KR20100136905A

KR20100136905A - 펠리클

Info

Publication number: KR20100136905A
Application number: KR1020100026655A
Authority: KR
Inventors: 카즈토시 세키하라
Original assignee: 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤
Priority date: 2009-06-19
Filing date: 2010-03-25
Publication date: 2010-12-29
Also published as: US20100323281A1; TWI411873B; JP5142297B2; KR101671246B1; US8293432B2; CN101930164A; TW201100952A; JP2011002680A

Abstract

[과제] 사용 중에 통기 구멍이나 필터로부터 먼지가 발생할 우려가 없는 신뢰성이 높은 펠리클을 제공한다.
[해결 수단] 통기 구멍의 둘레가장자리부에 C 또는 R모따기 가공을 실시하고, 또한 그 직경을 내면측으로부터 외면측을 향해서 테이퍼상으로 확대한 구조로 한다. 또한, 통기 구멍 내벽의 표면 거칠기를 Ra1.0 이하로 한다. 둘레가장자리부로부터의 먼지 발생이 대폭적으로 감소함과 아울러 통기 구멍 내의 이물 검사를 정밀도 좋게 행할 수 있고, 세정성도 높아진다. 그 결과, 사용 중에 통기 구멍이나 필터 주변으로부터 이물이 발생할 우려가 없는 매우 신뢰성이 높은 펠리클이 된다.

Description

펠리클{PELLICLE}

본 발명은 반도체 디바이스, 프린트 기판 또는 액정 디스플레이 등을 제조할 때의 먼지 막이로서 사용되는 펠리클에 관한 것이다.

LSI, 초LSI 등의 반도체 제조 또는 액정 디스플레이 등의 제조에 있어서는 반도체 웨이퍼 또는 액정용 원판에 광을 조사해서 패턴을 제작하지만, 이 때에 사용하는 포토마스크 또는 레티클(이하, 간단하게 포토마스크라고 한다)에 먼지가 부착되어 있으면, 이 먼지가 광을 흡수하거나 광을 굴절시켜 버리기 때문에 전사된 패턴이 변형되거나, 엣지가 울퉁불퉁하게 되는 이외에 하지(下地)가 검게 오염되거나 하는 등 치수, 품질, 외관 등이 손상된다고 하는 문제가 있었다.

이 때문에, 이들 작업은 통상 클린룸에서 행하여지고 있지만, 그래도 포토마스크를 항상 청정하게 유지하는 것이 어렵다. 그래서, 포토마스크 표면에 먼지 막이로서 펠리클을 부착한 후에 노광을 행하고 있다. 이 경우, 이물은 포토마스크의 표면에는 직접 부착되지 않고, 펠리클 상에 부착되기 때문에 리소그래피시에 초점을 포토마스크의 패턴 상에 맞춰 두면, 펠리클 상의 이물은 전사에 관계없게 된다.

일반적으로, 펠리클은 광을 잘 투과시키는 니트로셀룰로오스, 아세트산 셀룰로오스 또는 불소 수지 등으로 이루어지는 투명한 펠리클막을 알루미늄, 스테인리스, 폴리에틸렌 등으로 이루어지는 펠리클 프레임의 상단면에 부착 내지 접착한다. 또한, 펠리클 프레임의 하단에는 포토마스크에 장착하기 위한 폴리부텐 수지, 폴리아세트산 비닐 수지, 아크릴 수지 등으로 이루어지는 점착층, 및 점착층의 보호를 목적으로 한 이형층(세퍼레이터)이 설치된다.

또한, 펠리클을 포토마스크에 부착한 상태에 있어서, 펠리클 내부에 둘러싸인 공간과 외부의 기압차를 없애는 것을 목적으로 해서 펠리클 프레임의 일부에 기압 조정용의 작은 구멍을 형성하고, 작은 구멍을 통해서 이동하는 공기로부터의 이물 침입을 방지하기 위한 필터가 설치되는 것도 있다(특허문헌 1 참조).

