KR20160073283A - Laminating Position Detecting Apparatus - Google Patents

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KR20160073283A
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준 미시마
타카시 가와이
마사타케 우스이
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닛토덴코 가부시키가이샤
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Abstract

According to the present invention, disclosed is an apparatus to inspect a lamination position on a corresponding substrate of a rectangular lamination laminated to make four sides parallel to four sides of a rectangular substrate. The apparatus comprises: an inspection table having a mounting area to mount a substrate having a lamination laminated thereon; four optical measurement units facing four corners of the substrate and the lamination while attaching to the inspection table to optically measure the distance between a border of the lamination on each corresponding corner and a border of the substrate parallel to the corresponding border of the lamination; and a measurement result display unit connected to the four optical measurement units and displaying the distance measured by each optical measurement unit as a measurement result. According to this, the lamination position of the rectangular lamination laminated to make four sides of the lamination parallel to the four sides of the rectangular substrate is inspected with enhanced precision on the corresponding substrate.

Description

첩부 위치 검사 장치{Laminating Position Detecting Apparatus}[0001] Laminating Position Detecting Apparatus [0002]

본 발명은, 첩부 위치 검사 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a device and method for inspecting an adhesive patch.

액정 디스플레이(LCD), 플라즈마 디스플레이(PDP), 일렉트로루미네선스 디스플레이(ELD) 등의 화상 표시장치는, 그 우수한 성능으로 주목받고 있다. 그러므로, 화상 표시장치에 있어서 중요한 구성 부분의 하나인 표시 패널의 제조 기술도 더욱 더 주목받고 있다.2. Description of the Related Art Image display devices such as a liquid crystal display (LCD), a plasma display (PDP), and an electroluminescence display (ELD) are attracting attention as their excellent performance. Therefore, a technique for manufacturing a display panel, which is one of the important components of an image display apparatus, is getting more attention.

표시 패널의 제조에 있어서, 표시 패널의 표시 기능을 실현하기 위해서, 광학 소자(예를 들면, 액정 셀)에 광학 필름(예를 들면, 편광 필름)을 첩부할 필요가 있다. 여기서, 광학 필름의 첩부 정밀도는, 제품이 된 표시 패널의 표시 품질에 긴밀히 관련하고 있다. 따라서, 광학 필름을 광학 소자에 첩부한 후, 광학 소자에 있어서의 광학 필름의 첩부 위치를 검사할 필요가 있다.In manufacturing a display panel, it is necessary to attach an optical film (for example, a polarizing film) to an optical element (for example, a liquid crystal cell) in order to realize a display function of the display panel. Here, the accuracy of the application of the optical film is closely related to the display quality of the display panel as a product. Therefore, after attaching the optical film to the optical element, it is necessary to inspect the position of the optical film in the optical element.

이 때문에, 특허 문헌 1에는, 이와 같은 검사 기능을 실현할 수 있는 장치가 제안되어 있다. 도 8a 및 도 8b에 나타내는 바와 같이, 특허 문헌 1에 있어서의 표시 패널 검사 장치는, 표시 패널(40)이 재치되는 광투과부(14)와, 재치되는 표시 패널(40)의 유리 기판(41, 42)이 연속하는 두 변을 위치 결정하는 위치 결정부(15)와, 그 위치 결정부(15)에 당접시킨 유리 기판(41, 42)의 둘레로부터 유리 기판(41, 42)에 첩부된 편광판(44, 45)의 둘레까지의 거리를 측정하는 거리 측정 부재(16)를 가지는 검사대(11)를 갖추고 있다. 측정에 즈음에서는, 도 8b에 나타내는 바와 같이, 표시 패널(40)의 유리 기판(41, 42)의 둘레(41a, 42a)이 연속하는 두 변을 각각 위치 결정부(15)의 내면(15a)에 당접시킨다. 이때, 위치 결정부(15)의 내면(15a)으로부터 측정봉(16c)의 선단(16c-1)까지의 거리(L)가, 유리 기판(41, 42)의 둘레로부터 편광판(44, 45)의 둘레까지의 거리와 일치한다.For this reason, Patent Document 1 proposes a device capable of realizing such an inspection function. 8A and 8B, the display panel inspection apparatus according to Patent Document 1 includes a light transmitting portion 14 on which the display panel 40 is placed and a glass substrate 41, 42 attached to the glass substrates 41, 42 from the peripheries of the glass substrates 41, 42 in contact with the positioning portions 15, a positioning portion 15 for positioning two consecutive sides of the glass substrate 41, (11) having a distance measuring member (16) for measuring the distance to the periphery of the guide (44, 45). As shown in Fig. 8B, the continuous sides of the peripheries 41a and 42a of the glass substrates 41 and 42 of the display panel 40 are respectively disposed on the inner surface 15a of the positioning portion 15, . At this time, the distance L from the inner surface 15a of the positioning unit 15 to the tip 16c-1 of the measurement rod 16c is set to be shorter than the distance L from the periphery of the glass substrates 41 and 42 to the polarizers 44 and 45, The distance to the periphery of the second lens.

특개 2008-014674A2008-014674A

그러나, 특허 문헌 1에 기재된 표시 패널 검사 장치는, 측면으로부터 기계적으로 측정봉을 눌러 편광판의 첩부 위치를 측정하고 있기 때문에, 측 범위에 접하는 3 모퉁이 밖에 측정하지 못하고, 측정 정밀도가 목표 정밀도로부터 벗어날 우려가 있다.However, in the display panel inspection apparatus disclosed in Patent Document 1, since the measurement position of the polarizing plate is measured by mechanically pushing the measurement rod from the side, it is impossible to measure only the three corners in contact with the side range, and the measurement accuracy may deviate from the target precision .

본 발명은 이와 같은 실정을 감안하여 이루어진 것이며, 네 변이 각각 직사각형 형태의 기판의 네 변과 평행하도록 첩합된 직사각형 형태의 첩합물의 해당 기판상에 있어서의 첩부 위치의 검사 정밀도를 향상시킬 수 있는 첩부 위치 검사 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to provide a method and a device that can improve the accuracy of inspection of a bonding position on a substrate in a rectangular shape in which four sides are respectively parallel to four sides of a rectangular- And an inspection apparatus.

상기 과제를 해결하여 상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은, 네 변이 각각 직사각형 형태의 기판의 네 변과 평행하도록 첩합된 직사각형 형태의 첩합물의 해당 기판상에 있어서의 첩부 위치를 검사하는 첩부 위치 검사 장치에 있어서, 그 첩합물이 첩합된 기판을 재치하는 재치 영역이 형성되는 검사대와, 그 검사대에 취부되는 한편 그 기판 및 첩합물의 네 모퉁이와 대향하여, 각각 해당 네 모퉁이에 있어서 그 첩합물의 변연(邊緣)과 그 첩합물의 해당 변연에 평행한 기판의 변연과의 사이의 거리를 광학 측정하는 4개의 광학 측정 유닛과, 그 4개의 광학 측정 유닛에 접속되어 있으며, 그 4개의 광학 측정 유닛의 각각에 의해 측정된 거리를 측정 결과적으로 표시하는 측정 결과 표시 유닛을 갖추고 있는 첩부 위치 검사 장치를 제공한다.Means for Solving the Problems In order to solve the above problems and to achieve the above object, the present invention relates to a method for inspecting a bonding position on a substrate of a rectangular-shaped hybridized product in which four sides are respectively parallel to four sides of a rectangular- The apparatus includes an inspection table on which a mountable area for mounting a substrate to which the mount is adhered is formed, and a marginal portion of the periphery of the mount at the four corners opposite to the four corners of the substrate and the collet Four optical measuring units for optically measuring the distance between the peripheral edge of the substrate and the marginal edge of the substrate parallel to the marginal edge of the collation and four optical measuring units connected to the four optical measuring units, And a measurement result display unit that displays a distance measured by the measurement unit as a result of measurement.

본 발명에 의하면, 4개의 광학 측정 유닛에 의해, 네 모퉁이에 있어서 첩합물(예를 들면, 편광 필름)의 변연과 해당 첩합물의 변연에 평행한 기판(예를 들면, 유리 기판)의 변연과의 사이의 거리를 각각 광학 측정할 수 있으므로, 네 변이 각각 직사각형 형태의 기판의 네 변과 평행하도록 첩합된 직사각형 형태의 첩합물의 해당 기판상에 있어서의 첩부 위치의 검사 정밀도를 향상시킬 수 있는 첩부 위치 검사 장치를 제공할 수 있다.According to the present invention, four optical measuring units are provided for measuring the distance between a marginal portion of a conjugate (for example, a polarizing film) at four corners and a marginal portion of a substrate (for example, a glass substrate) It is possible to optically measure the distance between the side surface of the substrate and the side surface of the substrate so that the inspection accuracy of the adhering position on the substrate of the rectangular shaped adherend, Device can be provided.

또한, 바람직하게는, 검사대의 전후 방향에서의 전면에 개폐 가능하게 취부되어 있으며, 열리고 있을 때에 재치 영역을 개방하고, 또한 닫히고 있을 때에 재치 영역을 차폐하는 커버를 더 설치하며, 검사 대상에 있어서의 재치 영역 내에는 전후로 관통하는 4개의 검사공을 형성하고, 기판 및 첩합물의 네 모퉁이가 각각 4개의 검사공의 범위 내에 위치하도록 하고, 4개의 광학 측정 유닛은, 각각 검사대의 전후 방향에서의 뒷면에 취부하며, 또한 각각 4개의 검사공과 대향하도록 구성한다.Preferably, a cover is provided which is openably and closably attached to the front surface in the front-back direction of the examination table and which opens the placement area when it is opened, and further shields the placement area when it is closed. Four inspection holes penetrating the front and back are formed in the placement area, and four corners of the substrate and the compound are respectively positioned within the range of four inspection holes. The four optical measurement units are respectively arranged on the back surface in the front- And each of them is opposed to each of the four inspection balls.

