JP5047232B2 - ペリクル - Google Patents
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Description
ペリクル膜を展張した際のフレームの撓みが大きくなり、 ペリクル内側の有効露光領域が減少したり、 ペリクル貼付精度が悪化するという問題点がある。
A5052アルミニウム合金の圧延板から図7に示すような形状の外寸1526×1748mm、内寸1493×1711mm、高さ6.2mmのペリクルフレームを機械加工により製作した。このペリクルフレームには16箇所の貫通孔を設け、各貫通孔は図1(B)に示す断面形状とした。ここで、図中の寸法は、外側段部(a、b、e)=10.0×4.0×0.3mm、内側段部(c、d、f)=7.5×1.6×0.5mm、通気孔径(g)=1.5mm、外側段部の外縁角部の曲率半径(h)=1.0mm、内側段部の外縁角部の曲率半径(k)=0.5mmである。そして、機械加工終了後、このペリクルフレーム表面をサンドブラスト処理し、さらに黒色アルマイト処理を施した。
上記実施例1と同じ方法、手順にてペリクルを製作した。ただし、使用するフィルタ部材にはシリコーン粘着剤の塗布を行わなかった。このペリクルに対して、上記実施例1と同様にして、外観検査および通気性の評価を行った。
完成したペリクルのフィルタ部材の外観を観察したところ、全てのフィルタ部材は段差内に収納され、曲がりやズレがない好適なものであった。
A5052アルミニウム合金の圧延板から図7に示すような形状の外寸1526×1748mm、内寸1493×1711mm、高さ6.2mmのペリクルフレームを機械加工により製作した。このペリクルフレームには図5に示すような同一径断面形状の直径1.5mmの通気孔52を16箇所設けた。機械加工終了後、このペリクルフレーム表面をサンドブラスト処理し、さらに黒色アルマイト処理を施した。
上記比較例1と同じ方法、手順にてペリクルを製作した。ただし、使用するフィルタ部材にはシリコーン粘着剤の塗布を行わなかった。このペリクルに対して、上記実施例1と全く同じ評価を行った。
完成したペリクルのフィルタ部の外観は、上記比較例1と同じく曲がり、ズレが多く見受けられ、見た目として芳しく無いものであった。
12 通気孔
13 膜接着層
14 ペリクル膜
15 マスク粘着層
16 外側段部
17 内側段部
18 フィルタ部材
a,b,e 外側段部の寸法
c,d,f 内側段部の寸法
g 通気孔の直径
h 外側段部の角部曲率半径
k 内側段部の角部曲率半径
21 ペリクルフレーム
22 通気孔
23 膜接着層
24 ペリクル膜
25 マスク粘着層
26 外側段部
27 内側段部
28 フィルタ部材
31 ペリクルフレーム
32 通気孔
33 膜接着層
34 ペリクル膜
35 マスク粘着層
36 外側段部
37 内側段部
38 フィルタ部材
38a フィルタ
38b 外筒
38c 粘着層
41 フィルタ膜
42 保護網
43 粘着層
51 ペリクルフレーム
52 通気孔
53 膜接着層
54 ペリクル膜
55 マスク粘着層
56 フィルタ部材
61 ペリクルフレーム
62 通気孔
63 フィルタ膜
64 保護網
65 粘着層
66 塗布した粘着性物質
67 外側段部
68 内側段部
71 ペリクルフレーム
81 ベース板
82 通気管およびエア導入バルブ
83 支持フレーム
84 超音波式距離センサ
85 表示計
86 ペリクル
91 石英ガラス基板
92 ペリクル
93 フィルタ
94 エアガン
Claims (4)
- ペリクルフレームに、ペリクル内部の気圧をペリクル外部の気圧と同一に調整するための貫通孔が設けられ、当該貫通孔に異物の侵入を防止するフィルタを具えたフィルタ部材が取り付けられているペリクルであって、
前記貫通孔が、
(1)ペリクル外部に開口しフィルタ部材を収容する凹形状の外側段部と、
(2)前記外側段部の底面に開口する凹形状の内側段部と、
(3)一端が前記内側段部の底面に開口し他端がペリクル内部に開口する通気孔からなることを特徴とするペリクル。 - 外側段部の深さがフィルタ部材の厚みの50〜150%の範囲である請求項1に記載のペリクル。
- 内側段部の外側段部側の開口部の面積が、フィルタ部材のフィルタの通気面積の80〜150%の範囲であり、内側段部の深さが0.2mm以上1mm以下である請求項1または請求項2に記載のペリクル。
- フィルタ部材のフィルタに粘着性物質が塗布または浸潤されてなる請求項1〜3のいずれか1項に記載のペリクル。
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