TW201305367A - 用以沉積ｏｌｅｄ的方法與裝置 - Google Patents

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Abstract

本發明首先係有關於一種將有機起始材料成層沉積於基板(18)之方法，其中，將該有機起始材料以懸浮粒子形式送入載氣流，將由此產生的氣膠作為規定質量流量之該有機材料送往蒸發器(5)，該蒸發器(5)具有表面較大之蒸發元件(6-10)，將該蒸發元件加熱至蒸發溫度，靠近該蒸發元件(6-10)表面或與該蒸發元件(6-10)表面接觸的懸浮粒子在此蒸發溫度下蒸發，由此產生的蒸氣由該載氣流送入處理室(17)，該蒸氣在該處理室內於基板(18)表面發生冷凝並形成該層。為了使該處理室之蒸氣輸送得到均勻化，本發明提出如下解決方案：為了產生並向該處理室輸送含有已蒸發有機起始材料之飽和蒸氣的載氣流，在該沉積製程的至少一階段(特別是開始階段)內使得流向該蒸發器(5)之懸浮粒子的質量流量大於該等懸浮粒子在該蒸發器(5)內之蒸發率。本發明另亦有關於一種用於將有機起始材料成層沉積於基板之裝置。

Description

用以沉積OLED的方法與裝置
本發明係有關於一種將有機起始材料成層沉積於基板之方法，其中，將該有機起始材料以懸浮粒子形式送入載氣流，將由此產生的氣膠作為一定質量流量之該有機材料送往蒸發器，該蒸發器具有表面較大之蒸發元件，將該蒸發元件加熱至蒸發溫度，靠近該蒸發元件表面或與該蒸發元件表面接觸的懸浮粒子在此蒸發溫度下蒸發，由此產生的蒸氣由該載氣流送入處理室，該蒸氣在該處理室內於基板表面發生冷凝並形成該層。
本發明另亦有關於一種用於將有機起始材料成層沉積於基板之裝置，包括氣膠發生器及處理室，該氣膠發生器用於產生該起始材料之一定質量流量的懸浮粒子，該等懸浮粒子由載氣流送往蒸發器，其中，該蒸發器具有開孔蒸發元件，該蒸發元件包含實施為盲孔之進入通道且可被加熱至蒸發溫度以蒸發該等懸浮粒子，該處理室用於容置該基板，該蒸發器所產生的蒸氣由蒸氣輸送管送入該處理室。
同類型方法及同類型裝置請參閱US 7,238,389。用氣膠發生器將粉末狀固體送入載氣流。在此過程中所產生的氣膠粒子以懸浮粒子形式被該載氣流送往蒸發器。該蒸發器由固態泡沫構成，將該固態泡沫加熱至蒸發溫度。懸浮粒子與固態 泡沫的孔壁發生表面接觸後得到蒸發熱，遂變成蒸氣。用載氣流將由此產生的蒸氣送入設有基板的處理室並用該有機起始材料為該基板進行塗佈。該案中所描述且同樣為本發明方法及本發明裝置所用之有機起始材料為可用來製造OLED的有機發光材料，詳情例如請參閱US 4,769,292及US 4,885,211。
US 2006/0115585 A1描述一種用於沉積有機層於基板之裝置，該裝置具有加熱裝置，用於加熱有機材料以在載氣中產生氣膠。該固態氣膠由一具有微孔的噴嘴輸送，此噴嘴具有可為有機粒子加熱之脈衝加熱裝置。該些微孔直徑最高達100 μm。
DE 10057491 A1描述一種向高溫氣體體積注射滴狀物以產生氣膠並透過吸熱蒸發該滴狀物之裝置。
WO 2006/100058描述一種可使非氣態起始材料轉成氣相之加熱裝置，其加熱元件上設若干具有內表面的空腔。
