201040030 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明-般係關於製造-電子裝置的設備與方法。尤其 是，其關於用於連續分配液相印刷材料的一喷嘴序列，以 及-用以減少該印刷材料飛賤（咖ter)在—基板上的吸收 材料。 [相關申請案]
本申請案依據美國專利法35 U.S.C. § 119(啦張應年 U月27日㈣之美國臨時中請案第61⑽，州號之優先 權，並將其全文以引用方式併入本文。 【先前技術】 在電子裝置中使用活性有機分子有曰漸增多的趨勢。這 些活性有機分子具有電子或t||射性f(包括電致發光卜 結合有機活性材料的電子裳置可用以轉換電能為輻射，且 可包括發光二極體、發光二極體顯示器或二極體雷射。 常用於製備有機發光二極體（「〇LED」）顯示器的兩種 :法為：真空沈積與液相加工。(後者包括所有可將流體 :敷為層的形式’流體可為一真正的溶液或一懸浮 =沈積設備—般f要極高的投資成本，並具有較差的材 "^用率U操作成本），所以液相加卫較為人所喜愛 別是用於大面積顯示器。 ’ 2以沈積有機活性層的液相加工包括任何那些可用於控 基板上之層厚度的技術。這些技術其中包括控制： -自動洞整方法’包括旋轉塗布、桿式塗布(_ 345643.doc 201040030 CO; >ating)、浸潰塗布、捲式塗布、凹版塗布或印刷、平版 (lithographic)或柔版（fiex〇graphic)印刷、網版塗布等。這 些技術另外包括使用受控的沈積技術以試圖控制沈積厚 度，包括噴墨印刷、喷灑塗布、喷嘴塗布、狹縫模具式 (slot die)塗布、淋幕式（curtajn)塗布、棒式（bar)或斜板式 (siide)塗布等。 自動調整技術遭受一些困難。用於塗布〇LED顯示器的 流體常被塗敷於具有凹凸構形（t〇p〇graphy)的表面，如電 極、接觸墊、薄膜電晶體、由光阻形成的像素井(p—1 wells)、陰極隔離結構等。使用自動調整技術沈積得的濕 性層，其均勻性係取決於塗布間距與所引起的壓力分布， 所以基板表面凹凸構形的變化會在濕性塗布厚度上造成不 良的變化。自動調整方法通常有較高操作成本:問題，因 為不是所有提供的流體都會沈積至該基板上。某些流體不 是在流體槽(如浸潰塗布)或是在灑施器(如捲式或凹版塗 布）令再循環，就是被廢棄掉了（如旋轉塗布）。再循環流體 中的溶劑會揮發掉，因Μ要残調整以維持製程 性。廢棄材料以及再循環與調整材料都增加了成本 受控技術可以提供較低的操作成本。然而在竿此情、兄 =印刷可能使印刷材料沈積在所欲的指定基材位置 外。其中一種情況是， 希珍液相印刷材料可能***為不 希差付到的液滴，並在基材上沈積於 缺陷常稱作飛淹（splatter) 迭 、位置。廷種 降。 1了以仏成電子裝置的性能下 145643.doc 201040030 前述技術利用在導管或通道中收集多餘的印刷材料並使 用排氣氣流移除來處理這個問題。但已證明這個解決方案 無助於減少飛濺缺陷。其他技術則是涉及維持收集表面 (collection surface)在相同的間距或距離（噴嘴與欲印表面 間）下。其使該印刷材料保持為連續料流（stream)或料柱 (pillar)。然而’此解決方案在喷嘴反轉移動以改變方向 時’會造成液流的積液（puddling)現象或產生液滴而沿基 0 板產製出額外的通道（Pass)。針對飛濺問題的解決方案包 括方法如，減少或避免印刷材料液柱***為氣膠大小的液 滴，以及避免在通道印刷結束時喷嘴反轉移動所造成的積 液現象。 有機層形成時的不一致一般會導致裝置效能低落與裝置 製程中產率不佳。 對於改善用於OLED應用之有機材料的液相沈積方法， 仍有持續性的需求。 Q 【發明内容】 在一受控之塗布方法中，係將所有供應至喷嘴的流體塗 敷在基板或工件上。噴嘴與基板間的相對移動使印刷材料 I用均勻且準確的方式沈積。藉由在—固定基板上方移動 —喷嘴組，或者相對於固定喷嘴組移動基板，又或者使基 板與噴嘴組皆移動的組合，來達成此相對移動。在任何上 相方案中，印刷操作會產生—印刷跡線（printing —亦 2為通逼’其橫過基板，隨後產生第二通道且其通常與第 -通道方向相反。這些印刷通道為連續產生直到基板完 145643.doc 201040030 2 °第-與第二通道的方向反轉使印刷材料在基板上產生 飛滅’並且使所得電子裝置發生後續的操作問題。 用於製造OLED顯示器之有機層的連續噴嘴塗布會產生 數十奈米數量級厚的層。需要 而要方去的改善以在如此薄的尺 寸限制產生可接受的層性能。 :少-實施例包括—噴嘴總成，其包含一噴嘴序列，其 =配：印刷材料的連續料流至-基材，以及-吸收材料 1降低s亥印刷材料的飛賤與—裝 我罝以再生该吸收材料之吸 Π。該喷嘴包組含至少3嘴嘴’但亦可包括Η、。 S夕嘴嘴。在一實施例中，該 不規則表面，且可選自由海绵：：材滑或 ::介質所組成的群組。在-實施例中，該用以再生吸： 二：裝：係為一移動吸收材料與露出額外表面區域的旋 得褒置。在一實施例申一直办 收材料中抽出，、…〃 印刷材料從該吸 續液 以再生該吸收材料。在—實施例中，該連 續液〜的分配係出現在一第一 Μ ^ ^ 弟方向，而後將多餘印刷材料 V向至该吸收材料’隨後在一第二方向印刷。 【實施方式】 包含—有機發光二極體（「〇led 係如圖丨所千廿4Φ 」也千裝置貫例 緩_ ^為100。該裝置具有-陽極層110、一 铤衝層120、—止、工lL « t .. 先活性層130與—陰極層150。