KR20080101606A

KR20080101606A - 반송장치

Info

Publication number: KR20080101606A
Application number: KR1020070053147A
Authority: KR
Inventors: 다이스케 하야사카; 긴고 구리타니
Original assignee: 가부시키가이샤 쇼에이 고키
Priority date: 2007-05-16
Filing date: 2007-05-31
Publication date: 2008-11-21
Also published as: JP2008285255A; JP4541383B2; CN101309042A; CN101309042B; TW200846573A

Abstract

본 발명은 롤러에의 동력전달수단인 기어의 마모, 마찰에 의한 먼지가 발생하지 않는 반송장치를 제공하는 것이다.

이를 위한 본 발명의 반송장치는, 한쌍의 롤러(31, 32)에 회전을 전달하는 동력전달수단(10)을 구비하고, 한쌍의 롤러 사이에 피반송물(50)을 끼워 유지시키면서 한쌍의 롤러를 회전시킴으로써 피반송물을 반송하는 것이다. 동력전달수단(10)은 구동원(1)에 의하여 축심 주위로 회전 구동되고, 그 끝면에 영구자석(15)을 N극, S극과 교대로 방사상으로 이극 배열하여 형성한 제 1 자기면(17)을 가지는 원반(11)과, 한쌍의 롤러에 각각 연결되고, 그 바깥 둘레에 영구자석(27)을 N극, S극과 교대로 나선형상으로 이극 배열하여 형성한 제 2 자기면(29)을 가지는 한쌍의 원통(21, 22)을 구비하고, 한쌍의 원통을, 원반과의 사이에 소정의 공극을 유지하여, 또한 제 2 자기면을 제 1 자기면에 대향시키도록 배치하고, 자기의 인용 및 반발력을 이용하여 원반(11)로부터 한쌍의 원통(21, 22)에 동력을 전달시킨다.

Description

반송장치{TRANSFER APARATUS}

도 1은 본 발명의 실시형태인 반송장치를 구비한 기판 세정장치의 일부를 개략적으로 나타낸 사시도,

도 2는 기판 세정장치에서의 클리닝 롤러 및 점착 테이프 롤러의 지지구조를 나타내는 도,

도 3은 도 1에서 클리닝 롤러 및 동력전달수단을 정면에서 본 도,

도 4는 기판 세정장치에서의 동력전달수단의 정면도 및 동력전달수단의 자기적인 맞물림을 나타내는 개념도,

도 5는 원반형 자기기어에서의 자기 톱니의 외형 곡선을 설명하는 도,

도 6은 복수 세트의 동력전달수단이 배치된 상태를 나타내는 도,

도 7은 피반송물 표면의 요철에 따라 클리닝 롤러가 상하이동하는 상태를 모식적으로 나타낸 도,

도 8은 원반형 자기기어에 대한 원통형 자기기어의 위치를 나타내는 도면이다.

※ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 모터(구동원) 10 : 동력전달수단

11 : 원반형 자기기어 12 : 자성반

13 : 회전축 15 : 자기 톱니(영구자석)

16 : (원반형 자기기어의) 끝면 17 : 제 1 자기면

21, 22 : 원통형 자기기어 23, 24 : 자성 원통

25, 26 : 회전축 27 : 자기 톱니(영구자석)

28 : (원통형 자기기어의) 바깥 둘레면

29 : 제 2 자기면 30 : 기판 세정장치

31 : 상측 클리닝 롤러(롤러) 32 : 하측 클리닝 롤러(롤러)

50 : 기판(피반송물)

본 발명은 한쌍의 롤러 사이에 피반송물을 끼워 유지시키면서 한쌍의 롤러를 회전시킴으로써 피반송물을 반송하는 장치에 관한 것이다.

종래, 한쌍의 롤러 사이에 피반송물을 끼워 유지시키면서 한쌍의 롤러를 회전시킴으로써 피반송물을 반송하는 장치가 알려져 있다. 이와 같은 반송장치는 예를 들면 프린트기판 등의 제조공정에서 기판 표면에 부착된 먼지를 제거하기 위한 세정장치에 설치되어 있다(예를 들면 특허문헌 1을 참조). 이 프린트기판 등의 세정장치(이하, 생략하여 「기판 세정장치」라 함)는, 상하에 대향하여 배치된 한쌍의 점착성을 가지는 클리닝 롤러와, 이 클리닝 롤러에 동력을 전달하는 동력전달수단을 구비하고 있으며, 한쌍의 클리닝 롤러의 사이에 기판을 끼워 유지시키면서 한 쌍의 클리닝 롤러를 회전시킴으로써 기판을 반송시키면서 기판에 부착된 먼지를 클리닝 롤러 표면에 흡착시키도록 한 것이다.

