JP2984999B1 - 基板又はシート表面洗浄における加圧制御機構及びこの機構を具える基板又はシート表面洗浄装置 - Google Patents

Abstract

【要約】 【課題】 粘着ラバーロールにより基板又はシートの表
面に付着する塵埃を吸着し、更にその粘着ラバーロール
に吸着した塵埃を粘着テープロールにより転写除去する
表面洗浄装置において、粘着テープロールと粘着ラバー
ロールと基板又はシートとの各間の圧力を可変せさて効
率よく洗浄を行えるようにする。 【解決手段】 粘着ラバーロール（４）及びそれに密着
する粘着テープロール（８）の各支持軸（９）を上下方
向にスライド可能となるスライド回転軸受（１０）によ
って回転自在に支持すると共に、粘着テープロール
（８）のスライド回転軸受（１０）に一体に付設される
受圧ロッド（１１）を直流モーター（１５）によりギア
（１６）（１７）（１８）を介して駆動する加圧ロッド
（１４）によって、光センサー（１９）により制御しつ
つ押勢することで、粘着テープロールと粘着ラバーロー
ルと基板又はシートとの各間の圧力の最適化が図られ、
効率よく基板又はシートの表面上の塵埃が除去されるも
のである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、基板又はシート
の表面に製造工程において付着する塵埃を粘着力を有す
る粘着ラバーロールにより吸着して粘着テープロールに
転写除去する洗浄装置、特にこの洗浄装置に使用される
粘着ロール及び粘着テープロールの加圧制御機構に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、基板又はシートの表面に製造工程
において付着する塵埃を粘着力を有する粘着ラバーロー
ルにより吸着して転写除去する洗浄装置において使用さ
れる粘着ラバーロール及び粘着テープロールには、上記
基板又はシート表面に対して一定の圧力を持って密着す
ることで粘着ラバーロールへの塵埃の吸着を高めるため
にも、又、粘着ラバーロールに吸着された塵埃を粘着テ
ープロールに確実に転写して除去するためにも、粘着テ
ープロールを粘着ラバーロールに押勢し、その加圧力に
よって更に粘着ラバーロールを基板又はシート表面に押
勢することが必要とされ、この粘着テープロールからの
加圧力を制御するために、この洗浄装置内に加圧制御機
構が内蔵されていたが、この加圧制御機構には、エアー
コンプレッサーにより供給される圧縮空気を動力源とす
るエアーシリンダーや、電磁ソレノイドバルブ又はトル
クモーター等を使用するものが一般的である。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のもののように、基板又はシートの表面に製造工程に
おいて付着する塵埃を粘着力を有する粘着ラバーロール
により吸着して転写除去する洗浄装置において使用され
る粘着ラバーロール及び粘着テープロールの加圧制御機
構に、エアーコンプレッサーにより供給される圧縮空気
を動力源とするエアーシリンダーを使用するものの場合
には、この洗浄装置に使用される粘着ラバーロール及び
粘着テープロール等の各ロールにおいて最適な圧力を得
るための圧力調整に減圧調整が必要となり、作業者にと
って非常に煩雑な調整作業が必要となる欠点がある。

【０００４】また、エアーシリンダーの動力源となる圧
縮空気を供給するに当たってはエアーコンプレッサーの
他エアータンクの設置が必要となり、このエアーコンプ
レッサー及びエアータンクの設置に必要となる設置空間
が作業空間を狭めてしまう上、その設置に必要となるコ
ストの上昇をも招くものとなる。

【０００５】更に、この従来の洗浄装置に使用される各
ロールの圧力調整を行うエアーシリンダーにおいては、
シリンダーを圧縮空気により押し切るという特性上、過
加圧になり易く、そのため粘着ラバーロール間を通過す
ることにより、その表面に付着する塵埃が吸着され、転
写除去されることとなるＬＣＤ等の精密な基板に対して
損傷を与えてしまう可能性が大きく、また粘着ラバーロ
ール自体にも損傷を与えてしまうこともある。

