KR20130138256A

KR20130138256A - 시트 부착 장치 및 부착 방법

Info

Publication number: KR20130138256A
Application number: KR1020137012002A
Authority: KR
Inventors: 다케시 다카노
Original assignee: 린텍 가부시키가이샤
Priority date: 2010-10-19
Filing date: 2011-07-28
Publication date: 2013-12-18
Also published as: JP5563423B2; TWI541133B; EP2631938A4; KR101832016B1; WO2012053268A1; EP2631938B1; CN103180937B; TW201217167A; EP2631938A1; JP2012089665A; CN103180937A

Abstract

시트 부착 장치(1)는, 피착체(W)에 대향해서 배치한 접착 시트(MS)를 지지하는 시트 지지 수단(6, 7)과, 지지하고 있는 접착 시트(MS)를 피착체(W)측으로 휘게 해서 피착체(W)에 부착하는 시트 변형 수단(8A, 8B)과, 피착체(W)를 평면에서 보았을 때에 피착체 외연보다도 외측에 위치하는 접착 시트 영역이 피착체(W)측으로 변형하는 것을 규제하는 변형 규제 수단(4A)을 구비하고 있다.

Description

시트 부착 장치 및 부착 방법{SHEET ADHESION DEVICE AND ADHESION METHOD}

본 발명은 피착체에 접착 시트를 부착하는 시트 부착 장치 및 부착 방법에 관한 것이다.

종래에, 반도체 제조 공정에 있어서, 피착체인 반도체 웨이퍼(이하, 단순히 "웨이퍼"라고 하는 경우가 있음)의 표면에 보호 시트나 마운트용 시트, 다이싱 테이프, 다이본딩 테이프 등의 접착 시트를 부착하는 시트 부착 장치가 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조). 이 시트 부착 장치는, 접착 시트가 부착된 링 프레임을 챔버내의 프레임 지지부에 지지시키는 동시에, 접착 시트의 표면 상방에 웨이퍼를 배치하고, 챔버내를 감압 분위기로 한 상태에서 웨이퍼를 접착 시트에 접촉시킴으로써, 접착 시트를 웨이퍼 표면에 부착하는 것이다.

한편, 반도체 제조 공정에 있어서의 다이싱의 전공정에 있어서, 반도체 칩을 박형화하기 위해 웨이퍼의 이면을 연삭하는 것이 행해지고 있고, 이 연삭 공정에 있어서, 웨이퍼의 내측을 외연부보다도 깊게 연삭함으로써 외연부보다도 내측이 얇게 형성되고, 즉 두께 방향으로 돌출한 환형상의 볼록부를 외연부에 갖는 동시에, 당해 볼록부로 둘러싸인 내측에 오목부를 갖는 웨이퍼가 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 2 참조).

일본 공개 특허 공보 평10-233430호 일본 공개 특허 공보 제2007-19461호 공보

그런데, 특허문헌 2에 기재된 바와 같은 외연부에 볼록부를 갖는 웨이퍼에, 특허문헌 1에 기재된 바와 같은 종래의 시트 부착 장치로 웨이퍼의 외형보다도 큰 접착 시트를 부착할 경우, 접착 시트가 웨이퍼의 오목부의 저면 전체에 부착되기 전에, 웨이퍼 외연부의 볼록부에 부착되어 버린다. 이로 인해, 웨이퍼의 오목부의 내주면과 저면 사이의 각(角)코너부에서 접착 시트가 웨이퍼에 부착되지 않고, 당해 개소에서 접착 시트 및 웨이퍼 사이에 공극이 발생해 버린다는 단점이 있다.

본 발명의 목적은 외연부에 볼록부를 갖는 피착체에 대하여도, 최대한 공극을 발생시키지 않고 접착 시트를 부착할 수 있는 시트 부착 장치 및 시트 부착 방법을 제공하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 시트 부착 장치는, 피착체에 대향해서 배치한 접착 시트를 지지하는 시트 지지 수단과, 지지하고 있는 접착 시트를 상기 피착체측으로 휘게 해서 당해 피착체에 부착하는 시트 변형 수단과, 상기 피착체를 평면에서 보았을 때에 피착체 외연보다도 외측에 위치하는 접착 시트 영역이 상기 피착체측으로 변형하는 것을 규제하는 변형 규제 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 시트 부착 장치에 있어서, 상기 피착체 및 당해 피착체에 대향해서 배치한 접착 시트를 감압 분위기로 유지하는 감압 수단을 구비하고 있는 것이 바람직하다.

