JP2006250783A

JP2006250783A - Macro inspection device

Info

Publication number: JP2006250783A
Application number: JP2005068946A
Authority: JP
Inventors: Yousuke Kataoka; 陽輔片岡
Original assignee: Olympus Corp
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 2005-03-11
Filing date: 2005-03-11
Publication date: 2006-09-21

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To easily perform operation required for macro operation even if moving an observation position along a specimen substrate in a macroinspection device, and to inspect a large specimen substrate efficiently. SOLUTION: The macroinspection device comprises an illumination unit 2 for applying illumination light; a substrate holding section 5 for rotating a glass substrate 13 to an oblique angle suitable for macroinspection; and a movable operation section 10 for enabling an observer 12 to perform the operation required for the macroinspection of the glass substrate 13. In this case, the movable operation section 10 is movably provided on the front panel of the macroinspection device along the glass substrate 13. COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、被検体基板に照明光を照射して欠陥検査を行なうマクロ検査装置に関する。 The present invention relates to a macro inspection apparatus that performs defect inspection by irradiating an object substrate with illumination light.

従来、例えば液晶ディスプレイの液晶基板などの基板を被検体として、表面に検査用の照明光を当てて欠陥検査を行なうマクロ検査装置が知られている。
例えば、特許文献１には、起立した観察者の前方に、被検体としてのガラス基板を斜めに立てかけ、検査装置の上部に固定されたマクロ検査用照明装置により上方から基板に向けて照明光を照射し、その反射光を観察者が目視で観察することでガラス基板上の欠陥を検査するマクロ検査装置が記載されている。
このような装置においては、ガラス基板を保持するマクロ検査用ホルダを前後方向に傾動制御または揺動制御する制御部に対して操作入力を行なう操作部が、制御用ＰＣやモニタが設置されている装置前面の右端、左端に設置される。
特開２０００−２８５３７号公報（第２−３頁、図１） 2. Description of the Related Art Conventionally, there has been known a macro inspection apparatus that performs a defect inspection by applying an inspection illumination light to the surface of a substrate such as a liquid crystal substrate of a liquid crystal display.
For example, in Patent Document 1, a glass substrate as a subject is leaned obliquely in front of an upright observer, and illumination light is directed toward the substrate from above by a macro inspection illumination device fixed to the upper portion of the inspection device. A macro inspection apparatus that inspects a defect on a glass substrate by irradiating and visually observing the reflected light by an observer is described.
In such an apparatus, a control PC and a monitor are installed as an operation unit for performing an operation input to a control unit that performs tilt control or swing control of the macro inspection holder that holds the glass substrate in the front-rear direction. Installed at the right and left ends of the front of the device.
JP 2000-28537 A (page 2-3, FIG. 1)

しかしながら、上記のような従来のマクロ検査装置には以下のような問題があった。
特許文献１に記載の技術では、マクロ検査用照明装置が検査装置の上部に固定され、被検体基板の前面を照明するようになっているが、被検体基板が大きくなると、視野範囲が広くなるためにガラス基板に対して観察位置を移動させながら目視で観察する必要がある。ところが近年、液晶ディスプレイのマザーガラス基板は２０００ｍｍを超える大型化のものが出現し、観察のための移動範囲が広がると、例えば被検体基板の揺動、照明条件の変更などの操作を行なう操作部が遠くなり観察しながら操作することが難しくなるという問題がある。したがって、観察者が操作部から離れた位置で観察する場合、観察位置から操作部まで移動しなければならず、作業性や検査効率が悪化するという問題がある。 However, the conventional macro inspection apparatus as described above has the following problems.
In the technique disclosed in Patent Document 1, the illumination device for macro inspection is fixed to the upper portion of the inspection device and illuminates the front surface of the subject substrate. However, as the subject substrate becomes larger, the visual field range becomes wider. For this reason, it is necessary to visually observe while moving the observation position with respect to the glass substrate. However, in recent years, a mother glass substrate of a liquid crystal display has become larger than 2000 mm, and when the moving range for observation is widened, for example, an operation unit that performs operations such as swinging the subject substrate and changing illumination conditions However, it is difficult to operate while observing. Therefore, when an observer observes at a position away from the operation unit, the observer has to move from the observation position to the operation unit, and there is a problem that workability and inspection efficiency deteriorate.

本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、観察位置を被検体基板に沿って移動しても、マクロ操作に必要な操作を容易に行なうことができ、大型の被検体基板を効率的に検査することができるマクロ検査装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and even if the observation position is moved along the subject substrate, operations necessary for macro operation can be easily performed, and a large subject An object of the present invention is to provide a macro inspection apparatus capable of efficiently inspecting a substrate.

上記の課題を解決するために、本発明では、被検体基板に照明光を照射して欠陥検査を行なうマクロ検査装置であって、被検体基板に照明光を照射する照明ユニットと、前記照明光に対して、被検体基板をマクロ検査に適した傾斜角度に回動する基板保持部と、観察者が前記基板保持部に保持された被検体基板に対してマクロ検査を行なう操作部とを備え、該操作部が、前記被検体基板を目視観察するための開口部に沿って移動可能に設けられた構成とする。 In order to solve the above problems, in the present invention, a macro inspection apparatus that performs defect inspection by irradiating a subject substrate with illumination light, the illumination unit irradiating the subject substrate with illumination light, and the illumination light In contrast, a substrate holder that rotates the subject substrate at an inclination angle suitable for macro inspection, and an operation unit that allows an observer to perform macro inspection on the subject substrate held by the substrate holder. The operation unit is configured to be movable along an opening for visually observing the subject substrate.

この発明によれば、基板保持部に保持された被検体基板を制御するための操作入力が可能とされた操作部を被検体基板に対して移動可能に設けるので、観察者が被検体基板に沿って観察位置を移動しても、操作部を観察位置に移動することにより、被検体基板のマクロ観察に必要な操作を容易に行なうことができ、効率的にマクロ検査を行なうことができる。 According to the present invention, since the operation unit capable of performing an operation input for controlling the subject substrate held by the substrate holding unit is movably provided with respect to the subject substrate, the observer can attach the subject substrate to the subject substrate. Even if the observation position is moved along, the operation unit is moved to the observation position, whereby the operation necessary for macro observation of the subject substrate can be easily performed, and the macro inspection can be performed efficiently.