【０００６】その一方で、上記従来のもののように、基
板又はシートの表面に製造工程において付着する塵埃を
粘着力を有する粘着ラバーロールにより吸着して転写除
去する洗浄装置において使用される粘着ロール及び粘着
テープロールの加圧制御機構に、電磁ソレノイドバルブ
又はトルクモーター等を使用するものの場合では、高温
となると電磁ソレノイドバルブ又はトルクモーター等の
性能が低下して精密な加圧制御を行えなくなってしまう
ため、この高温による性能低下を防止するためには別
途、それら加圧制御の動力源となる電磁ソレノイドバル
ブ又はトルクモーターのための冷却機構が必要となり、
また精密な加圧制御を行おうとするには、これら電磁ソ
レノイドバルブ又はトルクモーターの発生する動力をも
精密に制御する必要があることから、均一な出力を得る
ためには複雑な電力調整回路が必要となってしまい、メ
ンテナンスやそれに係るコストの点から非常に不利なも
のとなる欠点もある。

【０００７】そこで、この発明は上記従来のものの持つ
欠点を改善するものであり、簡単な構造により精密な加
圧制御を行い、表面洗浄装置の洗浄能力を向上させると
共に、その装置の耐久性をも十分に高めようとするもの
である。

【０００８】

【課題を解決するための手段】そのために、フレームに
おいてスライド自在に支持されて、基板又はシートの表
面に直接密着可能となる粘着ラバーロールと、この粘着
ラバーロールの表面に密着、離脱自在となり、その表面
に付着する塵埃を吸着して転写除去する粘着テープロー
ルとの間で、上記粘着テープロールを上下方向へスライ
ド可能となるように支持してなるスライド回転軸受に受
圧ロッド支持体を一体に付設し、その受圧ロッド支持体
に圧縮バネを介して設けられる受圧ロッドを、モーター
の駆動によりこのモーター軸に連絡する歯車機構を介し
て回転を伝達することにより移動自在としてなる加圧ロ
ッドをもって押勢し、又は受圧ロッドと加圧ロッドとを
連接一体としてなるロッドをもって、粘着テープロール
を粘着ラバーロール側へスライドさせることで、当初間
隔を設けてなる粘着テープロールと粘着ラバーロール間
の、又、粘着テープロールを介して、当初間隔を設けて
なる粘着ラバーロールと基板又はシート間の圧力を適宜
加減圧させてなるものである。

【０００９】即ち、基板又はシート表面洗浄装置は、フ
レームにおいて、その空間を通過する基板又はシート表
面に付着する塵埃を吸着して転写除去するため、回動自
在に上下二本に並設、支持され、それらの少なくとも一
方をモーターの駆動により回転して、その間を基板又は
シートが当接しつつ通過する粘着ラバーロールと、この
二本の各粘着ラバーロールに対して、粘着ラバーロール
の表面に吸着される塵埃を更に吸着して転写除去するた
め、上下二本の各粘着ラバーロールに密着可能かつ回転
自在に支持される各粘着テープロールから構成されるも
のであって、上記上下二本の粘着ラバーロール及び各粘
着ラバーロールに密着可能となる各粘着テープロールを
それぞれ離隔して設けた上、後記加圧ロッドによる押勢
力が解除された際には、自動的に当初の離隔して設けた
位置に粘着ラバーロール及び粘着テープロールを復帰さ
せる復帰機構を有し、上記上下二本に並設される粘着ラ
バーロールのうちいずれか一方あるいは双方の粘着ラバ
ーロールを上下方向にスライド自在とするとともに、そ
れらに対してそれぞれ密着可能となる各粘着テープロー
ルの支持軸を、上下方向へスライド可能となるスライド
回転軸受により一体に支持し、このスライド回転軸受の
一方あるいは双方において、スライド回転軸受に受圧ロ
ッド支持体を一体に付設し、その受圧ロッド支持体に圧
縮バネを介して設けられる受圧ロッドに対し、モーター
の駆動によりこのモーター軸に連絡する歯車機構を介し
て回転を伝達することにより移動自在としてなる加圧ロ
ッドをもって押勢自在とし、又は受圧ロッドと加圧ロッ
ドとを連接一体としてなるロッドを設けるとともに、ス
ライド回転軸受に一体に付設される受圧ロッド支持体に
センサーを設け、且つ、該受圧ロッド支持体に圧縮バネ
を介して設けられる受圧ロッドと一体となるよう被検知
板を設けることにより、加圧ロッドが受圧ロッドを押勢
した際に、該圧縮バネの圧縮により生ずる受圧ロッドの
移動量と受圧ロッ ド支持体の移動量との差を前記センサ
ー及び被検知板により検知可能として、右検知結果によ
り前記加圧ロッドによる受圧ロッドに対する押勢力を制
御することによって、受圧ロッド支持体及びスライド回
転軸受を介して粘着テープロールを最適位置にスライド
させて、当初間隔を設けてなる粘着テープロールと粘着
ラバーロール間の、又、粘着テープロールを介して、当
初間隔を設けてなる粘着ラバーロールと基板又はシート
間の圧力を適宜加減圧させてなる加圧制御機構を具えて
なるものである。

