RU2091340C1 - Изделие, полученное нанесением на стеклянную подложку по крайней мере одного слоя смешанных оксидов кремния и олова (варианты) - Google Patents

Изделие, полученное нанесением на стеклянную подложку по крайней мере одного слоя смешанных оксидов кремния и олова (варианты) Download PDF

Info

Publication number
RU2091340C1
RU2091340C1 RU9293058398A RU93058398A RU2091340C1 RU 2091340 C1 RU2091340 C1 RU 2091340C1 RU 9293058398 A RU9293058398 A RU 9293058398A RU 93058398 A RU93058398 A RU 93058398A RU 2091340 C1 RU2091340 C1 RU 2091340C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
product according
layer
mixture
glass
item
Prior art date
Application number
RU9293058398A
Other languages
English (en)
Other versions
RU93058398A (ru
Inventor
А.Руссо Дэвид
Р.Диркс Райан
П.Флорсак Гленн
Original Assignee
ЕЛФ Атокем Норт Америка, Инк.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=27123834&utm_source=***_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=RU2091340(C1) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by ЕЛФ Атокем Норт Америка, Инк. filed Critical ЕЛФ Атокем Норт Америка, Инк.
Publication of RU93058398A publication Critical patent/RU93058398A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2091340C1 publication Critical patent/RU2091340C1/ru

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/22—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with other inorganic material
    • C03C17/23—Oxides
    • C03C17/245—Oxides by deposition from the vapour phase
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/40—Oxides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/22—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with other inorganic material
    • C03C17/23—Oxides
    • C03C17/245—Oxides by deposition from the vapour phase
    • C03C17/2453—Coating containing SnO2
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/3411—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
    • C03C17/3417—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials all coatings being oxide coatings
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00—Coatings on glass
    • C03C2217/20—Materials for coating a single layer on glass
    • C03C2217/21—Oxides
    • C03C2217/23—Mixtures
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00—Coatings on glass
    • C03C2217/90—Other aspects of coatings
    • C03C2217/91—Coatings containing at least one layer having a composition gradient through its thickness
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2218/00—Methods for coating glass
    • C03C2218/10—Deposition methods
    • C03C2218/15—Deposition methods from the vapour phase
    • C03C2218/152—Deposition methods from the vapour phase by cvd
    • C03C2218/1525—Deposition methods from the vapour phase by cvd by atmospheric CVD

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Glass Compositions (AREA)
  • Paints Or Removers (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Formation Of Insulating Films (AREA)

Abstract

Использование: для изготовления стеклянных изделий с покрытиями, отражающими ИК-облучение. Сущность изобретения: стеклянное изделие с покрытием изготовляют химико-паровым нанесением смеси кремнийорганического и оловоорганического соединений и такого ускорителя, как триэтилфосфат, при скоростях осаждения, превышающих 350
Figure 00000001
на стекло, температура которого составляет от 450 до 650oC. Слой нанесенного материала можно сочетать с другими слоями с получением изделия, обладающего особыми свойствами, в частности заданной излучательной способностью, показателем преломления, износостойкостью при истирании или внешним видом. 2 с. и 29 з.п. ф-лы, 4 табл.

