KR960043000A - 세정장치 및 세정방법 - Google Patents

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Abstract

〔목적〕본 발명은, 기판상의 오염물을 효과 있게 제거 할수 있도록 개량된 장치를 제공하는 것이다.
〔구성〕해당 장치는, 액체의 방울(21)을 기판(1)에 향해서 분출하는 분출노즐(11)을 구빈한다. 분출노즐(11)에는, 액체공급수단(23) 및 가스 공급수단(22)가 접속된다. 분출노즐(11)내에는, 분출노즐(11)에 공급된 액체와 기체와를 혼합하며, 액체를 액체의 방울(21)로 바꾸는 혼합수단이 설치되어 있다.

Description

세정장치 및 세정방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 실시예 1에 관련한 세정장치의 개념도.

Claims (25)

  1. 기판(1)의 표면에 부착되어 있는 오염물을 제거한 세정장치에 있어서, 액체의 방울을 상기 기판을 향해서 분출하는 분출노즐(11)과, 상기 분출 노즐(11)에 접속되고, 그 분출노즐(11)에 액체를 공급하는 액체공급수단(23)과, 상기 분출노즐에 접속되고, 그 분출노즐(11)에 기체를 공급하는 가스공급수단과, 상기 분출노즐(11)에 설치되고, 그 분출노즐(11)에 상기 액체와 상기 기체와를 혼합하고, 상기 액체의 방울로 바꾸는 혼합수단을 구비하는 세정장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 분출노즐(11) 및 상기 혼합수단은, 그 속을 상기 기체가 통과하는 제1의 관로(30)와, 상기 제 1의 관로의 외측으로부터, 상기 제1의 관로(30)의 측벽을 관통하고, 그 제1의 관로내까지, 그 선단부가 뻗고, 그 속을 상기 액체가 통과하는 제2의 관로(31)를 구비하며, 상기 제2의 관로의 상기 선단부는 상기 제1의 관로(30)가 뻗는 방향과 같은 방향으로 뻗고있는 세정장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 분출노즐이, 복수개, 똑같은 간격으로 서로교차 하지 않도록 설치되어 있는 세정장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 분출노즐(11) 및 상기 혼합수단은 제1의 관로(41)와, 상기 제1의 관로(41)보다도 지름이 크고, 상기 제1의 관로(41)의 상기 제2의 관로(42)와의 사이에서 공간을 형성하도록, 그 제1의 관로를 포함하는 제2의 관로(42)와, 상기 제2의 관로(42)의 외측으로부터, 상기 제1의 관로(41) 및 제2의 관로(42)의 측벽을 관통하고, 상기 제1의 관로(41)에 까지, 그 선단이 뻗어있는 제3의 관로(43)를 구비하며, 상기 제3의 관로(43)내를 상기 액체가 지나가며, 상기 제1 및 제2의 관로(41,42)내를 상기 기체가 통과하는 것을 포함하는 세정장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 제3의 관로(43)의 상기 선단부는 상기 제1의 관로(41)가 뻗는 방향으로 뻗고 있으며, 상기 제3의 관로(43)의 상기 선단이 신축가능하게 되어 있는 세정장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 분축노즐(11) 및 상기 혼합수단은 상기 제1의 관로(44)와, 상기 제1의 관로의 외측으로부터, 그 제1의 관로(44)의 측벽을 관통하며, 그 선단부가 상기 제1의 관로(44)내에 까지 뻗고, 또한 그 제1의 관로(44)가 뻗는 방향으로 뻗고 있는 제2의 관로(45)와, 상기 제2의 관로(45)의 외측으로부터,그 제2의 관로(45)의 측벽을 관통하고, 그 선단부가 그 제2의 관로(45)내에까지 뻗어 또한 그 제2의 관로(45)가 뻗는 방향으로 뻗고 있는 제3의 관로(46)를 구비하고, 상기 제2의 관로내에 상기 액체가 공급되고, 상기 제1 및 제3의 관로(44,46)내에 상기 기체가 공급되고 있는 것을 포함하는 세정장치.
  7. 제2항에 있어서, 상기 제2의 관로(31)의 액체분출구로부터 상기 제1의 관로(30)의 기체분출구까지의 거리는 70㎜이상인 세정장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 액체 공급수단(23)은 상기 액체 공급압력을 제어하는 수단을 더 포함하고, 상기 가스 공급수단(22)은 상기 기체의 공급압력을 제어하는 수단을 더 포함하는 세정장치.