이 필터는 통상 소망의 이물 포집 성능 및 통기 성능이 얻어지도록 포집 구경 및 면적이 고려되지만, 1매로는 소망의 통기 성능이 얻어지지 않는 경우에는 복수매의 필터가 설치된다. 예를 들면, 반도체 제조용으로 사용되는 펠리클에서는 1매인 경우가 많은데 대하여, 1변이 500㎜를 초과하는 대형 액정 제조용 펠리클에서는 통기량 확보를 위하여 통상 8매~수십매가 장착된다.

여기에서 사용되는 필터는 일반적으로는 PTFE 등을 연신 가공한 다공질 박막을 통기막으로서 사용한 시트상인 것이 비용, 형상의 점으로부터 펠리클에서의 사용에 적합하여 주로 사용된다. 그 구조는 도 4에 나타내는 것과 같은 것이고, 필터 통기막(41)의 한쪽면에 프레임에 접착하기 위한 점착층(43)을 링상으로 배치하고, 그 반대측 면에는 필터 통기막(41)을 보호하는 PP 등으로 이루어지는 거친 메시상의 보호망(42)을 접착한 3층 구조로 되어 있으며, 두께는 전체로 0.15~0.3㎜정도이다. 이 필터에 대하여, 때로는 먼지 발생을 방지하기 위해서 필터 자신에 점착성 물질을 도포 또는 침윤시키는 가공이 행하여진 경우도 있다(특허문헌 2 참조).

펠리클 프레임은 일반적으로는 계면활성제 또는 순수 내에서의 초음파 세정 등의 수단으로 세정된다. 그 때, 통기 구멍의 내부도 액 내에서의 초음파 세정에 의해 세정되지만, 통기 구멍 내부에는 초음파가 침입하기 어렵기 때문에 통상(구멍 이외)의 펠리클 프레임 표면보다 세정 효과는 저하된다. 특히 1변이 500㎜를 초과하는 대형 펠리클에 대해서는 프레임의 폭이 넓기 때문에, 그것에 따라서 통기 구멍이 길어져 세정성의 현저한 저하가 발생한다. 또한, 세정 후에 통기 구멍 내의 이물 검사를 행할 시에 통기 구멍 내부를 거의 육안으로 관찰할 수 없다고 하는 문제가 있었다.

또한, 통상 필터는 펠리클 프레임의 외측 표면에 통기 구멍을 덮는 형태로 장착되어 있다. 그 때문에 예를 들면, 필터로의 에어 블로우 등에 의해 막면이 진동했을 때에는 통기 구멍 둘레가장자리부에 막면이 접촉하여 흠집이 생겨 먼지가 발생할 우려가 있었다. 이 부분에 있어서의 먼지 발생은 펠리클의 내측 영역이기 때문에 마스크 패턴으로의 이물 부착이라고 하는 큰 문제를 야기할 우려가 있다.

일본 실용신안 공고 소63-39703호 공보 일본 특허공개 평09-068792호 공보

본 발명의 목적은 펠리클 프레임 상에 펠리클 내의 기압을 외부와 동일하게 조정하기 위한 통기 구멍 및 상기 통기 구멍에 펠리클 내부로 침입하는 파티클을 방지하는 필터가 장착되어 있는 펠리클에 있어서, 사용 중에 통기 구멍이나 필터로부터 먼지가 발생할 우려가 없는 신뢰성이 높은 펠리클을 제공하는 것에 있다.

본 발명에 의한 펠리클은 펠리클 프레임 상에 펠리클 내의 기압을 외부와 동일하게 조정하기 위한 통기 구멍 및 상기 통기 구멍에 펠리클 내부로 침입하는 파티클을 방지하는 필터가 장착되어 있는 펠리클에 있어서, 펠리클 프레임에 형성된 통기 구멍의 둘레가장자리부가 C0.5~C1.0 또는 R0.5~R1.0으로 모따기되어 있는 것을 특징으로 한다. 통상, 통기 구멍 둘레가장자리부는 샌드블라스트 등에 의한 C0.1정도의 자연 모따기가 되어 있지만, 모따기 가공을 실시함으로써 둘레가장자리부로부터의 먼지 발생 저하에 더하여, 필터막과 통기 구멍 둘레가장자리부의 접촉시의 먼지 발생을 방지할 수 있다.

