KR20130067325A - 버퍼 존을 가진 펠리클 및 펠리클이 장착된 포토마스크 구조체 - Google Patents

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KR20130067325A
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신인균
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Abstract

사각형 모양의 프레임을 포함하고, 상기 프레임의 하부 표면을 다수 개의 영역으로 분할하는 버퍼 존을 포함하는 펠리클 및 상기 펠리클이 장착된 포토마스크 구조체가 제안된다.

Description

버퍼 존을 가진 펠리클 및 펠리클이 장착된 포토마스크 구조체{Pellicles having a Buffer Zone and Photomask Structures having the pellicle thereon}
본 발명은 펠리클 및 펠리클이 장착된 포토마스크 구조체에 관한 것이다.
펠리클은 포토마스크 상에 형성된 광학적 패턴을 보호하기 위한 것이다. 펠리클은 단단한 프레임을 갖기 때문에 포토 마스크 기판에 물리적 압력을 주어 포토마스크 기판의 평탄성에 영향을 줄 수 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 펠리클의 프레임에 유연성을 주는 것이다.
본 발명이 해결하려는 다른 과제는, 펠리클의 프레임의 하부 표면을 다수 개로 분리하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 과제는, 펠리클의 프레임이 포토마스크의 상면에 주는 압력을 분산시키는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 과제는, 표면의 평탄성이 우수한 포토마스크 구조체를 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 과제는, 광학적 패턴의 균일성이 우수한 포토마스크 구조체를 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 과제는, 웨이퍼 상에 형성되는 물리적 패턴의 균일성이 우수한 포토마스크 구조체를 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 과제는, 초점 심도가 증가된 포토마스크 구조체를 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하려는 다른 과제들은 앞서 언급한 과제로 한정되지 않으며, 여기서 언급되지 않은 다른 과제들은 이하의 설명으로부터 당업자에게 충분히 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 기술적 사상에 따르는 펠리클은, 사각형 모양의 프레임을 포함하고, 상기 프레임의 하부 표면을 다수 개의 영역으로 분할하는 버퍼 존을 포함할 수 있다.
상기 버퍼 존은 상기 프레임의 하부 표면의 일부를 제거할 수 있다.
상기 버퍼 존은 상기 프레임의 외부 표면의 일부를 제거할 수 있다.
상기 버퍼 존은 상기 프레임의 내부 표면의 일부를 제거할 수 있다.
상기 버퍼 존은 상기 프레임의 상부 표면을 제거하지 않을 수 있다.
다른 실시예에서, 상기 프레임은 변들을 포함하고, 상기 버퍼 존은 상기 변들 중 하나에 형성될 수 있다.
상기 버퍼 존은 상기 변들의 둘 이상에 형성될 수 있다.
다른 실시예에서, 상기 프레임은 코너 부들을 포함하고, 상기 버퍼 존은 상기 코너 부들 중 하나에 형성될 수 있다.
상기 프레임은 상기 코너 부들의 둘 이상에 형성될 수 있다.
다른 실시예에서, 상기 프레임은 관통구를 포함할 수 있다.
다른 실시예에서, 상기 버퍼 존은 'I' 자 모양일 수 있다.
다른 실시예에서, 상기 펠리클은, 상기 프레임의 하부 표면 상에 형성된 하부 접착 부재, 상기 프레임의 상부 표면 상에 형성된 상부 접착 부재, 및 상기 상부 접착 부재 상에 형성된 멤브레인을 더 포함할 수 있다.
다른 실시예에서, 상기 펠리클은, 상기 프레임의 내부 표면 상에 형성된 접착성 포집 막을 더 포함할 수 있다.
다른 실시예에서, 상기 펠리클은, 상기 프레임의 상부 표면 상에 상기 버퍼 존을 덮는 필터를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 기술적 사상에 따르는 포토마스크 구조체는, 상면에 광학 패턴을 가진 포토마스크, 및 상기 포토마스크의 상면에 상기 광학 패턴을 덮도록 장착된 펠리클을 포함하고, 상기 펠리클은, 프레임, 및 상기 프레임 하부 표면의 일부를 제거하는 버퍼 존을 포함할 수 있다.
본 발명의 기술적 사상에 따르는 펠리클은, 프레임이 버퍼 존을 가짐으로써, 유연성을 가질 수 있다.
본 발명의 기술적 사상에 따르는 펠리클은, 프레임이 버퍼 존을 가짐으로써, 상기 프레임으로부터 포토마스크의 표면에 가해지는 압력이 분산될 수 있다.
본 발명의 기술적 사상에 따르는 포토마스크는 버퍼 존을 가진 펠리클이 장착됨으로써, 표면의 평탄성이 저하되는 것이 방지 또는 완화될 수 있다.
본 발명의 기술적 사상에 따르는 포토마스크는 버퍼 존을 가진 펠리클이 장착됨으로써, 표면의 평탄성이 우수하므로 광학적 패턴이 균일해질 수 있다.
본 발명의 기술적 사상에 따르는 포토마스크는 버퍼 존을 가진 펠리클이 장착됨으로써, 광학적 패턴이 균일하므로, 웨이퍼 상에 물질적 패턴이 균일하게 형성될 수 있다.
본 발명의 기술적 사상에 따르는 포토 마스크는 버퍼 존을 가진 펠리클이 장착됨으로써, 포토리소그래피 공정의 초점 심도(depth of focus; DOF)가 증가될 수 있다.
도 1a는 본 발명의 기술적 사상의 일 실시예에 의한 포토마스크 구조체의 개념적인 사시도이다.
도 1b는 본 발명의 기술적 사상의 일 실시예에 의한 펠리클의 개념적인 분해 사시도이다.
도 2a 내지 4c는 본 발명의 기술적 사상의 다양한 실시예들에 의한 프레임들을 보여주는 사시도이다.
도 5a 내지 5c는 본 발명의 기술적 사상의 다양한 실시예들에 의한 펠리클들을 개념적으로 보여주는 종단면들이다.
도 6은 상기 필터와 상기 하부 접착 부재가 접촉하는 모양을 보여주기 위하여 도 5a의 A 영역을 확대한 도면이다.