  9. 제1항에 있어서, 상기 분출노즐에 연결되고, 상기 액체의 방울이 상기 기판에 충돌하는 각도를 제어하는 수단을 더 포함하는 세정장치.
  10. 기판표면에 부착되어 있는 오염물을 제거하는 장치에 있어서, 약액을 상기 기판(51)에 향해서 공급하는 약액공급 노즐(45)과, 순수 액체의 방울을 상기 기판(51)에 향해서 분출하는 분출노즐(41)과, 상기 분출 노즐(41)에 접속되고, 그 분출 노즐(41)내에 가스를 공급하는 가스 공급수단과, 상기 분출 노즐(41)내에 설치되고, 그 분출 노즐(41)내에 공급된 상기 순수와 상기 가스와를 혼합하고, 상기 순수를 액체의 방울로 바꾸는 혼합수단(42)를 구비한 세정장치.
  11. 기판의 표면에 부착되어 있는 오염물을 제거하는 장치에 있어서, 액체의 방울을 상기 기판(49)에 향해서 분출하는 분출노즐(41)과, 상기 분출노즐에 접속되고, 그 분출노즐내에 순수를 공급하기 위한, 제1의 개폐밸브(43)를 가지는 순수공급수단과, 상기 분출노즐(41)에 접속되며, 그 분출노즐(41)내에 약액을 공급하기 위한 제2의 개폐밸브(47)를 가지는 약액공급 수단과, 상기 분출노즐(41)에 접속되며, 그 분출노즐(41)내에 가스를 공급하는 공급수단과, 상기 분출노즐(41)내에 설치되며, 상기 순수 또는 상기 액체와, 상기 가스와를 혼합하고, 상기 순수의 액체의 방울로 바꾸는 혼합수단(42)을 구비하는 세정장치.
  12. 기판의 표면에 부착되어 있는 오염물을 제거하는 세정방법에 있어서, 분출노즐(11)의 분출구를 기판(1)에 향하게 하는 공정과, 상기 분출 노즐(11)내에 액체를 공급하는 공정과, 상기 분출 노즐내(11)에 가스를 공급하는 공정과, 상기 분출 노즐(11)에서 상기 액체와 상기 기체와를 혼합하여 얻어진 액체의 방울을 상기 분출구에서 분출하는 공정을 구비한 세정방법.
  13. 제12항에 있어서, 상기 액체를 상기 분출 노즐(11)내에 공급하는 압력을 1~10kg/㎠로 하고, 상기 기체를 상기 분출 노즐(11)내에 공급하는 압력을 1~10kg/㎠로하는 세정방법.
  14. 제12항에 있어서,상기 액체를 상기 분출 노즐(11)내에 공급하는 압력을 2~4kg/㎠로 하는 세정방법.
  15. 제12항에 있어서, 상기 액체를 상기 분출 노즐(11)내에 공급하는 압력을 4~8kg/㎠로 하고,상기 기체를 상기 분출 노즐(11)내에 공급하는 압력을 4~8kg/㎠로 하는 세정방법.
  16. 제12항에 있어서, 상기 액체의 방울의 입경이 0.01㎛~1000㎛이 되도록, 상기 액체 및 상기 가스의 공급압력을 제어하는 세정방법.
  17. 제16항에 있어서, 상기 액체의 방울의 입경이0.1㎛~1000㎛이 되도록, 상기 액체 및 상기 가스의 공급압력을 제어하는 세정방법.
  18. 제17항에 있어서,상기 액체의 방울의 입경이 1㎛~100㎛이 되도록, 상기 액체 및 상기 가스의 공급압력을 제어하는 세정방법.
  19. 제12항에 있어서, 상기 액체의 방울이 상기 기판에 충돌하는 속도가 10~100m/sec가 되도록, 상기 가스의 공급압력을 제어하면서 행하는 세정방법.
  20. 제12항에 있어서, 상기 액체의 방울이 상기 기판에 충돌하는 속도가 100~330m/esc가 되도록, 상기 가스의 공급압력을 제어하면서 행하는 세정방법.
  21. 제12항에 있어서,상기 액체의 방울이 상기 기판에 충돌하는 각도를15~90°로 제어하면서 행하는 세정방법.
  22. 제12항에 있어서,상기 액체로서,순수보다 밀도가 큰것을 사용하여 행하는 세정방법.
  23. 상기의 표면을 세정액으로 세정하는 공정과, 상기 기판의 표면에,순수의 액체의 방울을 분출하는 공정을 구비한 세정방법.
  24. 기판상에 세정액의 액체의 방울을 분출하는 공정을 구비하는 세정방법.
  25. 기판상에 세정액의 액체의 방울을 분출하는 공정과, 상기 기판상에 순수한 액체의 방울을 분출하는 공정을 구비한 세정방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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