【００１０】

【発明の実施の形態】この発明の実施例である表面洗浄
装置において具えられる加圧制御機構を作動させること
で、互いに噛合するギアを介してモーターの駆動により
出没する加圧ロッドをセンサーによる位置検知を行いつ
つ突出させて、スライド回転軸受に一体に配設される受
圧ロッド支持体に圧縮バネを介して設けられる受圧ロッ
ドに当接あるいは連接して押勢することによって、粘着
テープロールの支持軸を一体に支持してなるスライド回
転軸受が粘着ラバーロール側へ押勢され、その押勢に伴
って粘着テープロールが粘着ラバーロールに、又、粘着
ラバーロールが基板またはシートにそれぞれ押勢されて
密着するので、二本の粘着ラバーロール間を通過する基
板又はシートの表面に対しての粘着ラバーロールによる
圧力が大きくなり、これら二本の粘着ラバーロール間を
通過する基板又はシートの表面に付着する塵埃を効率よ
く吸着し、転写除去することができるようになると共
に、この粘着テープロールの支持軸の粘着ラバーロール
側へのスライドは、各粘着ラバーロールへ密着すること
となる各粘着テープロールの密着力をも高めることとな
るので、粘着ラバーロールに吸着される塵埃をも効率よ
く粘着テープロールへ転写させて、常に直接基板又はシ
ートに密着する粘着ラバーロールの表面を清潔に保つこ
とができる。

【００１１】また、この粘着テープロールへの加圧が、
モーター、加圧ロッド及び受圧ロッド等による加圧制御
機構により正確に行われることから、過加圧による粘着
ラバーロールの劣化を防止してその耐久性をも著しく向
上させることができ、更には、その加圧状態が受圧ロッ
ドを支持する圧縮バネによって保持されることから、よ
り一層粘着ラバーロールの劣化を防止してその耐久性を
向上させるとともに、基板又はシート自体の損傷をも防
止することができる。

【００１２】

【実施例】この発明を図に示す実施例により更に説明す
る。図１において示す、（１）はこの発明の実施例であ
る基板又はシート表面洗浄装置であり、この基板又はシ
ート表面洗浄装置（１）は、フレーム（３）において、
その空間（５）を通過する基板又はシート（２）表面に
付着する塵埃を吸着して転写除去するため上下二本に並
設され、回転自在に支持されると共に、一方をベルト
（６）を介してモーター（７）の駆動により回転するこ
とにより基板又はシート（２）の通過を可能とする粘着
ラバーロール（４）（４’）と、この二本の粘着ラバー
ロール（４）（４’）に対して、随時剥離により更新可
能であり、粘着ラバーロール（４）（４’）の表面に吸
着される塵埃を更に吸着して転写除去するため、各々互
いに密着、離脱自在となるように回転自在に支持される
粘着テープロール（８）（８’）から構成されるもので
ある。