[특허문헌 1]

일본국 특개2000-84514호 공보

그런데 상기와 같은 기판 세정장치에서는 구동원의 회전력을 클리닝 롤러에 전달하기 위한 기구로서, 구동원에 의하여 축심 주위로 회전 구동하는 구동측기어와, 클리닝 롤러에 연결된 피구동측 기어로 이루어지는 기어기구 등이 사용된다. 그러나 종래의 기계적 접촉을 따르는 기어기구에서의 전달방식에서는 기어의 마모, 마찰에 의하여 먼지가 발생하고, 이 먼지가 기판에 부착되거나, 기어의 윤활유가 기화됨으로써 기판이 오염되는 등의 사태가 생길 염려가 있어, 기판을 세정하기 위한 장치임에도 불구하고 기판을 청정한 상태에서 반송할 수 없다는 일이 일어날 수 있다.

또, 상기한 기판 세정장치에서는 상하에 대향 배치된 클리닝 롤러 중 상측의 클리닝 롤러가, 기판 표면에 실장된 전기부품 등의 요철에 따라 상하 이동할 수 있는 구성으로 되어 있다. 즉, 미리 설정된 양 롤러 사이의 간격보다 두께가 큰 기판의 볼록부를 양 롤러 사이에 끼워 유지시킬 때에 이 볼록부에 의하여 상측 클리닝 롤러가 윗쪽으로 밀어 올려지도록 되어 있다. 종래의 기계적 접촉을 따르는 기어기구의 경우, 상측 클리닝 롤러가 위쪽으로 이동할 때에, 상측 클리닝 롤러에 연결된 피구동측 기어의 맞물림 상태가 변화되지 않도록 다른 수단으로 대응하고 있어 기구가 복잡해진다는 문제가 있다.

본 발명은 상기한 점을 감안하여 롤러에의 동력전달수단인 기어의 마모, 마찰 등에 의한 먼지가 발생하지 않는 반송장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 청구항 1에 관한 반송장치는, 한쌍의 롤러에 회전을 전달하는 동력전달수단을 구비하고, 상기 한쌍의 롤러 사이에 피반송물을 끼워 유지시키면서 상기 한쌍의 롤러를 회전시킴으로써 피반송물을 반송하는 반송장치에 있어서, 상기 동력전달수단은 구동원에 의하여 축심 주위로 회전 구동되고, 그 끝면에 영구자석을 N극, S극과 교대로 방사상으로 이극 배열하여 설치함으로써 형성한 제 1 자기면을 가지는 원반과, 상기 한쌍의 롤러에 각각 연결되고, 그 바깥 둘레에 영구자석을 N극, S극과 교대로 나선형상으로 이극 배열하여 설치함으로써 형성한 제 2 자기면을 가지는 한쌍의 원통을 구비하고, 상기 한쌍의 원통을 상기 원반과의 사이에 소정의 공극을 유지하여, 또한 상기 제 2 자기면을 상기 제 1 자기면에 대향시키도록 배치하고, 상기 영구자석의 자기의 인력 및 반발력을 이용하여 상기 원반으로부터 상기 한쌍의 원통에 동력을 전달시키는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 청구항 2에 관한 반송장치는, 상기 청구항 1에서 복수쌍의 상기롤러를 병설한 경우에, 상기 원반을 동일 축심상에 배치한 것을 특징으로 한다.

이하에 첨부도면을 참조하여 본 발명에 관한 반송장치의 적합한 실시형태를 상세하게 설명한다. 또한 이 실시형태에 의하여 본 발명이 한정되는 것이 아니다.

도 1은 본 발명의 실시형태인 반송장치를 적용한 기판 세정장치의 일부를 개략적으로 나타낸 사시도이다. 또한 본 실시형태에서 대상이 되는 「기판」이란, 표면상에 전기부품 등이 실장된 프린트기판, 전기부품 실장전의 프린트기판, 액정기판, 플라즈마 디스플레이기판 등을 나타내는 것이다.