이것에 의해, 광학 측정 유닛을 검사대의 뒷면에 설치함으로써, 첩합물의 첩부된 기판이 검사대에 대한 재치 또는 취출되는 때에 광학 측정 유닛과의 간섭을 방지할 수 있다. 그리고, 검사대의 전면에 개폐 가능한 커버를 설치함으로써, 검사 과정에 있어서 이 커버를 닫을 수가 있고, 광학 측정 유닛에 의한 첩합물의 첩부 위치의 측정을, 보다 정확하게 할 수 있다.Thus, by providing the optical measurement unit on the back surface of the inspection table, it is possible to prevent interference with the optical measurement unit when the bonded substrate is mounted on the inspection table or taken out. By providing a cover that can be opened and closed on the front surface of the inspection table, the cover can be closed during the inspection process, and the measurement of the application position of the composite by the optical measurement unit can be more accurately performed.

또한, 바람직하게는, 4개의 광학 측정 유닛의 각각은, 4개의 검사공 가운데 하나의 검사공과 대향하도록 배치하고, 해당 검사공을 거쳐, 기판 및 첩합물의 해당 검사공의 범위 내에 있는 부분에 빛을 조사하도록 광원을 설치하며, 그 광원이 발광했을 때, 기판 및 첩합물에 의해 반사된 빛에 의해, 기판 및 첩합물을 촬상하는 촬상 수단과, 그 촬상 수단 및 측정 결과 표시 유닛에 접속되며, 촬상 수단에 의해 촬상된 화상으로부터 첩합물의 변연과 해당 변연에 평행한 해당 기판의 변연과의 사이의 거리를 연산하고, 해당 거리를 측정 결과 표시 유닛에 송신하는 화상 처리 수단을 설치한다.Preferably, each of the four optical measuring units is disposed so as to face one of the four inspection holes, and light is irradiated to the portion of the substrate and the compound within the range of the inspection hole through the inspection hole An image pickup means for picking up a substrate and a composite by the light reflected by the substrate and the coplanar when the light source emits light; and an image pickup means connected to the image pickup means and the measurement result display unit, Image processing means for calculating the distance between the margins of the collation and margins of the substrate parallel to the margins from the image picked up by the means and transmitting the distances to the measurement result display unit.

이것에 의해, 촬상 수단을 이용하여, 광원으로부터의 빛에 의해 기판 및 첩합물의 화상을 촬상할 수 있고, 첩합물의 변연과 기판의 변연과의 사이의 거리를 정확하게 측정할 수 있게 된다.Thus, the image of the substrate and the collation object can be picked up by the light from the light source by using the imaging means, and the distance between the margins of the collation and the margins of the substrate can be accurately measured.

또한, 바람직하게는, 촬상 수단은, 광원을 끼고 검사공과는 상대하는 측에 설치된다.In addition, preferably, the image pickup means is provided on the side opposite to the inspection room along the light source.

또한, 바람직하게는, 첩부 위치 검사 장치에 있어서, 4개의 검사공 가운데 하나는 원형 구멍으로 하고, 해당 원형 구멍과 인접한 다른 2개의 검사공은 길이 방향이 서로 수직으로 연장선이 해당 원형 구멍을 통과하는 긴 구멍으로 하고, 해당 원형 구멍과 대각선 위치에 있는 검사공은 다른 2개의 검사공에 대해 경사지게 형성되는 한편 연장선이 해당 원형 구멍을 통과하는 긴 구멍이고, 검사대는, 긴 구멍이 되는 검사공의 각각의 부근에 레일 기구를 갖추며, 긴 구멍이 되는 검사공과 대향하는 광학 측정 유닛은, 각각 대응하는 검사공의 길이 방향에 따라 이동할 수 있도록 상응하는 레일 기구에 슬라이드 가능하게 취부되도록 구성한다.Preferably, in the adhesive position inspecting apparatus, one of the four inspection holes is a circular hole, and the other two inspection holes adjacent to the circular hole are perpendicular to each other in the longitudinal direction and pass through the corresponding circular hole And the test hole at a diagonal position with respect to the circular hole is formed to be inclined with respect to the other two test holes while the extension line is a long hole passing through the corresponding circular hole, And the optical measuring unit facing the inspecting hole which is a long hole are configured to be slidably attached to the corresponding rail mechanism so as to be movable along the longitudinal direction of the corresponding inspection hole.

이것에 의해, 기판 및 첩합물의 사이즈에 따라, 광학 측정 유닛을 적당한 위치로 이동시킬 수 있기 때문에, 동일한 첩부 위치 검사 장치로 사이즈가 다른 여러 가지의 기판을 측정할 수 있게 된다.As a result, the optical measuring unit can be moved to an appropriate position according to the size of the substrate and the collation object, so that it is possible to measure various substrates of different sizes with the same adhesive position inspection apparatus.

또한, 바람직하게는, 첩부 위치 검사 장치에 있어서, 검사대는 원형 구멍이 되는 검사공의 부근에 레일 기구를 갖추며, 원형 구멍이 되는 검사공과 대향하는 광학 측정 유닛은, 해당 원형 구멍의 범위 내에서 이동할 수 있도록 해당 레일 기구에 슬라이드 가능하게 취부된다.Preferably, in the adhesive position inspecting apparatus, the inspection table is provided with a rail mechanism in the vicinity of the inspection hole to be a circular hole, and the optical measurement unit facing the inspection hole to be a circular hole is moved within the range of the circular hole To be slidable to the rail mechanism.

이것에 의해, 기판에 있어서의 첩합물의 첩부 위치에 따라, 원형 구멍 부근에 있는 광학 측정 유닛을 최적인 측정 위치로 이동시킬 수 있다.Thus, the optical measuring unit in the vicinity of the circular hole can be moved to the optimum measuring position in accordance with the attachment position of the collation object on the substrate.

또한, 바람직하게는, 검사대는, 각 레일 기구와 대응하여 설치된, 대응하는 광학 측정 유닛을 레일 기구를 따라 이동하도록 구동하는 구동 유닛을 더 갖추며, 각 광학 측정 유닛을 소망한 위치까지 이동시키도록 구동 유닛을 제어하는 제어 유닛을 더 갖추는 구성으로 한다.Preferably, the inspection table further includes a drive unit provided corresponding to each rail mechanism for driving the corresponding optical measurement unit to move along the rail mechanism, and is driven to move each optical measurement unit to a desired position And a control unit for controlling the unit.

이것에 의해, 구동 유닛에 의해 광학 측정 유닛을 기판 사이즈에 맞춘 위치로 자동적으로 이동할 수 있으므로, 검사 효율을 향상시킬 수 있다.As a result, the optical measuring unit can be automatically moved to the position matching the substrate size by the drive unit, thereby improving the inspection efficiency.

또한, 바람직하게는, 커버는 힌지를 거쳐 검사대에 개폐 가능하게 취부된다.Preferably, the cover is attached to the inspection table via a hinge so as to be openable and closable.

이것에 의해, 간단한 구조로, 검사대에 있어서의 재치 영역을 개폐할 수 있게 된다.This makes it possible to open and close the placement area of the examination table with a simple structure.

또한, 바람직하게는, 첩부 위치 검사 장치에 있어서, 검사대 및 커버의 한쪽에는 슬라이드 레일을 갖추며, 다른 쪽에는 슬라이더를 갖추며, 커버는, 슬라이더를 슬라이드 레일에 대해 상대적으로 슬라이드 가능하게 취부함으로써, 검사대에 대해서 개폐할 수 있도록 구성된다.Preferably, in the adhesive position inspecting apparatus, a slide rail is provided on one side of the inspection table and the cover, and a slider is provided on the other side, and the cover is slidably mounted relative to the slide rail, As shown in Fig.

이것에 의해, 간단한 구조로, 검사대에 있어서의 재치 영역을 개폐할 수 있다.This makes it possible to open and close the placement area of the examination table with a simple structure.

또한, 바람직하게는, 첩부 위치 검사 장치에 있어서, 검사대의 전면에는, 해당 검사대로 대향하는 한편 해당 검사대의 전면과 소정의 간격을 두는 취부 프레임이 설치되며, 4개의 광학 측정 유닛은, 각각 해당 취부 프레임을 거쳐 검사대에 취부되도록 한다.Preferably, in the adhesive position inspecting apparatus, the front surface of the inspection table is provided with a mounting frame opposed to the inspection table and spaced apart from the front surface of the inspection table by a predetermined distance, Make sure that it is attached to the inspection table via the frame.

이것에 의해, 검사대에 검사공을 가공하는 공정을 생략할 수 있고, 또는 커버를 필요로 하지 않고 검사할 수 있기 때문에, 구조를 간단하게 할 수 있다.This makes it possible to omit the step of machining the inspection hole on the inspection table or to perform the inspection without the need for a cover, thereby simplifying the structure.

본 발명에 의하면, 4개의 광학 측정 유닛(8)에 의해, 네 모퉁이에 있어서 첩합물(F)(예를 들면, 편광 필름)의 변연과 해당 첩합물(F)의 변연에 평행한 기판(C)(예를 들면, 유리 기판)의 변연과의 사이의 거리를 각각 광학 측정할 수 있으므로, 네 변이 각각 직사각형 형태의 기판(C)의 네 변과 평행하도록 첩합된 직사각형 형태의 첩합물(F)의 해당 기판(C) 상에 있어서의 첩부 위치의 검사 정밀도를 향상시킬 수 있는 첩부 위치 검사 장치를 얻을 수 있다.According to the present invention, the four optical measuring units 8 are arranged at the four corners of a substrate C (for example, a polarizing film) parallel to the margins of the concavity F and the margins of the concavity F ) Can be optically measured, respectively. Therefore, it is possible to optically measure the distance between the edge of the substrate (C) and the edge of the substrate (C) It is possible to obtain a bonding position inspection apparatus capable of improving the inspection precision of the bonding position on the substrate C of the bonding pad.

