KR20180127192A - 가공 장치 - Google Patents

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메구미 고지마
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Abstract

(과제) 가공 장치의 동작 확인시에, 이동축이 이동시키는 유닛이 충돌하지 않고 동작 확인을 할 수 있도록 한다.
(해결수단) 유지 수단 (30) 과, 가공 수단 (61) 과, 피가공물 반입 수단 (4) 과, 피가공물 반출 수단 (5) 을 구비하고, 유지 수단 (30) 을 X 축 방향으로 이동시키는 X 이동축 (34) 과, 가공 수단 (61) 을 Z 축 방향으로 이동시키는 Z 이동축 (17) 과, Y 축 방향으로 가공 수단 (61) 을 이동시키는 Y 이동축 (15) 을 구비하고, 반입 수단 (4) 은, 반입 패드 (40) 를 수평 이동시키는 이동축 (41) 과, 패드 (40) 를 승강시키는 이동축 (42) 을 구비하고, 반출 수단 (5) 은, 반출 패드 (50) 를 수평 이동시키는 이동축 (51) 과, 패드 (50) 를 승강시키는 이동축 (52) 을 구비하고, 각 이동축에 각각 최적의 통상 이동 속도를 미리 설정하는 통상 이동 속도 설정부 (90) 와, 통상 이동 속도를 소정 비율로 느린 이동 속도로 하기 위하여 비율을 설정하는 설정부 (92) 와, 설정 비율로 복수의 이동축의 통상 이동 속도를 일괄적으로 느리게 하는 버튼 (91) 을 구비한 가공 장치 (1) 이다.

Description

가공 장치{MACHINING APPARATUS}
본 발명은, 반도체 웨이퍼 등의 피가공물을 가공하는 가공 장치에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼 등의 피가공물은, 여러 가지 가공 장치에 의해 가공이 실시되어 개개의 칩으로 분할된다. 가공 장치의 일례인 절삭 장치 (예를 들어, 특허문헌 1 참조) 는, 절삭 장치를 구성하는 각 유닛을 각각 이동시키는 복수의 이동축을 구비하고 있다.
이동축으로는, 피가공물을 유지하는 척 테이블 등의 유지 수단을 가공 이송 방향 (절삭 이송 방향) 인 X 축 방향으로 이동시키는 X 이동축, 유지 수단이 유지한 피가공물에 절삭 블레이드를 절입시키는 절입 이송 방향 (Z 축 방향) 으로 절삭 블레이드를 상하동시키는 Z 이동축, 절삭 블레이드를 인덱스 이송 방향 (Y 축 방향) 으로 인덱스 이송하는 Y 이동축, 유지 수단에 피가공물을 반입하는 반입 수단을 수평 방향 (예를 들어, Y 축 방향) 으로 이동시키는 반입 수평 이동축, 그 반입 수단을 Z 축 방향으로 승강 이동시키는 반입 승강 이동축, 유지 수단이 유지하는 절삭 후의 피가공물을 유지 수단으로부터 반출하는 반출 수단을 수평 방향 (예를 들어, Y 축 방향) 으로 이동시키는 반출 수평 이동축, 그 반출 수단을 Z 축 방향으로 승강 이동시키는 반출 승강 이동축, 피가공물을 선반상으로 수납한 카세트로부터 가공 전의 피가공물을 반출하고, 또 카세트에 가공 후의 피가공물을 반입하는 반입출 이동축, 카세트를 재치 (載置) 하는 카세트 스테이지를 Z 축 방향으로 상하동시키는 카세트 스테이지 이동축 등이 적어도 구비되어 있다.
일본 특허 제5580066호 공보
상기 각 이동축에는, 각 유닛을 통상 이동시킬 때의 최적의 속도 (통상 이동 속도) 가 미리 설정되어 있으며, 이 설정되어 있는 통상 이동 속도로 피가공물의 반입, 반출, 가공 이송 등이나 절삭 수단의 절입 이송 등이 실시되고 있다.
예를 들어, 절삭 장치를 개조 (메커니즘적 구성 요소의 변경이나 프로그램되어 있는 소프트웨어의 변경 등) 한 후에 있어서는, 절삭 장치를 사용하여 피가공물에 절삭 가공을 실시하기 전에, 각 이동축에 의해 유닛을 통상 이동 속도로 이동시켜 개조 후의 절삭 장치의 동작 확인을 실시하고 있다. 그러나, 동작 확인을 실시하여 절삭 장치의 개조의 잘못이 발견되었다고 해도, 각 이동축의 이송 동작을 비상 정지 버튼을 눌러 정지시켰을 때에는 이미 늦어, 이동축에 의한 유닛의 이동량이 지나치게 큰 것에 의해 유닛이 다른 장치 구성에 충돌하거나 하여 절삭 장치가 파손되는 경우가 있다.
따라서, 이동축을 복수 구비하는 가공 장치에 있어서는, 개조 후의 가공 장치의 동작 확인을 실시하는 경우 등에, 각 이동축이 이동시키고 있는 유닛이 다른 장치 구성에 충돌하거나 하지 않고 안전하게 동작 확인할 수 있도록 한다는 과제가 있다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명은, 피가공물을 유지하는 유지 수단과, 그 유지 수단이 유지한 피가공물을 가공하는 가공 수단과, 그 유지 수단에 피가공물을 반입하는 반입 수단과, 그 유지 수단으로부터 피가공물을 반출하는 반출 수단을 적어도 구비한 가공 장치로서, 그 가공 장치에는, 그 유지 수단을 그 가공 수단에 가공 이송하는 방향인 X 축 방향으로 이동시키는 X 이동축과, 그 가공 수단을 그 유지 수단에 접근 또는 이간하는 방향인 Z 축 방향으로 이동시키는 Z 이동축과, X 축 방향과 Z 축 방향에 직교하는 Y 축 방향으로 그 가공 수단을 이동시키는 Y 이동축을 구비하고, 그 반입 수단은, 피가공물을 유지한 반입 패드를 수평 방향으로 이동시키는 반입 수평 이동축과, 그 반입 패드를 승강시키는 반입 승강 이동축을 구비하고, 그 반출 수단은, 그 유지 수단이 유지하고 있는 피가공물을 유지하는 반출 패드를 수평 방향으로 이동시키는 반출 수평 이동축과, 그 반출 패드를 승강시키는 반출 승강 이동축을 구비하고, 적어도 그 X 이동축, 그 Z 이동축, 그 Y 이동축, 그 반입 수평 이동축, 그 반입 승강 이동축, 그 반출 수평 이동축, 그 반출 승강 이동축을 포함하는 복수의 각 이동축에 각각 최적의 통상 이동 속도를 미리 설정하는 통상 이동 속도 설정부와, 그 통상 이동 속도를 소정의 비율로 느린 이동 속도로 하기 위하여 그 비율을 설정하는 설정부와, 그 설정부에 설정한 그 비율로 그 복수의 이동축의 그 통상 이동 속도를 일괄적으로 느리게 하는 버튼을 구비한 가공 장치이다.