또한, 상기 펠리클에 있어서 펠리클 프레임에 형성된 통기 구멍이 프레임 내면측으로부터 외면측을 향해서 테이퍼상으로 확대되고 있는 것을 특징으로 한다. 테이퍼상으로 통기 구멍 지름이 확대되고 있음으로써 세정 후의 통기 구멍 내의 육안 관찰이 용이해지는 이외에, 세정 중에 있어서는 초음파의 통기 구멍 내로의 침입을 도와 세정 효과가 향상된다.

또한, 상기 펠리클에 있어서 통기 구멍 벽면의 표면 거칠기가 Ra1㎛ 이하인 것을 특징으로 한다. 세정 효과가 향상됨과 아울러 이물이 부착되기 어려워진다.

또한, 이들 통기 구멍의 발명에 더하여 장착하는 필터의 통기막에 점착성 물질을 도포 또는 침윤하는 것으로 하면, 더욱 사용 중에 먼지 발생의 우려가 없는 펠리클이 된다.

(발명의 효과)

본 발명에 의하면, 통기 구멍의 둘레가장자리부가 모따기 가공되고, 또한 그 직경이 내면측으로부터 외면측을 향해서 테이퍼상으로 확대되어 있기 때문에, 둘레가장자리부로부터의 먼지 발생이 대폭적으로 감소함과 아울러 통기 구멍 내의 이물 검사를 정밀도 좋게 행할 수 있다. 또한, 통기 구멍 내벽의 표면 거칠기가 작기 때문에 세정성이 높고, 또한 이물이 부착될 가능성도 적다. 그 결과, 사용 중에 통기 구멍이나 필터 주변으로부터 이물이 발생할 우려가 없는 매우 신뢰성이 높은 펠리클이 된다.

도 1은 본 발명의 일실시형태인 펠리클 프레임의 통기 구멍의 양단 둘레가장자리부를 R모따기한 예를 나타낸 통기 구멍 부근의 단면도이다.
도 2는 본 발명의 다른 실시형태인 통기 구멍이 테이퍼를 이루는 예를 나타낸 통기 구멍 부근의 단면도이다.
도 3은 일부가 테이퍼상을 이루는 통기 구멍에 둘레가장자리부의 모따기를 조합한 실시형태를 나타낸 통기 구멍 부근의 단면도이다.
도 4는 필터의 구조 개략도이다.
도 5는 펠리클의 외관 개략도이다.
도 6은 종래 기술에 의한 통기 구멍 부근의 개략도이다.
도 7은 필터로부터의 먼지 발생 평가 방법을 설명하는 개략도이다.

이하, 본 발명을 실시하기 위한 실시형태에 대하여 설명하지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다. 또한, 본 발명은 프레임 폭이 넓은(=통기 구멍이 긴) 액정 제조 용도로 사용되는, 1변의 길이가 500㎜를 초과하는 대형 펠리클에 있어서 특히 효과가 크지만, 반도체 용도로 사용되는 프레임 폭이 좁은(=통기 구멍이 짧은) 1변이 150㎜정도의 소형 펠리클에 대해서 적용해도 소망의 효과가 얻어지므로 특별히 그 용도가 한정되는 것은 아니다.

도 4에 본 발명에서 사용하고 있는 필터의 구조를 나타낸다. 필터 통기막(41)은 PTFE 등으로 이루어지는 얇은 다공질막이고, 그 하면에 펠리클 프레임에 점착 고정하기 위한 점착층(43)이 형성되며, 또한 상면에는 필터 통기막 보호를 위한 보호망(42)이 설치되어 있다. 점착층(43)은 환상으로 되어 있기 때문에, 중앙부에 노출된 필터막(41)에서 통기가 행하여진다.

도 1은 본 발명의 일실시형태인 펠리클 프레임(11)의 통기 구멍(12)의 양단 둘레가장자리부(17)를 R모따기한 예를 나타낸 통기 구멍 부근의 단면도이다. 가공에 사용하는 절삭날의 사정에 의해 R모따기가 불가능한 경우는 직선상으로 모따기한 C모따기로 해도 되지만, 먼지 발생 방지의 관점으로부터는 R모따기 쪽이 보다 바람직하다.

