PT101364B

PT101364B - Metodo e aparelho proprios para a monitoragem da espessura de peliculas finas, e metodo de aplicacao de um revestimento transparente num substrato em forma de folha

Info

Publication number: PT101364B
Application number: PT101364A
Authority: PT
Inventors: Guy Renard; Michel Hannotiau; Bobert Terneu
Original assignee: Glaverbel
Priority date: 1992-09-15
Filing date: 1993-09-13
Publication date: 1999-11-30
Also published as: AU664474B2; GB2270561B; DE4331355A1; SE9302985D0; NL9301577A; CA2105635A1; PT101364A; ITTO930654A0; NL194246C; FR2695721A1; AU4487393A; GB9318814D0; CZ289962B6; IT1261253B; GB2270561A; ITTO930654A1; SE515115C2; CZ9301924A3; FR2695721B1; US5396080A

Description

MÉTODO E APARELHO PRÓPRIOS PARA A MONITORAGEM DA

ESPESSURA DE

PELÍCULAS FINAS, E MÉTODO DE APLICAÇÃO DE UM REVESTIMENTO

TRANSPARENTE NUM SUBSTRATO EM FORMA DE FOLHA

O presente invento diz respeito a um processo para a monitoragem de películas finas aplicadas sobre um substrato, particularmente para a monitoragem de um revestimento transparente aplicado num substrato, como por exemplo dos revestimentos que são aplicados sobre vidro.

Ê importante que seja feito o controlo da espessura, e também do índice de refracção, dos revestimentos que são aplicados em folhas de vidro, especialmente em bandas de vidro recém-formados. Conforme é bem conhecido no âmbito da técnica em questão, nas folhas de vidro são aplicados um ou mais revestimentos para uma série de finalidades. Muitas vezes esses revestimentos são finos, por exemplo com uma espessura inferior a 10 nm, e a medição de películas cuja espessura é desta ordem de grandeza é uma operação que apresenta dificuldades, especialmente no caso em que se pretende efectuar rápidas e contínuas medições ao longo de grandes áreas de vidro e detectar variações de espessura tanto segundo direcções longitudinais como segundo direcções transversais das bandas ou das folhas de vidro.

A espessura destes revestimentos é um elemento muito importante no controlo de qualidade das peças de vidro formadas a partir das folhas de vidro revestido. As propriedades físicas e ópticas das peças de vidro dependem bastante da espessura do revestimento. A espessura geométrica e o índice de refracção do revestimento têm um efeito determinante sobre as propriedades de interferência da folha revestida.

No caso de se concluir que o valor da medição da espessura de uma amostra se encontra fora das tolerâncias admissíveis, as folhas de vidro que estiveram nesse momento a ser revestidas irão ser processadas como sucata. Este problema é um problema específico se nesse momento as folhas revestidas já tiverem sido submetidas a uma outra operação de revestimento ou se já tiverem sido transformadas em painéis de vidro.

Por conseguinte é desejável que a monitoragem da espessura do revestimento seja feita tão rapidamente quanto possível a seguir à realização da operação de deposição do revestimento na linha de produção industrial.

Na descrição da patente britânica GB 2069130 (RCA) encontra-se descrito um método próprio para se fazer a monitoragem da espessura óptica de um revestimento através de uma operação que consiste em fazer incidir uma luz policromática sobre a amostra e depois sobre uma amostra de controlo dotado de um revestimento conhecido, fazendo depois variar a espessura do revestimento de comparação até que o espectro da luz reflectida lhe corresponda. Este método é adequado para espessuras ópticas de revestimento com valores compreendidos entre 150 nm e 3.000 nm. Esse método também exige que seja feita uma rigorosa calibragem do revestimento de comparação.

O processo descrito na patente GB 2069130 não permite a realização do controlo de espessuras geométricas cujo valor seja inferior a cerca de 75 nm (para um índice de refracção de valor aproximadamente igual a 2). Além disso, o processo descrito não diz respeito ao controlo contínuo da espessura de revestimento para se saber onde os valores medidos se acham fora dos valores limite de tolerância, nem com o aparelho descrito é possível efectuar a monitoragem da uniformidade da espessura do revestimento. Além disso, é difícil proceder-se ao posicionamento do aparelho descrito na patente GB 2069130 imediatamente a seguir à realização da operação de revestimento.

De acordo com o invento é proporcionado um método de monitoragem da espessura e da uniformidade dã espessura de um revestimento transparente aplicado num substrato em forma de folha, compreendendo as operações que consistem em fazer incidir luz policromática sobre o revestimento numa pluralidade de locais e em medir a intensidade da luz reflectida pelo referido revestimento, indo, em cada um dos referidos locais, a intensidade da luz reflectida ser medida em pelo menos dois comprimentos de onda de monitoragem distintos e as referidas medições ser processadas de modo a ser gerado um sinal eléctrico que pode ser comparado com um ou mais predeterminados valores limite e com sinais eléctricos semelhantes gerados noutros locais, a fim de se obter indicações sobre se a espessura do revestimento se acha ou não dentro de predeterminados valores de tolerância.

O invento também proporciona um aparelho próprio para a monitoragem da espessura e da uniformidade da espessura de um revestimento transparente aplicado num substrato, compreendendo:

(i) uma fonte luminosa própria para fazer incidir luz policromática numa pluralidade de locais sobre o revestimento;

(ii) meios próprios para medir a intensidade da luz reflectida pelo referido revestimento em cada um dos referidos locais e em pelo menos dois comprimentos de onda de monitoragem distintos; e (iii) meios próprios para processar as medições de modo a ser gerado um sinal eléctrico que pode ser comparado com um ou mais predeterminados valores limite e com sinais eléctricos semelhantes gerados noutros locais, a fim de se obter uma indicaçao sobre se a espessura do revestimento se acha ou não dentro de predeterminados valores de tolerância.

O processo e o aparelho de acordo com o invento permitem realizar facilmente a monitoragem da espessura, da uniformidade da espessura e opcionalmente do índice de refracção de um revestimento dentro de predeterminados valores de tolerância. 0 invento também permite, de uma maneira simples, que essa monitoragem possa ser realizada rapidamente após a formação do revestimento.

Por comprimentos de onda de monitoragem distintos deve entender-se comprimentos de onda gue se acham afastados pelo menos 50 nm do valor dos outros comprimentos de onda de monitoragem. O valor de cada um dos dois comprimentos de onda de monitoragem distintos deverã encontrar-se de preferência dentro do espectro visível, ou seja dentro da gama compreendida entre 380 nm e 750 nm. Os valores mais preferíveis dos comprimentos de onda de monitoragem distintos deverão achar-se dentro da.gama compreendida entre 400 nm e 480 nm (azul) e da gama compreendida entre 580 nm e 750 nm (vermelho). Isto é devido ao facto de se ter descoberto que, no caso de muitos revestimentos para produtos comerciais, a diferença entre as medições efectuadas com estes dois comprimentos de onda de monitoraqem distintos varia de uma maneira siqnificativa com a espessura do revestimento.