以下では、本発明の実施の形態について添付図面を参照して説明する。すべての図面において、実施形態が異なる場合であっても、同一または相当する部材には同一の符号を付し、共通する説明は省略する。
本発明の実施形態に係るマクロ検査装置について説明する。
図１は、本発明の実施形態に係るマクロ検査装置の概略構成を説明するための側面視の模式説明図である。図２は、本発明の実施形態に係るマクロ検査装置の概略構成を説明するための正面視（図１のＡ視）の模式説明図である。図３は、本発明の実施形態に係る操作部の概略構成を説明するための斜視説明図である。
なお、方向の参照の便宜のために各図に共通のＸＹＺ座標系を示した。Ｚ軸方向は鉛直方向、Ｘ軸方向は正面視左右方向、Ｙ軸は正面視奥行き方向であり、観察者１２は、正面位置でＹ軸正方向側を向いて装置に対している。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In all the drawings, even if the embodiments are different, the same or corresponding members are denoted by the same reference numerals, and common description is omitted.
A macro inspection apparatus according to an embodiment of the present invention will be described.
FIG. 1 is a schematic explanatory view in a side view for explaining a schematic configuration of a macro inspection apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a schematic explanatory diagram of a front view (view A in FIG. 1) for explaining a schematic configuration of the macro inspection apparatus according to the embodiment of the present invention. FIG. 3 is a perspective explanatory view for explaining a schematic configuration of the operation unit according to the embodiment of the present invention.
For convenience of referring to the directions, a common XYZ coordinate system is shown in each figure. The Z-axis direction is the vertical direction, the X-axis direction is the left-right direction of the front view, the Y-axis is the depth direction of the front view, and the observer 12 is facing the apparatus facing the Y-axis positive direction side at the front position.

本実施形態のマクロ検査装置１は、液晶ディスプレイを複数枚製造するマザーガラス基板など、例えば１辺の長さが２ｍ以上となるような大型の被検体基板の表面欠陥を観察者が目視観察することにより検査するものである。
その概略構成は、図１に示すように、装置本体７に、照明ユニット２、基板保持部５、顕微鏡６、ベース８、顕微鏡支持部９、制御部１１、固定操作部１１Ａ、および可動操作部１０（操作部）が設けられてなる。 In the macro inspection apparatus 1 according to the present embodiment, an observer visually observes a surface defect of a large subject substrate such as a mother glass substrate on which a plurality of liquid crystal displays are manufactured, for example, each side having a length of 2 m or more. It is to be inspected.
As shown in FIG. 1, the schematic configuration includes an apparatus main body 7, an illumination unit 2, a substrate holding unit 5, a microscope 6, a base 8, a microscope support unit 9, a control unit 11, a fixed operation unit 11A, and a movable operation unit. 10 (operation unit) is provided.

装置本体７は、各部材を所定位置に保持する骨組部、外周を覆うパネル部などからなり、図２に示すように、正面側に、中央部に観察者がガラス基板１３（被検体基板）を観察するための矩形状の開口部７ｂを有する正面パネル７ａが配置されている。
ガラス基板１３は、例えば１辺が１５００ｍｍ、２０００ｍｍを超える矩形状のマザーガラス基板であり、本実施形態ではガラス基板１３の長手方向をＸ軸方向に向けて配置される。 The apparatus main body 7 includes a frame portion that holds each member in a predetermined position, a panel portion that covers the outer periphery, and the like, as shown in FIG. A front panel 7a having a rectangular opening 7b for observing the image is disposed.
The glass substrate 13 is, for example, a rectangular mother glass substrate with one side exceeding 1500 mm and 2000 mm. In the present embodiment, the glass substrate 13 is arranged with the longitudinal direction of the glass substrate 13 facing the X-axis direction.

照明ユニット２は、照明光Ｌを発光する光源部２Ａ、照明光Ｌの光路を折り畳む反射ミラー２Ｂ、反射ミラー２Ｂで反射された照明光Ｌを収束光や散乱光に変換する照明光変換部２Ｃとからなる。この照明ユニット２は、大型のガラス基板の全面をマクロ照明するために、装置本体７の上部にＸ軸方向に移動可能に設けられている（図２参照）。 The illumination unit 2 includes a light source unit 2A that emits illumination light L, a reflection mirror 2B that folds the optical path of the illumination light L, and an illumination light conversion unit 2C that converts the illumination light L reflected by the reflection mirror 2B into convergent light or scattered light. It consists of. The illumination unit 2 is provided on the upper part of the apparatus body 7 so as to be movable in the X-axis direction in order to illuminate the entire surface of a large glass substrate (see FIG. 2).

基板保持部５は、ガラス基板１３を上面側で位置決めして吸着保持するもので、ベース８上に基端部が支持軸４により回動自在に支持され、回転機構（不図示）により水平状態から所定角度まで立ち上げられる。
本実施形態の基板保持部５では、ガラス基板１３上の欠陥を目視で観察するに適した傾斜角度に回転させる回転移動機構を備える。
顕微鏡６は、ガラス基板１３の表面の拡大像を観察するためのもので、水平に位置決めされた基板保持部５の上面に平行な平面内で２次元的に移動できるようになっている。顕微鏡支持部９は、ベース８上に設けられた一対のガイドレール上をＹ方向に走行させる門柱型に形成され、この水平アーム部に顕微鏡６がＸ方向に移動可能に設けられている。この顕微鏡支持部９をＹ方向に移動させ、顕微鏡６をＸ方向に移動させることにより、基板保持部５上に保持されたガラス基板１３の全面を２次元走査することができる。 The substrate holding part 5 positions and adsorbs and holds the glass substrate 13 on the upper surface side. The base end part of the substrate holding part 5 is rotatably supported on the base 8 by the support shaft 4 and is horizontal by a rotation mechanism (not shown). To a predetermined angle.
The substrate holding unit 5 of the present embodiment includes a rotational movement mechanism that rotates the tilt angle suitable for visually observing defects on the glass substrate 13.
The microscope 6 is for observing an enlarged image of the surface of the glass substrate 13 and can be moved two-dimensionally in a plane parallel to the upper surface of the substrate holder 5 positioned horizontally. The microscope support unit 9 is formed in a portal post shape that travels in the Y direction on a pair of guide rails provided on the base 8, and the microscope 6 is provided on the horizontal arm unit so as to be movable in the X direction. By moving the microscope support portion 9 in the Y direction and moving the microscope 6 in the X direction, the entire surface of the glass substrate 13 held on the substrate holding portion 5 can be scanned two-dimensionally.