또한, 광학 측정 유닛(8)을 검사대(6)의 뒷면에 설치함으로써, 첩합물의 첩부된 기판이 검사대에 대해서 재치 또는 취출되는 때에, 그 기판이 광학 측정 유닛과 간섭하는 것을 방지할 수 있다. 그리고, 검사대의 전면에 개폐 가능한 커버를 설치함으로써, 검사 과정에 있어서 이 커버를 닫을 수가 있고, 광학 측정 유닛에 의한 첩합물의 첩부 위치의 측정을 보다 정확하게 할 수 있다.In addition, by providing the optical measurement unit 8 on the back surface of the inspection table 6, it is possible to prevent the substrate from interfering with the optical measurement unit when the substrate to which the composite is attached is mounted on or taken out of the inspection table. By providing a cover that can be opened and closed on the front surface of the inspection table, the cover can be closed during the inspection process, and the measurement of the attachment position of the compound by the optical measurement unit can be more accurately performed.

도 1a는, 본 발명의 실시 형태에 있어서의 첩부 위치 검사 장치를 나타내는 정면도이며, 커버를 여는 상태를 나타낸다.
도 1b는, 본 발명의 실시 형태에 있어서의 첩부 위치 검사 장치를 나타내는 정면도이며, 커버를 닫는 상태를 나타낸다.
도 2는, 기판이 재치되어 있는 상태의 첩부 위치 검사 장치를 나타내는 정면도이다.
도 3은, 본 발명의 실시 형태에 있어서의 첩부 위치 검사 장치를 나타내는 측면도이다.
도 4는, 첩부 위치 검사 장치의 검사대를 뒷측에서 본 설명도이다.
도 5는, 첩부 위치 검사 장치의 광학 측정 유닛의 구조를 나타내는 설명도이다.
도 6은, 고리형 조명에 의해 촬상한 첩합물이 첩부된 기판의 화상을 나타내는 설명도이다.
도 7a는, 본 발명의 실시 형태에 있어서의 첩부 위치 검사 장치의 작동을 나타내는 플로우 도이다.
도 7b는, 본 발명의 실시 형태에 있어서의 첩부 위치 검사 장치의 작동을 나타내는 플로우 도이다.
도 8a는, 종래 기술의 표시 패널 검사 장치를 나타내는 설명도이다.
도 8b는, 종래 기술의 표시 패널 검사 장치를 나타내는 설명도이다.Fig. 1A is a front view showing a device for inspecting a stick position in an embodiment of the present invention, and shows a state of opening the cover. Fig.
Fig. 1B is a front view showing the adhesive position inspecting apparatus according to the embodiment of the present invention, showing a state of closing the cover. Fig.
2 is a front view showing a device for inspecting a stick position in a state in which a substrate is placed.
3 is a side view showing a device for inspecting a stick position in an embodiment of the present invention.
Fig. 4 is an explanatory view of the inspection position of the adhesive position inspecting apparatus viewed from the rear side.
5 is an explanatory view showing the structure of an optical measuring unit of the adhesive position inspection apparatus.
Fig. 6 is an explanatory view showing an image of a substrate to which a coherence image picked up by annular illumination is pasted. Fig.
Fig. 7A is a flowchart showing the operation of the patch position inspection apparatus in the embodiment of the present invention. Fig.
Fig. 7B is a flowchart showing the operation of the patch position inspecting apparatus in the embodiment of the present invention. Fig.
8A is an explanatory view showing a display panel inspection apparatus of the prior art.
8B is an explanatory view showing a display panel inspection apparatus of the prior art.

이하, 도면을 참조하면서 본 발명의 실시 형태에 있어서의 첩부 위치 검사 장치를 설명한다.Hereinafter, an apparatus for inspecting a stick position in an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

덧붙여, 본 실시 형태에 있어서, 검사 대상은, 직사각형 형태의 첩합물(F)을 네 변이 각각 직사각형 형태의 기판(C)의 네 변과 평행하도록 해당 기판(C)에 첩부한 구성의 것이다.Incidentally, in the present embodiment, the object to be inspected is a configuration in which the rectangular shaped concavity F is affixed to the substrate C such that the four sides of the concavity F are parallel to the four sides of the rectangular substrate C, respectively.

<첩부 위치 검사 장치의 구조>&Lt; Structure of adhesive position inspection apparatus >

도 1a 및 도 1b는 본 발명의 실시 형태에 있어서의 첩부 위치 검사 장치를 나타내는 정면도이며, 도 1a는 커버(7)를 연 상태, 도 1b는 커버(7)를 닫은 상태를 나타낸다. 도 2는 기판(C)이 재치되어 있는 상태의 첩부 위치 검사 장치를 나타내는 정면도이다. 도 3은 첩부 위치 검사 장치를 나타내는 측면도이다. 도 4는 검사대(6)를 뒷측에서 본 설명도이다.1A and 1B are front views showing a device for inspecting a stick position in an embodiment of the present invention. FIG. 1A shows a state in which the cover 7 is opened, and FIG. 1B shows a state in which the cover 7 is closed. Fig. 2 is a front view showing a device for inspecting a stick position in a state in which the substrate C is placed. 3 is a side view showing a device for inspecting a stick position. 4 is an explanatory view of the inspection table 6 as seen from the rear side.

도 1a ~ 도 3에 나타내는 바와 같이, 첩부 위치 검사 장치는, 주로, 지지 프레임(5)과, 그 지지 프레임(5)에 지지되는 검사대(6)와, 힌지(9)를 거쳐 검사대(6)의 전면에 취부되는 여닫이형의 커버(7)와, 검사대(6)의 뒷면에 취부되는 4개의 광학 측정 유닛(8)과, 검사대(6)에 고정되는 조작 패널(SD)과, 검사대(6)에 고정되는 표시 유닛(RD)과, 도시하지 않은 제어 유닛을 갖추고 있다.As shown in Figs. 1A to 3, the adhesive position inspecting apparatus mainly comprises a support frame 5, a test stand 6 supported by the support frame 5, a test stand 6 via a hinge 9, Shaped cover 7 attached to the front of the inspection table 6, four optical measurement units 8 attached to the back surface of the inspection table 6, an operation panel SD fixed to the inspection table 6, ), And a control unit (not shown).

지지 프레임(5)은, 다른 각 부재를 지지하기 위한 것이며, 베이스와, 그 베이스로부터 아래 방향으로 연장하고, 지면에 접하는 지지 다리와, 베이스의 배면으로부터 소정의 높이까지 윗 방향으로 연장하는 뒷 지지판을 가진다.The support frame 5 is for supporting other members and includes a base, a support leg extending downward from the base and contacting the ground, and a back support plate 5 extending upward from the back surface of the base to a predetermined height. .

검사대(6)는, 판형의 검사대 본체와, 길이 방향이 수평 방향에 따르도록 그 검사대 본체의 전면에 설치된 장척형의 위치 결정판(60)과, 길이 방향이 그 위치 결정판(60)의 길이 방향으로 수직인 방향에 따르도록 검사대 본체의 전면에 설치된 장척형의 위치 결정판(61)과, 검사대 본체에 형성된, 전후 방향으로 관통하는 4개의 검사공(62, 63, 64, 65)과, 검사대 본체의 뒷면에 설치되는 4조의 리니어 가이드(66, 67, 68, 69(69-1, 69-2))와, 검사대 본체의 뒷면에 설치되는 4조의 조정 모터(66', 67', 68', 69'(69-1', 69-2'))를 가진다.The inspection table 6 includes a plate-shaped inspection table main body, an elongated positioning plate 60 provided on the front surface of the inspection table main body such that the longitudinal direction thereof is along the horizontal direction, (62), (63), (64) and (65) extending in the anteroposterior direction and formed in the main body of the examination table body, Four sets of linear guides 66, 67, 68, 69 (69-1, 69-2) provided on the rear surface and four sets of adjustment motors 66 ', 67', 68 ', 69 '(69-1', 69-2 ').

검사대 본체는, 양 위치 결정판(60, 61)과 함께, 첩합물(F)이 첩부된 기판(C)을 재치하고, 위치 결정하는 재치 영역을 구획한다. 판형의 검사대 본체는, 첩합물(F)이 첩부된 기판(C)을 재치하는 것이며, 전체적으로 뒷 경사 자세로 지지 프레임(5)의 베이스의 앞 부분과 뒷 지지판의 상부와의 사이에 지지되고 있으며, 장척형의 양 위치 결정판(60, 61)의 각각은, 기판(C)의 인접한 두 변과 면 접촉하고, 첩합물(F)이 첩부된 기판(C)을 검사대 본체에 위치 결정하는 것이다.The inspection table main body together with the positioning plates 60 and 61 divides the placement area in which the substrate C on which the denture F has been affixed is placed and is positioned. The plate-like inspection table main body is mounted between the front portion of the base of the support frame 5 and the upper portion of the back support plate in a rear inclined posture as a whole, and is mounted on the substrate C to which the co- And each of the elongated positive positioning plates 60 and 61 is in surface contact with two adjacent sides of the substrate C and positions the substrate C on which the dentifrice F is attached to the inspection table main body.

