JP5547576B2 - N2ガスパージ用ブリージングフィルターユニットおよび該フィルターユニットを搭載した半導体ウエハ収納容器をn2ガスパージするパージ装置 - Google Patents
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Description
半導体ウエハ収納容器の内部と外部の圧力差をなくすため、前記半導体ウエハ収納容器の底板に設置されるブリージングフィルターユニットであって、前記ブリージングフィルターユニットは、筒状筐体の上方に開口された上端開口部にフィルターを備える一方、前記筒状筐体の底部に、N2ガス供給側通気開口と残留ガス排気側通気開口の2個の通気開口をそれぞれ開口すると共に、前記N2ガス供給側通気開口に前記ブリージングフィルターユニットの内部にN2ガスが供給されるときだけ開くシャッター手段と、前記残留ガス排気側通気開口に前記ブリージングフィルターユニット内の残留ガスが該通気開口より排出されるときだけ開くシャッター手段とを、それぞれ設置したことを特徴とするN2ガスパージ用ブリージングフィルターユニット。
が提供され、更に、請求項2記載の発明においては、
請求項1記載のN2ガスパージ用ブリージングフィルターユニットを、底板に少なくとも2セット備えた半導体ウエハ収納容器において、前記一方のブリージングフィルターユニットにN2ガスを流入させて、該半導体ウエハ収納容器内部の水分、またはケミカルガスに汚染された残留ガスを外部へ押し出して排気し、前記半導体ウエハ収納容器内部をN2ガスに置換するパージ装置であって、前記パージ装置上の前記半導体ウエハ収納容器を搭載する面には、該半導体ウエハ収納容器の底板の前記2セットのブリージングフィルターユニットそれぞれに備えられた2個の前記通気開口に対応する位置に、2個のノズルを備えたノズルユニットが2セットがそれぞれ設置され、前記半導体ウエハ収納容器が搭載されると、前記2セットの前記ブリージングフィルターユニットのそれぞれ2個の通気開口は、前記パージ装置上の2セットのノズルユニットのそれぞれに備えられた2個のノズルと連結されると共に、前記2個のノズルのうち一方のノズルは、N2ガス通路を開閉するバルブを介して、N2ガス供給源に配管され、且つ他方のノズルは、残留ガス通路を開閉するバルブを介して排気ダクトへ配管されることを特徴とするN2 ガスパージ用ブリージングフィルターユニットを搭載した半導体ウエハ収納容器をN2 ガスパージするパージ装置。
が提供される。
2 半導体ウエハ収納容器(FOUP)
3 底板
4 ドア
5 ウエハ
6 フィルター
7 N2ガス供給側通気開口
8 残留ガス排気側通気開口
9 N2ガス供給側シャッター板受け
10 N2ガス供給側シャッター手段
11 残留ガス排気側シャッター手段
12 N2ガス供給側シャッター板
13 残留ガス排気側シャッター板
14 N2ガス供給側シャッターバネ
15 残留ガス排気側シャッターバネ
16 N2ガス供給側シャッターバネ止め
17 残留ガス排気側シャッターバネ板受け
18 N2 ガスパージ用ブリージングフィルターユニットを搭載した半導体ウエハ収納容器をN2 ガスパージするパージ装置(パージ装置)
19 電磁バルブ制御盤
19a ケーブル
20 キネマピン
21 半導体ウエハ収納容器(FOUP)搭載部
22 N2ガス供給側ノズルユニット
23 残留ガス排気側ノズルユニット
24 N2ガス供給側ノズルユニット供給ノズル
25 N2ガス供給側ノズルユニット排気ノズル
26 残留ガス排気側ノズルユニット供給ノズル
27 残留ガス排気側ノズルユニット排気ノズル
28 N2ガス供給口
29 残留ガス排気口
30 N2ガス
31 残留ガス
32 N2ガス供給側ノズルユニット供給バルブ
33 N2ガス供給側ノズルユニット排気バルブ
34 残留ガス排気側ノズルユニット供給バルブ
35 残留ガス排気側ノズルユニット排気バルブ
36 N2ガス供給用配管
37 残留ガス排気用配管
38 N2ガス供給源
39 残留ガス排気ダクト
40 FOUP内部
41 筒状筐体
42 底部
43 通気口を備えたシャッターケース
43a 通気口
44 通気口なしのシャッターケース
45 残留ガス排気側シャッターバネ止め
46 上端開口部
Claims (2)
- 半導体ウエハ収納容器の内部と外部の圧力差をなくすため、前記半導体ウエハ収納容器の底板に設置されるブリージングフィルターユニットであって、前記ブリージングフィルターユニットは、筒状筐体の上方に開口された上端開口部にフィルターを備える一方、前記筒状筐体の底部に、N2ガス供給側通気開口と残留ガス排気側通気開口の2個の通気開口をそれぞれ開口すると共に、前記N2ガス供給側通気開口に前記ブリージングフィルターユニットの内部にN2ガスが供給されるときだけ開くシャッター手段と、前記残留ガス排気側通気開口に前記ブリージングフィルターユニット内の残留ガスが該通気開口より排出されるときだけ開くシャッター手段とを、それぞれ設置したことを特徴とするN2ガスパージ用ブリージングフィルターユニット。
- 請求項1記載のN2ガスパージ用ブリージングフィルターユニットを、底板に少なくとも2セット備えた半導体ウエハ収納容器において、前記一方のブリージングフィルターユニットにN2ガスを流入させて、該半導体ウエハ収納容器内部の水分、またはケミカルガスに汚染された残留ガスを外部へ押し出して排気し、前記半導体ウエハ収納容器内部をN2ガスに置換するパージ装置であって、前記パージ装置上の前記半導体ウエハ収納容器を搭載する面には、該半導体ウエハ収納容器の底板の前記2セットのブリージングフィルターユニットそれぞれに備えられた2個の前記通気開口に対応する位置に、2個のノズルを備えたノズルユニットが2セットがそれぞれ設置され、前記半導体ウエハ収納容器が搭載されると、前記2セットの前記ブリージングフィルターユニットのそれぞれ2個の通気開口は、前記パージ装置上の2セットのノズルユニットのそれぞれに備えられた2個のノズルと連結されると共に、前記2個のノズルのうち一方のノズルは、N2ガス通路を開閉するバルブを介して、N2ガス供給源に配管され、且つ他方のノズルは、残留ガス通路を開閉するバルブを介して排気ダクトへ配管されることを特徴とするN2 ガスパージ用ブリージングフィルターユニットを搭載した半導体ウエハ収納容器をN2 ガスパージするパージ装置。
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