여기에서, 둘레가장자리부(17)의 모따기 크기(이 도면의 R모따기의 경우, 곡률반경)는 0.5~1.0㎜의 범위인 것이 바람직하다. 0.5㎜ 이하에서는 모따기가 불충분하여 효과가 불충분한데 더하여, 지나치게 작아서 가공이 어렵다고 하는 문제가 있다. 반대로, 1㎜를 초과하는 크기로 했을 경우에는 프레임 강성에 주는 영향이 커지는데 더하여, 통기 구멍 내의 세정성 향상이나 검사성 향상과 같은 점에서는 과대하여 의미가 없고, 또한 장착하는 필터(16)가 대형으로 되거나, 장착 위치의 요구 공차가 엄격해진다고 하는 불이익이 있어 바람직하지 않다.

통기 구멍 단부의 둘레가장자리부(17)가 모따기되어 있으면, 필터(16)에 외면으로부터 강력한 에어 블로우 등이 가하여져 필터(16)가 오목하게 되어 통기 구멍의 둘레가장자리부(17)에 접촉하여도, 예리한 부분이 없기 때문에 스침에 의한 먼지 발생이 거의 없어진다. 또한, 둘레가장자리부(17)의 개구가 커짐으로써 펠리클 프레임(11) 세정 후의 통기 구멍(12) 내의 육안 이물 검사가 용이해진다고 하는 이점도 있다.

또한, 이 예에서는 펠리클 프레임(11)의 외측, 내측 양쪽의 둘레가장자리부(17)에 R모따기를 실시하고 있지만, 비용면의 고려에 의해 외측만으로 해도 된다.

도 2는 본 발명의 다른 실시형태를 나타낸 통기 구멍 부근의 단면도이다. 통기 구멍(22)이 펠리클 프레임 내면측으로부터 외면측을 향해서 테이퍼상으로 확대되어 있다. 그 때문에, 펠리클 프레임 세정 후의 통기 구멍 내를 외측으로부터 육안으로 관찰했을 경우에 통기 구멍의 속 깊숙이까지 용이하게 이물 검사할 수 있어, 작업성이 개선되는데 더하여 검사 정밀도가 대폭적으로 향상된다.

이 때, 통기 구멍 내의 표면 거칠기는 Ra1㎛ 이하, 더욱 바람직하게는 Ra0.5㎛ 이하로 하는 것이 좋다. 이 마무리는 드릴 가공에 의한 구멍 형성 후에 리머 가공을 행하고, 또한 필요에 따라서 숫돌에 의한 연마, 약액을 사용한 화학 연마, 또는 전해 연마를 함으로써 얻어진다.

통기 구멍의 내벽이 평활해지기 때문에 세정성이 대폭적으로 향상되고, 세정 후에도 이물이 통기 구멍 내에 남아있을 위험이 저하된다. 또한, 표면이 평활하기 때문에 이물 검사에 있어서 이물의 검출이 용이해진다. 또한, 제조 공정 중에 있어서 이물이 부착될 가능성이 저감된다.

또한, 검사성의 향상이라고 하는 관점으로부터는 통기 구멍 지름을 크게 한다고 하는 해결 수단도 고려된다. 그러나, 지름을 크게 하여도 보는 방향에 대향하는 면이 없으므로, 테이퍼상에 비하여 효과는 크게 떨어진다. 또한 지름을 크게 해 가면 검사성은 향상되어 가지만, 크게 할수록 프레임 강성이 저하되는 문제가 있다.

그리고, 상기한 바와 같은 본 발명의 수단은 각각을 조합해서 사용함으로써 더 높은 효과를 얻을 수 있다.

도 1에 나타낸 통기 구멍 둘레가장자리부의 모따기에 더하여 그 통기 구멍 내벽을 Ra1㎛ 이하로 마무리하는 것, 또는 도 2에 나타낸 테이퍼상 통기 구멍의 내벽을 Ra1㎛ 이하의 표면 거칠기로 마무리하는 것은 보다 바람직한 사례이다. 테이퍼 각도는 제한적이지는 않지만, 정각에서 5°정도로 하면 지장없다.

도 3은 일부가 테이퍼상을 이루는 통기 구멍에 둘레가장자리부의 모따기를 조합한 실시형태를 나타낸 통기 구멍 부근의 단면도이다.