4개의 검사공(62, 63, 64, 65) 가운데, 1개의 검사공(62)(도 1a에서는 오른쪽 아래 방향의 검사공)은 원형 구멍이며, 검사대 본체의, 양 위치 결정판(60, 61)의 연장선의 교차 위치 부근에 있는 부분에 형성되어 있으며, 해당 원형 구멍과 인접한 다른 양 검사공(63, 64)(도 1a에서는 왼쪽 아래 방향 및 오른쪽 윗 방향의 검사공)은, 길이 방향이 서로 수직으로, 각각의 연장선이 해당 원형 구멍(62)을 통과하는 긴 구멍이며, 그리고, 해당 원형 구멍과 대각선 위치에 있는 검사공(65)(도 1a에서는 왼쪽 윗 방향의 검사공)은, 다른 양 검사공(63, 64)에 대해서 경사지게 형성되는 한편 연장선이 해당 원형 구멍을 통과하는 긴 구멍이다.One of the four inspection holes 62, 63, 64 and 65 is a circular hole and the two positioning plates 60 and 61 of the inspection table main body, And the other inspection holes 63 and 64 (inspection holes in the lower left direction and the upper right direction in FIG. 1A) adjacent to the circular hole are formed in a portion in the vicinity of the intersection of the extension lines Each extending line is an elongated hole passing through the circular hole 62 and the inspection hole 65 (the inspection hole in the upper left direction in FIG. 1A) located at a diagonal position with respect to the circular hole, And the extension line is an elongated hole passing through the corresponding circular hole.

도 4에 나타내는 바와 같이, 4조의 리니어 가이드(66, 67, 68, 69)는, 각각 검사대 본체의 뒷면에 있어서 4개의 검사공(62, 63, 64, 65) 부근에 설치되며, 후술하는 4개의 광학 측정 유닛(8)의 각각은, 각 검사공(62, 63, 64, 65)의 길이 방향에 따라 이동할 수 있도록 대응하는 4조의 리니어 가이드(66, 67, 68, 69)에 취부되며, 4조의 조정 모터(66', 67', 68', 69')는, 각각 검사대 본체의 뒷면에 있어서 4개의 리니어 가이드(66, 67, 68, 69)와 대응하여 설치되며, 후술하는 4개의 광학 측정 유닛(8)을 각 검사공(62, 63, 64, 65)의 길이 방향에 따라 이동시키도록 작동한다.4, four sets of linear guides 66, 67, 68, 69 are provided in the vicinity of the four inspection holes 62, 63, 64, 65 on the back surface of the inspection table main body, respectively, Each of the optical measuring units 8 is attached to four linear guides 66, 67, 68, 69 corresponding to the longitudinal direction of each of the inspection holes 62, 63, 64, 65, The four sets of adjustment motors 66 ', 67', 68 ', 69' are provided corresponding to the four linear guides 66, 67, 68, 69 on the rear surface of the inspection table body respectively, And moves the measuring unit 8 along the longitudinal direction of each of the inspection holes 62, 63, 64,

구체적으로는, 원형 구멍이 되는 검사공(62)에 대응하는 리니어 가이드(66)의 슬라이드 레일은, 검사공(62)의 아래 방향에 수평 방향에 따라 설치되며, 또한, 그 일단이 조정 모터(66')의 출력 축에 접속되어 있다. 또한, 그 리니어 가이드(66)의 슬라이더가 이 슬라이드 레일에 슬라이드 가능하게 설치되며, 1개의 광학 측정 유닛(8)이 이 리니어 가이드(66)의 슬라이더에 취부되며, 그 촬상 범위가 검사공(62)과 대향하는 동시에, 검사공(62)의 범위 내에 있다.Specifically, the slide rail of the linear guide 66 corresponding to the inspection hole 62 which becomes a circular hole is provided in the horizontal direction in the downward direction of the inspection hole 62, and one end of the slide rail is connected to the adjustment motor 66 ', respectively. A slider of the linear guide 66 is slidably mounted on the slide rail and one optical measuring unit 8 is attached to the slider of the linear guide 66. The imaging range of the optical measuring unit 8 And is within the range of the inspection hole 62. [

긴 구멍인 검사공(63)에 대응하는 리니어 가이드(67)의 슬라이드 레일은 그 검사공(63)의 아래 방향에 수평 방향으로 설치되며, 또한, 그 일단이 조정 모터(67')의 출력 축에 접속되어 있다. 또한, 그 리니어 가이드(67)의 슬라이더는, 그 슬라이드 레일에 슬라이드 가능하게 설치되며, 또 하나의 광학 측정 유닛(8)이 이 리니어 가이드(67)의 슬라이더에 취부되며, 그 촬상 범위가 검사공(63)과 대향하는 동시에, 검사공(63)의 형성 범위 내에 있다.The slide rail of the linear guide 67 corresponding to the inspecting hole 63 which is an elongated hole is provided horizontally in the downward direction of the inspection hole 63 and one end of the slide rail is connected to the output shaft of the adjustment motor 67 ' Respectively. The slider of the linear guide 67 is slidably mounted on the slide rail and another optical measurement unit 8 is attached to the slider of the linear guide 67, (63) and is within the forming range of the inspection hole (63).

긴 구멍인 검사공(64)에 대응하는 리니어 가이드(68)의 슬라이드 레일은, 길이 방향이 검사공(64)의 길이 방향과 평행하도록, 그 검사공(64)의 좌우 양측의 한쪽에 설치되며, 그 일단이 조정 모터(68')의 출력 축에 접속되어 있다. 또한, 리니어 가이드(68)의 슬라이더는, 이 슬라이드 레일에 슬라이드 가능하게 설치되며, 또한 또 하나의 광학 측정 유닛(8)이, 이 리니어 가이드(68)의 슬라이더에 취부되며, 그 촬상 범위가 검사공(64)과 대향하는 동시에, 검사공(64)의 형성 범위 내에 있다.The slide rails of the linear guides 68 corresponding to the inspecting holes 64 which are long holes are provided on either side of the left and right sides of the inspection holes 64 so that the longitudinal direction thereof is parallel to the longitudinal direction of the inspection holes 64 , And one end thereof is connected to the output shaft of the adjustment motor 68 '. The slider of the linear guide 68 is slidably mounted on the slide rail and another optical measuring unit 8 is attached to the slider of the linear guide 68. When the imaging range is checked Is opposed to the hole 64 and is within the forming range of the inspection hole 64.

긴 구멍인 검사공(65)에 대응하는 리니어 가이드(69)는, 제 1 리니어 가이드부(69-1)와 제 2 리니어 가이드부(69-2)로 이루어진다. 제 1 리니어 가이드부(69-1)의 슬라이드 레일은 검사공(65)의 윗 방향에 수평 방향으로 설치되며, 또한, 그 일단이 조정 모터(69') 가운데 하나의 조정 모터(69-1')의 출력 축에 접속되어 있다. 제 1 리니어 가이드부(69-1)의 슬라이더는, 이 슬라이드 레일에 슬라이드 가능하게 설치되어 있다. 또한, 제 2 리니어 가이드부(69-2)의 슬라이드 레일의 일단은 제 1 리니어 가이드부(69-1)의 슬라이더에 취부되며, 타단은 조정 모터(69') 가운데 또 하나의 조정 모터(69-2')의 출력 축에 접속되어 있다. 그리고, 제 2 리니어 가이드부(69-2)의 슬라이드 레일은, 그 길이 방향이 수평 방향에 대해서 수직인 한편 검사대 본체의 뒷면에 평행하도록 구성되며, 제 2 리니어 가이드부(69-2)의 슬라이더는, 제 2 리니어 가이드부(69-2)의 슬라이드 레일에 슬라이드 가능하게 설치되어 있다. 또한, 광학 측정 유닛(8)은, 제 2 리니어 가이드부(69-2)의 슬라이더에 취부되며, 그 촬상 범위가 검사공(65)과 대향하는 동시에, 검사공(65)의 범위 내에 있다.The linear guide 69 corresponding to the inspecting hole 65 which is an elongated hole comprises the first linear guide portion 69-1 and the second linear guide portion 69-2. The slide rail of the first linear guide portion 69-1 is installed horizontally in the upper direction of the inspection hole 65 and one end of the slide rail is fixed to one of the adjustment motors 69 ' To the output shaft. The slider of the first linear guide portion 69-1 is slidably provided on the slide rail. One end of the slide rail of the second linear guide portion 69-2 is attached to the slider of the first linear guide portion 69-1 and the other end of the slide rail is attached to another adjustment motor 69 ' -2 '). The slide rail of the second linear guide portion 69-2 is configured so that its longitudinal direction is perpendicular to the horizontal direction and parallel to the back surface of the inspection table main body, Is slidably mounted on the slide rail of the second linear guide portion 69-2. The optical measuring unit 8 is attached to the slider of the second linear guide portion 69-2 and its imaging range is opposed to the inspection hole 65 and is within the range of the inspection hole 65. [

조정 모터(66', 67', 68', 69'(69-1', 69-2'))는 서보 모터이며, 도시하지 않은 제어 유닛과 접속되어 있다. 조정 모터(66', 67', 68', 69')는, 제어 유닛에 의해 조작자가 입력한 파라미터에 근거하여 제어됨으로써, 각 리니어 가이드를 제어하여, 각 광학 측정 유닛(8)을 소망한 위치로 이동시키도록 작동한다.The adjustment motors 66 ', 67', 68 ', 69' (69-1 ', 69-2') are servo motors and are connected to a control unit not shown. The adjustment motors 66 ', 67', 68 ', 69' are controlled based on the parameters inputted by the operator by the control unit, thereby controlling the respective linear guides so that each optical measurement unit 8 is moved to a desired position Lt; / RTI &gt;

커버(7)는, 힌지(9)를 거쳐, 검사대(6)의 전후 방향으로 보고 전면에 개폐 가능하게 취부되어 있다. 도 1a에 나타내는 바와 같이, 커버(7)는 열리고 있을 때에 검사대(6)의 재치 영역을 개방한다. 그리고, 도 1b에 나타내는 바와 같이, 커버(7)는 닫히고 있을 때에 검사대(6)의 재치 영역을 차폐한다.The cover 7 is attached to the front face of the examination table 6 via a hinge 9 so as to be openable and closable. As shown in Fig. 1A, when the cover 7 is opened, the placement area of the examination table 6 is opened. Then, as shown in Fig. 1B, the cover 7 shuts off the placement area of the inspection table 6 when the cover 7 is closed.