Sabe-se que a reflectividade de luz por parte de um substrato revestido depende inter alia do comprimento de onda da luz reflectida, da espessura do revestimento e dos índices de refracção do substrato, do revestimento e do ar. É complicado obter todos os parâmetros necessários para que a espessura do revestimento possa ser calculada directamente a partir da reflectividade para dois comprimentos de onda de monitoraqem distintos, na prática é mais conveniente determinar valores de tolerância, por exemplo a partir de

medições da reflectividade obtidas a partir de amostras portadoras de revestimentos de espessura conhecida.

resultado das medições realizadas sobre a luz reflectida deverá ser de preferência enviado para um microprocessador, onde os sinais irão ser processados, conforme será oportunamente explicado, a fim de ser produzida uma indicação do valor da espessura do revestimento. Para certos comprimentos de onda, dependendo da espessura óptica do revestimento, ocorrem interferências resultando num espectro de luz reflectida característico dessa espessura óptica. No caso de um determinado revestimento com uma determinada espessura existe normalmente um comprimento de onda dominante dentro do espectro visível ao qual ocorre uma interferência construtiva, sendo este comprimento de onda dominante que vai determinar o aspecto visual do substrato revestido.

Foi por nós descoberto que no caso de espessuras de valores muito baixos e de comprimentos de onda de monitoragem distintos com um valor próximo do do comprimento de onda dominante, a diferença entre os valores da reflectividade para dois comprimentos de onda era proporcional à espessura óptica do revestimento, e por conseguinte, no caso do índice de refracção do revestimento ser constante, à espessura geométrica do revestimento.

No entanto, o cálculo do valor exacto da relação entre os valores da reflectividade para vários comprimentos de onda é complicado de fazer. Por conseguinte, em vez de proceder à medição da espessura em termos absolutos, o presente invento inclui o estabelecimento de limites de tolerância para cada um dos vários tipos de revestimento. Esses limites de tolerância são determinados por tentativas experimentais.

Quando a medição feita em dois comprimentos de onda de monitoragem distintos for insuficiente para fornecer

indicações rigorosas acerca da espessura do revestimento, por exemplo no caso em que os comprimentos de onda de monitoragem distintos não apresentam um valor próximo do do comprimento de onda dominante, as medições deverão ser feitas pelo menos em três comprimentos de onda, devendo o valor do terceiro comprimento de onda de monitoragem distinto achar-se de preferência dentro da gama compreendida entre 480 nm e 580 nm (verde). A partir das três medições efectuadas, poderá então ser escolhido o par de medições mais adequado para ser gerada uma indicação acerca da espessura do revestimento. A média das três medições proporciona uma informação mais precisa acerca da reflectividade luminosa, a qual poderá ser utilizada nalguns modelos de realização preferenciais como uma indicação acerca do índice de refracção.

No caso da. variação da reflectividade em função da espessura se achar situada próximo de um valor máximo, a reflectividade irá variar muito pouco em função da espessura do revestimento, de maneira que a reflectividade irá então depender mais directamente do índice de refracção, conforme vaticinado pelas equações de Fresnel. Por conseguinte, através de uma adequada calibragem será então possível determinar-se facilmente o valor do índice de refracção do revestimento.

A uniformidade da espessura do revestimento aplicado sobre o substrato é indicada pela comparação entre o sinal eléctrico gerado num local situado no revestimento e aqueles sinais que são gerados.noutros locais. O afastamento relativo entre estes locais irá determinar o grau de fiabilidade dos dados relativos à uniformidade que são gerados desta maneira. Em função da qualidade desejada para o substrato revestido e da utilização final que lhe seja destinada, será preferível realizar a monitoragem da espessura do revestimento numa pluralidade de locais que se acham afastados entre si uma distância não superior a 200 mm, de

uma maneira mais preferível que se acham afastados entre si uma distância não superior a 100 mm, como por exemplo locais que se acham afastados entre si uma distância não superior a 50 mm, de modo ideal locais que se acham afastados entre si uma distância não superior a 10 mm, e de um modo ainda mais ideal locais que se acham afastados entre si uma distância não superior a 5 mm.

Um dispositivo adequado para a realização da operação de monitoragem será um que funcione de maneira a que a intensidade da luz reflectida vá ser medida por diferentes elementos sensíveis à luz para cada um dos comprimentos de onda de monitoragem distintos. Os elementos fotossensíveis podem ser díodos fotossensíveis, por exemplo dispostos num conjunto de foto-díodos. Deverá ser utilizado de preferência um dispositivo de acoplamento de carga (CCD), em particular uma câmara a cores CCD linear. Em alternativa podem ser utilizadas pelo menos duas câmaras monocromáticas CCD lineares, cada uma delas equipada com um filtro adequado. A utilização de uma câmara a cores, que é sensível a três comprimentos de onda, tem no entanto a vantagem dos três sinais serem mais facilmente comparáveis devido ao facto de serem obtidos sob as mesmas condições com o mesmo aparelho. Além disso, quando uma câmara deste tipo for sensível às cores designadas por primárias, que são as cores azul, verde e vermelha, os sinais de saída que são emitidos a partir da câmara constituem uma representação mais verdadeira do aspecto que o substrato revestido irá ter quando observado pela visão humana. A câmara pode ser dotada de um filtro de radiações infravermelhas, a fim de se evitar o sobreaquecimento no caso de ficar exposta a um meio ambiente de elevadas temperaturas e, em função da natureza dà fonte luminosa, isto é, da fonte de emissão de radiações luminosas, de um filtro de banda larga destinado a corrigir o equilíbrio da luz branca.

substrato apresenta-se normalmente sob a forma de uma folha rígida transparente. O índice de refracção do substrato pode ter um valor inferior ou superior ao do índice de refracção do revestimento. O substrato é normalmente constituído por um material vítreo, como por exemplo o vidro, cujo índice de refracção apresenta tipicamente um valor 1,52 (vidro de carbonato de sódio), mas o método característico do presente invento é igualmente aplicável à monitoragem da espessura do revestimento aplicado sobre outros substratos constituídos por materiais semelhantes, como por exemplo sobre material plástico.

revestimento pode ser aplicado no substrato por meio de uma grande variedade de métodos entre os quais se acham incluídos o de sublimação catódica sob vácuo (realizado à temperatura ambiente), o de pirólise (realizado a temperaturas elevadas) e o CVD (Çhemical Vapour Deposition), ou seja, de deposição de vapores químicos. No âmbito da técnica em questão sã utilizados vários materiais para uma série de fins. Os materiais de revestimento são normalmente escolhidos de entre os metais, os óxidos metálicos, os nitretos metálicos e respectivas misturas. Entre os exemplos constitutivos de materiais de revestimento encontram-se incluídos metais tais como a prata e o silício, óxidos tais como a alumina (índice de refracção de cerca de 1,7), o óxido de estanho (índice de refracção de cerca de 1,9 quando depositado por pirólise), o óxido de zircónio (índice de refracção de cerca de 2,9 quando depositado por CVD) e a sílica (índice de refracção de cerca de 1,4 quando depositado por CVD) e os nitretos tais como o nitreto de titânio, o nitreto de silício e o nitreto de alumínio. A transmissão dos raios luminosos deverá ser não difusa e deverá de preferência ser de pelo menos 10%, de uma maneira mais preferível de pelo menos 20%.