본 발명에 관련된 가공 장치는, 적어도 X 이동축, Z 이동축, Y 이동축, 반입 수평 이동축, 반입 승강 이동축, 반출 수평 이동축, 반출 승강 이동축을 포함하는 복수의 각 이동축의 통상 이동 속도를 소정의 비율로 느린 이동 속도로 하기 위하여 비율을 설정하는 설정부와, 설정부에 설정한 비율로 복수의 이동축의 통상 이동 속도를 일괄적으로 느리게 하는 버튼을 구비하고 있기 때문에, 개조 후의 가공 장치의 동작 확인을 하는 경우 등에 있어서, 가공 장치가 구비하는 복수의 이동축의 속도를 통상 이동 속도로부터 통상 이동 속도보다 소정의 비율로 느리게 한 속도로 일괄적으로 변경할 수 있으므로, 이동축이 이동시키는 유닛이 다른 장치 구성에 충돌하거나 하지 않고 동작 확인을 실시하여, 가공 장치의 개조의 잘못을 알아차릴 수 있게 된다.
도 1 은 가공 장치의 외관의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 2 는 가공 장치의 케이싱 내부의 구조를 나타내는 사시도이다.
본 발명에 관련된 도 1 에 나타내는 가공 장치 (1) 는, 예를 들어 절삭 가공 장치이다. 가공 장치 (1) 의 기대 (基臺) (10) 상에는, 기대 (10) 상의 후방측 (－X 방향측) 을 덮는 케이싱 (11) 이 배치 형성되어 있고, 케이싱 (11) 의 내부는 피가공물 (W) 에 가공을 실시하기 위한 가공실로 되어 있다.
도 1 에 나타내는 피가공물 (W) 은, 예를 들어, 외형이 원 형상인 실리콘 반도체 웨이퍼이며, 그 표면 (Wa) 에는, 절삭 예정 라인 (S) 에 의해 구획된 격자상의 영역에 IC 나 LSI 등의 디바이스 (D) 가 형성되어 있다. 예를 들어, 피가공물 (W) 의 이면 (Wb) 은 다이싱 테이프 (T) 의 첩착 (貼着) 면에 첩착되고, 다이싱 테이프 (T) 의 외주부는 환상 프레임 (F) 에 첩착되어 있다. 이로써, 피가공물 (W) 은 환상 프레임 (F) 을 사용한 핸들링이 가능한 상태로 되어 있다.
가공 장치 (1) 의 기대 (10) 상의 －Y 방향측의 한 모서리에는, 카세트 스테이지 (12) 가 설치되어 있고, 카세트 스테이지 (12) 는, 그 하방에 배치 형성된 승강 기구 (120) 에 의해 Z 축 방향으로 상하동 가능하게 되어 있다. 환상 프레임 (F) 으로 지지된 피가공물 (W) 을 수용한 도시되지 않은 카세트가 카세트 스테이지 (12) 상에 재치된 상태로, 승강 기구 (120) 에 의해 카세트 스테이지 (12) 가 승강되어 카세트로부터의 피가공물 (W) 의 출납 높이 위치가 조정된다.
카세트 스테이지 (12) 와 인접하는 위치에는, 케이싱 (11) 의 내부와 외부 사이를 X 축 방향으로 이동 가능한 유지 수단 (30) 이 배치되어 있다. 또한, 도 1 에서는, 유지 수단 (30) 은, 케이싱 (11) 의 외부에 위치 부여되어 있고, 가공 전의 피가공물 (W) 이 반입 가능한 상태로 되어 있다.
유지 수단 (30) 은, 예를 들어, 그 외형이 원반상이며, 피가공물 (W) 을 흡착하는 흡착부 (300) 와, 흡착부 (300) 를 지지하는 프레임체 (301) 를 구비한다. 흡착부 (300) 는 도시되지 않은 흡인원에 연통되고, 흡착부 (300) 의 노출면인 유지면 (300a) 상에서 피가공물 (W) 을 흡인 유지한다. 유지 수단 (30) 의 주위에는, 환상 프레임 (F) 을 고정시키는 고정 클램프 (32) 가 예를 들어 4 개 균등하게 배치 형성되어 있다. 유지 수단 (30) 은, 커버 (31) 에 의해 주위로부터 둘러싸이고, 유지 수단 (30) 의 바닥면측에 배치 형성된 도시되지 않은 회전 수단에 의해 Z 축 방향의 축심 둘레로 회전 가능하다.
커버 (31) 및 커버 (31) 에 연결된 벨로우즈 커버 (31a) 의 하방에는, 유지 수단 (30) 을 도 2 에 나타내는 제 1 가공 수단 (61) 및 제 2 가공 수단 (62) 에 가공 이송하는 방향인 X 축 방향으로 이동시키는 X 이동축 (34) 이 배치 형성되어 있다. 도 1 에 나타내는 X 이동축 (34) 은, 모터 (341) 가 X 축 방향의 축심을 갖는 볼 나사 (340) 를 회동 (回動) 시킴으로써, 유지 수단 (30) 을 X 축 방향으로 왕복 이동시키는 구성으로 되어 있다.
도 1 에 나타내는 케이싱 (11) 의 전면 (前面) (＋X 방향측면) 하방에는, 카세트 스테이지 (12) 에 재치된 도시되지 않은 카세트로부터 가공 전의 피가공물 (W) 을 인출하거나 또는 카세트에 가공 후의 피가공물 (W) 을 밀어 넣는 푸시 풀 수단 (35) 이 형성되어 있다. 푸시 풀 수단 (35) 은, 카세트로부터 피가공물 (W) 을 출납하는 푸시 풀 아암 (350) 과, 푸시 풀 아암 (350) 을 Y 축 방향으로 왕복 이동시키는 푸시 풀 아암 이동축 (351) 을 구비하고 있다.