또한, 본 발명의 시트 부착 장치에 있어서, 상기 감압 수단은 상기 접착 시트를 경계로 독립된 제1 공간 및 제2 공간을 형성하고, 상기 시트 변형 수단은 상기 제1 공간 및 상기 제2 공간의 압력차에 의해 상기 접착 시트를 상기 피착체측으로 휘게 해서 부착하는 것이 바람직하다.

한편, 본 발명의 시트 부착 방법은, 피착체에 대향해서 배치한 접착 시트를 지지하고, 지지하고 있는 접착 시트를 상기 피착체측으로 휘게 해서 당해 피착체에 부착할 때, 상기 피착체를 평면에서 보았을 때에 피착체 외연보다도 외측에 위치하는 접착 시트 영역이 상기 피착체측으로 변형하는 것을 규제하는 것을 특징으로 한다.

이상과 같은 본 발명에 의하면, 접착 시트를 피착체측으로 휘게 해서 당해 피착체에 부착할 때에, 피착체 외연보다도 외측에 위치하는 접착 시트 영역이 피착체측으로 휘는 것을 규제할 수 있다. 따라서, 피착체로서, 예를 들어, 외연부의 볼록부 및 중간부의 오목부를 갖은 웨이퍼를 대상으로 했을 경우이여도, 접착 시트가 웨이퍼의 볼록부에 부착하기 전에, 접착 시트를 웨이퍼의 오목부 저면의 광범위하게 부착할 수 있으므로, 최대한 공극을 발생시키지 않고 접착 시트를 부착할 수 있다.

본 발명에 있어서, 피착체 및 당해 피착체에 대향해서 배치한 접착 시트를 감압 분위기로 유지하는 감압 수단을 설치하면, 감압 상태에서 접착 시트를 피착체에 부착할 수 있고, 접착 시트 및 피착체 사이에 공극이 발생하는 것을 방지할 수 있다.

또한, 접착 시트를 경계로 독립된 제1 공간 및 제2 공간에 대하여, 제1 공간의 압력을 제2 공간의 압력에 대하여 높게 설정함으로써, 제1 공간 및 제2 공간의 압력차에 의해 접착 시트를 피착체측으로 휘게 해서, 당해 접착 시트를 피착체의 중심 영역으로부터 외연 방향에 부착할 수 있으므로, 접착 시트가 피착체의 외연부에 먼저 부착되는 것을 방지할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시형태에 관한 시트 부착 장치를 부분적으로 단면으로 도시하는 측면도이다.
도 2는 시트 부착 장치의 동작 설명도이다.
도 3은 시트 부착 장치의 동작 설명도이다.
도 4는 시트 부착 장치의 동작 설명도이다.
도 5는 시트 부착 장치의 동작 설명도이다.
도 6은 일부 구성을 교환한 시트 부착 장치를 부분적으로 단면으로 도시하는 측면도이다.

이하, 본 발명의 일 실시형태를 도면에 의거하여 설명한다.

도 1에 나타나 있는 바와 같이 본 실시예의 시트 부착 장치(1)는, 미리 링 프레임(RF)의 개구부(RF1)를 폐색하도록 부착된 접착 시트로서의 마운트용 시트(MS)를 피착체로서의 웨이퍼(W)에 부착하고, 마운트용 시트(MS)로 웨이퍼(W)와 링 프레임(RF)을 일체화하는 것이다. 여기서, 웨이퍼(W)는, 외연부가 그 이외의 부분보다도 두꺼워지도록 연삭됨으로써, 두께 방향(이면측)으로 돌출한 환형상의 볼록부(W1)가 외연부에 형성되고, 볼록부(W1)로 둘러싸인 내측에 오목부(W2)가 형성되는 동시에, 그 표면측(연삭면의 반대측이며, 도 1의 하측의 면측)의 회로면(W3)에 회로가 형성된 반도체 웨이퍼이다. 회로면(W3)에는, 도시하지 않은 보호 시트가 부착되어 있다. 또한, 마운트용 시트(MS)는, 도시하지 않은 기재 시트의 한쪽의 면에 접착제층이 적층된 구성을 갖고 있다.