Description

Изобретение относится к стеклянным изделиям с нанесенным покрытием. Более конкретно изобретение относится к стеклянным изделиям с покрытиями, нанесенными с высокими скоростями осаждения на стекло или стеклянные изделия с достижением заданного показателя преломления, улучшенных характеристик излучательной способности и/или внешнего вида и износостойкости при истирании и дополнением этих свойств другими или улучшением других свойств.
Прозрачные полупроводящие пленки в частности из оксида индия, станната кадмия или легированного оксида олова, можно наносить на различные прозрачные подложки, в частности на натриево-известковые стекла, с целью придания им способности отражать длинноволновое инфракрасное излучение. На прозрачные изделия, например, на стеклянные бутылки, можно наносить диэлектрические пленки, в частности из двуокиси титана или нелегированного оксида олова, с получением грунта для вторичного покрытия с особой функцией. В зависимости от толщины полупроводящей или диэлектрической пленки можно наблюдать различные отраженные переливчатые цветовые оттенки. Этот радужный эффект рассматривают как ухудшающий внешний вид стекла в таких областях применения, как оконное стекло с низкой излучательной способностью или бутылки для пищевых продуктов или напитков.
Известно техническое решение [1] где один или несколько слоев прозрачного материала с показателем преломления, который находится между показателями преломления у стеклянной подложки и проводящей пленки окиси олова, получают путем ХПН под атмосферным давлением между стеклом и пленкой окиси олова. Для достижения эффективности такие промежуточные слоя должны обладать особыми показателями преломления и толщинами. Было отмечено, что когда эти промежуточные слои содержат двуокись кремния, приемлемыми летучими соединениями оказываются силан, диметилсилан, диэтилсилан, тетраметилсилан и галогениды кремния. Никакие другие предшественники не упомянуты. При осуществлении описанного способа достигаемые скорости осаждения составляли приблизительно от 10 до 20 ангстрем в секунду
Figure 00000003
Эти скорости ниже тех, которые необходимы для проведения процессов в промышленных условиях.
В описании (патент США N 4206252) предлагается способ осаждения смешанных оксидных и нитридных слоев покрытия с непрерывно варьирующимся показателем преломления на участке между стеклянной подложкой и покрытием, окружающим инфракрасное излучение, что позволяет устранить радужность слоя [2] В описании говорится, что в том случае, когда часть смешанного оксидного тонкого слоя составляет двуокись кремния, приемлемыми предшественниками являются летучие кремневые соединения со связями Si-Si и Si-H. При этом представлены такие соединения, как 1, 1,2.2- тетраметилдисилан, 1,1,2-триметилдисилан и 1,2-диметилдисилан. Все соединения, молекулы которых содержат связи Si-Si и Si-H, и на которые имеются ссылки, дорогие, причем ни одно из них не выпускается в промышленности.
В описании (патент США N 4386117) предлагается способ получения смешанных кремнийоксидных/оловооксидных покрытий с особыми показателями преломления или непрерывным градиентом, при оптимальной скорости осаждения от 80 до 125
Figure 00000004
с использованием таких алкоксипералкилсилановых предшественников, как метоксипентаметилдисилан или диметокситетраметилдисилан [3] В этом случае также упоминаются или подразумеваются непрактичные для использования в промышленной технологии кремниевые предшественники, поскольку ни один из них не выпускается в больших количествах в промышленных условиях.
Объектом изобретения является изделие, снабженное усовершенствованным покрытием с такими особыми свойствами, как заданные показатель преломления, износостойкость при истирании, улучшенная окраска, низкая излучательная способность, селективная светофильтрующая способность и антирадужность на плоских стеклянных подложках.
Изобретение осуществляют ХПН со скоростями, превышающими приблизительно 350
Figure 00000005
под атмосферным давлением и при температуре ниже 700oC с использованием смеси, которая включает в себя, по меньшей мере один предшественник оксида металла, выбираемый из класса, охватывающего текучие соединения, олова, германия, титана, алюминия, циркония, цинка, кадмия, гафния, вольфрама, ванадия, хрома, молибдена, иридия, никеля и тантала. Такая смесь включает в себя, кроме того, кремнийорганическое соединение и одну или несколько добавок, выбираемых из класса фосфитов, боратов, воды, алкилфосфина, арсина и борановых производных: PH3,AsH3 и B2H6; а также O2, N2O, NH3, NO2 и CO2. В данном описании эти добавки носят название "ускорителей". Ускорители служат для повышения скорости осаждения тонкого слоя из смеси на стекло. В условиях осаждения, которые необходимы для изготовления изделия, смесь предшественников с добавками находится в газообразном состоянии, реакция таких материалов в газообразной смеси с атмосферным или добавляемым кислородом ведет к образованию соответствующих окислов, которые осаждаются на стеклянной подложке.
Для специалистов совершенно очевидно, что предшественники и другие материалы, о которых идет речь в данном описании, должны обладать достаточной летучестью индивидуально или совместно с другими материалами и достаточной стойкостью в условиях осаждения, чтобы входить составной частью в композицию, из которой осаждают желаемые тонкие слои.
Предшественники для осаждения оксидов металлов включают в себя, например, алюминийалкиды и алкоксиды, кадмийалкиды, германийгалогениды и -алкоксиды, индийалкиды, титангалогениды, цинкалкиды и цирконийалкоксиды. К конкретным примерам таких соединений относятся, в частности
AI/C2H5/3, CrO2Cl2, GeBr4, Ti(OC3H7)4, TiCl4, TiBr4, Ti(C5H7O2)4, Zr(OC5H11)4, Ni(CO)4, VCl4, Zn(CH3)2 и тому подобное.
Предшественники олова (оловоорганические соединения) охватывают те соединения, которые отвечают общей формуле RnSnX4-n, где значение каждого из символов R независимо от других выбирают из прямоцепочечных, циклических или разветвленных алкилов или алкенилов, содержащих приблизительно от 1 до 6 углеродных атомов; фенила, замещенного фенила или R'CH2CH2-, где R' MeO2C EtO2C, CH3CO- или HO3C-; значения символов выбирают из класса, к которому относятся атомы галогенов, ацетат, перфторацетат и их смеси; а n - 0,1 или 2.
Предпочтительными предшественниками оксида олова для осуществления изобретения являются оловоорганические галогениды.
К предшественникам оксида кремния относятся те, которые отвечают общей формуле RmOnSip, где m от 3 до 8, n от 1 до 4, p от 1 до 4, а значения каждого из символов R выбирают независимо от других из водородного атома и ацила, прямоцепочечных, циклических и разветвленных алкилов, замещенных алкилов и алкенилов, содержащих приблизительно от 1 до 6 углеродных атомов, фенила и замещенного фенила. Класс предпочтительных предшественников оксида кремния включает в себя тетраэтилортосиликат, диацетоксидитрет.бутоксисилан, этилтриацетоксисилан, метилтриацетоксисилат, метилдиацетоксисилан, тетраметилдисилоксан, тетраметилциклотетрасилоксан, дипинаколоксисилан, 1,1-диметилсилан-2- оксациклогексан, тетраксис-/1-метокси-2-пропокси/-силан и триэтоксисилан.