制御部１１は、マクロ検査装置１の全体制御を行なうためのもので、操作入力に応じて、種々の制御信号を送出できるようになっている。
例えば制御部１１は、照明ユニット２に対して照明光Ｌの光量、波長、照射位置、照射範囲などの照明条件の設定や、照明光Ｌを収束光と散乱光とに切替制御を行なう。
このうち、照射位置は、照明ユニット２全体をＸ軸方向に移動したりすることで可変できるようになっている。
また、収束光・散乱光の切替は、照明光変換部２Ｃにフレネルレンズで収束されたマクロ照明光を透過させる透明状態と散乱させる不透明状態に電気的に切換え可能な液晶散乱板を設けることにより切替可能となっている。 The control unit 11 is for performing overall control of the macro inspection apparatus 1 and is capable of sending various control signals according to operation inputs.
For example, the control unit 11 sets the illumination conditions such as the light amount, the wavelength, the irradiation position, and the irradiation range of the illumination light L with respect to the illumination unit 2 and switches the illumination light L between convergent light and scattered light.
Among these, the irradiation position can be changed by moving the entire illumination unit 2 in the X-axis direction.
In addition, the switching between the convergent light and the scattered light is performed by providing a liquid crystal scattering plate that can be electrically switched between a transparent state in which the macro illumination light converged by the Fresnel lens is transmitted and an opaque state in which it is scattered in the illumination light conversion unit 2C. Switching is possible.

固定操作部１１Ａは、制御部１１に対して操作入力を行なうためのもので、正面パネル７ａの前面の右端に固定配置されている。
例えば、モニタに表示される操作画面に従って、観察者１２がキーボード、マウス、スイッチングボードなどの入力手段を介して操作入力を行なうことができるようになっている。 11 A of fixed operation parts are for performing operation input with respect to the control part 11, and are fixedly arrange | positioned at the right end of the front surface of the front panel 7a.
For example, according to the operation screen displayed on the monitor, the observer 12 can perform operation input via input means such as a keyboard, a mouse, and a switching board.

可動操作部１０は、観察者１２がマクロ検査を行なうために必要な操作入力を、観察者１２の移動位置で、行なえるようにしたもので、開口部７ｂの下端側にＸ軸方向に延されたガイド部材１４に沿って可動に設けられている。
すなわち、図３に示すように、可動操作部１０の筐体１０ｂから側方に延された支持アーム１０ａに可動機構１５が接続され、可動機構１５がガイド部材１４に対して移動可能に取り付けられている。
また、ガイド部材１４の近傍の正面パネル７ａ上には、Ｘ軸方向に沿って適宜間隔をおいて、観察者１２の移動位置を検知するための人体検知センサ２４…（観察者位置検知部）が設けられている。
人体検知センサ２４は、例えば、正面パネル７ａの前方（Ｙ軸負方向）の所定距離範囲に観察者１２が来たとき、検知信号を発生して制御部１１に通知する赤外線センサなどを採用することができる。 The movable operation unit 10 is configured so that the operation input necessary for the observer 12 to perform the macro inspection can be performed at the movement position of the observer 12 and extends in the X-axis direction to the lower end side of the opening 7b. The guide member 14 is provided so as to be movable.
That is, as shown in FIG. 3, the movable mechanism 15 is connected to the support arm 10 a extending laterally from the housing 10 b of the movable operation unit 10, and the movable mechanism 15 is attached to the guide member 14 so as to be movable. ing.
Further, on the front panel 7a in the vicinity of the guide member 14, a human body detection sensor 24 for detecting the movement position of the observer 12 at an appropriate interval along the X-axis direction (observer position detecting unit). Is provided.
The human body detection sensor 24 employs, for example, an infrared sensor that generates a detection signal and notifies the control unit 11 when the observer 12 is in a predetermined distance range in front of the front panel 7a (Y-axis negative direction). be able to.

可動機構１５は、ガイド部材１４と組み合わせてＸ軸方向に移動するための機構である。
本実施形態では、ガイド部材１４を軌道とするリニアモータを採用している。
可動機構１５の移動は、固定操作部１１Ａからの操作により、所定位置に移動することでも行なうことができるが、その他に自動運転モードと手動モードとが切り替えられるようになっている。
自動運転モードは、人体検知センサ２４で観察者１２の位置を検知し、その検知信号により制御部１１が可動操作部１０を自動的に観察者１２の移動位置までの移動制御するモードである。
手動モードは、リニアモータの駆動制御が解除され、手動で可動操作部１０をガイド部材１４に沿う適宜位置に移動できるようにしたモードである。
自動運転モードと手動モードとの切替は、可動操作部１０および固定操作部１１Ａからそれぞれ行なうことができるようになっている。 The movable mechanism 15 is a mechanism for moving in the X-axis direction in combination with the guide member 14.
In this embodiment, a linear motor having the guide member 14 as a track is employed.
The movement of the movable mechanism 15 can also be performed by moving to a predetermined position by an operation from the fixed operation unit 11A. In addition, the automatic operation mode and the manual mode can be switched.
The automatic operation mode is a mode in which the position of the observer 12 is detected by the human body detection sensor 24 and the control unit 11 automatically controls the movement of the movable operation unit 10 to the movement position of the observer 12 based on the detection signal.
The manual mode is a mode in which the drive control of the linear motor is canceled and the movable operation unit 10 can be manually moved to an appropriate position along the guide member 14.
The automatic operation mode and the manual mode can be switched from the movable operation unit 10 and the fixed operation unit 11A.

