KR20080101606A - Transfer aparatus - Google Patents

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KR20080101606A
KR20080101606A KR1020070053147A KR20070053147A KR20080101606A KR 20080101606 A KR20080101606 A KR 20080101606A KR 1020070053147 A KR1020070053147 A KR 1020070053147A KR 20070053147 A KR20070053147 A KR 20070053147A KR 20080101606 A KR20080101606 A KR 20080101606A
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rollers
gear
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KR1020070053147A
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다이스케 하야사카
긴고 구리타니
Original Assignee
가부시키가이샤 쇼에이 고키
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Abstract

A transfer system is provided to deliver the power from the driving side to the driven side in a contactless manner. The transfer system comprises the power transmission member(10) delivering the rotation to a pair of roller. The power transmission method is rotated in the axis center(13) surrounding with the driving source. . A pair of cylinder the predetermined air gap is maintained between the disks. The second magnetic surface is arranged to face the first magnetic surface. The transfer system delivers the power from the disk to the pair of cylinder by using the magnetism and the repulsion of the permanent magnet.

Description

반송장치{TRANSFER APARATUS} Carrier {TRANSFER APARATUS}

도 1은 본 발명의 실시형태인 반송장치를 구비한 기판 세정장치의 일부를 개략적으로 나타낸 사시도,1 is a perspective view schematically showing a part of a substrate cleaning device having a conveying device according to an embodiment of the present invention;

도 2는 기판 세정장치에서의 클리닝 롤러 및 점착 테이프 롤러의 지지구조를 나타내는 도,2 is a view showing a supporting structure of a cleaning roller and an adhesive tape roller in a substrate cleaning apparatus;

도 3은 도 1에서 클리닝 롤러 및 동력전달수단을 정면에서 본 도,3 is a front view of the cleaning roller and the power transmission means in FIG.

도 4는 기판 세정장치에서의 동력전달수단의 정면도 및 동력전달수단의 자기적인 맞물림을 나타내는 개념도,4 is a conceptual view showing a front view of the power transmission means and the magnetic engagement of the power transmission means in the substrate cleaning apparatus;

도 5는 원반형 자기기어에서의 자기 톱니의 외형 곡선을 설명하는 도,5 is a view for explaining the contour curve of the magnetic tooth in the disk-shaped magnetic gear;

도 6은 복수 세트의 동력전달수단이 배치된 상태를 나타내는 도,6 is a view showing a state in which a plurality of sets of power transmission means are arranged;

도 7은 피반송물 표면의 요철에 따라 클리닝 롤러가 상하이동하는 상태를 모식적으로 나타낸 도,7 is a diagram schematically showing a state in which the cleaning roller moves up and down depending on the unevenness of the surface of the conveyed object.

도 8은 원반형 자기기어에 대한 원통형 자기기어의 위치를 나타내는 도면이다.8 is a view showing the position of the cylindrical magnetic gear with respect to the disk-shaped magnetic gear.

※ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명※ Explanation of code for main part of drawing

1 : 모터(구동원) 10 : 동력전달수단1: motor (drive source) 10: power transmission means

11 : 원반형 자기기어 12 : 자성반11: disc-shaped magnetic gear 12: magnetic disc

13 : 회전축 15 : 자기 톱니(영구자석) 13: rotating shaft 15: magnetic tooth (permanent magnet)

16 : (원반형 자기기어의) 끝면 17 : 제 1 자기면16: end face (of disc-shaped magnetic gear) 17: first magnetic face

21, 22 : 원통형 자기기어 23, 24 : 자성 원통21, 22: cylindrical magnetic gear 23, 24: magnetic cylinder

25, 26 : 회전축 27 : 자기 톱니(영구자석) 25, 26: rotating shaft 27: magnetic tooth (permanent magnet)

28 : (원통형 자기기어의) 바깥 둘레면28: outer circumferential surface (of cylindrical magnetic gear)

29 : 제 2 자기면 30 : 기판 세정장치 29 second magnetic surface 30 substrate cleaning apparatus

31 : 상측 클리닝 롤러(롤러) 32 : 하측 클리닝 롤러(롤러)31: Upper cleaning roller (roller) 32: Lower cleaning roller (roller)

50 : 기판(피반송물)50: substrate (consigned material)

본 발명은 한쌍의 롤러 사이에 피반송물을 끼워 유지시키면서 한쌍의 롤러를 회전시킴으로써 피반송물을 반송하는 장치에 관한 것이다. The present invention relates to an apparatus for conveying a conveyed object by rotating a pair of rollers while sandwiching the conveyed object between the pair of rollers.

종래, 한쌍의 롤러 사이에 피반송물을 끼워 유지시키면서 한쌍의 롤러를 회전시킴으로써 피반송물을 반송하는 장치가 알려져 있다. 이와 같은 반송장치는 예를 들면 프린트기판 등의 제조공정에서 기판 표면에 부착된 먼지를 제거하기 위한 세정장치에 설치되어 있다(예를 들면 특허문헌 1을 참조). 이 프린트기판 등의 세정장치(이하, 생략하여 「기판 세정장치」라 함)는, 상하에 대향하여 배치된 한쌍의 점착성을 가지는 클리닝 롤러와, 이 클리닝 롤러에 동력을 전달하는 동력전달수단을 구비하고 있으며, 한쌍의 클리닝 롤러의 사이에 기판을 끼워 유지시키면서 한 쌍의 클리닝 롤러를 회전시킴으로써 기판을 반송시키면서 기판에 부착된 먼지를 클리닝 롤러 표면에 흡착시키도록 한 것이다. Background Art Conventionally, an apparatus for conveying a conveyed object by rotating a pair of rollers while holding the conveyed object between the pair of rollers is known. Such a conveying apparatus is provided in the washing | cleaning apparatus for removing the dust which affixed on the surface of a board | substrate in manufacturing processes, such as a printed circuit board (for example, refer patent document 1). This cleaning substrate or the like (hereinafter, referred to as "substrate cleaning device") includes a pair of adhesive cleaning rollers disposed to face up and down, and a power transmission means for transmitting power to the cleaning rollers. The dust is adhered to the substrate while the substrate is transported by rotating the pair of cleaning rollers while holding the substrate between the pair of cleaning rollers.