4개의 광학 측정 유닛(8)은, 각각 검사대(6)의 전후 방향으로 보고 뒷면에 설치되며, 상술과 같이, 대응하는 검사공과 대향하도록 구성되어 있다. 첩합물(F)이 첩부된 기판(C)을 검사대(6)에 재치하는 경우에는, 기판(C) 및 첩합물(F)의 네 모퉁이는 각각 4개의 검사공(62, 63, 64, 65)의 범위 내에 위치하고, 4개의 광학 측정 유닛(8)은, 각각 기판(C) 및 첩합물(F)의 네 모퉁이와 대향하고, 해당 네 모퉁이에 있어서, 검사공을 거쳐 첩합물(F)의 변연과 해당 첩합물(F)의 해당 변연에 평행한 기판(C)의 변연과의 사이의 거리를 광학적으로 측정한다(도 6 참조).Each of the four optical measurement units 8 is provided on the back surface of the inspection table 6 in the front-rear direction and is configured to face the corresponding inspection hole as described above. Four corners of the substrate C and the concavity F are respectively provided with four inspection holes 62, 63, 64, and 65, respectively, when the substrate C to which the dross F is attached is placed on the inspection table 6 And the four optical measurement units 8 are located at the four corners of the substrate C and the coplanar F and are located at the four corners of the coplanar F The distance between the margins and the margins of the substrate C parallel to the margins of the corresponding mates F is optically measured (see Fig. 6).

도 5는, 첩부 위치 검사 장치의 광학 측정 유닛(8)의 구조를 나타내는 설명도이다.5 is an explanatory view showing the structure of the optical measurement unit 8 of the adhesive position inspection apparatus.

도 5에 나타내는 바와 같이, 4개의 광학 측정 유닛(8)의 각각은, 취부 브래킷(80)과, 고리형 광원(81)과, CCD 카메라(82)와, 화상 처리 수단(83)을 가진다.5, each of the four optical measurement units 8 has a mounting bracket 80, a ring-shaped light source 81, a CCD camera 82, and an image processing means 83. As shown in Fig.

취부 브래킷(80)은, 상술과 같이, 대응하는 리니어 가이드(부호(66, 67, 68, 69(69-1, 69-2))를 참조)의 슬라이더에 고정되어 있으며, 이 슬라이더와 함께 슬라이드 레일에 따라 이동할 수 있다.The mounting bracket 80 is fixed to the slider of the corresponding linear guide (see reference numeral 66, 67, 68, 69 (69-1, 69-2)) as described above, Can be moved according to the rail.

고리형 광원(81)이 취부 브래킷(80)에 취부되는 한편 그 발광면이 검사대 본체에 있어서의 대응하는 검사공(부호 62, 63, 64, 65를 참조)과 대향하고, 해당 검사공을 거쳐, 기판(C) 및 첩합물(F)의, 해당 검사공의 형성 범위에 있는 부분에 빛을 조사한다.The annular light source 81 is mounted on the mounting bracket 80 and its light emitting surface is opposed to the corresponding inspection hole (refer to reference numerals 62, 63, 64, 65) in the inspection table main body, , The substrate (C), and the conjoint matter (F) in the formation range of the inspection hole.

CCD 카메라(82)가, 홀더를 거쳐 취부 브래킷(80)에 취부되며, 또한, 고리형 광원(81)을 끼고 대응하는 검사공과는 반대 측에 설치되어 있다. 그리고, 카메라(82)의 촬상단인 렌즈는, 고리형 광원(81)의 중심구멍 및 대응하는 검사공을 거쳐, 기판(C) 및 첩합물(F)에 대면한다. CCD 카메라(82)는, 고리형 광원(81)으로부터 사출되며 기판(C) 및 첩합물(F)에 의해 렌즈의 방향으로 반사된 빛을 이용하여 기판(C) 및 첩합물(F)을 촬상하고, 기판(C) 및 첩합물(F)의 화상 신호를 생성하여, 그 화상 신호를 화상 처리 수단(83)에 송신한다.The CCD camera 82 is attached to the mounting bracket 80 via the holder and is provided on the side opposite to the corresponding inspection work with the annular light source 81 interposed therebetween. The lens that is the photographed upper end of the camera 82 faces the substrate C and the conjoint F via the central hole of the annular light source 81 and the corresponding inspection hole. The CCD camera 82 picks up the substrate C and the concavity F by using the light emitted from the annular light source 81 and reflected by the substrate C and the concavity F in the direction of the lens And generates an image signal of the substrate C and the conjoint matter F and transmits the image signal to the image processing means 83. [

화상 처리 수단(83)은, CCD 카메라(82), 제어 유닛, 및 표시 유닛(RD) 등과 접속되어 있으며, CCD 카메라(82)로부터의 화상 신호를 이용하여 첩합물(F)의 변연과 해당 첩합물(F)의 해당 변연에 평행한 기판(C)의 변연과의 사이의 거리(도 6의 부호 L1, L2를 참조)를 연산하는 동시에, 연산한 결과를 표시 유닛(RD)에 송신한다.The image processing means 83 is connected to the CCD camera 82, the control unit and the display unit RD and uses the image signal from the CCD camera 82 to determine the margins of the object F, (Refer to symbols L1 and L2 in FIG. 6) between the periphery of the substrate C parallel to the edge of the mixture F and the calculation result is transmitted to the display unit RD.

조작 패널(SD)은, 조작자가 첩부 위치 검사 장치를 온·오프(ON·OFF)로 하는 조작 버튼과, 그 조작자가 각종의 파라미터를 입력하는 터치식의 패널을 가진다.The operation panel SD has an operation button for allowing the operator to turn on / off the device for inspecting the adhesive patch position, and a touch panel for the operator to input various parameters.

표시 유닛(RD)은, 화상 처리 수단(83) 및 조작 패널(SD) 등과 접속되어 있으며, 화상 처리 수단(83)으로부터의 화상과 측정 결과, 조작자가 조작 패널(SD)로부터 입력한 파라미터를 표시한다.The display unit RD is connected to the image processing means 83 and the operation panel SD and displays the image and the measurement result from the image processing means 83 and the parameter inputted from the operation panel SD by the operator do.

제어 유닛은, 각 조정 모터(66', 67', 68', 69'(69-1', 69-2')), 고리형 광원(81), CCD 카메라(82), 화상 처리 수단(83), 조작 패널(SD), 표시 유닛(RD) 등에 접속되어 있으며, 주로, 1) 조작자가 조작 패널(SD)을 이용하여 입력한 파라미터를 수신하여 기억하는 작업과, 2) 상기 1)의 입력 파라미터에 따라 각 조정 모터(66', 67', 68', 69'(69-1', 69-2'))의 작동을 제어하는 작업과, 3) 화상 처리 수단(83)으로부터의 정보를 수신하여 기억하는 작업과, 4) 미리 저장한 제어 프로그램에 근거하여 고리형 광원(81), CCD 카메라(82) 및 화상 처리 수단(83)의 작동을 제어하는 작업과, 5) 표시 유닛(RD)을, 상기 1), 3)의 여러 가지의 파라미터, 그 외의 정보를 표시하도록 제어하는 작업을 행한다.The control unit includes a plurality of adjustment motors 66 ', 67', 68 ', 69' (69-1 ', 69-2'), an annular light source 81, a CCD camera 82, 1) an operation for receiving and storing a parameter input by an operator using the operation panel SD; 2) an operation for receiving and storing the parameters input by the operation panel SD; 3) controlling the operation of each adjustment motor 66 ', 67', 68 ', 69' (69-1 ', 69-2') according to the parameter, and 3) And 4) operation of controlling the operation of the annular light source 81, the CCD camera 82 and the image processing means 83 based on the previously stored control program, and 5) the operation of displaying the display unit RD ) Is controlled so as to display various parameters and the other information of the above 1) and 3).

<첩부 위치 검사 장치의 작동>&Lt; Operation of the adhesive position inspection apparatus >

도 6은, 고리형 조명에 의해 촬상한, 첩합물이 첩부된 기판의 화상을 나타내는 설명도이다. 도 7a 및 도 7b는 본 발명의 실시 형태에 있어서의 첩부 위치 검사 장치의 작동을 나타내는 플로우 도이다.Fig. 6 is an explanatory view showing an image of a substrate onto which a composite image is imaged by annular illumination. Figs. 7A and 7B are flow charts showing the operation of the patch position inspecting apparatus in the embodiment of the present invention. Fig.

이하, 도면을 참조하면서 본 발명의 실시 형태에 있어서의 첩부 위치 검사 장치의 작동을 설명한다.Hereinafter, the operation of the patch position inspection apparatus in the embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

[레시피 작성 플로우][Recipe creation flow]

우선, 도 7a에 나타내는 바와 같이, 조작자가 스텝(S10)에 있어서 조작 패널(SD)에 의해 첩부 위치 검사 장치를 온으로 한 후, 스텝(S11)으로 진행된다. 스텝(S11)에 있어서, 조작자는, 첩합물(F)이 첩부된 기판(C)을 검사대(6)에 있어서의 재치 영역에 세트한다.First, as shown in Fig. 7A, the operator turns on the patch position inspecting apparatus by the operation panel SD in step S10, and then proceeds to step S11. In step S11, the operator sets the substrate C to which the denture F has been attached in the placement area of the inspection table 6.