筐体１０ｂの上面には、ジョイスティック１８ａ、１８ｂ、１８ｃ、ボタンスイッチ群１９、２０、非常停止スイッチ２１が設けられ、前側（Ｙ軸負方向）の側面には取っ手１６、１６と固定スイッチ１７とが設けられている。
ジョイスティック１８ａ、１８ｂ、１８ｃは、基板保持部５、照明ユニット２、および顕微鏡６を移動し、それぞれ所望の位置、姿勢に設定するための操作入力手段である。
ジョイスティック１８ａ、１８ｂ、１８ｃは、ボタン入力、数値入力する場合に比べて感覚的に操作することができるので、本実施形態のように、観察者１２がそれらの移動を視認しながらリアルタイムに位置を操作できるため、操作性を向上することができるという利点がある。 Joysticks 18a, 18b, and 18c, button switch groups 19 and 20, and an emergency stop switch 21 are provided on the upper surface of the housing 10b. Handles 16 and 16 and a fixed switch 17 are provided on the front side (Y-axis negative direction). Is provided.
The joysticks 18a, 18b, and 18c are operation input means for moving the substrate holding unit 5, the illumination unit 2, and the microscope 6 and setting them to desired positions and postures, respectively.
Since the joysticks 18a, 18b, and 18c can be operated sensuously compared to the case of button input and numerical input, the position of the observer 12 can be determined in real time while visually recognizing their movement as in this embodiment. Since it can be operated, there is an advantage that operability can be improved.

ボタンスイッチ群１９、２０は、照明条件などを含む特定の機能を切替選択したり、レベルを切り替えたりすることができるように設けた操作入力手段である。
例えば、照明条件の変更としては、照明ユニット２の照度を変更したり、光源部２Ａのフィルタを切り替えて照明光Ｌの波長を変更したり、照明光変換部２Ｃを制御して収束光と散乱光とを切り替えたり、照明光変換部２Ｃの位置や絞りを切り替えて照明範囲を制限したりすることなどが挙げられる。
また、他の機能として、例えば、基板保持部５を反転移動できるようにした場合に、検査面を表面と裏面とに切り替えるために反転させたり、検査終了の際に基板保持部５の位置を初期化したり、ガラス基板１３の吸着解除、搬出を制御したりすることなどが挙げられる。
また、可動機構１５の自動運転モード、手動モードの切替も挙げることができる。
なお、ボタンスイッチ１９、２０は、観察者１２が操作容易な操作入力手段であれば、他のスイッチを採用してもよい。例えば、ダイヤルスイッチ、レバースイッチなど適宜の操作入力手段を採用できる。 The button switch groups 19 and 20 are operation input means provided so that a specific function including lighting conditions and the like can be switched and switched and the level can be switched.
For example, the illumination condition can be changed by changing the illuminance of the illumination unit 2, changing the wavelength of the illumination light L by switching the filter of the light source unit 2 A, or controlling the illumination light conversion unit 2 C to converge and scatter light. For example, the illumination range may be limited by switching between light and switching the position and aperture of the illumination light conversion unit 2C.
Further, as another function, for example, when the substrate holding unit 5 can be reversed, the substrate holding unit 5 can be reversed to switch the inspection surface between the front surface and the back surface, or the position of the substrate holding unit 5 can be changed at the end of the inspection. For example, initialization, release of suction of the glass substrate 13, and control of unloading may be mentioned.
In addition, switching between the automatic operation mode and the manual mode of the movable mechanism 15 can also be mentioned.
The button switches 19 and 20 may employ other switches as long as the observer 12 can easily operate them. For example, appropriate operation input means such as a dial switch and a lever switch can be employed.

非常停止スイッチ２１は、非常時などための安全スイッチであり、例えば、全可動部を強制停止したり、通電を停止したりできるものである。
取っ手１６は、手動モード時に、観察者１２が把持して可動操作部１０を動かすための部材である。 The emergency stop switch 21 is a safety switch for an emergency or the like. For example, all the movable parts can be forcibly stopped or energization can be stopped.
The handle 16 is a member for the observer 12 to hold and move the movable operation unit 10 in the manual mode.

固定スイッチ１７は、可動操作部１０の位置の固定と固定解除とを切り替えるための操作入力手段である。そして、取っ手１６に手を添えた状態で容易に操作できるように、取っ手１６の近傍に配置されている。
可動操作部１０の固定手段としては、可動機構１５に対して、制御部１１が移動禁止の制御信号を送るという手段を採用できる。
また、可動操作部１０の固定手段としては、例えば、支持アーム１０ａとガイド部材１４との間に機械的なクランプ機構を設けたり、マグネット吸着したりする手段を採用してもよい。
固定スイッチ１７のスイッチの種類はどのようなものでもよいが、例えば、プッシュボタンスイッチ、トグルスイッチやレバースイッチなどが採用できる。 The fixed switch 17 is an operation input unit for switching between fixing and releasing the position of the movable operation unit 10. And it arrange | positions in the vicinity of the handle 16 so that it can operate easily in the state which attached the hand to the handle 16. FIG.
As a means for fixing the movable operation unit 10, a unit in which the control unit 11 sends a movement prohibition control signal to the movable mechanism 15 can be employed.
Moreover, as a fixing means of the movable operation unit 10, for example, a means for providing a mechanical clamping mechanism between the support arm 10a and the guide member 14 or adsorbing a magnet may be employed.
The switch of the fixed switch 17 may be any type, but for example, a push button switch, a toggle switch, a lever switch, or the like can be adopted.