이 경우, 상기한 2예를 조합한 효과가 얻어진다. 통기 구멍(32)의 일부는 테이퍼상으로 되어 있고, 또한 둘레가장자리부(37)가 R모따기되어 있기 때문에 외면측으로부터의 이물 검사가 용이하고, 검사 정밀도도 높다. 또한, 둘레가장자리부(37)의 R모따기에 의해 필터(36)의 통기막 부근에 예리한 부분이 없으므로, 먼지 발생의 위험성이 대폭적으로 저하된다.

이 예에서는 상기 도 2와 같이 통기 구멍을 전체에 걸쳐서 테이퍼상으로 하지 않고, 프레임 내측 근방의 일부 영역을 통상의 동일 지름 구멍으로 하고 있다. 가공 수단의 점에서 필요에 따라서 이러한 형상으로 하는 것도 되고, 양자간에 효과의 차이는 없다.

그리고, 특히 바람직하게는 상기 도 3의 구성에 있어서, 또한 통기 구멍 내벽의 표면 거칠기를 Ra1㎛ 이하로 하는 것이다. 통기 구멍의 둘레가장자리부(37) 및 필터(36)로부터의 먼지 발생 방지, 통기 구멍의 세정성, 검사의 용이함, 어느 점에 있어서나 매우 양호한 펠리클이 된다.

여기에서, 장착하는 필터(36)에 점착성 물질을 도포 또는 침윤시키면, 더욱 사용 중에 먼지 발생의 우려가 없는 펠리클로 할 수 있다. 일반적으로 필터는 클린룸 환경에서 제조되고 있지 않고, 또한 가령 환경이 클린룸이었다고 하더라도 몇단계나 되는 펀칭 가공을 거쳐서 완성품이 될 때까지 이물 부착을 완전히 방지할 수는 없다. 그 때문에 통기시에는 부착되어 있었던 이물이 탈락할 우려가 있지만, 점착성 물질의 도포 또는 침윤에 의해 부착 이물을 필터 표면에 완전하게 고정할 수 있다.

여기에서, 점착성 물질은 실리콘 점착제, 아크릴 점착제 등을 사용하는 것이 좋다. 이들을 용매로 수%로 희석한 것을 정밀 디스펜서 등으로 적량 도포한다. 그리고, 이 용액의 농도나 침윤시키는 양은 필터의 통기 성능을 확보할 수 있는 범위에서 적당하게 결정하는 것이 좋다.

실시예

이하에 본 발명의 실시예를 기술하지만, 본 발명은 이들에 한정되는 것은 아니다.

A5052 알루미늄 합금의 압연판으로 도 5에 나타내는 바와 같은 형상의 바깥치수 1526×1748㎜, 안치수 1493×1711㎜, 높이 6.2㎜의 펠리클 프레임을 기계 가공에 의해 제작했다. 이 프레임에는 16개소의 통기 구멍을 형성하고, 각 통기 구멍은 도 3에 나타내는 단면 형상으로 했다. 여기에서, 도면 중의 치수는 3a=1.5㎜, 3b=2.2㎜, 3c(곡률반경)=0.5㎜이다. 또한, 이 통기 구멍(32)의 내벽은 Ra0.5㎛가 되도록 연마 가공했다. 그리고, 기계 가공 종료 후에 이 프레임 표면을 샌드블라스트 처리하고, 또한 흑색 알루마이트 처리를 실시했다.

이 프레임을 Class10의 클린룸 내에서 세정, 건조하고, 암실 내에서 이물 검사를 행했다. 물론, 통기 구멍 내부에 대해서도 이물 검사를 행하고, 프레임 외측으로부터 관찰한 결과, 내부를 잘 확인할 수 있었지만 여기에는 이물의 잔류는 전무했다.

이 프레임에 대하여 상단면에 펠리클막 접착제(33)로서 실리콘 점착제[신에쓰 가가꾸 고교(주)제 : 상품명 KR3700]를 톨루엔으로 희석해서 건조막 두께가 약 100㎛가 되도록 도포했다. 또한, 한쪽의 끝면에는 마스크 점착제(35)로서 실리콘 점착제[신에쓰 가가꾸 고교(주)제 : 상품명 KR3700]를 톨루엔으로 희석하여 6㎜ 폭이 되도록 도포했다. 이 때, 점착제의 높이는 약 2㎜가 되도록 마무리했다.