이때, CCD 카메라(82)는 제어 유닛의 제어에 의해 작동 상태로 전환되며, 재치 영역에 세트한 기판(C) 및 첩합물(F)을 촬상하여, 촬상한 화상을 표시 유닛(RD)에 표시한다.At this time, the CCD camera 82 is switched to the operating state under the control of the control unit, captures the board C and the conjoined object F set in the placement area, displays the sensed image on the display unit RD do.

계속해서, 스텝(S12)에 있어서, 조작자는, 표시 유닛(RD)에 표시된 화상을 보면서, 패널(SD)을 조작함으로써 광학 측정 유닛(8)이 이동하는 목표치를 입력하여, 기판(C) 및 첩합물(F)의 변연이 촬상 범위에 들어가도록 각 광학 측정 유닛(8)의 위치를 조정한다.Subsequently, in step S12, the operator inputs the target value to which the optical measurement unit 8 is moved by operating the panel SD while viewing the image displayed on the display unit RD, The position of each optical measurement unit 8 is adjusted such that the margins of the conjoint F are in the imaging range.

그리고, 기판(C) 및 첩합물(F)의 변연이 촬상 범위에 들어간 후, 스텝(S13)으로 진행되어, 기판(C)의 변연과 해당 기판(C)의 해당 변연에 평행한 첩합물(F)의 변연과의 사이의 거리를 측정할 수 있는지 아닌지를 판단한다. 스텝(S13)에 있어서 측정을 할 수 없다고 판단한 경우에는, 스텝(S12)으로 돌아온다.After the margins of the substrate C and the fusing material F enter the imaging range, the process proceeds to step S13 where a process is performed in which the margins of the substrate C and the co- F can be measured. If it is determined in step S13 that measurement can not be performed, the flow returns to step S12.

한편, 스텝(S13)에 있어서 측정할 수 있다고 판단한 경우에는, 스텝(S14)으로 진행되어, 제어 유닛에 의해 상기의 기판(C)의 사이즈에 맞춘 레시피(D1)를 생성하는 동시에, 이 레시피(D1)와, 그것이 대응하는 각 광학 측정 유닛(8)의 각각의 위치를, 대응하여 기억한다.On the other hand, if it is determined in step S13 that the measurement can be made, the process proceeds to step S14 to generate a recipe D1 that matches the size of the substrate C by the control unit, D1 corresponding to each optical measurement unit 8 and the position of each optical measurement unit 8 corresponding thereto.

최후에 스텝(S15)으로 진행되고, 레시피의 작성을 종료한다. 또한, 스텝(S14)이 완료한 후에 스텝(S11)으로 돌아와, 첩합물(F)이 첩부된 다른 사이즈의 기판(C)을 검사대(6)에 있어서의 재치 영역에 세트하여 스텝(S12) ~ 스텝(S14)을 반복하고, 다른 사이즈에 맞춘 레시피(D2, D3, ……, Dn) 및 그것이 대응하는 각 광학 측정 유닛(8)의 위치를 결정하여 기억한다.Finally, the process proceeds to step S15, and the creation of the recipe is terminated. After the completion of the step S14, the process returns to the step S11 to set the substrate C having the different size to which the conjoint F is attached in the placement area of the examination table 6, Step S14 is repeated to determine and store the recipe D2, D3, ..., Dn corresponding to different sizes and the position of each optical measurement unit 8 corresponding thereto.

[품질 검사 플로우][Quality Inspection Flow]

우선, 도 7b에 나타내는 바와 같이, 조작자가 스텝(S20)에 있어서 조작 패널(SD)에 의해 첩부 위치 검사 장치를 온으로 한 후, 스텝(S21)으로 진행된다. 스텝(S21)에 있어서, 조작자는, 첩합물(F)이 첩부된 기판(C)을, 검사대(6)에 있어서의 재치 영역에 위치 결정한다.First, as shown in Fig. 7B, the operator turns on the patch position inspecting apparatus by the operation panel SD in step S20, and then proceeds to step S21. In step S21, the operator positions the substrate C to which the denture F is attached in the placement area of the inspection table 6. [

계속해서, 스텝(S22)에 있어서, 조작자는, 측정되는 기판(C)의 사이즈에 맞춘 레시피(Di)가 첩부 위치 검사 장치에 저장되어 있는지 아닌지를 판단한다.Subsequently, in step S22, the operator determines whether or not the recipe Di corresponding to the size of the substrate C to be measured is stored in the adhesive position inspecting apparatus.

스텝(S22)에 있어서 측정되는 기판(C)의 사이즈에 맞춘 레시피(Di)가 첩부 위치 검사 장치에 저장되어 있지 않다고 판단한 경우에는, 스텝(S23')으로 진행되어 「레시피 작성 플로우」로 돌아와, 스텝(S12) ~ 스텝(S15)의 조작을 행함으로써 레시피(Di)를 작성한다.If it is determined that the recipe Di that matches the size of the substrate C measured in step S22 is not stored in the adhesive position inspecting device, the process goes to step S23 'to return to the &quot; recipe creation flow & The recipe Di is created by performing the operations of step S12 to step S15.

한편, 스텝(S22)에 있어서 측정되는 기판(C)의 사이즈에 맞춘 레시피(Di)가 첩부 위치 검사 장치에 저장되어 있다고 판단한 경우에는, 스텝(S23)에 있어서, 조작자는, 조작 패널(SD)에 표시된 대응하는 레시피(Di)를 터치함으로써 이 레시피를 선택하여, 스텝(S24)으로 진행된다.On the other hand, when it is judged that the recipe Di corresponding to the size of the substrate C measured in step S22 is stored in the adhesive position inspecting apparatus, in step S23, The user selects this recipe by touching the corresponding recipe Di displayed in step S24 and proceeds to step S24.

스텝(S24)에 있어서, 제어 유닛은, 레시피(Di)에 맞춘 각 광학 측정 유닛(8)의 목표 위치 데이터를 독출한다. 그리고, 스텝(S24)의 처리가 완료한 후, 스텝(S25)으로 진행된다.In step S24, the control unit reads the target position data of each optical measurement unit 8 matched to the recipe Di. Then, after the process of step S24 is completed, the process proceeds to step S25.

스텝(S25)에 있어서, 제어 유닛은, 독출한 각 광학 측정 유닛(8)의 목표 위치 데이터에 따라, 제어 프로그램에 근거하여 각 조정 모터(66', 67', 68', 69')에 구동 지시를 송신하고, 각 조정 모터(66', 67', 68', 69')를 소정량만 회전시킴으로써 각 광학 측정 유닛(8)을 목표 위치까지 조정한다. 스텝(S25)의 처리가 완료한 후, 스텝(S26)으로 진행된다.In step S25, the control unit drives the adjustment motors 66 ', 67', 68 ', and 69' based on the control program in accordance with the target position data of the read optical measurement units 8 And controls each optical measurement unit 8 to the target position by rotating the respective adjustment motors 66 ', 67', 68 ', 69' by a predetermined amount. After the process of step S25 is completed, the process proceeds to step S26.

스텝(S26)에 있어서, 제어 유닛은, 각 광학 측정 유닛(8)의 고리형 광원(81), CCD 카메라(82)에 지시를 내려, 고리형 광원(81)을 발광시켜, CCD 카메라(82)가 촬상 동작을 행하도록 제어한다.In step S26, the control unit instructs the annular light source 81 and the CCD camera 82 of each optical measurement unit 8 to emit the annular light source 81, and the CCD camera 82 ) Performs the imaging operation.

계속해서, 스텝(S27)에 있어서, 제어 유닛은, CCD 카메라(82)가 촬상한 화상을 화상 처리 수단(83)에 송신하고, 기판(C)의 폭 방향 및 세로 방향에 대해서, 도 6에 나타내는 바와 같이, 화상 처리 수단(83)이 CCD 카메라(82)로부터의 화상 데이터로부터 기판(C)의 변연과 해당 기판(C)의 해당 변연에 평행한 첩합물(F)의 변연과의 사이의 거리(L1), 거리(L2)를 연산하도록 제어한다. 그리고, 스텝(S27)의 처리가 완료한 후, 스텝(S28)으로 진행된다.Subsequently, in step S27, the control unit transmits the image picked up by the CCD camera 82 to the image processing means 83, and as shown in Fig. 6 with respect to the width direction and the longitudinal direction of the substrate C The image processing means 83 determines whether or not the image data from the image data from the CCD camera 82 is the image data of the object C that is located between the margins of the substrate C and the margins of the object F parallel to the marginal edge of the substrate C The distance L1, and the distance L2. Then, after the process of step S27 is completed, the process proceeds to step S28.

스텝(S28)에 있어서, 제어 유닛은, 화상 처리 수단(83)의 연산 결과(거리(L1, L2))를 기억하는 동시에, 화상 처리 수단(83)의 연산 결과를 표시 유닛(RD)에 송신하도록 제어한다.In step S28, the control unit stores the calculation results (distances L1 and L2) of the image processing unit 83 and transmits the calculation results of the image processing unit 83 to the display unit RD .

최후에, 스텝(S28)의 처리가 완료한 후, 스텝(S29)으로 진행되어 첩부 위치 검사 장치를 오프로 하여, 품질 검사를 종료한다.Finally, after the process of step S28 is completed, the process goes to step S29 to turn off the adhesive position inspection apparatus and end the quality inspection.

<첩부 위치 검사 장치의 효과>&Lt; Effect of the patch position inspection apparatus &

본 발명에 의하면, 4개의 광학 측정 유닛(8)에 의해, 네 모퉁이에 있어서 첩합물(F)(예를 들면, 편광 필름)의 변연과 해당 첩합물(F)의 변연에 평행한 기판(C)(예를 들면, 유리 기판)의 변연과의 사이의 거리를 각각 광학 측정할 수 있으므로, 네 변이 각각 직사각형 형태의 기판(C)의 네 변과 평행하도록 첩합된 직사각형 형태의 첩합물(F)의 해당 기판(C) 상에 있어서의 첩부 위치의 검사 정밀도를 향상시킬 수 있는 첩부 위치 검사 장치를 얻을 수 있다.According to the present invention, the four optical measuring units 8 are arranged at the four corners of a substrate C (for example, a polarizing film) parallel to the margins of the concavity F and the margins of the concavity F ) Can be optically measured, respectively. Therefore, it is possible to optically measure the distance between the edge of the substrate (C) and the edge of the substrate (C) It is possible to obtain a bonding position inspection apparatus capable of improving the inspection precision of the bonding position on the substrate C of the bonding pad.