이 기판 세정장치(30)는, 실리콘고무 등의 점착성 탄성 고무재료로 구성된 한쌍의 클리닝 롤러(31, 32)와, 이 클리닝 롤러(31, 32)보다 점착성이 강한 재료로 구성되는 점착 테이프 롤러(33, 34)와, 한쌍의 클리닝 롤러(31, 32)에 동력을 전달하는 동력전달수단(10)을 구비하고 있다. 또한 실제의 기판 세정장치(30)는 상기 각 롤러를 복수세트 병설한 구성으로 되어 있으나, 도 1에서는 설명의 편의상, 한쌍만을 나타내고, 다른 롤러의 도시를 생략하고 있다.

한쌍의 클리닝 롤러(31, 32)는, 소정의 간격을 개방하여 상하로 대향하여 배치되고, 회전축(25, 26)을 거쳐 측벽판(도 1에서는 도시를 생략)에 회전 가능하게 지지되어 있다. 도 1에 나타내는 바와 같이 각 회전축(25, 26)의 한쪽의 끝부는 뒤에서 설명하는 동력전달수단(10)의 피구동측 원반(21, 22)에 각각 연결하고 있다. 이하, 클리닝 롤러(31)를「상측 클리닝 롤러(31)」, 클리닝 롤러(32)를「하측 클리닝 롤러(32)」라고 한다. 또 점착 테이프 롤러(33, 34)는, 상측/하측 클리닝 롤러(31, 32)에 접촉한 상태에서 클리닝 롤러(31, 32)의 바깥쪽에 각각 배치되고, 회전축을 거쳐 측벽판에 회전 가능하게 지지되어 있다.

상기 구성을 가지는 기판 세정장치(30)에서는 도 1에 나타내는 바와 같이 클리닝 롤러(31, 32) 사이에 기판(50)을 끼워 유지시키면서 뒤에서 설명하는 동력전 달수단(10)에 의하여 클리닝 롤러(31, 32)를 회전시킴으로써 기판(50)을 수평방향으로 반송하고, 그것과 동시에 기판(50)에 부착된 먼지를 클리닝 롤러(31, 32)의 표면에 흡착시켜 기판(50)의 표면에서 먼지를 제거한다. 또한 클리닝 롤러(31, 32)에 부착된 먼지는 클리닝 롤러(31, 32)와 접촉하면서 회전하는 점착 테이프 롤러(33, 34)에 전사된다.

또, 본 실시형태에서는 하측 클리닝 롤러(32) 및 점착 테이프 롤러(34)를 측벽판에 대하여 회전 가능하게 고정하는 한편, 상측 클리닝 롤러(31) 및 점착 테이프 롤러(33)를 도 2에 나타내는 바와 같이 측벽판에 대하여 상하방향으로 슬라이드 가능하게 지지시키고 있다. 더욱 상세하게 설명하면 도 2에 나타내는 바와 같이 상측 클리닝 롤러(31)의 회전축(25) 및 점착 테이프 롤러(33)의 회전축(35)은 각각 베어링부(41)를 거쳐 측벽판(40)에 지지되어 있다. 이 베어링부(41)는 보스(43)가 측벽판(40)에 설치된 긴 구멍(44)에 상하 이동 가능하게 끼워 넣어짐과 함께, 베어링부(41)를 측벽판(40)에 고정하는 복수의 볼트(42)가 볼트용 긴 구멍(45)에 상하 이동 가능하게 끼워 넣어지고, 이것에 의하여 각 롤러를 지지한 상태에서 상하방향으로 슬라이드 가능하게 되어 있다. 또 점착 테이프 롤러(33)의 베어링부(41)에는 도시 생략한 에어 실린더에 의하여 소정의 공기압이 걸려 점착 테이프 롤러(33)를 항상 클리닝 롤러(31)에 밀착시킨 구성으로 하고 있다. 상기 구성으로 함으로써 예를 들면 전기부품이 실장된 기판과 같이 표면에 요철이 형성된 피반송물을 반송하는 경우에 피반송물의 요철에 따라 상측 클리닝 롤러(31) 및 점착 테이프 롤러(33)를 상하 이동시키는 것이 가능하다.