푸시 풀 아암 이동축 (351) 은, Y 축 방향의 축심을 갖는 볼 나사 (351a) 와, 볼 나사 (351a) 와 평행하게 배치 형성된 가이드 레일 (351b) 과, 볼 나사 (351a) 를 회동시키는 모터 (351c) 를 구비하고 있다. 푸시 풀 아암 (350) 의 측면에 배치 형성된 너트가 볼 나사 (351a) 에 나사 결합되어 있고, 모터 (351c) 가 볼 나사 (351a) 를 회동시키면, 푸시 풀 아암 (350) 이, 카세트 스테이지 (12) 와 유지 수단 (30) 사이를 가이드 레일 (351b) 을 따라 Y 축 방향으로 이동한다.
유지 수단 (30) 의 상방에는, 피가공물 (W) 을 일정한 위치에 위치 맞춤하는 1 쌍의 가이드 레일 (36a, 36b) 이 배치 형성되어 있다. 단면이 L 자상으로 형성된 1 쌍의 가이드 레일 (36a, 36b) 은, Y 축 방향으로 연장되어 X 축 방향으로 서로 이간 또는 접근 가능하고, 단차상의 가이드면 (내측면) 이 대향하도록 배치되어 있다. 유지 수단 (30) 에 피가공물 (W) 이 반입될 때에는, 푸시 풀 수단 (35) 에 의해 카세트로부터 피가공물 (W) 이 인출되어 1 쌍의 가이드 레일 (36a, 36b) 에 재치된다. 또, 피가공물 (W) 의 가공 및 세정 등이 완료되면, 1 쌍의 가이드 레일 (36a, 36b) 에 재치된 피가공물 (W) 이 푸시 풀 수단 (35) 에 의해 카세트에 밀어 넣어진다.
1 쌍의 가이드 레일 (36a, 36b) 은, 피가공물 (W) 의 재치시에는 서로 접근하여 환상 프레임 (F) 의 외주 가장자리부를 지지하여 유지 수단 (30) 에 대한 위치 결정 (센터링) 을 하고, 피가공물 (W) 의 비재치시에는 유지 수단 (30) 의 유지면 (300a) 상을 비우도록 서로 이간된다.
가공 장치 (1) 는, 유지 수단 (30) 에 피가공물 (W) 을 반입하는 반입 수단 (4) 을 구비하고 있고, 반입 수단 (4) 은, 피가공물 (W) 을 환상 프레임 (F) 을 개재하여 유지하는 반입 패드 (40) 와, 피가공물 (W) 을 유지한 반입 패드 (40) 를 수평 방향 (본 실시형태에 있어서는, Y 축 방향) 으로 이동시키는 반입 수평 이동축 (41) 과, 반입 패드 (40) 를 승강시키는 반입 승강 이동축 (42) 을 구비하고 있다.
반입 패드 (40) 는, 예를 들어 평면에서 보아 H 형상의 외형을 갖고 있으며, 그 －X 방향측의 상면에 반입 승강 이동축 (42) 의 하단측이 장착되어 있다. 반입 패드 (40) 는, 피가공물 (W) 을 지지하는 환상 프레임 (F) 을 흡착하는 4 개의 흡착 패드 (401) 를 그 하면에 갖고 있다. 각 흡착 패드 (401) 는, 흡착력을 만들어 내는 도시되지 않은 흡인원에 연통되어 있다.
반입 수평 이동축 (41) 은, 예를 들어, 케이싱 (11) 의 전면 (＋X 방향측면) 의 중단 (中段) 부분에 배치 형성되어 있고, Y 축 방향의 축심을 갖는 볼 나사 (410) 와, 볼 나사 (410) 와 평행하게 배치 형성된 1 쌍의 가이드 레일 (411) 과, 볼 나사 (410) 의 －Y 방향측의 일단에 연결된 모터 (412) 를 구비하고 있다. 그리고, 1 쌍의 가이드 레일 (411) 상에는, 볼 나사 (410) 에 나사 결합되는 너트를 구비하고 반입 승강 이동축 (42) 을 지지하는 가동 블록 (41a) 이 슬라이딩 가능하게 배치 형성되어 있다.
모터 (412) 가 볼 나사 (410) 를 회동시키면, 이것에 수반하여 가동 블록 (41a) 이 1 쌍의 가이드 레일 (411) 에 가이드되어 Y 축 방향으로 이동하고, 반입 승강 이동축 (42) 의 하단측에 장착된 반입 패드 (40) 가 Y 축 방향으로 이동한다.
반입 승강 이동축 (42) 은, 도시되지 않은 모터 및 볼 나사 등으로 구성되어 있으며, 반입 패드 (40) 를 Z 축 방향으로 승강시킨다.
도 2 에 나타내는 바와 같이, 기대 (10) 상의 케이싱 (11) 내 (도 2 에 있어서는, 도시 생략) 의 후방측에는, 문형 칼럼 (14) 이 유지 수단 (30) 의 이동 경로 상을 걸치도록 세워서 형성되어 있다. 문형 칼럼 (14) 의 전면에는, 예를 들어, X 축 방향과 Z 축 방향에 직교하는 Y 축 방향으로 제 1 가공 수단 (61) 을 왕복 이동시키는 제 1 의 Y 이동축 (15) 이 배치 형성되어 있다.
제 1 의 Y 이동축 (15) 은, 예를 들어, Y 축 방향의 축심을 갖는 볼 나사 (150) 와, 볼 나사 (150) 와 평행하게 배치 형성된 1 쌍의 가이드 레일 (151) 과, 볼 나사 (150) 의 ＋Y 방향측의 일단에 연결된 도시되지 않은 모터를 구비하고 있다. 그리고, 1 쌍의 가이드 레일 (151) 상에는, 가동판 (15a) 이 슬라이딩 가능하게 배치 형성되어 있다. 가동판 (15a) 은, 측면에 배치 형성된 끼워 맞춤부가 가이드 레일 (151) 에 느슨하게 끼워 맞춰지고, 또한 내부의 너트가 볼 나사 (150) 에 나사 결합되어 있다. 가동판 (15a) 상에는, 제 1 가공 수단 (61) 을 유지 수단 (30) 에 접근 또는 이간하는 방향인 Z 축 방향으로 왕복 이동시키는 제 1 의 Z 이동축 (17) 이 배치 형성되어 있다.