К приемлемым ускорителям относятся фосфитные и боратные производные общих формул /R"O/P и /R"O/B, где значения символов R" независимо от других выбирают из прямоцепочечных, циклических или разветвленных алкилов или алкенилов, каждый из который содержит приблизительно от 1 до 6 углеродных атомов; фенила, замещенного фенила и R"' CH2 CH2-, где R"', MeO2C EtO2C CH3CO или HO2C-; предпочтительные значения R" алкилы или алкенилы, каждый из которых содержит в прямой цепи от 1 до 4 углеродных атомов. Особенно предпочтительными ускорителями являются те, которые выбирают из класса, охватывающего сложные эфиры бора и пятивалентного фосфора; наиболее предпочтительными являются триэтилборат и триэтилфосфит (ТЭБ, ТЭФ).
Предшественники для покрываемого слоя включают в себя монобутилоловотрихлорид /МБТХ/ или любое из оловоорганических соединений, которые отвечают общей формуле RnSnX4-n, приведенной выше, и материал, выбираемый для придания оксиду олова полупроводниковых свойств; к таким материалам относятся, например, соединения сурьмы, в частности триметилсурьма, соединения трехвалентного фосфора, такие как триэтилфосфин, и фторосодержащие соединения, такие как трифторуксусная кислота, трифторуксусный ангидрид, этилтрифторацетат, 2,2,2-трифторэтанол, этил 4,4,4-трифторацетанол, гептафторбутирилхлорид и фтористый водород. Оловооксидному слою можно также придать проводимость путем осаждения субстехиометрических тонких слоев, составу которых соответствует формула SnO2-x, где x не является целым числом, его величина находится в интервале от 0 до 1, причем величина x внутри тонкого слоя может варьироваться. Для усилия излучательной способности всей системы покрытия, т.е. излучательной способности объединенных первого и второго слоев, к предшественникам для первого слоя можно также добавлять материалы, которые сообщают оксиду олова полупроводниковые свойства.
Для специалиста совершенно очевидно, что в этих тонких слоях оксид олова можно полностью или частично заменить оксидами других металлов, например, германия, титана, алюминия, циркония, цинка, индия, кадмия, гафния, вольфрама, ванадия, хрома, молибдена, иридия, никеля и тантала.
В соответствии с предпочтительным вариантом воплощения изобретения предлагается изделие, изготовленное нанесением на стеклянную подложку первого слоя пленки в присутствии по меньшей мере одного ускорителя.
Другой предпочтительный вариант воплощения изобретения состоит в изделии, снабженном тонким слоем, нанесенным под атмосферным давлением, который включает в себя один или несколько смешанных металлоксидных (кремнийоксидных тонких слоев) на стеклянной подложке, причем такое нанесение производят из смеси, включающей в себя предшественник оксида металла, предшественник двуоксида кремния и по меньшей мере одну добавку, которая значительно повышает скорость осаждения в сравнении со скоростью осаждения без такой добавки. Нанесенные тонкие слои могут содержать дополнительные оксиды, родственные используемым добавкам. Более того, осажденные тонкие слои из смешанных оксидов могут обладать особыми свойствами, обусловленными ими самими, например, заданным показателем преломления, или же их можно сочетать с другими тонкими слоями, находящимися либо под ними или над ними, либо как с той, так и с другой стороны одновременно, благодаря чему они проявляют такое комбинированное свойство, как нейтральность окраски или смазывающая способность.
В соответствии с более предпочтительным вариантом смешанный металлоксидный/кремнийдиоксидный тонкий слой включает в себя несколько оловооксидных/кремнийдиоксидных слоев, обладающих, например, повышенным показателем преломления, более того, выбранное свойство данного слоя, в частности показатель преломления, можно непрерывно варьировать таким образом, чтобы внешний слой из оксида олова проявлял минимальную отраженную окраску. Таким образом, концентрации оксида кремния и оксида олова в данном слое могут отличаться от концентраций оксида кремния и оксида олова в смежном слое. Такие тонкие слои могут также содержать оксиды ускорителей, в особенности, в том случае, когда добавки содержат фосфор или бор.
В соответствии с наиболее предпочтительным вариантом воплощения изобретения предшественники для смешанного оксидного слоя обычно включают в себя оловоорганические галогениды, в частности монобутилоловохлорид (МБТХ), ТЭОС и ускорительный триэтилфосфит (ТЭФ).
Составы тонких слоев, нанесенных согласно изобретению, определяли по X-лучевой дифракции (Х-ЛД) и X-лучевой фотоэлектронной спектроскопией (Х-ФС). Изделие изобретения изготавливают по способу, при осуществлении которого используют ускорители, благодаря чему согласно этому способу обеспечивается возможность приемлемого для промышленных условий ХПН оксидных тонких слоев на движущемся стекле, в особенности на современной линии плавающего стекла, где ранее известные способы периодической обработки полностью неприемлемы.
Данные влияния добавляемой воды и добавляемых фосфитов и боратов на показатель преломления и скорость осаждения смешанных тонких слоев на основе ТЭСС приведены в табл. 1 и 2. Эти результаты контрастируют с данными табл. 3 и 4, где проиллюстрирован эффект добавок кислорода и кислоты Льюиса.
Табл. 1 демонстрирует эффект добавления воды. С повышением содержания воды скорость осаждения повышается до уровней, существенных для промышленных условий, независимо от соотношения олово/кремний или скорости газа. Такое возрастание скорости сопровождается также повышением показателя преломления.
В приведенных таблицах представленные данные скоростей осаждения во всех случаях, за исключением тех, где за скоростью следует выраженная знаками + - неопределенность, являются приблизительными, с интервалом 7%
Хотя температура 160oC предпочтительна, температура системы может составлять приблизительно от 125 до 200oC.
Данные табл. 2 демонстрируют эффекты добавленного ТЭФ и смесей ТЭФ с низшими алкилборатными сложными эфирами, в частности с триэтилборатом (ТЭБ). Результаты показывают, что ТЭФ очень эффективен при повышении скорости осаждения смешанных оксидных слоев до высокого уровня при особых и регулируемых значениях показателя преломления. Добавки ТЭБ к ТЭФ в незначительных количествах вызывают дополнительное небольшое повышение скорости. Используемый в данном описании термин "высокая скорость" применительно к осаждению тонких слоев, о котором идет речь в данном описании, указывает на то, что скорость превышает приблизительно 350
Figure 00000006
предпочтительнее примерно 400
Figure 00000007
или выше. Все тонкие слои, которые были получены в условиях, приведенных в табл. 2 обладали прозрачностью.
Температура стекла составляет 665oC, скорость его движения 0,56 м/с, температура системы 160oC (воздух). В испарительную секцию устройства для нанесения покрытия по отдельности вводили МБТХ, ТЭОС и ТЭФ или смесь ТЭФ с ТЭБ. Каждая величина являлась средней для трех образцов. Точка росы находилась в пределах от -74 до -78oC.