또한, 광학 측정 유닛(8)을 검사대(6)의 뒷면에 설치함으로써, 첩합물의 첩부된 기판이 검사대에 대해서 재치 또는 취출되는 때에, 그 기판이 광학 측정 유닛과 간섭하는 것을 방지할 수 있다. 그리고, 검사대의 전면에 개폐 가능한 커버를 설치함으로써, 검사 과정에 있어서 이 커버를 닫을 수가 있고, 광학 측정 유닛에 의한 첩합물의 첩부 위치의 측정을 보다 정확하게 할 수 있다.In addition, by providing the optical measurement unit 8 on the back surface of the inspection table 6, it is possible to prevent the substrate from interfering with the optical measurement unit when the substrate to which the composite is attached is mounted on or taken out of the inspection table. By providing a cover that can be opened and closed on the front surface of the inspection table, the cover can be closed during the inspection process, and the measurement of the attachment position of the compound by the optical measurement unit can be more accurately performed.

<변형예><Modifications>

이상, 본 발명을 실시하기 위한 형태를 예시적으로 설명했지만, 본 발명은 이상과 같은 실시 형태에 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 사상을 일탈하는 것 없는 범위 내에 있어서 여러 가지의 변경이 가능하고, 이러한 변경도 본 발명의 범위에 포함된다.Although the embodiments for carrying out the present invention have been exemplarily described above, the present invention is not limited to the above embodiments. Various modifications may be made without departing from the spirit of the present invention, and such modifications are also included in the scope of the present invention.

예를 들면, 상기의 실시 형태에 있어서, 각 광학 측정 유닛(8)은, 리니어 가이드(66, 67, 68, 69)를 거쳐 검사대(6)의 뒷면에 슬라이드 가능하게 설치되어 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 각 광학 측정 유닛(8) 가운데 하나 또는 복수를 즉시 검사대(6)의 뒷면에 취부해도 좋다.For example, in the above-described embodiment, each optical measurement unit 8 is slidably provided on the back surface of the inspection table 6 via the linear guides 66, 67, 68, and 69, One or a plurality of optical measuring units 8 may be immediately attached to the back surface of the inspection table 6. [

이 경우에는, 조정 모터(66', 67', 68', 69'(69-1', 69-2'))를 생략하는 것이 가능하다.In this case, it is possible to omit the adjustment motors 66 ', 67', 68 ', 69' (69-1 ', 69-2').

또한, 상기의 실시 형태에 있어서, 검사공(65) 부근의 광학 측정 유닛(8)을 이 검사공(65)의 길이 방향에 따라 이동시키는 수단으로서는, 제 1 리니어 가이드부(69-1)와 제 2 리니어 가이드부(69-2)로 이루어지는 리니어 가이드(69)를 사용하고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 슬라이드 레일의 길이 방향이 검사공(65)의 길이 방향과 일치하는 리니어 가이드를, 이 검사공(65) 부근에 설치하고, 검사공(65) 부근의 광학 측정 유닛(8)을 이 리니어 가이드의 슬라이더에 취부해도 좋다.As means for moving the optical measuring unit 8 in the vicinity of the inspection hole 65 along the longitudinal direction of the inspection hole 65 in the above embodiment, the first linear guide portion 69-1 The linear guide 69 composed of the second linear guide portion 69-2 is used. However, the present invention is not limited to this, and a linear guide whose lengthwise direction coincides with the longitudinal direction of the inspection hole 65, The optical measuring unit 8 in the vicinity of the inspection hole 65 may be mounted on the slider of the linear guide.

또한, 상기의 실시 형태에 있어서, 대응하는 리니어 가이드의 슬라이드 레일에 출력 축이 접속되어 있는 조정 모터를 설치하여, 그 조정 모터에 의해, 각 광학 측정 유닛(8)의 위치를 자동적으로 조정하도록 구성하고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 조정 모터를 생략하고, 각 광학 측정 유닛(8)의 위치를 수동적으로 조정하도록 해도 좋다.Further, in the above embodiment, it is also possible to provide an adjustment motor in which an output shaft is connected to a slide rail of a corresponding linear guide, and adjust the position of each optical measurement unit 8 automatically by the adjustment motor However, the present invention is not limited to this, and the position of each optical measurement unit 8 may be manually adjusted by omitting the adjustment motor.

또한, 상기의 실시 형태에 있어서, 각 광학 측정 유닛(8), 각 리니어 가이드(66, 67, 68, 69) 및 각 조정 모터(66', 67', 68', 69')는, 검사대(6)의 뒷면에 설치되어 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 검사대(6)와 대향하는 한편 검사대(6)의 전면과 소정의 간격을 두는 취부 프레임을 해당 검사대(6)의 전면에 설치하고, 각 리니어 가이드(66, 67, 68, 69) 및 각 조정 모터(66', 67', 68', 69')를 해당 취부 프레임에 취부하며, 각 광학 측정 유닛(8)을 대응하는 리니어 가이드의 슬라이더에 설치해도 좋다. 즉, 각 광학 측정 유닛(8), 각 리니어 가이드(66, 67, 68, 69) 및 각 조정 모터(66', 67', 68', 69')를, 검사대(6)의 전면에 설치하는 것도 가능하다.The optical measuring unit 8, the linear guides 66, 67, 68 and 69 and the adjusting motors 66 ', 67', 68 'and 69' 6, but the present invention is not limited to this. A mounting frame opposing the inspection table 6 and spaced apart from the front surface of the inspection table 6 is provided on the front surface of the inspection table 6 and the respective linear guides 66, 67, 68, 69, (66 ', 67', 68 ', 69') may be mounted on the mounting frame, and each optical measuring unit 8 may be provided on the slider of the corresponding linear guide. That is, the optical measuring unit 8, the linear guides 66, 67, 68, 69 and the adjusting motors 66 ', 67', 68 ', 69' It is also possible.

이 경우에는, 검사대(6)에 형성되는 검사공(62, 63, 64, 65) 및 검사대(6)에 취부되는 커버(7)를 생략하는 것이 가능하다.In this case, it is possible to omit the inspection holes 62, 63, 64, 65 formed in the inspection table 6 and the cover 7 attached to the inspection table 6. [

또한, 상기의 실시 형태에 있어서, 각 광학 측정 유닛(8), 각 리니어 가이드(66, 67, 68, 69) 및 각 조정 모터(66', 67', 68', 69')는, 검사대(6)의 뒷면에 설치되어 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 각 리니어 가이드(66, 67, 68, 69) 및 각 조정 모터(66', 67', 68', 69') 등의 설치를 생략하고, 검사대(6)의 전면에 해당 검사대(6)와 대향하는 한편 해당 검사대(6)의 전면과 소정의 간격을 두는 취부 프레임을 설치하고, 각 광학 측정 유닛(8)을 취부 프레임을 거쳐 검사대(6)에 취부해도 좋다. 즉, 각 광학 측정 유닛(8)을 검사대(6)의 전면에 설치할 수 있다.The optical measuring unit 8, the linear guides 66, 67, 68 and 69 and the adjusting motors 66 ', 67', 68 'and 69' 6, but the present invention is not limited to this. It is possible to omit the installation of the linear guides 66, 67, 68 and 69 and the adjustment motors 66 ', 67', 68 'and 69' A mounting frame spaced apart from the front surface of the inspection table 6 may be provided and each optical measurement unit 8 may be attached to the inspection table 6 via the mounting frame. That is, each of the optical measurement units 8 can be provided on the front surface of the inspection table 6.

이 경우에는, 검사대(6)에 형성되는 검사공(62, 63, 64, 65) 및 검사대(6)에 취부되는 커버(7)를 생략하는 것이 가능하다.In this case, it is possible to omit the inspection holes 62, 63, 64, 65 formed in the inspection table 6 and the cover 7 attached to the inspection table 6. [

또한, 상기의 실시 형태에 있어서, 커버(7)는, 힌지를 거쳐 검사대(6)에 취부되어 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 검사대(6) 및 커버(7)의 한쪽에 슬라이드 레일을 설치하며, 다른 쪽에 슬라이더를 설치하며, 커버(7)는, 슬라이더를 슬라이드 레일에 대해 슬라이드 가능하게 취부함으로써, 검사대(6)에 대해서 개폐할 수 있도록 구성할 수도 있다.In the above embodiment, the cover 7 is attached to the inspection table 6 via the hinge, but the present invention is not limited thereto. A slide rail is provided on one side of the inspection table 6 and a cover 7 and a slider is provided on the other side of the inspection table 6 and the cover 7 is slidably mounted on the slide rail, Or the like.