A fonte de fornecimento de luz policromática pode ser simplesmente constituída por uma fonte fornecedora dos

dois ou mais comprimentos de onda em relação aos quais se destinam a ser realizadas, mas será mais conveniente utilizar simplesmente uma fonte de luz branca. As medições devem ser de preferência feitas ao longo de substancialmente toda a largura do substrato. No entanto a solução ideal será a de fazer com que a fonte luminosa, isto é, a fonte de emissão de radiações luminosas, seja constituída por uma fonte luminosa alongada cujo comprimento seja pelo menos igual à largura do revestimento.

O sistema pode ser posicionado por cima de uma banda passante de vidro revestido, e compreende a operação que consiste em projectar através de uma fresta a luz que é emitida a partir de uma fonte luminosa alongada que se acha posicionada ao longo de toda a largura da banda de vidro revestido, indo essa luz incidir sobre a banda de vidro à medida que esta vai passando. A fonte luminosa pode compreender lâmpadas fluorescentes TL. A iluminação proveniente da fonte luminosa, isto é, a intensidade da luz policromática que incide sobre o revestimento, deverá ser de preferência controlada e os meios próprios para a realização desse controlo podem incluir pelo menos um fotodetector. Com a ajuda de fotodetectores, a fonte luminosa pode ser calibrada por meio da medição da iluminação num determinado número de pontos escolhidos que se acham distribuídos ao longo de toda a largura do substrato (por exemplo numa dúzia de pontos distribuídos ao longo da largura de uma banda de vidro que tem tipicamente uma largura de 3,2 m). Os níveis de iluminação obtidos através da medição são armazenados. Durante a realização do processo, é medida a iluminação na zona dos pontos escolhidos. No caso de se verificar uma variação, em relação aos valores armazenados, poderá ser aplicada automaticamente uma correcção proporcional à referida variação, a fim de promover a sua compensação.

Em substituição das lâmpadas fluorescentes poderá ser usada em alternativa uma fonte luminosa menos sensível à

temperatura, tais como projectores de luz, por exemplo lâmpadas do tipo foco luminoso.

Por exemplo, utilizando uma fonte luminosa constituída por três projectores de luz, será suficiente a utilização de três fotodetectores para a realização deste controlo.

A fim de proporcionar uma iluminação mais uniforme, entre a fonte luminosa e o revestimento poderá ser interposto um filtro de vidro fosco.

Para se efectuar o revestimento em linha sobre um transportador, as medições da intensidade da luz reflectida deverão ser feitas imediatamente a seguir à etapa de revestimento, junto à extremidade de jusante do posto de revestimento do vidro.

A calibragem da câmara pode ser levada a cabo através da medição da reflexão proveniente de um substrato não revestido e ajustando-se a indicação da espessura do revestimento para o valor zero.

Depois da calibragem ter sido adaptada e dos valores limite terem sido predeterminados, foi por nós descoberto que o invento permite fazer uma fácil monitoragem da espessura e da uniformidade do revestimento durante o tempo em que decorre o processo de fabrico. O método pode dar informações em tempo real, imediatamente a seguir à operação de deposição do revestimento. Se os limites tiverem sido previamente definidos, poderá haver um alarme que vá funcionar quando esses limites tiverem sido ultrapassados e/ou poderá ser desencadeado um ciclo de reacções destinado a ajustar as condições de revestimento de modo a corrigir o erro.

Os valores limite podem ser adequadamente obtidos através da medição da intensidade da luz reflectida por parte de amostras dotadas de um revestimento cuja espessura tenha um valor conhecido, nos extremos das desejadas tolerâncias de fabrico.

Deste modo, de acordo com um modelo de realização preferencial do invento, é proporcionado um método de aplicação de um revestimento transparente num substrato em forma de folha, compreendendo as seguintes operações:

(a) aplicar material de revestimento num substra- to;

(b) monitorar a espessura e a uniformidade da espessura do revestimento por meio de um processo que consiste em fazer incidir luz policromática numa pluralidade de locais sobre o revestimento, medir a intensidade da luz reflectida pelo referido revestimento em cada um dos referidos locais e em pelo menos dois comprimentos de onda de monitoragem distintos e processar as referidas medições de modo a ser gerado um sinal eléctrico que é comparado com um ou mais predeterminados valores limite e com sinais eléctricos semelhantes gerados noutros locais, a fim de se obter uma indicação sobre se a espessura do revestimento se acha ou não dentro de predeterminados valores de tolerância; e (c) ajustar os parâmetros do revestimento em resposta ao referido sinal eléctrico, caso seja necessário.

Atendendo ao facto de que é difícil medir a espessura de revestimentos finos, é surpreendente que exista a' possibilidade de se poder efectuar a monitoragem da espessura durante o tempo em que decorre o processo de fabrico, sem que isso vá provocar o referido processo de fabrico, através da simples análise de dois sinais eléctricos obtidos para dois diferentes comprimentos de onda, e

particularmente no ambiente de temperaturas altas que existe imediatamente a seguir à realização do processo de revestimento .

Quando sobre um substrato é aplicado um ou mais finos revestimentos, será possível executar o método característico do presente invento imediatamente após a realização de cada uma das etapas de revestimento e/ou depois de se ter procedido à deposição de todos os revestimentos.

Também é possível, durante a realização do processo de fabrico de um substrato revestido, efectuar a intervalos regulares a recolha de amostras do referido substrato revestido e realizar fora da linha de produção, por exemplo num laboratório, a inspecção dessas amostras através do método de acordo com o invento.