次に、本実施形態のマクロ検査装置１の動作について、可動操作部１０に関係した動作を中心に説明する。
マクロ検査装置１により、ガラス基板１３を検査するには、不図示の搬送手段によりガラス基板１３を基板保持部５上に配置して吸着保持する。
観察者１２は、正面パネル７ａの前に立ち、開口部７ｂからガラス基板１３を目視観察して、ガラス基板１３の傷、ほこり、膜ムラなど表面欠陥の有無を検査する。
微細な表面欠陥を効率よく検査するために、図１に示すように、照明ユニット２により上方からガラス基板１３に向けて照明光Ｌを照射する。
このとき、観察者１２は、可動操作部１０のジョイスティック１８ａを操作して、上方より照明された照明光Ｌによってガラス基板１３上の欠陥を良好に目視観察できる傾斜角度に基板保持部５を傾動させる。
そして、ガラス基板１３上の欠陥がより観察しやすくなるように、ガラス基板１３を目視しながら、ジョイスティック１８ａを操作して基板保持部５を上下方向に微動（揺動）させる。このとき、基板保持部５が様々な方向に揺動可能な機構を有していれば、ジョイスティック１８ａをＸＹ方向に操作することにより、ガラス基板１３に対する照明光Ｌの入射角度を様々な方向に変えながら表面欠陥を良好に観察することができる。
また、必要に応じて、ボタンスイッチ１９などを操作して照明条件を変更して、表面欠陥を探すこともできる。 Next, the operation of the macro inspection apparatus 1 according to the present embodiment will be described focusing on the operation related to the movable operation unit 10.
In order to inspect the glass substrate 13 by the macro inspection apparatus 1, the glass substrate 13 is arranged on the substrate holding unit 5 and sucked and held by a transport unit (not shown).
The observer 12 stands in front of the front panel 7a, visually observes the glass substrate 13 from the opening 7b, and inspects the presence or absence of surface defects such as scratches, dust, and film unevenness on the glass substrate 13.
In order to inspect fine surface defects efficiently, the illumination unit 2 irradiates the illumination light L from above to the glass substrate 13 as shown in FIG.
At this time, the observer 12 operates the joystick 18a of the movable operation unit 10 and tilts the substrate holding unit 5 at an inclination angle at which the defect on the glass substrate 13 can be satisfactorily visually observed by the illumination light L illuminated from above. Let
Then, while visually observing the glass substrate 13, the joystick 18 a is operated to slightly move (swing) the substrate holding unit 5 in the vertical direction so that the defects on the glass substrate 13 can be more easily observed. At this time, if the substrate holding unit 5 has a mechanism that can swing in various directions, the incident angle of the illumination light L with respect to the glass substrate 13 can be varied in various directions by operating the joystick 18a in the XY directions. Surface defects can be observed well while changing.
In addition, if necessary, the surface condition can be searched by operating the button switch 19 or the like to change the illumination condition.

表面欠陥を発見し詳細に観察した場合、ジョイスティック１８ａを操作して基板保持部５を水平な姿勢に戻し、顕微鏡保持部９と顕微鏡６を移動させるジョイスティック１８ｃを操作して、顕微鏡６を表面欠陥の位置まで移動し、拡大画像を見ながら表面欠陥の詳細を検査することができる（ミクロ検査）。 When a surface defect is discovered and observed in detail, the joystick 18a is operated to return the substrate holding unit 5 to a horizontal posture, and the joystick 18c that moves the microscope holding unit 9 and the microscope 6 is operated to operate the microscope 6 with the surface defect. It is possible to inspect the details of the surface defect while viewing the enlarged image (micro inspection).

このようにして目視される範囲でマクロ検査を行なうことができるが、ガラス基板１３が大型の場合、ガラス基板１３の全範囲を視野に入れることは困難となるので、照明光の照射範囲を限定し、ガラス基板１３の表面を分割して観察していく。
本実施形態では、少なくともＸ軸方向には観察範囲を分割し、ジョイスティック１８ｃを操作して、照明ユニット２をＸ軸方向に移動させる。照明ユニット２の移動に合わせて観察者１２も観察位置をＸ軸方向に移動する。このとき、可動操作部１０をガイド部材１４に沿って移動させ、可動操作部１０上の各操作入力手段の位置が観察者１２に対して略同様の位置関係を保つようにする。
そのため、観察者１２が観察する位置に可動操作部１０を移動させることができるため、観察者１２は、移動した位置でマクロ検査に必要な操作を行なうことができ、観察位置をＸ軸方向に移動しても移動前と略同様の状態で目視観察を続けることができる。このように観察姿勢や操作性を同等に保って検査できるので、検査効率が向上するととも、観察者１２に負担をかけることなく精度よくマクロ検査を行なうことができる。 In this way, the macro inspection can be performed within the visible range. However, when the glass substrate 13 is large, it is difficult to put the entire range of the glass substrate 13 in the field of view, and thus the irradiation range of the illumination light is limited. Then, the surface of the glass substrate 13 is divided and observed.
In the present embodiment, the observation range is divided at least in the X-axis direction, and the joystick 18c is operated to move the illumination unit 2 in the X-axis direction. As the illumination unit 2 moves, the observer 12 also moves the observation position in the X-axis direction. At this time, the movable operation unit 10 is moved along the guide member 14 so that the positions of the respective operation input means on the movable operation unit 10 maintain substantially the same positional relationship with the observer 12.
Therefore, since the movable operation unit 10 can be moved to a position where the observer 12 observes, the observer 12 can perform an operation necessary for the macro inspection at the moved position, and the observation position is set in the X-axis direction. Even if it moves, visual observation can be continued in the same state as before the movement. Since the inspection posture and the operability can be maintained in the same manner as described above, the inspection efficiency can be improved and the macro inspection can be accurately performed without imposing a burden on the observer 12.