一選擇性之 =子注入/傳輸層140係鄰近該陰極層⑼。 洞注入/值於思β 廷禪〖生之電 13〇間。％ (未顯示）係位於該緩衝層120與該活性層 145643.doc 201040030 如本文中所用，該「缓衝層」或「缓衝材科」術 電導性或半導性彳機材料且可在一有機電子裝置内具有— 或多種功能，包括但不限於使其下之層平垣化、電 與/或電荷注入性質、清除雜質如氧或金屬離子、以及^ 他利於增進該有機電子裝置性能的功能。有機緩衝材料^ 為聚合物、寡聚物或小分子，且可為溶液、分散液 液、乳化液、膠體混合物、或其他組成物的型態。該；:雷 Ο ο :傳輸J術語當用於指稱-層、材料、元件或結構時，伟 :指：層、材料、元件或結構有利於正電荷遷移通過： = 件或結構之厚度’並具有相對效率與低電： 、 …子傳輸」術語當用於指稱一層、材料 或結構時，係意指該層、 於倉才7°件次、、'“冓可促進或有利 夕:：遷移:過該層、材料、元件、或結構至 I一：二結構。該「電洞注入」術語當用於指 或結構有利於正，^指該層、材料、元件 : 遷移通過該層、材料、元件、 或、·、。構之厚度，並具有㈣效率與低電荷損失。該 注入」術語當用於指稱一層、 _ 子 指該#、材枓1 枓、π件或結構時，係意 /層材枓1件或結構有利於負電荷注 該層、材料、元件、或社槿 /、遷移通過 電荷損失。 、° 並具有相對效率與低 該裝置可包括 極層110或陰極層15(^ /、了 4近於該陽 極層⑽。該支疋’該支架係鄰近於該陽 了為繞性或剛性，有機或無機一般而 145643.doc 201040030 言，可使用玻璃或接性有機 為-電極，當其用於注 ，該陽極層no 效率。該陽極可包括含有金屬、陰極層150更具 化物或混合氧化物之材料…:二、’、合金、金屬氧 Re M r c 合適的材料包括第2族元素（如 )弟11族兀素、第4、5與ό族 以及第8_10族過渡金屬。若該陽極層U0要為 可透光，則可使用第12、13與㈣元素，例如鋼錫氧化 物。如本文中所用，該「混合氧化物」片語係指具有兩或 更多種不同陽離子的氧化物，該陽離子係選自第2族元素 或第i2、13與14族元素。某些用於陽極層ιι〇之材料特例 (非限定性）包括但不限於銦錫氧化物（「IT〇」）、金、銀、 銅與鎳。該陽極亦可包含有機材料如聚苯胺、聚噻吩或聚 吡咯。本文全部使用IUPAC編號系統’其中周期表上之族 係由左至右以 1-1 8編號（CRC Handbook of Chemistry and Physics, 81st Edition, 2000)。 在一實施例中，該緩衝層120包含電洞傳輸材料。層i2〇 之孔傳送材料實例已總結於例如Kirk-Othmer Encyclopedia of Chemical Technology, Fourth Edition, Vol. 18, p. 837-860，1996，by Y. Wang。電洞傳輸分子與聚合物均可使 用。一般使用的電洞傳送分子包括但不限於：4,4，，4"-三 (N，N-二苯-胺）-三笨胺（4,4’,4」-以3(队：^-以卩1161^1-&1^11〇)-triphenylamine，TDATA) ; 4,4’，4"-三（N-3-曱基苯-N-苯-胺）_ 三苯胺（4,4，，4」-tris(N-3-methylphenyl-N-phenyl”amino)- triphenylamine, MTDATA)、N，N -—本-N，N -雙（3-甲基 145643.doc 201040030 ❹ Ο 苯）-[1,Γ-聯苯-4,4’-二胺（队>^-(11卩11611；71->1，1''1’-1^(3-methylphenyl)-[ 1,1'-biphenyl]-4,4'-diamine, TPD) ' 1,1-雙[(二-4-曱苯胺）苯]環己院（l,l-bis[(di-4-tolylamino) phenyl]cyclohexane，TAPC)、N，N，-二（4-甲基苯）-N,N'-二 (4-乙基苯）-[1，1’-(3,3'-二曱）聯苯]-4,4'-二胺（队1^-以3(4-methylphenyl)-N,N'-bis(4-ethylphenyl)-[l, 1 '-(3,3'-dimethyl) biphenyl]-4,4'-diamme, ETPD)、四（3-曱基苯）-N，N，N，，N，-2,5-苯二胺（tetrakis-(3-methylphenyl)-N，N,N'，N'-2,5-phenylenediamine， PDA)、α-苯-4-N，N-二苯胺苯乙烯（a-phenyl-4-N，N-diphenylaminostyrene，TPS)、對（二乙胺）苯甲酸·二苯踪（p-(diethyl amino )benzaldehyde diphenylhydrazone, DEH)、三 苯胺（triphenylamine，TPA)、雙[4-(N，N-二乙胺）-2-曱基苯] (4-曱基苯）曱烧（bis[4-(N，N-diethylamino)-2-methylphenyl] (4-methylphenyl)methane，MPMP)、1-苯-3-[對（二乙胺）苯 乙烯]-5-[對（二乙胺）苯]0比。