US 2006/0169201 A1所描述的同類型裝置包括多個沿流向前後佈置的蒸發元件，該等蒸發元件具有沿流向分佈且截面呈蜂窩狀之通道。載氣流攜帶蒸發粒子穿過該些通道。由於該等截面呈蜂窩狀的通道為直線分佈，許多粒子會在未與通道壁部接觸之情況下穿透蒸發元件。
用特別由鎢、錸、鉭、鈮、鉬或碳或鍍層材料構成之固態泡沫蒸發有機起始材料的方法另請參閱US 2009/0039175 A1或US 6,037,241。此處主要以通電方式將固態泡沫加熱至蒸發溫度，使有機起始材料在該蒸發溫度下蒸發。
DE 10 2006 026 576 A1亦揭露一種固態蒸發器，其中用超音波激勵器以形成粉末渦流之方式產生氣膠。使大量待蒸發起始材料持久保持蒸發溫度的固態蒸發器雖能提供連續之蒸發率。但待蒸發有機起始材料極有可能在高溫下分解。為解決此問題，US 2009/0061090 A1及US 2010/0015324 A1建議在蒸發器內設置可再裝蒸發容器。
US 7,288,286 B2描述一種用於將儲存於儲存容器之粉末狀有機起始材料送入氣流的螺旋輸送機，由該氣流將粉末狀懸浮粒子送往蒸發器。
US 5,820,678描述另一種用以產生粉末狀懸浮粒子的方法。其中用刷輪自粉末壓縮而形成的固體上移除微米級粒徑之粉末粒子。用氣流將該些粉末粒子送往蒸發器。
另有習知氣膠發生器可將用於MOCVD製程之液態有機起始材料以滴狀物形式送入載氣流。相關裝置可參閱US 2005/0227004、US 2006/0115585及US 5,204,314。傳統MOCVD所用起始材料在室溫或較高溫度下通常呈液態，製造OLED所用之有機起始材料在200℃以下則一律為固態。
習知氣膠發生器的蒸氣產生率與懸浮粒子產生率之間存在一定程度之關聯。舉例而言，若將毛刷裝置用作氣膠發生器，用可動(尤指旋轉)毛刷自粉餅上移除粒子，則時間性的 氣膠產生率與毛刷設計有關。另有部分習知之氣膠發生器具有可將起始材料噴入載氣流的輸送裝置，其輸送效率會隨時間發生波動。
若所用起始材料呈液態，則可使用噴嘴來產生氣膠。然而此時亦無法從根本上避免氣膠產生率之時間性波動。
本發明之目的在於提供若干能使處理室之蒸氣輸送得到均勻化的措施。
如申請專利範圍所述之本發明為可達成該目的之解決方案。
本發明首先提出如下主要方案：所產生的由載氣流自蒸氣發生器送往處理室之蒸氣具有飽和蒸氣壓力。為此需採取相應措施，以便在整個沉積製程期間使蒸發器內皆存在過量之未蒸發起始材料。為了產生並向處理室輸送含有已蒸發有機起始材料之飽和蒸氣的載氣流，需在沉積製程的至少一階段(較佳開始階段)內使流向蒸發器之有機起始材料的質量流量(即，每單位時間向蒸發器輸送的懸浮粒子質量)大於蒸發率(即，每單位時間在蒸發器內轉變成蒸氣之起始材料的質量)。由此，蒸發器中會在一富集階段內富集一未蒸發有機起始材料之緩衝質量。此富集現象較佳發生於用作蒸發元件之固態泡沫的空腔內。為此需將一孔徑明顯大於該等懸浮粒子之粒度的開孔泡沫體用作蒸發元件。懸浮粒子直徑通常約 為100 μm。孔隙開口寬度平均約為1 mm。孔隙寬度亦可處於0.5 mm至3 mm範圍內。孔隙之截面面積較佳應大於1 mm2。孔隙不呈直線分別，彎曲程度極大，以致載氣流穿過孔隙時多番轉向，從而使其所攜帶之粒子與孔壁發生碰撞。所用固態泡沫之孔隙體積可占其總體積90%以上。較佳在以不同輸送率為蒸氣發生器提供懸浮粒子的階段蒸發氣膠。富集階段乃是為蒸發器所提供之有機起始材料質量大於該蒸發器在相同時間內所蒸發之質量的階段。由此將在該蒸發元件的孔隙內部形成上述緩衝質量。在富集階段之後的耗竭階段，蒸發器的有機起始材料輸送率減小，遂使提供給蒸發器的懸浮粒子少於該蒸發器在相同時間內所蒸發之材料。其結果為該緩衝質量在耗竭階段期間變小。為確保在整個沉積製程期間，該載氣流離開蒸發器時皆含有飽和蒸氣，需在該緩衝質量被耗盡之前以切換至富集階段(即，提高材料輸送率)之方式結束該耗竭階段。