O invento é particularmente útil no caso em que as medições são feitas sobre um substrato em movimento, como por exemplo no caso em que o substrato é vidro e as medições são feitas sobre uma banda ou folhas de vidro em movimento num local situado ao longo da linha de produção contínua de banda ou folhas de vidro revestido, como por exemplo num aparelho de revestimento por sublimação catódica sob vácuo ou no interior de um forno de recozimento, sobre uma banda de vidro obtida por meio do processo float. Este método é particularmente aplicável a revestimentos formados por pirólise, podendo as medições ser feitas quando o vidro se acha a uma temperatura de cerca de 150°C. As medições deverão ser de preferência feitas dentro de uma distância até 20 m da extremidade de jusante do posto de revestimento do vidro. Por exemplo, as medições poderão ser feitas quando o vidro se acha a uma temperatura de valor compreendido entre cerca de 500°C e 600°C. A fonte luminosa e a câmara deverão ser de preferência montadas por cima da parede abobadada do forno de recozimento, encontrando-se nesse caso na parede abobadada formada uma fenda capaz de permitir que

a banda de vidro vá ficar exposta à fonte luminosa e à câmara. A fim de que a fonte luminosa e a câmara fiquem melhor protegidas do calor que se liberta do forno de recozimento, inclusive através da fenda que se acha formada na parede abobadada do referido forno, a fonte luminosa e/ou a câmara podem ficar encerradas no interior de um espaço refrigerado, por exemplo arrefecido por meio de ar frio estático, por meio de uma corrente de ar ou por meio de água.

ajustamento da operação de aplicação de material de revestimento no substrato em resposta ao sinal eléctrico pode ser feito por meio de uma grande variedade de métodos de acordo com o processo de revestimento que esteja a ser utilizado, como por exemplo, por meio da alteração do caudal de material de revestimento que está a ser fornecido ao posto de revestimento, por meio da alteração da velocidade de deslocação da cabeça móvel de pulverização e/ou por meio da alteração das condições ambientais, tais como a temperatura, que reinam no posto de revestimento, a fim de ir influenciar o processo de revestimento no sentido ou da maneira que se deseje.

Apesar de, conforme foi anteriormente descrito, o método de acordo com o invento poder incluir a etapa adicional que consiste no ajustamento dos parâmetros característicos da operação de revestimento em resposta ao referido sinal eléctrico, isso não é essencial. Também é possível usar o sinal eléctrico para classificar as amostras de substrato revestido e juntá-las em grupos de diferente qualidade, destinados por exemplo a diferentes utilizações finais. Além disso, o sinal eléctrico poderá ser usado para a determinação da natureza de um subsequente processamento do substrato revestido.

invento irá a seguir ser descrito de uma maneira mais pormenorizada, puramente a título de exemplo, com referência aos desenhos anexos em que:

a Figura la é uma representação esquemática, vista de um lado, de um aparelho adequado para a realização de um método de acordo com o invento;

a Figura lb é uma vista segundo a direcção e o sentido indicados pela seta I na Figura la;

a Figura lc é uma representação esquemática de um sistema de circuitos adequado para ser utilizado com o aparelho que se acha representado nas Figuras la e lb;

a Figura 2 é um gráfico representativo da relação existente entre o comprimento de onda predominante da luz reflectida e a espessura do revestimento entre os valores 65 e 105 nm desta última variável; e a Figura 3 é um gráfico representativo da relação existente entre a reflectividade e a espessura do revestimento entre os valores 65 e 105 nm desta última variável, para revestimentos de alumina com vários índices de refracção .

Com referência às Figuras la, lb e lc, vemos que, posicionada num forno de recozimento imediatamente a seguir ao local onde se efectua a aplicação do revestimento sobre uma banda de vidro (10), existe uma caixa de luz (12) que se estende através do forno. A caixa de luz está afastada uma certa distância, por exemplo de cerca de 50 cm, acima da parede abobadada (14), que por sua vez se acha situada cerca de 1 m acima da banda de vidro (10). A banda de vidro (10) vai apoiar-se sobre rolos transportadores (13). Sobre a .superfície superior revestida (11) da banda de vidro (10) vai incidir um feixe de luz que é emitido a partir da caixa

de luz (12) e cujo ângulo de incidência (exagerado na Figura la por motivos de clareza de exposição) sobre a referida superfície é próximo do de uma perpendicular à referida superfície, indo o feixe de luz reflectida ser captado por uma câmara a cores CCD linear (20) que se acha colocada numa posição central em relação à largura da banda, cerca de 3 a 4 m acima da banda de vidro (10). A caixa de luz (12) contém lâmpadas (fluorescentes) TL (16) alimentadas com uma corrente eléctrica com uma frequência de 20.000 Hz. É importante assegurar que a luminosidade da fonte luminosa seja tão uniforme quanto possível ao longo de todo o comprimento da caixa de luz. A fim de ajudar a atingir-se este objectivo, a abertura que se acha praticada na caixa de luz (12) encontra-se coberta por uma janela (18) de vidro fosco. Como solução alternativa, as lâmpadas (fluorescentes) TL (16) podem ser substituídas por três projectores de luz que irão iluminar a janela (18) de vidro fosco.

A iluminação proveniente da caixa de luz (12) pode ser controlada por meio de catorze fotodetectores (19) que se acham posicionados num determinado número de pontos escolhidos que se acham distribuídos acima do substrato e ao longo da largura da banda de vidro (10). A fonte de luz (12), ou fonte luminosa (12), pode ser calibrada por meio da medição da iluminação dela proveniente que é recebida em cada um dos fotodetectores (19). Os níveis de iluminação assim medidos vão ser armazenados na memória de um microprocessador (24). Durante a realização do processo de revestimento, irá proceder-se à medição da iluminação em determinados pontos escolhidos. No caso de ocorrer uma variação em relação aos valores armazenados, irá ser automaticamente gerada pelo microprocessador (24) uma correcção que é proporcional à variação e que irá ser aplicada aos sinais eléctricos proporcionados pelos pixels (ou elementos de imagem) da câmara a cores CCD linear (20) quando esta capta imagens da zona adjacente à do fotodetector (19) que detectou a variação. No caso de em vez de lâmpadas fluorescentes

(16) serem utilizados projectores de luz, a correcção gerada pelo microprocessador pode ser aplicada directamente à fonte de luz (12).

A banda de vidro (10) desloca-se no sentido indicado pela seta (A), depois de ter passado defronte de uma cabeça de pulverização (22) do posto de revestimento, cabeça essa que se acha animada de um movimento alternativo. Os meios de controlo (28) vão regular o caudal de material que passa através da cabeça de pulverização (22) e/ou a velocidade do movimento alternativo de que se acha animada a cabeça de pulverização. As medições efectuadas a partir da câmara (20) vão passar para o microprocessador (24) onde irão ser efectuados os cálculos necessários, conforme será explicado de uma maneira mais pormenorizada com referência à Figura lç. Num dispositivo de visualização (26) irá ser apresentada uma indicação acerca da espessura do revestimento ou de quaisquer outros parâmetros em relação aos quais o microprocessador (24) possa ser programado de maneira a efectuar o cálculo dos respectivos valores. Uma ligação estabelecida entre o microprocessador (24) e os meios de controlo (28) irá tornar possível a realização de um controlo automático da espessura do revestimento.

