JP2006250783A - Macro inspection device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、被検体基板に照明光を照射して欠陥検査を行なうマクロ検査装置に関する。 The present invention relates to a macro inspection apparatus that performs defect inspection by irradiating an object substrate with illumination light.
従来、例えば液晶ディスプレイの液晶基板などの基板を被検体として、表面に検査用の照明光を当てて欠陥検査を行なうマクロ検査装置が知られている。
例えば、特許文献1には、起立した観察者の前方に、被検体としてのガラス基板を斜めに立てかけ、検査装置の上部に固定されたマクロ検査用照明装置により上方から基板に向けて照明光を照射し、その反射光を観察者が目視で観察することでガラス基板上の欠陥を検査するマクロ検査装置が記載されている。
このような装置においては、ガラス基板を保持するマクロ検査用ホルダを前後方向に傾動制御または揺動制御する制御部に対して操作入力を行なう操作部が、制御用PCやモニタが設置されている装置前面の右端、左端に設置される。
For example, in
In such an apparatus, a control PC and a monitor are installed as an operation unit for performing an operation input to a control unit that performs tilt control or swing control of the macro inspection holder that holds the glass substrate in the front-rear direction. Installed at the right and left ends of the front of the device.
しかしながら、上記のような従来のマクロ検査装置には以下のような問題があった。
特許文献1に記載の技術では、マクロ検査用照明装置が検査装置の上部に固定され、被検体基板の前面を照明するようになっているが、被検体基板が大きくなると、視野範囲が広くなるためにガラス基板に対して観察位置を移動させながら目視で観察する必要がある。ところが近年、液晶ディスプレイのマザーガラス基板は2000mmを超える大型化のものが出現し、観察のための移動範囲が広がると、例えば被検体基板の揺動、照明条件の変更などの操作を行なう操作部が遠くなり観察しながら操作することが難しくなるという問題がある。したがって、観察者が操作部から離れた位置で観察する場合、観察位置から操作部まで移動しなければならず、作業性や検査効率が悪化するという問題がある。
However, the conventional macro inspection apparatus as described above has the following problems.
In the technique disclosed in
本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、観察位置を被検体基板に沿って移動しても、マクロ操作に必要な操作を容易に行なうことができ、大型の被検体基板を効率的に検査することができるマクロ検査装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and even if the observation position is moved along the subject substrate, operations necessary for macro operation can be easily performed, and a large subject An object of the present invention is to provide a macro inspection apparatus capable of efficiently inspecting a substrate.
上記の課題を解決するために、本発明では、被検体基板に照明光を照射して欠陥検査を行なうマクロ検査装置であって、被検体基板に照明光を照射する照明ユニットと、前記照明光に対して、被検体基板をマクロ検査に適した傾斜角度に回動する基板保持部と、観察者が前記基板保持部に保持された被検体基板に対してマクロ検査を行なう操作部とを備え、該操作部が、前記被検体基板を目視観察するための開口部に沿って移動可能に設けられた構成とする。 In order to solve the above problems, in the present invention, a macro inspection apparatus that performs defect inspection by irradiating a subject substrate with illumination light, the illumination unit irradiating the subject substrate with illumination light, and the illumination light In contrast, a substrate holder that rotates the subject substrate at an inclination angle suitable for macro inspection, and an operation unit that allows an observer to perform macro inspection on the subject substrate held by the substrate holder. The operation unit is configured to be movable along an opening for visually observing the subject substrate.
この発明によれば、基板保持部に保持された被検体基板を制御するための操作入力が可能とされた操作部を被検体基板に対して移動可能に設けるので、観察者が被検体基板に沿って観察位置を移動しても、操作部を観察位置に移動することにより、被検体基板のマクロ観察に必要な操作を容易に行なうことができ、効率的にマクロ検査を行なうことができる。 According to the present invention, since the operation unit capable of performing an operation input for controlling the subject substrate held by the substrate holding unit is movably provided with respect to the subject substrate, the observer can attach the subject substrate to the subject substrate. Even if the observation position is moved along, the operation unit is moved to the observation position, whereby the operation necessary for macro observation of the subject substrate can be easily performed, and the macro inspection can be performed efficiently.