本發明之裝置可具有一懸浮粒子產生率隨時間變化的氣膠發生器。懸浮粒子在此可呈粉末狀或液態。該氣膠發生器具有用於儲存該有機起始材料的儲存容器。該氣膠發生器另具有一可對懸浮粒子產生率施加影響的定量器。根據本發明之改良方案，該蒸發器具有複式蒸發元件。根據本發明，先前技術如US 2009/0039175 A1中設於多孔蒸發元件內的習知進入通道由第一蒸發元件之通孔構成。可設置一或多個該 第一蒸發元件並使其前後成一長排佈置。該通孔之其中一末端由第二蒸發元件封閉，該第二蒸發元件與該第一蒸發元件具有基本相同之特性。藉此防止未蒸發懸浮粒子穿透蒸發器。氣流攜懸浮粒子進入進入通道後可穿透該進入通道之壁部而進入第一蒸發元件之多孔內腔。一部分氣流則可穿過進入通道底部而進入第二蒸發元件。此二蒸發元件較佳沿流向前後佈置，使得氣體離開第一蒸發元件後必然會穿過第二蒸發元件。該第二蒸發元件可採用複式設計。由此形成多個較佳佔據該蒸發器之整個截面面積的第二蒸發元件。該較佳設置多個之第二蒸發元件可沿流向與一第三蒸發元件連接，該第三蒸發元件與其他蒸發元件具有基本相同之材料特性。該第三蒸發元件可採用與該第一蒸發元件相同之設計，由此形成一排出通道。該第三蒸發元件亦可採用複式設計。第一及第三蒸發元件皆具有一通孔。該等通孔可相互對準。該等通孔可具有相同直徑。該等通孔亦可具有不同直徑。亦即，該等通孔在蒸發元件內部亦可呈階梯狀錯開佈置。此外，該等蒸發元件亦可在蒸發器內採用在進入方向及排出方向上皆形成一封閉之內部空腔之佈置方式。此外，其中一蒸發元件可僅延伸孔徑量級之長度，故而該蒸發元件起擴散器作用。該排出通道較佳由該第三蒸發元件的通孔構成。該排出通道之底部由該第二蒸發元件構成。在此情況下，氣體穿過該一體式或兩分式之第二蒸發元件後可部分進入第三蒸發元件 的孔隙或者可部分進入排出通道。從流向看在第三蒸發元件後面設有一自由區域，該自由區域截面視情況可減小，且該自由區域與一蒸氣輸送管連通，該載氣攜該有機起始材料之蒸氣經該蒸氣輸送管進入處理室。該蒸氣輸送管與一呈蓮蓬頭狀的氣體分佈器連通。該氣體分佈器之出氣面指向一基座，待塗佈基板平放於此基座上。該出氣面上呈篩網狀設有多個出氣口，用於輸送蒸氣的載氣流經該等出氣口進入處理室。該基座較佳經冷卻處理，以方便蒸氣在基板上冷凝。該製程在介於0.1 mbar與100 mbar，較佳介於0.1 mbar與10 mbar之總壓下進行。該處理室與真空泵連接以產生此負壓。由固態泡沫構成的蒸發元件以被過量供應的氣膠不會穿透該等蒸發元件之方式佈置在蒸發器殼體內。該等氣膠單位在孔隙表面運動並儲存於孔隙表面。藉此確保：即使在蒸發元件下游形成飽和蒸氣壓力之情況下，下游氣流中亦不存在懸浮粒子。為了將蒸發元件加熱至例如介於300℃與400℃之間的蒸發溫度，蒸發器殼體可被一加熱裝置包圍。該或該等蒸發元件較佳由導電材料構成，如此便可為蒸發元件施加為其加熱的電流。蒸發率與蒸發溫度之間為非線性關係，因而設有可使得蒸發元件保持穩定溫度的調溫裝置。根據一種技術方案，不論該開孔泡沫體係用類玻璃碳、金屬、陶瓷、玻璃或石英製成抑或經塗佈處理，其孔壁表面皆塗有強反射材料(尤指金)。