도 1에 있어서, 시트 부착 장치(1)는, 후술하는 테이블(21A)을 사이즈가 다른 것으로 교환함으로써, 복수의 사이즈의 웨이퍼(W)에 대하여 마운트용 시트(MS)를 부착 가능하게 구성되어 있다. 따라서, 예를 들어, 8인치 프레임용의 시트 부착 장치(1)는 6인치 및 8인치의 웨이퍼(W)에 마운트용 시트(MS)를 부착할 수 있고, 12인치 프레임용의 시트 부착 장치(1)는 8인치 및 12인치의 웨이퍼(W)에 마운트용 시트(MS)를 부착할 수 있게 되어 있다.

시트 부착 장치(1)는, 웨이퍼(W)를 지지하는 피착체 지지 수단(2)과, 마운트용 시트(MS)를 웨이퍼(W)에 대향해서 배치하는 동시에, 웨이퍼(W) 및 마운트용 시트(MS)를 감압 분위기로 유지하는 감압 수단(3)과, 웨이퍼(W)를 평면에서 보았을 때에 웨이퍼(W) 외연보다도 외측에 위치하는 마운트용 시트(MS) 영역이 웨이퍼(W)측으로 변형하는 것을 규제하는 변형 규제 수단으로서의 변형 규제 부재(4A)를 구비하고 있다.

피착체 지지 수단(2)은, 웨이퍼(W)의 외연보다도 큰 외형을 갖는 원반 형상의 테이블(21A)과, 출력축(22A)이 테이블(21A)의 하면에 고정된 구동 기기로서의 직동 모터(22)를 구비하고 있다. 테이블(21A)의 상면(24)에는, 외연부가 두께 방향(도 1 중 상방)으로 돌출한 환형상의 볼록부(23)가 설치되어 있다. 또한, 피착체 지지 수단(2)은, 복수의 사이즈의 웨이퍼(W)를 지지할 수 있도록, 테이블(21A)을 테이블(21A)과는 상이한 크기의 테이블(21B)(도 6 참조)로 교환 가능하게 구성되어 있다. 예를 들어, 도 1은 12인치의 웨이퍼(W)용으로 되고, 도 6은 8인치의 웨이퍼(W)용으로 된다.

감압 수단(3)은, 링 프레임(RF)에 부착된 마운트용 시트(MS)를 웨이퍼(W)에 대향시켜서 지지하는 시트 지지 수단으로서의 뚜껑 부재(6) 및 하부챔버(7)와, 뚜껑 부재(6) 및 마운트용 시트(MS)로 형성되는 제1 공간(V1)(도 2 참조) 내를 감압 가능한 시트 변형 수단으로서의 압력 조정 수단(8A)과, 마운트용 시트(MS) 및 하부챔버(7)로 형성되는 제2 공간(V2)(도 2 참조) 내를 감압 가능한 시트 변형 수단으로서의 압력 조정 수단(8B)을 구비하고 있다.

뚜껑 부재(6)는 도시하지 않은 구동 기기에 의해 승강 가능하게 설치되어 있다. 뚜껑 부재(6)의 하면(61)측은, 링 프레임(RF)의 외형과 동일 형상의 단면 오목형의 프레임 지지부(63)와, 이 프레임 지지부(63)에 표면이 노출된 상태로 매설된 환형상의 탄성 부재(64A, 64B)를 구비하고 있다. 프레임 지지부(63)에 있어서의 링 프레임(RF)이 하방에 위치하는 부분은, 복수의 흡인구(65)가 설치되는 동시에, 탄성 부재로 구성되어서 마운트용 시트(MS)에 의한 단차부에 추종해서 제1 공간(V1)의 밀폐성을 확보 가능하게 되어 있다. 프레임 지지부(63)에는, 압력 조정 수단(8A)에 접속된 압력 조정 통로(66)가 설치되고, 압력 조정 통로(66)에는, 제1 공간(V1)의 압력을 검출하는 압력 검출 수단(9A)이 설치되어 있다.

