KR20220150352A - 기판 컨테이너용 매니폴드 - Google Patents

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KR20220150352A
KR20220150352A KR1020227034338A KR20227034338A KR20220150352A KR 20220150352 A KR20220150352 A KR 20220150352A KR 1020227034338 A KR1020227034338 A KR 1020227034338A KR 20227034338 A KR20227034338 A KR 20227034338A KR 20220150352 A KR20220150352 A KR 20220150352A
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매튜 에이 풀러
콜턴 제이 하르
이안 두트로
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엔테그리스, 아이엔씨.
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Abstract

기판 컨테이너는 내측부 공간을 형성하는 쉘, 그리고 유입구 및 가스 분배 표면을 갖는 매니폴드를 포함한다. 쉘은 전방 개구부, 하단 벽, 및 후방 벽을 포함한다. 매니폴드는 하단 벽에 부착되고, 후방 벽보다 전방 개구부에 더 근접한다. 가스 분배 표면은 퍼지 가스를 내측부 공간 내로 분배하도록 구성된다. 개방된 기판 컨테이너를 퍼지하는 방법은 퍼지 가스의 제1 스트림을 매니폴드에 공급하는 단계, 및 퍼지 가스의 제2 스트림을 기판 컨테이너의 내측부 공간에 공급하는 단계를 포함한다. 방법은 또한, 제1 스트림의 퍼지 가스를 기판 컨테이너의 내측부 공간 내에서 분배하는 매니폴드를 포함한다.

Description

기판 컨테이너용 매니폴드
관련 출원에 대한 상호 참조
본원은, 2020년 3월 6일자로 출원되고 전체가 모든 목적을 위해서 참조로 본원에 포함되는, 미국 가출원 제62/986,142호의 이익 및 그에 대한 우선권을 주장한다.
이러한 개시 내용은 일반적으로 전방 개구부를 가지는 기판 컨테이너에 관한 것이다. 더 구체적으로, 이러한 개시 내용은 퍼지 가스를 컨테이너의 내측부에 공급하는 것에 관한 것이다.
웨이퍼 형태의 기판을 프로세스하여 반도체 소자를 형성할 수 있다. 웨이퍼 기판, 또는 단순히 기판은 일련의 프로세스 단계를 거친다. 예시적인 프로세스 단계는, 비제한적으로, 재료 층 침착, 도핑, 에칭, 또는 기판 재료(들)를 화학적 또는 물리적으로 반응시키는 것을 포함할 수 있다. 제조 설비 내의 프로세스 단계들 사이에서 프로세스-중인 웨이퍼를 저장 및 운반하기 위해서 기판 컨테이너가 사용된다. 일부 프로세스 단계 중에, 기판은 청정 환경(예를 들어, 청정실) 내의 프로세싱 장비에 의해서 프로세스된다. 기판은 기판 컨테이너로부터 장비 전방 단부 모듈(EFEM, equipment front end module)을 통해서 프로세싱 툴로 전달될 수 있다. EFEM은 일반적으로 기판 컨테이너를 수용하기 위한 적재 포트, 전달 유닛, 프레임 또는 "소규모-환경", 그리고 EFEM 내에서 가스 유동을 생성하기 위해서 사용되는 팬 필터 유닛을 포함한다.
사용시에, 기판 컨테이너가 적재 포트에 도킹되고(docked), EFEM(18)의 도어가 개방된다. 다음에, 도어가 기판 컨테이너로부터 분리되고, 이는 EFEM 내에 수용된 전달 유닛이 프로세싱을 위해서 기판 컨테이너 내에 수용된 기판 컨테이너에 접근할 수 있게 한다. 팬 필터 유닛 가스에 의해서 도입되는 가스의 유동이 EFEM의 상단부로부터 EFEM의 하단부를 향하는 방향으로 EFEM을 통해서 유동한다. 기판 컨테이너의 전방 개구부가 EFEM의 적재 포트 개구부와 인터페이스(interface)할 때, EFEM을 통해서 그리고 적재 포트 개구부를 가로질러 유동하는 가스의 일부가 컨테이너의 내측부 내로 의도하지 않게 지향될 수 있고, 그에 따라 기판 컨테이너의 미세환경 내의 상대 습도 및/또는 산소 레벨의 증가를 일시적으로 유발하는 것에 의해서, 기판 컨테이너의 퍼지 능력을 방해할 수 있으며, 이는 바람직하지 못할 수 있다.
실시형태에서, 개방 전방 개구부 기판 컨테이너를 퍼지하는 방법은 퍼지 가스의 제1 스트림을 기판 컨테이너 내의 매니폴드의 유입구에 공급하는 단계로서, 매니폴드는 퍼지 가스를 내측부 공간 내에서 분배하는, 단계, 및 퍼지 가스의 제2 스트림을 내측부 공간에 공급하는 단계를 포함한다. 제1 스트림은, 기판 컨테이너의 후방 벽보다 전방 개구부에 더 근접한 전방 유입구 포트를 통해서 공급된다. 제2 스트림은, 기판 컨테이너보다 후방 벽에 더 근접한 후방 유입구 포트를 통해서 공급된다.
실시형태에서, 기판 컨테이너는 쉘(shell) 및 매니폴드를 포함한다. 쉘은 내측부 공간을 형성하고, 전방 개구부, 제1 측벽, 제2 측벽, 후방 벽, 및 하단 벽을 포함한다. 하단 벽은, 제1 측벽과 제2 측벽 사이에서 그리고 쉘의 전방 개구부를 따라서 연장되는 전방 연부를 갖는다. 매니폴드는 하단부, 상단부 또는 측벽 중 어느 하나, 또는 이들의 일부 조합에 부착될 수 있다. 일 실시형태에서, 매니폴드는 하단 벽에 부착되고, 후방 벽보다 전방 개구부에 더 근접한다. 매니폴드는 퍼지 가스를 수용하기 위한 유입구, 및 퍼지 가스를 내측부 공간 내에서 분배하도록 구성된 가스 분배 표면을 포함한다. 가스 분배 표면은, 제1 측벽과 제2 측벽 사이에서 하나의 방향으로 연장되는 제1 가스 분배 부분을 포함한다. 다른 실시형태에서, 매니폴드는 퍼지 가스를 배출하기 위한 배출구를 포함한다.
기판 컨테이너 및 기판 컨테이너의 퍼지 방법의 설명된 그리고 다른 특징, 양태, 및 장점 모두가 이하의 도면으로부터 보다 잘 이해될 것이다.
도 1은 기판 컨테이너의 실시형태의 전방 사시도이다.
도 2a는 실시형태에 따른, 개방되었을 때의 도 1의 기판 컨테이너의 전방 사시도이다.
도 2b는 실시형태에 따른, 장비 전방 단부 모듈에 부착되었을 때의 도 2a의 기판 컨테이너의 횡단면도이다.
도 3은 실시형태에 따른, 도 1의 기판 컨테이너의 저면도이다.
도 4는 기판 컨테이너의 매니폴드의 실시형태의 전방 사시도이다.
도 5a는 기판 컨테이너의 매니폴드의 실시형태의 전방 사시도이다.
도 5b는 도 5a의 매니폴드의 분해도이다.
도 6a는 기판 컨테이너의 실시형태의 전방 사시도이다.
도 6b는 실시형태에 따른, 도 6a의 기판 컨테이너의 매니폴드의 분해도이다.
도 7a는 기판 컨테이너의 실시형태의 전방 사시도이다.
도 7b는 실시형태에 따른, 도 7a의 기판 컨테이너의 매니폴드의 전방 사시도이다.
도 8a는 기판 컨테이너의 실시형태의 전방 사시도이다.
도 8b는 실시형태에 따른, 도 8a의 기판 컨테이너의 횡단면도이다.
도 9a는 기판 컨테이너의 실시형태의 전방 사시도이다.
도 9b는 도 9a의 기판 컨테이너의 하단 사시도이다.
도 10은 기판 컨테이너의 퍼지 방법의 실시형태의 블록도이다.
개시 내용의 여러 가지 수정 및 대안적 형태가 가능하지만, 그 구체적인 내용이 도면에서 예로서 도시되어 있고 본원에서 구체적으로 설명될 것이다. 그러나, 개시 내용의 양태를 설명된 특별한 예시적인 실시형태로 제한하고자 하는 의도가 없다는 것을 이해하여야 할 것이다. 대조적으로, 본 의도는 개시 내용의 사상 및 범위 내에 포함되는 모든 수정예, 균등물, 및 대안을 포함한다.
본 명세서 및 첨부된 청구항에서 사용된 바와 같이, 기재 내용에서 달리 명백하게 기술하지 않는 한, 단수 형태("a", "an", 및 "the")가 복수의 대상을 포함한다. 본 명세서 및 첨부된 청구범위에서 사용된 바와 같이, 기재 내용에서 달리 명백하게 기술하지 않는 한, "또는"은 일반적으로 "및/또는"을 포함하는 의미로 이용된다.
"약"이라는 용어는 일반적으로 인용된 값과 균등한 것으로 간주될 수 있는(예를 들어, 동일한 기능 또는 결과를 가지는) 숫자의 범위를 지칭한다. 많은 경우에, "약"이라는 용어는, 가장 가까운 유효 숫자로 반올림된 숫자를 포함할 수 있다.
이하의 상세한 설명은, 상이한 도면들 내의 유사한 요소들이 동일한 번호를 갖는 도면들을 참조하여 읽어야 한다. 상세한 설명 및 반드시 실제 축척이 아닌 도면은 예시적인 실시형태를 설명하고 본 발명의 범위를 제한하도록 의도된 것이 아니다. 설명된 예시적인 실시형태는 단지 예로서 의도된 것이다. 달리 명백하기 기술되지 않는 한, 임의의 예시적인 실시형태의 선택된 특징이 부가적인 실시형태 내로 통합될 수 있다.