[특허문헌 1][Patent Document 1]

일본국 특개2000-84514호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-84514

그런데 상기와 같은 기판 세정장치에서는 구동원의 회전력을 클리닝 롤러에 전달하기 위한 기구로서, 구동원에 의하여 축심 주위로 회전 구동하는 구동측기어와, 클리닝 롤러에 연결된 피구동측 기어로 이루어지는 기어기구 등이 사용된다. 그러나 종래의 기계적 접촉을 따르는 기어기구에서의 전달방식에서는 기어의 마모, 마찰에 의하여 먼지가 발생하고, 이 먼지가 기판에 부착되거나, 기어의 윤활유가 기화됨으로써 기판이 오염되는 등의 사태가 생길 염려가 있어, 기판을 세정하기 위한 장치임에도 불구하고 기판을 청정한 상태에서 반송할 수 없다는 일이 일어날 수 있다. However, in the substrate cleaning apparatus as described above, a mechanism for transmitting the rotational force of the driving source to the cleaning roller is used as a gear mechanism comprising a drive side gear that rotates around the shaft center by the drive source, and a driven side gear connected to the cleaning roller. . However, in the transmission method of the gear mechanism following the conventional mechanical contact, dust may be generated by the wear and friction of the gear, and the dust may adhere to the substrate, or the substrate may be contaminated by vaporizing the lubricating oil of the gear. There is a possibility that the substrate cannot be conveyed in a clean state despite being an apparatus for cleaning the substrate.

또, 상기한 기판 세정장치에서는 상하에 대향 배치된 클리닝 롤러 중 상측의 클리닝 롤러가, 기판 표면에 실장된 전기부품 등의 요철에 따라 상하 이동할 수 있는 구성으로 되어 있다. 즉, 미리 설정된 양 롤러 사이의 간격보다 두께가 큰 기판의 볼록부를 양 롤러 사이에 끼워 유지시킬 때에 이 볼록부에 의하여 상측 클리닝 롤러가 윗쪽으로 밀어 올려지도록 되어 있다. 종래의 기계적 접촉을 따르는 기어기구의 경우, 상측 클리닝 롤러가 위쪽으로 이동할 때에, 상측 클리닝 롤러에 연결된 피구동측 기어의 맞물림 상태가 변화되지 않도록 다른 수단으로 대응하고 있어 기구가 복잡해진다는 문제가 있다. In the substrate cleaning apparatus described above, the upper cleaning roller of the cleaning rollers arranged up and down is configured to move up and down in accordance with the unevenness of the electric parts and the like mounted on the substrate surface. That is, the upper cleaning roller is pushed upward by the convex portion when the convex portion of the substrate having a larger thickness than the predetermined gap between the two rollers is held between the two rollers. In the case of the gear mechanism following the conventional mechanical contact, when the upper cleaning roller moves upward, the gear mechanism is complicated by other means so that the engagement state of the driven side gear connected to the upper cleaning roller is not changed.

본 발명은 상기한 점을 감안하여 롤러에의 동력전달수단인 기어의 마모, 마찰 등에 의한 먼지가 발생하지 않는 반송장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. In view of the above, an object of the present invention is to provide a conveying apparatus in which dust due to abrasion, friction, or the like of a gear which is a power transmission means to a roller is not generated.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 청구항 1에 관한 반송장치는, 한쌍의 롤러에 회전을 전달하는 동력전달수단을 구비하고, 상기 한쌍의 롤러 사이에 피반송물을 끼워 유지시키면서 상기 한쌍의 롤러를 회전시킴으로써 피반송물을 반송하는 반송장치에 있어서, 상기 동력전달수단은 구동원에 의하여 축심 주위로 회전 구동되고, 그 끝면에 영구자석을 N극, S극과 교대로 방사상으로 이극 배열하여 설치함으로써 형성한 제 1 자기면을 가지는 원반과, 상기 한쌍의 롤러에 각각 연결되고, 그 바깥 둘레에 영구자석을 N극, S극과 교대로 나선형상으로 이극 배열하여 설치함으로써 형성한 제 2 자기면을 가지는 한쌍의 원통을 구비하고, 상기 한쌍의 원통을 상기 원반과의 사이에 소정의 공극을 유지하여, 또한 상기 제 2 자기면을 상기 제 1 자기면에 대향시키도록 배치하고, 상기 영구자석의 자기의 인력 및 반발력을 이용하여 상기 원반으로부터 상기 한쌍의 원통에 동력을 전달시키는 것을 특징으로 한다. In order to achieve the above object, the conveying apparatus according to claim 1 of the present invention includes a power transmission means for transmitting a rotation to a pair of rollers, and rotates the pair of rollers while holding the object to be conveyed between the pair of rollers. In the conveying apparatus for conveying the object to be conveyed, the power transmission means is rotationally driven around the shaft center by a drive source, and is formed by arranging permanent magnets on the end surfaces thereof alternately radially with the north pole and the south pole. A pair of disks each having a magnetic surface and a second magnetic surface connected to the pair of rollers, each having a permanent magnet arranged in a spiral arrangement alternately with the N pole and the S pole in an outer circumference thereof. A cylinder, the pair of cylinders holding a predetermined gap between the disk and opposing the second magnetic surface to the first magnetic surface; Characterized in that arranged so that, using the magnetic attractive force and the repulsive force of the permanent magnet for transmitting the power to the pair of the cylinder from the disc.

본 발명의 청구항 2에 관한 반송장치는, 상기 청구항 1에서 복수쌍의 상기롤러를 병설한 경우에, 상기 원반을 동일 축심상에 배치한 것을 특징으로 한다. The conveying apparatus which concerns on Claim 2 of this invention has arrange | positioned the said disk on the same shaft center, when providing a pair of said rollers in the said Claim 1. It is characterized by the above-mentioned.

이하에 첨부도면을 참조하여 본 발명에 관한 반송장치의 적합한 실시형태를 상세하게 설명한다. 또한 이 실시형태에 의하여 본 발명이 한정되는 것이 아니다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Below, preferred embodiment of the conveying apparatus which concerns on this invention is described in detail with reference to an accompanying drawing. In addition, this invention is not limited by this embodiment.

도 1은 본 발명의 실시형태인 반송장치를 적용한 기판 세정장치의 일부를 개략적으로 나타낸 사시도이다. 또한 본 실시형태에서 대상이 되는 「기판」이란, 표면상에 전기부품 등이 실장된 프린트기판, 전기부품 실장전의 프린트기판, 액정기판, 플라즈마 디스플레이기판 등을 나타내는 것이다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a perspective view schematically showing a part of a substrate cleaning apparatus to which a conveying apparatus according to an embodiment of the present invention is applied. In addition, the "substrate" which becomes an object in this embodiment shows the printed circuit board with which an electronic component etc. were mounted on the surface, the printed circuit board before electric component mounting, a liquid crystal substrate, a plasma display substrate, etc.