하부챔버(7)는 상면(74)이 개방된 상자형으로 형성되어 있다. 즉, 하부챔버(7)는 피착체 지지 수단(2)이 설치된 저면부(71)와, 저면부(71)의 외연으로부터 상방으로 연장하는 측면부(72)를 구비하고 있다. 저면부(71)에는, 압력 조정 수단(8B)에 접속된 압력 조정 통로(73)가 설치되고, 압력 조정 통로(73)에는, 제2 공간(V2)의 압력을 검출하는 압력 검출 수단(9B)이 설치되어 있다. 또한, 측면부(72)의 상면(74)에는, 내주측에 1단 아래에 형성된 환형상의 프레임 지지부(75)와, 프레임 지지부(75)의 내주측에 한층 더 1단 아래에 형성된 환형상의 규제 부재 지지부(76)가 설치되어 있다. 마운트용 시트(MS)가 부착된 링 프레임(RF)은 프레임 지지부(75)에 지지되고, 변형 규제 부재(4A)는 규제 부재 지지부(76)에 지지된다.

이와 같은 감압 수단(3)에서는, 마운트용 시트(MS)를 경계로 독립된 제1 공간(V1) 및 제2 공간(V2)이 형성된다. 또한, 압력 조정 수단(8A, 8B)은 제1 및 제2 공간(V1, V2) 내의 압력을 조정함으로써, 제1 공간(V1) 및 제2 공간(V2)의 압력차로 마운트용 시트(MS)를 압박해서 웨이퍼(W)에 부착한다.

변형 규제 부재(4A)는, 단면이 L자 형상으로 형성된 환형상의 부재이다. 즉, 변형 규제 부재(4A)는, 두께 방향으로 돌출된 환형상의 볼록부(41A)를 내연측에 갖는 동시에 당해 볼록부(41A)의 외연측에 오목부(42A)를 갖고 있다. 이 변형 규제 부재(4A)는, 볼록부(41A)를 마운트용 시트(MS)측을 향해서 하부챔버(7)의 규제 부재 지지부(76)에 지지되어 있고, 뚜껑 부재(6)의 하면(61)이 하부챔버(7)의 상면(74)에 접촉했을 때는, 볼록부(41A)가 마운트용 시트(MS)와 접촉하고, 오목부(42A)가 링 프레임(RF)과 접촉한다. 또한, 볼록부(41A)의 마운트용 시트(MS)와의 접촉면에는, 부착된 마운트용 시트(MS)를 박리 가능하게, 불소 수지 등이 적층된 비접착 처리가 실시되어 있다.

이상의 시트 부착 장치(1)에 있어서, 웨이퍼(W)에 마운트용 시트(MS)를 부착하는 순서에 관하여 설명한다.

우선, 도시하지 않은 반송 수단이 마운트용 시트(MS)에 의해 개구부(RF1)가 폐색된 12인치용의 링 프레임(RF)을 도 1에 나타나 있는 바와 같이 뚜껑 부재(6)에 흡착 유지시키는 동시에, 12인치의 웨이퍼(W)를 도 1에 나타나 있는 바와 같이 12인치용의 테이블(21A) 위에 탑재한다. 이후, 감압 수단(3)은, 도시하지 않은 구동 기기에 의해 뚜껑 부재(6)를 하강시켜서, 뚜껑 부재(6)의 하면(61)을 하부챔버(7)의 상면(74)에 접촉시킨다. 뚜껑 부재(6) 및 하부챔버(7)가 제1 및 제2 공간(V1, V2)(도 2 내지 도 4 참조)을 형성한 후, 압력 조정 수단(8A, 8B)은 제1 및 제2 공간(V1, V2)을 동일한 감압율로 감압하면서, 동일한 압력이 되도록, 제1 및 제2 공간(V1, V2)을 진공 상태 또는 감압 상태로 한다.