坐淋（l-phenyl-3-[p-(diethylamino) styryl]-5-[p-(diethylamino)phenyl]pyrazoline, PPR or DEASP) ' 1，2-反雙（9H-味0圭-9-基）環丁烧（1，2-1^118-1^8(9只-〇&1^&2〇1-9-yl)cyclobutane, DCZB)、N，N，N'，N'-四（4-甲基苯）-(1，1，-聯 苯）-4,4'-二胺（N，N，N'，N'-tetrakis(4-methylphenyl)-(l，l'-biphenyl)-4,4’-diamine，TTB)、N，N'-雙（萘-1-基）-Ν,Ν'-二-(苯）聯苯胺（N，N'-bis(naphthalen-l-yl)-N，N’-bis-(phenyl) benzidine, α-ΝΡΒ)、以及紫質（porphyrinic)化合物如商太青 銅。常用的電洞傳輸聚合物包括但不限於，聚（9,9，-二辛 基-苐-共-N-(4- 丁基苯）二苯胺）(poly(9,9,-dioctyl-fluorene- 145643.doc 201040030 co-N-(4-butyiphenyl)diphenylamine)及其類似物、聚乙烯 口卡°坐、（苯基甲基）聚石夕燒（(phenylmethyl)polysilane)、聚 (二氧 口塞吩）(poly(dioxythiophenes))、聚苯胺（polyanilines) 與聚吡咯。藉由將電洞傳輸分子（如前述）摻雜至聚合物如 聚苯乙烯與聚碳酸酯中，亦可能獲得電洞傳送聚合物。 該光活性層130—般可為任何有機電致發光（「EL」）材 料’包括但不限於小分子有機螢光化合物、螢光與磷光金 屬錯合物、共軛聚合物與上述物質之混合物。螢光化合物 之貫例包括但不限於祐、花、紅榮稀、香豆素、上述物質 的衍生物與上述物質之混合物。金屬錯合物之實例包括但 不限於金屬螯合類奥辛（oxin〇id)化合物，例如三（8-羥基喹 琳）銘（tris(8-hydroxyquinolato)aluminum，Alq3);環金屬化 (cyclometalated)銥與鉑電發光化合物，例如銥與苯吡啶 (phenylpyridine)、苯唾淋（phenylquinoline)、或苯 °密咬 (phenylpyrimidine)配位基之錯合物，如Petrov et al.所發明 之美國專利第6,670,645號與已公開之PCT申請案第WO 03/063555及w〇 2004/016710號所揭露，以及有機金屬錯 合物’例如於已公開之PCT申請案第w〇 03/008424、WO 03/091688、及WO 03/040257號所述者與上述物質之混合 物。包含一電荷攜帶主體材料與一金屬複合物之電致發光 电射層已見於Thompson et al.的美國專利第6,303,238號以 及Burrows與Th〇mpson的公開PCT申請案第WO 00/70655與 WO 01/41512。共軛聚合物之實例包括但不限於聚（苯伸乙 烯）（poly(phenylenevinylenes))、聚第（polyfluorenes)、聚 145643.doc •10- 201040030 (螺二苐）(p〇ly(spir〇biflu〇reneS)、聚噻吩、聚（對伸苯） (P〇ly(P-Phenylenes)、上述物質之共聚物與上述物質之混 合物。 特殊材料之選擇可取決於特定應用、操作時的使用電壓 或其他因素。該含有電致發光有機枒料之£1^層13〇可使用 任何相關技術加以塗敷’包括液相力D工。在另一實施例 中，可將一 EL聚合物前驅物加以塗數並隨後將其轉換為聚 〇 合物’一般係利用熱能或其他外部能量來源（如可見光或 UV輻射）。 選擇性層140的功能可為利於電子迮入/傳輸，亦可作為 一拘限層以防止在層介面間的淬滅反應。更特別的是，層 140可促進電子移動率並降低淬滅反應發生的可能性，若 無層14〇則層13〇與15〇會直接接觸。可用於選擇性傳送層 14〇之電子傳送材料實例包括金屬鸯合類奥辛（〇xin〇id)化 合物’例如三（8-經基♦琳）銘（tris(8 hydr〇xyquin〇lat〇) ❹ aluminum，蝴3)、二（2-甲基―8·啥琳）（對苯基苯酚）^(bis(2_ methyl-8-quinolinolato)(para-phenyl.phen〇lat〇)alliminurn(III)j BA1Q)與四（8-羥基喹啉）锆（tetrakis-(8_hydr()xyquin()linat。） zirconium (IV)，ZrQ);以及唑化合物例如 2_ (4_聯苯）_5_(4_ 二級丁本）-1，3,4· π惡-一 π坐（2_ (4-biphenylyl)-5-(4-t-butylpheny 1)-1,3,4-oxadiazole, PBD)、3_(4_ 聯苯）_4_ 苯 _5_ (4-三級丁笨）-1,2,4-三0l(3-(4-biphenylyl)-4-phenyl-5-(4-t-butylphenyl)-l，2,4-triazole，TAZ)、與 1，3,5-三（苯基-2-苯并 口米0坐）苯（l，3,5-tri(phenyl-2-benzimidazole)benzene，ΤΡΒΙ); 145643.doc 11 201040030 喹口咢啉（quinoxaline)衍生物如2,3-二（4_ I苯）π奎口号淋 (22,3-bis(4-fluorophenyl)quinoxaline);鄰二氮菲如 4,7_ 聯 苯-1，10-鄰二氮菲（4,7-diphenyM，l〇-phenanthroline, DPA) 與 2,9-二甲-4,7-聯苯-l，l〇-鄰二氮菲（2,9_dimethyl 4,7_ diphenyl-l，10-phenanthroline，DDPA);以及上述物質之混 合物。或者，選擇性電子傳送層140可為無機並包含 BaO、LiF、Li20或類似物。 