도 7은 본 발명의 기술적 사상에 의해 포토마스크 기판의 평탄성이 악화되지 않는 것을 개념적으로 보여주는 측면도이다.
도 8은 본 발명의 기술적 사상에 의한 다양한 실시예들에 의한 프레임들 중 하나를 가진 포토마스크 구조체를 포함하는 포토리소그래피 장비를 개념적으로 도시한 분해 사시도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시 예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다(comprises)' 및/또는 '포함하는(comprising)'은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들면, 도면에 도시되어 있는 소자를 뒤집을 경우, 다른 소자의 "아래(below)" 또는 "아래(beneath)"로 기술된 소자는 다른 소자의 "위(above)"에 놓여질 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 "아래"는 아래와 위의 방향을 모두 포함할 수 있다. 소자는 다른 방향으로도 배향될 수 있고, 이에 따라 공간적으로 상대적인 용어들은 배향에 따라 해석될 수 있다.
또한, 본 명세서에서 기술하는 실시 예들은 본 발명의 이상적인 예시도인 단면도 및/또는 평면도들을 참고하여 설명될 것이다. 도면들에 있어서, 막 및 영역들의 두께는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다. 따라서, 제조 기술 및/또는 허용 오차 등에 의해 예시도의 형태가 변형될 수 있다. 도면에서 예시된 모양들은 소자의 영역의 특정 형태를 예시하기 위한 것이며 발명의 범주를 제한하기 위한 것이 아니다.
명세서 전문에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. 따라서, 동일한 참조 부호 또는 유사한 참조 부호들은 해당 도면에서 언급 또는 설명되지 않았더라도, 다른 도면을 참조하여 설명될 수 있다. 또한, 참조 부호가 표시되지 않았더라도, 다른 도면들을 참조하여 설명될 수 있다.
도 1a는 본 발명의 기술적 사상의 일 실시예에 의한 포토마스크 구조체(50)의 개념적인 사시도이고 도 1b는 본 발명의 기술적 사상의 일 실시예에 의한 펠리클(40)의 개념적인 분해 사시도이다.
도 1a 및 1b를 참조하면, 본 발명의 기술적 사상의 일 실시예에 의한 포토마스크 구조체(50)는 포토마스크(44) 및 상기 포토마스크(44)의 표면 상에 장착된 펠리클(40)을 포함할 수 있다.
상기 포토마스크(44)는 석영 기판 및 상기 석영 기판 상에 형성된 물질층을 포함할 수 있다. 상기 석영 기판은 광학적으로 투명하고, 상기 물질층은 광학적으로 불투명 또는 반투명할 수 있다. 예를 들어, 상기 물질층은 크롬, 알루미늄, 몰리브덴, 실리콘 또는 그 산화물들을 포함할 수 있다. 따라서, 상기 펠리클(40)로 덮여 한정, 보호된 상기 포토마스크(44)의 상부 표면에는 상기 물질층을 포함하는 광학적 패턴(48)이 형성될 수 있다.
상기 펠리클(40)은 프레임(10)을 포함할 수 있다. 상기 프레임(10)은 다양한 모양을 가질 수 있지만, 실질적으로 사각형 모양일 수 있다. 따라서, 본 명세서에서는 상기 프레임(10)이 사각형인 것으로 가정, 설명될 것이다. 상기 프레임(10)은 알루미늄 같은 금속, 아크릴 같은 고분자물, 또는 고분자 탄화물(carbonate) 등을 포함할 수 있다. 상기 프레임(10A)은 4 개의 변들(2, sides) 및 4 개의 코너 부들(3)을 가질 수 있다. 상기 변들(2)은 내부 표면(IS), 외부 표면(OS), 하부 표면(LS) 및 상부 표면(US)을 가질 수 있다.
상기 펠리클(40)은 상기 프레임(10)의 하부 표면(LS) 상에 형성된 하부 접착 부재(12), 상기 프레임(10)의 상부 표면(US)에 형성된 상부 접착 부재(16), 및 상기 상부 접착 부재(16) 상에 형성된 멤브레인(18)을 포함할 수 있다.
상기 변들(2)은 버퍼 존들(4, buffer zones)을 포함할 수 있다. 상기 버퍼 존들(4)은 슬릿(slit) 모양 또는 그루브(groove) 모양으로 형성될 수 있다. 도면에서는 예시적으로 상기 버퍼 존들(4)이 슬릿 모양으로 형성된 것이 도시되었다. 상기 버퍼 존들(4)이 그루브 모양 및 다른 모양들로 형성된 실시예들도 상세하게 설명될 것이다. 상기 '슬릿'이라는 용어는 상기 펠리클(40) 또는 상기 프레임(10)의 내부와 외부를 관통하는 모양을 의미할 수 있고, 상기 '그루브'이라는 용어는 상기 펠리클(40) 또는 상기 프레임(10)의 내부와 외부를 관통하지 않는 모양을 의미할 수 있다. 예를 들어, 슬릿 모양의 버퍼 존들(4)은 하부 표면(LS)의 소정 영역을 완전히 제거할 수 있고, 내부 표면(IS) 및 외부 표면(OS)의 소정 영역을 부분적 또는 의사적(quasi)으로 제거할 수 있다. 그루브 모양의 버퍼 존들(4)은 하부 표면(LS), 내부 표면(IS, 외부 표면(OS)의 소정 영역을 부분적 또는 의사적으로 제거할 수 있다.
상기 하부 접착 부재(12)는 상기 프레임(10)의 상기 하부 표면(LS) 상에 필름 형태로 제공될 수 있다. 상기 하부 접착 부재(12)는 상기 포토마스크(44)의 표면 상에 상기 프레임(10)을 접착, 고정시킬 수 있다.
상기 상부 접착 부재(16)는 상기 프레임(10)의 상기 상부 표면(US) 상에 필름 형태로 제공될 수 있다. 상기 상부 접착 부재(16)는 상기 프레임(10)의 상부 표면(US) 상에 상기 멤브레인(18)을 접착, 고정시킬 수 있다.
