JP5411666B2 - リソグラフィ用ペリクル - Google Patents
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Description
この場合、ゴミは露光原版の表面上には直接付着せず、ペリクル膜上に付着するため、リソグラフィ時に焦点を露光原版のパターン上に合わせておけば、ペリクル膜上のゴミは転写に無関係となる。
<1>ペリクルフレームに設けられた1以上の気圧調整孔の内周面が前記ペリクルフレーム内側に対して開いた形状を有することを特徴とするリソグラフィ用ペリクル、
<2>前記気圧調整孔の内周面に粘着剤層を有する、<1>に記載のリソグラフィ用ペリクル、
<3>前記気圧調整孔の内周面が前記ペリクルフレーム内側に連続して開いた形状である、<1>又は<2>に記載のリソグラフィ用ペリクル、
<4><1>〜<3>いずれか1つに記載のリソグラフィ用ペリクルを作成する工程、及び、ペリクルフレーム内側から粘着剤組成物をスプレー塗布する工程、を含むことを特徴とするリソグラフィ用ペリクルの製造方法。
以下、リソグラフィ用ペリクルを単に「ペリクル」ともいい、ペリクルフレームを単に「フレーム」ともいう。
図1は、本発明のリソグラフィ用ペリクルの基本的構成例を模式的に示す概略図である。図1に示すように、本発明によるリソグラフィ用ペリクル10は、例えば略矩形状の枠体であるペリクルフレーム3と、ペリクルフレーム3の上端面に貼り付け用接着層(不図示)を介して張設されたペリクル膜1とを有している。
ペリクル膜1の種類は、露光波長の光線を透過する限り特に制限はなく、例えば従来エキシマレーザー用に使用されている、非晶質フッ素ポリマー等が用いられる。非晶質フッ素ポリマーの例としては、サイトップ(旭硝子(株)製商品名)、テフロン(登録商標)AF(デュポン社製商品名)等が挙げられる。これらのポリマーは、そのペリクル膜作製時に必要に応じて溶媒に溶解して使用してもよく、例えばフッ素系溶媒などで適宜溶解することができる。
本発明のペリクルは、フレームに設けられている1以上の気圧調整孔の内周面が、従来のペリクルにおけるように、円筒形状のまっすぐなものではなく(図7参照)、少なくとも気圧調整孔の一部において、フレーム内側に向かって開いている形状であることを特徴とする。
本発明のペリクルに設けられた気圧調整孔の内周面の一例は、図2に示すように、フレーム厚さの全長で、一様に連続してペリクル内側に開いた部分円錐形状でもよい。
本発明のペリクルに設けられた気圧調整孔の他の例は、図3に示すように、外側から内側に向かう途中でその開き角度が大きくなった部分変形円錐形状でもよい。
本発明のペリクルに設けられた気圧調整孔のさらに他の例は、図4に示すように、ペリクルフレーム側面に平行な断面形状が矩形である部分角錐形状であってもよい。
また、図5に示すように、気圧調整孔の形状は外側から最初はまっすぐで途中から内側に向かって開くような、円筒に部分円錐形状を接続したような、形状の切り替え部分を有してもよい。円錐部分は短い方が好ましく、フレーム厚さの10%未満であることが好ましく、円錐部分を有しないことがより好ましい。
また、図6に示すように、気圧調整孔の内周面が、フレームの外側から内側に向かって開口度θが連続的に大きくなるように開いた、ラッパ状の形状でもよい。
また、粘着剤組成物としては、シリコーン粘着剤が好ましく、スプレー型がより好ましい。シリコーン粘着剤は、信越化学工業(株)製の市販品(KR3700、X92−183)等を使用できる。
上記のように気圧調整孔が有効に作用した場合には、気圧調整孔を通して、ある程度の気体が通過する。その際に気圧調整孔内部にパーティクル等の異物が存在した場合には、ペリクル閉空間内部に異物を送り込んでしまう可能性がある。
具体的には、気圧調整孔の断面が円形の場合には、フレーム内側面における直径を約2.0mmとして、フレーム外側面における直径を約0.5mmとして、気圧調整孔の内側面がフレーム内側に向かって連続して一様に拡大しているフレームが例示できる(図2参照)。また、気圧調整孔の断面が三角形又は矩形の場合、例えば正方形の場合(図4参照)でも、フレームの両側面で、一辺の長さを約0.5mmから約2.0へ拡大した形状とすることができる。
従来のフレーム(気圧調整孔の直径が0.5mmφの円筒である。図7参照)に対して、上記と全く同様に粘着剤樹脂組成物をフレーム内側からスプレー塗布したところ、気圧調整孔内側面の粘着剤塗布厚みは、フレーム内側寄りの入り口付近で約5μmであったのを最高に薄くなり、フレーム厚さ約2mmの中央部付近では、1μm未満に減少する。さらにフレーム外側面の出口付近では気圧調整孔内に粘着剤樹脂はほとんど塗布されていなかった。
ペリクルフレームとして、フレーム外寸150mm×122mm×5.8mm、フレーム厚さ2mmの黒色アルマイトを施したジュラルミン製フレームを用意した。フレーム短辺中央部に気圧調整孔を1個設けた。気圧調整孔の形状は、部分円錐状とし、フレーム内側面側において、2mmφであり、外側面側で0.5mmφであり、外側に向かうに従って一定の割合で徐々に小さくなるように傾斜していた(図2参照)。言い換えると、この気圧調整孔はその内周面が、このフレーム内側に開いた形状を有する。この形状であることは、以下の実施例2〜6でも同様である。