이 기판 세정장치(30)는, 실리콘고무 등의 점착성 탄성 고무재료로 구성된 한쌍의 클리닝 롤러(31, 32)와, 이 클리닝 롤러(31, 32)보다 점착성이 강한 재료로 구성되는 점착 테이프 롤러(33, 34)와, 한쌍의 클리닝 롤러(31, 32)에 동력을 전달하는 동력전달수단(10)을 구비하고 있다. 또한 실제의 기판 세정장치(30)는 상기 각 롤러를 복수세트 병설한 구성으로 되어 있으나, 도 1에서는 설명의 편의상, 한쌍만을 나타내고, 다른 롤러의 도시를 생략하고 있다. The substrate cleaning apparatus 30 includes a pair of cleaning rollers 31 and 32 made of an adhesive elastic rubber material such as silicone rubber, and an adhesive tape roller made of a material that is stronger than the cleaning rollers 31 and 32. 33 and 34 and a power transmission means 10 for transmitting power to the pair of cleaning rollers 31 and 32. In addition, although the actual board | substrate cleaning apparatus 30 has the structure which provided multiple sets of each said roller together, in FIG. 1, only one pair is shown for convenience of description, and the illustration of another roller is abbreviate | omitted.

한쌍의 클리닝 롤러(31, 32)는, 소정의 간격을 개방하여 상하로 대향하여 배치되고, 회전축(25, 26)을 거쳐 측벽판(도 1에서는 도시를 생략)에 회전 가능하게 지지되어 있다. 도 1에 나타내는 바와 같이 각 회전축(25, 26)의 한쪽의 끝부는 뒤에서 설명하는 동력전달수단(10)의 피구동측 원반(21, 22)에 각각 연결하고 있다. 이하, 클리닝 롤러(31)를「상측 클리닝 롤러(31)」, 클리닝 롤러(32)를「하측 클리닝 롤러(32)」라고 한다. 또 점착 테이프 롤러(33, 34)는, 상측/하측 클리닝 롤러(31, 32)에 접촉한 상태에서 클리닝 롤러(31, 32)의 바깥쪽에 각각 배치되고, 회전축을 거쳐 측벽판에 회전 가능하게 지지되어 있다.The pair of cleaning rollers 31 and 32 are arranged to face up and down with a predetermined interval open, and are rotatably supported by side wall plates (not shown in FIG. 1) via the rotation shafts 25 and 26. As shown in Fig. 1, one end of each of the rotary shafts 25 and 26 is connected to the driven side disks 21 and 22 of the power transmission means 10 described later, respectively. Hereinafter, the cleaning roller 31 is called "upper cleaning roller 31", and the cleaning roller 32 is called "lower cleaning roller 32." Moreover, the adhesive tape rollers 33 and 34 are arrange | positioned outside the cleaning rollers 31 and 32, respectively, in contact with the upper / lower cleaning rollers 31 and 32, and are rotatably supported by the side wall board via a rotating shaft. It is.

상기 구성을 가지는 기판 세정장치(30)에서는 도 1에 나타내는 바와 같이 클리닝 롤러(31, 32) 사이에 기판(50)을 끼워 유지시키면서 뒤에서 설명하는 동력전 달수단(10)에 의하여 클리닝 롤러(31, 32)를 회전시킴으로써 기판(50)을 수평방향으로 반송하고, 그것과 동시에 기판(50)에 부착된 먼지를 클리닝 롤러(31, 32)의 표면에 흡착시켜 기판(50)의 표면에서 먼지를 제거한다. 또한 클리닝 롤러(31, 32)에 부착된 먼지는 클리닝 롤러(31, 32)와 접촉하면서 회전하는 점착 테이프 롤러(33, 34)에 전사된다. In the substrate cleaning apparatus 30 having the above-described configuration, as shown in FIG. 1, the cleaning roller 31 is driven by the power transmission means 10 described later while holding the substrate 50 between the cleaning rollers 31 and 32. And 32 are rotated to convey the substrate 50 in the horizontal direction, and at the same time, the dust adhering to the substrate 50 is adsorbed onto the surfaces of the cleaning rollers 31 and 32 to remove dust from the surface of the substrate 50. Remove In addition, dust adhering to the cleaning rollers 31 and 32 is transferred to the adhesive tape rollers 33 and 34 which rotate while being in contact with the cleaning rollers 31 and 32.

또, 본 실시형태에서는 하측 클리닝 롤러(32) 및 점착 테이프 롤러(34)를 측벽판에 대하여 회전 가능하게 고정하는 한편, 상측 클리닝 롤러(31) 및 점착 테이프 롤러(33)를 도 2에 나타내는 바와 같이 측벽판에 대하여 상하방향으로 슬라이드 가능하게 지지시키고 있다. 더욱 상세하게 설명하면 도 2에 나타내는 바와 같이 상측 클리닝 롤러(31)의 회전축(25) 및 점착 테이프 롤러(33)의 회전축(35)은 각각 베어링부(41)를 거쳐 측벽판(40)에 지지되어 있다. 이 베어링부(41)는 보스(43)가 측벽판(40)에 설치된 긴 구멍(44)에 상하 이동 가능하게 끼워 넣어짐과 함께, 베어링부(41)를 측벽판(40)에 고정하는 복수의 볼트(42)가 볼트용 긴 구멍(45)에 상하 이동 가능하게 끼워 넣어지고, 이것에 의하여 각 롤러를 지지한 상태에서 상하방향으로 슬라이드 가능하게 되어 있다. 또 점착 테이프 롤러(33)의 베어링부(41)에는 도시 생략한 에어 실린더에 의하여 소정의 공기압이 걸려 점착 테이프 롤러(33)를 항상 클리닝 롤러(31)에 밀착시킨 구성으로 하고 있다. 상기 구성으로 함으로써 예를 들면 전기부품이 실장된 기판과 같이 표면에 요철이 형성된 피반송물을 반송하는 경우에 피반송물의 요철에 따라 상측 클리닝 롤러(31) 및 점착 테이프 롤러(33)를 상하 이동시키는 것이 가능하다. In addition, in this embodiment, the lower cleaning roller 32 and the adhesive tape roller 34 are rotatably fixed with respect to the side wall board, while the upper cleaning roller 31 and the adhesive tape roller 33 are shown in FIG. Similarly, the side wall plate is slidably supported in the vertical direction. More specifically, as shown in FIG. 2, the rotating shaft 25 of the upper cleaning roller 31 and the rotating shaft 35 of the adhesive tape roller 33 are supported by the side wall plate 40 via the bearing portion 41, respectively. It is. The bearing part 41 is a plurality of which the boss 43 is fitted to the long hole 44 provided in the side wall plate 40 so as to be movable up and down, and fixes the bearing part 41 to the side wall plate 40. The bolt 42 is inserted into the bolt long hole 45 so as to be movable upward and downward, thereby sliding in the vertical direction while supporting each roller. In addition, the bearing portion 41 of the adhesive tape roller 33 has a predetermined air pressure by an air cylinder (not shown), and the adhesive tape roller 33 is always in close contact with the cleaning roller 31. The above configuration allows the upper cleaning roller 31 and the adhesive tape roller 33 to be moved up and down in accordance with the irregularities of the conveyed object when conveying the object to be conveyed, for example, on the surface, such as a substrate on which an electric component is mounted. It is possible.