Uma câmara adequada é a Câmara de Exploração Linear a Cores TL-2600 RGB fornecida pela firma PULNIX. Esta câmara acha-se dotada de uma objectiva com uma distância focal de 50 mm e de um filtro de infravermelhos próprio para reduzir o risco da câmara poder vir a sofrer estragos provocados pelo aquecimento. A largura do feixe de luz emitido pela caixa de luz (12) é maior do que a largura da banda de vidro (10), a fim de assegurar que a câmara vá receber luz reflectida ao longo de toda a largura da banda de vidro revestido, tendo em conta o afastamento que existe entre a caixa de luz e o vidro e entre o vidro e a objectiva da câmara.

A câmara (20) de Exploração Linear a Cores TL-2600 RGB é constituída por 3 linhas de 864 pixels activos, que para uma banda com uma largura de cerca de 3,2 m proporciona uma resolução de cerca de 4 mm, que é uma resolução de valor suficientemente elevado para os fins que presentemente se pretende atingir. Cada pixel é um fotodetector microscópico com as dimensões de 14 x 14 Mm. Defronte de cada uma das filas de pixels é colocado um filtro passa-banda óptico correspondente respectivamente aos comprimentos de onda do vermelho, do verde e do azul. Defronte da objectiva da câmara (20) é colocado um filtro de corte e dois filtros passa-banda ópticos, indo as curvas de resposta da câmara (20) permitir efectuar uma regulação de equilibragem do nível de iluminação para os comprimentos de onda do vermelho, do verde e do azul.

Fazendo referência em especial à Figura lç, o tempo de integração das cargas eléctricas que se vão acumulando em cada pixel pode ser regulado. Por conseguinte, a sensibilidade de captação para cada tipo de revestimento poderá ser regulada de maneira a ter em linha de conta o facto de que existe uma diferença significativa no nível de intensidade da luz que incide sobre a câmara (20) entre uma camada que reflecte 10% da luz e uma camada que reflecte 50% da luz. Esta regulação irá determinar o nível dos sinais que são enviados para a linha (30) e que são emitidos a partir da câmara (20). A câmara (20) é alimentada com um impulso de sincronização que é enviado ao longo da linha (31) e que são emitidos a partir do gerador (29) de sinais de relógio, indo o referido impulso fazer disparar a transferência de carga emitida por cada pixel para o pixel vizinho. O tempo de integração deverá ser superior ao número de pixels da câmara (20) multiplicado pelo tempo (T) de separação entre dois impulsos de sincronização. No presente caso, a fim de se poder ter em conta os pixels negros, o tempo de integração é superior a 2.700 x T.

Os sinais eléctricos produzidos pela câmara representam a reflectividade da superfície revestida para as três cores primárias, ou seja, o vermelho, o verde e o azul (cujos comprimentos de onda estão situados respectiva e aproximadamente dentro dos seguintes valores: 580 - 700 nm, 515 nm e 420 - 450 nm). Estes sinais, aqui designados pelas letras de referência ”[R], [G] e [B] (R de Red (vermelho) , G de Green (verde) e B de Blue (azul)), vão ser enviados para o microprocessador (24) onde irão ser utilizados para a dedução do valor da espessura e opcionalmente do índice de refracção do revestimento.

Os sinais eléctricos analógicos, [R], [G] e [B], resultantes das três linhas de pixels, cada um dos quais tem uma amplitude que é proporcional à quantidade de luz captada por cada pixel, são multiplexados por pixel: em primeiro lugar os sinais [R], [G] e [B] para o primeiro pixel de cada uma das três linhas, fazendo-se depois o mesmo para o segundo pixel de cada uma das três linhas, e assim sucessivamente. Estes sinais multiplexados são enviados para um conversor analógico-digital (32) de 8 bits que também recebe através da linha (33) um impulso de sincronização proveniente do gerador (29) de sinais de relógio. O impulso de sincronização que é emitido a partir do gerador (29) de sinais de relógio também vai ser recebido por um gerador (42) de sinais de identificação de cores. Os sinais digitais que são emitidos a partir do conversor analógico-digital (32) vão ser então enviados através da linha (34), simultaneamente com um sinal de identificação de cores de 3 bits emitido através da linha (43) pelo gerador de sinais (42), para um microprocessador (24) próprio para efectuar o tratamento de dados.

O microprocessador (24) vai efectuar um tratamento do sinal e vai gerir os parâmetros do sistema. Os cálculos são feitos pixel a pixel para cada uma das cores. Os valores resultantes permitem efectuar o traçado de gráficos.

microprocessador (24) vai calcular o valor médio dos sinais [R], [G] e [B], isto é, ([R]+[G]+[B])/3, a fim de indicar o valor da reflectividade do revestimento. O microprocessador (24) também vai calcular a diferença entre dois sinais a fim de indicar o valor da espessura do revestimento para um valor constante do índice de refracção, isto é, [R]-[B], [R]-[G], ou (G]-[B).

O microprocessador (24) também terá a possibilidade de conferir uma forma mais regular às curvas representativas dos valores dos sinais [R], [G] e [B], isto é, de promover o estabelecimento, caso se deseje, de curvas de reflexão regularizadas para cada um dos comprimentos de onda dos sinais [R], [G] e [B] através do cálculo do valor médio de um determinado número, ajustável, de pixels da mesma cor, por exemplo de 3 ou 5 pixels adjacentes. Isto, caso se deseje que seja feito, irá reduzir as diferenças de valor de sinal local existentes entre um pixel e outro pixel seu vizinho, devidas por exemplo a movimentos registados no seio do ar quente no interior da galeria que vão provocar as condições de iluminação da camada, ou devidas à presença de poeira, etc.

Caso se deseje, o microprocessador (24) poderá ser programado de modo a gerar um sinal de comando de ciclo de reacções, que é enviado para os meios de controlo (28) através da linha (36) e que se destina a regular ou ajustar os parâmetros do processo de deposição do revestimento.

Também será possível calcular e aplicar coeficientes de correcção a cada um dos sinais [R], [G] e [B], a fim de que estes correspondam aos valores colorimétricos normalizados (coordenadas CIE tricromáticas ou coordenadas Hunter L,a,b). Neste caso, a medição deixará de ser uma medição relativa, para passar a ser uma medição absoluta.