도시되지 않은 모터가 볼 나사 (150) 를 회동시키면, 가동판 (15a) 이 1 쌍의 가이드 레일 (151) 에 가이드되어 Y 축 방향으로 이동하고, 이것에 수반하여, 제 1 가공 수단 (61) 이 Y 축 방향으로 이동한다.
제 1 의 Z 이동축 (17) 은, 예를 들어, Z 축 방향의 축심을 갖는 도시되지 않은 볼 나사와, 볼 나사와 평행하게 배치 형성된 1 쌍의 가이드 레일 (171) 과, 볼 나사에 연결된 모터 (172) 를 구비하고 있다. 그리고, 1 쌍의 가이드 레일 (171) 상에는, 지지 부재 (17a) 가 슬라이딩 가능하게 배치 형성되어 있다. 지지 부재 (17a) 는, 측면에 배치 형성된 끼워 맞춤부가 가이드 레일 (171) 에 느슨하게 끼워 맞춰지고, 또한 내부의 너트가 도시되지 않은 볼 나사에 나사 결합되어 있다. 또, 지지 부재 (17a) 의 하단측에는, 제 1 가공 수단 (61) 이 고정되어 있다.
모터 (172) 가 도시되지 않은 볼 나사를 회동시키면, 지지 부재 (17a) 가 1 쌍의 가이드 레일 (171) 에 가이드되어 Z 축 방향으로 이동하고, 이것에 수반하여, 제 1 가공 수단 (61) 이 Z 축 방향으로 이동한다.
유지 수단 (30) 이 유지한 피가공물 (W) 을 절삭 가공하는 제 1 가공 수단 (61) 은, 축 방향이 Y 축 방향인 스핀들 (610) 과, 지지 부재 (17a) 의 하단측에 고정되어 스핀들 (610) 을 회전 가능하게 지지하는 하우징 (611) 과, 스핀들 (610) 을 회전시키는 도시되지 않은 모터와, 스핀들 (610) 에 고정되어 있는 절삭 블레이드 (613) 를 구비하고 있고, 모터가 스핀들 (610) 을 회전 구동시키는 것에 수반하여, 절삭 블레이드 (613) 가 회전한다.
하우징 (611) 의 측면에는, 유지 수단 (30) 에 유지되어 있는 피가공물 (W) 의 절삭 예정 라인 (S) 을 검출하는 얼라인먼트 수단 (63) 이 배치 형성되어 있다.
예를 들어, 문형 칼럼 (14) 의 전면에는, Y 축 방향으로 제 2 가공 수단 (62) 을 왕복 이동시키는 제 2 의 Y 이동축 (16) 이 배치 형성되어 있다. 제 2 의 Y 이동축 (16) 은, 예를 들어, Y 축 방향의 축심을 갖는 볼 나사 (160) 와, 볼 나사 (160) 와 평행하게 배치 형성된 1 쌍의 가이드 레일 (151) 과, 볼 나사 (160) 의 －Y 방향측의 일단에 연결된 모터 (162) 를 구비하고 있다. 그리고, 1 쌍의 가이드 레일 (151) 상에는, 가동판 (16a) 이 슬라이딩 가능하게 배치 형성되어 있다. 가동판 (16a) 은, 측면에 배치 형성된 끼워 맞춤부가 가이드 레일 (151) 에 느슨하게 끼워 맞춰지고, 또한 내부의 너트가 볼 나사 (160) 에 나사 결합되어 있다. 가동판 (16a) 상에는, 제 2 가공 수단 (62) 을 Z 축 방향으로 왕복 이동시키는 제 2 의 Z 이동축 (18) 이 배치 형성되어 있다.
모터 (162) 가 볼 나사 (160) 를 회동시키면, 가동판 (16a) 이 1 쌍의 가이드 레일 (151) 에 가이드되어 Y 축 방향으로 이동하고, 이것에 수반하여, 제 2 가공 수단 (62) 이 Y 축 방향으로 이동한다.
제 2 의 Z 이동축 (18) 은, 예를 들어, Z 축 방향의 축심을 갖는 도시되지 않은 볼 나사와, 볼 나사와 평행하게 배치 형성된 1 쌍의 가이드 레일 (181) 과, 볼 나사에 연결된 모터 (182) 를 구비하고 있다. 그리고, 1 쌍의 가이드 레일 (181) 상에는, 지지 부재 (18a) 가 슬라이딩 가능하게 배치 형성되어 있다. 지지 부재 (18a) 는, 측면에 배치 형성된 끼워 맞춤부가 가이드 레일 (181) 에 느슨하게 끼워 맞춰지고, 또한 내부의 너트가 도시되지 않은 볼 나사에 나사 결합되어 있다. 또, 지지 부재 (18a) 의 하단측에는, 제 2 가공 수단 (62) 이 고정되어 있다.
모터 (182) 가 도시되지 않은 볼 나사를 회동시키면, 지지 부재 (18a) 가 1 쌍의 가이드 레일 (181) 에 가이드되어 Z 축 방향으로 이동하고, 이것에 수반하여, 제 2 가공 수단 (62) 이 Z 축 방향으로 이동한다.
제 2 가공 수단 (62) 은, 제 1 가공 수단 (61) 과 Y 축 방향에 있어서 대향하도록 배치 형성되어 있다. 상기 제 1 가공 수단 (61) 과 제 2 가공 수단 (62) 은 동일하게 구성되어 있기 때문에, 제 2 가공 수단 (62) 의 설명에 대해서는 생략한다.
도 1 에 나타내는 바와 같이 가공 장치 (1) 는, 유지 수단 (30) 으로부터 절삭 가공 후의 피가공물 (W) 을 반출하는 반출 수단 (5) 을 구비하고 있고, 반출 수단 (5) 은, 예를 들어, 유지 수단 (30) 에 의해 유지되어 있는 피가공물 (W) 을 환상 프레임 (F) 을 개재하여 유지하는 반출 패드 (50) 와, 피가공물 (W) 을 유지한 반출 패드 (50) 를 수평 방향 (본 실시형태에 있어서는, Y 축 방향) 으로 이동시키는 반출 수평 이동축 (51) 과, 반출 패드 (50) 를 승강시키는 반출 승강 이동축 (52) 을 구비하고 있다.