다음에 상측/하측 클리닝 롤러(31, 32)에 회전을 전달하는 동력전달수단(10)에 대하여 설명한다. 도 3은 도 1에서 상측/하측 클리닝 롤러(31, 32) 및 동력전달수단(10)을 정면에서 본 도면이다. 또한 도 3에서는 피반송물인 기판(50)을 생략하여 나타내고 있다. 도 3에 나타내는 바와 같이 동력전달수단(10)은 구동원인 모터(도 7을 참조)에 의하여 축심 주위로 회전 구동되는 원반(11)과, 회전축(25, 26)을 거쳐 상측/하측 클리닝 롤러(31, 32)에 연결된 한쌍의 원통(21, 22)을 구비하고 있다. 또한 이하의 설명에서는 설명의 편의상, 구동측의 원반(11)을 원반형 자기기어(11)라 부르고, 피구동측의 원통(21, 22)을 각각 원통형 자기기어(21, 22)라 부르기로 한다. Next, the power transmission means 10 which transmits rotation to the upper / lower cleaning rollers 31 and 32 will be described. FIG. 3 is a front view of the upper / lower cleaning rollers 31 and 32 and the power transmission means 10 in FIG. 1. 3, the board | substrate 50 which is a to-be-carried object is abbreviate | omitted and shown. As shown in FIG. 3, the power transmission means 10 includes a disk 11 driven to rotate about an axis by a motor (see FIG. 7) as a driving source, and an upper / lower cleaning roller via a rotation shaft 25, 26. A pair of cylinders 21 and 22 connected to 31 and 32 are provided. In the following description, for convenience of explanation, the disk 11 on the driving side will be called a disk-shaped magnetic gear 11, and the cylinders 21, 22 on the driven side will be called cylindrical magnetic gears 21, 22, respectively.

도 4는 동력전달수단(10)을 개략적으로 나타내는 도면으로, 상측도는 동력전달수단(10)의 정면도, 중간도 및 하측도는 원반형 자기기어(11)와 원통형 자기기어(21, 22)의 자기적인 맞물림을 나타내는 개념도이다. 원반형 자기기어(11)는 자성체(예를 들면 연철재)로 이루어지는 원반형상의 자성반(12)과, 이 자성반(12)과 모터를 연결하는 회전축(13) 및 자성반(12)의 끝면(16)에 영구자석을 접착제 등의 적절한 수단으로 등간격으로 방사상으로 설치함으로써 형성된 제 1 자기면(17)으로 구성되는 것이다. 또한 자성반(12)의 끝면이란, 자성반(12)의 한쪽 면부분(평면부분)(16)을 나타내는 것으로 한다. 이하, 제 1 자기면(17)을 구성하는 하나하나의 영구자석을 자기 톱니(15)라 부른다. 도 5에 나타내는 바와 같이 이 자기 톱니(15)는 인접하는 자기 톱니의 극성이 N극(15N), S극(15S)으로 교대로 되 도록 배치하고 있다.4 is a view schematically showing the power transmission means 10, wherein the top view is a front view, the middle view and the bottom view of the power transmission means 10, the disk-shaped magnetic gear 11 and the cylindrical magnetic gears 21, 22. Is a conceptual diagram showing the magnetic engagement of The disc-shaped magnetic gear 11 is a disc-shaped magnetic plate 12 made of a magnetic material (for example, soft iron material), a rotary shaft 13 connecting the magnetic plate 12 and a motor, and an end surface of the magnetic plate 12 ( 16) is composed of the first magnetic surface 17 formed by radially equipping the permanent magnets at equal intervals by an appropriate means such as an adhesive. In addition, the end surface of the magnetic disk 12 shall show the one surface part (plane part) 16 of the magnetic disk 12. As shown in FIG. Hereinafter, one permanent magnet constituting the first magnetic surface 17 is called a magnetic tooth 15. As shown in FIG. 5, this magnetic tooth 15 is arrange | positioned so that the polarity of the adjacent magnetic tooth may alternate with N pole 15N and S pole 15S.

한편, 피구동측인 원통형 자기기어(21, 22)는 자성체로 이루어지는 자성원통(23, 24)과, 이 자성원통(23, 24)과 상측/하측 클리닝 롤러(31, 32)를 연결하는 회전축(25, 26) 및 자성원통(23, 24)의 각 바깥 둘레면(28)의 일주에 걸쳐 영구자석을 등간격으로 나선형상으로 설치함으로써 형성된 제 2 자기면(29)으로 구성되어 있다. 이하, 제 2 자기면(29)을 구성하는 하나하나의 영구자석을 자기 톱니(27)라 부른다. 이 자기 톱니(27)는 인접하는 자기 톱니의 극성이 N극(27n), S극(27s)으로 교대로 되도록 배치하고 있다. 또한 상기 자기 톱니(l5, 27)를 구성하는 영구자석으로서는 예를 들면 40 MGOe의 고에너지적을 가지는 희토류재가 사용된다. On the other hand, the cylindrical magnetic gears 21 and 22 on the driven side have a magnetic shaft 23 and 24 made of a magnetic body, and a rotating shaft connecting the magnetic cylinders 23 and 24 and the upper and lower cleaning rollers 31 and 32 ( 25 and 26, and the second magnetic surface 29 formed by spirally installing permanent magnets at equal intervals over one circumference of each of the outer peripheral surfaces 28 of the magnetic cylinders 23 and 24. As shown in FIG. Hereinafter, one permanent magnet constituting the second magnetic surface 29 is called a magnetic tooth 27. The magnetic teeth 27 are arranged so that the polarities of adjacent magnetic teeth alternate with the N pole 27n and the S pole 27s. As the permanent magnet constituting the magnetic teeth l5 and 27, for example, a rare earth material having a high energy product of 40 MGOe is used.