다음에, 감압 수단(3)은, 제1 및 제2 공간(V1, V2)의 감압 상태를 유지한 채, 압력 조정 수단(8A, 8B)에 의해 제1 공간(V1)의 압력을 제2 공간(V2)의 압력에 대하여 높게 설정한다. 그러면, 도 2에 나타나 있는 바와 같이 마운트용 시트(MS)는, 제1 및 제2 공간(V1, V2)의 압력차에 의해 제2 공간(V2)측으로 가압되고, 중심부가 웨이퍼(W)에 가장 접근하도록 휜다. 이 상태에서, 직동 모터(22)를 구동해서 테이블(21A)을 상승시키면, 도 3에 나타나 있는 바와 같이 마운트용 시트(MS)는 웨이퍼(W)의 중심 부분으로부터 외연측을 향해서 서서히 부착되어 간다. 그리고, 도 4에 나타나 있는 바와 같이 마운트용 시트(MS)를 볼록부(W1)의 정상면(W11)에 의해 뚜껑 부재(6)의 탄성 부재(64A)에 가압 접촉시키도록 해서 그 상태를 유지하면, 제1 공간(V1)의 내부에 있어서, 탄성 부재(64)의 내측과 마운트용 시트(MS) 사이에 새로운 제3 공간(V3)이 형성되는 동시에, 제2 공간(V2)의 내부에 있어서, 마운트용 시트(MS)와 웨이퍼(W) 사이에 새로운 제4 공간(V4)(공극)이 형성된다.

여기서, 마운트용 시트(MS)는 웨이퍼(W)의 외연으로부터 비어져 나오는 크기로 미리 링 프레임(RF)의 개구부(RF1)에 부착되고, 또한 링 프레임(RF)을 통해서 뚜껑 부재(6) 및 하부챔버(7)에 지지되어 있다. 즉, 마운트용 시트(MS)는, 웨이퍼(W)에 대향해서 배치된 상태에서, 웨이퍼(W) 외연보다도 외측 또한 웨이퍼(W) 외연으로부터 떨어진 위치에서 뚜껑 부재(6) 및 하부챔버(7)에 지지되어 있다. 이로 인해, 변형 규제 부재(4A)를 설치하지 않을 경우, 도 2에 2점 쇄선으로 나타나 있는 바와 같이 마운트용 시트(MS)는 웨이퍼(W) 외연보다도 외측의 링 프레임(RF) 부분으로부터 휘기 시작하기 때문에, 도 3에 2점 쇄선으로 나타나 있는 바와 같이 마운트용 시트(MS)가 웨이퍼(W)의 오목부(W2)의 중앙 부분으로부터 저면(W21)의 광범위하게 부착되기 전에, 웨이퍼(W)의 볼록부(W1)의 정상면(W11)에 부착되어 버린다. 이러한 상태에서 제1 공간(V1) 내에 기체가 도입되어서 마운트용 시트(MS)에 대기압이 작용해도, 도 4에 2점 쇄선으로 나타나 있는 바와 같이 제4 공간(V4)을 소멸시켜 버릴수 없고, 당해 제4 공간(V4)이 남아버린다. 이것은, 제1 및 제2 공간(V1, V2)을 감압해서 완전한 진공 상태(압력이 없는 상태)로 되어 있으면, 제4 공간(V4)이 남을 일은 없지만, 완전한 진공 상태로 하는 것은, 기술상 곤란한 동시에, 완전한 진공 상태에 가까이 하기 위해서는, 그 나름대로의 감압 장치가 필요해져 장치가 대형화 외에, 그러한 상태에까지 감압하기 위해서는 상당한 시간이 걸리기 때문에, 통상의 산업 기기로 사용되는 감압 장치에서는 완전한 진공 또는 거기에 가까운 상태로 할 수는 없기 때문이다.