그리고, 각 통기 구멍에는 펀칭 가공에 의해 제작한 도 4에 나타내는 바와 같은 구조의 PTFE제 필터를 핀셋을 이용하여 부착한 후에 실리콘 점착제(신에쓰 가가꾸 고교(주)제 : 상품명 KR3700)를 톨루엔으로 희석한 것을 핸드 디스펜서로 필터(36) 표면에 도포하고, 점착제를 필터에 침윤시켰다.

그 후, 이 프레임을 130℃로 가열해서 점착제, 접착제 중의 용매를 건조시킴과 아울러 실리콘 점착제를 완전히 가교시키고, 이어서 점착제 보호용으로서 별도 제작해 둔 세퍼레이터를 마스크 점착층 상에 접합했다. 이 세퍼레이터는 한쪽면에 이형제를 코팅한 PET 필름(두께 125㎛, 반투명)을 프레임의 형상으로 절단해서 제작한 것이다.

이어서, 펠리클막의 제조에 대하여 서술한다. 상기 클린룸 내에서 표면을 평활하게 연마한 1620×1780㎜의 석영 기판을 세정, 건조한 후에 그 한쪽면에 다이 코팅법을 이용하여 막재료로서 불소 수지[아사히가라스(주)제; 상품명 사이톱]를 건조 후 막두께가 6㎛가 되도록 도포했다. 이 성막 방법은 여기에서는 다이 코팅법으로 했지만, 이 이외에 스핀 코팅법, 슬릿 앤드 스핀법 등 여러 가지 것을 사용할 수 있다. 그 후, 성막 기판과 함께 오븐에서 200℃로 가열하여 용매를 건조시켰다. 그리고, 냉각 후에 이 막에 대하여 프레임상의 막 박리 지그를 접착시키고, 천천히 기판으로부터 떼어내 박리막을 얻었다.

그리고 마지막으로 상기한 프레임의 막 접착층에 이 박리막을 접합하고, 외측의 잉여막을 커터에 의해 절제해서 펠리클을 완성시켰다.

완성된 펠리클에 대해서 필터를 에어 블로우했을 때의 먼지 발생성 평가를 행했다.

먼저, 1620×1780×두께 10㎜의 표면 연마한 석영 유리 기판을 준비하고, 상기 클린룸 내에서 세정, 건조한 후에 암실 내에서 집광 램프를 이용하여 기판 상의 이물 검사를 행했다. 부착되어 있었던 이물에 대해서는 에어 블로우에 의한 제거를 행했지만, 제거할 수 없는 것에 대하여는 그 위치를 맵에 정확하게 기록했다.

그 후, 도 7에 나타내는 바와 같이, 이 석영 유리 기판(71)에 제작한 펠리클(72)을 부착하여 펠리클(72)과 유리 기판(71)으로 둘러싸인 폐공간을 만들었다. 그리고, 펠리클(72)의 필터부(도시 생략) 중 5개소를 무작위로 선택하여 외측으로부터 에어 블로우를 행했다. 에어 블로우의 조건은 노즐 지름 : 2㎜, 거리 : 20㎜, 압력 : 약 392㎪(4kgf/㎠), 블로우 시간 : 10sec로 했다.

그리고, 필터로의 에어 블로우 후에 암실 내에서 석영 유리 기판(71) 상의 이물을 집광 램프에 의해 육안으로 검사하고, 에어 블로우 전의 검사에서의 맵과 비교했다. 그 결과, 이물은 전혀 증가되어 있지 않았다.

[비교예]

A5052 알루미늄 합금의 압연판으로 도 5에 나타내는 바와 같은 형상의 바깥치수 1526×1748㎜, 안치수 1493×1711㎜, 높이 6.2㎜의 펠리클 프레임을 기계 가공에 의해 제작했다. 이 프레임에는 도 6에 나타내는 바와 같은 동일 지름 단면 형상의 직경 1.5㎜의 통기 구멍(62)을 16개소 형성했다. 기계 가공 종료 후에 이 프레임 표면을 샌드블라스트 처리하고, 또한 흑색 알루마이트 처리를 실시했다. 또한, 통기 구멍(62)의 내벽 표면 거칠기를 측정한 결과, Ra2~4㎛정도였다.