이러한 개시 내용은 일반적으로, 기판 컨테이너의 내측부 공간에 접근하기 위한 전방 개구부를 가지는 기판 컨테이너용 전방 매니폴드에 관한 것이다. 기판 컨테이너는, 예를 들어 반도체 제조 중에, 기판을 이송하기 위해서 사용된다. 더 구체적으로, 이러한 개시 내용은, 개방 중에 기판 컨테이너의 전방 개구부 내로 가스가 진입하는 것을 방지하기 위해서 내측부 공간 내에서 퍼지 가스를 분배하도록 구성된 매니폴드에 관한 것이다. 일부 실시형태에서, 매니폴드는, 기판 컨테이너가 폐쇄될 때 기판 컨테이너로부터의 퍼지 가스의 배출을 촉진하기 위한 배출구로서 구성될 수 있다.
웨이퍼 형태의 기판을 프로세스하여 반도체 소자를 형성할 수 있다. 기판 컨테이너는 프로세싱 중에 기판을 이송하기 위한 컨테이너이다. 기판은 상이한 프로세스 단계들 전에 그리고 도중에 기판 컨테이너 내에 저장될 수 있다. 기판 컨테이너는 기판 컨테이너의 전방 개구부를 통해서 접근된다. 기판 컨테이너는 예를 들어 FOUP(front opening unified pod)일 수 있다.
도 1 내지 도 3은 개시 내용의 실시형태에 따른 기판 컨테이너(1)를 도시한다. 도 1 및 도 2a는 각각 기판 컨테이너(1)의 전방 사시도이다. 도 2b는 장비 전방 단부 모듈(3)에 부착되었을 때의 기판 컨테이너(1)의 횡단면도이다. 도 3은 기판 컨테이너(1)의 저면도이다. 도면에서 쇄선을 제공하여 가려진 특징부(예를 들어, 연부, 개구부 등)를 나타낸다. 도 1에 도시된 바와 같이, 기판 컨테이너(1)는 전방 도어(4) 및 쉘(6)을 포함한다. 전방 도어(4)는 쉘(6)의 전방 개구부(12) 내에 수용되고, 둘러싸인 내측부 공간(8)을 형성한다. 내측부 공간(8)은 이하에서 더 구체적으로 설명된다.
도 2a는 전방 도어(4)가 제거된(예를 들어, 개방된) 기판 컨테이너(1)를 도시한다. 도 2a에 도시된 바와 같이, 쉘(6)은 기판 컨테이너(1)의 내측부 공간(8)을 형성한다. 기판(예를 들어, 도 8a의 기판(590))이 기판 컨테이너(1)의 내측부 공간(8) 내에 저장된다. 쉘(6)은 전방 개구부(12)를 포함한다. 도어(4)는 쉘(6)의 전방 개구부(12) 내에 수용되어, 전방 개구부(12)를 차단한다. 도어(4)를 이동(예를 들어, 개방, 제거)시키는 것에 의해서, 기판 컨테이너(1)에 접근할 수 있다. 예를 들어, 도 1의 도어(4)는 도어(4)를 쉘(6) 내에 삽입하는 것에 의해서 쉘(6) 내에 수용된다. 실시형태에서, 도어(4) 및 쉘(6) 중 하나 이상은, 도어(4)의 우발적인 제거를 방지하기 위한 잠금 메커니즘(미도시)을 포함할 수 있다.
도 2a에 도시된 바와 같이, 쉘(6)은 전방 개구부(12), 제1 측벽(14), 제2 측벽(16), 후방 벽(18), 및 상단 벽(20), 및 하단 벽(22)을 포함한다. 제1 측벽(14)은 제2 측벽(16)에 대향되고, 상단 벽(20)은 하단 벽(22)에 대향된다. 제1 측벽(14)은 좌측 측면으로 지칭될 수 있는 한편, 제2 측벽(16)은 우측 측면으로 지칭될 수 있다. 상단 벽(20) 및 하단 벽(22)의 각각은 제1 측벽(14)과 제2 측벽(16) 사이에서 연장된다. 쉘(6)은 대향 벽들 사이에서 연장되는 전방 연부를 포함한다. 하단 벽(22)은, 전방 개구부(12)를 따라서 연장되는 전방 연부(24A)를 포함한다. 전방 연부(24A)는 또한 쉘(6)의 제1 측벽(14)과 제2 측벽(16) 사이에서 연장된다. 제1 측벽(14)은, 전방 개구부(12)를 따라서 연장되는 전방 연부(24B)를 포함한다. 제1 측벽(14)의 전방 연부(24B)는 또한 쉘(6)의 상단 벽(20)과 하단 벽(22) 사이에서 연장된다. 도 2a에 도시된 바와 같이, 실시형태의 전방 연부(24A, 24B)는 각각 전방 개구부(12)에 바로 인접한다.
기판 컨테이너(1)는 쉘(6)의 상단 벽(20)에서 장비 후크업(equipment hookup)(26)을 포함할 수 있다. 실시형태에서, 장비 후크업(26)은, 예를 들어 그러나 비제한적으로 자동화 아암과 같은, 기판 컨테이너(1)를 이동시키기 위한 표준 자동화 부착부(미도시)가 기판 컨테이너(1)에 연결될 수 있게 한다. 예를 들어, 자동화 아암을 이용하여 기판 컨테이너(1)를 상이한 프로세싱 장비 사이에서 이동시킬 수 있다. 실시형태에서, 기판 컨테이너(1)는, 사용자(예를 들어, 기술자 등)가 기판 컨테이너(1)를 수동으로 이동시킬 수 있게 하는 하나 이상의 핸들(미도시)을 포함할 수 있다.
기판 컨테이너(1)는 기판(미도시)을 내측부 공간(8) 내에서 유지하기 위한 복수의 선반(28)을 포함할 수 있다. 제2 측벽(16) 상의 선반(28)의 부분이 도 2a에서 가려져 있고, 이는 제1 측벽(14) 상의 선반(28)의 부분과 유사한 구성(예를 들어, 도 7a의 기판 컨테이너 내의 슬롯)을 가질 수 있다. 선반(28)은 기판(미도시)을 내측부 공간(8) 내에서 각각 유지하기 위한 크기를 갖는다. 예를 들어, 실시형태의 선반(28)은 특정 크기의 기판(예를 들어, 150 mm 웨이퍼, 200 mm 웨이퍼 등)을 유지하기 위한 크기를 갖는다.
기판 컨테이너(1)가 개방될 때, 퍼지 가스가 내측부 공간(8) 내에 공급되어, 외부 환경(예를 들어, 가스, 입자, 습도 등)이 전방 개구부(12)를 통해서 기판 컨테이너(1) 내로 진입하는 것을 감소시킬 수 있다. 예를 들어, 공급되는 퍼지 가스는 내측부 공간(8)으로부터 전방 개구부(12)를 통해서 유동하도록 구성되고, 이는 전방 개구부(12)를 통한 내측부 공간(8) 내로의 임의의 내향 유동을 최소화하는데 도움을 준다. 퍼지 가스는 일반적으로 불활성 가스일 수 있다. 퍼지 가스는, 예를 들어 그러나 비제한적으로, 질소, 청정 건조 공기(CDA), 및 초청정 건조 공기(xCDA) 중 하나 이상을 포함할 수 있다.
대조적으로, 퍼지 가스는, 도어(4)가 전방 개구부(12) 내에 수용되고 기판 컨테이너(1)가 폐쇄될 때, 기판 컨테이너(1)의 내측부 공간(8)으로 계속 공급될 수 있다. 퍼지 가스는, 여러 실시형태에 따라 본원에서 설명된 바와 같은 하나 이상의 매니폴드를 통해서 기판 컨테이너(1)의 외측부로 배출될 수 있고, 이러한 매니폴드는, 구성 및 희망하는 적용예에 따라, 유입구 및 배출구 모두로서의 또는 단지 배출구로서의 역할을 할 수 있다. 내측부 공간(8) 내의 퍼지 가스의 양압은, 내측부 공간으로부터 하나 이상의 배출구를 통한 그리고 기판 컨테이너의 외부로의 퍼지 가스의 유동을 촉진하는 확산 구배를 생성한다. 일부 실시형태에서, 매니폴드(들)는, 공기의 방향성 유동에 따라, 내측부 공간(8) 내로의 공기의 도입을 허용하고/하거나 내측부 공간의 외부로의 공기의 배출을 허용하는 체크 밸브를 포함할 수 있다.
기판 컨테이너(1)는 퍼지 가스를 내측부 공간(8) 내로 공급하기 위한 복수의 유입구 포트(34A, 34B, 36A, 36B)를 포함한다. 예를 들어, 기판 컨테이너(1)는 제1 유입구 포트(34A)를 통해서 퍼지 가스의 제1 스트림(f1)을, 제2 유입구 포트(34B)를 통해서 퍼지 가스의 제2 스트림(f2)을 공급받도록 구성된다. 퍼지 가스의 다른 스트림(f3)이 후방 유입구 포트(36A)에 공급된다. 기판 컨테이너(1)는, 퍼지 가스의 제1 스트림(f1)을 내측부 공간(8) 내로 분배하는 전방 매니폴드(40)를 포함한다. 도 2a의 전방 매니폴드(40)는 또한 퍼지 가스의 제2 스트림(f2)을 분배한다.
도 2b는 장비 전방 단부 모듈(3)에 부착되었을 때의 기판 컨테이너(1)의 횡단면도이다. 기판 컨테이너(1)가 장비 전방 단부 모듈(3)에 부착될 때, 전방 개구부(12)는 장비 전방 단부 모듈의 내측부를 따라서 배치된다. 가스(예를 들어, xCDA 또는 질소)의 유동(f4)이 장비 전방 단부 모듈(3)의 내측부를 통해서 계속 지향되어, 장비 전방 단부 모듈(3) 내의 오염물질을 감소시킨다. 가스의 유동(f4)은 (예를 들어, 방향(D1)으로) 전방 개구부(12)를 지나서 유동한다. 전방 매니폴드(40)는 전방 개구부(12)를 통한 내측부 공간(8) 내로의 가스의 난류 유동에 대응하기 위해서 퍼지 가스를 전방 개구부(12)를 따라서 분배하도록 구성된다. 장비 전방 단부 모듈을 통해서 유동하는 가스의 진입은 기판 컨테이너의 미세환경에서 상대 습도 및/또는 산소 레벨의 증가를 일시적으로 유발할 수 있고, 이는 바람직하지 못하다. 전방 매니폴드(40)는 이하에서 더 구체적으로 설명된다.