以下では、本発明の実施の形態について添付図面を参照して説明する。すべての図面において、実施形態が異なる場合であっても、同一または相当する部材には同一の符号を付し、共通する説明は省略する。
本発明の実施形態に係るマクロ検査装置について説明する。
図1は、本発明の実施形態に係るマクロ検査装置の概略構成を説明するための側面視の模式説明図である。図2は、本発明の実施形態に係るマクロ検査装置の概略構成を説明するための正面視(図1のA視)の模式説明図である。図3は、本発明の実施形態に係る操作部の概略構成を説明するための斜視説明図である。
なお、方向の参照の便宜のために各図に共通のXYZ座標系を示した。Z軸方向は鉛直方向、X軸方向は正面視左右方向、Y軸は正面視奥行き方向であり、観察者12は、正面位置でY軸正方向側を向いて装置に対している。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In all the drawings, even if the embodiments are different, the same or corresponding members are denoted by the same reference numerals, and common description is omitted.
A macro inspection apparatus according to an embodiment of the present invention will be described.
FIG. 1 is a schematic explanatory view in a side view for explaining a schematic configuration of a macro inspection apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a schematic explanatory diagram of a front view (view A in FIG. 1) for explaining a schematic configuration of the macro inspection apparatus according to the embodiment of the present invention. FIG. 3 is a perspective explanatory view for explaining a schematic configuration of the operation unit according to the embodiment of the present invention.
For convenience of referring to the directions, a common XYZ coordinate system is shown in each figure. The Z-axis direction is the vertical direction, the X-axis direction is the left-right direction of the front view, the Y-axis is the depth direction of the front view, and the
本実施形態のマクロ検査装置1は、液晶ディスプレイを複数枚製造するマザーガラス基板など、例えば1辺の長さが2m以上となるような大型の被検体基板の表面欠陥を観察者が目視観察することにより検査するものである。
その概略構成は、図1に示すように、装置本体7に、照明ユニット2、基板保持部5、顕微鏡6、ベース8、顕微鏡支持部9、制御部11、固定操作部11A、および可動操作部10(操作部)が設けられてなる。
In the
As shown in FIG. 1, the schematic configuration includes an apparatus
装置本体7は、各部材を所定位置に保持する骨組部、外周を覆うパネル部などからなり、図2に示すように、正面側に、中央部に観察者がガラス基板13(被検体基板)を観察するための矩形状の開口部7bを有する正面パネル7aが配置されている。
ガラス基板13は、例えば1辺が1500mm、2000mmを超える矩形状のマザーガラス基板であり、本実施形態ではガラス基板13の長手方向をX軸方向に向けて配置される。
The apparatus
The
照明ユニット2は、照明光Lを発光する光源部2A、照明光Lの光路を折り畳む反射ミラー2B、反射ミラー2Bで反射された照明光Lを収束光や散乱光に変換する照明光変換部2Cとからなる。この照明ユニット2は、大型のガラス基板の全面をマクロ照明するために、装置本体7の上部にX軸方向に移動可能に設けられている(図2参照)。
The
基板保持部5は、ガラス基板13を上面側で位置決めして吸着保持するもので、ベース8上に基端部が支持軸4により回動自在に支持され、回転機構(不図示)により水平状態から所定角度まで立ち上げられる。
本実施形態の基板保持部5では、ガラス基板13上の欠陥を目視で観察するに適した傾斜角度に回転させる回転移動機構を備える。
顕微鏡6は、ガラス基板13の表面の拡大像を観察するためのもので、水平に位置決めされた基板保持部5の上面に平行な平面内で2次元的に移動できるようになっている。顕微鏡支持部9は、ベース8上に設けられた一対のガイドレール上をY方向に走行させる門柱型に形成され、この水平アーム部に顕微鏡6がX方向に移動可能に設けられている。この顕微鏡支持部9をY方向に移動させ、顕微鏡6をX方向に移動させることにより、基板保持部5上に保持されたガラス基板13の全面を2次元走査することができる。