用本發明裝置可沉積如前述US 7,238,389 B2及前述其他文獻所描述的層或層結構。詳情請參閱該些公開案所揭露之內容。
下文將參照附圖對本發明之實施例進行說明。
來自圖中未繪示氣源的惰性載氣如氮氣、氫氣或稀有氣體由圖中同樣未繪示之質量流量調節器送入載氣輸送管1。可將該載氣輸送管加熱，以便被加熱載氣經載氣輸送管進入氣膠發生器3。
將有機起始材料儲存於儲存容器2。該起始材料為一施加電壓後會發光的有機發光材料，用以在基板18上沉積發光層。
氣膠發生器3可為如US 7,501,152 B2或US 7,288,285 B2中所描述的刷輪式噴霧器或螺旋輸送裝置。藉該氣膠發生器可將粉末組分以懸浮粒子形式送入載氣流。向載氣流輸送懸浮粒子之時間性質量輸送率(即，氣膠產生率)會發生變化。
該氣膠發生器經氣膠輸送管4與蒸發器5連接。載氣流經由該氣膠輸送管將懸浮粒子送入蒸發器5。
圖1至圖3所示之蒸發器5具有殼體11及包圍殼體11之加熱裝置12。該殼體內設由固態泡沫構成的複式蒸發元件6-10。該固態泡沫由加熱裝置12加熱至蒸發溫度，以便有機懸浮粒子與固態泡沫表面接觸後蒸發。
由此產生的蒸氣由載氣流經蒸氣輸送管13送入反應器殼體15。為了防止蒸氣在蒸氣輸送管13的壁部及佈置於反應器殼體15內之氣體分佈器16的壁部發生冷凝，須為氣體分佈器16及蒸氣輸送管13加熱。蒸氣輸送管13例如可具有熱套14。
佈置於反應器殼體15內部的氣體分佈器16呈蓮蓬頭狀。該氣體分佈器為一片狀空心體，包含指向處理室17之出氣面，此出氣面具有多個呈篩網狀佈置之出氣口，用於輸送蒸氣的載氣流經該等出氣口進入處理室17。
氣體分佈器16之出氣面構成處理室17之頂部，基座19則構成處理室17之底部，待塗佈基板18平放於該基座指向氣體分佈器16的表面。
基座19具有可將該基座表面冷卻之冷卻裝置(未繪示)，藉此使基板18保持能使該有機起始材料的蒸氣在基板表面發生冷凝之溫度。
附圖未對閥門及用於沖洗處理室的其他氣體管道進行圖示。而用以使處理室17及蒸發器5之蒸發室保持低壓的真空泵20亦僅作了簡單示意。
在圖4僅以截面圖示出之方案中，佈置於蒸發器5內的蒸發元件6-10由導電材料構成。該材料為一開孔固態泡沫，其孔隙體積約占總體積97%。該些蒸發元件具有電接點21、22，藉此可分別為蒸發元件6-10施加用以將蒸發元件6-10 加熱至蒸發溫度的電流。蒸發元件6-10可由石墨或金屬構成。倘若該等蒸發元件由不導電材料如陶瓷構成，則用圖1至圖3所示之熱套12為蒸發元件6-10加熱，該熱套將蒸發器5之管型殼體包圍。
管型蒸發器殼體11內設具有通孔6'之第一管型蒸發元件6。通孔6'對準氣膠輸送管4，遂使氣膠流自氣膠輸送管4進入蒸發器5後能流入第一蒸發元件6之空腔。該進入通道6'被蒸發元件6的多孔壁部包圍。蒸發元件6之孔徑大於懸浮粒子的粒度，故而懸浮粒子可被氣流送入蒸發元件6，參見圖中箭頭。懸浮粒子與蒸發元件6之孔隙之高溫表面接觸後部分蒸發。若氣膠供應過量，則亦有部分懸浮粒子儲存於蒸發元件6的孔隙內。該氣流及懸浮粒子流離開通孔6'即第一蒸發元件6之內腔後進入與第一蒸發元件6直接連接的第二蒸發元件7。