다음에 상측/하측 클리닝 롤러(31, 32)에 회전을 전달하는 동력전달수단(10)에 대하여 설명한다. 도 3은 도 1에서 상측/하측 클리닝 롤러(31, 32) 및 동력전달수단(10)을 정면에서 본 도면이다. 또한 도 3에서는 피반송물인 기판(50)을 생략하여 나타내고 있다. 도 3에 나타내는 바와 같이 동력전달수단(10)은 구동원인 모터(도 7을 참조)에 의하여 축심 주위로 회전 구동되는 원반(11)과, 회전축(25, 26)을 거쳐 상측/하측 클리닝 롤러(31, 32)에 연결된 한쌍의 원통(21, 22)을 구비하고 있다. 또한 이하의 설명에서는 설명의 편의상, 구동측의 원반(11)을 원반형 자기기어(11)라 부르고, 피구동측의 원통(21, 22)을 각각 원통형 자기기어(21, 22)라 부르기로 한다.

도 4는 동력전달수단(10)을 개략적으로 나타내는 도면으로, 상측도는 동력전달수단(10)의 정면도, 중간도 및 하측도는 원반형 자기기어(11)와 원통형 자기기어(21, 22)의 자기적인 맞물림을 나타내는 개념도이다. 원반형 자기기어(11)는 자성체(예를 들면 연철재)로 이루어지는 원반형상의 자성반(12)과, 이 자성반(12)과 모터를 연결하는 회전축(13) 및 자성반(12)의 끝면(16)에 영구자석을 접착제 등의 적절한 수단으로 등간격으로 방사상으로 설치함으로써 형성된 제 1 자기면(17)으로 구성되는 것이다. 또한 자성반(12)의 끝면이란, 자성반(12)의 한쪽 면부분(평면부분)(16)을 나타내는 것으로 한다. 이하, 제 1 자기면(17)을 구성하는 하나하나의 영구자석을 자기 톱니(15)라 부른다. 도 5에 나타내는 바와 같이 이 자기 톱니(15)는 인접하는 자기 톱니의 극성이 N극(15N), S극(15S)으로 교대로 되 도록 배치하고 있다.

한편, 피구동측인 원통형 자기기어(21, 22)는 자성체로 이루어지는 자성원통(23, 24)과, 이 자성원통(23, 24)과 상측/하측 클리닝 롤러(31, 32)를 연결하는 회전축(25, 26) 및 자성원통(23, 24)의 각 바깥 둘레면(28)의 일주에 걸쳐 영구자석을 등간격으로 나선형상으로 설치함으로써 형성된 제 2 자기면(29)으로 구성되어 있다. 이하, 제 2 자기면(29)을 구성하는 하나하나의 영구자석을 자기 톱니(27)라 부른다. 이 자기 톱니(27)는 인접하는 자기 톱니의 극성이 N극(27n), S극(27s)으로 교대로 되도록 배치하고 있다. 또한 상기 자기 톱니(l5, 27)를 구성하는 영구자석으로서는 예를 들면 40 MGOe의 고에너지적을 가지는 희토류재가 사용된다.

이 원통형 자기기어(21, 22)는 원반형 자기기어(11)의 사이에 소정의 공극(g)을 유지하고, 또한 제 2 자기면(29)을 원반형 자기기어(11)의 제 1 자기면(17)에 대향시키도록 배치하고 있다. 원통형 자기기어(21, 22)의 축선방향 길이는 제 1 자기면(17)의 반경과 대략 동일한 길이로 형성되고, 그 축선은 제 1 자기면(17)에 대하여 대략 평행하다. 원반형 자기기어(11)의 제 1 자기면을 도 4의 중간도에 나타내는 바와 같은 XY 좌표 평면으로 한 경우, 상측의 원통형 자기기어(21)는 원반형 자기기어(11)의 제 1 자기면(17)의 제 1 상한에 대향하도록 배치된다. 한편 하측의 원통형 자기기어(21)는 제 1 자기면(17)의 제 3 상한에 대향하도록 배치된다.