ここで、可動操作部１０の移動について説明する。
本実施形態では、可動操作部１０または固定操作部１１Ａから操作入力することにより、可動操作部１０を手動モードまたは自動運転モードで移動することができる。
手動モードでは、観察者１２が取っ手１６をつかんで、移動方向側に押すことで、可動操作部１０を観察位置まで移動することができる。
この場合、観察者１２が、可動操作部１０を操作に好都合な位置に自由に移動することができるので、作業効率を向上することができる。
一方、固定スイッチ１７を操作することにより、可動操作部１０の位置を固定し、検査中に可動操作部１０が不用意に移動することを防止できる。この場合、観察者１２は取っ手１６から手を離すことができるので好都合である。
移動を再開する場合は、固定スイッチ１７を操作して、固定解除を行なう。固定スイッチ１７は、取っ手１６を把持した状態で操作できるように取っ手１６の近傍に設けられているので、固定、固定解除、移動の各工程を片手で円滑に操作することができる。 Here, the movement of the movable operation unit 10 will be described.
In this embodiment, the movable operation unit 10 can be moved in the manual mode or the automatic operation mode by performing an operation input from the movable operation unit 10 or the fixed operation unit 11A.
In the manual mode, the movable operation unit 10 can be moved to the observation position by the observer 12 holding the handle 16 and pushing the handle 16 toward the moving direction.
In this case, since the observer 12 can freely move the movable operation unit 10 to a position convenient for operation, work efficiency can be improved.
On the other hand, by operating the fixed switch 17, the position of the movable operation unit 10 can be fixed, and the movable operation unit 10 can be prevented from inadvertently moving during the inspection. In this case, the observer 12 can conveniently release his hand from the handle 16.
When resuming the movement, the fixing switch 17 is operated to release the fixing. Since the fixing switch 17 is provided in the vicinity of the handle 16 so that it can be operated in a state where the handle 16 is gripped, the fixing, unlocking, and moving steps can be smoothly operated with one hand.

自動運転モードでは、観察者１２が立っている位置を人体検知センサ２４のいずれかが検知して、制御部１１に検知信号を送り、制御部１１により可動操作部１０が自動的に観察者１２の近傍位置に位置移動される。このとき、制御部１１は、人体検知センサ２４の検知信号により照明ユニット２を可動操作部１０とともに移動させることも可能である。この自動運転モードによれば、可動操作部１０は観察者１２の移動に追従するから、可動操作部１０を移動するために手を添えておく必要がない。また、観察者１２が、観察位置を自由に移動しても、照明ユニット２と可動操作部１０が観察者１２に追従して移動するので、移動後ただちに基板保持部５の操作をしてマクロ検査を行なうことができるとともに、観察者１２が可動操作部１０を移動させる手間が省ける。そのため、検査効率を向上することができる。
なお、自動運転モードに設定されている場合でも固定スイッチ１７の操作入力が優先されるようになっており、必要に応じて可動操作部１０の位置を固定することができる。 In the automatic operation mode, any one of the human body detection sensors 24 detects the position where the observer 12 is standing, and sends a detection signal to the control unit 11, and the movable operation unit 10 is automatically operated by the control unit 11. The position is moved to the vicinity of. At this time, the control unit 11 can also move the illumination unit 2 together with the movable operation unit 10 based on the detection signal of the human body detection sensor 24. According to this automatic operation mode, since the movable operation unit 10 follows the movement of the observer 12, it is not necessary to put a hand in order to move the movable operation unit 10. Even if the observer 12 freely moves the observation position, the illumination unit 2 and the movable operation unit 10 move following the observer 12, so that the substrate holding unit 5 is operated immediately after the movement and the macro is operated. In addition to performing inspection, it is possible to save the observer 12 from moving the movable operation unit 10. Therefore, inspection efficiency can be improved.
Even when the automatic operation mode is set, the operation input of the fixed switch 17 is given priority, and the position of the movable operation unit 10 can be fixed as necessary.

観察者位置検出部としては、人体検知センサ２４以外にも種々の手段を採用できる。
例えば、人体検知センサ２４と同様に、観察者１２を受動的な被検知体とする方式では、装置本体７に、レーザ距離計などの測距手段を設けて、それにより観察者１２との距離を計測することで、観察者１２の位置を検出する手段を採用してもよい。
この場合、異なる２箇所からの距離を計測できるようにすれば、観察者１２の平面上での位置を特定できるから、検知誤差を低減し、誤検知を防止することができるという利点がある。
また、観察者１２を能動的な被検知体とする方式では、観察者１２が、例えば赤外線、電波、超音波などの信号発信器を身につけ、装置本体７側にそれらの受信部を設けて、位置検出する手段を採用することもできる。 Various means other than the human body detection sensor 24 can be adopted as the observer position detection unit.
For example, as in the case of the human body detection sensor 24, in the method in which the observer 12 is a passive object to be detected, distance measuring means such as a laser distance meter is provided in the apparatus body 7, thereby the distance from the observer 12. A means for detecting the position of the observer 12 may be employed by measuring.
In this case, if the distance from two different places can be measured, the position of the observer 12 on the plane can be specified, so that there is an advantage that detection error can be reduced and erroneous detection can be prevented.
Further, in the system in which the observer 12 is an active object to be detected, the observer 12 wears a signal transmitter such as an infrared ray, a radio wave, and an ultrasonic wave and provides a receiving unit on the apparatus body 7 side. A means for detecting the position can also be employed.

以上に述べたように、本実施形態のマクロ検査装置１によれば、ガイド部材１４に沿って可動操作部１０を移動することができるので、ガイド部材１４を観察者１２の移動方向に合わせて配置することにより、観察者１２が観察位置を移動しても、操作しやすい位置に可動操作部１０を移動させることができる。それにより検査の作業効率を向上することができるものである。
また、ガラス基板１３を移動させなくてもよいので、移動させる場合に比べて、移動機構を削減できて簡素な装置とすることができる。また、装置の占有空間も低減できるので、比較的小型の装置とすることができる。 As described above, according to the macro inspection apparatus 1 of the present embodiment, the movable operation unit 10 can be moved along the guide member 14, so that the guide member 14 is matched with the moving direction of the observer 12. By disposing, the movable operation unit 10 can be moved to a position where it can be easily operated even when the observer 12 moves the observation position. Thereby, the work efficiency of the inspection can be improved.
Moreover, since it is not necessary to move the glass substrate 13, compared with the case where it moves, a moving mechanism can be reduced and it can be set as a simple apparatus. Further, since the space occupied by the apparatus can be reduced, the apparatus can be made relatively small.