반출 패드 (50) 는, 예를 들어 평면에서 보아 H 형상의 외형을 갖고 있으며, 그 하면측에 피가공물 (W) 을 지지하는 환상 프레임 (F) 을 흡착하는 4 개의 흡착 패드 (501) 를 구비하고 있다. 각 흡착 패드 (501) 는, 흡착력을 만들어 내는 도시되지 않은 흡인원에 연통되어 있다. 반출 패드 (50) 의 상면측에는 원형 판상의 투명 커버 (502) 가 고정되어 있고, 투명 커버 (502) 의 상면에는, 반출 승강 이동축 (52) 의 하단측에 연결된 연결 부재 (503) 가 고정되어 있다.
반출 수평 이동축 (51) 은, 예를 들어, 케이싱 (11) 의 전면의 상단 부분에 배치 형성되어 있고, Y 축 방향의 축심을 갖는 볼 나사 (510) 와, 볼 나사 (510) 와 평행하게 배치 형성된 1 쌍의 가이드 레일 (511) 과, 볼 나사 (510) 의 －Y 방향측의 일단에 연결된 모터 (512) 를 구비하고 있다. 1 쌍의 가이드 레일 (511) 상에는, 볼 나사 (510) 에 나사 결합되는 너트를 구비하고 반출 승강 이동축 (52) 을 지지하는 가동 블록 (51a) 이 슬라이딩 가능하게 배치 형성되어 있다.
모터 (512) 가 볼 나사 (510) 를 회동시키면, 이것에 수반하여 가동 블록 (51a) 이 1 쌍의 가이드 레일 (511) 에 가이드되어 Y 축 방향으로 이동하고, 반출 승강 이동축 (52) 의 하단측에 장착된 반출 패드 (50) 가 Y 축 방향으로 이동한다.
반출 승강 이동축 (52) 은, 도시되지 않은 모터 및 볼 나사 등으로 구성되어 있고, 반출 패드 (50) 를 Z 축 방향으로 승강시킨다. 예를 들어, 가동 블록 (51a) 은, 반입 수단 (4) 의 가동 블록 (41a) 과 비교하여, X 축 방향에 있어서의 치수가 길게 형성되어 있고, 또 가동 블록 (51a) 의 ＋X 방향측의 하면에 반출 승강 이동축 (52) 은 장착되어 있다. 그 때문에, 반출 승강 이동축 (52) 의 하단측에 접속되어 있는 반출 패드 (50) 의 동선 상으로부터 반입 수단 (4) 의 반입 승강 이동축 (42) 은 －X 방향측으로 벗어나 있다. 이로써, 유지 수단 (30) 으로부터 피가공물 (W) 을 반출할 때에, 반출 수단 (5) 은 반입 수단 (4) 에 충돌하지 않고 피가공물 (W) 을 Y 축 방향으로 반송할 수 있다.
반출 패드 (50) 의 이동 경로하에는, 가공이 끝난 피가공물 (W) 을 세정하는 세정 수단 (20) 이 배치 형성되어 있다. 기대 (10) 상의 ＋Y 방향측의 한 모서리에 형성된 원형의 개구 (21) 내에 설치된 세정 수단 (20) 은, 피가공물 (W) 을 흡인 유지하는 스피너 테이블 (200) 과, 스피너 테이블 (200) 에 유지된 피가공물 (W) 에 세정액을 공급하는 도시되지 않은 노즐을 구비하고 있다.
가공 장치 (1) 는, CPU 및 메모리 등의 기억 소자로 구성되고 장치 전체의 제어를 실시하는 제어 수단 (9) 을 구비하고 있다. 예를 들어, 제어 수단 (9) 은 각 배선에 의해, 도 1 에 나타내는 X 이동축 (34) 과, 푸시 풀 아암 이동축 (351) 과, 반입 수평 이동축 (41) 과, 반입 승강 이동축 (42) 과, 반출 수평 이동축 (51) 과, 반출 승강 이동축 (52) 과, 도 2 에 나타내는 제 1 의 Y 이동축 (15) 과, 제 1 의 Z 이동축 (17) 과, 제 2 의 Y 이동축 (16) 과, 제 2 의 Z 이동축 (18) 에 접속되어 있다.
예를 들어, 케이싱 (11) 의 －Y 방향측의 측면에는, 터치 패널식의 모니터 (19) 가 설치되어 있다. 모니터 (19) 에는, 입력 화면 및 표시 화면이 비추어지며, 표시 화면에 의해 가공 조건 등의 각종 정보가 표시되고, 입력 화면에 의해 가공 조건 등의 각종 정보가 설정된다. 즉, 모니터 (19) 는, 정보를 입력하기 위한 입력 수단으로서 기능함과 함께, 입력된 정보나 가공 조건 등을 표시하기 위한 표시 수단으로도 기능하고 있다.
가공 장치 (1) 는, 적어도 X 이동축 (34), 제 1 의 Z 이동축 (17) 및 제 2 의 Z 이동축 (18), 제 1 의 Y 이동축 (15) 및 제 2 의 Y 이동축 (16), 반입 수평 이동축 (41), 반입 승강 이동축 (42), 반출 수평 이동축 (51), 반출 승강 이동축 (52), 그리고 푸시 풀 아암 이동축 (351) 의 각 이동축에 각각 최적의 통상 이동 속도를 미리 설정하는 통상 이동 속도 설정부 (90) 를 구비하고 있다. 통상 이동 속도 설정부 (90) 는, 예를 들어, 제어 수단 (9) 에 장착되어 있다.
이하에, 도 1 에 나타내는 가공 장치 (1) 에 의해 피가공물 (W) 을 절삭하는 경우에 대하여 설명한다. 먼저, 각 이동축에 의한 각 유닛의 이동 속도가 통상 이동 속도가 되도록, 오퍼레이터에 의한 가공 장치 (1) 에 대한 가공 조건의 입력이 실시된다. 예를 들어, 도 1 에 나타내는 모니터 (19) 에는, 수치 셀 등으로 이루어지고 통상 이동 속도 설정부 (90) 에 액세스할 수 있는 입력 화면이 표시되며, 오퍼레이터가 그 입력 화면으로부터 각 이동축의 각각 최적의 통상 이동 속도를 입력함으로써, 각 이동축에 의한 각 유닛의 이동 속도가 각각의 최적의 통상 이동 속도가 되는 제어를 제어 수단 (9) 이 실행하도록 세팅된다. 또한, 제어 수단 (9) 에 의한 각 이동축에 의한 각 유닛의 이동 속도의 제어는, 예를 들어, 각 이동축이 각각 구비하는 모터의 회전수를 제어 수단 (9) 이 제어함으로써 이루어진다.