여기서 도 5를 사용하여 원통형 자기기어의 자기 톱니의 외형이 나선곡선 인 경우에서의 원반형 자기기어의 자기 톱니의 외형곡선의 식에 대하여 설명한다. 도 5에서 r₁₂는 원반형 자기기어(110)의 바깥 둘레의 반경이고, r₁₁은 원반의 축부분의 바깥 둘레의 반경이다. 여기서 r₁₂ - r₁₁ = h라 한다. 또 원반형 자기기어(110)의 중심(O)과 원반 밖의 정점(Q)을 연결하는 직선을 O - Q라 하고, 이 직선상에 곡선의 시점 A점이 있는 것으로 한다. 도 5a에 나타내는 바와 같이 직선 O -Q 에서 시계방향으로 θ 회전한 점에서의 중심(O)에서 곡선까지의 거리를 r이라하면, 시점인 A점(θ = 0)부터, 종점인 B점(θ = θ₁)까지의 곡선은

로 나타낼 수 있다.

한편, 원통형 자기기어(도시 생략)는, θ₂회전한 경우에 나선곡선은 길이 (h) 만큼 진행한다. 그렇게 하면 원반형 자기기어(110)의 각속도를 ω₁, 원통형 자기기어의 각속도를 ω₂라 하면, 원반형 자기기어(110)가 θ₁ 회전하는 동안에 원통형 자기기어는 θ₂ 회전하지 않으면 안되기 때문에,

가 성립한다. 또한 원반형 자기기어(110)의 자기 톱니의 수를 p₁, 원통형 자기기어의 자기 톱니의 수를 p₂라 한다. 이때 원반형 자기기어(110)에서는 자기 톱니는 360°/p₁의 간격으로 배치되고, 원통형 자기기어에서는 자기 톱니는 360°/p₂의 간격으로 배치된다. 그렇게 하면 원반형 자기기어(110)가 360°/p₁회전하는 동안에, 원통형 자기기어는 360°/p₂회전하기 때문에,

이 성립한다. (수학식 2)와 (수학식 3)을 (수학식 1)에 대입하면, (수학식 1)은,

로 나타낼 수 있다. 이 (수학식 4)가, 원반형 자기기어(110)의 자기 톱니의 외형 곡선의 식이다.

상기한 자기기어에서는 원반형 자기기어와 원통형 자기기어의 자기 톱니의 수(극수)를 적절하게 설정함으로써 원하는 회전비를 얻는다. 예를 들면 본 실시형태에서는 도 4에 나타내는 바와 같이 원반형 자기기어(11)의 톱니수는 16, 원통형 자기기어(21, 22)의 톱니수는 각각 8로 설정하고 있다. 따라서 원반형 자기기어(11)로부터 원통형 자기기어(21, 22)에 회전이 전달될 때에 원반형 자기기어(11)에 비하여 원통측 자기기어(21, 22)의 각속도가 2배로 증가한다.

상기 구성을 가지는 동력전달수단(10)에서는 원반형 자기기어(11)의 자기 톱 니(15)와 원통형 자기기어(21, 22)의 자기 톱니(27)와의 자기적인 맞물림, 즉 대향하는 자석의 N극과 S극 사이의 인력과, N극과 N극 및 S극과 S극 사이의 반발력에 의하여 원반형 자기기어(11)로부터 원통형 자기기어(21, 22)에, 비접촉으로 회전 토오크가 전달된다. 예를 들면 원반형 자기기어(11)를 도 4의 중간도 및 하측도에 나타내는 바와 같이 반시계방향으로 회전시키면 원통형 자기기어(21, 22)와의 사이에 작용하는 자석의 인력 및 반발력에 의하여 원통형 자기기어(21, 22)는 원반형 자기기어(11)의 회전방향으로 움직인다. 즉, 원통형 자기기어(21, 22)는 각각 도 4에 나타내는 화살표의 방향으로 회전하게 되어, 상측의 원통형 자기기어(21)와 하측의 원통형 자기기어(22)의 회전방향은 반대가 된다.

상기한 상측의 원통형 자기기어(21)에 연결된 상측 클리닝 롤러(31)와, 하측의 원통형 자기기어(22)에 연결된 하측 클리닝 롤러(32)는, 도 1에 나타내는 바와 같이 회전방향이 반대방향이 된다. 이것에 의하여 피반송물인 기판(50)은 상측/하측 클리닝 롤러(31, 32) 사이에 끼워 유지되면서 수평방향으로 반송되게 된다.