이 원통형 자기기어(21, 22)는 원반형 자기기어(11)의 사이에 소정의 공극(g)을 유지하고, 또한 제 2 자기면(29)을 원반형 자기기어(11)의 제 1 자기면(17)에 대향시키도록 배치하고 있다. 원통형 자기기어(21, 22)의 축선방향 길이는 제 1 자기면(17)의 반경과 대략 동일한 길이로 형성되고, 그 축선은 제 1 자기면(17)에 대하여 대략 평행하다. 원반형 자기기어(11)의 제 1 자기면을 도 4의 중간도에 나타내는 바와 같은 XY 좌표 평면으로 한 경우, 상측의 원통형 자기기어(21)는 원반형 자기기어(11)의 제 1 자기면(17)의 제 1 상한에 대향하도록 배치된다. 한편 하측의 원통형 자기기어(21)는 제 1 자기면(17)의 제 3 상한에 대향하도록 배치된다. The cylindrical magnetic gears 21 and 22 maintain a predetermined gap g between the disk-shaped magnetic gears 11 and the second magnetic surface 29 has a first magnetic surface () of the disk-shaped magnetic gears 11. 17) to face each other. The axial lengths of the cylindrical magnetic gears 21, 22 are formed to be about the same length as the radius of the first magnetic surface 17, and the axes are approximately parallel to the first magnetic surface 17. In the case where the first magnetic surface of the disk-shaped magnetic gear 11 is an XY coordinate plane as shown in the middle view of FIG. 4, the upper cylindrical magnetic gear 21 is the first magnetic surface 17 of the disk-shaped magnetic gear 11. It is arranged to face the first upper limit of. On the other hand, the lower cylindrical magnetic gear 21 is disposed to face the third upper limit of the first magnetic surface 17.

여기서 도 5를 사용하여 원통형 자기기어의 자기 톱니의 외형이 나선곡선 인 경우에서의 원반형 자기기어의 자기 톱니의 외형곡선의 식에 대하여 설명한다. 도 5에서 r12는 원반형 자기기어(110)의 바깥 둘레의 반경이고, r11은 원반의 축부분의 바깥 둘레의 반경이다. 여기서 r12 - r11 = h라 한다. 또 원반형 자기기어(110)의 중심(O)과 원반 밖의 정점(Q)을 연결하는 직선을 O - Q라 하고, 이 직선상에 곡선의 시점 A점이 있는 것으로 한다. 도 5a에 나타내는 바와 같이 직선 O -Q 에서 시계방향으로 θ 회전한 점에서의 중심(O)에서 곡선까지의 거리를 r이라하면, 시점인 A점(θ = 0)부터, 종점인 B점(θ = θ1)까지의 곡선은Here, the equation of the contour curve of the magnetic teeth of the disk-shaped magnetic gear when the contour of the magnetic teeth of the cylindrical magnetic gear is a spiral curve will be described with reference to FIG. 5. 5, r 12 is the radius of the outer circumference of the disc-shaped magnetic gear 110, r 11 is the radius of the outer circumference of the shaft portion of the disc. Where r 12 -r 11 = h. The straight line connecting the center O of the disk-shaped magnetic gear 110 and the vertex Q outside the disk is called O-Q, and the point A of the curve is assumed to be on this straight line. As shown in Fig. 5A, when the distance from the center O to the curve at the point θ rotated clockwise by the straight line O-Q is r, from point A (θ = 0), which is the starting point, point B (which is the end point, The curve up to θ = θ 1 )

Figure 112007040007866-PAT00001
Figure 112007040007866-PAT00001

로 나타낼 수 있다. It can be represented as.

한편, 원통형 자기기어(도시 생략)는, θ2 회전한 경우에 나선곡선은 길이 (h) 만큼 진행한다. 그렇게 하면 원반형 자기기어(110)의 각속도를 ω1, 원통형 자기기어의 각속도를 ω2라 하면, 원반형 자기기어(110)가 θ1 회전하는 동안에 원통형 자기기어는 θ2 회전하지 않으면 안되기 때문에, On the other hand, when the cylindrical magnetic gear (not shown) rotates θ 2 , the spiral curve advances by the length h. Then, if the angular velocity of the disc-shaped magnetic gear 110 is ω 1 and the angular velocity of the cylindrical magnetic gear is ω 2 , the cylindrical magnetic gear must rotate θ 2 while the disc-shaped magnetic gear 110 rotates θ 1 .

Figure 112007040007866-PAT00002
Figure 112007040007866-PAT00002

가 성립한다. 또한 원반형 자기기어(110)의 자기 톱니의 수를 p1, 원통형 자기기어의 자기 톱니의 수를 p2라 한다. 이때 원반형 자기기어(110)에서는 자기 톱니는 360°/p1의 간격으로 배치되고, 원통형 자기기어에서는 자기 톱니는 360°/p2의 간격으로 배치된다. 그렇게 하면 원반형 자기기어(110)가 360°/p1 회전하는 동안에, 원통형 자기기어는 360°/p2 회전하기 때문에,Is established. Further, the number of magnetic teeth of the disk-shaped magnetic gear 110 is p 1 , and the number of magnetic teeth of the cylindrical magnetic gear is p 2 . At this time, in the disk-shaped magnetic gear 110, the magnetic teeth are arranged at intervals of 360 ° / p 1 , in the cylindrical magnetic gears the magnetic teeth are arranged at intervals of 360 ° / p 2 . Then, while the disk-shaped magnetic gear 110 rotates 360 ° / p 1 , since the cylindrical magnetic gear rotates 360 ° / p 2 ,

Figure 112007040007866-PAT00003
Figure 112007040007866-PAT00003

이 성립한다. (수학식 2)와 (수학식 3)을 (수학식 1)에 대입하면, (수학식 1)은,This holds true. Substituting (Equation 2) and (Equation 3) into (Equation 1), (Equation 1),

Figure 112007040007866-PAT00004
Figure 112007040007866-PAT00004

로 나타낼 수 있다. 이 (수학식 4)가, 원반형 자기기어(110)의 자기 톱니의 외형 곡선의 식이다. It can be represented as. (Equation 4) is an equation of the contour curve of the magnetic teeth of the disc-shaped magnetic gear 110.