該陰極層1 50為一對於注入電子或負電荷載子特別有效 的電極。該陰極層150可為具有較第一電接觸層（在此情況 中為該陽極層110)低之功函數的任何金屬或非金屬。如本 文中所用，s亥「較低功函數」術語意指一具有不大於4.4 eV之功函數的材料。如本文中所用，該「較高功函數」術 語意指一具有至少約4.4 eV之功函數的材料。 用於陰極層之材料可選自第丨族的鹼金屬（如Li、Na、 K、Rb、Cs)、第2族金屬（如Mg、Ca、Ba或類似物）、第i2 知至屬、鑭系元素（如Ce、Sm、Eu或類似物）以及纲系元素 (如Th、U或類似物）。亦可使用材料如鋁、銦、釔與上述 材料之組合。用於陰極層15〇之特定非限定性材料實例包 括但不限於鋇、鋰、鈽、鉋、銪、铷、釔、鎂、釤與上述 材料之合金及組合。 在其他實施例中’額外之層可存在於有機電子裝置中。 例如，一位於該緩衝層12〇與該^[層13〇間之層（未顯示）可 有利於正電荷傳輸、該些層的譜帶間隙匹配、作為保護層 或類似功用。同樣地，位於該EL層130與該陰極層15〇間之 145643.doc -12- 201040030 額外層（未顯示）可有利於負 貝蛋何傳輸、該些層的譜帶間隙 匹配、作為保護層或類彳 ’、 沾麻 力用。可使用在所屬領域中已知 的層。此外，任何上述之 之層可由兩或更多層所構成。另 外’無機陽極層110、續镑 4緩衝層120、該El^130與該陰極 層0中的一些或所有層可經表面處理，以增加電荷載子 :輸效率|個兀件層的材料選擇可藉由下述考量而決 疋’即讓提供兩裝置效率# 善丨 丰之目私與製造成本、製造複雜度 Ο
或其他潛在因素達成平衡。 該些不同層可具有任何合適的厚度。在-實施例中，益 機陽極層m通常不大於約5〇〇 ，例如約緩 衝層120通常不大於約25〇 -，例如約50-200⑽：紅層 130通常不大於約⑽⑽，例如約5請nm;選擇性層14〇 通常不大於約1〇〇 nm，例如的 , 例如約20-80 nm ;而陰極層ΐ5〇通 常不大於約1 〇〇 nm，办“认 例如約1-50 nm。若該陽極層11〇或該 陰極層150需要至少可讓—些光透過’該些層的厚度可不 超過約100 nm。 在有機發光二極體（〇LEDs)中，分別由該陽極層11〇與該 陰極層/主人4EL層13G的電子與電洞分別在該聚合物甲形 成負” π正電荷的極離子i()ns)。這些極離子在外加 電場的影響下遷移’形成—帶有相反電荷物種的極離子激 子，並隨後進行放射性的再結合。可外加足夠的電位差至 X袭置的陽極與陰極間，該電位差通常小於約⑵犬特，並 且在許多例子中為不大於約5伏特。實際的電位差可取決 於該裝置於較大電子元件中的使用。在許多實施例中，係 145643.doc -13. 201040030 施加正偏塵至該陽極層，而該陰極層〗在電子裝置操作 時實質上為在大地電位或零伏特。可將一電池或其他電源 私連接至該电子裝置而作為電路的一部分，但並未說明於 圖1令。 圖2說明喷嘴序列200的實施例。一進料口 2〇2將印刷 材料（未顯示）導向至喷嘴結構2〇4(具有至少3喷嘴2〇6&、 2〇6b與206c)e該喷嘴結構2〇4可含有6、9、i2或任何所欲 噴嘴序及收材料2 0 8係鄰近於每個喷嘴2 〇 6以吸收 多餘印刷材料（未顯示）。該吸收材料可包含任何一些吸 收材料’包括以下列物質為基礎的多孔性介質，如陶、 金屬、塑膠或天然產物。該多孔性介質具有由5至5〇〇声 ^孔徑°在-實施例中，該多孔性介f可為不鑛鋼或多孔 性塑膠。該吸收材料2〇8可位於—可動臂21吐，在第一印
Hi完成後與第二印刷通道開始前，可將來自噴嘴施 的溢出物吸除。 圖3說明-結構则的實施例，該結構具有鄰近於一基板 2的吸收材料。該喷嘴結構2()4(未顯示於圖柯 向304產生一印刷通道，反轉方 一货 c 亚在第二方向306產生 印刷通道。該印刷材料之料柱藉由保 基板302之間距（在反轉方向時）而維持穩 、- 2 〇 8可藉由旋轉裝置2 i 〇的驅動额外"X收枓料 -實施例中，可使用—真空來源3::::心域。在 移除先前吸收的印刷材料）。 P刷材料（藉由 上述實施例中的印刷材料可為' 緩衝層、一電 145643.doc .14- 201040030 層、一電荷注入層、—電荷傳輸層、一電致發光層或上述 層的組合。該印刷材料包含一液體與一固體材料以產生一 /合液心浮液、分散液、乳化液、膠體混合物或其他組成 物。該液體可為-有機溶劑或水，如同本說稍明後之討 〇W °亥口體係為用於該緩衝層120、EL層130或選擇性層 140中的任何一或多個材料。 在一進一步的實施例中，該液體混合物之黏度不大於5 〇 ⑸白。在又一進-步的實施例中’該液體混合物包括一液 體溶劑，其中該液體溶劑可包括兩或更多種溶劑。在再一 進一步的實施例中，至少一種溶劑為水。 額外的設備可配置於噴嘴結構204中或與其一起使用， 包括以可讓流體流通的方式（fluidly)連接至該喷嘴結構2〇4 的容器與供料線，以容置任何一些成分以形成該液相混合 物。其他設備可包括任何一或多個步進馬達、泵、漶器、 電子控制器、其他電力、機械或電機總成或次總成、設施 〇 連結或任何上述設備之組合。 3.液體組成物 该喷嘴序列200可用於沈積各種不同材料，包括液體溶 液。下列段落僅包括某些可使用的材料而非全部。在一實 施例中，在電子裝置中用於有機層的一或多種材料係使用 該噴嘴序列2〇〇而形成。 該喷嘴序列200相當適合用於印刷液體組成物。該噴嘴 序列200容許使用大範圍的操作參數，而且相較於現有喷 墨印刷機，其可使用液體組成物。