Данные табл. 3 демонстрируют эффект добавляемого кислорода. Повышение концентрации кислорода ведет к существенному повышению скорости осаждения, но не до уровней, которые необходимы для промышленного применения.
Температура стекла 665oC, температура системы 160oC, расход газового потока 50 л/мин.
Данные табл. 4 демонстрируют эффект кислоты Льюиса, который в этом случае служит избыток МТБХ. С повышением концентрации скорость повышается, хотя и не достигает уровней, необходимых для промышленного применения.
Температура стекла 665oC, температура системы 160oC, расход газового потока 50 л/мин.
Приведенные в табл. 1-4 данные показывают, что в соответствии с изобретением может быть обеспечено с промышленными скоростями ХПН смешанных оксидных тонких слоев.
Предпочтительные варианты воплощения изобретения проиллюстрированы с помощью примеров.
Пример 1. Квадратный кусок натриево-кальциевого силикатного стекла со стороной 9 см нагрели в горячем блоке до температуры 665oC. На это стекло направили поток газовой смеси, состоящий приблизительно из 0,16 мол. МБТХ, 0,80 мол. ТЭОС, 0,75 мол. ТЭФ, остальное горячий воздух, нагретый до температуры 160oC, с расходом 12,5 л/мин, поддерживая этот поток в течение примерно 10 с. Центральная часть поверхности стекла была равномерно покрыта тонким слоем, который в отраженном свете обладал бледно-зеленой окраской. С помощью призматического преобразователя установили, что показатель преломления составлял 1,60, а толщина покрытия была равной приблизительно 4260
Figure 00000008
что соответствовало скорости осаждения примерно 426
Figure 00000009
По Х-ЛД определили, что подобным же образом нанесенные тонкие слои были аморфными, а посредством Х-ФС определили, что они состояли из оксидов кремния и фосфора.
Пример 2. Аналогично примеру 1, стеклянную поверхность обработали потоком газовой смеси, которая состояла из 1,84 мол. МБТХ, 0,78 мол. ТЭОС, 0,75 мол. ТЭФ, а остальное горячий воздух. Полученный тонкий слой проявлял в отраженном свете бледно-красную окраску. Было установлено, что показатель преломления составлял 1,68, а толщина слоя была равной приблизительно 4930
Figure 00000010
что соответствовало скорости осаждения приблизительно 493
Figure 00000011
. С помощью Х-ЛД определили, что нанесенные подобным же путем тонкие слои были аморфными, а посредством Х-ФС определили, что они состояли из окислов олова, кремния и пятивалентного фосфора.
Пример 3. Аналогичным путем (пример 1), но в течение 8 с стеклянную поверхность обработали потоком газовой смеси, которая состояла из 1,22 мол. МБТХ, 0,58 мол. ТЭОС, 1,09 мол. воды, а остальное воздух. Полученный тонкий слой в отраженном свете проявлял зеленую окраску. Было установлено, что показатель преломления составлял 1,78, а толщина этого тонкого слоя была равной 4650
Figure 00000012
, что соответствовало скорости осаждения приблизительно 580
Figure 00000013
С помощью Х-ЛД-анализа определили, что нанесенные подобным же путем тонкие слои состояли из разрушенных четырехугольных ячеек оксида олова, что указывало на наличие определенной твердо-растворимой формации с двуокисью кремния. Х-ФС-анализ показал, что эти тонкие слои состояли из оксидов олова и кремния.
Пример 4. Каждый из тонких слоев (примеры 1-3), последовательно осаждали в указанном в этих примерах порядке (номера по возрастающей) в течение 1 с. Затем на многослойное покрытие сверху нанесли слои оксида олова, легированного фтором, толщиной 3200
Figure 00000014
Благодаря такой структуре тонкого слоя изготовили прозрачное изделие, которое в условиях освещения дневным светом не отражало практически никакого цвета.
Пример 5. Квадратный кусок со стороной 9 см натриево-кальциевого силикатного стекла нагрели в горячем блоке до температуры 665oC. На это стекло через два шаровых клапана, управляемых микропроцессором, направляли поток газовой смеси, состоявшей приблизительно из 1,04 мол. МБТХ с воздухом, при температуре 160oC и поток газовой смеси, состоящей из 1,04 мол. ТЭОС и 0,20 мол. ТЭФ и воздуха, при температуре 160oC при общем расходе потоков 12,5 л/мин с выдержкой в течение 30 с. Эти шаровые клапаны одновременно открывались и закрывались в запрограммированном режиме таким образом, что состав направляемой на стеклянный образец газовой композиции непрерывно менялся от смеси ТЭОС-ТЭФ с низким содержанием МБТХ до смеси с низким содержанием ТЭОС/ТЭФ и высоким содержанием МБТХ. Центральная часть стеклянной поверхности была равномерно покрыта тонким слоем, который состоял из оксидов олова, кремния и фосфора, как это определяли Х-ФС-анализом. С нарастанием толщины тонкого слоя количество олова постепенно увеличивалось, тогда как количество кремния и фосфора уменьшалось. По этим данным и по данным, которые были получены в случаях стандартных тонких слоев, рассчитали показатель преломления и установили, что он находится между 1,52 и 1,87. Благодаря такой структуре тонкого слоя изготовили изделие, которое после нанесения на него покрытия из оксида олова, легированной фтором, не отражало никакого цвета.
Пример 6. Поток газовой смеси, состоявшей приблизительно из 0,16 мол. МБТХ, 0,80 мол. ТЭОС и остальное горячий воздух, направляли на стеклянную поверхность аналогично примеру 1, выдержав в течение примерно 60 с. В отраженном свете полученный тонкий слой проявлял красную окраску, а показатель преломления был равным 2,69. Толщина покрытия составляла приблизительно 2260
Figure 00000015
, что соответствовало скорости осаждения примерно 38
Figure 00000016
.
Пример 7. В течение 3-х мин промежутка времени в печи с вращением нагрели до температуры приблизительно 600oC 0,5-л бутылку для напитков из прозрачного стекла. Затем эту нагретую бутылку переместили в камеру для нанесения покрытий, где ее ввели в контакт с паровой смесью, состоявшей из 0,16 мол. МБТХ, 0,80 мол. ТЭОС, 0,75 мол% ТЭФ и остальное горячий воздух, с выдержкой в течение 10 с. Полученный тонкий слой характеризовался красно-голубой окраской и был равномерно распределен по боковым стенкам контейнера от пояска до основания. Согласно расчетам по окраске тонкого слоя, скорость осаждения составляла приблизительно 200
Figure 00000017
в противоположность примерно 50
Figure 00000018
при нанесении покрытия на бутылку с использованием только паровой смеси МБТХ с ТЭОС.
Из данных таблиц и примеров очевидно, что при ХПН оксидных тонких слоев на стекло ТЭБ, ТЭФ и вода служат ускорителями, и что ТЭБ и ТЭФ являются синергистами, увеличивающими скорость осаждения ТЭОС и МБТХ. Приемлемые для использования в соответствии с изобретением ускорители выбирают из класса, который охватывает боратные и фосфитные эфиры, алкиловогалогениды и воду.
В проиллюстрированные и описанные выше предпочтительные варианты воплощения изобретения специалист в данной области техники может вносить любые модификации и усовершенствования, которые согласуются с существом и рамками изобретения.
Таким образом, рамки изобретения не ограничиваются только вышеприведенными вариантами его осуществления. Напротив, эти рамки ограничиваются только теми достижениями в существующем уровне техники, которые стали возможными благодаря созданию изобретения.