三個片狀第二蒸發元件7、8、9沿流向前後佈置。第二蒸發元件7、8、9佔據管型殼體11之整個截面面積。該等第二蒸發元件相毗連且相接觸。以元件符號9標示之第二蒸發元件下游設有與第一蒸發元件6一樣同為管型蒸發元件之第三蒸發元件10。該第三蒸發元件具有與第一蒸發元件6之通孔6'對準、但被第二蒸發元件7、8、9隔開的通孔10'，此通孔構成一排出通道。第三蒸發元件10後方為一與蒸氣輸送管13連通之自由區域。
蒸發元件6-10係用相同材料製成且能將未蒸發之懸浮粒 子作為緩衝質量予以暫存。
上述裝置係用於實施如下所述之本發明方法。用該有機起始材料為平放於基座19上的玻璃質基板18進行塗佈。為此，氣膠發生器3首先在富集階段產生一定質量流量之送往蒸發器5的氣膠，該質量流量大於蒸發器5內之蒸發率，以便產生含有飽和蒸氣的載氣流，再由蒸氣輸送管13送入處理室17。在以此種方式過量供應懸浮粒子之情況下，蒸發元件6-10之孔隙內形成緩衝質量。該未蒸發起始材料的緩衝質量在富集階段期間變大。
富集階段之後為耗竭階段，其與富集階段之間的區別大體僅在於氣膠發生器3之產生率。氣膠發生器3在該耗竭階段期間產生一定質量流量之送往蒸發器5的懸浮粒子，該質量流量大於蒸發器5內之蒸發率(即，每單位時間所蒸發的質量)，以便產生蒸氣飽和輸出氣流。緩衝質量在耗竭階段期間變小。已蒸發有機起始材料在被送往處理室17之氣流內的蒸氣壓力仍保持不變。此氣流內持久含有飽和的已蒸發有機起始材料。該蒸氣可在基板上冷凝。但該蒸氣亦可在處理室內或在基板上發生化學反應。
倘若蒸發器5內部仍存在緩衝質量，便須由耗竭階段切換至富集階段。塗佈過程中可在耗竭階段與富集階段之間來回反覆切換。
圖5至圖8為可應用於如圖1所示裝置之蒸發器5的第二 實施例。氣膠輸送管4在管型殼體11內部進一步深入數毫米並伸入第一蒸發元件6之通孔6"內。可選自由空間24將此蒸發元件6與殼體11之側壁隔開。自由空間24主要起隔熱作用。
直徑較小的通孔6"與直徑大約兩倍於該通孔之第二通孔6'連接。
蒸發元件6下游為同樣具有通孔23'的另一蒸發元件23。通孔23'對準蒸發元件6之通孔6'。
蒸發元件23下游設有佔據管型殼體11之整個截面的擴散器7。擴散器7大體同樣為蒸發元件，因為擴散器7與其餘蒸發元件6、23、10、8及9皆由相同材料即前述之開孔泡沫體構成。擴散器7之厚度(即，沿流向所測得之擴散器長度)與擴散器7之孔隙開口寬度的數量級。
蒸發元件10在擴散器7下游與之連接，該蒸發元件具有直徑與通孔6'及23'相同的第一通孔7'。此通孔7'沿流向與直徑相對較小的另一通孔7"連接。通孔7"底部封閉，因而此通孔係為一盲孔。盲孔7"的底部由一佔據管型殼體11之整個直徑的蒸發元件8構成。蒸發元件7及蒸發元件8與蒸發元件10一同形成一全面封閉的內部空腔7'、7"。
蒸發元件8與一與蒸發元件8大體採用相同設計的蒸發元件9連接。
上述所有蒸發元件6、23、7、10、8、9前後成一長排佈 置且相互接觸。從流向看在最後一個蒸發元件9後面設有自由空間25。該自由空間與蒸氣輸送管13連通。載氣流攜懸浮粒子經氣膠輸送管4進入通孔6'、23'。該等懸浮粒子隨氣流進入通孔6'、23'的壁部，即進入開孔蒸發元件6及23。質量相對較大、速度相對較快(即，脈衝相對較大)的懸浮粒子能一直到達蒸發元件7。該蒸發元件起擴散器作用，係用於為載氣流及其所攜之懸浮粒子制動。此等懸浮粒子到達空腔7'、7"後進入蒸發元件10及8並在此處吸熱蒸發。