도 3에 도시된 바와 같이, 하단 벽(22)은 유입구 포트(34A, 34B, 36A, 36B)를 포함한다. 쉘(6)은 외부 표면(30)을 갖는다. 예를 들어, 하단 벽(22)은 외부 표면(30)의 일부를 형성한다. 유입구 포트(34A, 34B, 36A, 36B)의 각각은 (도 2a에 도시된) 내측부 공간(8)으로부터 하단 벽(22)을 통해서 쉘(6)의 외부 표면(30)까지 연장된다. 기판 컨테이너(1)는 4개의 유입구 포트(34A, 34B, 36A, 36B)를 포함한다. 그러나, 실시형태에서 기판 컨테이너(1)는 다른 수의 유입구 포트(34A, 34B, 36A, 36B)를 포함할 수 있다. 실시형태에서, 기판 컨테이너(1)는 하나 이상의 유입구 포트(34A, 34B, 36A, 36B)를 포함할 수 있다. 실시형태에서, 기판 컨테이너(1)는 하나 이상의 전방 유입구 포트(34A, 34B) 및 하나 이상의 후방 유입구 포트(36A, 36B)를 포함할 수 있다. 실시형태에서, 기판 컨테이너(1)는 후방 유입구 포트(36A, 36B)의 각각을 위한 분배 구조물(미도시)을 포함할 수 있다. 실시형태에서, 전방 포트(34A, 34B) 중 하나는 내측부 공간(8) 내의 가스를 기판 컨테이너(1)의 외부로 방출하기 위한 배출구 포트일 수 있다.
도 2a에 도시된 바와 같이, 전방 매니폴드(40)는 제1 유입구(42A), 제2 유입구(42B), 프레임(44), 및 가스 분배 표면(46)을 포함한다. 매니폴드(40)의 제1 유입구(42A)는 제1 유입구 포트(34A)에 부착된다. 매니폴드(40)의 제2 유입구(42B)는 제2 유입구 포트(34B)에 부착된다. 도 2a의 전방 매니폴드(40)는 2개의 유입구 포트(34A, 34B)에 연결된다. 그러나, 실시형태에서 전방 매니폴드(40)는 하나 이상의 유입구 포트(34A)에 연결될 수 있다. 실시형태에서, 전방 매니폴드(40)는 하나의 유입구 포트(34A)에 연결될 수 있다. 그러한 실시형태에서, 전방 매니폴드(40)는 하나의 유입구 포트(34A)에 연결된 하나의 유입구(42A)를 가질 수 있다.
도 2a의 가스 분배 표면(46)이 프레임(44) 주위를 둘러싼다. 도 2에 도시된 바와 같이, 프레임(44)은 대체로 원통형인 형상을 갖는다. 프레임(44)은 가스 분배 표면(46)의 길이(L1)를 따라서 배치된 복수의 개구부들(45)을 갖는다. 예를 들어, 개구부(45)는 대체로 원통형 형상인 프레임의 측방향 표면 내에 배치된다. 퍼지 가스가 프레임(44) 내에서 유동하고, 개구부(들)(45)를 통해서 프레임을 빠져 나가고, 개구부(들)(45)를 덮는 분배 표면(46)의 부분(들)을 통해서 유동하고, 내측부 공간(8) 내로 분배된다.
실시형태에서, 가스 분배 표면(46)은 다공성 재료로 제조된다. 실시형태에서, 가스 분배 표면(46)은 다공성 재료로 제조된다. 다공성 재료는, 미세 개방 공극에 의해서 형성된 채널을 포함하는 재료이다. 다공성 재료는, 예를 들어 그러나 비제한적으로, 부직 중합체, 소결된 중합체 재료, 및 중합체 멤브레인을 포함할 수 있다. 예를 들어, 소결된 중합체 재료는 적어도 중합체 입자들을 함께 소결하는 것에 의해서 형성된다. 중합체는, 예를 들어 그러나 비제한적으로, 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE), 불포화 폴리에틸렌(UPE), 및 폴리에틸렌과 같은 반도체 웨이퍼의 취급에서 사용하기에 적합한 것이다.
매니폴드(40) 내로 유동하는 퍼지 가스는 가스 분배 표면(46)에 의해서 분배된다. 가스 분배 표면(46)은 매니폴드(40) 내로 유동하는 퍼지 가스(예를 들어, 퍼지 가스의 제1 스트림(f1), 퍼지 가스의 제2 스트림(f2))를 내측부 공간(8) 내로 분배하도록 구성된다. 실시형태에서, 가스 분배 표면(46)은 퍼지 가스의 일부를 전방 개구부(12)를 향하는 방향(D2)으로 내측부 공간(8) 내로 분배하도록 구성된다. 실시형태에서, 매니폴드(40)는 가스 분배 표면(46)으로부터 유동하는 퍼지 가스를 방향(D2)으로 지향시키기 위한 편향부(미도시)를 포함할 수 있다. 그러한 실시형태에서, 편향부는, 프레임(44) 상으로의 스냅 결합에 의해서 부착되는 스냅 결합 편향부(snap on deflector)일 수 있다.
도 2a에 도시된 바와 같이, 가스 분배 표면(46)은, 쉘(6)의 제1 측벽(14)과 제2 측벽(16) 사이에서 방향(Ds)으로 연장되는 제1 가스 분배 부분(48A)을 갖는다. 제1 가스 분배 부분(48A)은 또한 쉘(6)의 하단 벽(22)의 전방 연부(24A)를 따라서 연장된다. 제1 가스 분배 부분(48A)은, 제1 측벽(14)과 제2 측벽(16) 사이의 거리(d1)의 대부분을 따라서 연장되는 길이(L1)를 갖는다.
도 2b에 도시된 바와 같이, 가스 분배 표면(46)의 제1 가스 분배 부분(48A)은 퍼지 가스의 일부를 쉘(6)의 하단 벽(22)에 대해서 각도(α)를 이루는 방향(D2)으로 내측부 공간(8) 내로 분배한다. 도 2b의 각도(α)는 하단 벽(22)에 대해서 30도이다. 실시형태에서, 제1 가스 분배 부분(48A)은 하단 벽(22)에 대해서 0 내지 180도의 각도(α)(0 ≤ α ≤ 180)로 1 내지 50의 분당 리터(LPM)를 분배한다. 실시형태에서, 제1 가스 분배 부분은 하단 벽(22)에 대해서 90도인 또는 90도 미만 및 0도 초과의 각도(α)(0 < α ≤ 90)로 퍼지 가스의 일부를 분배한다. 실시형태에서, 제1 표면 분배 표면 부분(48A)은 3 내지 300 LPM의 퍼지 가스를 분배하도록 구성된다. 실시형태에서, 제1 분배 표면은 방향(D2)으로 3 내지 300 LPM의 퍼지 가스를 분배하도록 구성된다.
도 4는 본 개시 내용의 다른 실시형태에 따른 전방 매니폴드(140)의 전방 사시도이다. 매니폴드(140)는, 이하에서 설명되는 것을 제외하고, 도 2의 전방 매니폴드(40)와 유사한 방식으로 기판 컨테이너의 내측부 공간 내에 부착된다. 매니폴드(140)는, 도 2의 매니폴드(40)에 대해서 설명된 것과 유사하게, 퍼지 가스를 그 기판 컨테이너의 전방 개구부를 따라서 내측부 공간 내로 분산시키도록 구성된다.
매니폴드(140)는 유입구(142), 프레임(144), 및 분배 표면(146)을 포함한다. 유입구(142)는 기판 컨테이너의 쉘의 하단 벽 내의 전방 유입구 포트(예를 들어, 전방 유입구 포트(34A), 전방 유입구 포트(34B))에 부착된다. 유입구(142)는 전방 유입구 포트를 통과하는 퍼지 가스의 스트림(예를 들어, 퍼지 가스의 제1 스트림(f1), 퍼지 가스의 제2 스트림(f2))을 수용하도록 구성된다. 도 4의 매니폴드(140)는 하나의 유입구(142)를 포함한다. 그러나, 실시형태에서 매니폴드(140)는 복수의 유입구(142)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 실시형태의 매니폴드(140)는 도 2의 매니폴드(40)와 유사하게 2개의 유입구를 포함할 수 있다.
분배 표면(146)은 제1 가스 분배 부분(148A), 제2 가스 분배 부분(148B), 제3 가스 분배 부분(148C), 및 제4 가스 분배 부분(148D)을 포함할 수 있다. 표면 분배 부분(148A 내지 148D)의 각각은, 전방 개구부에 인접한 기판 컨테이너의 내측부 공간의 다른 벽(예를 들어, 제1 측벽(14), 제2 측벽(16), 상단 벽(20), 하단 벽(22))에 인접하여 위치되고, 일부 경우에, 그에 부착된다. 제1 가스 분배 부분(148A)은 도 2a의 제1 가스 분배 부분(48A)과 유사한 위치를 갖는다. 제2 가스 분배 부분(148B)은 기판 컨테이너의 쉘의 제2 측벽(예를 들어, 쉘(6)의 제1 측벽(14))을 따라서 연장되도록 구성된다.
제2 가스 분배 부분(148B)은 쉘의 상단 벽과 하단 벽 사이에서(예를 들어, 쉘(6)의 상단 벽(20)과 하단 벽(22) 사이에서) 연장된다. 제2 가스 분배 부분(148B)은 또한 쉘의 제1 측벽의 전방 연부(예를 들어, 쉘(6)의 제1 측벽(14)의 전방 연부(24B)를 따라서)를 따라서 연장된다. 제2 가스 분배 부분(148B)은, 쉘의 상단 벽과 하단 벽 사이의 거리의 대부분을 따라서(예를 들어, 쉘(6)의 상단 벽(20)과 하단 벽(22) 사이의 거리의 대부분을 따라서) 연장되는 길이(L2)를 갖는다.
제3 가스 분배 부분(148C)은, 제2 가스 분배 부분(148B) 및 쉘의 제1 측벽에 대해서 전술한 것과 유사한 방식으로, 쉘의 제2 측벽(예를 들어, 쉘(6)의 제2 측벽(16))을 따라서 배치된다. 제4 가스 분배 부분(148D)은, 제2 가스 분배 부분(148B) 및 쉘의 제1 측벽에 대해서 전술한 것과 유사한 방식으로, 쉘의 상단 벽(예를 들어, 쉘(6)의 상단 벽(20))을 따라서 배치된다.