상기한 자기기어에서는 원반형 자기기어와 원통형 자기기어의 자기 톱니의 수(극수)를 적절하게 설정함으로써 원하는 회전비를 얻는다. 예를 들면 본 실시형태에서는 도 4에 나타내는 바와 같이 원반형 자기기어(11)의 톱니수는 16, 원통형 자기기어(21, 22)의 톱니수는 각각 8로 설정하고 있다. 따라서 원반형 자기기어(11)로부터 원통형 자기기어(21, 22)에 회전이 전달될 때에 원반형 자기기어(11)에 비하여 원통측 자기기어(21, 22)의 각속도가 2배로 증가한다. In the above magnetic gears, the desired rotation ratio is obtained by appropriately setting the number (poles) of the magnetic teeth of the disc-shaped magnetic gear and the cylindrical magnetic gear. For example, in this embodiment, as shown in FIG. 4, the number of teeth of the disk-shaped magnetic gear 11 is set to 16, and the number of teeth of the cylindrical magnetic gears 21 and 22 is set to eight, respectively. Therefore, when the rotation is transmitted from the disk-shaped magnetic gear 11 to the cylindrical magnetic gears 21 and 22, the angular velocity of the cylindrical magnetic gears 21 and 22 is doubled as compared with the disk-shaped magnetic gear 11.

상기 구성을 가지는 동력전달수단(10)에서는 원반형 자기기어(11)의 자기 톱 니(15)와 원통형 자기기어(21, 22)의 자기 톱니(27)와의 자기적인 맞물림, 즉 대향하는 자석의 N극과 S극 사이의 인력과, N극과 N극 및 S극과 S극 사이의 반발력에 의하여 원반형 자기기어(11)로부터 원통형 자기기어(21, 22)에, 비접촉으로 회전 토오크가 전달된다. 예를 들면 원반형 자기기어(11)를 도 4의 중간도 및 하측도에 나타내는 바와 같이 반시계방향으로 회전시키면 원통형 자기기어(21, 22)와의 사이에 작용하는 자석의 인력 및 반발력에 의하여 원통형 자기기어(21, 22)는 원반형 자기기어(11)의 회전방향으로 움직인다. 즉, 원통형 자기기어(21, 22)는 각각 도 4에 나타내는 화살표의 방향으로 회전하게 되어, 상측의 원통형 자기기어(21)와 하측의 원통형 자기기어(22)의 회전방향은 반대가 된다. In the power transmission means 10 having the above constitution, the magnetic engagement between the magnetic teeth 15 of the disk-shaped magnetic gear 11 and the magnetic teeth 27 of the cylindrical magnetic gears 21 and 22, that is, N of the opposing magnets The rotational torque is transmitted from the disk-shaped magnetic gear 11 to the cylindrical magnetic gears 21 and 22 in a non-contact manner by the attraction force between the pole and the S pole and the repulsive force between the N pole and the N pole and the S pole and the S pole. For example, when the disk-shaped magnetic gear 11 is rotated counterclockwise as shown in the middle and bottom views of FIG. 4, the cylindrical magnetic gear is caused by the attractive force and the repulsive force of the magnet acting between the cylindrical magnetic gears 21 and 22. The gears 21 and 22 move in the rotational direction of the disc-shaped magnetic gear 11. That is, the cylindrical magnetic gears 21 and 22 rotate in the directions of the arrows shown in Fig. 4, respectively, so that the rotational directions of the upper cylindrical magnetic gear 21 and the lower cylindrical magnetic gear 22 are reversed.

상기한 상측의 원통형 자기기어(21)에 연결된 상측 클리닝 롤러(31)와, 하측의 원통형 자기기어(22)에 연결된 하측 클리닝 롤러(32)는, 도 1에 나타내는 바와 같이 회전방향이 반대방향이 된다. 이것에 의하여 피반송물인 기판(50)은 상측/하측 클리닝 롤러(31, 32) 사이에 끼워 유지되면서 수평방향으로 반송되게 된다.As shown in FIG. 1, the upper cleaning roller 31 connected to the upper cylindrical magnetic gear 21 and the lower cleaning roller 32 connected to the lower cylindrical magnetic gear 22 have opposite directions of rotation. do. Thereby, the board | substrate 50 which is a to-be-carried object is conveyed in the horizontal direction, holding | maintaining between the upper / lower cleaning rollers 31 and 32. FIG.

도 6은 상기한 동력전달수단(10)을 복수세트 배치한 상태를 나타내는 도면 이다. 상기한 클리닝 롤러(31, 32)를 복수쌍 병설하는 경우, 도 6에 나타내는 바와 같이 복수의 원반형 자기기어(11)가 모터(1)의 동일 축심상에 배치되고, 각 원반형 자기기어(11)와 소정의 공극을 유지하여 복수의 원통형 자기기어(21, 22)가 배치된다. 즉, 모터(1)의 회전축(13)에 복수 세트의 동력전달수단(10)이 배치된다. 복수의 원반형 자기기어(11)의 배치간격은, 상측/하측 클리닝 롤러(31, 32)의 배치위치에 대응하여 자유롭게 설정하는 것이 가능하다. 6 is a view showing a state in which a plurality of sets of the power transmission means 10 is arranged. In the case where a plurality of pairs of the above-described cleaning rollers 31 and 32 are provided in parallel, as illustrated in FIG. 6, a plurality of disk-shaped magnetic gears 11 are arranged on the same shaft center of the motor 1, and each disk-shaped magnetic gear 11 is arranged. And a plurality of cylindrical magnetic gears 21 and 22 are arranged to maintain a predetermined gap therebetween. That is, a plurality of sets of power transmission means 10 are arranged on the rotation shaft 13 of the motor 1. The arrangement intervals of the plurality of disk-shaped magnetic gears 11 can be freely set corresponding to the arrangement positions of the upper and lower cleaning rollers 31 and 32.