The
The
The microscope 6 is for observing an enlarged image of the surface of the
制御部11は、マクロ検査装置1の全体制御を行なうためのもので、操作入力に応じて、種々の制御信号を送出できるようになっている。
例えば制御部11は、照明ユニット2に対して照明光Lの光量、波長、照射位置、照射範囲などの照明条件の設定や、照明光Lを収束光と散乱光とに切替制御を行なう。
このうち、照射位置は、照明ユニット2全体をX軸方向に移動したりすることで可変できるようになっている。
また、収束光・散乱光の切替は、照明光変換部2Cにフレネルレンズで収束されたマクロ照明光を透過させる透明状態と散乱させる不透明状態に電気的に切換え可能な液晶散乱板を設けることにより切替可能となっている。
The
For example, the
Among these, the irradiation position can be changed by moving the
In addition, the switching between the convergent light and the scattered light is performed by providing a liquid crystal scattering plate that can be electrically switched between a transparent state in which the macro illumination light converged by the Fresnel lens is transmitted and an opaque state in which it is scattered in the illumination
固定操作部11Aは、制御部11に対して操作入力を行なうためのもので、正面パネル7aの前面の右端に固定配置されている。
例えば、モニタに表示される操作画面に従って、観察者12がキーボード、マウス、スイッチングボードなどの入力手段を介して操作入力を行なうことができるようになっている。
11 A of fixed operation parts are for performing operation input with respect to the
For example, according to the operation screen displayed on the monitor, the
可動操作部10は、観察者12がマクロ検査を行なうために必要な操作入力を、観察者12の移動位置で、行なえるようにしたもので、開口部7bの下端側にX軸方向に延されたガイド部材14に沿って可動に設けられている。
すなわち、図3に示すように、可動操作部10の筐体10bから側方に延された支持アーム10aに可動機構15が接続され、可動機構15がガイド部材14に対して移動可能に取り付けられている。
また、ガイド部材14の近傍の正面パネル7a上には、X軸方向に沿って適宜間隔をおいて、観察者12の移動位置を検知するための人体検知センサ24…(観察者位置検知部)が設けられている。
人体検知センサ24は、例えば、正面パネル7aの前方(Y軸負方向)の所定距離範囲に観察者12が来たとき、検知信号を発生して制御部11に通知する赤外線センサなどを採用することができる。
The
That is, as shown in FIG. 3, the
Further, on the
The human
可動機構15は、ガイド部材14と組み合わせてX軸方向に移動するための機構である。
本実施形態では、ガイド部材14を軌道とするリニアモータを採用している。
可動機構15の移動は、固定操作部11Aからの操作により、所定位置に移動することでも行なうことができるが、その他に自動運転モードと手動モードとが切り替えられるようになっている。
自動運転モードは、人体検知センサ24で観察者12の位置を検知し、その検知信号により制御部11が可動操作部10を自動的に観察者12の移動位置までの移動制御するモードである。
手動モードは、リニアモータの駆動制御が解除され、手動で可動操作部10をガイド部材14に沿う適宜位置に移動できるようにしたモードである。
自動運転モードと手動モードとの切替は、可動操作部10および固定操作部11Aからそれぞれ行なうことができるようになっている。
The
In this embodiment, a linear motor having the
The movement of the
The automatic operation mode is a mode in which the position of the
The manual mode is a mode in which the drive control of the linear motor is canceled and the
The automatic operation mode and the manual mode can be switched from the
筐体10bの上面には、ジョイスティック18a、18b、18c、ボタンスイッチ群19、20、非常停止スイッチ21が設けられ、前側(Y軸負方向)の側面には取っ手16、16と固定スイッチ17とが設けられている。
ジョイスティック18a、18b、18cは、基板保持部5、照明ユニット2、および顕微鏡6を移動し、それぞれ所望の位置、姿勢に設定するための操作入力手段である。