일부 실시형태에서, 도 4에 도시된 바와 같이, 가스 분배 표면(146)은, 도 2의 가스 분배 표면(46) 및 프레임(44)에 대해서 전술한 것과 유사한 방식으로, 프레임(144) 주위를 둘러싼다. 프레임(144)은 도 2의 개구부(45)와 유사하게 개구부(들)(145)를 포함한다. 개구부(145)는 가스 분배 표면(146)의 각각의 부분의 길이의 길이를 따라서 배치된다. 예를 들어, 프레임(144)은 표면 분배 부분(148A 내지 148D)의 각각을 따라서 개구부(들)(145)를 포함한다. 다른 실시형태에서, 가스 분배 부분(148A 내지 148D)은 이하에서 도 6a 및 도 6b에 도시되고 이를 참조하여 설명된 가스 분배 부분과 유사하게 구성될 수 있고, 프레임에 의해서 둘러싸인 멤브레인 또는 다공성 재료를 포함할 수 있다.
실시형태에서, 표면 분배 부분(148A 내지 148D)의 하나 이상은 퍼지 가스의 일부를 쉘의 전방 개구부를 향하는(예를 들어, 쉘(6)의 전방 개구부(12)를 향하는) 방향(D3)으로 내측부 공간 내로 분배하도록 구성된다. 실시형태에서, 표면 분배 부분(148A 내지 148D)의 각각은 퍼지 가스의 일부를 쉘의 전방 개구부를 향하는 방향(D3)으로 내측부 공간 내로 분배하도록 구성된다.
도 5a 및 도 5b는 개시 내용의 다른 실시형태에 따른 전방 매니폴드(240)를 도시한다. 도 5a는 전방 매니폴드(240)의 전방 사시도이다. 도 5b는 전방 매니폴드(240)의 분해도이다. 매니폴드(240)는, 이하에서 설명되는 것을 제외하고, 도 2a의 전방 매니폴드(40)와 유사한 방식으로 기판 컨테이너의 내측부 공간 내에 부착된다. 매니폴드(240)는, 도 2a의 매니폴드(40)에 대해서 설명된 것과 유사하게, 퍼지 가스를 그 기판 컨테이너의 전방 개구부를 따라서 내측부 공간 내로 분산시키도록 구성된다.
매니폴드(240)는 2개의 유입구(242A, 242B), 프레임(244), 및 멤브레인(247)을 포함한다. 멤브레인(247)은 가스 분배 표면(246)을 포함한다. 유입구(242A, 242B)는 기판 컨테이너의 쉘의 하단 벽 내의 제1 전방 유입구 포트 및 제2 전방 유입구 포트(예를 들어, 제1 전방 유입구 포트(34A), 제2 전방 유입구 포트(34B))에 부착된다. 유입구(242A, 242B)는 그 각각의 전방 유입구 포트를 통과하는 퍼지 가스의 각각의 스트림(예를 들어, 퍼지 가스의 제1 스트림(f1), 퍼지 가스의 제2 스트림(f2))을 수용하도록 각각 구성된다. 도 5a 및 도 5b의 매니폴드(240)는 2개의 유입구(242A, 242B)를 포함한다. 그러나, 실시형태에서 매니폴드(240)는 다른 수의 유입구(242A, 242B)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 실시형태의 매니폴드(240)는 도 4의 매니폴드(140)와 유사하게 하나의 유입구(242A, 242B)를 포함할 수 있다.
가스 분배 표면(246)은 제1 가스 분배 부분(248A), 제2 가스 분배 부분(248B), 제3 가스 분배 부분(248C), 및 제4 가스 분배 부분(248D)을 포함할 수 있다. 표면 분배 부분(248A 내지 248D)의 각각은, 전방 개구부에 인접한 기판 컨테이너의 내측부 공간의 다른 벽(예를 들어, 제1 측벽(14), 제2 측벽(16), 상단 벽(20), 하단 벽(22))을 따라서 연장된다. 예를 들어, 제1 가스 분배 부분(248A)은 도 2의 제1 가스 분배 부분(48A)과 유사한 위치를 갖는다. 예를 들어, 제2 가스 분배 부분(248B), 제3 가스 분배 부분(248C), 및 제4 가스 분배 부분(248D)의 각각은, 도 4의 매니폴드(140)의 제2 가스 분배 부분(148B), 제3 가스 분배 부분(148C), 및 제4 가스 분배 부분(148D)에 대해서 전술한 것과 유사한 위치를 갖는다.
도 5b는 프레임(244)으로부터 분리되었을 때의 멤브레인(247)을 도시한다. 일부 실시형태에서, 멤브레인(247)은 프레임(244)에 부착될 수 있다. 멤브레인(247)은, 예를 들어 그러나 비제한적으로, 열 본딩에 의해서 프레임(244)에 부착될 수 있다. 실시형태에서, 멤브레인(247)은 다이 컷 멤브레인 또는 멤브레인 필름일 수 있다. 멤브레인은 다공성 재료의 예이다. 실시형태에서, 다공성 재료는 부직 중합체, 소결 중합체 재료, 및 중합체 멤브레인(예를 들어, 멤브레인(247)) 중 하나일 수 있다. 멤브레인(247)은 하나 이상의 중합체를 포함한다. 멤브레인(247)의 중합체(들)는, 예를 들어 그러나 비제한적으로, 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE), 불포화 폴리에틸렌(UPE), 및 폴리에틸렌과 같은 반도체 웨이퍼의 취급에서 사용하기에 적합한 것이다. 실시형태에서, 소결 재료 또는 부직 중합체가 멤브레인(247) 대신 사용될 수 있다.
프레임(244)은 채널(249)을 포함한다. 멤브레인(247)은 채널(249)을 따라서 배치된다. 유입구(들)(242A, 242B)로부터의 퍼지 가스가 채널(249)을 통해서 유동하고, 이어서 멤브레인(247)을 통과하여 매니폴드(240)를 빠져 나간다. 멤브레인(247)은 퍼지 가스를 내측부 공간 내로 분배한다. 더 구체적으로, 멤브레인(247)의 분배 표면(246)은 퍼지 가스를 내측부 공간 내로 분배한다.
전방 매니폴드(240)는, 가스 분배 표면(246)이 퍼지 가스의 적어도 일부를 기판 컨테이너의 쉘의 전방 개구부(예를 들어, 전방 개구부(12))를 향하는 방향(D4)으로 분배하도록 구성된다. 실시형태에서, 프레임(244)은, 퍼지 가스가 분배되는 방향(D4)이 가스 분배 표면(246)에 대해서 각도를 형성하도록 구성된다.
도 5a 및 도 5b의 매니폴드(240)는 기판 컨테이너의 전방 개구부의 전체 둘레를 따라서 연장되도록 구성된다. 그러나, 실시형태의 매니폴드(240)는 기판 컨테이너의 하나 이상의 벽을 따라서 연장되도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 실시형태의 매니폴드(240)는 도 2의 매니폴드(40)와 유사하게 기판 컨테이너의 하단 벽(예를 들어, 쉘(6)의 하단 벽(22))만을 따라서 연장될 수 있다.
도 6a는 기판 컨테이너(300)의 실시형태의 전방 사시도이다. 기판 컨테이너(300)의 전방 도어는 도 6a에서 제거되었다(예를 들어, 기판 컨테이너(300)가 개방되었다). 기판 컨테이너(300)는 도 1의 전방 도어(4)와 유사한 전방 도어로 폐쇄된다. 기판 컨테이너(300)는 쉘(306) 및 전방 매니폴드(340)를 포함한다. 기판 컨테이너(300)는, 전방 매니폴드(340)에 대한 것을 제외하고, 도 1 내지 도 3의 기판 컨테이너(1)와 유사한 구조 및 구성을 가질 수 있다. 예를 들어, 기판 컨테이너(300)는, 도 1 내지 도 3의 기판 컨테이너(1)와 유사하게, 내측부 공간(308), 전방 개구부(312), 제1 측벽(314), 및 제2 측벽(316), 전방 연부(324A)를 갖는 하단 벽(322), 및 쉘(306)의 하단 벽(322) 내의 포트(334A, 334B, 336A, 336B)를 포함한다. 실시형태에서, 기판 컨테이너(300) 및 그 쉘(306)은 도 1 내지 도 3의 기판 컨테이너(1)에 대해서 전술한 것과 유사한 특징부(예를 들어, 부가적인 유입구, 단일 후방 유입구, 슬롯 등)를 가질 수 있다.
도 6a에 도시된 바와 같이, 퍼지 가스의 제1 스트림(f1)이 쉘(306)의 하단 벽(322) 내의 제1 유입구 포트(334A)를 통해서 기판 컨테이너(300)에 공급될 수 있다. 전방 매니폴드(340)는 퍼지 가스를 내측부 공간(308) 내로 분배하도록 구성된다. 제1 유입구 포트(334A)는 유입구 포트(342)에 부착될 수 있다. 매니폴드(340)는 가스 분배 표면(346)을 포함한다. 매니폴드(340) 내로 유동하는 퍼지 가스는 가스 분배 표면(346)에 의해서 분배된다. 퍼지 가스의 일부는 가스 분배 표면(346)으로부터 위쪽 방향(D5)으로 지향된다.
가스 분배 표면(346)은, 쉘(306)의 하단 벽(322)의 전방 연부(324A)를 따라서 그리고 쉘(306)의 제1 측벽(314)과 제2 측벽(316) 사이에서 연장되는 제1 가스 분배 부분(348A)을 포함한다. 예를 들어, 제1 가스 분배 부분(348A)은, 전술한 바와 같은 도 2a의 제1 가스 분배 부분(48A)과 유사한 구성(예를 들어, 길이, 전방 개구부(312)에 대한 위치, 내측부 공간 내의 또는 내측부 공간을 따른 상대적인 위치 등)을 가질 수 있다.