또, 도 7은 기판(50) 표면의 요철에 따라 상측 클리닝 롤러(31)가 상하이동하는 상태를 모식적으로 나타낸 도면이고, 도 8은 상측의 원통형 자기기어(21)가 윗쪽으로 이동한 경우의 원반형 자기기어(11)에 대한 위치를 나타낸 것이다. 도 7에 나타내는 바와 같이 미리 설정된 상측/하측 클리닝 롤러(31, 32)의 간격보다 큰 두께를 가지는 볼록부(51)에 의하여 상측 클리닝 롤러(31)가 윗쪽에 밀어 올려지면, 이것에 따라 상측 클리닝 롤러(31)에 연결된 원통형 자기기어(21)도 윗쪽으로 밀어 올려지게 된다. 도 8의 상측도에 나타내는 바와 같이 원통형 자기기어(21)가 통상 위치로부터 윗쪽으로 이동하면 원반형 자기기어(11)와의 맞물림 면적은 통상 위치에 있는 경우와 비교하여 작아지나, 하측도에 나타내는 바와 같이 원반형 자기기어(11)와의 사이의 공극(에어갭)은 일정하게 유지된다. 이 때문에 원통형 자기기어(21)가 윗쪽으로 이동하여도 상측 클리닝 롤러(31)에 전달되는 회전 토오크가 극단으로 작아지는 일은 없다. FIG. 7 is a view schematically showing a state in which the upper cleaning roller 31 moves in accordance with the unevenness of the surface of the substrate 50, and FIG. 8 is a case in which the upper cylindrical magnetic gear 21 moves upward. It shows the position of the disk-shaped magnetic gear 11 of. As shown in FIG. 7, when the upper cleaning roller 31 is pushed upward by the convex part 51 which has a thickness larger than the space | interval of the upper and lower cleaning rollers 31 and 32 preset, the upper cleaning accordingly The cylindrical magnetic gear 21 connected to the roller 31 is also pushed upward. As shown in the top view of Fig. 8, when the cylindrical magnetic gear 21 moves upward from the normal position, the engagement area with the disk-shaped magnetic gear 11 is smaller than that in the normal position, but as shown in the lower side view The gap (air gap) between the disk-shaped magnetic gear 11 is kept constant. For this reason, even if the cylindrical magnetic gear 21 moves upward, the rotational torque transmitted to the upper cleaning roller 31 will not become small at the extreme.

이상 설명한 바와 같이 본 실시형태의 기판 세정장치(30)에 의하면, 원반형 자기기어(11) 및 원통형 자기기어(21, 22)에 설치된 자석의 자기의 인력 및 반발력을 이용하여 원반형 자기기어(11)로부터 원통형 자기기어(21, 22)에 동력을 전달시키는 구성으로 한 것으로, 구동측에서 피구동측으로 비접촉으로 동력을 전달시키는 것이 가능해져 종래와 같이 기어의 기계적 맞물림에 의한 먼지 등이 발생한다는 일이 없고, 피반송물인 기판(50)을 청정한 상태로 유지한 상태에서 반송할 수 있다. As described above, according to the substrate cleaning apparatus 30 of the present embodiment, the disk-shaped magnetic gear 11 is made using the magnetic attraction force and the repulsive force of the magnets provided in the disk-shaped magnetic gear 11 and the cylindrical magnetic gears 21 and 22. It is designed to transmit power to the cylindrical magnetic gears 21, 22 from the side, and it is possible to transfer power from the driving side to the driven side in a non-contact manner, so that dust or the like due to mechanical engagement of the gears is generated as in the prior art. It can be conveyed in the state which hold | maintained the board | substrate 50 which is a to-be-carried object in the clean state.

또, 본 실시형태에서는 원반형 자기기어(11)의 끝면(16)에 영구자석을 N극, S극과 교대로 방사상으로 이극 배열하여 제 1 자기면(17)을 형성함과 동시에, 원통형 자기기어(21, 22)의 각 바깥 둘레면(28)에 영구자석을 N극, S극과 교대로 나선형상으로 이극 배열하여 제 2 자기면(29)을 형성하고, 원통형 자기기어(21, 22)를, 원반형 자기기어(11)와의 사이에 소정의 공극을 유지하여, 또한 제 2 자기면을 제 1 자기면에 대향시키도록 배치하였다. 상기 구성으로 함으로써 원반형 자기기어(11)에 대하여 원통형 자기기어(21, 22)가 위쪽으로 이동 또는 아래쪽으로 이동하여도 원반형 자기기어(11)와의 공극은 일정하게 유지되기 때문에, 원통형 자기기어(21, 22)에 전달되는 회전 토오크가 극단적으로 작아지는 바와 같은 일이 없다. 그 결과, 한쌍의 롤러 사이에 끼워 유지되는 피반송물의 요철에 상관없이 원하는 회전 토오크를 유지할 수 있어, 안정된 반송기능을 확보하는 것이 가능하게 된다. In this embodiment, the permanent magnets are alternately arranged on the end face 16 of the disk-shaped magnetic gear 11 in the radial direction with the N pole and the S pole to form the first magnetic surface 17, and at the same time, the cylindrical magnetic gear Permanent magnets are alternately arranged in a spiral form on the outer circumferential surface 28 of each of the 21 and 22 poles alternately with the N pole and the S pole to form the second magnetic surface 29, and the cylindrical magnetic gears 21 and 22 are formed. A predetermined gap is maintained between the disk-shaped magnetic gear 11 and the second magnetic surface is arranged to face the first magnetic surface. With this arrangement, even when the cylindrical magnetic gears 21 and 22 move upward or downward with respect to the disk-shaped magnetic gear 11, the voids with the disk-shaped magnetic gear 11 are kept constant, so that the cylindrical magnetic gear 21 , 22) does not occur as the rotational torque transmitted to 22 becomes extremely small. As a result, the desired rotational torque can be maintained regardless of the unevenness of the conveyed object held between the pair of rollers, and it is possible to secure a stable conveying function.

또한 본 실시형태의 기판 세정장치(30)에 의하면 복수쌍의 클리닝 롤러(31, 32)를 병설한 경우에, 복수의 원반형 자기기어(11)를 구동용 모터의 동일 축심상에 배치하는 구성으로 하였기 때문에, 복수 세트의 동력전달장치(10)에 대하여 구동원인 모터(1)가 1개로 된다는 효과를 가진다. 또 복수의 원반형 자기기어(11)를 동일 축심상에 배치한 경우, 이들 배치간격을 자유롭게 설정하는 것이 가능하고, 그 결과, 복수쌍의 클리닝 롤러의 설치간격을 자유롭게 설정할 수 있다는 효과도 가진다. According to the substrate cleaning apparatus 30 of the present embodiment, when the plurality of pairs of cleaning rollers 31 and 32 are provided in parallel, the plurality of disk-shaped magnetic gears 11 are arranged on the same shaft center of the driving motor. As a result, the motor 1 serving as the driving source is provided with respect to the plurality of sets of power transmission devices 10. In addition, when a plurality of disk-shaped magnetic gears 11 are arranged on the same shaft center, these arrangement intervals can be freely set, and as a result, there is an effect that the installation intervals of a plurality of pairs of cleaning rollers can be freely set.

