JP6157229B2 - 研削装置及び研削方法 - Google Patents
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Description
10 粗研削ユニット
24 粗研削ホイール
28 仕上げ研削ユニット
40 仕上げ研削ホイール
44 ターンテーブル
46 チャックテーブル
49 吸引保持部
49a 保持面
72 第1厚み研削ユニット
74 第2厚み研削ユニット
80 ボルト
84 ロッド
86 パルスモータ
90 高さ位置調整手段(可動支持部)
Claims (1)
- 被加工物着脱領域と加工領域に沿って回転可能に配設されたターンテーブルと、該ターンテーブルに自転自在に配設されて順次加工領域に移動され、被加工物を保持する保持面を有する複数のチャックテーブルと、該加工領域に位置付けられた該チャックテーブルの該保持面に対面して配設された研削ホイールを含む研削手段と、該加工領域に位置付けられた該チャックテーブルの上面高さ位置と該加工領域に位置付けられた該チャックテーブルに保持された被加工物の上面高さ位置とから、該チャックテーブルに保持された被加工物の厚みを検出する厚み検出手段と、該各チャックテーブルの高さ位置を調整する高さ位置調整手段と、を備えた研削装置で被加工物を研削する研削方法であって、
該加工領域に該複数のチャックテーブルのうち第1チャックテーブルを位置付けるとともに、該第1チャックテーブルを該研削手段で研削して該第1チャックテーブルの保持面と該研削ホイールの研削面とを平行にするチャックテーブル研削ステップと、
該チャックテーブル研削ステップを実施した後、該第1チャックテーブルにおいて、該チャックテーブル研削ステップで研削されて減じた該第1チャックテーブルの高さ位置分該高さ位置調整手段で上昇させるチャックテーブル高さ位置変更ステップと、
該チャックテーブル高さ位置変更ステップを実施した後、該第1チャックテーブルで被加工物を保持する保持ステップと、
該加工領域に位置付けられた該第1チャックテーブルに保持された被加工物の厚みを該厚み検出手段で検出しつつ被加工物を該研削手段で研削する研削ステップと、
を含むことを特徴とする研削方法。
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