먼저, 승강 기구 (120) 에 의해, 피가공물 (W) 을 수용하고 카세트 스테이지 (12) 에 재치된 카세트의 높이 조정이 실시된다. 다음으로, 푸시 풀 수단 (35) 에 의해 카세트로부터 피가공물 (W) 이 인출되어 1 쌍의 가이드 레일 (36a, 36b) 에 재치된다. 이 때의 푸시 풀 아암 이동축 (351) 이 푸시 풀 아암 (350) 을 이동시키는 속도는, 제어 수단 (9) 에 의한 제어하에서 통상 이동 속도가 된다.
그리고, 1 쌍의 가이드 레일 (36a, 36b) 이, 서로 접근하여 환상 프레임 (F) 의 외주 가장자리부를 지지하여, 유지 수단 (30) 에 대한 피가공물 (W) 의 위치를 소정의 위치로 정한다.
다음으로, 반입 수단 (4) 에 의한 유지 수단 (30) 에 대한 피가공물 (W) 의 반입이 실시된다. 반입 수평 이동축 (41) 에 의해 반입 패드 (40) 가 통상 이동 속도로 Y 축 방향으로 이동하고, 각 흡착 패드 (401) 가 1 쌍의 가이드 레일 (36a, 36b) 에 재치된 피가공물 (W) 의 환상 프레임 (F) 의 상방에 위치 부여된다. 또한, 반입 승강 이동축 (42) 이 반입 패드 (40) 를 통상 이동 속도로 강하시키고, 흡착 패드 (401) 가 환상 프레임 (F) 에 접촉하여 흡착을 실시함으로써, 반입 패드 (40) 가 피가공물 (W) 을 픽업한다.
피가공물 (W) 이 픽업되면, 1 쌍의 가이드 레일 (36a, 36b) 은, 서로 이간되는 방향으로 이동하며, 1 쌍의 가이드 레일 (36a, 36b) 사이에는 피가공물 (W) 이 통과하는 간극이 생긴다. 그리고, 반입 승강 이동축 (42) 이 반입 패드 (40) 를 통상 이동 속도로 강하시키고, 피가공물 (W) 을 유지 수단 (30) 의 유지면 (300a) 상에 재치한다. 고정 클램프 (32) 가 환상 프레임 (F) 을 고정시키고, 또 유지 수단 (30) 이 유지면 (300a) 상에서 피가공물 (W) 을 흡인 유지한 후, 반입 패드 (40) 에 의한 환상 프레임 (F) 의 흡착이 해제된다. 그리고, 반입 수평 이동축 (41), 반입 승강 이동축 (42) 에 의해 반입 패드 (40) 가 유지 수단 (30) 상으로부터 퇴피하도록 이동한다.
피가공물 (W) 을 흡인 유지하는 유지 수단 (30) 은, X 이동축 (34) 에 의해 －X 방향으로 가공 이송되어 케이싱 (11) 내부로 이동한다.
유지 수단 (30) 에 유지된 피가공물 (W) 이 －X 방향으로 이송됨과 함께, 도 2 에 나타내는 얼라인먼트 수단 (63) 에 의해 절삭해야 할 절삭 예정 라인 (S) 의 위치가 검출된다. 또한, 도 2 에 있어서, 피가공물 (W) 은 유지 수단 (30) 상으로부터 떼어 놓아 나타내고 있지만, 피가공물 (W) 은 유지 수단 (30) 에 의해 흡인 유지되어 있다. 절삭 예정 라인 (S) 이 검출되는 것에 수반하여, 제 1 가공 수단 (61) 이 제 1 의 Y 이동축 (15) 에 의해 Y 축 방향으로 구동되고, 또 제 2 가공 수단 (62) 이 제 2 의 Y 이동축 (16) 에 의해 Y 축 방향으로 구동되어, 절삭해야 할 절삭 예정 라인 (S) 과 각 절삭 블레이드 (613) 의 Y 축 방향에 있어서의 위치 맞춤이 이루어진다.
X 이동축 (34) 이 피가공물 (W) 을 유지하는 유지 수단 (30) 을 통상 이동 속도로 －X 방향으로 송출함과 함께, 제 1 의 Z 이동축 (17) 이 제 1 가공 수단 (61) 을 －Z 방향으로 통상 이동 속도로 강하시켜 가고, 또 제 2 의 Z 이동축 (18) 이 제 2 가공 수단 (62) 을 －Z 방향으로 통상 이동 속도로 강하시켜 간다. 그리고, 각 절삭 블레이드 (613) 가 고속 회전을 하면서 피가공물 (W) 에 절입하고, 절삭 예정 라인 (S) 을 절삭해 간다.
절삭 블레이드 (613) 가 절삭 예정 라인 (S) 을 절삭을 끝마치는 X 축 방향의 소정의 위치까지 피가공물 (W) 이 －X 방향으로 진행되면, X 이동축 (34) 이 피가공물 (W) 의 가공 이송을 한 번 정지시키고, 제 1 의 Z 이동축 (17) 이 제 1 가공 수단 (61) 의 절삭 블레이드 (613) 를 피가공물 (W) 로부터 이간시키고, 제 2 의 Z 이동축 (18) 이 제 2 가공 수단 (62) 의 절삭 블레이드 (613) 를 피가공물 (W) 로부터 이간시킨다. 이어서, X 이동축 (34) 이 유지 수단 (30) 을 ＋X 방향으로 송출하여 원래의 위치로 되돌린다. 그리고, 이웃하는 절삭 예정 라인 (S) 의 간격씩 제 1 가공 수단 (61) 및 제 2 가공 수단 (62) 이 Y 축 방향으로 통상 이동 속도로 인덱스 이송되어 순차 동일한 절삭이 실시되고, 동방향의 모든 절삭 예정 라인 (S) 이 절삭된다. 또한, 유지 수단 (30) 이 90 도 회전되고 나서 동일한 절삭이 실시됨으로써, 모든 절삭 예정 라인 (S) 이 종횡으로 모두 컷되어 피가공물 (W) 이 디바이스 (D) 를 구비하는 칩으로 분할된다.