こうして完成させたフレームにあらかじめ準備したペリクル膜を貼り合わせペリクルを完成させた。
実施例1と同じジュラルミン製フレームを用意した。フレーム短辺中央部に気圧調整孔を1個設けた。気圧調整孔の形状は、部分円錐状とし、フレーム内側面側が3.0mmφであり、外側面側が2.0mmφであり、外側に向かうに従って一定の割合で徐々に小さくなるように傾斜するようにした以外は、全く実施例1と同様にして(図2参照)フレームを作製し、このフレームを用いて実施例1と同様にペリクルを完成させた。
実施例1と同じジュラルミン製フレームを用意した。フレーム短辺中央部に気圧調整孔を1個設けた。気圧調整孔の形状は、部分円錐状とし、フレーム内側面が0.8mmφであり、外側面が0.5mmφであり、外側に向かうに従って一定の割合で徐々に小さくなるように傾斜していた(図2参照)。このフレームを用いて実施例1と同様にペリクルを完成させた。
実施例1と同じジュラルミン製フレームを用意した。フレーム短辺中央部に気圧調整孔を1個設けた。気圧調整孔の形状は、図3に示したように、フレーム内側面側が3.0mmφであり、深さ1mmの部分で1.5mmφとなり、外側面側が1.0mmφとなるように、内側面から深さ1mmまで、及び、深さ1mmから外側出口まで、それぞれ一定の割合で徐々に小さくなるように傾斜していた。すなわち、深さ1mmの部分に面の境界部分が存在した。このフレームを用いた以外は、実施例1と同様にしてペリクルを完成させた。
実施例1と同じジュラルミン製フレームを用意した。フレーム短辺中央部に気圧調整孔を1個設けた。気圧調整孔の形状はフレーム内側面側が一辺2.0mmの正方形であり、外側面側が一辺0.8mmの正方形であり、外側に向かうに従って一定の割合で徐々に小さくなるように傾斜していた(図4参照)。このフレームを用いて実施例1と同様にペリクルを完成させた。
実施例1と同じジュラルミン製フレームを用意した。フレーム短辺中央部に気圧調整孔を1個設けた。気圧調整孔の形状はフレーム内側面側が2.0mmφで深さ1mmの部分で1.0mmφ、外側面側が1.0mmφ、内側面から深さ1mmまで一定の割合で徐々に小さくなるように傾斜していた。深さ1mmから外側面出口までは同じ径であった。すなわち、深さ1mmの部分に面の境界部分が存在した(図5参照)。このフレームを用いて実施例1と同様にしてペリクルを完成させた。
実施例1と同じジュラルミン製フレームを用意した。フレーム短辺中央部に気圧調整孔を1個設けた。気圧調整孔の形状は2.0mmφでフレーム厚み2mmを貫通するよう加工されていた(図7参照)。このフレームを用いて実施例1と同様にペリクルを完成させた。
実施例1と同じジュラルミン製フレームを用意した。フレーム短辺中央部に気圧調整孔を1個設けた。気圧調整孔の形状は、円筒形で0.5mmφでフレーム厚み2mmを貫通するよう加工されていた(図7参照)。このフレームを用いて実施例1と同様にペリクルを完成させた。
これ以外のフレームサイズの場合、フレーム高さに応じて気圧調整孔の内面側孔径の上限を適宜設定することができる。同時に孔径の下限は、孔あけ加工の難易度及び安定性から考えて約0.3mmφとすることが適当である。
3:ペリクルフレーム
5:露光原版
6:気圧調整孔
7:除塵用フィルター
10:リソグラフィ用ペリクル
θ:開口角
Claims (4)
- ペリクルフレームの外側面から内側面へ貫通する1以上の気圧調整孔を有し、
前記気圧調整孔は、その内周面の表面における接線がペリクルフレーム中心断面の垂線となす角度θが2°以上である断面形状を有し、
前記気圧調整孔の内周面がペリクルフレーム内側に連続して開いた形状であって、ペリクルフレームの外側から内側に向かう途中で角度θが大きくなった部分変形円錐形状であるか、又は、ペリクルフレームの外側から内側に向かって角度θが連続的に大きくなるように開いたラッパ状の形状であり、
かつ、前記気圧調整孔はその内周面に粘着剤層を有することを特徴とする
リソグラフィ用ペリクル。 - 前記角度θが5°〜45°である、請求項1に記載のリソグラフィ用ペリクル。
- ペリクルフレームの外側面から内側面へ貫通する1以上の気圧調整孔を有し、
前記気圧調整孔は、その内周面の表面における接線がペリクルフレーム中心断面の垂線となす角度θが2°以上である断面形状を有し、
前記気圧調整孔の内周面がペリクルフレーム内側に連続して開いた形状であって、ペリクルフレームの外側から内側に向かう途中で角度θが大きくなった部分変形円錐形状であるか、又は、ペリクルフレームの外側から内側に向かって角度θが連続的に大きくなるように開いたラッパ状の形状であるペリクルフレームを作成する工程、及び、
前記ペリクルフレームの内側から前記ペリクルフレームの内側面及び気圧調整孔の内周面に粘着剤組成物をスプレー塗布する工程、を含むことを特徴とする
リソグラフィ用ペリクルの製造方法。 - 前記角度θが5°〜45°である、請求項3に記載のリソグラフィ用ペリクルの製造方法。
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