이에 대하여 변형 규제 부재(4A)를 설치하면, 웨이퍼(W)를 평면에서 보았을 때에 웨이퍼(W) 외연보다도 외측에 위치하는 마운트용 시트(MS) 영역이 변형 규제 부재(4A)의 볼록부(41A)와 접촉하고, 볼록부(41A)가 마운트용 시트(MS)의 당해 영역에 대한 웨이퍼(W)측으로의 변형을 규제한다. 이로 인해, 웨이퍼(W) 외연보다도 외측에 위치하는 마운트용 시트(MS) 영역의 변위가 규제되고, 마운트용 시트(MS)의 당해 영역이 웨이퍼(W)측으로 휘는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 변형 규제 부재(4A)를 설치하지 않을 경우와 비교하여, 마운트용 시트(MS)가 볼록부(W1)의 정상면(W11)에 부착되기 전에 오목부(W2)의 저면(W21)에 부착되는 영역을 광범위하게 할 수 있으므로, 제4 공간(V4)을 최대한 작은 것으로 할 수 있다.

그 후에, 압력 조정 수단(8B)에 의해 제2 공간(V2)의 압력을 제1 공간(V1)의 압력과 동일하게 설정한다. 계속해서, 감압 수단(3)은 압력 조정 수단(8A, 8B)에 의해 제3 및 제2 공간(V3, V2)의 압력을 같은 증압율로 증압하면서, 서서히 대기압으로 복귀시킴으로써, 제4 공간(V4)이 마운트용 시트(MS)를 통해서 제3 공간(V3)의 압력에 눌려서 서서히 작아져, 마운트용 시트(MS)가 웨이퍼(W)의 각코너부(W23)에 밀착하는 것과 같이, 마운트용 시트(MS)가 각코너부(W23)에 부착된다. 이 때의 상태를 엄밀하게 말하면, 마운트용 시트(MS)는 웨이퍼(W)의 각코너부(W23)에는 밀착 하고 있지 않지만, 감압 상태일 때의 제4 공간(V4)이 최대한 작게 형성되어 있으므로, 겉보기에는 마운트용 시트(MS)가 웨이퍼(W)의 각코너부(W23)에 밀착하고 있는 것 같은 상태로 된다.

이상과 같이 해서 마운트용 시트(MS)의 부착이 완료하고, 마운트용 시트(MS)를 통해서 웨이퍼(W)와 링 프레임(RF)이 일체화되면, 도 5에 나타나 있는 바와 같이 뚜껑 부재(6)가 흡인구(65)를 통해서 링 프레임(RF)을 흡착 유지한 상태에서, 도시하지 않은 구동 기기에 의해, 뚜껑 부재(6)를 소정의 위치까지 상승시킨다. 그 후에 도시하지 않은 반송 수단에 의해 웨이퍼(W) 및 링 프레임(RF)을 다음 공정, 예를 들어 보호 시트의 박리 공정 등에 반송한다.

한편, 사이즈가 다른 웨이퍼(W), 예를 들면 8인치의 웨이퍼(W)에 마운트용 시트(MS)를 통해서 12인치용의 링 프레임(RF)에 마운트할 때는, 도 6에 나타나 있는 바와 같이 12인치용의 테이블(21A)을 8인치용의 테이블(21B)에 교환하는 동시에, 변형 규제 부재(4A)를 테이블(21A)의 크기에 맞춘 크기의 변형 규제 부재(4B)로 교환한다. 즉, 테이블(21B)이 테이블(21A)보다도 작을 경우에는, 변형 규제 부재(4A)와 비교해서 외경 및 오목부(42B)의 크기가 동일해 내경의 크기가 작아지고, 볼록부(41B)의 직경방향의 길이가 보다 긴 변형 규제 부재(4B)를 사용한다. 이에 따라 작은 사이즈의 웨이퍼(W)에 맞춰서 작은 테이블(21B)을 사용한 경우에도, 마운트용 시트(MS)의 웨이퍼(W) 외연보다도 외측의 영역의 변형이 규제되어, 마운트용 시트(MS)의 당해 영역의 웨이퍼(W)측으로의 휨이 방지된다.

그리고, 상기와 같은 방법으로, 마운트용 시트(MS)를 웨이퍼(W)에 부착한다. 이와 같이, 웨이퍼(W)의 사이즈가 작은 경우에도, 마운트용 시트(MS) 및 웨이퍼(W)사이에 외관상 제4 공간(V4)을 발생시키지 않고, 마운트용 시트(MS)를 웨이퍼(W)에 부착할 수 있다.

이상과 같은 본 실시예에 의하면, 다음과 같은 효과가 있다.

