JP6085595B2 - Oledの堆積方法および装置 - Google Patents
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- H10K71/16—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering
Description
しつくされる前に、濃縮化過程に切り換えることにより、即ち材料の供給を上昇させることによって終了される。
2 有機出発物質用容器
3 エーロゾル発生器
4 エーロゾル供給ライン
5 蒸発器
6 蒸発本体
6′ 貫通開口
6′′ 貫通開口
7 蒸発本体
7′ 貫通開口
7′′ 貫通開口
8 蒸発本体
9 蒸発本体
10 蒸発本体
10′ 貫通開口
11 管状ハウジング
12 加熱器
13 蒸気供給ライン
14 加熱器
15 リアクタ・ハウジング
16 ガス分配器(シャワヘッド)
17 プロセスチャンバ
18 基板
19 サセプタ
20 真空ポンプ
21 電気接点
22 電気接点
23 蒸発本体
23′ 貫通開口
24 自由空間
25 自由空間
Claims (18)
- 有機出発物質が浮遊粒子の形でキャリヤガス内に導入され、このようにして発生されたエーロゾルが有機材料の所定の質量流れとして蒸発器(5)に供給され、該蒸発器(5)は細孔を含む個体発泡体から構成される蒸発本体(6−10)を有し、蒸発本体(6−10)は、蒸発本体(6−10)の表面付近の浮遊粒子または蒸発本体(6−10)の表面と接触して前記細孔内に入り込んだ浮遊粒子が蒸発する蒸発温度に加熱され、このようにして発生された蒸気がキャリヤガス流れによりプロセスチャンバ(17)内に搬送され、プロセスチャンバ(17)内において蒸気が基板(18)の表面上で凝縮して層を形成する、基板(18)上の層としての有機出発物質の堆積方法において、
プロセスチャンバへの、蒸発された有機出発物質の蒸気で飽和されたキャリヤガス流れを発生させるために、堆積工程において、蒸発本体(6−10)の温度を一定に保持しながら、濃縮化過程内においては、蒸発器(5)への有機出発物質の質量流量が、同時刻に有機出発物質の蒸発によって発生される蒸気の質量流量より大きくされ、および希薄化過程内においては、蒸発器(5)への有機出発物質の質量流量が、同時刻に有機出発物質の蒸発によって発生される蒸気の質量流量より小さくされ、
前記濃縮化過程の間に蒸発器内に増大された有機出発物質の蓄積質量が前記希薄化過程において完全に蒸発される前に、前記希薄化過程から前記濃縮化過程に切り換えられる、
ことを特徴とする基板(18)上の層としての有機出発物質の堆積方法。 - 浮遊粒子のサイズが、前記個体発泡体から構成される蒸発本体(6−10)の細孔サイズより小さいことを特徴とする請求項1に記載の堆積方法。
- キャリヤガスとして、予熱された不活性ガスが使用されることを特徴とする請求項1または2に記載の堆積方法。
- キャリヤガスとして、予熱された窒素、水素または希ガスが使用されることを特徴とする請求項1または2に記載の堆積方法。
- キャリヤガスとして、予熱されたアルゴンが使用されることを特徴とする請求項1または2に記載の堆積方法。
- プロセスチャンバ内において、プロセスが、0.1−100mbarの範囲内の全圧において行われることを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の堆積方法。
- プロセスチャンバ内において、プロセスが、0.1−10mbarの範囲内の全圧において行われることを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の堆積方法。
- 前記個体発泡体が、ガラス質炭素またはガラス状炭素から構成されることを特徴とする請求項1ないし7のいずれかに記載の堆積方法。
- 前記個体発泡体が、メタルまたはセラミックでコーティングされていることを特徴とする請求項8に記載の堆積方法。
- 前記個体発泡体が、ガラスまたは石英から構成されることを特徴とする請求項1ないし7のいずれかに記載の堆積方法。
- 前記個体発泡体が、金でコーティングされていることを特徴とする請求項8または10に記載の堆積方法。
- 前記個体発泡体が、0.5mmより大きい細孔幅の細孔を有することを特徴とする請求項1ないし11のいずれかに記載の堆積方法。
- 前記個体発泡体が、1mmより大きい細孔幅の細孔を有することを特徴とする請求1ないし11のいずれかに記載の堆積方法。
- キャリヤガス流れ内で蒸発器(5)に搬送される浮遊粒子の形で出発物質の質量流れを発生させるためのエーロゾル発生器(3)と、
貫通内孔により前記出発物質の質量流れが流入する流入チャネル(6′)を形成する第1の蒸発本体(6)、および蒸発されなかった浮遊粒子の通過を阻止するための該流入チャネル(6′)の閉鎖端部(7′)を形成する第2の蒸発本体(7)を含み、該流入チャネル(6′)と第2の蒸発本体(7)とが袋空洞を形成する蒸発本体(6−10)を有し、浮遊粒子を蒸発させるために該蒸発本体(6−10)を蒸発温度に加熱可能である蒸発器(5)と、
蒸発器(5)から発生された蒸気が蒸気供給ライン(13)を介して供給される、基板(18)を受け入れるためのプロセスチャンバ(17)と、
を備え、
前記蒸発本体(6−10)が、1mm 2 より大きい細孔断面積の細孔を含み、全容積の少なくとも90%を占める細孔容積を有する個体発泡体である、
ことを特徴とする基板(18)上の層としての有機出発物質の堆積装置。 - 同じ直径または異なる直径の貫通内孔を有する1つまたは複数の第1の蒸発本体(6)が流入チャネル(6′)を形成し、1つまたは複数の第1の蒸発本体(6)の流動方向後方に、蒸発器(5)の流動断面を完全に充填するように、1つまたは複数の第2の蒸発本体(7、8、9)が配置されている、流動方向に直列に相前後して配置された複数の蒸発本体(6−10)を備えることを特徴とする請求項14に記載の堆積装置。
- 流入チャネル(6′)と同心の流出チャネル(10′)の閉鎖端部(9′)が1つまたは複数の第2の蒸発本体(7、8、9)によって形成されており、該流出チャネル(10′)を形成する第3の蒸発本体(10)を備えることを特徴とする請求項14または15に記載の堆積装置。
- 蒸気供給ライン(13)が、リアクタ・ハウジング(15)内に配置されたガス分配器(16)内に入り込み、
ガス分配器(16)のガス流出面が、篩状に配置された複数のガス流出開口を有し且つ基板(18)を支持する冷却されたサセプタ(19)に向かい合って位置している、
ことを特徴とする請求項14ないし16のいずれかに記載の堆積装置。 - 蒸発器(5)が加熱器を有すること、または
蒸発本体(6−10)が導電材料から構成され、導電材料は蒸発本体(6−10)内に導入された電流により電気加熱可能であること、
を特徴とする請求項14ないし17のいずれかに記載の堆積装置。
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