ジョイスティック18a、18b、18cは、ボタン入力、数値入力する場合に比べて感覚的に操作することができるので、本実施形態のように、観察者12がそれらの移動を視認しながらリアルタイムに位置を操作できるため、操作性を向上することができるという利点がある。
The
Since the
ボタンスイッチ群19、20は、照明条件などを含む特定の機能を切替選択したり、レベルを切り替えたりすることができるように設けた操作入力手段である。
例えば、照明条件の変更としては、照明ユニット2の照度を変更したり、光源部2Aのフィルタを切り替えて照明光Lの波長を変更したり、照明光変換部2Cを制御して収束光と散乱光とを切り替えたり、照明光変換部2Cの位置や絞りを切り替えて照明範囲を制限したりすることなどが挙げられる。
また、他の機能として、例えば、基板保持部5を反転移動できるようにした場合に、検査面を表面と裏面とに切り替えるために反転させたり、検査終了の際に基板保持部5の位置を初期化したり、ガラス基板13の吸着解除、搬出を制御したりすることなどが挙げられる。
また、可動機構15の自動運転モード、手動モードの切替も挙げることができる。
なお、ボタンスイッチ19、20は、観察者12が操作容易な操作入力手段であれば、他のスイッチを採用してもよい。例えば、ダイヤルスイッチ、レバースイッチなど適宜の操作入力手段を採用できる。
The
For example, the illumination condition can be changed by changing the illuminance of the
Further, as another function, for example, when the
In addition, switching between the automatic operation mode and the manual mode of the
The button switches 19 and 20 may employ other switches as long as the
非常停止スイッチ21は、非常時などための安全スイッチであり、例えば、全可動部を強制停止したり、通電を停止したりできるものである。
取っ手16は、手動モード時に、観察者12が把持して可動操作部10を動かすための部材である。
The
The
固定スイッチ17は、可動操作部10の位置の固定と固定解除とを切り替えるための操作入力手段である。そして、取っ手16に手を添えた状態で容易に操作できるように、取っ手16の近傍に配置されている。
可動操作部10の固定手段としては、可動機構15に対して、制御部11が移動禁止の制御信号を送るという手段を採用できる。
また、可動操作部10の固定手段としては、例えば、支持アーム10aとガイド部材14との間に機械的なクランプ機構を設けたり、マグネット吸着したりする手段を採用してもよい。
固定スイッチ17のスイッチの種類はどのようなものでもよいが、例えば、プッシュボタンスイッチ、トグルスイッチやレバースイッチなどが採用できる。
The fixed
As a means for fixing the
Moreover, as a fixing means of the
The switch of the fixed
次に、本実施形態のマクロ検査装置1の動作について、可動操作部10に関係した動作を中心に説明する。
マクロ検査装置1により、ガラス基板13を検査するには、不図示の搬送手段によりガラス基板13を基板保持部5上に配置して吸着保持する。
観察者12は、正面パネル7aの前に立ち、開口部7bからガラス基板13を目視観察して、ガラス基板13の傷、ほこり、膜ムラなど表面欠陥の有無を検査する。
微細な表面欠陥を効率よく検査するために、図1に示すように、照明ユニット2により上方からガラス基板13に向けて照明光Lを照射する。
このとき、観察者12は、可動操作部10のジョイスティック18aを操作して、上方より照明された照明光Lによってガラス基板13上の欠陥を良好に目視観察できる傾斜角度に基板保持部5を傾動させる。
そして、ガラス基板13上の欠陥がより観察しやすくなるように、ガラス基板13を目視しながら、ジョイスティック18aを操作して基板保持部5を上下方向に微動(揺動)させる。このとき、基板保持部5が様々な方向に揺動可能な機構を有していれば、ジョイスティック18aをXY方向に操作することにより、ガラス基板13に対する照明光Lの入射角度を様々な方向に変えながら表面欠陥を良好に観察することができる。
また、必要に応じて、ボタンスイッチ19などを操作して照明条件を変更して、表面欠陥を探すこともできる。
Next, the operation of the
In order to inspect the
The
In order to inspect fine surface defects efficiently, the
At this time, the
Then, while visually observing the
In addition, if necessary, the surface condition can be searched by operating the
表面欠陥を発見し詳細に観察した場合、ジョイスティック18aを操作して基板保持部5を水平な姿勢に戻し、顕微鏡保持部9と顕微鏡6を移動させるジョイスティック18cを操作して、顕微鏡6を表面欠陥の位置まで移動し、拡大画像を見ながら表面欠陥の詳細を検査することができる(ミクロ検査)。
When a surface defect is discovered and observed in detail, the