Para que os sinais de dados tratados possam ser apresentados sob uma forma gráfica, os sinais tratados pelo microprocessador (24) poderão ser enviados para um écran de vídeo (26a) através de uma linha (37) e/ou para uma impressora ou um plotter (26b) através de uma linha (39).

Os limites superior e inferior correspondentes aos valores aceitáveis das tolerâncias de fabrico são determinados através da realização de medições efectuadas em amostras de controlo que são controladas por aparelhos laboratoriais. Estes limites também podem ser apresentados no écran de vídeo (26a) e/ou apresentados sob a forma de uma representação gráfica impressa na impressora ou no plotter (26b), por exemplo sob a forma de duas linhas rectas horizontais a tracejado. Isto permite que o operador possa ver facilmente se o valor da espessura (e do índice de refracção no caso deste dado ser incluído) ultrapassa ou não os limites de tolerância e de que zonas da largura do substrato de vidro é que são provenientes as leituras que ultrapassam os referidos limites de tolerância.

Para se fazer a calibragem do aparelho procede-se à medição da reflexão emitida por uma banda de vidro não revestido, permitindo que a indicação relativa à espessura do revestimento possa ser acertada a zero. Qualquer falta de uniformidade registada na iluminação ao longo da largura da banda de vidro, quaisquer erros devidos a imperfeições na óptica da câmara e quaisquer diferenças registadas na sensibilidade dos pixels da câmara (20) irão ser compensadas em referência ao vidro antes de se proceder à aplicação do revestimento. Esta calibragem irá dar origem à aplicação de coeficientes de correcção aos valores dos sinais de cada pixel, a fim de se obter três curvas de resposta planas. Esta calibragem pode ser levada a cabo imediatamente antes de se dar início à operação de deposição do revestimento.

Os coeficientes de calibragem são, por exemplo, determinados de maneira a que os sinais de saída obtidos com vidro não revestido vão, depois de terem sido amplificados, ficar todos situados no centro da gama de saída possível de ser obtida com a câmara (20) que tenha sido escolhida, isto é, a 50% da sua amplitude máxima. No entanto, esta escolha do valor de 50% para um vidro não revestido pode variar em função do tipo de revestimento, isto é, de acordo com o nível de reflexão luminosa.

Será então possível armazenar-se o coeficiente respeitante a cada um dos pixels de cada uma das três cores, a fim de se aplicar esse coeficiente ao valor do sinal fornecido por esse mesmo pixel de maneira a fazer com que esse valor vá corresponder ao valor escolhido de 50%. Este coeficiente irá ser depois aplicado a todos os subsequentes sinais provenientes deste pixel.

Com o objectivo de minimizar os erros que surgem em consequência de uma ondulação da banda sobre o transportador (reflexos da fonte luminosa provenientes de diferentes pontos que não são necessariamente uniformes) ou da turbulência no seio do ar quente no interior da galeria de recozimento (flutuações no valor do índice de refracção do ar no interior da galeria), é considerado um determinado número, ajustável, de aquisições de conjuntos completos de valores [R], [G] e [B] e são calculados os valores médios correspondentes a um avanço do vidro.

De preferência é tirada uma média de cerca 90 leituras correspondentes a cerca de 6 m de comprimento de banda de vidro. Esta média é comparada com os previamente estabelecidos limites superior e inferior permitindo que o operador possa ver se as tolerâncias estão ou não a ser ultrapassadas em qualquer ponto situado ao longo da largura da banda.

A entrada dos parâmetros das funções (tempo de integração, número de aquisições de uma determinada série de dados antes de se efectuar uma média, coeficientes de calibragem, etc.) e a escolha de funções e das saídas pretendidas, podem ser feitas com a ajuda de um teclado (41) associado ao microprocessador (24).

O microprocessador (24) envia os necessários sinais de comando da câmara através da linha (44) para o gerador (29) de sinais de relógio, a partir do qual eles vão ser transferidos para a câmara (20) através da linha (31).

Exemplo 1

Sobre uma banda passante de vidro quente que se acha a uma temperatura superior a 550°C é pulverizada através de uma cabeça de pulverização que se acha animada de um movimento alternativo uma solução contendo um composto de alumínio. A finalidade da aplicação desta camada de revestimento inferior, ou camada de base ou camada primária, de alumina consiste em fazer com que quando for aplicado uma sobre-camada de revestimento, a espessura óptica da camada de revestimento primária seja suficiente para reduzir os efeitos de interferência de luz visível reflectida provocados pela sobre-camada de revestimento. Para se conseguir alcançar este objectivo, os limites da espessura do revestimento de alumina são muito estreitos. Em função da espessura da subsequentemente aplicada camada de SnC>₂, o revestimento de alumina deverá ter uma espessura dentro da gama compreendida entre 75 nm e 100 nm com uma tolerância de, por exemplo, ± 3 nm e um índice de refracção de valor compreendido entre 1,68 e 1,73 ± 0,01.

Para os revestimentos que apresentem estes valores de espessura e de índice de refracção, o comprimento de onda dominante da luz reflectida deve ter um valor dentro da gama compreendida entre 480 nm e 575 nm, que é dentro da gama de

transição do azul para o amarelo. À medida que a espessura for aumentando, a cor reflectida passa do azul para espessuras de 75-80 nm para uma cor ligeiramente amarela para uma espessura de 100 nm. Isto encontra-se representado na Figura 2 onde se acham traçadas as curvas de variação dos valores do comprimento de onda dominante \_D da luz reflectida em função da espessura t do revestimento para revestimentos cujos índices de refracção variam entre 1,60 e 1,72. Foi por nós descoberto que para o valor da espessura designada por espessura-objectivo, a. diferença entre o sinal de reflectividade proveniente do pixel de vermelho da câmara (predominantemente sensível a valores compreendidos entre 580 e 700 nm) e o sinal de reflectividade proveniente do pixel de azul da câmara (predominantemente sensível a valores compreendidos entre 420 e 450 nm) é indicativa do valor da espessura do revestimento, isto é:

t = f( [R] - [B] ) .

O índice de refracção do revestimento depende ligeiramente da composição, da temperatura do vidro e da temperatura do meio ambiente. Para uma espessura de revestimento de 75-80 nm a variação da reflectividade em função da espessura resulta apenas em alterações mínimas no valor da reflectividade. No entanto, o valor da reflectividade altera-se de uma maneira significativa em função do índice de refracção do revestimento e por conseguinte poderá estabelecer-se uma relação entre a reflectividade e o índice de refracção. Esta relação encontra-se representada na Figura 3 onde se acham traçadas as curvas de variação dos valores da reflectividade média R, medida para três comprimentos de onda de monitoragem distintos, em função da espessura t do revestimento para revestimentos cujos índices de refracção variam entre 1,60 e 1,71. Por conseguinte, ’^f\_c = f{([R] + [G] + [B]) / 3}.

