JP2008293704A - 塗布装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】鉛直下方向への直線棒状となった液柱状態の塗布液を基板上に吐出して当該塗布液を塗布する塗布装置である。ノズルは、その先端部から塗布液を液柱状態で吐出する。ステージは、基板をその上面に載置する。ノズル移動機構は、ステージ上の空間において、当該ステージ面を横断する方向にノズルを往復移動させる。液受部は、ノズル移動機構が横断する方向に沿ってステージ上から外れた位置にノズルより塗布液を吐出させつつノズルを移動させる際、当該ノズルからステージ外に吐出された塗布液を受ける。液受部は、吸着材を含む。吸着材は、ステージ上から外れた位置に配置されたノズルの先端部から鉛直下方向となる位置に塗布液を吸着保持する。
【選択図】図5
Description
第1の発明は、鉛直下方向への直線棒状となった液柱状態の塗布液を基板上に吐出して当該塗布液を塗布する塗布装置である。塗布装置は、ノズル、ステージ、ノズル移動機構、および液受部を備える。ノズルは、その先端部から塗布液を液柱状態で吐出する。ステージは、基板をその上面に載置する。ノズル移動機構は、ステージ上の空間において、当該ステージ面を横断する方向にノズルを往復移動させる。液受部は、ノズル移動機構が横断する方向に沿ってステージ上から外れた位置にノズルより塗布液を吐出させつつ当該ノズルを移動させる際、当該ノズルからステージ外に吐出された塗布液を受ける。液受部は、吸着材を含む。吸着材は、ステージ上から外れた位置に配置されたノズルの先端部から鉛直下方向となる位置に塗布液を吸着保持する。
2…基板載置装置
21…ステージ
22…旋回部
23…平行移動テーブル
24…ガイド受け部
25、511…ガイド部材
3…制御部
5…有機EL塗布機構
50…ノズルユニット
51…ノズル移動機構部
52…ノズル
521…フィルタ部
53、55…液受部
532…ボックス部
537、538、551…吸着材
54…供給部
541…供給源
542…ポンプ
543…流量計
544…フィルタ
Claims (5)
- 鉛直下方向への直線棒状となった液柱状態の塗布液を基板上に吐出して当該塗布液を塗布する塗布装置であって、
その先端部から前記塗布液を前記液柱状態で吐出するノズルと、
前記基板をその上面に載置するステージと、
前記ステージ上の空間において、当該ステージ面を横断する方向に前記ノズルを往復移動させるノズル移動機構と、
前記ノズル移動機構が前記横断する方向に沿って前記ステージ上から外れた位置に前記ノズルより前記塗布液を吐出させつつ当該ノズルを移動させる際、当該ノズルから前記ステージ外に吐出された前記塗布液を受ける液受部とを備え、
前記液受部は、前記ステージ上から外れた位置に配置された前記ノズルの先端部から鉛直下方向となる位置に前記塗布液を吸着保持する吸着材を含む、塗布装置。 - 前記吸着材は、吸蔵型の有機系油吸着材で構成される、請求項1に記載の塗布装置。
- 前記吸着材は、その上面が前記ノズルから吐出された塗布液が前記液柱状態から***が始まる高さより当該ノズル側となる、前記鉛直下方向位置に配設される、請求項1または2に記載の塗布装置。
- 前記液受部は、前記吸着材の内部に形成された隙間空間に吸着保持された前記塗布液を吸引する吸引手段を、さらに含む、請求項1または2に記載の塗布装置。
- 前記液受部は、前記横断する方向と交差する前記ステージの両側面に沿って当該ステージにそれぞれ延設され、
前記吸着材は、前記液受部が延設される前記ステージの両側面に沿って拡張されて設置される、請求項1または2に記載の塗布装置。
Priority Applications (1)
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2007
- 2007-05-22 JP JP2007135780A patent/JP2008293704A/ja not_active Abandoned
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