このようにして目視される範囲でマクロ検査を行なうことができるが、ガラス基板13が大型の場合、ガラス基板13の全範囲を視野に入れることは困難となるので、照明光の照射範囲を限定し、ガラス基板13の表面を分割して観察していく。
本実施形態では、少なくともX軸方向には観察範囲を分割し、ジョイスティック18cを操作して、照明ユニット2をX軸方向に移動させる。照明ユニット2の移動に合わせて観察者12も観察位置をX軸方向に移動する。このとき、可動操作部10をガイド部材14に沿って移動させ、可動操作部10上の各操作入力手段の位置が観察者12に対して略同様の位置関係を保つようにする。
そのため、観察者12が観察する位置に可動操作部10を移動させることができるため、観察者12は、移動した位置でマクロ検査に必要な操作を行なうことができ、観察位置をX軸方向に移動しても移動前と略同様の状態で目視観察を続けることができる。このように観察姿勢や操作性を同等に保って検査できるので、検査効率が向上するととも、観察者12に負担をかけることなく精度よくマクロ検査を行なうことができる。
In this way, the macro inspection can be performed within the visible range. However, when the
In the present embodiment, the observation range is divided at least in the X-axis direction, and the
Therefore, since the
ここで、可動操作部10の移動について説明する。
本実施形態では、可動操作部10または固定操作部11Aから操作入力することにより、可動操作部10を手動モードまたは自動運転モードで移動することができる。
手動モードでは、観察者12が取っ手16をつかんで、移動方向側に押すことで、可動操作部10を観察位置まで移動することができる。
この場合、観察者12が、可動操作部10を操作に好都合な位置に自由に移動することができるので、作業効率を向上することができる。
一方、固定スイッチ17を操作することにより、可動操作部10の位置を固定し、検査中に可動操作部10が不用意に移動することを防止できる。この場合、観察者12は取っ手16から手を離すことができるので好都合である。
移動を再開する場合は、固定スイッチ17を操作して、固定解除を行なう。固定スイッチ17は、取っ手16を把持した状態で操作できるように取っ手16の近傍に設けられているので、固定、固定解除、移動の各工程を片手で円滑に操作することができる。
Here, the movement of the
In this embodiment, the
In the manual mode, the
In this case, since the
On the other hand, by operating the fixed
When resuming the movement, the fixing
自動運転モードでは、観察者12が立っている位置を人体検知センサ24のいずれかが検知して、制御部11に検知信号を送り、制御部11により可動操作部10が自動的に観察者12の近傍位置に位置移動される。このとき、制御部11は、人体検知センサ24の検知信号により照明ユニット2を可動操作部10とともに移動させることも可能である。この自動運転モードによれば、可動操作部10は観察者12の移動に追従するから、可動操作部10を移動するために手を添えておく必要がない。また、観察者12が、観察位置を自由に移動しても、照明ユニット2と可動操作部10が観察者12に追従して移動するので、移動後ただちに基板保持部5の操作をしてマクロ検査を行なうことができるとともに、観察者12が可動操作部10を移動させる手間が省ける。そのため、検査効率を向上することができる。
なお、自動運転モードに設定されている場合でも固定スイッチ17の操作入力が優先されるようになっており、必要に応じて可動操作部10の位置を固定することができる。
In the automatic operation mode, any one of the human
Even when the automatic operation mode is set, the operation input of the fixed
観察者位置検出部としては、人体検知センサ24以外にも種々の手段を採用できる。
例えば、人体検知センサ24と同様に、観察者12を受動的な被検知体とする方式では、装置本体7に、レーザ距離計などの測距手段を設けて、それにより観察者12との距離を計測することで、観察者12の位置を検出する手段を採用してもよい。
この場合、異なる2箇所からの距離を計測できるようにすれば、観察者12の平面上での位置を特定できるから、検知誤差を低減し、誤検知を防止することができるという利点がある。
また、観察者12を能動的な被検知体とする方式では、観察者12が、例えば赤外線、電波、超音波などの信号発信器を身につけ、装置本体7側にそれらの受信部を設けて、位置検出する手段を採用することもできる。
Various means other than the human
For example, as in the case of the human
In this case, if the distance from two different places can be measured, the position of the
Further, in the system in which the