또한, 상기 실시형태에서는 상측 클리닝 롤러(31)만을 상하로 이동 가능하게 구성하였으나, 상측/하측 클리닝 롤러의 양쪽을 상하로 이동 가능하게 구성하여도 상기 실시형태와 동일한 효과가 얻어진다. In addition, in the said embodiment, although only the upper cleaning roller 31 was comprised so that it could move up and down, the same effect as the said embodiment is acquired also if it comprises the upper and lower cleaning rollers so that it can be moved up and down.

이상과 같이 본 발명에 관한 반송장치는, 상기 실시형태에서 나타낸 기판 세정장치를 비롯하여 한쌍의 롤러 사이에 끼워 유지되는 피반송물의 요철에 따라 롤러를 상하이동시키면서 롤러를 회전시켜 피반송물을 반송하는 반송장치에 유효하게 사용할 수 있다. As mentioned above, the conveying apparatus which concerns on this invention conveys a conveyed object by rotating a roller, moving a roller in accordance with the unevenness | corrugation of the conveyed object clamped between a pair of rollers including the board | substrate washing | cleaning apparatus shown in the said embodiment. It can be used effectively on the device.

본 발명에 관한 반송장치에 의하면, 구동원에 의하여 회전 구동되는 원반 및 한쌍의 롤러에 각각 연결된 원통에 각각 설치된 자석의 자기의 인력 및 반발력을 이용하여 구동측의 원반으로부터 피구동측의 원통에 동력을 전달시키는 구성으로 한 것으로, 구동측에서 피구동측에 비접촉으로 동력을 전달시키는 것이 가능하게 되어 종래의 기어기구에서의 전달방식과 같이 기어의 기계적 맞물림에 의하여 먼지 등이 발생한다는 일이 없어 피반송물을 청정한 상태로 유지한 상태에서 반송할 수 있다. According to the conveying apparatus according to the present invention, power is transmitted from the disk on the driven side to the cylinder on the driven side using magnetic attraction and repulsive force of magnets respectively installed on the disk connected to the disk and the pair of rollers which are rotationally driven by the driving source. It is possible to transmit power from the driving side to the driven side in a non-contact manner so that dust and the like are not generated by the mechanical engagement of the gear as in the transmission method in the conventional gear mechanism. It can convey in the state maintained in the state.

또, 본 발명에 관한 반송장치에 의하면, 상기 원반의 끝면에 영구자석을 N극, S극과 교대로 방사상으로 이극 배열하여 설치함으로써 제 1 자기면을 형성함 과 동시에, 상기 한쌍의 원통의 바깥 둘레에 영구자석을 N극, S극과 교대로 나선형상으로 이극 배열하여 설치함으로써 제 2 자기면을 형성하고, 한쌍의 원통을 원반과의 사이에 소정의 공극을 유지하여, 또한 제 2 자기면을 원반의 제 1 자기면에 대향시키도록 배치한 것으로, 구동측의 원반에 대하여 피구동측의 원통이 위쪽으로 이동 또는 아래쪽으로 이동하여도 원반과의 공극은 일정하게 유지되기 때문에, 원 통에 전달되는 회전 토오크가 극단적으로 작아지는 바와 같은 일이 없다. 그 결과, 한쌍의 롤러 사이에 끼워 유지되는 피반송물의 요철에 상관없이 원하는 회전 토오크를 유지할 수 있어, 안정된 반송기능을 확보하는 것이 가능해진다. In addition, according to the conveying apparatus of the present invention, the permanent magnets are alternately arranged on the end faces of the disks alternately with the N poles and the S poles to form a first magnetic surface, and the outer side of the pair of cylinders. Permanent magnets are helically arranged alternately with the N pole and the S pole in a circumferential manner to form a second magnetic surface, and a pair of cylinders hold a predetermined gap between the disk and the second magnetic surface. Is arranged so as to face the first magnetic surface of the disk, and even if the cylinder on the driven side moves upward or downward with respect to the disk on the driving side, the gap with the disk is kept constant, so that it is transmitted to the cylinder. The rotation torque which becomes becomes extremely small as it does not happen. As a result, the desired rotational torque can be maintained irrespective of the irregularities of the conveyed object held between the pair of rollers, and it becomes possible to secure a stable conveying function.

Claims (2)

한쌍의 롤러에 회전을 전달하는 동력전달수단을 구비하고, A power transmission means for transmitting rotation to a pair of rollers, 상기 한쌍의 롤러 사이에 피반송물을 끼워 유지시키면서 상기 한쌍의 롤러를 회전시킴으로써 피반송물을 반송하는 반송장치에 있어서, In the conveying apparatus which conveys a conveyed object by rotating the said pair of rollers, hold | maintaining the conveyed object between the said pair of rollers, 상기 동력전달수단은, The power transmission means, 구동원에 의하여 축심 주위로 회전 구동되고, 그 끝면에 영구자석을 N극, S극과 교대로 방사상으로 이극 배열하여 설치함으로써 형성한 제 1 자기면을 가지는 원반과, A disk having a first magnetic surface which is rotationally driven by a drive source around the shaft center and is formed by arranging permanent magnets on the end faces thereof alternately with the N pole and the S pole in a radial manner; 상기 한쌍의 롤러에 각각 연결되고, 그 바깥 둘레에 영구자석을 N극, S극과 교대로 나선형상으로 이극 배열하여 설치함으로써 형성한 제 2 자기면을 가지는 한쌍의 원통을 구비하고, A pair of cylinders each connected to the pair of rollers, each having a second magnetic surface formed by arranging the permanent magnets in a spiral arrangement alternately with the N poles and the S poles in the outer circumference thereof; 상기 한쌍의 원통을, 상기 원반과의 사이에 소정의 공극을 유지하여, 또한 상기 제 2 자기면을 상기 제 1 자기면에 대향시키도록 배치하고, The pair of cylinders is arranged so as to maintain a predetermined gap between the disk and to face the second magnetic surface to the first magnetic surface, 상기 영구자석의 자기의 인력 및 반발력을 이용하여 상기 원반으로부터 상기 한쌍의 원통에 동력을 전달시키는 것을 특징으로 하는 반송장치. And conveying power from the disk to the pair of cylinders by using the attraction force and the repulsive force of the permanent magnet. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 복수쌍의 상기 롤러를 병설한 경우에, 상기 원반을 동일 축심상에 배치한 것을 특징으로 하는 반송장치. In the case where a plurality of pairs of the rollers are provided together, the disc is disposed on the same shaft center.
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