상기 멤브레인(18)은 투명 또는 반투명한 얇은 필름 형태로 제공될 수 있다. 따라서, 상기 멤브레인은 상기 프레임(10)으로 한정되는 공간을 밀폐되도록 덮을 수 있다.
상기 변들(2)의 외부 표면들(OS) 상에 필터들(25)이 배치될 수 있다. 상기 필터(25)들은 상기 버퍼 존들(4)을 덮을 수 있다. 상기 필터들(25)의 하부들은 상기 하부 접착 부재(12)와 접촉할 수 있다. 상기 필터들(25)은 상기 펠리클(40)의 외부로부터 상기 펠리클(40)의 내부로 파티클이나 라디칼 등이 유입되는 것을 차단, 방지할 수 있다.
본 도면은 예시적으로 본 발명의 다양한 세부 실시예들 중 하나를 개념적으로 도시한 것이다. 이하에서, 본 발명의 기술적 사상에 의한 구체적인 실시예들이 보다 다양하게 도시 및 설명될 것이다.
제 1 실시예
도 2a는 본 발명의 기술적 사상의 일 실시예에 의한 프레임(10A)을 보여주는 사시도이다. 본 발명을 명확하고 간단하게 설명하기 위해서, 상기 프레임(10A)의 상하가 반전되었다.
도 2a 를 참조하면, 상기 프레임(10A)은 각 변들(2)에 형성된 제1 버퍼 존들(4A)을 포함할 수 있다. 설명되었듯이, 상기 제1 버퍼 존들(4A)은 'I' 자형 슬릿 모양으로 형성될 수 있다. 상세하게, 상기 제1 버퍼 존들(4A)은 상기 변들(2)의 내부 표면들(IS) 로부터 상기 외부 표면들(OS)까지 'I' 자 모양 또는 '─' 자 모양으로 관통할 수 있다. 상기 제1 버퍼 존들(4A)은 변들(2)의 하부 표면들(LS)의 일부를 제거하여 상기 하부 표면들(LS)을 각각 다수 개의 영역들로 분할할 수 있다.
상기 변들(2)의 상부 표면들(US)은 상기 제1 버퍼 존들(4A)에 의해 제거되지 않을 수 있다. 상기 제1 버퍼 존들(4A)은 상기 변들(2) 중 한 곳 내지 세 곳에만 선택 적으로 형성될 수도 있다.
상기 제1 버퍼 존들(4A)이 상기 변들(2)의 하부 표면들(LS)을 다수 개의 영역으로 분할함으로써, 상기 변들(2), 즉 상기 프레임(10A)에 유연성을 줄 수 있다. 따라서, 상기 제1 버퍼 존들(4A)은 상기 프레임(10A)으로부터 포토마스크(44)의 표면에 가해지는 압력을 분산시킬 수 있으므로, 상기 프레임(10A)에 의해 포토마스크(44)의 표면의 평탄성이 악화되는 것이 방지될 수 있다. 상기 제1 버퍼 존들(4A)을 가진 상기 프레임(10A)은 상기 포토마스크(44)의 표면의 평탄성을 저하시키지 않고 상기 포토마스크(44)의 상면에 보다 밀착될 수 있다.
제 2 실시예
도 2b는 본 발명의 기술적 사상의 다른 실시예에 의한 프레임(10B)을 보여주는 사시도이다. 도 2b를 참조하면, 상기 프레임(10B)은 각각의 변들(2)에 형성된 다수 개의 상기 제1 버퍼 존들(4A)을 포함할 수 있다. 상세하게, 각 변들(4A)은 상기 다수 개의 제1 버퍼 존들(4A)을 포함할 수 있다. 즉, 상기 다수 개의 제1 버퍼 존들(4A)이 상기 변들(4A)의 하부 표면들(LS)을 다수 개로 분할할 수 있다.
제 3 실시예
도 2c는 본 발명의 기술적 사상의 또 다른 실시예에 의한 프레임(10C)을 보여주는 사시도이다. 도 2c를 참조하면, 상기 프레임(10C)은 코너 부들(3)에 형성된 제2 버퍼 존들(4B)을 포함할 수 있다. 상기 제2 버퍼 존들(4B)은 'L' 자형 슬릿 모양으로 형성될 수 있다. 따라서, 상기 제2 버퍼 존들(4B)은 종형부와 횡형부를 포함할 수 있다. 상기 종형부와 횡형부는 서로 수직하지 않을 수도 있다. 상기 제2 버퍼 존들 (4B)의 외측 단부는(outer end portion) 프레임(10C)의 외부 표면(OS)과 수직할 수 있다. 상기 코너 부들(3)의 내부 표면들(IS), 외부 표면들(OS), 및 하부 표면들(LS)의 일부는 상기 제2 버퍼 존들(4B)에 의해 제거될 수 있고, 상기 코너 부들(3)의 상부 표면들(US)은 상기 제2 버퍼 존들(4B)에 의해 제거되지 않을 수 있다. 상기 제2 버퍼 존들(4A)도 상기 코너 부들(3) 중 한 곳 내지 세 곳에만 선택적으로 형성될 수도 있다.
제 4 실시예
도 2d는 본 발명의 기술적 사상의 또 다른 실시예에 의한 프레임(10D)을 보여주는 사시도이다. 상기 프레임(10D)은 변들(2)에 형성된 제1 버퍼 존들(4A) 및 코너 부들(3)에 형성된 제2 버퍼 존들(4B)을 포함할 수 있다. 앞서 설명되었듯이, 상기 제1 버퍼 존들(4A)은 'I' 자형 슬릿 모양으로 형성될 수 있고, 상기 제2 버퍼 존들(4B)은 'L' 자형 슬릿 모양으로 형성될 수 있다. 상기 제1 버퍼 존들(4A)은 상기 변들(2) 중 한 곳 내지 세 곳에 선택적으로 형성될 수 있고, 상기 제2 버퍼 존들(4B)도 상기 코너 부들(3) 중 한 곳 내지 세 곳에 선택적으로 형성될 수 있다.