在—實施例中，—或多 145643.doc •15- 201040030 個參數可影響該液體組成物的流動特性。黏度為可影塑流 動特性的參數。可藉由選擇下列因素而影響黏度，如二 介質、液體介質内的固體含量、液體組成物的溫度、或其 他潛在的-或多種因素以及上述因素的任何組合^溫度^ 直接影響黏度（降溫時液體介質黏度增加而昇溫時減少）， 或藉由改變液體介質在液體組成物中的蒸發速率而間接影 響黏度（亦即使用較低或較高沸點的液體介質、改變液體 組成物的溫度或上述方式的組合）。在閱讀本說明書後， 熟悉該項技術者將理解到，他們有許多不同方式來使液體 介質實質上有較大的選擇空間、讓欲使用的液體組成物有 較大的固羞/辰度範圍、或者上述特性的組合。 該液體混合物可為溶液、分散液、乳化液或懸浮液的型 態。在後續段落中，將呈現固體材料與液體介質的非限定 性貫例。該固體材料可透過一接續形成層的電子或電輻射 性質而選擇。該液體介質可基於本說明書稍後所述之條件 而選擇。 當使用喷嘴序列200時，該液體組成物可具有大於約2 〇 重量百分比的固體而無須顧慮堵塞（cl〇gging)問題。在一 實施例中，該固體含量係在約2〇至3 〇重量百分比的範 圍。因此，相較於現有噴墨印刷機，該噴嘴序列2〇〇可使 用較高黏度或較低沸點的液體組成物。再者，相較於現有 喷墨印刷機，該噴嘴序列200可使用較低黏度或較高沸點 的液體組成物。此外，液體組成物中的液體介質在印刷前 不需除氣。例如，用於分配一水性溶液中之傳導有機材料 145643.doc •16· 201040030 的現有喷墨印刷機需要將水性 序列·容許更多的加工餘裕，不：：/然而，由於嘴嘴 當操作該喷嘴序列200。 -除乳液體介質即可適 一使用該噴嘴序列200印 r^ ή 刃有機層包括一有機活性層 (如-輕射I射有機活性層或 m a 町而應有機活性層）、過 k層、，.友衝層、電荷注入層、 ^何得輸層、電荷阻隔層戋 任何上述層之紐合。可偵用 一 使用°亥有機層作為電阻器、電晶 ο ο 體、電容器、二極體等。 對於-輻射發射有機活性層而言，合適的㈣發射材料 。括小刀子材料、一或多種聚合物材料或上述材料之钽 合。小分子材料可包括任何一或多個描述於例如下列文獻 之材料：美國專利第4,356,429號（「Tang」）；美國專利第 4,539,507號（「Van Slyke」）；美國專利申請案公開第仍 2002/0121638號（「Grushin」）；或美國專利第 6,459,199號 (「Kido」）。或者，一聚合物材料可包括一或多個描述於 例如下列文獻之材料：美國專利第5,247，19〇號 (「Friend」）；美國專利第5,408，1〇9號（「Heeger」）；或美 國專利第5,317，169號（「Nakano」）。一示範性的材料為半 導性共軛聚合物。一該種聚合物之實例包括聚（對苯伸乙 烯 Kpoly(paraphenylenevinylene), PPV)、一 PPV 共聚物、 一聚苐（polyfluorene)、一 聚伸苯（p〇iyphenylene)、一聚乙 快（polyacetylene)、一聚烧基售吩（p〇lyalkylthiophene)、聚 (η-乙烯咔唑）(poly(n-vinylcarbazole)，PVK)或類似物。在 一特定實施例中，一不具有任何客體材料之輻射發射活性 145643.doc -17- 201040030 層可發出藍光。 對於一輻射嚮應有機活性層而言，合適的輻射嚮應材料 可包括一共軛聚合物或一電致發光材料。該種材料包括如 一共輛聚合物或一電致或光致發光材料。一特定實例包括 聚（2-甲氧，5-(2-乙基-己氧）-1，4-苯伸乙烯）(Poly(2-methoxy,5-(2-ethyl-hexyloxy)-l ,4-phenylene vinylene, MEH-PPV)或一 MEH-PPV 與 CN-PPV 之錯合物。 對於一電洞注入層、電洞傳輸層、電子阻隔層或任何上 述層之組合而言，一合適之材料包括聚苯胺（polyaniline, 「PANI」）、聚（3,4-伸乙二氧噻吩）(poly(3,4-e thy lenedioxy thiophene), 「PEDOT」）、聚 D比口各 (polypyrrole)、一有機電荷傳送化合物如四硫富瓦烯-四氰 對酉昆二曱烧（tetrathiafulvalene tetracyanoquinodimethane， 「TTF-TCQN」）、一電洞傳輸材料如於Kido專利中所述或 任上述物質之組合。 對於電子注入層、電子傳輸層、電洞阻隔層或任何上述 層之組合而言，一合適之材料包括金屬螯合類奥辛 (oxinoid)化合物（例如Alq3或鋁（III)雙（2_曱基-8-喹啉）4-苯 基苯酴）(aluminum(III)bis(2-methyl-8-quinolinato)4-phenylphenolate， 「BAlq」））、一口非琳基化合物（如2,9-二甲-4,7-聯苯-1，10-啡琳(2,9-dimethyl-4,7-diphenyl-l,10-phenanthroline，「DDPA」）或 9,10-二苯蒽（9，10-diphenylanthracence (「DPA」））與四（8-經基喧琳）給（tetrakis-(8-hydroxyquinolato)hafnium， 「HfQ」）) 與一唑化合物（例如2-三級丁苯-5-聯苯-1，3,4-噁二唑（2- 145643.doc -18- 201040030 tert-butylphenyl-5-biphenyl -1,3,4-oxadiazole, 「PBD」）、 3- (4-聯苯）-4-苯-5-(4-三級丁苯）-1,2,4-***（3-(4-1^?1161^1)- 4- phenyl-5-(4-t-butylphenyl)-1,2,4-triazole, 「TAZ」）；一 電子傳輸材料如Kido專利所述；一二苯蒽 (diphenylanthracene)衍生物 ； 一二萘蒽 (dinaphthylanthracene)衍生物；4,4-雙（2,2-二苯-乙稀-1-基）-聯苯（4,4-bis(2,2-diphenyl-ethen-l-yl)-biphenyl， 「DPVBI」）；9，10-二-β-萘蒽（9，10-di-beta-naphthylanthracene); 9，10-二-(萘）蒽（9，10-di-(naphenthyl)anthracene ; 9，10-二-(2-萘）蒽（9,10-di-(2-naphthyl)anthracene， 「ADN」）；4,4’-雙（〇卡唾-9-基）聯苯（4,4'-bis(carbazol-9-yl)biphenyl， 「CBP」）；9，10-二-[4-(2,2-苯乙烯）-苯]-蒽（9，10-bis-[4-(2,2-diphenyl vinyl)-phenyl]-anthracene, 「BDPVPA」）； 蒽、N-芳基苯并p米唾（N-arylbenzimidazoles，例如 ΤΡΒΙ」）；1，4-雙[2-(9-乙基-3-咔唑基）伸乙烯基]苯（1，4-bis[2-(9-ethyl-3-carbazoyl)vinylenyl]benzene) ; 4,4'-雙[2-(9-乙基-3-咔唑基）伸乙烯基]-1，Γ-聯苯基（4,4'-1^[2-(9-ethyl-3-carbazoyl)vinylenyl]-l，l'-biphenyl) ; 9,10-雙[2,2-(9,9-伸苐）神乙浠基]蒽（9，10-bis[2,2-(9,9-fluorenylene) vinylenyl]anthracene) ; 1,4-二[2,2-(9,9-伸第）伸乙浠基]苯 (l，4-bis[2,2-(9,9-f!uorenylene)vinylenyl]benzene) ; 4,4'-雙 [2,2-(9,9-伸苐）伸乙烯基]-1，1'-聯苯基（4,4’-1^3[2,2-(9,9-fluorenylene)vinylenyl]-l,Γ-biphenyl)；茈（perylene)、經 取代之茈（substituted perylenes);四-三級 丁基花（tetra- 145643.doc -19- 201040030 tert-butylperylene, 「TBPe」）；雙（3,5-二氟-2-(2-吡啶基） 苯基-(2-魏 σ比咬基）銀 III (bis(3,5-difluoro-2-(2-pyridyl) phenyl-(2-carboxypyridyl) iridium III, 「F(Ir)Pic」）、一 芘（pyrene)、一經取代之芘（substituted pyrene); — 苯乙烯 基胺（styrylamine); —氟化伸苯（phenylene) ; α惡二 〇坐 (oxidazoie)l ; 1，8-萘二甲醯亞胺（1,8-naphthalimide); — 聚 喹琳（polyquinoline); —或多種在PPV内的奈米碳管；或任 何上述物質之組合。 對於一電子元件而言，例如電阻器、電晶體、電容器 等，該有機層可包括一或多種噻吩（例如聚噻吩、聚（烷基 0塞吩 Kpoly(alkylthiophene))、烧基嗟吩（alkylthiophene)、 雙（二°塞吩并α塞吩）（bis(dithienthiophene))、烧基蒽二嗔吩 (alkylanthradithiophene)等）、聚乙块（polyacetylene)、桐五 苯（pentacene)、酞花青（phthalocyanine)或上述物質之任何 組合。 一有機染料之實例包括4-二氰亞曱基-2-曱基-6-(對二甲 胺苯乙浠基）-4H-0农喃（4-dicyanmethylene-2-methyl-6- (p-dimethyaminostyryl.)-4H-pyran, DCM)、香豆素（coumarin)、 祐（pyrene)、站（perylene)、紅榮烯（rubrene)、一上述物質 之衍生物或任何上述物質之組合。 一有機金屬材料之實例包括官能性化的聚合物，其包含 一或多個與至少一個金屬配位的官能基。一適用之示範性 官能基包括一叛酸、一緩酸鹽、一續酸基、一橫酸鹽、一 具有0H部分之基、一胺、一亞胺、一二亞胺（diimine)、一 145643.doc -20- 201040030 N-氧化物、一膦、一膦氧化物、一b_二羰基（b_dicarb〇nyl group)或任何上述官能基之組合。一適用之示範性金屬包 括一鑭系金屬（例如Eu、Tb)、一第7族金屬（例如Re)、一第 8族金屬（例如Ru、Os)、一第9族金屬（例如Rh、Ir)、一第 10族金屬（例如Pd、Pt)、一第11族金屬（例如AU)、一第12 族金屬（例如Zn)、一第13族金屬（例如A1)或任何上述金屬 之組合。