피가공물 (W) 의 절삭 가공 후에, X 이동축 (34) 에 의해 유지 수단 (30) 이 통상 이동 속도로 ＋X 방향으로 이송되어, 유지 수단 (30) 이 케이싱 (11) 의 내부에서 외부로 이동한다.
이어서, 반출 수단 (5) 이 유지 수단 (30) 으로부터 피가공물 (W) 을 반출한다. 즉, 도 1 에 나타내는 반출 수평 이동축 (51) 에 의해 반출 패드 (50) 가 통상 이동 속도로 Y 축 방향으로 이동하고, 각 흡착 패드 (501) 가 피가공물 (W) 을 지지하는 환상 프레임 (F) 의 상방에 위치 부여된다. 또한, 반출 승강 이동축 (52) 이 반출 패드 (50) 를 통상 이동 속도로 강하시키고, 흡착 패드 (501) 가 환상 프레임 (F) 에 접촉하여 흡착을 실시함으로써, 반출 패드 (50) 가 피가공물 (W) 을 픽업한다.
피가공물 (W) 이 픽업되면, 유지 수단 (30) 에 의한 피가공물 (W) 의 흡인 유지 및 고정 클램프 (32) 에 의한 환상 프레임 (F) 의 고정이 해제된다. 그리고, 반출 승강 이동축 (52) 이 반출 패드 (50) 를 상승시키고, 이어서, 반출 수평 이동축 (51) 이 반출 패드 (50) 를 ＋Y 방향으로 이동시켜 세정 수단 (20) 에 피가공물 (W) 을 반송한다. 그리고, 세정 수단 (20) 에 의해 피가공물 (W) 이 세정된다.
이상이, 가공 장치 (1) 에 의한 피가공물 (W) 에 대한 절삭 가공의 일련의 흐름이 된다.
상기와 같이 피가공물 (W) 의 절삭 가공을 실시하는 실제로 실시하기 전에, 오퍼레이터가 가공 장치 (1) 의 X 이동축 (34), 유지 수단 (30), 반입 수단 (4) 등의 각 구성을 개조하는 경우가 있다. 그리고, 이와 같은 개조를 실시한 후, X 이동축 (34) 등의 각 이동축을 작동시키고 각 유닛을 이동시켜 가공 장치 (1) 의 동작 확인을 실시한다. 이 동작 확인시에 있어서의 가공 장치 (1) 의 뜻밖의 파손 (이동축이 이동시키고 있는 유닛의 충돌 등) 을 방지하기 위하여, 가공 장치 (1) 는 각 이동축의 통상 이동 속도를 소정의 비율로 느린 이동 속도로 하기 위하여 비율을 설정하는 설정부 (92) 와, 설정부 (92) 에 설정한 비율로 복수의 이동축의 통상 이동 속도를 일괄적으로 느리게 하는 버튼 (91) 을 구비하고 있다.
버튼 (91) 은, 예를 들어, 도 1 에 나타내는 바와 같은 푸시식의 것이며, 케이싱 (11) 의 측면의 모니터 (19) 의 근방에 배치 형성되어 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 버튼 (91) 은, 모니터 (19) 의 화면 상에 아이콘으로 표시되는 것이어도 된다.
예를 들어, 설정부 (92) 는 제어 수단 (9) 에 장착되어 있으며, 입력 인터페이스인 비율 (퍼센티지) 입력부 (920) 를 구비하고 있다. 예를 들어, 비율 입력부 (920) 는, 도 1 에 나타내는 모니터 (19) 상에 입력 셀로서 표시되며, 가공 장치 (1) 의 동작 확인시에 있어서, 오퍼레이터가 상기 복수의 이동축의 속도를 통상 이동 속도로부터 통상 이동 속도보다 소정의 비율로 느리게 한 원하는 속도로 하기 위하여, 소정의 비율 (예를 들어, 60 퍼센트) 을 그 입력 셀에 수치 입력할 수 있는 구성으로 되어 있다.
오퍼레이터가 비율 입력부 (920) 에 소정의 비율을 입력하면, 그 입력값 정보가 설정부 (92) 의 산출부 (921) 에 이송된다. 예를 들어, 상기 서술한 통상 이동 속도 설정부 (90) 가 각 이동축에 각각 설정하는 통상 이동 속도에 대한 정보는 제어 수단 (9) 의 메모리에 기억되어 있고, 산출부 (921) 는 메모리로부터 그 통상 이동 속도의 정보를 인출한다. 또한, 산출부 (921) 는, 상기 복수의 이동축의 각 통상 이동 속도에 비율 입력부 (920) 로부터 이송된 입력값 (60 퍼센트) 을 곱한 값, 즉 상기 복수의 이동축이 각 유닛을 통상 이동시키는 속도의 6 할의 속도를 각각 산출해 간다.
설정부 (92) 는, 예를 들어, 출력 인터페이스로서 기능하는 변경 후 속도 설정부 (922) 를 구비하고 있다. 산출부 (921) 가 산출한 복수의 이동축이 각 유닛을 통상 이동시키는 속도의 6 할의 속도에 대한 각각의 수치 정보는, 변경 후 속도 설정부 (922) 에 대하여 송출된다. 그 후, 변경 후 속도 설정부 (922) 가, 예를 들어, 버튼 (91) 을 점등시킨다.
오퍼레이터가 점등된 버튼 (91) 을 누름으로써, 복수의 각 이동축의 속도가 통상 이동 속도의 6 할의 속도로 일괄적으로 느려진다. 즉, 버튼 (91) 이 눌러짐으로써, 변경 후 속도 설정부 (922) 에 의해, 각 이동축에 의한 각 유닛의 이동 속도가 통상 이동 속도의 6 할의 속도가 되는 제어를 제어 수단 (9) 이 실행하도록 세팅된다. 제어 수단 (9) 에 의한 각 이동축에 의한 각 유닛의 이동 속도의 변경은, 제어 수단 (9) 이, 각 이동축이 각각 구비하는 모터의 회전수를 통상 이동 속도시의 회전수보다 적은 회전수로 변경함으로써 실행된다.
그리고, 이와 같이 세트된 가공 장치 (1) 의 동작 확인이 실시된다. 동작 확인은, 앞서 설명한 피가공물 (W) 을 실제로 절삭하는 경우와 동일하게, 각 이동축을 작동시키고 각 유닛을 이동시켜 실시된다.