次に、本実施形態の変形例について説明する。
図４は、本発明の実施形態の変形例にかかるマクロ検査装置の概略構成について説明するための正面視の模式説明図である。
本変形例のマクロ検査装置１００は、上記実施形態のマクロ検査装置１のガイド部材１４に代えて、鉛直ガイド部材２２（ガイド部材）、水平ガイド部材２３Ａ、２３Ｂ（ガイド部材）を設けたものである。 Next, a modification of this embodiment will be described.
FIG. 4 is a schematic explanatory view in front view for explaining a schematic configuration of a macro inspection apparatus according to a modification of the embodiment of the present invention.
The macro inspection apparatus 100 of the present modification is provided with a vertical guide member 22 (guide member) and horizontal guide members 23A and 23B (guide members) instead of the guide member 14 of the macro inspection apparatus 1 of the above embodiment. is there.

水平ガイド部材２３Ａ、２３Ｂは、ガイド部材１４と同様なリニアモータのガイドレールであり、それぞれ開口部７ｂの下端部、上端部近傍に平行に配置されている。
鉛直ガイド部材２２は、両端部が水平ガイド部材２３Ａ、２３Ｂ上でそれぞれに対して直交する方向（Ｚ軸方向）に架橋され、Ｚ軸方向を保って、Ｘ軸方向に平行移動できる構成とされている。
可動操作部１０は、可動機構１５を介して、鉛直ガイド部材２２上にＺ軸方向に移動可能に取り付けられている。 The horizontal guide members 23A and 23B are guide rails of a linear motor similar to the guide member 14, and are arranged in parallel near the lower end and upper end of the opening 7b, respectively.
Both ends of the vertical guide member 22 are bridged in a direction (Z-axis direction) orthogonal to the respective horizontal guide members 23A and 23B, and can be translated in the X-axis direction while maintaining the Z-axis direction. ing.
The movable operation unit 10 is attached to the vertical guide member 22 via the movable mechanism 15 so as to be movable in the Z-axis direction.

そして、制御部１１からの制御信号により、鉛直ガイド部材２２を水平ガイド部材２３Ａ、２３Ｂ上でＸ軸方向に移動させるとともに、可動操作部１０を鉛直ガイド部材２２上でＺ軸方向に移動制御することにより、可動操作部１０の位置を開口部７ｂの内側のＺＸ平面上で２次元移動させることができるようになっている。 The vertical guide member 22 is moved in the X-axis direction on the horizontal guide members 23A and 23B by the control signal from the control unit 11, and the movable operation unit 10 is controlled to move in the Z-axis direction on the vertical guide member 22. Thus, the position of the movable operation unit 10 can be two-dimensionally moved on the ZX plane inside the opening 7b.

ここで、可動機構１５と鉛直ガイド部材２２との間には、可動操作部１０の自重で下降しないようにストッパ機構が設けられている。
このため、本変形例では、可動操作部１０に設けられた固定スイッチ１７は、鉛直ガイド部材２２の位置をＸ軸方向に固定するためのスイッチとなっている。 Here, a stopper mechanism is provided between the movable mechanism 15 and the vertical guide member 22 so as not to descend due to the weight of the movable operation unit 10.
For this reason, in this modification, the fixed switch 17 provided in the movable operation unit 10 is a switch for fixing the position of the vertical guide member 22 in the X-axis direction.

このような構成により、本変形例のマクロ検査装置１００は、可動操作部１０がＺＸ平面内で２次元移動できるので、観察者１２の検査姿勢や観察者１２の身長に応じて可動操作部１０を操作しやすい任意の位置に移動でき、良好な操作性を確保することができる。
例えば、ガラス基板１３を、上記実施形態の配置から水平方向に９０°回転させて配置し、Ｚ軸方向の観察範囲がＸ軸方向の観察範囲より大きくなる構成では、建屋の高さに制限されＺ軸方向へガラス基板１３を移動することが難しくなるので、観察者１２が鉛直方向に観察位置を変えることが好ましい。そのような場合に、本変形例を用いれば、可動操作部１０を観察者１２の鉛直方向の移動に合わせて容易に移動させることができ、良好な操作性を実現することができる。
なお、マクロ検査装置１の場合であっても、本変形例の２次元移動可能な構成を用いてもよいことは言うまでもない。この場合、観察者１２が鉛直方向に細かく移動して観察を行なうことができるので、高精度な検査を効率よく行なうことができる。 With this configuration, in the macro inspection apparatus 100 according to the present modification, the movable operation unit 10 can move two-dimensionally in the ZX plane, so that the movable operation unit 10 can be used according to the inspection posture of the observer 12 and the height of the observer 12. Can be moved to any position where it is easy to operate, and good operability can be ensured.
For example, in the configuration in which the glass substrate 13 is arranged by being rotated 90 ° in the horizontal direction from the arrangement of the above embodiment and the observation range in the Z-axis direction is larger than the observation range in the X-axis direction, the glass substrate 13 is limited to the height of the building. Since it becomes difficult to move the glass substrate 13 in the Z-axis direction, it is preferable that the observer 12 changes the observation position in the vertical direction. In such a case, if this modification is used, the movable operation part 10 can be easily moved according to the movement of the observer 12 in the vertical direction, and good operability can be realized.
Needless to say, even in the case of the macro inspection apparatus 1, the two-dimensionally movable configuration of the present modification may be used. In this case, since the observer 12 can perform observation while moving finely in the vertical direction, highly accurate inspection can be performed efficiently.

また、本変形例では、可動操作部１０がＺＸ平面内を移動するので、観察者位置検知部は、観察者１２のＺＸ平面内の２次元の位置検出を行なう構成とすれば、上記実施形態と同様に自動運転モードを実現できる。 In the present modification, the movable operation unit 10 moves in the ZX plane. Therefore, if the observer position detection unit is configured to detect the two-dimensional position of the observer 12 in the ZX plane, the above embodiment is used. The automatic operation mode can be realized in the same way.

なお、上記の説明では、操作部の移動が、自動運転モードと手動モードとが切替可能な例で説明したが、いずれか一方のモードのみを有する構成としてもよい。
手動モードのみの装置は、観察者位置検知部が不要となり、操作部を移動するリニアモータなどの移動機構が不要となるので簡素かつ安価な装置とすることができる。 In the above description, the operation unit has been described as an example in which the operation mode can be switched between the automatic operation mode and the manual mode. However, the operation unit may have only one mode.
A device only in the manual mode does not require an observer position detection unit and does not require a moving mechanism such as a linear motor that moves the operation unit, and thus can be a simple and inexpensive device.