該有機金屬材料包括一金屬螯合奥辛類（oxin〇id) 化合物，例如三（8-羥基喹啉）鋁（tris(8_ hydroxyquinolato)aluminum, Alq3) ； 環 金屬化 (cyclometalated)銥與鉑電發光化合物，例如銥與苯吡咬 (phenylpyridine)、苯喹啉（phenylquinoline)、或苯嘴咬 (phenylpyrimidine)配位基之錯合物，如於已公開之pct 申請案第WO 02/027 I4號所揭露者、一有機金屬錯合物例 如於公開之申請案美國申請案第US 2〇01/0019782號、EP 1191612、W0 02/15645、W0 02/31896 與 EP 1191614 所述 者；或任何上述物質之混合物。 共軛聚合物之實例包括一聚（苯伸乙烯）(p〇ly (phenylenevinylene))、聚苐（polyfluorenes)、一聚（螺二 苐）(poly(spirobifluorenes)、上述物質之共聚物與上述物質 之組合。 液體介質之選擇亦可為達到該液體混合物之一或多個適 當性質的重要因素。選擇一液體介質時應考慮的因素包括 例如：所得溶液、乳化液、懸浮液或分散液的黏度、聚合 物材料之分子量、固體負荷、液體介質之種類、液體介質 145643.doc -21 _ 201040030 的沸點、下層基板之溫度、容納客體材料之有機層厚度或 任何上述因素之組合。 在某些實施例中，該液體介質包括至少一溶劑。一示範 性有機溶劑包括一鹵化溶劑、一膠體形成之聚合酸、一烴 類溶劑、一芳族烴類溶劑、一醚類溶劑、一環醚類溶劑、 一醇類溶劑、一二醇類溶劑、一酮類溶劑、一腈類溶劑、 一亞硬（sulfoxide)類溶劑、一臨胺類溶劑或任何上述溶劑 之組合。 一示範性鹵化溶劑包括四氯化碳、氯化甲烧（methylene chloride)、氯仿、四氣乙烯、氯苯、雙（2-氯乙基）醚（bis(2-chloroethyl)ether)、氯曱基乙基醚、氯甲基曱基醚、2-氯 乙基乙基醚、2-氯乙基丙基醚、2-氯乙基曱基醚或任何上 述物質之組合。 一示範性膠體形成之聚合酸包括一氣化續酸（例如氟化 烧基績酸，如全氟乙稀續酸）或任何上述物質之組合。 一示範性烴類溶劑包括戊烷、己烷、環己烷、庚烷、辛 炫、十氫萘、一石油醚、輕汽油（Hgroine)或任何上述物質 之組合。 一示範性芳族烴類溶劑包括苯、萘、曱苯、二甲苯、乙 苯、異丙苯（iso-propyl benzene)、三甲苯（trimethyl benzene)、乙基曱苯、丁苯、異丙基曱苯（iso-propyl toluene)、二乙基苯、異丁基苯、四曱基苯、二級丁苯、 三級丁苯、苯曱醚、4-甲基苯甲醚（4-methylanisole)、3,4-二甲基苯甲(3,4-dimethylanisole)或任何上述物質之組 145643.doc -22- 201040030 一示範性醚類溶劑包括二***、乙基丙基醚、二丙基 醚、二異丙基醚、二丁基醚、甲基三級丁醚、二曱氧乙烷 (glyme)、二甘二曱喊（diglyme)、节基甲基醚（benzyl methyl ether)、異色滿（isochroman)、2-苯乙基甲基醚、n-丁基乙基醚、1，2-二乙氧乙烷、二級丁醚、二異丁醚、乙 基η-丙基醚乙基異丙基醚、n_己基曱基醚、卜丁基曱基 醚、曱基丙基醚或任何上述物質之組合。 一示範性環醚類溶劑包括四氫呋喃、二氧陸圜、四氫哌 喃、4曱基_1，3_二氧陸圜、4_苯基q，％二氧陸圜、二氧 五環烷（1，3-di〇x〇lane)、2-曱基-1，3-氧五環烷、丨，4-二氧陸 園、I，3-二氧陸圜、2,5_二曱氧四氫呋喃、2,5_二曱氧_2,5_ 二氫呋喃或任何上述物質之組合。 示範性醇類溶劑包括曱醇、乙醇、1-丙醇、2-丙醇、 1 丁結、a — _
2_庚醇、1_庚醇、2-乙基_ 甲基環己醇、3 -甲基環己 聲之紐合。 1-己醇、2,6-二甲基·4_庚醇、2_曱 醇、4-甲基環己醇或任何上述物質 亦可利用一醇醚類溶劑包括。甲氧基-2、而隨、〇田#>甘，^ 一示範性醇醚類溶劑包括 •'丙醇、2-甲氧基乙醇、2 2'乙氧基乙醇、卜甲氧 145643.doc -23- 201040030 基-2-丁醇、乙一醇單異丙基謎、丨_乙氧基_2_丙醇、％甲氧 基-1-丁醇、乙二醇單異丁基醚、乙二醇單_n_ 丁基醚、3_ 甲氧基-3-甲基丁醇、乙二醇單三級丁基醚或任何上述物質 之組合。 一示範性二醇類溶劑包括乙二醇、丙二醇、丙二醇單甲 基醚（PGME)、二丙二醇單甲基醚（DpGME)或任何上述物 質之組合。 一示範性酮類溶劑包括丙酮、甲基乙基酮、甲基異丁基 酮、％己酮、異丙基甲基酮、2_戊酮、3_戊酮、3_己酮、 二異丙基酮、2-己酮、環戊酮、4_庚酮、異戊基甲基酮、 3-庚酮、2-庚酮、4_甲氧基_4_甲基_2_戊酮、5_甲基_3_庚 酮、2-f基環己酮、二異丁基酮、5_甲基_2_辛酮、3_甲基 環己酮、2-環己酮、4_p基環己酮、環庚酮、4_三級丁 基環己嗣異佛酮（is〇phorone)、苄基丙酮或任何上述物 質之組合。 一示範性腈類溶劑包括乙腈、丙烯腈、三氯乙腈、丙 腈、二甲基乙腈（pival〇nitri〗e)、異丁腈、n_ 丁腈、甲氧基 乙猜2甲基丁腈、異戊腈、N-戍腈、n_己腈、甲氧基 丙猜3乙氧基丙腈、3,31_氧二丙腈、n_庚腈、羥乙臆 (glyC〇I〇nhrile)、苯甲腈、2-腈乙醇（ethylene cyanohydrin)、丁二腈（succin〇nitrile)、丙 g同氰醇^ cyanohydrin)、3-n- 丁氧丙腈或任何上述物質之組合。 一示範性亞碾類溶劑包括二甲基亞砜、二_n_ 丁基亞 石風四亞甲基亞砜、甲基苯基亞石風或任何上述物質之組 145643.doc -24- 201040030 合。 