JP2006310338A - ウェハー用真空テープ貼付装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基台と、前記基台の上方に被せられて前記基台との間に気密空間を形成する上蓋と、前記気密空間を前記基台側の気密空間Aと前記上蓋側の気密空間Bとに仕切り、前記気密空間B側にテープを貼り付ける部品を載置する弾性体の弾性シートと、前記弾性シートに載置され、ウェハーを前記弾性シートから離して支持する貼付用冶具と、前記気密空間A及び気密空間Bの内気圧をそれぞれ変化させる第1及び第2の真空ポンプとを有し、前記貼付用冶具は、前記弾性シートに載置されるプレートと、前記プレート上に設けられてウェハーの外周部に接触して支持する複数の支持ピンと、前記支持ピンで支持されたウェハーを前記弾性シートの中央部に位置決めする位置合わせピンとを有する。
【選択図】 図1
Description
ダイシングフレーム第22に貼り付けられて、上蓋4と基台15によって形成された気密空間を、上蓋4側を気密空間B5として基台15側を気密空間C6に分離するダイシングテープ1と、ゴムシート3上でフレーム台14より内側に設けられた貼付用冶具14と、貼付用冶具14によりゴムシート中央部に位置決めされて載置されるウェハー2と、基台15の気密空間B5部分に設けられた真空開口B7と、真空開口B7から管を通じて気密空間B、Cを大気圧から真空厚に変化させる真空弁B8と、基台15の中央部のゴムシート3下部に設けられた真空開口A11と、真空開口A11からの管で構成される気密空間A10を大気圧から真空厚に変化させる真空弁A12とから構成される。
2 ウェハー
3 ゴムシート
4 上蓋
5 気密空間B
6 気密空間C
7 真空開口B
8 真空弁B
9 リングB
10 気密空間A
11 真空開口A
12 真空弁A
13 ダイシングフレーム
14 貼付用冶具
15 基台
16 プレート
17 支持ピン
18 位置合わせピン
19 回路
20 フレーム支持ピン
21 フレーム位置合わせピン
22 フレーム台
23 リングA
Claims (3)
- 基台と、前記基台の上方に被せられて前記基台との間に気密空間を形成する上蓋と、前記気密空間を前記基台側の気密空間Aと前記上蓋側の気密空間Bとに仕切り、前記気密空間B側にテープを貼り付ける部品を載置する弾性体の弾性シートと、前記弾性シートに載置され、ウェハーを前記弾性シートから離して支持する貼付用冶具と、前記気密空間A及び気密空間Bの内気圧をそれぞれ変化させる第1及び第2の真空ポンプとを有することを特徴とするウェハー用真空テープ貼付装置。
- 前記貼付用冶具は、前記弾性シートに載置されるプレートと、前記プレート上に設けられてウェハーの外周部に接触して支持する複数の支持ピンと、前記支持ピンで支持されたウェハーを前記弾性シートの中央部に位置決めする位置合わせピンとを有することを特徴とする請求項1記載のウェハー用真空テープ貼付装置。
- 前記弾性シートは、エチレンプロピレンゴム、ブチルゴム、フッ素ゴム、シリコンゴム、ネオプレンゴムの何れかであることを特徴とする請求項1または2に記載のウェハー用真空テープ貼付装置。
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