도 6b는 매니폴드(340)의 분해도이다. 매니폴드(340)는 유입구(342A), 프레임(344), 멤브레인(347), 채널(349), 및 커버(350)를 포함한다. 유입구(342A)는 쉘(306)의 하단 벽(322) 내의 제1 전방 포트(334A)에 부착된다. 멤브레인(347)은 커버(350)와 프레임(344) 사이의 제 위치에서 유지된다. 여러 실시형태에서, 멤브레인(347)은 커버(350)와 상이한 방식으로 프레임(344)에 부착될 수 있다. 예를 들어, 실시형태의 멤브레인(347)은 초음파 용접에 의해서, (예를 들어, 커버(350)와 함께) 구불구불한 경로 내에 기계적으로 포획되는 것에 의해서, 또는 레이저 용접에 의해서 프레임(344)에 부착될 수 있다.
멤브레인(347)은 예를 들어 다공성 재료일 수 있다. 실시형태에서, 다공성 재료는 부직 중합체, 소결 중합체 재료, 또는 중합체 멤브레인 중 하나일 수 있다. 멤브레인(347)은 하나 이상의 중합체를 포함한다. 멤브레인(347)의 중합체(들)는, 예를 들어 그러나 비제한적으로, 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE), 불포화 폴리에틸렌(UPE), 및 폴리에틸렌과 같은 반도체 웨이퍼의 취급에서 사용하기에 적합한 것이다. 실시형태에서, 소결 재료 또는 부직 중합체가 멤브레인(347) 대신 사용될 수 있다.
채널(349)은 제1 유입구(342A)에 유체적으로 연결되고, 멤브레인(347) 아래에 배치된다. 제1 유입구(342A)를 통해서 진입하는 퍼지 가스는 채널(349) 내로 유동하고 이어서 매니폴드(340)를 빠져 나와, 멤브레인(347)을 통과하고, 이어서 매니폴드(340)로부터 멤브레인(347)의 가스 분배 표면(346)을 통해서 유동한다.
프레임(344)은 기판 컨테이너(300) 내에서 쉘(306)의 하단 벽(322)에 부착된다. 예를 들어, 프레임(344)은 도 6a에 도시된 바와 같이 쉘(306)의 하단 벽(322) 내에 적어도 부분적으로 배치될 수 있다. 실시형태에서, 프레임(344)은 쉘(306)과 일체로 형성될 수 있다. 그러한 실시형태에서, 프레임(344)은 쉘(306)(예를 들어, 프레임(344)을 포함하도록 몰딩된 쉘(306))의 하단 벽(322)의 일체형 부분으로 형성될 수 있다.
기판 컨테이너(300)는 쉘(306)의 하단 벽(322) 내에 배치된 제2 전방 포트(334B)를 포함한다. 매니폴드(340)의 제2 유입구(342B)는 제2 전방 포트(334B)에 부착된다. 도 6a에 도시된 바와 같이, 제2 전방 포트(334B)는 유입구(342A)와 제2 측벽(316) 사이에서 쉘(306)의 하단 벽(322) 내에 배치된다. 실시형태에서, 제2 전방 포트(334B)는 내측부 공간(308)으로부터 가스를 방출하기 위한 배출구 포트로서 구성된다. 그러한 실시형태에서, 퍼지 가스는, (예를 들어, 전방 도어(4)가 폐쇄된 때) 퍼지 가스를 하나 이상의 후방 포트(336A, 336B)를 통해서 공급하는 것 그리고 퍼지 가스를 둘러싸인 내측부 공간(308)으로부터 매니폴드(340) 및 제2 전방 포트(334B)를 통해서 방출하는 것에 의해서, 둘러싸인 내측부 공간(308)을 통해서 순환된다. 일부 경우에, 예를 들어 도 7에 도시된 것과 같은 퍼지 가스 매니폴드 또는 퍼지 타워가 후방 포트(336A, 336B)에 피팅되어, 내측부 공간(308) 내로의 퍼지 가스의 공급을 촉진할 수 있다.
일부 경우에, 예를 들어 체크 밸브와 같은 밸브가 제2 전방 포트(334B)에 통합될 수 있고, 제2 전방 포트는 기판 컨테이너(308)의 내측부 공간 내로부터의 양압의 인가 시에 개방될 것이고, 그에 따라 제2 전방 포트(334B)를 통한 퍼지 가스의 배출을 촉진할 것이다. 다른 실시형태에서, 제1 및 제2 전방 포트(334A, 334B)의 각각은, 이들이 적용예에 따라 유입구 포트 및/또는 배출구 포트 모두로서 동작할 수 있도록, 구성될 수 있다. 일 예에서, 제1 및/또는 제2 전방 포트(334A, 334B)의 각각은, 밸브를 통한 공기 유동의 방향에 따라 제1 방향 또는 제2 방향으로 개방되는, 예를 들어 우산 스타일의 밸브와 같은, 밸브를 포함할 수 있다.
여러 실시형태에서, 도 1 내지 도 3의 기판 컨테이너(1) 내의 제2 전방 포트(34B)가 배출구 포트로서 유사하게 구성될 수 있다.
도 7a는 기판 컨테이너(400)의 실시형태의 전방 사시도이다. 기판 컨테이너(400)의 전방 도어는 도 7에서 제거되었다(예를 들어, 기판 컨테이너(400)가 개방되었다). 기판 컨테이너(400)는 도 1의 전방 도어(4)와 유사한 전방 도어로 폐쇄된다.
기판 컨테이너(400)는 쉘(406) 및 전방 매니폴드(440)를 포함한다. 기판 컨테이너(400)는, 전방 매니폴드(440)에 대한 것을 제외하고, 도 1 내지 도 3의 기판 컨테이너(1)와 유사한 구조 및 구성을 가질 수 있다. 예를 들어, 기판 컨테이너(400)는, 도 1 내지 도 3의 기판 컨테이너(1)와 유사하게, 내측부 공간(408), 전방 개구부(412), 및 하단 벽(422), 및 쉘(406)의 하단 벽(422) 내의 포트(434A, 434B, 436A, 436B)를 포함한다. 실시형태에서, 쉘(406)은 도 1 내지 도 3의 기판 컨테이너(1)에 대해서 전술한 것과 유사한 특징부(예를 들어, 부가적인 유입구, 단일 후방 유입구, 슬롯 등)를 가질 수 있다. 도 7a에 도시된 바와 같이, 후방 포트(436A, 436B)는 가스 분배 매니폴드(438A, 438B)를 각각 구비할 수 있고, 이는 내측부 공간(408)의 높이를 따라서 각각의 후방 포트(436A, 436B)에 공급되는 퍼지 가스의 분배를 증가시키는데 도움을 준다.
매니폴드(440)는 프레임(444), 및 멤브레인(447)을 포함한다. 멤브레인(447)은 가스 분배 표면(446)을 포함한다. 도 6a의 기판 컨테이너(300)에 대해서 전술한 것과 유사한 방식으로, 퍼지 가스의 스트림이 제1 전방 포트(434A)를 통해서 기판 컨테이너(400)에 공급되고, 매니폴드(440)의 가스 분배 표면(446)에 의해서 내측부 공간(408) 내로 분배된다. 퍼지 가스는 멤브레인(447)을 통해서 유동하고, 가스 분배 표면(446)으로부터 내측부 공간(408) 내로 분배된다. 가스 분배 표면(446)은, 도 6a의 제1 분배 표면 부분(348A)에 대해서 전술한 것과 유사한 방식으로, 전방 개구부(412)를 따라서 연장되는 제1 분배 표면 부분(448A)을 포함한다.
기판 컨테이너(400)는 쉘(406)의 하단 벽(422) 내에서 제2 전방 포트(434B)를 포함한다. 제2 전방 포트(434B)는, 도 6a의 기판 컨테이너(300) 내의 제2 전방 포트(334B)에 대해서 전술한 것과 유사하게, 가스(예를 들어, 퍼지 가스)를 내측부 공간(408)으로부터 방출하기 위한 것이다. 프레임(444)은, 제2 전방 포트(434B)의 립(435)을 감싸는 플랜지(452)를 포함한다. 매니폴드(440)는 제2 전방 포트(434B)를 덮지 않는다. 예를 들어, 내측부 공간(408) 내의 가스는, 멤브레인(447) 또는 가스 분배 표면(446)을 통과하지 않고, 제2 전방 포트(434B) 내로 그리고 이를 통해서 유동할 수 있다.
도 7b는 전방 매니폴드(440)의 전방 사시도를 도시한다. 매니폴드는 유입구(442), 프레임(444), 및 멤브레인(447)을 포함한다. 유입구(442)는 쉘(406)의 제1 전방 포트(434A)에 부착된다. 플랜지(452)는 개구부(454)를 포함한다. 기판 컨테이너(400) 내로 설치될 때, 제2 전방 포트(434B)의 립(435)은 플랜지(452)에 의해서 형성된 개구부 내로 피팅되고, 이는 프레임(444)을 제 위치에서 고정하고 전방 매니폴드(440)의 우발적인 탈착 또는 이동을 방지하는데 도움을 준다. 실시형태에서, 멤브레인(447)은 초음파 용접, (예를 들어, 커버(350)와 함께) 구불구불한 경로 내에 기계적으로 포획되는 것, 또는 레이저 용접 중 하나에 의해서 프레임(444)에 부착될 수 있다.
멤브레인(447)은 다공성 재료의 예이다. 실시형태에서, 다공성 재료는 부직 중합체, 소결 중합체 재료, 및 중합체 멤브레인(예를 들어, 멤브레인(447)) 중 하나일 수 있다. 멤브레인(447)은 하나 이상의 중합체를 포함한다. 멤브레인(447)의 중합체(들)는, 예를 들어 그러나 비제한적으로, 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE), 불포화 폴리에틸렌(UPE), 및 폴리에틸렌과 같은 반도체 웨이퍼의 취급에서 사용하기에 적합한 것이다. 실시형태에서, 소결 재료 또는 부직 중합체가 멤브레인(447) 대신 사용될 수 있다.
도 8a는 기판 컨테이너(500)의 실시형태의 전방 사시도이다. 도 8b는 실시형태에 따른, 기판 컨테이너(500)의 횡단면도이다. 기판 컨테이너(500)의 전방 도어는 도 8a 및 도 8b에서 제거되었다(예를 들어, 기판 컨테이너(500)가 개방되었다). 예를 들어, 기판 컨테이너(500)는 도 1의 전방 도어(4)와 유사한 전방 도어(미도시)로 폐쇄될 수 있다.