제 5 실시예
도 2e는 본 발명의 기술적 사상의 또 다른 실시예에 의한 프레임(10E)을 보여주는 사시도이다. 상기 프레임(10E)은 변들(2)에 형성된 다수 개의 제1 버퍼 존들(4A) 및 코너 부들(3)에 형성된 제2 버퍼 존들(4B)을 포함할 수 있다. 상기 다수 개의 제1 버퍼 존들(4A) 및 제2 버퍼 존들은 각각 상기 변들(2) 및 코너 부들(3)의 한 곳 내지 세 곳에만 선택적으로 형성될 수도 있다.
제 6 실시예
도 2f는 본 발명의 기술적 사상의 또 다른 실시예에 의한 프레임(10F)을 보여주는 사시도이다. 상기 프레임(10F)은 코너 부들(3)에 형성된 제3 버퍼 존(4C)들을 포함할 수 있다. 상기 제3 버퍼 존들(4C)은 'T' 자형 슬릿 모양으로 형성될 수 있다. 따라서, 상기 제3 버퍼 존들(4C)도 종형부와 횡형부를 포함할 수 있다. 상기 제3 버퍼 존들(4C)의 외측 단부들도 서로 다른 변들(2)의 외부 표면들(OS)과 각각 수직할 수 있다. 상기 제3 버퍼 존들(4C)도 상기 코너 부들(3) 중 한 곳 내지 세 곳에만 선택적으로 형성될 수 있다.
제 7 실시예
도 2g는 본 발명의 기술적 사상의 또 다른 실시예에 의한 프레임(10G)을 보여주는 사시도이다. 도 2g를 참조하면, 상기 프레임(10G)은 변들(2)에 형성된 제1 버퍼 존들(4A) 및 코너 부들(3)에 형성된 제3 버퍼 존들(4C)을 포함할 수 있다. 상기 제1 버퍼 존들(4A) 및 제3 버퍼 존들(4C)도 각각 상기 변들(2) 및 코너 부들(3) 중 한 곳 내지 세 곳에 선택적으로 형성될 수 있다.
제 8 실시예
도 2h는 본 발명의 기술적 사상의 또 다른 실시예에 의한 프레임(10H)을 보여주는 사시도이다. 도 2h를 참조하면, 상기 프레임(10H)은 변들(2)에 형성된 다수 개의 제1 버퍼 존들(4A) 및 코너 부들(3)에 형성된 제3 버퍼 존들(4C)을 포함할 수 있다. 상기 다수 개의 제1 버퍼 존들(4A) 및 제3 버퍼 존들(4C)도 각각 상기 변들(2) 및 코너 부들(3) 중 한 곳 내지 세 곳에 선택적으로 형성될 수 있다.
제 9 실시예
도 2i는 본 발명의 기술적 사상의 또 다른 실시예에 의한 프레임(10I)을 보여주는 사시도이다. 도 2i를 참조하면, 상기 프레임(10I)은 변들(2)에 형성된 제1 버퍼 존들(4A), 코너 부들(3)에 형성된 제2 버퍼 존들(4B) 및 제3 버퍼 존들(4C)을 포함할 수 있다. 상기 제1 내지 제3 버퍼 존들(4A-4C)도 각각 상기 변들(2) 및 코너 부들(3) 중 한 곳 내지 세 곳에 선택적으로 형성될 수 있다.
제 10 실시예
도 2j는 본 발명의 기술적 사상의 또 다른 실시예에 의한 프레임(10J)을 보여주는 사시도이다. 도 2i를 참조하면, 상기 프레임(10J)은 변들(2)에 형성된 다수 개의 제1 버퍼 존들(4A), 코너 부들(3)에 형성된 제2 버퍼 존들(4B) 및 제3 버퍼 존들(4C)을 포함할 수 있다.
도 2a 내지 2j에 도시, 설명된 다양한 프레임들(10A-10J)들은 각각 다양한 제1 내지 제3 버퍼 존들(4A-4C)을 선택적으로 포함할 수 있다. 상기 제1 내지 제3 버퍼 존들(4A-4C)은 프레임들(10A-10J)의 내부와 외부를 연결하는 공기 통로를 제공할 수 있으므로, 프레임들(10A-10J)의 내부 공간의 열을 보다 효과적으로 방출할 수 있다. 상세하게, 상기 프레임들(10A-10J)의 내부와 외부가 밀폐된 경우, 상기 프레임들(10A-10J)의 내부와 외부의 기압 및/또는 온도 차이 등에 의한 상기 펠리클(30)의 변형 및 상기 멤브레인(18)의 변형 및 손상이 방지, 완화될 수 있다.
상기 제1 내지 제3 버퍼 존들(4A-4C)은 상기 프레임들(10A-10J)의 변들(2) 및/또는 코너들(3)의 하부 표면들(LS)을 다수 개로 분할하여 상기 프레임들(10A-10J)을 유연하게 할 수 있고, 상기 프레임들(10A-10J)로부터 상기 포토마스크(44)의 표면에 가해지는 압력을 분산시킬 수 있다. 본 발명의 다양한 실시예들에 의한 상기 프레임들(10A-10J)을 포함하는 상기 펠리클(30) 및/또는 상기 포토마스크 구조체(50)는 상기 프레임들(10A-10J)의 압력으로 인하여 상기 포토마스크(44)의 표면의 평탄성이 저하되는 것이 완화 및 방지될 수 있다. 본 발명의 다양한 실시예들에 의한 상기 프레임들(10A-10J)을 포함하는 상기 펠리클(30) 및/또는 상기 포토마스크 구조체(50)는 상기 프레임들(10A-10J)과 상기 포토마스크(44)의 표면을 충분히 밀착 및 밀봉시킬 수 있다.
제 11 실시예
도 3a는 본 발명의 기술적 사상의 또 다른 실시예에 의한 프레임(20A)을 보여주는 사시도이다. 도 3a를 참조하면, 상기 프레임(20A)은 각 변들(2)에 형성된 관통구(8) 및 제4 버퍼 존들(6A)을 포함할 수 있다. 각 변들(2)은 다수 개의 제4 버퍼 존들(6A)을 포함할 수 있다. 본 실시예에서, 하나의 변(2)에 하나의 관통구(8)가 도시되었지만, 하나의 변(2)에 다수 개의 관통구들(8)이 형성될 수도 있고, 각 변들(2)에 각각 하나 이상의 관통구들(8)이 형성될 수도 있다.