그리고, 상기 실시예와 마찬가지로 해서 이 프레임을 Class10의 클린룸 내에서 세정, 건조하고, 암실 내에서 이물 부착을 확인했다. 이 때, 통기 구멍 내부에 대해서도 이물 검사를 행했지만, 통기 구멍이 좁고 깊어서 통기 구멍 내부의 상황은 잘 확인할 수 없었다.

그 후, 이 프레임에 상기 실시예와 마찬가지로 막 접착제(63), 마스크 점착제(65)를 도포하고, 또한 도 4에 나타내는 형상의 필터를 핀셋으로 부착했다. 이어서, 이 프레임을 130℃로 가열해서 용매를 건조시킴과 아울러 실리콘 점착제를 완전히 가교시켜 점착제 보호용으로서 별도 제작해 둔 세퍼레이터를 마스크 점착층 상에 접합했다.

마지막으로, 상기 실시예와 마찬가지로 해서 제작한 펠리클막을 이 프레임의 막 접착층에 접합하고, 프레임 외측의 잉여막을 커터에 의해 절제해서 펠리클을 완성시켰다.

이 펠리클의 평가로서 상기 실시예와 완전히 동일하게 해서 도 7에 나타내는 바와 같이 유리 기판(71)에 부착한 펠리클(72)의 필터부에 외부로부터 에어 블로우를 행하고, 먼지 발생의 유무를 평가했다. 그 결과, 5개소 중 2개소의 통기 구멍 근방의 유리 기판 상에 직경 10~20㎛의 이물 수개의 부착이 보였다.

11 : 펠리클 프레임 12 : 통기 구멍
13 : 막 접착층 14 : 펠리클막
15 : 마스크 점착층 16 : 필터
17 : (통기 구멍의)둘레가장자리부 21 : 펠리클 프레임
22 : 통기 구멍 23 : 막 접착층
24 : 펠리클막 25 : 마스크 점착층
26 : 필터 31 : 펠리클 프레임
32 : 통기 구멍 33 : 막 접착층
34 : 펠리클막 35 : 마스크 점착층
36 : 필터
37 : (통기 구멍의)둘레가장자리부 3a : 통기 구멍 동일 지름부
3b : 통기 구멍 테이퍼부 지름 3c : 둘레가장자리부 R모따기 반경
41 : 필터 통기막 42 : 보호망
43 : 점착층 61 : 펠리클 프레임
62 : 통기 구멍 63 : 막 접착층
64 : 펠리클막 65 : 마스크 점착층
66 : 필터 71 : 유리 기판
72 : 펠리클

Claims

펠리클 프레임 상에 펠리클 내의 기압을 외부와 동일하게 조정하기 위한 통기 구멍 및 상기 통기 구멍에 펠리클 내부로의 이물 침입을 방지하는 필터가 장착되어 있는 펠리클에 있어서: 상기 통기 구멍의 둘레가장자리부가 C0.5~C1.0 또는 R0.5~R1.0으로 모따기되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클.
펠리클 프레임 상에 펠리클 내의 기압을 외부와 동일하게 조정하기 위한 통기 구멍 및 상기 통기 구멍에 펠리클 내부로의 이물 침입을 방지하는 필터가 장착되어 있는 펠리클에 있어서: 상기 통기 구멍이 프레임 내면측으로부터 외면측을 향해서 테이퍼상으로 확대되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클.
펠리클 프레임 상에 펠리클 내의 기압을 외부와 동일하게 조정하기 위한 통기 구멍 및 상기 통기 구멍에 펠리클 내부로의 이물 침입을 방지하는 필터가 장착되어 있는 펠리클에 있어서: 상기 통기 구멍 내벽의 표면 거칠기가 Ra1㎛ 이하인 것을 특징으로 하는 펠리클.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 필터에 점착성 물질이 도포 또는 침윤되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클.