5. 지지 프레임
6. 검사대
7. 커버
8. 광학 측정 유닛
9. 힌지
60, 61. 위치 결정판
62, 63, 64, 65. 검사공
66, 67, 68, 69. 리니어 가이드(레일 기구)
66', 67', 68', 69'. 조정 모터(구동 유닛)
80. 취부 브래킷
81. 고리형 광원(광원)
82. CCD 카메라(촬상 수단)
83. 화상 처리 수단
C. 기판
F. 첩합물
L1, L2. 기판의 변연과 해당 기판의 해당 변연에 평행한 첩합물의 변연과의 사이의 거리
SD. 조작 패널
RD. 표시 유닛(측정 결과 표시 유닛)5. Support frame
6. Examination table
7. Cover
8. Optical measuring unit
9. Hinge
60, 61. Positioning plate
62, 63, 64, 65. Inspection Ball
66, 67, 68, 69. Linear guide (rail mechanism)
66 ', 67', 68 ', 69'. The adjustment motor (drive unit)
80. Mounting bracket
81. Ring light source (light source)
82. A CCD camera (image pickup means)
83. Image processing means
C. Substrate
F. Adhesive
L1, L2. The distance between the margins of the substrate and the periphery of the collar parallel to the marginal edge of the substrate
SD. Operating panel
RD. Display unit (measurement result display unit)

Claims (10)

네 변이 각각 직사각형 형태의 기판의 네 변과 평행하도록 첩합된 직사각형 형태의 첩합물의 해당 기판상에 있어서의 첩부 위치를 검사하는 첩부 위치 검사 장치에 있어서,
상기 첩합물이 첩합된 상기 기판을 재치하는 재치 영역이 형성되는 검사대와,
상기 검사대에 취부되는 한편 상기 기판 및 첩합물의 네 모퉁이와 대향하여, 각각 해당 네 모퉁이에 있어서 상기 첩합물의 변연(邊緣)과 상기 첩합물의 해당 변연에 평행한 상기 기판의 변연과의 사이의 거리를 광학적으로 측정하는 4개의 광학 측정 유닛과,
4개의 상기 광학 측정 유닛에 접속되어 있으며, 4개의 상기 광학 측정 유닛의 각각에 의해 측정된 상기 거리를 측정 결과적으로 표시하는 측정 결과 표시 유닛을 갖추는 것을 특징으로 하는 첩부 위치 검사 장치.1. A device for inspecting a bonding position on a substrate of a rectangular-shaped hybridized product in which four sides are respectively parallel to four sides of a rectangular substrate,
A test table on which a placement area for placing the substrate to which the mating compound is bonded is formed,
The distance between the margins of the collet and the marginal edge of the substrate parallel to the marginal edge of the collet at the four corners of the collet and the four corners of the collet, And a second optical measuring unit,
And a measurement result display unit connected to the four optical measurement units and configured to display the distance measured by each of the four optical measurement units as a measurement result. 제 1항에 있어서,
상기 검사대의 전후 방향의 전면에 개폐 가능하게 취부되어 있으며, 열리고 있을 때에 상기 재치 영역을 개방하고, 또한 닫히고 있을 때에 상기 재치 영역을 차폐하는 커버를 더 갖추며,
상기 검사 대상에 있어서의 상기 재치 영역 내에는 전후 관통하는 4개의 검사공이 형성되며, 상기 기판 및 첩합물의 네 모퉁이는 각각 4개의 상기 검사공의 범위 내에 위치하고,
4개의 상기 광학 측정 유닛은, 각각 상기 검사대의 전후 방향에서의 뒷면에 취부되며, 또한 각각 4개의 상기 검사공과 대향하고 있는 것을 특징으로 하는 첩부 위치 검사 장치.The method according to claim 1,
Further comprising a cover which is openably and closably attached to the front surface in the front-rear direction of the examination table and which opens the placement area when it is being opened and shields the placement area when it is closed,
Four inspection holes penetrating back and forth are formed in the placement area of the object to be inspected, four corners of the substrate and the object are positioned within four inspection holes,
Wherein the four optical measurement units are attached to the back surface in the front-back direction of the inspection table, respectively, and are opposed to the four inspection holes, respectively. 제 2항에 있어서,
4개의 상기 광학 측정 유닛의 각각은,
4개의 상기 검사공 가운데 하나의 검사공과 대향하고, 해당 검사공을 거쳐, 상기 기판 및 상기 첩합물의 해당 검사공의 범위 내에 있는 부분에 빛을 조사하는 광원과,
상기 광원이 발광했을 때 상기 기판 및 첩합물에 의해 반사된 빛에 의해, 상기 기판 및 첩합물을 촬상하는 촬상 수단과,
상기 촬상 수단 및 상기 측정 결과 표시 유닛에 접속되어 있으며, 상기 촬상 수단에 의해 촬상된 화상으로부터 상기 첩합물의 변연과 해당 변연에 평행한 해당 기판의 변연과의 사이의 거리를 연산하고, 해당 거리를 상기 측정 결과 표시 유닛에 송신하는 화상 처리 수단을 가지는 것을 특징으로 하는 첩부 위치 검사 장치.3. The method of claim 2,
Each of the four optical measurement units includes:
A light source which opposes one of the four inspection holes and irradiates light to a portion of the substrate and the compound within the range of the inspection hole through the inspection hole;
Image pickup means for picking up the substrate and the cohesive material by the light reflected by the substrate and the coplanar when the light source emits light;
Calculating a distance between a marginal edge of the collet and the marginal edge of the substrate parallel to the marginal edge from an image picked up by the image sensing means and connected to the imaging means and the measurement result display unit, And an image processing means for transmitting the measurement result to the measurement result display unit. 제 3항에 있어서,
상기 촬상 수단은, 상기 광원을 끼고 상기 검사공과는 반대 측에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 첩부 위치 검사 장치.The method of claim 3,
Wherein the imaging unit is provided on the side opposite to the inspection room with the light source interposed therebetween. 제 2항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,
4개의 상기 검사공 가운데 하나는 원형 구멍으로, 해당 원형 구멍과 인접한 다른 2개의 검사공은 길이 방향이 서로 수직의 관계에 있고 연장선이 해당 원형 구멍을 통과하는 긴 구멍으로, 해당 원형 구멍과 대각선 위치에 있는 검사공은 상기 다른 2개의 검사공에 대해 경사지게 형성되는 한편 연장선이 해당 원형 구멍을 통과하는 긴 구멍이고,
상기 검사대는, 긴 구멍인 상기 검사공의 각각의 부근에 레일 기구를 갖추며, 긴 구멍인 상기 검사공과 대향하는 상기 광학 측정 유닛은, 각각 대응하는 상기 검사공의 길이 방향에 따라 이동할 수 있도록, 대응하는 상기 레일 기구에 슬라이드 가능하게 취부되어 있는 것을 특징으로 하는 첩부 위치 검사 장치.5. The method according to any one of claims 2 to 4,
One of the four inspection holes is a circular hole, and the other two inspection holes adjacent to the circular hole are perpendicular to each other in the longitudinal direction, and an extension line is an elongated hole passing through the corresponding circular hole, And the extension line is an elongated hole passing through the corresponding circular hole,
Wherein the inspection table is provided with a rail mechanism in the vicinity of each of the inspection holes which are long holes and the optical measurement unit facing the inspection hole having a long hole is provided with a countermeasure so as to be movable along the longitudinal direction of the corresponding inspection hole, Is attached to the rail mechanism in a slidable manner. 제 5항에 있어서,
상기 검사대는 원형 구멍인 상기 검사공의 부근에 레일 기구를 갖추며, 원형 구멍인 상기 검사공과 대향하는 상기 광학 측정 유닛은, 해당 원형 구멍의 형성 범위 내에서 이동할 수 있도록 해당 레일 기구에 슬라이드 가능하게 취부되어 있는 것을 특징으로 하는 첩부 위치 검사 장치.6. The method of claim 5,
Wherein the inspection table is provided with a rail mechanism in the vicinity of the inspection hole having a circular hole and the optical measurement unit facing the inspection hole having a circular hole is slidably mounted on the rail mechanism so as to be movable within a range of forming the corresponding circular hole Wherein the device is provided with an attachment position inspection device. 제 6항에 있어서,
상기 검사대는, 각 상기 레일 기구와 대응하여 설치된, 대응하는 광학 측정 유닛을 상기 레일 기구에 따라 이동하도록 구동하는 구동 유닛을 더 갖추며,
각 상기 광학 측정 유닛을 소망한 위치까지 이동시키도록 상기 구동 유닛을 제어하는 제어 유닛을 더 갖추고 있는 것을 특징으로 하는 첩부 위치 검사 장치.The method according to claim 6,
The inspection table further comprises a drive unit which is provided in correspondence with each of the rail mechanisms and drives the corresponding optical measurement unit to move along the rail mechanism,
And a control unit for controlling the drive unit to move each of the optical measurement units to a desired position. 제 1항에 있어서,
상기 커버는, 경첩을 거쳐 상기 검사대에 개폐 가능하게 취부되어 있는 것을 특징으로 첩부 위치 검사 장치.The method according to claim 1,
Wherein the cover is attached to the inspection table via a hinge so as to be openable and closable. 제 1항에 있어서,
상기 검사대 및 상기 커버의 한쪽에 슬라이드 레일을 갖추며, 다른 쪽에 슬라이더를 갖추며,
상기 커버는, 상기 슬라이더를 상기 슬라이드 레일에 대해 슬라이드 가능하게 취부함으로써, 상기 검사대에 대해서 개폐할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 첩부 위치 검사 장치.The method according to claim 1,
A slide rail is provided on one side of the inspection table and the cover, and a slider is provided on the other side,
Wherein the cover is configured to be opened and closed with respect to the examination table by slidably attaching the slider to the slide rail. 제 1항에 있어서,
상기 검사대의 전면에는, 해당 검사대로 대향하는 한편 해당 검사대의 전면과 소정의 간격을 두는 취부 프레임이 설치되어 있고, 4개의 상기 광학 측정 유닛은 각각 해당 취부 프레임을 거쳐 상기 검사대에 취부되어 있는 것을 특징으로 하는 첩부 위치 검사 장치.The method according to claim 1,
The front surface of the examination table is provided with a mounting frame opposed to the examination table and spaced apart from the front surface of the examination table by a predetermined distance and each of the four optical measurement units is attached to the examination table via a corresponding mounting frame The apparatus comprising:
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