一示範性醯胺類溶劑包括二甲基甲醯胺、二甲基乙醯 胺、丙烯醯胺（acylamide) 、2-乙醯胺乙醇（2-acetamidoethanol)、N，N-二甲基-m-甲苯醯胺、三氟乙醯 胺、N，N-二甲基乙醯胺、n，N-二乙基十二醯胺（N，N-diethyldodecanamide)、ε-己内酿胺（epsilon-caprolactam)、 N，N-二乙基乙醯胺、N-三級丁基甲醯胺、甲醯胺、三曱基 乙醯胺（pivalamide)、N- 丁醯胺、N，N-二甲基丁酮醯胺 〇 (N，N-dimethylacetoacetamide)、N-曱基甲醯胺、N，N-二乙 基甲醢胺、N-曱醢基乙基胺（N-f〇rmylethylamine)、乙驢 胺、N，N-二異丙基甲醯胺、卜甲醯基旅啶（！_ formylpiperidine)、N-曱基甲醯胺苯或任何上述物質之組 合。 一可列入考慮的冠謎（cr〇wn ether)包括任何一或多種具 有下列功能的冠醚，即可幫助降低環氧樹脂化合物原料中 〇 的氯含量’而該原料根據本發明為係作為被處理之組合的 一部分。一示範性冠醚包括苯并-15_冠[醚]_5(Ι^ηζο—15_ crown-5);苯并-18-冠[醚]_6; 12_冠[醚]_4; 15_ 冠[醚]_5; 18-冠[醚]-6 ;環己酮_15_冠 5) ; 4'，4」（5」）-二三級丁基二苯并_18冠[醚]6 ; 4，,4」 (5」）_一二級丁基二環己酮-18-冠[醚]-6(4，,4」（5」）-此61^-butyldibenZ〇-18-Crown_6); 18_冠[醚]_6_18_冠[醚]_6;二環 己酮-24-冠[叫8 ; 4，_胺苯并七_冠[叫5 ; 4，_胺苯并·ΐ8_ 冠[醚]-6(4i-aminobenz〇_15_cr〇wn_5 ; 4,_amin〇benz〇_i8_ 145643.doc •25- 201040030 crown-6) ; 2-(胺曱基）-15-冠[喊]-5(2-(aminomethyl)-15-crown-5)，2-(胺甲基）-18 -冠[謎]_6，4’-胺-51-石肖基苯并-15_ 冠[醚]-5(4’-amino-5'-nitrobenzo-15-crown-5) ; 1-氮雜-12- 冠[醚]-4(1-323-12-(^(^11-4);1-氮雜-15-冠[醚]-5;1-氮雜_ 18-冠[醚]-6;苯并-12-冠[醚]-4;苯并-15-冠[醚]-5;苯并_ 18-冠[醚]-6 ;雙（（苯并-15-冠[醚]-5)-1 5-基曱基）庚二酸 (bis((benzo-15-crown-5)-15-ylmethyl)pimelate) ; 4-演苯并 _ 18-冠[趟]-6(4-bromobenzo-18-crown-6) ; (+)-(18-冠[趟]_ 6)-2,3，11，12-四-羧酸；二苯并-18-冠[醚]-6 ;二苯并-24-冠 [醚]-8 ;二苯并-30-冠[醚]·ΐ〇 ; ar-ar，-二-三級丁基二苯并_ 18-冠[謎]-6(ar-ar’-di-tert-butyldibenzo-18-crown-6) ; 4'-曱 醯基苯并-15-冠[鍵]-5(4'-formylbenzo-15-crown-5) ; 2-(經 曱）-12-冠[醚]-4 ; 2-(羥曱）-15-冠[醚]-5 ; 2-(羥曱）-18-冠 [醚]-6 ; 4’-硝基苯并-15-冠[醚]-5 ;聚-[(二苯并-18-冠[醚]_ 6)-共-曱搭](p〇ly-[(dibenzo-18-crown-6)-co-formaldehyde]); 1,1- 一 甲基石夕烧-1 1 -冠[鍵]_4( 1，1-dimethylsila-14-crown-5); 1，1-二曱基石夕院_i4-冠[謎]-5; 1,1-二甲基石夕炫-17-冠 [&|]-5 ’ 1，4,8，11-四氮雜環四癸烧（CyCiarn) ; 1，4,1〇，13-四 嗟-7，16-二氮雜環十八烷 u^jin-tetrathia-LM-diazacyclooctadecane); 卟吩 （porphines); 或任何上述物質 之組合。 在另一實施例中，該液體介質包括水。一與水不溶性膠 體形成聚合酸錯合之傳導聚合物可沈積於一基板上並作為 電荷傳輸層。 145643.doc -26 - 201040030 前文描述許多不同種類的 溶劑、芳族煙類溶劍、水等)…化鲁煙類 類之液體介質的混合物 亦可使用多於—種不同種 該液體混合物亦可包括一惰性材料，例 -填充材料或上述材料的組合。就該液體材料二材二 性材料並不會顯著影響由 月 接為5，丨、, 邛刀液體混合物形成（或 又/〜p分液體混合物)之一層的下列性冑，如電
子、輻射發射、或輻射嚮應性質。 應當理解為了清楚說明起見’上述獨立實施例之内容中 的某些發明特徵，亦可以組合方式提供於—單獨的實施例 中。相反地，$ 了内容簡潔起見，描述於單獨實施例内容 中之本發明的各種特徵亦可分開或以任何次組合提供。此 外，以範圍方式描述的數值指稱係包括所述範圍内的每個 值。 【圖式簡單說明】 圖1為一電子裝置的圖解。 圖2為本發明噴嘴系列之一實施例的圖解。 圖3為本發明另一實施例的圖解，此實施例中包含一具 有相鄰吸收材料與真空裝置的基板。 【主要元件符號說明】 100 電子裝置 110 陽極層 120 緩衝層 130 光活性層 145643.doc -27- 電子注入/傳輸層 陰極層 喷嘴序列 進料口 喷嘴結構 喷嘴 噴嘴 噴嘴 吸收材料 可動臂 結構 基板 第一方向 第二方向 真空來源 -28-