상기 관통구(8)는 상기 프레임(20A)의 내부 공간과 외부 공간을 연결하는 에어 통로를 제공할 수 있다. 상기 관통구(8)는 도 2a 내지 2j에 도시된 상기 슬릿 모양의 버퍼 존(4)들이 상기 프레임(10A-10J)에 형성되는 경우, 생략될 수 있다.
상기 제4 버퍼 존들(6A)은 상기 변들(2)의 외부 표면들(OS) 상에 그루브(groove) 모양으로 형성될 수 있다. 상세하게, 상기 제4 버퍼 존들(6A)은 상기 변들(2)의 외부 표면들(OS) 및/또는 하부 표면들(LS)을 부분적으로 제거한 모양일 수 있다. 상기 제4 버퍼 존들(6A)은 상기 제1 내지 제3 버퍼 존들(4A-4C)과는 달리 상기 프레임(20A)의 내부 공간과 외부 공간을 연결하지 않는다.
상기 제4 버퍼 존들(6A)도 상기 변들(2)을 의사적으로(quasi) 다수 개로 분할할 수 있다. 따라서, 상기 제4 버퍼 존들(6A)도 상기 제1 내지 제3 버퍼 존들(4A-4C)과 유사한 효과를 낼 수 있다.
상기 제4 버퍼 존들(6A)도 상기 변들(2)의 한 곳 내지 세 곳에 선택적으로 형성될 수 있다.
제 12 실시예
도 3b는 본 발명의 또 다른 실시예에 의한 프레임(20B)을 보여주는 사시도이다. 도 3d를 참조하면, 상기 프레임(20B)은 변들(2)에 형성된 관통구(8) 및 제5 버퍼 존들(6B)을 포함할 수 있다. 상기 제5 버퍼 존들(6B)은 상기 변들(2)의 내부 표면들(IS) 상에 그루브 모양으로 형성될 수 있다. 상세하게, 상기 제5 버퍼 존들(6B)은 상기 변들(2)의 내부 표면들(IS) 및 상기 하부 표면들(LS)의 일부를 제거할 수 있다. 다른 구성 요소들 및 부가 설명들은 도 3a를 참조하여 이해될 수 있을 것이다.
제 13 실시예
도 3c는 본 발명의 또 다른 실시예에 의한 프레임(20C)을 보여주는 사시도이다. 도 3c를 참조하면, 상기 프레임(20C)은 변들(2)에 형성된 관통구(8) 및 코너 부들(3)에 형성된 제6 버퍼 존들(6C)을 포함할 수 있다. 상기 제6 버퍼 존들(6C)의 외측 단부는 코너에 정렬될 수 있다. 상기 제6 버퍼 존들(6C)은 상기 코너 부들(3)의 외부 표면들(OS) 상에 그루브 모양으로 형성될 수 있다. 상기 제6 버퍼 존들(6C)은 앞서 설명된 'L' 자 또는 'T' 자 모양으로 형성될 수도 있다. 상기 제6 버퍼 존들(6C)도 상기 코너 부들(3)의 한 곳 내지 세 곳에 선택적으로 형성될 수 있다. 다른 구성 요소들 및 부가 설명들은 도 3a 내지 3b를 참조하여 이해될 수 있을 것이다.
제 14 실시예
도 3d는 본 발명의 또 다른 실시예에 의한 프레임(20D)을 보여주는 사시도이다. 도 3d를 참조하면, 상기 프레임(20D)은 변들(2)에 형성된 관통구(8) 및 코너 부들(3)에 형성된 제7 버퍼 존들(6D)을 포함할 수 있다. 상기 제7 버퍼 존들(6D)은 상기 코너 부들(3)의 내부 표면들(IS) 상에 그루브 모양으로 형성될 수 있다. 상기 제7 버퍼 존들(6D)의 단부는 코너에 정렬될 수 있다. 다른 구성 요소들 및 부가 설명들은 도 3a 내지 3c를 더 참조하여 이해될 수 있을 것이다.
제 15 실시예
도 3e는 본 발명의 또 다른 실시예에 의한 프레임(20E)을 보여주는 사시도이다. 도 3e를 참조하면, 상기 프레임(20E)은 변들(2)에 형성된 관통구(8), 제4 버퍼 존들(6A) 및 제5 버퍼 존들(6B)을 포함할 수 있다. 상기 프레임(20E)은 도 3a 및 도 3b를 참조하여 상세하게 이해될 수 있을 것이다.
제 16 실시예
도 3f는 본 발명의 또 다른 실시예에 의한 프레임(20F)을 보여주는 사시도이다. 도 3f를 참조하면, 상기 프레임(20F)은 변들(2)에 형성된 관통구(8), 제4 버퍼 존들(6A) 및 코너 부들(3) 상에 형성된 제6 버퍼 존들(6C)을 포함할 수 있다. 상기 프레임(20F)은 도 3a 및 3c를 참조하여 상세하게 이해될 수 있을 것이다.
제 17 실시예
도 3g는 본 발명의 또 다른 실시예에 의한 프레임(20G)을 보여주는 사시도이다. 도 3g를 참조하면, 상기 프레임(20G)은 변들(2)에 형성된 관통구(8) 및 제4 버퍼 존들(6A), 및 코너 부들(3)에 형성된 제7 버퍼 존들(6D)을 포함할 수 있다. 상기 프레임(20G)은 도 3a 및 3d를 더 참조하여 상세하게 이해될 수 있을 것이다.
제 18 실시예
도 3h는 본 발명의 또 다른 실시예에 의한 프레임(20H)을 보여주는 사시도이다. 도 3h를 참조하면, 상기 프레임(20H)은 상기 변들(2)에 형성된 관통구(8) 및 제5 버퍼 존들(6B), 및 코너 부들(3)에 형성된 제6 버퍼 존들(6C)을 포함할 수 있다. 상기 프레임(20H)은 도 3b 및 3c를 더 참조하여 상세하게 이해될 수 있을 것이다.