도 6은 상기한 동력전달수단(10)을 복수세트 배치한 상태를 나타내는 도면 이다. 상기한 클리닝 롤러(31, 32)를 복수쌍 병설하는 경우, 도 6에 나타내는 바와 같이 복수의 원반형 자기기어(11)가 모터(1)의 동일 축심상에 배치되고, 각 원반형 자기기어(11)와 소정의 공극을 유지하여 복수의 원통형 자기기어(21, 22)가 배치된다. 즉, 모터(1)의 회전축(13)에 복수 세트의 동력전달수단(10)이 배치된다. 복수의 원반형 자기기어(11)의 배치간격은, 상측/하측 클리닝 롤러(31, 32)의 배치위치에 대응하여 자유롭게 설정하는 것이 가능하다.

또, 도 7은 기판(50) 표면의 요철에 따라 상측 클리닝 롤러(31)가 상하이동하는 상태를 모식적으로 나타낸 도면이고, 도 8은 상측의 원통형 자기기어(21)가 윗쪽으로 이동한 경우의 원반형 자기기어(11)에 대한 위치를 나타낸 것이다. 도 7에 나타내는 바와 같이 미리 설정된 상측/하측 클리닝 롤러(31, 32)의 간격보다 큰 두께를 가지는 볼록부(51)에 의하여 상측 클리닝 롤러(31)가 윗쪽에 밀어 올려지면, 이것에 따라 상측 클리닝 롤러(31)에 연결된 원통형 자기기어(21)도 윗쪽으로 밀어 올려지게 된다. 도 8의 상측도에 나타내는 바와 같이 원통형 자기기어(21)가 통상 위치로부터 윗쪽으로 이동하면 원반형 자기기어(11)와의 맞물림 면적은 통상 위치에 있는 경우와 비교하여 작아지나, 하측도에 나타내는 바와 같이 원반형 자기기어(11)와의 사이의 공극(에어갭)은 일정하게 유지된다. 이 때문에 원통형 자기기어(21)가 윗쪽으로 이동하여도 상측 클리닝 롤러(31)에 전달되는 회전 토오크가 극단으로 작아지는 일은 없다.

이상 설명한 바와 같이 본 실시형태의 기판 세정장치(30)에 의하면, 원반형 자기기어(11) 및 원통형 자기기어(21, 22)에 설치된 자석의 자기의 인력 및 반발력을 이용하여 원반형 자기기어(11)로부터 원통형 자기기어(21, 22)에 동력을 전달시키는 구성으로 한 것으로, 구동측에서 피구동측으로 비접촉으로 동력을 전달시키는 것이 가능해져 종래와 같이 기어의 기계적 맞물림에 의한 먼지 등이 발생한다는 일이 없고, 피반송물인 기판(50)을 청정한 상태로 유지한 상태에서 반송할 수 있다.

또, 본 실시형태에서는 원반형 자기기어(11)의 끝면(16)에 영구자석을 N극, S극과 교대로 방사상으로 이극 배열하여 제 1 자기면(17)을 형성함과 동시에, 원통형 자기기어(21, 22)의 각 바깥 둘레면(28)에 영구자석을 N극, S극과 교대로 나선형상으로 이극 배열하여 제 2 자기면(29)을 형성하고, 원통형 자기기어(21, 22)를, 원반형 자기기어(11)와의 사이에 소정의 공극을 유지하여, 또한 제 2 자기면을 제 1 자기면에 대향시키도록 배치하였다. 상기 구성으로 함으로써 원반형 자기기어(11)에 대하여 원통형 자기기어(21, 22)가 위쪽으로 이동 또는 아래쪽으로 이동하여도 원반형 자기기어(11)와의 공극은 일정하게 유지되기 때문에, 원통형 자기기어(21, 22)에 전달되는 회전 토오크가 극단적으로 작아지는 바와 같은 일이 없다. 그 결과, 한쌍의 롤러 사이에 끼워 유지되는 피반송물의 요철에 상관없이 원하는 회전 토오크를 유지할 수 있어, 안정된 반송기능을 확보하는 것이 가능하게 된다.