즉, 시트 부착 장치(1)는, 마운트용 시트(MS)를 웨이퍼(W)측으로 휘게 해서 웨이퍼(W)에 부착할 때에, 마운트용 시트(MS)의 웨이퍼(W) 외연보다도 외측의 영역이 웨이퍼(W)측으로 변형하는 것을 규제하기 때문에, 마운트용 시트(MS)의 당해 영역이 웨이퍼(W)측으로 휘는 것을 규제할 수 있다. 따라서, 마운트용 시트(MS)가 웨이퍼(W) 외연의 볼록부(W1)의 정상면(W11)에 부착되기 전에, 마운트용 시트(MS)를 웨이퍼(W)의 오목부(W2)의 저면(W21)의 광범위하게 부착할 수 있으므로, 마운트용 시트(MS) 및 웨이퍼(W) 사이에 제4 공간(V4)이 발생하는 것을 방지할 수 있다.

이상과 같이, 본 발명을 실시하기 위한 최선의 구성, 방법 등은 상기 기재에서 개시되어 있지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다. 즉, 본 발명은, 주로 특정한 실시형태에 관해서 특별히 도시되고, 또한 설명되어 있지만, 본 발명의 기술적 사상 및 목적의 범위로부터 일탈하는 일 없이, 이상 서술한 실시형태에 대하여, 형상, 재질, 수량, 그 밖의 상세한 구성에 있어서, 당업자가 여러가지 변형을 가할 수 있는 것이다. 또한, 상기에 개시한 형상, 재질 등을 한정한 기재는 본 발명의 이해를 쉽게 하기 위해서 예시적으로 기재한 것이며, 본 발명을 한정하는 것은 아니므로, 그것들의 형상, 재질 등의 한정의 일부 혹은 전부의 한정을 제외한 부재의 명칭에서의 기재는 본 발명에 포함되는 것이다.

예를 들어, 상기 실시예에서는 피착체가 웨이퍼(W)인 경우를 도시했지만, 피착체는 웨이퍼(W)로 한정되는 것이 아니고, 링 프레임(RF)은 없어도 좋고, 웨이퍼(W) 이외에 유리판, 강판, 또는 수지판 등 그 밖의 판상 부재 등이나, 판상 부재 이외의 것도 대상으로 할 수 있다. 그리고, 웨이퍼(W)는 실리콘 반도체 웨이퍼나 화합물 반도체 웨이퍼 등을 예시할 수 있다. 그리고, 이러한 피착체에 부착하는 접착 시트는 마운트용 시트(MS)에 한정되지 않고, 그 밖의 임의의 시트, 필름, 테이프 등 판상 부재에 부착하는 임의의 용도, 형상의 접착 시트를 적용할 수 있다. 또한, 상기 실시예에서는 회로면에 보호 시트가 부착된 웨이퍼(W)를 채용했지만, 보호 시트가 부착되지 않고 있는 웨이퍼(W)를 채용해도 좋다.

상기 실시예에서는 링 프레임(RF)이 부착된 마운트용 시트(MS)를 감압 수단(3)의 뚜껑 부재(6) 및 하부챔버(7)에서 지지하고 있었지만, 시트 지지 수단으로서는 뚜껑 부재(6) 및 하부챔버(7)에 한정되지 않는다. 예를 들어, 뚜껑 부재(6)를 하부챔버(7)와 같이 상자형으로 형성하고, 뚜껑 부재(6)의 하면(61)에 링 프레임(RF) 및 마운트용 시트(MS)를 지지하는 테이블을 설치하거나, 하부챔버(7)의 저면부(71)에 피착체 지지 수단(2)을 둘러싸도록 외주 테이블을 설치하거나 해서, 링 프레임(RF)이 부착된 마운트용 시트(MS)를 이들의 테이블에서 지지하도록 하여도 좋다.

또한, 상기 실시예에서는 뚜껑 부재(6)나 하부챔버(7)는, 링 프레임(RF) 부분을 유지함으로써 웨이퍼(W)나 마운트용 시트(MS)를 유지하고 있었지만, 마운트용 시트(MS)를 유지하도록 하여도 좋다.

