JP4427299B2 - 板状物の加工方法 - Google Patents
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Description
10:カセット載置台 11:ボールネジ
2:搬出入手段
20:ボールネジ 21:ガイドレール 22:パルスモータ 23:移動部
24:昇降部 25:保持部
3:チャックテーブル
30:送り部
300:ボールネジ 301:ガイドレール 302:移動基台
303:移動部
31:回転駆動部
4:補助テーブル
5:切削手段
50:第一の切削手段
500:スピンドル 501:切削ブレード
51:第二の切削手段
510:スピンドル 511:切削ブレード
52:第一の割り出し送り部
520:ボールネジ 521:パルスモータ 522:ガイドレール
523:リニアスケール 524:移動部
53:第一の切り込み送り部
530:ボールネジ 531:パルスモータ 532:ガイドレール
533:昇降板
54:第二の割り出し送り部
540:ボールネジ 541:パルスモータ 542:移動部
55:第二の切り込み送り部
550:ボールネジ 551:パルスモータ 552:ガイドレール
553:昇降板
60:第一のアライメント手段
600:撮像部 601:処理部 602:アライメント基準線
61:第二のアライメント手段
610:撮像部 611:処理部 612:アライメント基準線
7:洗浄手段
70:保持テーブル
8:搬送手段
80:ボールネジ 81:パルスモータ 82:ガイドレール
83:移動部
9:制御部
100:切削装置
W:半導体ウェーハ
W1:ダミーウェーハ
G1〜G5:第一の切削溝 G6:第二の切削溝
W2:ダミーウェーハ
G11、G12、G21、G22:切削溝
Claims (4)
- 板状物を保持するチャックテーブルと、小片板状物を保持して回転可能な補助テーブルと、該チャックテーブルに保持された板状物を切削する切削ブレードを備えた切削手段と、該板状物の表面を撮像する撮像部を有するアライメント手段とを少なくとも備え、該チャックテーブル及び該補助テーブルと該切削手段とは相対的に送り方向、割り出し方向及び切り込み方向に移動可能であり、該撮像部には該切削ブレードの該送り方向の延長線上にアライメント基準線が形成された切削装置における、該切削ブレードの切り込み方向及び割り出し方向の位置を調整するための板状物の加工方法であって、
回転する切削ブレードを小片板状物に対して該切り込み方向に切り込ませて第一の切削溝を形成し、該第一の切削溝の長さと該切削ブレードの直径とから該切削ブレードの切り込み深さを算出する切り込み深さ算出工程と、
該小片板状物を水平方向に回転させ、該小片板状物に該第一の切削溝と非平行の第二の切削溝を形成し、該第二の切削溝と該アライメント基準線とが合致するように該切削ブレードの該割り出し方向の位置合わせを行う位置合わせ工程と
を少なくとも含む板状物の加工方法。 - 前記切削ブレードを新たな切削ブレードに交換した後に前記位置合わせ工程が遂行される請求項1に記載の板状物の加工方法。
- 前記位置合わせ工程において、前記アライメント基準線と非平行な第一の切削溝が検出された際には、該アライメント基準線に平行な第二の切削溝を走査して該アライメント基準線と該第二の切削溝とが合致するように該切削ブレードの該割り出し方向の位置合わせをする
請求項1または2に記載の板状物の加工方法。 - 前記切削手段には、第一の切削手段と第二の切削手段とを備え、該第一の切削手段によって形成された第二の切削溝と、該第二の切削手段によって形成された第一の切削溝と、該第二の切削手段によって形成された第二の切削溝とがすべて非平行である
請求項1、2または3に記載の板状物の加工方法。
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