또한 본 실시형태의 기판 세정장치(30)에 의하면 복수쌍의 클리닝 롤러(31, 32)를 병설한 경우에, 복수의 원반형 자기기어(11)를 구동용 모터의 동일 축심상에 배치하는 구성으로 하였기 때문에, 복수 세트의 동력전달장치(10)에 대하여 구동원인 모터(1)가 1개로 된다는 효과를 가진다. 또 복수의 원반형 자기기어(11)를 동일 축심상에 배치한 경우, 이들 배치간격을 자유롭게 설정하는 것이 가능하고, 그 결과, 복수쌍의 클리닝 롤러의 설치간격을 자유롭게 설정할 수 있다는 효과도 가진다.

또한, 상기 실시형태에서는 상측 클리닝 롤러(31)만을 상하로 이동 가능하게 구성하였으나, 상측/하측 클리닝 롤러의 양쪽을 상하로 이동 가능하게 구성하여도 상기 실시형태와 동일한 효과가 얻어진다.

이상과 같이 본 발명에 관한 반송장치는, 상기 실시형태에서 나타낸 기판 세정장치를 비롯하여 한쌍의 롤러 사이에 끼워 유지되는 피반송물의 요철에 따라 롤러를 상하이동시키면서 롤러를 회전시켜 피반송물을 반송하는 반송장치에 유효하게 사용할 수 있다.

본 발명에 관한 반송장치에 의하면, 구동원에 의하여 회전 구동되는 원반 및 한쌍의 롤러에 각각 연결된 원통에 각각 설치된 자석의 자기의 인력 및 반발력을 이용하여 구동측의 원반으로부터 피구동측의 원통에 동력을 전달시키는 구성으로 한 것으로, 구동측에서 피구동측에 비접촉으로 동력을 전달시키는 것이 가능하게 되어 종래의 기어기구에서의 전달방식과 같이 기어의 기계적 맞물림에 의하여 먼지 등이 발생한다는 일이 없어 피반송물을 청정한 상태로 유지한 상태에서 반송할 수 있다.

또, 본 발명에 관한 반송장치에 의하면, 상기 원반의 끝면에 영구자석을 N극, S극과 교대로 방사상으로 이극 배열하여 설치함으로써 제 1 자기면을 형성함 과 동시에, 상기 한쌍의 원통의 바깥 둘레에 영구자석을 N극, S극과 교대로 나선형상으로 이극 배열하여 설치함으로써 제 2 자기면을 형성하고, 한쌍의 원통을 원반과의 사이에 소정의 공극을 유지하여, 또한 제 2 자기면을 원반의 제 1 자기면에 대향시키도록 배치한 것으로, 구동측의 원반에 대하여 피구동측의 원통이 위쪽으로 이동 또는 아래쪽으로 이동하여도 원반과의 공극은 일정하게 유지되기 때문에, 원 통에 전달되는 회전 토오크가 극단적으로 작아지는 바와 같은 일이 없다. 그 결과, 한쌍의 롤러 사이에 끼워 유지되는 피반송물의 요철에 상관없이 원하는 회전 토오크를 유지할 수 있어, 안정된 반송기능을 확보하는 것이 가능해진다.

Claims

한쌍의 롤러에 회전을 전달하는 동력전달수단을 구비하고,

상기 한쌍의 롤러 사이에 피반송물을 끼워 유지시키면서 상기 한쌍의 롤러를 회전시킴으로써 피반송물을 반송하는 반송장치에 있어서,

상기 동력전달수단은,

구동원에 의하여 축심 주위로 회전 구동되고, 그 끝면에 영구자석을 N극, S극과 교대로 방사상으로 이극 배열하여 설치함으로써 형성한 제 1 자기면을 가지는 원반과,

상기 한쌍의 롤러에 각각 연결되고, 그 바깥 둘레에 영구자석을 N극, S극과 교대로 나선형상으로 이극 배열하여 설치함으로써 형성한 제 2 자기면을 가지는 한쌍의 원통을 구비하고,

상기 한쌍의 원통을, 상기 원반과의 사이에 소정의 공극을 유지하여, 또한 상기 제 2 자기면을 상기 제 1 자기면에 대향시키도록 배치하고,

상기 영구자석의 자기의 인력 및 반발력을 이용하여 상기 원반으로부터 상기 한쌍의 원통에 동력을 전달시키는 것을 특징으로 하는 반송장치.
제 1항에 있어서,

복수쌍의 상기 롤러를 병설한 경우에, 상기 원반을 동일 축심상에 배치한 것을 특징으로 하는 반송장치.