以上に述べたように、本実施形態のマクロ検査装置1によれば、ガイド部材14に沿って可動操作部10を移動することができるので、ガイド部材14を観察者12の移動方向に合わせて配置することにより、観察者12が観察位置を移動しても、操作しやすい位置に可動操作部10を移動させることができる。それにより検査の作業効率を向上することができるものである。
また、ガラス基板13を移動させなくてもよいので、移動させる場合に比べて、移動機構を削減できて簡素な装置とすることができる。また、装置の占有空間も低減できるので、比較的小型の装置とすることができる。
As described above, according to the
Moreover, since it is not necessary to move the
次に、本実施形態の変形例について説明する。
図4は、本発明の実施形態の変形例にかかるマクロ検査装置の概略構成について説明するための正面視の模式説明図である。
本変形例のマクロ検査装置100は、上記実施形態のマクロ検査装置1のガイド部材14に代えて、鉛直ガイド部材22(ガイド部材)、水平ガイド部材23A、23B(ガイド部材)を設けたものである。
Next, a modification of this embodiment will be described.
FIG. 4 is a schematic explanatory view in front view for explaining a schematic configuration of a macro inspection apparatus according to a modification of the embodiment of the present invention.
The
水平ガイド部材23A、23Bは、ガイド部材14と同様なリニアモータのガイドレールであり、それぞれ開口部7bの下端部、上端部近傍に平行に配置されている。
鉛直ガイド部材22は、両端部が水平ガイド部材23A、23B上でそれぞれに対して直交する方向(Z軸方向)に架橋され、Z軸方向を保って、X軸方向に平行移動できる構成とされている。
可動操作部10は、可動機構15を介して、鉛直ガイド部材22上にZ軸方向に移動可能に取り付けられている。
The
Both ends of the
The
そして、制御部11からの制御信号により、鉛直ガイド部材22を水平ガイド部材23A、23B上でX軸方向に移動させるとともに、可動操作部10を鉛直ガイド部材22上でZ軸方向に移動制御することにより、可動操作部10の位置を開口部7bの内側のZX平面上で2次元移動させることができるようになっている。
The
ここで、可動機構15と鉛直ガイド部材22との間には、可動操作部10の自重で下降しないようにストッパ機構が設けられている。
このため、本変形例では、可動操作部10に設けられた固定スイッチ17は、鉛直ガイド部材22の位置をX軸方向に固定するためのスイッチとなっている。
Here, a stopper mechanism is provided between the
For this reason, in this modification, the fixed
このような構成により、本変形例のマクロ検査装置100は、可動操作部10がZX平面内で2次元移動できるので、観察者12の検査姿勢や観察者12の身長に応じて可動操作部10を操作しやすい任意の位置に移動でき、良好な操作性を確保することができる。
例えば、ガラス基板13を、上記実施形態の配置から水平方向に90°回転させて配置し、Z軸方向の観察範囲がX軸方向の観察範囲より大きくなる構成では、建屋の高さに制限されZ軸方向へガラス基板13を移動することが難しくなるので、観察者12が鉛直方向に観察位置を変えることが好ましい。そのような場合に、本変形例を用いれば、可動操作部10を観察者12の鉛直方向の移動に合わせて容易に移動させることができ、良好な操作性を実現することができる。
なお、マクロ検査装置1の場合であっても、本変形例の2次元移動可能な構成を用いてもよいことは言うまでもない。この場合、観察者12が鉛直方向に細かく移動して観察を行なうことができるので、高精度な検査を効率よく行なうことができる。
With this configuration, in the
For example, in the configuration in which the
Needless to say, even in the case of the
また、本変形例では、可動操作部10がZX平面内を移動するので、観察者位置検知部は、観察者12のZX平面内の2次元の位置検出を行なう構成とすれば、上記実施形態と同様に自動運転モードを実現できる。
In the present modification, the
なお、上記の説明では、操作部の移動が、自動運転モードと手動モードとが切替可能な例で説明したが、いずれか一方のモードのみを有する構成としてもよい。
手動モードのみの装置は、観察者位置検知部が不要となり、操作部を移動するリニアモータなどの移動機構が不要となるので簡素かつ安価な装置とすることができる。
In the above description, the operation unit has been described as an example in which the operation mode can be switched between the automatic operation mode and the manual mode. However, the operation unit may have only one mode.