제 19 실시예
도 3i는 본 발명의 또 다른 실시예에 의한 프레임(20I)을 보여주는 사시도이다. 도 3i를 참조하면, 상기 프레임(20I)은 상기 변들(2)에 형성된 관통구(8) 및 제5 버퍼 존들(6B), 및 코너 부들(3)에 형성된 제7 버퍼 존들(6D)을 포함할 수 있다. 상기 프레임(20I)은 도 3b 및 3d를 더 참조하여 상세하게 이해될 수 있을 것이다.
제 20 실시예
도 3j는 본 발명의 또 다른 실시예에 의한 프레임(20J)을 보여주는 사시도이다. 도 3j를 참조하면, 상기 프레임(20J)은 상기 변들(2)에 형성된 관통구(8), 제4 버퍼 존들(6A) 및 제5 버퍼 존들(6B), 및 코너 부들(3)에 형성된 제6 버퍼 존들(6C)을 포함할 수 있다. 상기 프레임(20J)은 도 3a 내지 3c를 더 참조하여 상세하게 이해될 수 있을 것이다.
제 21 실시예
도 3k는 본 발명의 또 다른 실시예에 의한 프레임(20K)을 보여주는 사시도이다. 도 3k를 참조하면, 상기 프레임(20K)은 상기 변들(2)에 형성된 관통구(8), 제4 버퍼 존들(6A) 및 제5 버퍼 존들(6B), 및 코너 부들(3)에 형성된 제7 버퍼 존들(6D)을 포함할 수 있다. 상기 프레임(20K)은 도 3a, 3b 및 3d를 더 참조하여 상세하게 이해될 수 있을 것이다.
제 22 실시예
도 3l은 본 발명의 또 다른 실시예에 의한 프레임(20l)을 보여주는 사시도이다. 도 3l을 참조하면, 상기 프레임(20L)은 상기 변들(2)에 형성된 관통구(8), 제4 버퍼 존들(6A) 및 제5 버퍼 존들(6B), 및 코너 부들(3)에 형성된 제6 버퍼 존들(6C) 및 제7 버퍼 존들(6D)을 포함할 수 있다. 상기 프레임(20L)은 도 3a 내지 3d를 더 참조하여 상세하게 이해될 수 있을 것이다.
도 3a 내지 3l에 도시, 설명된 다양한 상기 프레임들(20A-20L)은 각각 다양한 상기 관통구들(8), 상기 제4 내지 제7 버퍼 존들(6A-6D)을 선택적으로 포함할 수 있다. 상기 제4 내지 제7 버퍼 존들(6A-6D)도 상기 프레임들(20A-20L)의 상기 변들(2) 및/또는 상기 코너 부들(3)의 상기 하부 표면들(LS)을 다수 개로 분할하여 상기 프레임들(20A-20L)을 유연하게 할 수 있고, 상기 프레임들(20A-20L)이 상기 포토마스크(44)의 표면에 가하는 압력을 분산시켜 포토마스크(44)의 표면의 평탄성이 저하되는 것을 방지 또는 완화시킬 수 있다. 부가하여, 상기 제4 및 제6 버퍼 존들(6A, 6C)은 상기 외부 표면들(OS)을 의사적(quasi)으로 다수 개로 분할할 수 있고, 상기 제5 및 제7 버퍼 존들(6B, 6D)은 상기 내부 표면들(IS)을 의사적(quasi)으로 다수 개로 분할할 수 있다.
도 2a 내지 2j 및 도 3a 내지 3l에 도시, 설명된 상기 프레임들(10A-10J, 20A-20L)의 기술적 사상들은 서로 호환될 수 있다.
제 23 실시예
도 4a는 본 발명의 기술적 사상의 또 다른 실시예에 의한 프레임(30A)을 보여주는 사시도이다. 도 4a 를 참조하면, 상기 프레임(30A)은 변들(2)에 형성된 제1 버퍼 존(4A) 및 제4 버퍼 존들(6A)를 포함할 수 있다. 도면에서는 예시적으로 하나의 변(2)에 하나의 제1 버퍼 존(4A) 또는 두 개의 제4 버퍼 존들(6A)이 형성되었다. 즉, 상기 제1 버퍼 존(4A) 및 상기 제4 버퍼 존들(6A)은 상기 프레임(30A)의 여러 변들(2)에 선택적으로 다수 개가 형성될 수도 있다. 상기 프레임(30A)은 도 2a 및 3a를 참조하여 상세하게 이해될 수 있을 것이다.
제 24 실시예
도 4b는 본 발명의 기술적 사상의 또 다른 실시예에 의한 프레임(30B)을 보여주는 사시도이다. 도 4b를 참조하면, 상기 프레임(30A)은 변들(2)에 형성된 제1 버퍼존(4A) 및 제5 버퍼 존들(6B)을 포함할 수 있다. 도면에서는 예시적으로 하나의 변(2)에 하나의 제1 버퍼존(6A) 또는 두 개의 제5 버퍼 존들(6B)이 형성되었다. 즉, 상기 제1 버퍼 존(4A) 및 상기 제5 버퍼 존들(6B)은 상기 프레임(30B)의 여러 변들(2)에 선택적으로 다수 개가 형성될 수도 있다. 상기 프레임(30B)은 도 2a 및 3b를 참조하여 상세하게 이해될 수 있을 것이다.
제 25 실시예
도 4c는 본 발명의 기술적 사상의 또 다른 실시예에 의한 프레임(30C)을 보여주는 사시도이다. 도 4c를 참조하면, 상기 프레임(30C)은 변들(2)에 형성된 제1 버퍼존(4A), 제4 버퍼 존들(6A), 및 제5 버퍼 존들(6B)을 포함할 수 있다. 도면에서는 예시적으로 하나의 변(2)에 하나의 제1 버퍼존(6A), 두 개의 제4 버퍼 존들(6A), 및 또는 두 개의 제5 버퍼 존들(6B)이 형성되었다. 즉, 상기 제1 버퍼 존(4A) 및 상기 제5 버퍼 존들(6B)은 상기 프레임(30B)의 여러 변들(2)에 선택적으로 다수 개가 형성될 수도 있다. 상기 프레임(30B)은 도 2a 및 3h를 참조하여 상세하게 이해될 수 있을 것이다.