また、上記の説明では、長尺でも比較的高速に駆動できるように、可動機構１５がリニアモータで構成される場合で説明したが、１軸方向に移動できれば、どのような機構を採用してもよい。
例えばガイド部材１４を、断面が台形状のガイドレールとし、可動機構１５を、ガイド部材１４に嵌合して摺動するスライダとを組み合わせた構成としてもよい。
また、操作部の移動精度は、例えば数ｍｍ程度ばらついても操作性にはあまり影響しないので、移動機構の移動精度はこの程度でもよい。例えば、安価に製造できるタイミングベルト駆動機構などを採用してもよい。 In the above description, the movable mechanism 15 is configured by a linear motor so that it can be driven at a relatively high speed even if it is long. However, any mechanism can be adopted as long as it can move in one axial direction. Also good.
For example, the guide member 14 may be a guide rail having a trapezoidal cross section, and the movable mechanism 15 may be combined with a slider that fits and slides on the guide member 14.
Further, even if the movement accuracy of the operation unit varies, for example, by several millimeters, the operability is not greatly affected. For example, a timing belt drive mechanism that can be manufactured at low cost may be employed.

本発明の実施形態に係るマクロ検査装置の概略構成を説明するための側面視の模式説明図である。It is a schematic explanatory drawing of the side view for demonstrating schematic structure of the macro inspection apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るマクロ検査装置の概略構成を説明するための正面視（図１のＡ視）の模式説明図である。It is a schematic explanatory drawing of the front view (view A of FIG. 1) for demonstrating schematic structure of the macro inspection apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る操作部の概略構成を説明するための斜視説明図である。It is a perspective explanatory view for explaining a schematic configuration of an operation unit according to the embodiment of the present invention. 本発明の実施形態の変形例にかかるマクロ検査装置の概略構成について説明するための正面視の模式説明図である。It is a schematic explanatory drawing of the front view for demonstrating schematic structure of the macro inspection apparatus concerning the modification of embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１、１００マクロ検査装置
２照明ユニット
５基板保持部
７ａ正面パネル
１０可動操作部（操作部）
１１制御部
１２観察者
１３ガラス基板（被検体基板）
１４ガイド部材
１５可動機構
１６取っ手
１７固定スイッチ
１８ａ、１８ｂ、１８ｃジョイスティック
１９、２０ボタンスイッチ群
２１非常停止スイッチ
２２鉛直ガイド部材（ガイド部材）
２３Ａ、２３Ｂ水平ガイド部材
２４人体検知センサ（観察者位置検出部） DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,100 Macro inspection apparatus 2 Illumination unit 5 Substrate holding | maintenance part 7a Front panel 10 Movable operation part (operation part)
11 Control Unit 12 Observer 13 Glass Substrate (Subject Substrate)
14 Guide member 15 Movable mechanism 16 Handle 17 Fixed switch 18a, 18b, 18c Joystick 19, 20 Button switch group 21 Emergency stop switch 22 Vertical guide member (guide member)
23A, 23B Horizontal guide member 24 Human body detection sensor (observer position detector)

Claims

被検体基板に照明光を照射して欠陥検査を行なうマクロ検査装置であって、
被検体基板に照明光を照射する照明ユニットと、
前記照明光に対して、被検体基板をマクロ検査に適した傾斜角度に回動する基板保持部と、
観察者が前記基板保持部に保持された被検体基板に対してマクロ検査を行なう操作部とを備え、
該操作部が、前記被検体基板を目視観察するための開口部に沿って移動可能に設けられたことを特徴とするマクロ検査装置。 A macro inspection apparatus that inspects a defect by illuminating an object substrate with illumination light,
An illumination unit for illuminating the subject substrate with illumination light;
A substrate holding unit that rotates the subject substrate at an inclination angle suitable for macro inspection with respect to the illumination light; and
An operation unit for performing a macro inspection on a subject substrate held by the substrate holding unit;
A macro inspection apparatus, wherein the operation section is provided so as to be movable along an opening for visually observing the subject substrate.

前記正面パネルに形成されたマクロ観察用開口部の少なくとも下端側に沿うように配置されたガイド部材を備え、
前記操作部が該ガイド部材に沿って移動可能に設けられたことを特徴とする請求項１に記載のマクロ検査装置。 A guide member arranged along at least the lower end side of the macro observation opening formed in the front panel;
The macro inspection apparatus according to claim 1, wherein the operation unit is movably provided along the guide member.

前記正面パネルに形成されたマクロ観察用開口部の上下端側に平行に配置された一対の水平ガイド部材と、これら水平ガイド部材に沿って移動する鉛直ガイド部材とを備え、
前記操作部が前記鉛直ガイド部材に沿って移動することを特徴とする請求項１に記載のマクロ検査装置。 A pair of horizontal guide members arranged parallel to the upper and lower ends of the macro observation opening formed in the front panel, and a vertical guide member that moves along these horizontal guide members,
The macro inspection apparatus according to claim 1, wherein the operation unit moves along the vertical guide member.

前記操作部が、前記マクロ検査に必要な操作として、前記基板保持部の回動操作、前記照明ユニットによる照明光の照射条件を可変する操作、および前記照明ユニットを移動制御する操作のうち少なくとも１つの操作を行なう操作入力手段を備えることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のマクロ検査装置。 As the operation required for the macro inspection, the operation unit is at least one of a rotation operation of the substrate holding unit, an operation of changing an irradiation condition of illumination light by the illumination unit, and an operation of controlling movement of the illumination unit. The macro inspection apparatus according to claim 1, further comprising operation input means for performing one operation.

観察者の移動位置を検出する観察者位置検知部を備え、
該観察者位置検出部の検出出力に応じて、前記操作部を前記観察者の移動に追従するように移動制御するようにしたことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のマクロ検査装置。 It has an observer position detector that detects the movement position of the observer,
The macro according to any one of claims 1 to 4, wherein the operation unit is controlled to follow the movement of the observer according to a detection output of the observer position detection unit. Inspection device.