Claims (29)

1. Изделие, полученное нанесением на стеклянную подложку по крайней мере одного слоя смешанных оксидов кремния и олова при атмосферном давлении из смеси, включающей кремнийорганическое соединение, оловоорганическое соединение и окислитель, отличающееся тем, что слой смешанных оксидов наносят со скоростью, превышающей 350
Figure 00000019
из смеси, дополнительно содержащей ускоритель, выбранный из группы, включающей органические фосфиты, органические бораты, воду или их смесь.
2. Изделие по п. 1, отличающееся тем, что подложкой служит прозрачное плоское стекло при температуре выше приблизительно 450oС.
3. Изделие по п. 1, отличающееся тем, что подложкой служит прозрачное плоское стекло при температуре приблизительно от 450 до 650oС.
4. Изделие по п.1, отличающееся тем, что в дневном свете оно не отражает практически никакой окраски.
5. Изделие по п.1, отличающееся тем, что стеклянная подложка движется, а осаждение является непрерывным.
6. Изделие по п.1, отличающееся тем, что оно изготовлено химико-паровым осаждением под атмосферным давлением из летучей смеси кремнийорганического и оловоорганического соединений.
7. Изделие по п.1, отличающееся тем, что первый слой включает в себя оксид олова, оксид кремния и оксиды фосфора.
8. Изделие по п.1, отличающееся тем, что первый слой включает в себя оксиды олова, кремния, фосфора и бора.
9. Изделие по п. 1, отличающееся тем, что ускорителем служит триэтилфосфит.
10. Изделие по п.1, отличающееся тем, что оловоорганическим соединением служит RnSnX4 - n, где R линейный, циклический или разветвленный алкил или алкенил, содержащий приблизительно от 1 до 6 углеродных атомов, фенил, замещенный фенил или R'CH2CH2-, где R' MeO2C EtO2C, CH3CO или HO2C-, значения Х выбирают из группы, состоящей из галогена, ацетата, перфторацетата и их смеси, и где n 0, 1 или 2.
11. Изделие по п.1, отличающееся тем, что оловоорганическим соединением служит алкилоловогалогенид.
12. Изделие по п.1, отличающееся тем, что оловоорганическим соединением служит алкилоловохлорид.
13. Изделие по п.1, отличающееся тем, что оловоорганическое соединение выбирают из группы, состоящей из монобутилоловотрихлорида, дибутилоловодихлорида, трибутилоловохлорида и оловотетрахлорида.
14. Изделие по п.1, отличающееся тем, что кремнийорганическим соединением служит RmOnSip, где m от 3 до 8, n от 1 до 4, р от 1 до 4, а значения R выбирают независимо от других из водорода и ацила, линейного, циклического или разветвленного алкила, замещенного алкила или алкенила, содержащего приблизительно от 1 до 6 углеродных атомов, а также фенила или замещенного фенила.
15. Изделие по п.1, отличающееся тем, что кремнийорганическое соединение выбирают из группы, состоящей из тетраэтилортосиликата, диацетоксидитрет бутоксисилана, этилтриацетоксисилана, метилтриацетоксисилана, метилдиацетоксисилана, тетраметилдисилоксана, тетраметилциклотетрасилоксана, дипинаколоксисилана, 1,1 диметилсила-2-оксациклогексана, тетракси-(1-метокси-2-пропокси)-силана и триэтоксилана.
16. Изделие по п.1, отличающееся тем, что кремнийорганическим соединением служит тетраэтилортосиликат.
17. Изделие по п.1, отличающееся тем, что ускоритель представляет собой триэтилфосфит.
18. Изделие по п. 1, отличающееся тем, что ускоритель включает в себя триэтилфосфит и триэтилборат.
19. Изделие по п.1, отличающееся тем, что скорость осаждения превышает приблизительно 400
Figure 00000020

20. Изделие по п.1, отличающееся тем, что первый слой является аморфным.
21. Изделие по п.1, отличающееся тем, что первый слой включает в себя несколько слоев, причем на этот слой наносят по меньшей мере второй слой.
22. Изделие по п.21, отличающееся тем, что второй слой состоит из оксида олова.
23. Изделие по п.21, отличающееся тем, что второй слой включает в себя смесь оксида олова с соединением фтора.
24. Изделие по п.21, отличающееся тем, что у него предусмотрено несколько слоев, причем каждый из слоев обладает собственным показателем преломления.
25. Изделие по п.21, отличающееся тем, что концентрации оксида кремния и оксида олова в первом слое отличаются от концентрации оксида кремния и оксида олова в смежном слое.
26. Изделие по п.21, отличающееся тем, что показатель преломления первого слоя непрерывно изменяется на пути от подложки к второму слою.
27. Изделие по п.21, отличающееся тем, что второй слой состоит из легированного оксида олова.
28. Изделие по п.21, отличающееся тем, что второй слой осаждают из смеси оловоорганических и кремнийорганических соединений, которая включает в себя монобутилоловотрихлорид и фторсодержащий материал.
29. Изделие по п.21, отличающееся тем, что первый слой осаждают из смеси оловоорганических и кремнийорганических соединений, которая включает в себя монобутилоловотрихлорид и тетраэтилортосиликат в присутствии триэтилфосфита.
30. Изделие, полученное нанесением на стеклянную подложку по крайней мере одного слоя смешанных оксидов кремния и олова из смеси, включающей кремнийорганическое соединение, оловоорганическое соединение и окислитель, отличающееся тем, что слой выполнен аморфным с заданным показателем преломления и нанесен со скоростью, превышающей
Figure 00000021

31. Изделие по п.30, отличающееся тем, что оно изготовлено непрерывным химико-паровым нанесением смеси монобутилоловотрихлорида, тетраэтилортосиликата и ускорителя на движущийся стеклянный лист, причем температура стекла составляет приблизительно от 450 до 650oС.
RU9293058398A 1991-12-26 1992-12-21 Изделие, полученное нанесением на стеклянную подложку по крайней мере одного слоя смешанных оксидов кремния и олова (варианты) RU2091340C1 (ru)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US81436691A 1991-12-26 1991-12-26
US07/814,366 1991-12-26
US81435291A 1991-12-27 1991-12-27
US07/814,352 1991-12-27

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU93058398A RU93058398A (ru) 1995-11-20
RU2091340C1 true RU2091340C1 (ru) 1997-09-27

Family

ID=27123834

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU9293058398A RU2091340C1 (ru) 1991-12-26 1992-12-21 Изделие, полученное нанесением на стеклянную подложку по крайней мере одного слоя смешанных оксидов кремния и олова (варианты)
RU93058399A RU2102347C1 (ru) 1991-12-26 1992-12-21 Способ химико-парового нанесения тонкого слоя на стеклянную подложку

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU93058399A RU2102347C1 (ru) 1991-12-26 1992-12-21 Способ химико-парового нанесения тонкого слоя на стеклянную подложку

Country Status (26)

Country Link
US (2) US5401305A (ru)
EP (4) EP0573640A4 (ru)
JP (3) JP3485920B2 (ru)
KR (3) KR100243801B1 (ru)
CN (3) CN1041815C (ru)
AR (1) AR248263A1 (ru)
AT (2) ATE272582T1 (ru)
AU (3) AU651754B2 (ru)
BR (3) BR9205672A (ru)
CA (3) CA2104591C (ru)
CZ (3) CZ286854B6 (ru)
DE (2) DE69230219T2 (ru)
DK (2) DK0927706T3 (ru)
ES (2) ES2137984T3 (ru)
GR (1) GR3031624T3 (ru)
HU (3) HUT67686A (ru)
MX (2) MX9207592A (ru)
MY (1) MY110355A (ru)
NO (3) NO316683B1 (ru)
NZ (1) NZ246459A (ru)
PL (1) PL169649B1 (ru)
PT (4) PT927706E (ru)
RU (2) RU2091340C1 (ru)
SK (3) SK281638B6 (ru)
UY (3) UY23528A1 (ru)
WO (3) WO1993012892A1 (ru)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7862738B2 (en) 2005-10-11 2011-01-04 Kuraray Co., Ltd. Luminous body
RU2445340C2 (ru) * 2005-10-11 2012-03-20 Курарей Ко, ЛТД., Светящееся тело
US8258690B2 (en) 2005-10-11 2012-09-04 Kuraray Co., Ltd. High brightness inorganic electroluminescence device driven by direct current