상기 실시예에서는 압력 조정 수단(8A)에 의해, 웨이퍼(W)가 배치되지 않고 있는 제1 공간(V1)의 압력을 웨이퍼(W)가 배치되고 있는 제2 공간(V2)의 압력에 대하여 높게 설정함으로써, 마운트용 시트(MS)를 웨이퍼(W)측으로 휘게 하고 있었지만, 마운트용 시트(MS)를 웨이퍼(W)측으로 휘게 하는 시트 변형 수단으로서는 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 압력 조정 수단(8B)에 의해, 제2 공간(V2)의 압력을 제1 공간(V1)의 압력에 대하여 낮게 설정하거나, 부착 롤러를 설치하고, 이 부착 롤러가 마운트용 시트(MS) 위를 전동함으로써 마운트용 시트(MS)를 웨이퍼(W)측으로 휘게 해서 웨이퍼(W)에 부착하도록 하여도 좋다.

상기 실시예에서는 환형상의 변형 규제 부재(4A)가 설치되고 있었지만, 변형 규제 수단으로서는 이것에 한정되지 않는다. 요컨대, 마운트용 시트(MS)의 웨이퍼(W) 외연보다도 외측의 영역이 웨이퍼(W)측으로 변형하는 것을 규제할 수 있으면 좋고, 예를 들어 뚜껑 부재(6)의 웨이퍼(W) 외연보다도 외측의 부분에 복수의 흡인구를 설치하고, 이 흡인구를 통해서 마운트용 시트(MS)를 웨이퍼(W)의 방향과는 반대 방향으로 흡인함으로써, 마운트용 시트(MS)의 웨이퍼(W) 외연의 외측의 영역이 웨이퍼(W)측으로 변형하는 것을 규제하도록 하여도 좋다.

또한, 상기 실시형태에 있어서의 구동 기기는 회전 모터, 직동 모터, 리니어 모터, 단축 로봇, 다관절 로봇 등의 전동 기기, 에어 실린더, 유압 실린더, 로드레스 실린더 및 로터리 실린더 등의 액추에이터 등을 채용할 수 있는 동시에, 그것들을 직접적 또는 간접적으로 조합시킨 것을 채용할 수도 있다(실시형태에서 예시한 것과 중복하는 것도 있음).

1 : 시트 부착 장치
3 : 감압 수단
4A, 4B : 변형 규제 부재(변형 규제 수단)
6 : 뚜껑 부재(시트 지지 수단)
7 : 하부챔버(시트 지지 수단)
8A, 8B : 압력 조정 수단(시트 변형 수단)
MS : 마운트용 시트(접착 시트)
V1 : 제1 공간
V2 : 제2 공간
W : 웨이퍼(피착체)

Claims

피착체에 대향해서 배치한 접착 시트를 지지하는 시트 지지 수단과,
지지하고 있는 접착 시트를 상기 피착체측으로 휘게 해서 당해 피착체에 부착하는 시트 변형 수단과,
상기 피착체를 평면에서 보았을 때에 피착체 외연보다도 외측에 위치하는 접착 시트 영역이 상기 피착체측으로 변형하는 것을 규제하는 변형 규제 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는, 시트 부착 장치.
제1항에 있어서, 상기 피착체 및 당해 피착체에 대향해서 배치한 접착 시트를 감압 분위기로 유지하는 감압 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는, 시트 부착 장치.
제2항에 있어서, 상기 감압 수단은, 상기 접착 시트를 경계에 독립한 제1 공간 및 제2 공간을 형성하고,
상기 시트 변형 수단은, 상기 제1 공간 및 상기 제2 공간의 압력차에 의해 상기 접착 시트를 상기 피착체측으로 휘게 해서 부착하는 것을 특징으로 하는, 시트 부착 장치.
피착체에 대향해서 배치한 접착 시트를 지지하고,
지지하고 있는 접착 시트를 상기 피착체측으로 휘게 해서 당해 피착체에 부착할 때, 상기 피착체를 평면에서 보았을 때에 피착체 외연보다도 외측에 위치하는 접착 시트 영역이 상기 피착체측으로 변형하는 것을 규제하는 것을 특징으로 하는, 시트 부착 방법.