A device only in the manual mode does not require an observer position detection unit and does not require a moving mechanism such as a linear motor that moves the operation unit, and thus can be a simple and inexpensive device.
また、上記の説明では、長尺でも比較的高速に駆動できるように、可動機構15がリニアモータで構成される場合で説明したが、1軸方向に移動できれば、どのような機構を採用してもよい。
例えばガイド部材14を、断面が台形状のガイドレールとし、可動機構15を、ガイド部材14に嵌合して摺動するスライダとを組み合わせた構成としてもよい。
また、操作部の移動精度は、例えば数mm程度ばらついても操作性にはあまり影響しないので、移動機構の移動精度はこの程度でもよい。例えば、安価に製造できるタイミングベルト駆動機構などを採用してもよい。
In the above description, the
For example, the
Further, even if the movement accuracy of the operation unit varies, for example, by several millimeters, the operability is not greatly affected. For example, a timing belt drive mechanism that can be manufactured at low cost may be employed.
1、100 マクロ検査装置
2 照明ユニット
5 基板保持部
7a 正面パネル
10 可動操作部(操作部)
11 制御部
12 観察者
13 ガラス基板(被検体基板)
14 ガイド部材
15 可動機構
16 取っ手
17 固定スイッチ
18a、18b、18c ジョイスティック
19、20 ボタンスイッチ群
21 非常停止スイッチ
22 鉛直ガイド部材(ガイド部材)
23A、23B 水平ガイド部材
24 人体検知センサ(観察者位置検出部)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,100
11
14
23A, 23B
Claims (5)
被検体基板に照明光を照射する照明ユニットと、
前記照明光に対して、被検体基板をマクロ検査に適した傾斜角度に回動する基板保持部と、
観察者が前記基板保持部に保持された被検体基板に対してマクロ検査を行なう操作部とを備え、
該操作部が、前記被検体基板を目視観察するための開口部に沿って移動可能に設けられたことを特徴とするマクロ検査装置。 A macro inspection apparatus that inspects a defect by illuminating an object substrate with illumination light,
An illumination unit for illuminating the subject substrate with illumination light;
A substrate holding unit that rotates the subject substrate at an inclination angle suitable for macro inspection with respect to the illumination light; and
An operation unit for performing a macro inspection on a subject substrate held by the substrate holding unit;
A macro inspection apparatus, wherein the operation section is provided so as to be movable along an opening for visually observing the subject substrate.
前記操作部が該ガイド部材に沿って移動可能に設けられたことを特徴とする請求項1に記載のマクロ検査装置。 A guide member arranged along at least the lower end side of the macro observation opening formed in the front panel;
The macro inspection apparatus according to claim 1, wherein the operation unit is movably provided along the guide member.
前記操作部が前記鉛直ガイド部材に沿って移動することを特徴とする請求項1に記載のマクロ検査装置。 A pair of horizontal guide members arranged parallel to the upper and lower ends of the macro observation opening formed in the front panel, and a vertical guide member that moves along these horizontal guide members,
The macro inspection apparatus according to claim 1, wherein the operation unit moves along the vertical guide member.
該観察者位置検出部の検出出力に応じて、前記操作部を前記観察者の移動に追従するように移動制御するようにしたことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のマクロ検査装置。 It has an observer position detector that detects the movement position of the observer,
The macro according to any one of claims 1 to 4, wherein the operation unit is controlled to follow the movement of the observer according to a detection output of the observer position detection unit. Inspection device.
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