上述蒸發元件可為由玻碳或類玻璃碳構成的開孔泡沫體。該泡沫體上可塗佈金屬或陶瓷。此泡沫體亦可由玻璃或石英構成。根據一種尤佳技術方案，該泡沫體表面具有較小之光學發射率。此發射率在紅外線範圍(200℃至400℃)內較佳小於0.2。較佳以在孔壁上塗金之方式實現該較小之表面發射率。
所有已揭示特徵(自身即)為發明本質所在。故本申請之揭示內容亦包含相關/所附優先權檔案(在先申請副本)所揭示之全部內容，該等檔案所述特徵亦一併納入本申請之申請專利範圍。附屬項採用可選並列措辭對本發明針對先前技術之改良方案的特徵予以說明，其目的主要在於在該等請求項基礎上進行分案申請。
1‧‧‧載氣輸送管
2‧‧‧有機起始材料容器
3‧‧‧氣膠發生器
4‧‧‧氣膠輸送管
5‧‧‧蒸發器
6‧‧‧蒸發元件
6'‧‧‧通孔/進入通道
6"‧‧‧通孔
7‧‧‧蒸發元件/擴散器
7'‧‧‧通孔
7"‧‧‧通孔/盲孔
8‧‧‧蒸發元件
9‧‧‧蒸發元件
10‧‧‧蒸發元件
10'‧‧‧通孔
11‧‧‧管型殼體
12‧‧‧加熱裝置/熱套
13‧‧‧蒸氣輸送管
14‧‧‧加熱裝置/熱套
15‧‧‧反應器殼體
16‧‧‧氣體分佈器(蓮蓬頭)
17‧‧‧處理室
18‧‧‧基板
19‧‧‧基座
20‧‧‧真空泵
21‧‧‧電接點
22‧‧‧電接點
23‧‧‧蒸發元件
23'‧‧‧通孔
24‧‧‧自由空間
25‧‧‧自由空間
圖1為塗佈裝置結構圖； 圖2為沿圖1中II-II線所截取的剖面圖；圖3為沿圖1中III-III線所截取的剖面圖；圖4為第二實施例沿III線所截取的剖面圖；圖5為蒸發器第二實施例之剖面圖；圖6為沿圖5中VI-VI線所截取的剖面圖；圖7為沿圖5中VII-VII線所截取的剖面圖；及圖8為沿圖5中VIII-VIII線所截取的剖面圖。
4‧‧‧氣膠輸送管
6‧‧‧蒸發元件
6'‧‧‧通孔/進入通道
6"‧‧‧通孔
7‧‧‧蒸發元件/擴散器
7'‧‧‧通孔
7"‧‧‧通孔/盲孔
8‧‧‧蒸發元件
9‧‧‧蒸發元件
10‧‧‧蒸發元件
11‧‧‧管型殼體
13‧‧‧蒸氣輸送管
14‧‧‧加熱裝置/熱套
23‧‧‧蒸發元件
23'‧‧‧通孔
24‧‧‧自由空間
25‧‧‧自由空間

Claims (13)

  1. 一種將有機起始材料成層沉積於基板(18)之方法，其中，將該有機起始材料以懸浮粒子形式送入載氣流，將由此產生的氣膠作為規定質量流量之該有機材料送往蒸發器(5)，該蒸發器(5)具有表面較大之蒸發元件(6-10)，將該蒸發元件加熱至蒸發溫度，靠近該蒸發元件(6-10)表面或與該蒸發元件(6-10)表面接觸的懸浮粒子在此蒸發溫度下蒸發，由此產生的蒸氣由該載氣流送入處理室(17)，該蒸氣在該處理室內於基板(18)表面發生冷凝並形成該層，其特徵在於，為了產生並向該處理室輸送含有已蒸發有機起始材料之飽和蒸氣的載氣流，在該沉積製程的至少一階段，特別是開始階段內，使流向該蒸發器(5)之懸浮粒子的質量流量大於該等懸浮粒子在該蒸發器(5)內之蒸發率。
  2. 如申請專利範圍第1項之方法，其中，該等懸浮粒子之粒度小於該具有一開孔泡沫體之蒸發元件(6-10)的孔徑。