도 4a 내지 4c에 도시, 설명된 상기 다양한 프레임들(30A-30C)은 각각 다양한 제1 버퍼 존들(4A), 제4 버퍼 존들(6A), 및 제5 버퍼 존들(6B)을 선택적으로 포함할 수 있다. 상기 제1 버퍼 존들(4A), 상기 제4 버퍼 존들(6A) 및 상기 제5 버퍼 존들(6B)은 프레임들(30A-30E)의 변들(2)의 하부 표면들(LS), 내부 표면들(IS), 또는 외부 표면들(OS)을 다수 개로 분할하여 프레임들(30A-30C)을 유연하게 할 수 있고, 프레임들(30A-30C)이 포토마스크(44)의 표면에 가하는 압력을 분산시킬 수 있다. 도 2a 내지 2j, 도 3a 내지 3l, 및 도 4a 내지 4c에 도시, 설명된 다양한 프레임들(10A-10J, 20A-20L, 30A-30C)의 기술적 사상은 서로 호환될 수 있다.
부가하여, 본 발명의 기술적 사상의 제 1 내지 제 25 실시예들에 의해 제안된 다양한 프레임들(10A-10J, 20A-20L, 30A-30C)외에, 상기 제1 내지 제7 버퍼 존들(4A-4C, 6A-6D), 및 상기 관통구(8)는 선택적으로 다양하게 조합될 수 있다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 명세서에 첨부된 도면에 정확하게 도시되지 않았더라도, 상기 제1 내지 제7 버퍼 존들(4A-4C, 6A-6D), 및 상기 관통구(8)이 다양하게 조합되어 각각 하나 이상의 변들(2) 및 하나 이상의 코너 부들(3)에 형성되는 것은 본 발명의 기술적 사상의 범주 내에 포함된다.
도 5a 내지 5c는 본 발명의 기술적 사상의 다양한 실시예들에 의한 펠리클들(40A-40C)을 개념적으로 보여주는 종단면들이다.
도 5a를 참조하면, 상기 펠리클(40A)은 프레임(10)의 하부 표면(LS) 상에 형성된 하부 접착 부재(12), 상부 표면(US) 상에 형성된 상부 접착 부재(16), 상기 상부 접착 부재(16) 상에 형성된 멤브레인(18), 및 상기 프레임(10)에 형성된 슬릿 모양의 버퍼 존(4)을 포함할 수 있다. 따라서, 상기 슬릿 모양의 버퍼 존(4)은 상기 펠리클(40A)의 내부 공간과 외부 공간을 연결할 수 있다. 도면에는, 상기 슬릿 모양의 버퍼 존(4)이 상기 프레임(10)의 상기 변(2)에 형성된 것으로 도시되었으나, 상기 슬릿 모양의 버퍼 존(4)은 상기 프레임(10)의 변(2) 또는 도면에 보이지 않는 코너 부에 형성될 수 있다. 상기 슬릿 모양의 버퍼 존(4)의 하부는 상기 하부 접착 부재(12)로 막힐 수 있다.
상기 펠리클(40A)은 상기 하부 접착 부재(12)의 하부 상에 형성된 라이너(11)를 더 포함할 수 있다. 상기 라이너(11)는 상기 하부 접착 부재(16)를 보호하는 필름이며, 상기 펠리클(40A)이 상기 포토마스크(44) 상에 접착될 시, 제거될 수 있다.
상기 펠리클(40A)은 프레임(10)의 내부 표면(IS) 상에 형성된 포집 막(19)을 더 포함할 수 있다. 상기 포집 막(19)은 접착성을 가진 필름 또는 페이스트 형태로 제공될 수 있다. 상기 포집 막(19)은 상기 펠리클(40A) 내부의 파티클 등을 포집할 수 있다.
상기 펠리클(40A)은 프레임(10)의 외부 표면(OS) 상에 상기 슬릿 모양의 버퍼 존(4)을 덮도록(cover) 형성된 필터(25)를 포함할 수 있다. 앞서 설명되었듯이, 상기 필터(25)는 상기 펠리클(40A)의 외부에서 내부 공간으로 상기 슬릿 모양의 버퍼 존(4)을 통해 파티클 등이 유입되는 것을 방지할 수 있다.
도 5b를 참조하면, 펠리클(40B)은 프레임(10)의 외부 표면(OS)에 형성된 그루브 모양의 버퍼 존(6)을 포함할 수 있다. 상기 그루브 모양의 버퍼 존(6)은 상기 프레임(10)의 변(2) 또는 보이지 않는 코너 부에 형성될 수 있다. 상기 그루브 모양의 버퍼 존(6)은 상기 펠리클(40B)의 내부 공간과 외부 공간을 연결하지 않을 수 있다. 따라서, 상기 그루브 모양의 버퍼 존(6)은 도 5a의 필터(25)로 덮이지 않을 수 있다.
펠리클(40B)은 관통구(8)를 포함할 수 있다. 상기 관통구(8)는 필터(25)로 가려질 수 있다. 상기 관통구(8) 및 필터(25)는 다른 도면들에서 설명되었다.
도 5c를 참조하면, 펠리클(40C)은 프레임(10)의 내부 표면(IS)에 형성된 그루브 모양의 버퍼 존(6)을 포함할 수 있다. 상기 그루브 모양의 버퍼 존(6)은 상기 프레임(10)의 변(2) 또는 보이지 않는 코너 부에 형성될 수 있다. 상기 그루브 모양의 버퍼 존(6)은 상기 펠리클(40C)의 내부 공간과 외부 공간을 연결하지 않을 수 있다. 따라서, 상기 그루브 모양의 버퍼 존(6)은 도 5a의 필터(25)로 덮이지 않을 수 있다. 상기 펠리클(40C)도 관통구(8)를 포함할 수 있다.
