JP4893056B2 - スクリーン印刷装置 - Google Patents
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Description
(1)コンタクト印刷法において、安定した版離れ性能により、印刷歩留まりの向上が図れ、印刷品質の安定化と不良低減に貢献する。
(2)高アスペクト比の超ファインピッチ印刷において、版抜け性向上により転写量を確保し、印刷膜厚みを安定化させる。
21を載置して保持する印刷テーブル10が設けて有る。この印刷テーブル10は、基板21を水平方向に移動してマスク20との位置合わせを行うXYθテーブル11と、基板21を受け取りコンベア26から受け取り、かつ基板21をスクリーン面に近付けるか又は接触させるためのテーブル昇降機構12とを備えている。印刷テーブル10の上面には基板受け取りコンベア26が設けられており、基板搬入コンベア25によって搬入された基板21を印刷テーブル10上に受け取り、印刷が終了すると基板搬出コンベア27に基板21を排出する。
20の最も外周にあるマスク部片60のグループ(1)から剥れるような作用力が働いた場合でも、グループ(1)の領域内において、基板21の各電極パッド部と対応するマスク20のマスク部片60との粘着力が連結部に作用する抗力より大きい場合は、マスク
20が基板21と平行状態に近い姿勢を保ちながら版離れできるようになる。グループ
(1)の領域の版離れ動作が完了すると、次にグループ(2)の領域の版離れが開始する。ここで、前記同様にグループ(2)の領域内において、マスク20が基板21と平行状態に近い姿勢を保ちながら版離れできるようになる。グループ(2)の領域の版離れ動作が完了すると、グループ(3)の領域の版離れが開始し、前記同様にグループ(3)の領域内において、マスク20が基板21と平行状態に近い姿勢を保ちながら版離れできるようになる。図6に版離れ速度線図を示す。
(1)〜(3)までの順序で各々の領域における版離れ動作において、マスク20が基板21に対して水平に近い状態を保ちながら版離れが可能となる。且つ、各版離れ領域において、テーブルを下降させる初速・目標速度・加速度・距離等の印刷テーブル下降制御パラメータをグループ(1)〜(3)の版離れ時に各々に好適なデータを設定しておくことで、グループ(1)〜(3)の各領域における版離れ動作が、基板21に対するマスク
20の姿勢を水平に近い状態に保ちながらそれぞれに適した版離れ条件にて制御が可能となる。
11…XYθテーブル、13…カメラ、20…マスク、21…基板。
Claims (3)
- 被印刷基板を載置するテーブルと、前記テーブル上部に設けられ複数の開口を備えたマスクと、前記基板を載置したテーブルを上昇させて前記マスクを基板に接触させ、前記マスク上部からクリームはんだを前記開口に押し込み前記被印刷基板上に印刷するスキージを備えたスクリーン印刷装置において、
前記マスクが、前記被印刷基板に載置される部品パターン毎、又は所定の面積となるパターン毎にグループ化し、各々のグループ間の連結部の厚みを、グループ内のマスク部片の厚みより薄く形成することで、バネ定数を変化させ、この変化させた連結部のバネ定数をマスク中央部から外周側に向かって小さくするように連結したスクリーン印刷装置。 - 請求項1に記載のスクリーン印刷装置において、
前記連結部の剛性に合わせ、テーブルの降下速度を制御することで版離れの動作を制御することを特徴とするスクリーン印刷装置。 - 基板上に所定の開口を備えたマスク面を接触させた状態で、スキージを用いてクリームはんだペーストを前記開口部に押し込み印刷するスクリーン印刷装置において、
被印刷基板に載置される部品パターン毎、又は所定の面積となるパターン毎に対応した各々のマスク部片を、前記マスク部片より小さなバネ定数にて連結し、連結部バネ定数が、マスク中央部から周辺部方向に向かって段階的に小さくしたマスクと、前記マスクの連結状況に合わせ、基板を載置したテーブルの降下速度を制御して版離れ状態を制御することを特徴とするスクリーン印刷装置。
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