본 발명에 관련된 가공 장치 (1) 는, 적어도 X 이동축 (34), 제 1 의 Z 이동축 (17) 및 제 2 의 Z 이동축 (18), 제 1 의 Y 이동축 (15) 및 제 2 의 Y 이동축 (16), 반입 수평 이동축 (41), 반입 승강 이동축 (42), 반출 수평 이동축 (51), 반출 승강 이동축 (52), 그리고 푸시 풀 아암 이동축 (351) 의 복수의 이동축의 통상 이동 속도를 소정의 비율로 느린 이동 속도로 하기 위하여 비율을 설정하는 설정부 (92) 와, 설정부 (92) 에 설정한 비율로 복수의 이동축의 통상 이동 속도를 일괄적으로 느리게 하는 버튼 (91) 을 구비하고 있기 때문에, 상기와 같이 개조 후의 가공 장치 (1) 의 동작 확인을 하는 경우 등에 있어서, 가공 장치 (1) 가 구비하는 복수의 이동축의 속도를 통상 이동 속도로부터 통상 이동 속도보다 소정의 비율로 느리게 한 속도로 일괄적으로 변경할 수 있기 때문에, 각 이동축이 이동시키고 있는 유닛의 이동량이 지나치게 큰 것에 의해 다른 장치 구성에 충돌하는 것 등의 가공 장치 (1) 의 파손 사고의 발생을 방지할 수 있고, 또 가공 장치 (1) 의 개조의 잘못을 알아차릴 수 있게 된다. 또, 복수의 각 이동축이 각 유닛을 이동시키는 통상 이동 속도는, 기본적으로 각각 상이한 속도이지만, 이 통상 이동 속도를 소정의 비율로 일괄적으로 느리게 하여 동작 확인을 실시할 수 있기 때문에, 각 이동축이 각 유닛을 이동시키는 통상 이동 속도를 개별적으로 1 개씩 변경하는 경우 등에 일어날 수 있는 속도의 변경 미스 등이 없어져, 정확한 동작 확인을 실시하는 것이 가능해진다.
또한, 본 발명에 관련된 가공 장치 (1) 는 절삭 장치에 한정되는 것은 아니며, 연삭 장치나 레이저 가공 장치 등이어도 된다. 또, 첨부 도면에 도시되어 있는 가공 장치 (1) 의 각 구성 등에 대해서도 이것에 한정되지 않으며, 본 발명의 효과를 발휘할 수 있는 범위 내에서 적절히 변경 가능하다.
W : 피가공물
S : 절삭 예정 라인
D : 디바이스
T : 다이싱 테이프
F : 환상 프레임
1 : 가공 장치
10 : 기대
11 : 케이싱
12 : 카세트 스테이지
120 : 승강 기구
14 : 문형 칼럼
15 : 제 1 의 Y 이동축
150 : 볼 나사
151 : 가이드 레일
15a : 가동판
17 : 제 1 의 Z 이동축
171 : 가이드 레일
172 : 모터
17a : 지지 부재
16 : 제 2 의 Y 이동축
160 : 볼 나사
162 : 모터
16a : 가동판
18 : 제 2 의 Z 이동축
181 : 가이드 레일
182 : 모터
18a : 지지 부재
19 : 모니터
30 : 유지 수단
31 : 커버
31a : 벨로우즈 커버
32 : 고정 클램프
34 : X 이동축
340 : 볼 나사
341 : 모터
35 : 푸시 풀 수단
350 : 푸시 풀 아암
351 : 푸시 풀 아암 이동축
351a : 볼 나사
351c : 모터
36a, 36b : 1 쌍의 가이드 레일
4 : 반입 수단
40 : 반입 패드
41 : 반입 수평 이동축
410 : 볼 나사
412 : 모터
41a : 가동 블록
42 : 반입 승강 이동축
5 : 반출 수단
50 : 반출 패드
51 : 반출 수평 이동축
510 : 볼 나사
512 : 모터
51a : 가동 블록
52 : 반출 승강 이동축
61 : 제 1 가공 수단
610 : 스핀들
611 : 하우징
613 : 절삭 블레이드
63 : 얼라인먼트 수단
62 : 제 2 가공 수단
20 : 세정 수단
200 : 스피너 테이블
9 : 제어 수단
90 : 통상 이동 속도 설정부
91 : 버튼
92 : 설정부
920 : 비율 입력부
921 : 산출부
922 : 변경 후 속도 설정부

Claims (1)

  1. 피가공물을 유지하는 유지 수단과, 그 유지 수단이 유지한 피가공물을 가공하는 가공 수단과, 그 유지 수단에 피가공물을 반입하는 반입 수단과, 그 유지 수단으로부터 피가공물을 반출하는 반출 수단을 적어도 구비한 가공 장치로서,
    그 가공 장치에는, 그 유지 수단을 그 가공 수단에 가공 이송하는 방향인 X 축 방향으로 이동시키는 X 이동축과, 그 가공 수단을 그 유지 수단에 접근 또는 이간하는 방향인 Z 축 방향으로 이동시키는 Z 이동축과, X 축 방향과 Z 축 방향에 직교하는 Y 축 방향으로 그 가공 수단을 이동시키는 Y 이동축을 구비하고,
    그 반입 수단은, 피가공물을 유지한 반입 패드를 수평 방향으로 이동시키는 반입 수평 이동축과, 그 반입 패드를 승강시키는 반입 승강 이동축을 구비하고,
    그 반출 수단은, 그 유지 수단이 유지하고 있는 피가공물을 유지하는 반출 패드를 수평 방향으로 이동시키는 반출 수평 이동축과, 그 반출 패드를 승강시키는 반출 승강 이동축을 구비하고,
    적어도 그 X 이동축, 그 Z 이동축, 그 Y 이동축, 그 반입 수평 이동축, 그 반입 승강 이동축, 그 반출 수평 이동축, 그 반출 승강 이동축을 포함하는 복수의 각 이동축에 각각 최적의 통상 이동 속도를 미리 설정하는 통상 이동 속도 설정부와,
    그 통상 이동 속도를 소정의 비율로 느린 이동 속도로 하기 위하여 그 비율을 설정하는 설정부와,
    그 설정부에 설정한 그 비율로 그 복수의 이동축의 그 통상 이동 속도를 일괄적으로 느리게 하는 버튼을 구비한 가공 장치.
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JP5580066B2 (ja) * 2010-02-01 2014-08-27 株式会社ディスコ 切削装置
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