Families Citing this family (61)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AU651754B2 (en) * 1991-12-26 1994-07-28 Atofina Chemicals, Inc. Coated glass article
US5599387A (en) * 1993-02-16 1997-02-04 Ppg Industries, Inc. Compounds and compositions for coating glass with silicon oxide
US5863337A (en) * 1993-02-16 1999-01-26 Ppg Industries, Inc. Apparatus for coating a moving glass substrate
US5356718A (en) * 1993-02-16 1994-10-18 Ppg Industries, Inc. Coating apparatus, method of coating glass, compounds and compositions for coating glasss and coated glass substrates
US5395698A (en) * 1993-06-04 1995-03-07 Ppg Industries, Inc. Neutral, low emissivity coated glass articles and method for making
DE4433206A1 (de) * 1994-09-17 1996-03-21 Goldschmidt Ag Th Verfahren zur pyrolytischen Beschichtung von Glas-, Glaskeramik- und Emailprodukten
DE19504906A1 (de) * 1995-02-15 1996-08-22 Goldschmidt Ag Th Verfahren zur Heißendvergütung von Hohlglaskörpern durch Aufbringen von Metallverbindungen auf die heiße äußere Glasoberfläche
CO4560356A1 (es) * 1995-02-22 1998-02-10 Elf Atochem Vlissingen Bv Proceso para la produccion de un recubrimiento de proteccion sobre la superficie de un articulo de vidrio o ceramica
US5648175A (en) * 1996-02-14 1997-07-15 Applied Materials, Inc. Chemical vapor deposition reactor system and integrated circuit
GB9616983D0 (en) * 1996-08-13 1996-09-25 Pilkington Plc Method for depositing tin oxide and titanium oxide coatings on flat glass and the resulting coated glass
GB9710547D0 (en) * 1997-05-23 1997-07-16 Pilkington Plc Coating method
FR2780054B1 (fr) * 1998-06-19 2000-07-21 Saint Gobain Vitrage Procede de depot d'une couche a base d'oxyde metallique sur un substrat verrier, substrat verrier ainsi revetu
FR2789698B1 (fr) 1999-02-11 2002-03-29 Air Liquide Procede et installation pour former un depot d'une couche sur un substrat
US6797388B1 (en) * 1999-03-18 2004-09-28 Ppg Industries Ohio, Inc. Methods of making low haze coatings and the coatings and coated articles made thereby
JP3227449B2 (ja) * 1999-05-28 2001-11-12 日本板硝子株式会社 光電変換装置用基板とその製造方法、およびこれを用いた光電変換装置
LU90432B1 (fr) * 1999-09-01 2001-03-02 Glaverbel Couche pyrolytique phosphostannate ou borostannate et vitrage comportant cette couche
US6399208B1 (en) * 1999-10-07 2002-06-04 Advanced Technology Materials Inc. Source reagent composition and method for chemical vapor deposition formation or ZR/HF silicate gate dielectric thin films
JP4272534B2 (ja) * 2002-01-28 2009-06-03 日本板硝子株式会社 透明導電膜を備えたガラス基板の製造方法、透明導電膜を備えたガラス基板、およびそれを用いた光電変換装置
US7030042B2 (en) 2002-08-28 2006-04-18 Micron Technology, Inc. Systems and methods for forming tantalum oxide layers and tantalum precursor compounds
US6784049B2 (en) * 2002-08-28 2004-08-31 Micron Technology, Inc. Method for forming refractory metal oxide layers with tetramethyldisiloxane
US20050196623A1 (en) * 2004-03-03 2005-09-08 Mckown Clem S.Jr. Solar control coated glass composition
US20050221003A1 (en) * 2004-03-31 2005-10-06 Remington Michael P Jr Enhancement of SiO2 deposition using phosphorus (V) compounds
US7372610B2 (en) 2005-02-23 2008-05-13 Sage Electrochromics, Inc. Electrochromic devices and methods
WO2007081045A1 (ja) * 2006-01-16 2007-07-19 Nippon Sheet Glass Company, Limited 薄膜形成ガラス板
US8158262B2 (en) * 2006-06-05 2012-04-17 Pilkington Group Limited Glass article having a zinc oxide coating and method for making same
MX2008015528A (es) * 2006-06-05 2009-01-07 Pilkington Group Ltd Articulo de vidrio que tiene un recubrimiento de oxido de zinc y metodo para fabricar el mismo.
US20080026147A1 (en) * 2006-07-28 2008-01-31 Gulbrandsen Chemicals, Inc. Method and formulation for depositing a metal-containing coating on a substrate
US20080152804A1 (en) * 2006-07-28 2008-06-26 Gulbrandsen Chemicals, Inc. Method for depositing a metal-containing coating on a substrate
AU2007290842B2 (en) * 2006-08-29 2012-08-23 Arkema, Inc. Method of making low resistivity doped zinc oxide coatings and the articles formed thereby
JP5559536B2 (ja) * 2006-08-29 2014-07-23 ピルキントン グループ リミテッド 低い抵抗率のドープ酸化亜鉛でコーティングされたガラス物品の製造方法及びその製造方法により製造されるコーティングされたガラス物品
AU2008214505B2 (en) * 2007-01-15 2013-02-07 Saint-Gobain Glass France Glass substrate coated with layers having an improved mechanical strength
FR2913973B1 (fr) * 2007-03-21 2011-02-18 Saint Gobain Substrat verrier revetu de couches a tenue mecanique amelioree
US7998586B2 (en) 2008-11-19 2011-08-16 Ppg Industries Ohio, Inc. Undercoating layers providing improved topcoat functionality
CN102239221B (zh) * 2008-11-19 2013-12-25 Ppg工业俄亥俄公司 提供改善的外涂层功能性的底涂层
US20100124642A1 (en) * 2008-11-19 2010-05-20 Ppg Industries Ohio, Inc. Undercoating layers providing improved conductive topcoat functionality
US8133599B2 (en) 2008-11-19 2012-03-13 Ppg Industries Ohio, Inc Undercoating layers providing improved photoactive topcoat functionality
DE102008060923B4 (de) 2008-12-06 2012-09-27 Innovent E.V. Verwendung einer Schicht
CN102484220A (zh) * 2009-07-06 2012-05-30 阿科玛股份有限公司 由透明的导电氧化物(tco)和防晕光底漆组成的oled基片
US9224892B2 (en) 2009-12-21 2015-12-29 Ppg Industries Ohio, Inc. Silicon thin film solar cell having improved haze and methods of making the same
US9366783B2 (en) * 2009-12-21 2016-06-14 Ppg Industries Ohio, Inc. Silicon thin film solar cell having improved underlayer coating
US20110146768A1 (en) * 2009-12-21 2011-06-23 Ppg Industries Ohio, Inc. Silicon thin film solar cell having improved underlayer coating
FR2956659B1 (fr) 2010-02-22 2014-10-10 Saint Gobain Substrat verrier revetu de couches a tenue mecanique amelioree
EP2441860A1 (en) * 2010-10-13 2012-04-18 Nederlandse Organisatie voor toegepast -natuurwetenschappelijk onderzoek TNO Apparatus and method for atomic layer deposition on a surface
US8557099B2 (en) 2010-10-25 2013-10-15 Ppg Industries Ohio, Inc. Electrocurtain coating process for coating solar mirrors
RU2477711C1 (ru) * 2011-08-12 2013-03-20 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б.Н. Ельцина" Легированное кварцевое стекло с тетраэдрической координацией атомов титана
US8734903B2 (en) 2011-09-19 2014-05-27 Pilkington Group Limited Process for forming a silica coating on a glass substrate
WO2013048751A1 (en) * 2011-09-30 2013-04-04 Arkema Inc. Deposition of silicon oxide by atmospheric pressure chemical vapor deposition
CN102584025B (zh) * 2012-01-19 2014-06-11 江苏秀强玻璃工艺股份有限公司 具有宽带隙折射率可调隔离层玻璃的制备方法
US20130334089A1 (en) * 2012-06-15 2013-12-19 Michael P. Remington, Jr. Glass Container Insulative Coating
WO2014164194A1 (en) * 2013-03-12 2014-10-09 Ppg Industries Ohio, Inc. High haze underlayer for solar cell
TW201716245A (zh) * 2015-08-05 2017-05-16 康寧公司 用於將片材與載體鍵結之物件及方法
WO2017082541A1 (ko) * 2015-11-11 2017-05-18 한국화학연구원 금속 전구체, 이의 제조방법, 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법
EP3173507A1 (de) * 2015-11-25 2017-05-31 Umicore AG & Co. KG Verfahren zur metallorganischen gasphasenabscheidung unter verwendung von lösungen von indiumalkylverbindungen in kohlenwasserstoffen
GB201523156D0 (en) * 2015-12-31 2016-02-17 Pilkington Group Ltd High strength glass containers
CA2920646A1 (en) * 2016-02-12 2017-08-12 Seastar Chemicals Inc. Organometallic compound and method
CN106217968A (zh) * 2016-07-15 2016-12-14 常熟市赛蒂镶嵌玻璃制品有限公司 一种高耐磨防爆玻璃
EP3676231A1 (en) 2017-08-31 2020-07-08 Pilkington Group Limited Coated glass article, method of making the same, and photovoltaic cell made therewith
CN111051567A (zh) 2017-08-31 2020-04-21 皮尔金顿集团有限公司 形成氧化硅涂层的化学气相沉积方法
JP6993394B2 (ja) * 2019-08-06 2022-02-21 バーサム マテリアルズ ユーエス，リミティド ライアビリティ カンパニー ケイ素化合物及びケイ素化合物を使用してフィルムを堆積する方法
CN115427366A (zh) * 2020-04-23 2022-12-02 皮尔金顿集团有限公司 制造涂覆玻璃制品的方法
TR202010598A2 (tr) * 2020-07-03 2022-01-21 Tuerkiye Sise Ve Cam Fabrikalari Anonim Sirketi Cam yüzeyler için geliştirilmiş antimikrobiyel kaplama çözeltisi, antimikrobiyel kaplamalı cam ve bunun uygulama prosesi