Portanto, em resumo, a média dos sinais gerados para os três comprimentos de onda de monitoragem distintos fornecem uma informação que é proporcional ao valor do índice de refracção do revestimento, enquanto que a diferença entre os sinais gerados para os comprimentos de onda do azul e do vermelho fornecem uma informação que é proporcional ao valor da espessura do revestimento.

microprocessador pode ser programado de maneira a que vá ser emitido um alarme quando o sinal eléctrico, gerado a partir da informação indicativa do valor da espessura do revestimento, cair fora de predeterminados valores limite e/ou, nessas condições, de maneira a regular automaticamente o processo de revestimento, por exemplo através da alteração da velocidade de movimento alternativo da cabeça de pulverização. De modo semelhante, o microprocessador pode ser programado de maneira a que vá ser emitido um alarme quando o sinal eléctrico, gerado a partir da informação indicativa do valor do índice de refracção do revestimento, cair fora de predeterminados valores limite e/ou, nessas condições, de maneira a regular automaticamente o processo de revestimento, por exemplo através da alteração do valor da temperatura no posto de revestimento.

Exemplo 2

No caso de um revestimento anti-solar absorvente produzido por pirólise a partir de acetilacetona e compreendendo 62% CoO, 26% Fe₂C>₃ e 12% Cr₂C>₃ com uma espessura de valor compreendido entre 40 e 50 nm, a cor reflectida predominante é o amarelo. A partir da diferença entre os sinais produzidos para os comprimentos de onda do azul e do vermelho é obtida uma indicação sobre o valor da espessura óptica do revestimento. No entanto, neste caso, verifica-se que o índice de refracção só muito dificilmente poderá registar variações, uma vez gue a composição do material de

revestimento é fixada de maneira a fazer com que a espessura geométrica possa ser facilmente controlada.

Exemplo 3

No caso de um revestimento anti-solar ligeiramente absorvente produzido por pirólise e compreendendo TiO₂ com uma espessura de cerca de 50 nm ± 3 nm, a cor reflectida predominante é o azul acinzentado. A diferença entre os sinais produzidos para os comprimentos de onda do vermelho e do azul permite efectuar a monitoragem da espessura óptica deste revestimento.

Exemplo 4

No caso da aplicação de uma camada de revestimento inferior, ou camada de base ou camada primária, compreendendo SiO ou SiO com uma espessura de cerca de 90 nm, a cor reflectida predominante é o cinzento. Um revestimento deste tipo pode ser produzido por meio de um processo de deposição química de vapor ou em alternativa por meio de um processo de revestimento por sublimação, especialmente de um processo de revestimento por sublimação por rádio-frequência. A cor da luz reflectida tende para o azul-claro ou para o amarelo-claro em função das alterações do valor da espessura do revestimento, mas essas alterações são difíceis de detectar a olho nu. No caso deste exemplo, será preferível comparar os sinais produzidos para os comprimentos de onda do verde e do azul para se efectuar a monitoragem do aspecto deste revestimento.

Exemplo 5

No caso da aplicação de uma sobre-camada de revestimento compreendendo SnO₂ com uma espessura de cerca de 300 nm, aplicada sobre uma camada de revestimento inferior, ou camada de base ou camada primária, de alumina com

uma espessura de 75 nm e aplicada conforme indicado no Exemplo 1, não existe cor reflectida predominante. Se a camada de revestimento for muito fina, obtém-se uma cor rosa-violeta para a luz reflectida. Se a camada de revestimento for muito espessa, obtém-se uma cor verde-escuro para a luz reflectida. A diferença entre os sinais produzidos para os comprimentos de onda do verde e do vermelho permite efectuar a monitoragem da espessura óptica deste revestimento. A diferença entre os sinais produzidos para os comprimentos de onda do verde e do azul (ou entre os sinais produzidos para os comprimentos de onda do vermelho e do azul) permite fazer a diferenciação entre duas ordens de interferência para o comprimento de onda do verde (ou respectivamente entre duas ordens de interferência para o comprimento de onda do vermelho), por exemplo entre a terceira e a quarta ordens de interferência, se o valor da espessura do revestimento sofrer substanciais alterações.

Exemplo 6

Sobre um substrato de vidro é depositada por meio de um processo de deposição química de vapor uma camada de silício metálico com uma espessura de 25 nm. A cor normal é o cinzento metálico. Quando a espessura do revestimento tiver um valor demasiado elevado, a cor passa para o amarelo (e depois tem tendência a passar para o vermelho). A reflexão luminosa é da ordem dos 50% e a transmissão luminosa é de cerca de 33%.

A espessura do revestimento pode ser monitorada através do cálculo da diferença entre os sinais [R] e [B].

'· Exemplo 7

Por meio de um processo de deposição por magnetrão é produzido um produto multicamada formado por um substrato de vidro revestido cora TiN e SnO₂. Este produto é examinado, por reflexão emitida a partir do lado não revestido do substrato de vidro, através da utilização de um aparelho de acordo com o invento. A cor da luz reflectida é o azul. No caso da espessura da camada de TiN apresentar sempre um valor constante, a diferença entre os sinais gerados para os comprimentos de onda do azul e do verde permite efectuar o controlo do valor da espessura da camada de revestimento superior constituída por ^Sn02, ^e da uniformidade desta última camada, a fim de se assegurar que o produto vá apresentar um aspecto visual uniforme quando visto pelo lado não revestido do vidro. A espessura da camada de revestimento constituída por TiN pode ser previamente controlada, de acordo com o invento, por uma câmara posicionada no aparelho de deposição depois de se ter procedido à operação de deposição do TiN e antes de se ter procedido à operação de deposição do SnO2·

Exemplo 8

Por meio de um processo de deposição com magnetrão é produzido um produto multicamada com um elevado grau de reflectividade formado por um substrato de vidro revestido com aço inoxidável e TiN (transmissão luminosa T_T = 8%). Este produto é examinado, por reflexão emitida a partir do lado não revestido do substrato de vidro, através da utilização de um aparelho de acordo com o invento. A cor da luz reflectida é o prateado metálico. No caso da espessura da camada de aço inoxidável apresentar sempre um valor constante, a diferença entre os sinais gerados para os comprimentos de onda do azul e do vermelho permite efectuar o controlo do valor da espessura da camada de revestimento superior constituída por TiN, e da uniformidade desta última camada, a fim de se assegurar que o produto vá apresentar um aspecto visual uniforme quando visto pelo lado não revestido do vidro. A espessura da camada de revestimento constituída por aço inoxidável pode ser previamente controlada, de acordo com o invento, por uma câmara posicionada no aparelho de deposição depois de se ter procedido à operação de deposição do aço inoxidável e antes de se ter procedido à operação de deposição do TiN.