  3. 如申請專利範圍第2項之方法，其中，交替地在該沉積製程的不同階段使流向該蒸發器(5)之有機起始材料的質量流量發生變化，亦即在富集階段，使流向該蒸發器(5)之有機起始材料的質量流量大於相同時間內蒸發該有機起始材料所產生的蒸氣質量流量，而在耗竭階段，使流向該蒸發器(5)之有機起始材料的質量流量略小於相同時間內蒸發該有機起始材料所產生的蒸氣質量流量，其中在該沉積製程實施 期間，於該富集階段期間富集於蒸發器內之有機起始材料的緩衝質量全部蒸發之前，自該耗竭階段切換至該富集階段。
  4. 如申請專利範圍第1項之方法，其中，將特定言之經預熱處理之惰性氣體特別是氮氣、氫氣或稀有氣體特別是氬氣用作該載氣。
  5. 如申請專利範圍第1項之方法，其中，在介於0.1 mbar與100 mbar，較佳介於0.1 mbar與10 mbar之總壓下進行該蒸發。
  6. 如申請專利範圍第2項之方法，其中，該開孔泡沫體由類玻璃碳或玻碳構成且塗有特別是鉭、鉬、鎢、錸、鈮的金屬或特別是碳化矽或氮化硼的陶瓷，或者由特別是鉭、鉬、鎢、錸、鈮的金屬、陶瓷、玻璃或石英構成及/或視情況塗有其他金屬如金。
  7. 如申請專利範圍第2項之方法，其中，該泡沫體之孔隙寬度超過0.5 mm，較佳超過1 mm。
  8. 一種用於將有機起始材料成層沉積於基板(18)之裝置，包括氣膠發生器(3)及處理室(17)，該氣膠發生器用於產生該起始材料之一定質量流量的懸浮粒子，該等懸浮粒子由載氣流送往蒸發器(5)，其中，該蒸發器(5)具有開孔蒸發元件(6-10)，該蒸發元件包含實施為盲孔之進入通道(6')且可被加熱至蒸發溫度以蒸發該等懸浮粒子，該處理室用於容置該基板(18)，該蒸發器(5)所產生的蒸氣由蒸氣輸送管(13)送入該 處理室，其中，該蒸發元件(6-10)具有以一通孔形成該進入通道(6')之第一蒸發元件(6)及第二蒸發元件(7)，該第二蒸發元件構成該進入通道(6')之封閉末端(7')以免未蒸發懸浮粒子穿過，其特徵在於，該蒸發元件(6-10)為一開孔泡沫體，其孔隙截面面積超過1 mm2，孔隙體積至少占總體積90%。
  9. 如申請專利範圍第8項之裝置，其中，多個沿流向前後成一長排佈置的蒸發元件(6-10)，其中，一或多個第一蒸發元件(6)以相同直徑或不同直徑之通孔形成該進入通道，沿流向在該一或多個第一蒸發元件(6)後面設有一或多個佔據該蒸發器(5)之整個通流截面的第二蒸發元件(7，8，9)。
  10. 如申請專利範圍第9項之裝置，其中，具有一第三蒸發元件(10)，該第三蒸發元件構成一特定言之對準該進入通道(6')的排出通道(10')，該排出通道的封閉末端(9')由該一或多個第二蒸發元件(7，8，9)構成。
  11. 如申請專利範圍第8項之裝置，其中，該蒸氣輸送管(13)與佈置於反應器殼體(15)內之氣體分佈器(16)連通，該氣體分佈器的出氣面具有多個呈篩網狀佈置之出氣口，且該出氣面與承載該基板(18)且特定言之經冷卻處理之基座(19)相對佈置。
  12. 如申請專利範圍第8項之裝置，其中，該蒸發器(5)具有加熱裝置(12)。
  13. 如申請專利範圍第8項之裝置，其中，該蒸發元件(6-10) 由導電材料構成，該導電材料可被流經該蒸發元件(6-10)的電流加熱。
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