도 8a에 도시된 바와 같이, 기판 컨테이너(500)는 쉘(506), 제1 전방 매니폴드(540A), 및 제2 전방 매니폴드(540B)를 포함한다. 기판 컨테이너(500)는 일반적으로, 전방 매니폴드(540A, 540B)에 대한 것을 제외하고, 도 1 내지 도 3의 기판 컨테이너(1)와 유사한 구조 및 구성을 가질 수 있다. 예를 들어, 기판 컨테이너(500)는, 도 1 내지 도 3의 기판 컨테이너(1)와 유사하게, 내측부 공간(508), 전방 개구부(512), 제1 벽(514), 제2 벽(516), 전방 연부(524B)를 갖는 상단부(520), 전방 연부(524A)를 갖는 하단 벽(522), 및 쉘(506)의 하단 벽(522) 내의 포트(534A, 536)를 포함한다. 실시형태에서, 쉘(506)은 도 1 내지 도 3의 기판 컨테이너(1)에 대해서 전술한 것과 유사한 특징부(예를 들어, 부가적인 유입구, 단일 후방 유입구, 슬롯 등)를 가질 수 있다. 도 8a에 도시된 바와 같이, 후방 포트(536)는 후방 포트(536)에 공급되는 퍼지 가스를 분배하는 데 도움을 주기 위해서 가스 분배 매니폴드(538)를 구비할 수 있다.
도 8a에 도시된 바와 같이, 제1 매니폴드(540A)는 하단 벽(522)에 부착되고, 제2 매니폴드(540B)는 상단 벽(520)에 부착된다. 제1 및 제2 매니폴드(540A, 540B)의 각각은, 제1 및 제2 측벽(514, 516) 사이에서 방향(DS)으로 연장되는 가스 분배 표면(546A, 546B)을 포함한다. 제1 매니폴드(540A)의 가스 분배 표면(546A)은 또한 하단 벽(522)의 전방 연부(524A)를 따라서 연장되고, 제2 매니폴드(540B)의 가스 분배 표면(546B)은 또한 상단 벽(520)의 전방 연부(524B)를 따라서 연장된다.
제1 매니폴드(540A)의 가스 분배 표면(546A)은, 퍼지 가스를 분배하기 위한 적어도 하나의 슬릿을 갖춘 제1 가스 분배 부분(548A)을 갖는다. 슬릿(541)은 제1 가스 분배 부분(548A)의 길이(L3)를 따라서 연장될 수 있다. 슬릿(541)은, 주위 공기를 동반할 수 있고 지향시킬 수 있으며 주위 공기의 유동을 지향시킬 수 있는 고속(예를 들어, 0.3 m/s 초과의 공기 속력)으로 퍼지 가스의 제트를 방출하도록 구성된다. 일부 실시형태에서, 제1 가스 분배 부분(548A)은, 제1 가스 분배 표면의 길이를 따라서 분배된 복수의 슬릿(541)을 포함할 수 있다.
도 8b에 도시된 바와 같이, 기판 컨테이너(500)는 퍼지 가스를 내측부 공간(508) 내로 공급하기 위한 복수의 유입구 포트(534A, 536)를 포함한다. 예를 들어, 기판 컨테이너(500)는 제1 유입구 포트(534A)를 통해서 퍼지 가스의 제1 스트림(f1)을 공급받도록 구성된다. 퍼지 가스의 다른 스트림(f3)이 또한 후방 유입구 포트(536)에 공급된다(하나의 후방 유입구 포트가 도 8a에서 가려져 있다).
매니폴드(540A)는 제1 전방 유입구 포트(534A)를 통해서 공급된 퍼지 가스를 분배하도록 구성된다. 매니폴드(540A)의 유입구(542A)는 제1 유입구 포트(534A)를 통해서 퍼지 가스를 수용하고, 매니폴드(540A)의 분배 표면(546A)은 퍼지 가스를 내측부 공간(508) 내로 분배한다. 퍼지 가스의 제트는 고속(예를 들어, 0.3 m/s 초과의 공기 속력)으로 분배 표면(546A)의 슬릿(541)으로부터 내측부 공간(508) 내로 전방 방향(D6)으로 방출된다. 예를 들어, 퍼지 가스는 분배 표면(546A)의 제1 가스 분배 부분(548A)으로부터 분산될 수 있다. 실시형태에서, 퍼지 가스의 제트가 각도를 가지고 방출될 수 있다.
제2 매니폴드(540B)는, 쉘(506)의 상단 벽(520)에 부착되는 것을 제외하고, 제1 매니폴드(540A)와 유사한 구성을 가질 수 있다. 실시형태에서, 쉘(506) 내의 내부 통로(580)는 퍼지 가스의 제1 스트림(f1)의 퍼지 가스의 일부를 제2 매니폴드(540B)의 유입구(542B)에 공급할 수 있다. 대안적으로, 퍼지 가스의 스트림이 쉘(506)의 상단 벽(520) 내의 유입구 포트(534C)를 통해서 공급될 수 있다.
도 9a 및 도 9b는 개시 내용의 또 다른 실시형태에 따른 기판 컨테이너(600)의 상이한 도면들을 도시한다. 기판 컨테이너(600)의 전방 도어는 도 9a 및 도 9b에서 제거되었다(예를 들어, 기판 컨테이너(600)가 개방되었다). 예를 들어, 기판 컨테이너(600)는 도 1의 전방 도어(4)와 유사한 전방 도어(미도시)로 폐쇄될 수 있다.
도 9a에 도시된 바와 같이, 기판 컨테이너(600)는 쉘(606), 제1 매니폴드(640A), 및 제2 매니폴드(640B)를 포함한다. 기판 컨테이너(600)는 일반적으로, 전방 매니폴드(640A, 640B)에 대한 것을 제외하고, 도 1 내지 도 3의 기판 컨테이너(1)와 유사한 구조 및 구성을 가질 수 있다. 예를 들어, 기판 컨테이너(600)는, 도 1 내지 도 3의 기판 컨테이너(1)와 유사하게, 내측부 공간(608), 전방 개구부(612), 제1 벽(614), 제2 벽(616), 전방 연부(624B)를 갖는 상단 벽(620), 전방 연부(624A)를 갖는 하단 벽(622), 및 쉘(606)의 하단 벽(622) 내의 포트(634A, 634B, 636A, 636B)를 포함한다. 실시형태에서, 쉘(606)은 도 1 내지 도 3의 기판 컨테이너(1)에 대해서 전술한 것과 유사한 특징부(예를 들어, 부가적인 유입구, 단일 후방 유입구, 슬롯 등)를 가질 수 있다. 퍼지 가스를 내측부 공간(608) 내로 공급하기 위해서 사용될 수 있는 포트(634A, 634B, 636A, 636B)가, 일부 실시형태에서, 가스를 내측부 공간(608)으로부터 배출한다. 도 9a에 가장 잘 도시된 바와 같이, 후방 포트(636A)의 적어도 하나는 후방 포트(636A)에 공급되는 퍼지 가스를 분배하는 데 도움을 주기 위해서 가스 분배 매니폴드(638)를 구비할 수 있다.
도 9a에 도시된 바와 같이, 제1 매니폴드(640A)는 하단 벽(622)에 부착되고, 제2 매니폴드(640B)는 상단 벽(620)에 부착된다. 제1 및 제2 매니폴드(640A, 640B)의 각각은, 제1 및 제2 측벽(614, 616) 사이에서 방향으로 연장되는 가스 분배 표면(646A, 646B)을 포함한다. 제1 매니폴드(640A)의 가스 분배 표면(646A)은 또한 하단 벽(622)의 전방 연부(624A)를 따라서 연장되고, 제2 매니폴드(640B)의 가스 분배 표면(646B)은 또한 상단 벽(620)의 전방 연부(624B)를 따라서 연장된다.
제1 매니폴드(640A)의 가스 분배 표면(646A)은, 퍼지 가스를 분배하기 위한 복수의 슬릿(641)을 갖춘 가스 분배 부분(648A)을 갖는다. 슬릿(641)은 제1 가스 분배 부분(648A)의 길이를 따라서 제공된다. 각각의 슬릿(641)은, 주위 공기를 동반할 수 있고 지향시킬 수 있으며 주위 공기의 유동을 지향시킬 수 있는 고속으로 퍼지 가스의 제트를 방출하도록 구성된다. 매니폴드(640A)의 가스 분배 부분(648A)은 제1 유입구 포트(634A)를 통해서 퍼지 가스를 수용하고, 매니폴드(640A)의 분배 표면(646A)은 퍼지 가스를 내측부 공간(608) 내로 분배한다. 퍼지 가스의 제트는 고속으로 분배 표면(646A)의 슬릿(641)으로부터 내측부 공간(608) 내로 전방 방향(D6)으로 방출된다. 일 실시형태에서, 퍼지 가스는 분배 표면(646A)의 제1 가스 분배 부분(648A)으로부터 분산될 수 있다. 다른 실시형태에서, 퍼지 가스의 제트가 각도를 가지고 방출될 수 있다.
실시형태에서, 매니폴드(640A)는 또한, 컨테이너가 폐쇄되었을 때 퍼지 가스를 내측부(606)로부터 매니폴드(640A) 및 포트(634B)를 통해서 배출하는 것을 촉진하도록 구성된 가스 확산 부분(650A)을 포함할 수 있다. 가스 확산 부분(650A)은 다공성일 수 있는 가스 확산 표면(654A)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 일 실시형태에서, 가스 확산 표면(654A)은 본원에서 설명된 것과 같은 다공성 멤브레인을 포함할 수 있다. 다른 실시형태에서, 가스 확산 표면(654A)은 다공성 세라믹 또는 소결 다공성 재료를 포함할 수 있다. 기판 컨테이너(600)의 내측부(606) 내의 양압은 기판 컨테이너(600)의 내측부(606)와 외측부 사이에서 압력 구배를 생성하고, 이러한 압력 구배는 퍼지 가스가 확산 부분(650A)의 확산 표면(654A)을 통해서 매니폴드(640A)에 진입하게 하고 컨테이너를 빠져 나가게 한다.
