印刷装置 |
| JP5126170B2 (ja) * | 2009-07-08 | 2013-01-23 | パナソニック株式会社 | スクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法 |
| TW201125734A (en) * | 2010-01-27 | 2011-08-01 | Ming Sheng Net Plate Printing Machinery Co Ltd | Screen plate and manufacturing method thereof |
| US8561535B2 (en) * | 2010-02-27 | 2013-10-22 | Corning Incorporated | Method of screen printing on 3D glass articles |
| CN102615953B (zh) * | 2012-04-11 | 2014-02-12 | 上海与德通讯技术有限公司 | 单曲面和近似单曲面类产品表面的丝网印刷网版及工艺 |
| DE202012102726U1 (de) * | 2012-07-20 | 2013-10-22 | Joachim Sonneberger | Geschwungene Möbelverbundbauplatte |
| TWM504010U (zh) * | 2015-03-31 | 2015-07-01 | Brave C & H Supply Co Ltd | 網版印刷結構改良 |
-
2016
- 2016-10-04 JP JP2016196607A patent/JP6840978B2/ja active Active
- 2016-11-18 CN CN201611035486.8A patent/CN107031176B/zh active Active
- 2016-11-18 TW TW105137802A patent/TWI701151B/zh active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2017094720A (ja) | 2017-06-01 |
| TWI701151B (zh) | 2020-08-11 |
| CN107031176B (zh) | 2020-07-14 |
| JP6840978B2 (ja) | 2021-03-10 |
| CN107031176A (zh) | 2017-08-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TW201731701A (zh) | 絲網印刷裝置、絲網印刷版、絲網印刷版之製造方法及帶有印刷層之基材之製造方法 | |
| TWI519801B (zh) | 使用參考晶圓區域以檢查晶圓區域的系統、方法及程式儲存裝置 | |
| JP5538591B2 (ja) | フォトマスクの検査方法及び検査装置 | |
| JP6412317B2 (ja) | インプリント方法、インプリント装置および物品の製造方法 | |
| KR102032018B1 (ko) | 임프린트 장치, 기판 반송 장치, 임프린트 방법 및 물품의 제조 방법 | |
| JP4362732B2 (ja) | フォトマスク用大型ガラス基板及びその製造方法、コンピュータ読み取り可能な記録媒体、並びにマザーガラスの露光方法 | |
| US20210296392A1 (en) | Flat Panel Array with the Alignment Marks in Active Area | |
| KR102312811B1 (ko) | 웨이퍼의 휨의 평가방법 및 웨이퍼의 선별방법 | |
| CN1652022A (zh) | 掩模基板的平整度模拟*** | |
| JP2016063219A (ja) | インプリント装置、インプリントシステム及び物品の製造方法 | |
| US10429742B2 (en) | Stitchless direct imaging for high resolution electronic patterning | |
| JP2009020523A (ja) | パターン生成装置及び表面の物理特性を測定するための装置 | |
| CN107732012B (zh) | 张网设备 | |
| JP2007102153A (ja) | 画像補正装置、パターン検査装置、画像補正方法、及びレチクル | |
| JP2016201455A (ja) | インプリント装置、および物品の製造方法 | |
| US10061209B2 (en) | Method for verifying a pattern of features printed by a lithography process | |
| JP2008014700A (ja) | ワークの検査方法及びワーク検査装置 | |
| TWI492792B (zh) | Substrate manufacturing method and substrate manufacturing apparatus | |
| JP2015002260A (ja) | リソグラフィ装置、リソグラフィ方法、それを用いた物品の製造方法 | |
| JP2010283088A (ja) | ウェーハ外観検査装置 | |
| JP2010002571A (ja) | 基板露光装置 | |
| CN101706592B (zh) | 一种金属母版直接拷贝法制作云纹光栅的方法 | |
| CN105044941B (zh) | 光刻图形的尺寸检测方法 | |
| JP2007220937A (ja) | 基板の重ね描画方法 | |
| JP2019024089A (ja) | インプリント方法、インプリント装置および物品の製造方法 |