도 5a 내지 5c에 예시된 펠리클들(40A-40C)은 도 2a 내지 2j, 3a 내지 3l, 4a 내지 4c에 예시된 프레임들(10A-10J, 20A-20L, 30A-30C) 중 하나를 포함할 수 있다.
도 6은 상기 필터(25)와 상기 하부 접착 부재(12)가 접촉하는 모양을 보여주기 위하여 도 5a의 A 영역을 확대한 도면이다. (A)를 참조하면, 상기 필터(25)의 내측 면이 상기 하부 접착 부재(12)의 측면과 접촉할 수 있다. (B)를 참조하면, 상기 필터(25)의 하부 면이 상기 하부 접착 부재(12)의 상면과 접촉할 수도 있다. (C)를 참조하면, 상기 필터(25)의 내측 면 및 하부 면이 모두 상기 하부 접착 부재(12)의 외측 면 및 상부 면과 접촉할 수도 있다.
도 7은 본 발명의 기술적 사상에 의해 포토마스크 기판의 평탄성이 악화되지 않는 것을 개념적으로 보여주는 측면도이다. 도 7을 참조하면, 펠리클(40)의 프레임(10)의 표면이 평탄하지 않더라도 포토마스크(44) 상에 장착된 펠리클(40)의 프레임(10)은 포토마스크(44)의 표면의 평탄성에 영향을 주지 않을 수 있다. 상세하게, 본 발명의 기술적 사상들에 의한 슬릿 모양의 버퍼 존들(4) 및/또는 그루브 모양의 버퍼 존들(6)에 의해 프레임(10)의 유연성이 개선됨으로써, 펠리클(40)의 프레임(10)의 비평탄성이 포토마스크(44)의 기판에 주는 영향이 방지 또는 완화될 수 있다. 도 7은 하나의 프레임(10)에 다수 개의 슬릿 모양의 버퍼 존들(4) 또는 그루브 모양의 버퍼 존들(6)이 형성된 것으로 도시되었으나, 이것은 본 발명의 기술적 사상을 예시적으로 보인 것이며, 하나의 프레임(10)에 하나의 슬릿 모양의 버퍼 존(4) 또는 그루브 모양의 버퍼 존(6)이 형성될 수 있다.
도 8은 본 발명의 기술적 사상에 의한 다양한 실시예들에 의한 프레임들(10A-10J, 20A-20C, 30A-30E) 중 하나를 가진 포토마스크 구조체(50)를 포함하는 포토리소그래피 장비(100)를 개념적으로 도시한 분해 사시도이다. 도 8을 참조하면, 포토리소그래피 장비(100)는 광원(110), 전달 렌즈(120, relay lens), 블라인드(130), 포토마스크 구조체(50), 투영 렌즈(140, projection lens), 및 웨이퍼 스테이지(150)를 포함할 수 있다. 웨이퍼 스테이지(150) 상에는 웨이퍼(W)가 놓일 수 있다.
광원(110)에서 발생한 빛(L1)은 전달 렌즈(120)로 조사될 수 있다. 전달 렌즈(120)를 투과한 빛(L2)은 블라인드(130)로 조사될 수 있다. 블라인드(130)는 빛(L2)을 선택적으로 통과시킬 수 있다. 블라인드(130)를 통과한 빛(L3)은 포토마스크 구조체(50)에 조사될 수 있다. 포토마스크 구조체(50)를 투과한 빛은 투영 렌즈(140)로 조사될 수 있다. 포토마스크 구조체(50)를 투과한 빛은 광학적 패턴 정보를 포함할 수 있다. 투영 렌즈(140)를 투과한 빛은 웨이퍼 스테이지(150) 상에 놓인 웨이퍼(W)에 포커싱될 수 있다. 포커싱된 웨이퍼는 광학적 패턴 정보를 받아 노광될 수 있다.
본 발명의 기술적 사상에 의해, 포토마스크 구조체(50)의 기판은 우수한 평탄성을 가지므로, 웨이퍼(W) 상에 전사되는 광학적 패턴도 우수한 균일성을 가질 수 있다.
이상, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
2: 변 3: 코너 부
4: 슬릿 모양의 버퍼 존 6: 그루브 모양의 버퍼 존
8: 관통구 11: 라이너
10, 20, 30: 프레임 12: 하부 접착 부재
16: 상부 접착 부재 18: 멤브레인
25: 필터 40: 펠리클
44: 포토마스크 48: 광학적 패턴
50: 포토 마스크 구조체
100: 포토리소그래피 장비
110: 광원 120: 전달 렌즈
130: 블라인드 140: 투영 렌즈
150: 웨이퍼 스테이지

Claims (10)

  1. 사각형 모양의 프레임을 포함하고,
    상기 프레임의 하부 표면을 다수 개의 영역으로 분할하는 버퍼 존을 포함하는 펠리클.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 버퍼 존은 상기 프레임의 하부 표면의 일부를 제거하는 펠리클.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 버퍼 존은 상기 프레임의 외부 표면의 일부를 제거하는 펠리클.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 버퍼 존은 상기 프레임의 내부 표면의 일부를 제거하는 펠리클.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 버퍼 존은 상기 프레임의 상부 표면을 제거하지 않는 펠리클.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 프레임은 변들을 포함하고,
    상기 버퍼 존은 상기 변들 중 하나에 형성되는 펠리클.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 버퍼 존은 상기 변들의 둘 이상에 형성되는 펠리클.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 버퍼 존은 'I' 자 모양인 펠리클.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 프레임의 상부 표면 상에 상기 버퍼 존을 덮는 필터를 더 포함하는 펠리클.
  10. 상면에 광학 패턴을 가진 포토마스크; 및
    상기 포토마스크의 상면에 상기 광학 패턴을 덮도록 장착된 펠리클을 포함하고,
    상기 펠리클은,
    프레임; 및
    상기 프레임 하부 표면의 일부를 제거하는 버퍼 존을 포함하는 포토마스크 구조체.
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