제2 매니폴드(640B)는, 쉘(606)의 상단 벽(620)에 부착되는 것을 제외하고, 제1 매니폴드(640A)와 유사한 구성을 가질 수 있다. 실시형태에서, 쉘(606) 내의 내부 통로(680)는 퍼지 가스의 제1 스트림의 퍼지 가스의 일부를 제2 매니폴드(640B)의 유입구에 공급할 수 있다. 대안적으로, 퍼지 가스의 스트림이 쉘(606)(미도시)의 상단 벽(620) 내의 유입구 포트를 통해서 공급될 수 있다.
또한, 실시형태에서, 매니폴드(640B)는 또한, 컨테이너가 폐쇄되었을 때 퍼지 가스를 내측부(606)로부터 매니폴드(640B) 및 상단 벽(620) 내의 배출구 포트를 통해서 배출하는 것을 촉진하도록 구성된 가스 확산 부분(650B)을 포함할 수 있다. 가스 확산 부분(650B)은 다공성일 수 있는 가스 확산 표면(654B)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 일 실시형태에서, 가스 확산 표면(654B)은 본원에서 설명된 것과 같은 다공성 멤브레인을 포함할 수 있다. 다른 실시형태에서, 가스 확산 표면(654B)은 다공성 세라믹 또는 소결 다공성 재료를 포함할 수 있다. 기판 컨테이너(600)의 내측부(606) 내의 양압은 기판 컨테이너(600)의 내측부(606)와 외측부 사이에서 압력 구배를 생성하고, 이러한 압력 구배는 퍼지 가스가 확산 부분(650B)의 확산 표면(654B)을 통해서 매니폴드(640B)에 진입하게 하고 컨테이너를 빠져 나가게 한다.
도 10은 개방되었을 때의 전방 개구부 기판 컨테이너(예를 들어, 도 2a에 도시된 바와 같은 기판 컨테이너(1) 또는 임의의 기판 컨테이너(300, 400, 500))의 퍼지 방법(800)의 실시형태의 블록도이다. 예를 들어, 기판 컨테이너는, 전방 도어(예를 들어, 전방 도어(4))가 기판 컨테이너의 전방 개구부(예를 들어, 전방 개구부(12, 312, 412, 512))로부터 제거되었을 때 개방된다. 방법은 810에서 시작된다.
810에서, 퍼지 가스의 제1 스트림(예를 들어, 퍼지 가스의 제1 스트림(f1))이 기판 컨테이너 내의 매니폴드(예를 들어, 매니폴드(40, 140, 240, 340, 440, 540A, 540B))의 유입구에 공급된다. 퍼지 가스의 제1 스트림은 기판 컨테이너의 벽(예를 들어, 하단 벽(22), 상단 벽(520)) 중 하나 내의 제1 유입구 포트(예를 들어, 유입구 포트(34A, 34B))를 통해서 매니폴드의 유입구(예를 들어, 유입구(42A))로 공급된다. 매니폴드는 기판 컨테이너의 후방 벽(예를 들어, 후방 벽(18))보다 전방 개구부에 더 근접하여 배치된다. 이어서, 방법은 820으로 진행된다.
820에서, 매니폴드는 제1 스트림의 퍼지 가스를 기판 컨테이너의 내측부 공간(예를 들어, 내측부 공간(108)) 내에서 분배한다. 실시형태에서, 820은 기판 컨테이너의 전방 개구부를 향하는 방향(예를 들어, 방향(D2))으로 퍼지 가스의 일부를 분배하는 매니폴드를 포함할 수 있다. 이어서, 방법은 830으로 진행된다.
830에서, 퍼지 가스의 제2 스트림(예를 들어, 퍼지 가스의 제2 스트림(f2))이 기판 컨테이너의 벽(예를 들어, 하단 벽(22)) 내에 배치된 제2 유입구 포트를 통해서 기판 컨테이너의 내측부 공간에 공급된다. 제2 유입구 포트는 기판 컨테이너의 전방 개구부보다 기판 컨테이너의 후방 벽(예를 들어, 후방 벽(18))에 더 근접하여 배치된다. 실시형태에서, 제1 유입구 포트 및 제2 유입구 포트는 기판 컨테이너의 동일한 벽 내에 배치될 수 있다.
선택적으로, 도 10에 도시된 바와 같이, 방법은 830 이후에 840을 포함할 수 있다. 내측부 공간이 미리 결정된 습도 농도 미만을 갖도록, 퍼지 가스의 제1 및 제2 스트림의 유량이 조정될 수 있다. 기판 컨테이너의 내측부 공간에서 미리 결정된 양의 습도 미만이 바람직하다. 이러한 미리 결정된 양은, 예를 들어, 기판의 재료, 바람직하지 못할 수 있는 내측부 공간 기판 컨테이너 내의 습도를 기초로 할 수 있다.
실시형태에서, 방법(800)은, 도 1 내지 도 8b에 개시되고 전술한 바와 같은, 기판 컨테이너 및 매니폴드 중 하나 이상을 기초로 수정될 수 있다.
매니폴드의 적어도 하나가 퍼지 가스를 기판 컨테이너로부터 배출하기 위한 배출구로서 구성되는 실시형태에서, 방법은 하나 이상의 퍼지 가스의 스트림을 기판 컨테이너의 내측부 내로 도입하는 단계를 포함할 수 있다. 퍼지 가스는, 유입구 가스 분배 표면을 포함하는 하나 이상의 매니폴드에 의해서 기판 컨테이너 내로 도입될 수 있다. 대안적으로 또는 부가적으로, 퍼지 가스는 퍼지 가스 유입구 또는 퍼지 가스 타워에 의해서 기판 컨테이너 내로 도입될 수 있다. 이어서, 퍼지 가스는, 여러 실시형태에 따라 본원에서 설명된 바와 같이, 배출구 매니폴드로서 구성된 적어도 하나의 매니폴드를 통해서 기판 컨테이너의 내측부로부터 배출된다. 일부 실시형태에서, 매니폴드는 기판 컨테이너의 포트에 연결된 배출구 및 가스 확산 표면을 포함한다. 내측부를 밀봉하기 위해서 기판 컨테이너의 도어가 사용될 때, 기판 컨테이너의 내측부 내의 퍼지 가스가 양압을 달성할 수 있다. 양압이 미리 결정된 문턱값에 도달할 때, 퍼지 가스가 매니폴드의 가스 확산 표면을 통해서 확산되고, 기판 컨테이너 벽 내의 포트에 연결된 배출구 포트를 통해서 컨테이너로부터 배출된다.
양태
양태 1 내지 양태 15 중 임의의 양태가 양태 16 및 양태 17 중 임의의 양태와 조합될 수 있다.
양태 1. 기판 컨테이너이며: 내측부 공간을 형성하는 쉘로서, 쉘은 전방 개구부, 제1 측벽, 제2 측벽, 후방 벽, 및 하단 벽을 포함하고, 하단 벽은, 제1 측벽과 제2 측벽 사이에서 그리고 쉘의 전방 개구부를 따라서 연장되는 전방 연부를 포함하는, 쉘; 및 후방 벽보다 쉘의 전방 개구부에 더 근접하여 하단 벽에 부착된 매니폴드를 포함하고, 매니폴드는: 퍼지 가스의 제1 스트림을 수용하도록 구성된 유입구; 및 퍼지 가스의 제1 스트림을 내측부 공간 내로 분배하도록 구성된 가스 분배 표면을 포함하고, 가스 분배 표면은, 하단 벽의 전방 연부를 따라 제1 측벽과 제2 측벽 사이에서 소정 방향으로 연장되는 제1 가스 분배 부분을 포함하는, 기판 컨테이너.
양태 2. 양태 1에 있어서, 매니폴드의 유입구가 쉘의 하단 벽 내의 유입구 포트에 부착되는, 기판 컨테이너.
양태 3. 양태 1 또는 양태 2에 있어서, 제1 가스 분배 부분은, 제1 측벽과 제2 측벽 사이의 거리의 대부분을 따라서 연장되는 길이를 가지는, 기판 컨테이너.
양태 4. 양태 1 내지 양태 3 중 어느 한 양태에 있어서, 제1 가스 분배 부분은 퍼지 가스의 적어도 일부를 쉘의 전방 개구부를 향하는 방향으로 분배하도록 구성되는, 기판 컨테이너.
양태 5. 양태 1 내지 양태 4 중 어느 한 양태에 있어서, 가스 분배 표면이 다공성 재료를 포함하는, 기판 컨테이너.
양태 6. 양태 1 또는 양태 5에 있어서, 가스 분배 표면은 제1 측벽과 제2 측벽 사이의 가스 분배 표면의 길이를 따라서 배열된 복수의 개구부를 포함하는, 기판 컨테이너.
양태 7. 양태 1 내지 양태 6 중 어느 한 양태에 있어서, 기판을 유지하도록 구성된 복수의 기판을 지지하기 위한 복수의 선반을 더 포함하고, 매니폴드는 선반보다 전방 개구부에 더 근접하는, 기판 컨테이너.
양태 8. 양태 1 내지 양태 7 중 어느 한 양태에 있어서, 하단 벽은, 내측부 공간에 대면되는 내측부 표면을 가지고, 매니폴드는 퍼지 가스를 하단 벽의 내측부 표면에 대해서 각도를 가지고 가스 분배 표면으로부터 분배하도록 구성되는, 기판 컨테이너.
양태 9. 양태 1 또는 양태 8에 있어서, 가스 분배 표면은, 제1 측벽의 전방 연부 또는 제2 측벽의 전방 연부 중 하나를 따라서 연장되는 제2 가스 분배 부분을 포함하는, 기판 컨테이너.
양태 10. 양태 1 내지 양태 9 중 어느 한 양태에 있어서, 가스 분배 표면이 적어도 부분적으로 내측부 공간 내에 배치되는, 기판 컨테이너.
양태 11. 양태 1 내지 양태 10 중 어느 한 양태에 있어서, 매니폴드는 가스 분배 표면을 지지하는 프레임을 포함하는, 기판 컨테이너.
양태 12. 양태 1 내지 양태 11 중 어느 한 양태에 있어서, 가스를 내측부 공간으로부터 방출하기 위한 배출구 포트를 더 포함하고, 배출구 포트는 제1 유입구와 제2 측벽 사이에서 하단 벽 내에 배치되고, 제1 가스 분배 부분은 유입구와 배출구 포트 사이에서 연장되는, 기판 컨테이너.