Family Cites Families (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3378396A (en) * 1967-03-27 1968-04-16 Zaromb Solomon Conductive oxide-coated articles
US3984581A (en) * 1973-02-28 1976-10-05 Carl Zeiss-Stiftung Method for the production of anti-reflection coatings on optical elements made of transparent organic polymers
US3949146A (en) * 1973-08-24 1976-04-06 Rca Corporation Process for depositing transparent electrically conductive tin oxide coatings on a substrate
DE2454657A1 (de) * 1974-11-18 1976-05-20 Jenaer Glaswerk Schott & Gen Beschichtung zum verhindern des beschlagens von oberflaechen
US4227929A (en) * 1976-08-26 1980-10-14 Ameron, Inc. Siloxane-tin coatings
US4308316A (en) * 1977-04-04 1981-12-29 Gordon Roy G Non-iridescent glass structures
US4187336A (en) * 1977-04-04 1980-02-05 Gordon Roy G Non-iridescent glass structures
US4206252A (en) * 1977-04-04 1980-06-03 Gordon Roy G Deposition method for coating glass and the like
SU833649A1 (ru) * 1979-02-12 1981-05-30 Северо-Западный Заочный Политехническийинститут Пленкообразующий раствор дл стекл н-НыХ издЕлий
JPS5734164A (en) * 1980-08-06 1982-02-24 Kansai Paint Co Ltd Film-forming composition
US4386117A (en) * 1981-11-20 1983-05-31 Gordon Roy G Coating process using alkoxy substituted silicon-bearing reactant
JPS58189263A (ja) * 1982-04-28 1983-11-04 Hitachi Chem Co Ltd ＳｉＯ↓２膜形成用塗布液
JPS59125433A (ja) * 1982-12-30 1984-07-19 Fujitsu Ltd 音声応答方式
US4590096A (en) * 1984-12-28 1986-05-20 M&T Chemicals Inc. Water vapor, reaction rate and deposition rate control of tin oxide film by CVD on glass
JPS61181253A (ja) * 1985-02-06 1986-08-13 Keihachirou Shikakura 電話機
JPS62263754A (ja) * 1986-05-09 1987-11-16 Iwatsu Electric Co Ltd デ−タ入力装置
US5028566A (en) * 1987-04-10 1991-07-02 Air Products And Chemicals, Inc. Method of forming silicon dioxide glass films
US4880664A (en) * 1987-08-31 1989-11-14 Solarex Corporation Method of depositing textured tin oxide
EP0486475B1 (en) * 1988-03-03 1997-12-03 Asahi Glass Company Ltd. Amorphous oxide film and article having such film thereon
AU616736B2 (en) * 1988-03-03 1991-11-07 Asahi Glass Company Limited Amorphous oxide film and article having such film thereon
WO1990002157A1 (en) * 1988-08-24 1990-03-08 Catalysts & Chemicals Industries Co., Ltd. Coating fluid for forming transparent conductive ceramic coating, base material coated with transparent conductive ceramic and production thereof, and application of base material coated with transparent conductive ceramic
JP2856754B2 (ja) * 1989-02-17 1999-02-10 株式会社東芝 紫外線抑制発光源、紫外線抑制発光源用塗布剤、及び紫外線抑制発光源の製造方法
EP0386341B1 (en) * 1989-03-07 1995-03-15 Asahi Glass Company Ltd. Laminated glass structure
JPH0717407B2 (ja) * 1989-10-09 1995-03-01 旭硝子株式会社 機能薄膜付ガラスの製造方法
US5090985A (en) * 1989-10-17 1992-02-25 Libbey-Owens-Ford Co. Method for preparing vaporized reactants for chemical vapor deposition
AU651754B2 (en) * 1991-12-26 1994-07-28 Atofina Chemicals, Inc. Coated glass article