Claims

13. - Método de monitoragem da espessura e da uniformidade da espessura de um revestimento transparente aplicado num substrato em forma de folha, caracterizado por compreender as operações que consistem em fazer incidir luz policromática sobre o revestimento numa pluralidade de locais e em medir a intensidade da luz reflectida pelo referido revestimento, indo, em cada um dos referidos locais, a intensidade da luz reflectida ser medida em pelo menos dois comprimentos de onda de monitoragem distintos e as referidas medições ser processadas de modo a ser gerado um sinal eléctrico que pode ser comparado com um ou mais predeterminados valores limite e com sinais eléctricos semelhantes gerados noutros locais, a fim de se obter indicações sobre se a espessura do revestimento se acha ou não dentro de predeterminados valores de tolerância.

2a. - Método de acordo com a reivindicação 1, caracterizado por o valor de cada um dos referidos (pelo menos dois) comprimentos de onda de monitoragem distintos se achar dentro da gama compreendida entre 400 nm e 750 nm e se achar afastado pelo menos 50 nm do valor do(s) outro(s) comprimento(s) de onda de monitoragem.

33. - Método de acordo com a reivindicação 2, caracterizado por o valor do primeiro comprimento de onda de monitoragem distinto se achar dentro da gama compreendida entre 400 nm e 480 nm (azul) e o valor do segundo comprimento de onda de monitoragem distinto se achar dentro da gama compreendida entre 580 nm e 750 nm (vermelho).

43. - Método de acordo com qualquer uma das reivindicações anteriores, caracterizado por as medições serem feitas em dois comprimentos de onda.

5§. - Método de acordo com qualquer uma das reivindicações la 3, caracterizado por as medições serem feitas em três comprimentos de onda.

6a. - Método de acordo com a reivindicação 5, caracterizado por as referidas três medições serem processadas de modo a ser gerado um sinal eléctrico indicativo do índice de refracção do revestimento.

7a. - Método de acordo com a reivindicação 5 ou 6, caracterizado por o valor do primeiro comprimento de onda de monitoragem distinto se achar dentro da gama compreendida entre 400 nm e 480 nm (azul), o valor do segundo comprimento de onda de monitoragem distinto se achar dentro da gama compreendida entre 580 nm e 750 nm (vermelho) e o valor do terceiro comprimento de onda de monitoragem distinto se achar dentro da gama compreendida entre 480 nm e 580 nm (verde).

83. - Método de acordo com qualquer uma das reivindicações anteriores, caracterizado por a intensidade da luz reflectida ser medida por diferentes elementos sensíveis à luz para cada um dos comprimentos de onda de monitoragem distintos.

93. - Método de acordo com qualquer uma das reivindicações anteriores, caracterizado por a medição da luz reflectida ser feita através da utilização de um dispositivo de acoplamento de cargas (CCD).

103. - Método de acordo com a reivindicação 9, caracterizado por o dispositivo de acoplamento de cargas ser uma câmara a cores CCD linear.

113. - Método de acordo com qualquer uma das reivindicações anteriores, caracterizado por os locais constitutivos da referida pluralidade de locais se acharem afastados entre si uma distância não superior a 50 mm.

12a. - Método de acordo com a reivindicação 11, caracterizado por os locais constitutivos da referida pluralidade de locais se acharem afastados entre si uma distância não superior a 10 mm.

13 ^a. - Método de acordo com a reivindicação 12, caracterizado por os locais constitutivos da referida pluralidade de locais se acharem afastados entre si uma distância não superior a 5 mm.

14a. - Método de acordo com qualquer uma das reivindicações anteriores, caracterizado por as medições serem feitas ao longo de substancialmente toda a largura do substrato.

15^a. - Método de acordo com qualquer uma das reivindicações anteriores, caracterizado por a intensidade da luz policromática que incide sobre o revestimento ser devidamente controlada.

16^a. - Método de acordo com qualquer uma das reivindicações anteriores, caracterizado por as referidas medições serem processadas de modo a ser calculada a diferença entre a intensidade da luz reflectida para dois dos referidos comprimentos de onda de monitoragem distintos.

17^a. - Método de aplicação de um revestimento transparente num substrato em forma de folha, caracterizado por compreender as seguintes operações:

(a) aplicar material de·revestimento num substrato ;

18- Método de acordo com qualquer uma das reivindicações anteriores, caracterizado por as medições serem feitas sobre um substrato em movimento.

19^. - Método de acordo com a reivindicação 18, caracterizado por o substrato ser vidro e as medições serem feitas sobre uma banda ou folhas de vidro em movimento num local situado ao longo da linha de produção contínua de banda ou folhas de vidro revestido.

20^. - Método de acordo com a reivindicação 18 ou 19, caracterizado por as medições serem feitas no interior de um forno de recozimento, sobre uma banda de vidro obtida por meio do processo float.

2ia. - Método de acordo com qualquer uma das reivindicações 18 a 20, caracterizado por o revestimento ser formado por pirólise, e por as medições serem feitas dentro de uma distância até 20 m, e de preferência até 10 m, da extremidade de jusante do posto de revestimento do vidro.

22^. - Aparelho próprio para a monitoragem da espessura e da uniformidade da espessura de um revestimento transparente aplicado num substrato, caracterizado por compreender:

(ii) meios próprios para medir a intensidade da luz reflectida pelo referido revestimento em cada um dos referidos locais e em pelo menos dois comprimentos de onda de monitoragem distintos; e (iii) meios próprios para processar as medições de modo a ser gerado um sinal eléctrico que pode ser comparado com um ou mais predeterminados valores limite e com sinais eléctricos semelhantes gerados noutros locais, a fim de se obter uma indicação sobre se a espessura do revestimento· se acha ou não dentro de predeterminados valores de tolerância.

23a. - Aparelho de acordo com a reivindicação 22, caracterizado por os referidos meios próprios para medir a intensidade da luz reflectida pelo referido revestimento compreenderem uma câmara a cores CCD linear.

24a. - Aparelho de acordo com a reivindicação 22 ou 23, caracterizado por os referidos meios próprios para processar as medições compreenderem um microprocessador.

25a. - Aparelho de acordo com qualquer uma das reivindicações 22 a 24, caracterizado por a referida fonte luminosa ser uma fonte luminosa alongada cujo comprimento é pelo menos igual à largura do revestimento.

26a. - Aparelho de acordo com qualquer uma das reivindicações 22 a 25, caracterizado por incluir ainda meios próprios para controlar a intensidade da luz policromática que incide sobre o revestimento, incluindo os referidos meios pelo menos um fotodetector.