양태 13. 양태 12에 있어서, 매니폴드는 배출구 포트에 부착된 제2 유입구를 포함하는, 기판 컨테이너.
양태 14. 양태 1 내지 양태 13 중 어느 한 양태에 있어서, 쉘은 전방 개구부에 대향되는 후방 벽을 포함하고, 하단 벽은 퍼지 가스의 제2 스트림을 내측부 공간 내로 도입하기 위한 후방 유입구 포트를 포함하고, 후방 유입구 포트는 전방 개구부보다 후방 벽에 근접하여 배치되는, 기판 컨테이너.
양태 15. 양태 1 내지 양태 14 중 어느 한 양태에 있어서, 쉘에 의해서 형성된 전방 개구부 내에 수용되어 내측부 공간을 둘러싸도록 구성된 도어를 더 포함하는, 기판 컨테이너.
양태 16. 전방 개구부가 개방될 때 기판 컨테이너를 퍼지하는 방법이며: 기판 컨테이너의 벽 내에 배치된 전방 유입구 포트를 통해서, 퍼지 가스의 제1 스트림을 기판 컨테이너 내에 배치된 매니폴드의 유입구에 공급하는 단계로서, 매니폴드는 기판 컨테이너의 후방 벽보다 전방 개구부에 더 근접하여 배치되는, 단계; 매니폴드를 통해서 제1 스트림의 퍼지 가스를 기판 컨테이너의 내측부 공간 내에서 분배하는 단계; 및 기판 컨테이너의 벽 내의 제2 유입구 포트를 통해서, 퍼지 가스의 제2 스트림을 기판 컨테이너의 내측부 공간에 공급하는 단계로서, 제2 유입구 포트는 기판 컨테이너의 전방 개구부보다 기판 컨테이너의 후방 벽에 더 근접하여 배치되는, 단계를 포함하는, 방법.
양태 17. 양태 16에 있어서, 퍼지 가스를 기판 컨테이너의 내측부 공간 내에서 분배하는 단계가: 퍼지 가스의 일부를 기판 컨테이너의 전방 개구부를 향하는 방향으로 지향시키는 매니폴드를 포함하는, 방법.
설명된 본 개시 내용의 몇몇 예시적인 실시형태에서, 관련 기술 분야의 통상의 기술자는, 첨부된 청구범위의 범위 내에서 또 다른 실시형태가 만들어질 수 있고 사용될 수 있다는 것을 용이하게 이해할 것이다. 이러한 문헌에 포함되는 개시 내용의 수 많은 장점이 전술한 설명에서 기술되었다. 그러나, 이러한 개시 내용은, 많은 측면에서, 단지 예시적인 것임을 이해할 수 있을 것이다. 개시 내용의 범위를 벗어나지 않고도, 특히 부품의 형상, 크기 및 배열과 관련된 상세 부분의 변화가 이루어질 수 있을 것이다. 물론, 개시 내용의 범위는 첨부된 청구범위가 표현된 언어로 규정된다.

Claims (20)

  1. 기판 컨테이너이며:
    내측부 공간을 형성하는 쉘로서, 전방 개구부, 제1 측벽, 제2 측벽, 후방 벽, 및 하단 벽, 및 쉘의 전방 개구부를 따라서 대향 벽들 사이에서 연장되는 전방 연부를 포함하는, 쉘; 및
    후방 벽보다 쉘의 전방 개구부에 더 근접하여 하단 벽, 상단 벽, 제1 측벽 및/또는 제2 측벽에 부착된 매니폴드를 포함하고, 매니폴드는:
    퍼지 가스의 스트림을 수용하도록 구성된 유입구; 및
    퍼지 가스의 스트림을 내측부 공간 내로 분배하도록 구성된 가스 분배 표면을 포함하는 가스 분배 부분으로서, 쉘의 전방 연부를 따라서 대향 벽들 사이에서 소정 방향으로 연장되는 가스 분배 표면을 포함하는, 가스 분배 부분을 포함하는, 기판 컨테이너.
  2. 제1항에 있어서,
    매니폴드의 유입구가 쉘의 하단 벽 내의 유입구 포트에 부착되는, 기판 컨테이너.
  3. 제1항에 있어서,
    가스 분배 부분은, 제1 측벽과 제2 측벽 사이의 거리의 대부분을 따라서 연장되는 길이를 가지는, 기판 컨테이너.
  4. 제1항에 있어서,
    가스 분배 표면은 퍼지 가스의 적어도 일부를 쉘의 전방 개구부를 향하는 방향으로 분배하도록 구성되는, 기판 컨테이너.
  5. 제1항에 있어서,
    가스 분배 표면이 다공성 재료를 포함하는, 기판 컨테이너.
  6. 제1항에 있어서,
    가스 분배 표면은 제1 측벽과 제2 측벽 사이의 가스 분배 표면의 길이를 따라서 배열된 복수의 개구부를 포함하는, 기판 컨테이너.
  7. 제1항에 있어서,
    매니폴드는 기판 컨테이너의 내측부 공간으로부터의 퍼지 가스의 배출을 촉진하도록 구성된 배출구를 포함하는, 기판 컨테이너.
  8. 제1항에 있어서,
    하단 벽, 상단 벽, 제1 측벽 또는 제2 측벽의 각각은 내측부 공간에 대면되는 내측부 표면을 가지고, 매니폴드는, 매니폴드가 부착되는 각각의 하단 벽, 상단 벽, 제1 측벽 또는 제2 측벽의 내측부 표면에 대해서 각도를 이루어 퍼지 가스를 가스 분배 표면으로부터 분배하도록 구성되는, 기판 컨테이너.
  9. 제1항에 있어서,
    매니폴드는, 적어도, 제1 측벽의 전방 연부를 따라서 연장되는 가스 분배 표면을 가지는 제1 가스 분배 부분 및 쉘의 제2 측벽의 전방 연부 중 하나를 따라서 연장되는 가스 분배 표면을 가지는 제2 가스 분배 부분을 포함하고, 제1 측벽은 쉘의 제2 측벽에 대향되는, 기판 컨테이너.
  10. 제1항에 있어서,
    매니폴드는 가스 분배 표면을 포함하는 가스 분배 부분을 지지하는 프레임을 포함하는, 기판 컨테이너.
  11. 제1항에 있어서,
    내측부 공간으로부터 가스를 방출하기 위한 배출구 포트를 더 포함하고, 가스 분배 부분은 유입구 및 배출구 포트 사이에서 연장되는, 기판 컨테이너.
  12. 제11항에 있어서,
    매니폴드는 배출구 포트에 부착된 부가적인 유입구를 포함하는, 기판 컨테이너.
  13. 제12항에 있어서,
    가스 분배 표면을 포함하는 가스 분배 부분은, 퍼지 가스가 컨테이너의 내측부 공간 내의 양압 하에서 가스 분배 표면을 통해서 확산될 수 있게 그리고 배출구 포트를 통해서 컨테이너로부터 배출될 수 있게 허용하도록 구성되는, 기판 컨테이너.
  14. 제1항에 있어서,
    매니폴드는 가스를 내측부 공간으로부터 방출하기 위한 배출구 포트에 연결된 가스 확산 부분을 더 포함하는, 기판 컨테이너.
  15. 제1항에 있어서,
    컨테이너의 상단 벽에 부착된 부가적인 매니폴드를 더 포함하는, 기판 컨테이너.
  16. 제1항에 있어서,
    쉘은 전방 개구부에 대향되는 후방 벽을 포함하고,
    하단 벽은 부가적인 퍼지 가스의 스트림을 내측부 공간 내로 도입하기 위한 후방 유입구 포트를 포함하고, 후방 유입구 포트는 전방 개구부보다 후방 벽에 근접하여 배치되는, 기판 컨테이너.
  17. 제1항에 있어서,
    내측부 공간을 둘러싸기 위해서 쉘에 의해서 형성된 전방 개구부 내에 수용되도록 구성된 도어를 더 포함하는, 기판 컨테이너.
  18. 기판 컨테이너이며:
    내측부 공간을 형성하는 쉘로서, 쉘은 전방 개구부, 제1 측벽, 제2 측벽, 후방 벽, 상단 벽, 하단 벽을 포함하고, 쉘의 전방 개구부를 따라서 대향 벽들 사이에서 연장되는 전방 연부, 및 쉘의 하단 벽 및/또는 상단 벽 내의 포트를 포함하고, 쉘; 및
    전방 개구부에 근접하여 쉘에 부착된 매니폴드를 포함하고, 매니폴드는:
    퍼지 가스의 스트림이 내측부 공간으로부터 매니폴드 내로 확산될 수 있게 허용하도록 구성된 가스 확산 표면을 포함하는 가스 확산 부분으로서, 쉘의 제1 측벽과 제2 측벽 사이에서 소정 방향으로 연장되는 가스 확산 표면을 포함하는, 가스 확산 부분; 및
    쉘 내의 적어도 하나의 포트에 커플링된 배출구로서, 퍼지 가스를 매니폴드로부터 쉘 내의 적어도 하나의 포트를 통해서 기판 컨테이너의 외측부로 배출하도록 구성된, 배출구를 포함하는, 기판 컨테이너.
  19. 제18항에 있어서,
    매니폴드가 쉘의 하단 벽 또는 상단 벽 내의 포트에 부착되는, 기판 컨테이너.
  20. 전방 개구부가 개방될 때 기판 컨테이너를 퍼지하는 방법이며:
    기판 컨테이너의 벽 내에 배치된 전방 유입구 포트를 통해서, 퍼지 가스의 제1 스트림을 기판 컨테이너 내에 배치된 매니폴드의 유입구에 공급하는 단계로서, 매니폴드는 기판 컨테이너의 후방 벽보다 전방 개구부에 더 근접하여 배치되는, 단계;
    매니폴드를 통해서 제1 스트림의 퍼지 가스를 기판 컨테이너의 내측부 공간 내에서 분배하는 단계; 및
    기판 컨테이너의 벽 내의 제2 유입구 포트를 통해서, 퍼지 가스의 제2 스트림을 기판 컨테이너의 내측부 공간에 공급하는 단계로서, 제2 유입구 포트는 기판 컨테이너의 전방 개구부보다 기판 컨테이너의 후방 벽에 더 근접하여 배치되는, 단계를 포함하는, 방법.
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