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Патент США N 4187336, кл. B 32 B 15/00, 1980. Патент США N 4206252, кл. B 05 D 5/06, 1980. Патент США N 4386118, кл. C 03 C 17/245, 1983. *

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7862738B2 (en) 2005-10-11 2011-01-04 Kuraray Co., Ltd. Luminous body
RU2445340C2 (ru) * 2005-10-11 2012-03-20 Курарей Ко, ЛТД., Светящееся тело
US8258690B2 (en) 2005-10-11 2012-09-04 Kuraray Co., Ltd. High brightness inorganic electroluminescence device driven by direct current

Also Published As

Publication number Publication date
KR930703589A (ko) 1993-11-30
CZ173593A3 (en) 1994-05-18
CA2104592A1 (en) 1993-06-27
HU214047B (en) 1997-12-29
PT101160B (pt) 1999-09-30
NO933029L (no) 1993-10-22
EP0927706B1 (en) 2004-08-04
CN1074891A (zh) 1993-08-04
NO316683B1 (no) 2004-03-26
PT101161A (pt) 1994-03-31
PT101160A (pt) 1994-05-31
CN1041815C (zh) 1999-01-27
NO933030D0 (no) 1993-08-25
SK91393A3 (en) 1994-01-12
DE69230219D1 (de) 1999-12-02
HUT67158A (en) 1995-02-28
EP0573639B1 (en) 1999-10-27
AU3322993A (en) 1993-07-28
PT101159B (pt) 1999-09-30
SK281638B6 (sk) 2001-06-11
ES2221257T3 (es) 2004-12-16
DE69230219T2 (de) 2000-02-10
AU663559B2 (en) 1995-10-12
AU3322893A (en) 1993-07-28
PT927706E (pt) 2004-11-30
CN1074889A (zh) 1993-08-04
AU651754B2 (en) 1994-07-28
CA2104591A1 (en) 1993-06-27
DK0573639T3 (da) 2000-02-07
BR9205673A (pt) 1994-08-02
JP3485920B2 (ja) 2004-01-13
AU3323093A (en) 1993-07-28
CA2104591C (en) 2000-03-14
CA2104590A1 (en) 1993-06-27
NZ246459A (en) 1995-12-21
WO1993012892A1 (en) 1993-07-08
NO933031L (no) 1993-10-22
NO316642B1 (no) 2004-03-22
SK282993B6 (sk) 2003-01-09
EP0927706A3 (en) 1999-12-29
GR3031624T3 (en) 2000-01-31
UY23528A1 (es) 1993-02-18
EP0573639A1 (en) 1993-12-15
SK282141B6 (sk) 2001-11-06
PT101159A (pt) 1994-02-28
CN1043988C (zh) 1999-07-07
NO933031D0 (no) 1993-08-25
SK91493A3 (en) 1994-01-12
BR9205672A (pt) 1994-08-02
NO933030L (no) 1993-10-22
DE69233396D1 (de) 2004-09-09
BR9205674A (pt) 1994-05-24
SK91593A3 (en) 1994-01-12
AR248263A1 (es) 1995-07-12
ATE186039T1 (de) 1999-11-15
USRE41799E1 (en) 2010-10-05
MX9207592A (es) 1994-06-30
HU9302411D0 (en) 1994-03-28
NO316641B1 (no) 2004-03-22
JPH06505696A (ja) 1994-06-30
CZ286854B6 (cs) 2000-07-12
US5401305A (en) 1995-03-28
CN1074890A (zh) 1993-08-04
CZ286855B6 (cs) 2000-07-12
CZ173493A3 (en) 1994-05-18
MY110355A (en) 1998-04-30
JP3485918B2 (ja) 2004-01-13
DK0927706T3 (da) 2004-12-06
EP0573640A1 (en) 1993-12-15
JPH06505695A (ja) 1994-06-30
CZ173393A3 (en) 1994-05-18
KR100238920B1 (ko) 2000-01-15
KR100243801B1 (ko) 2000-03-02
HU9302412D0 (en) 1993-12-28
PL169649B1 (pl) 1996-08-30
EP0573639A4 (en) 1995-01-04
ATE272582T1 (de) 2004-08-15
CA2104590C (en) 2007-05-08
ES2137984T3 (es) 2000-01-01
MX9207591A (es) 1994-06-30
HU9302413D0 (en) 1994-03-28
CN1041814C (zh) 1999-01-27
NO933029D0 (no) 1993-08-25
WO1993013393A1 (en) 1993-07-08
EP0582691A1 (en) 1994-02-16
HUT67686A (en) 1995-04-28
RU2102347C1 (ru) 1998-01-20
EP0582691A4 (en) 1995-01-04
EP0573640A4 (en) 1995-01-04
UY23526A1 (es) 1993-02-18
KR930703087A (ko) 1993-11-29
DE69233396T2 (de) 2005-01-13
EP0927706A2 (en) 1999-07-07
CZ289572B6 (cs) 2002-02-13
JP3485919B2 (ja) 2004-01-13
HUT67335A (en) 1995-03-28
UY23527A1 (es) 1993-02-18
WO1993012934A1 (en) 1993-07-08
KR100238740B1 (ko) 2000-01-15
PT101161B (pt) 1999-09-30
JPH06505957A (ja) 1994-07-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2091340C1 (ru) Изделие, полученное нанесением на стеклянную подложку по крайней мере одного слоя смешанных оксидов кремния и олова (варианты)
RU2118302C1 (ru) Способ получения покрытия на стеклянной подложке (варианты)
PL169456B1 (pl) Kompozycja do powlekania szkła