【００１３】そして、この基板又はシート表面洗浄装置
（１）では、上記フレーム（３）において上下二本に並
設され、回転自在に支持される粘着ラバーロール（４）
（４’）のうち、下側の粘着ラバーロール（４’）は上
下方向にスライドせず、基板又はシート（２）を搬送す
るコンベア（図示せず）の高さに対応して固定され、上
側の粘着ラバーロール（４）は、下側の粘着ラバーロー
ル（４’）に対して密着・離脱自在に上下方向にスライ
ド可能となるよう両端をスライド回転軸受（１０）によ
り支持され、且つ、離脱方向へ弾撥力が作用するように
粘着ラバーロールバネ（２７）が設定され、又、その上
側の粘着ラバーロール（４）に対して密着、離脱自在と
なる上側粘着テープロール（８）の支持軸（９）の両端
を、上下方向へスライド可能となるスライド回転軸受
（１０）により一体に支持すると共に、このスライド回
転軸受（１０）において、直流モーター（１５）により
回転するウォームギア（１６）と遊星ギア（１７）を介
して互いに噛合することとなるラックギア（１８）から
なる歯車機構により上下方向に出没することとなる加圧
ロッド（１４）に対向して当接可能となるように、スラ
イド回転軸受（１０）と一体となる受圧ロッド支持体
（２３）に設けられた受圧ロッド保持体（１２）に内蔵
された圧縮バネ（１３）により支持される受圧ロッド
（１１）を配設し、スライド回転軸受（１０）に一体に
付設される受圧ロッド支持体（２３）に光センサー（１
９）を設け、且つ、該受圧ロッド支持体（２３）に圧縮
バネ（１３）を介して設けられる受圧ロッド（１１）と
一体となるよう被検知板（２０）を設けることにより、
加圧ロッド（１４）が受圧ロッド（１１）を押勢した際
に、該圧縮バネ（１３）の圧縮により生ずる受圧ロッド
（１１）の移動量と受圧ロッド支持体（２３）の移動量
との差を前記光センサー（１９）及び被検知板（２０）
により検知可能として、右検知結果により前記加圧ロッ
ド（１４）により受圧ロッド（１１）に対する押勢力を
制御することによって、上側の粘着テープロール（８）
の支持軸（９）を一体に支持するスライド回転軸受（１
０）を、受圧ロッド（１１）を介して加圧ロッド（１
４）により最適位置に押勢しスライドさせて、当初間隔
を設けてなる粘着テープロール（８）と粘着ラバーロー
ル（４）間の、又、粘着テープロール（８）を介して、
当初間隔を設けてなる粘着ラバーロール（４）と基板又
はシート（２）間の圧力を適宜加減圧させなる加圧制御
機構を具えるものである。

【００１４】なお、光センサー（１９）による位置検知
は、上述するように受圧ロッド支持体（２３）に圧縮バ
ネ（１３）を介して設けられる受圧ロッド（１１）と一
体となるよう被検知板（２０）を設けることにより、加
圧ロッド（１４）が受圧ロッド（１１）を押勢した際
に、該圧縮バネ（１３）の圧縮により生ずる受圧ロッド
自体（１１）の移動量と受圧ロッド支持体（２３）の移
動量との差を、受圧ロッド支持体（２３）において一体
に取り付けられた被検知板（２０）の先端が、反射型の
光センサー（１９）の発射する光線をどれほど遮るかに
より行われるものであり、この光センサー（１９）自体
においても、初期の光センサー（１９）の位置を調整可
能とするように光センサー位置調整ノブ（２１）が付設
されている。

【００１５】また、下側の粘着テープロール（８’）に
ついてもそのスライド回転軸受（１０）に対して、上側
の粘着テープロール（８）に設置されたものと同様の加
圧制御機構が上下反転して設置されている。そして各粘
着テープロール（８）（８’）は、スライド回転軸受
（１０）と一体となる支持軸（９）の先端の粘着テープ
ホルダー（２２）に嵌合することにより一体に支持され
るものとなる。

【００１６】この発明の実施例である基板又はシート表
面洗浄装置（１）は以上の構成を具えるので、例えばこ
の発明の実施例である基板又はシート表面洗浄装置
（１）において内蔵される上側の加圧制御機構を作動さ
せることで、当初この基板又はシート表面洗浄装置
（１）を構成するフレーム（３）において上側の粘着テ
ープロール（８）は上側の粘着ラバーロール（４）に対
して離隔していたものであるが、上側の粘着テープロー
ル（８）の支持軸（９）を一体に支持してなるスライド
回転軸受（１０）は、スライド回転軸受（１０）の上部
において、直流モーター（１５）により回転するウォー
ムギア（１６）と遊星ギア（１７）を介して互いに噛合
することとなるラックギア（１８）からなる歯車機構に
より上下方向に出没することとなる加圧ロッド（１４）
が、受圧ロッド保持体（１２）内の圧縮バネ（１３）の
反発力を受ける受圧ロッド（１１）と当接しつつ、受圧
ロッド（１１）を押勢した際に、受圧ロッド支持体（２
３）に圧縮バネ（１３）を介して設けられる受圧ロッド
（１１）と一体となるよう被検知板（２０）を設けるこ
とにより、該圧縮バネ（１３）の圧縮により生ずる受圧
ロッド（１１）の移動量と受圧ロッド支持体（２３）の
移動量との差を、受圧ロッド支持体（２３）において一
体に取り付けられた被検知板（２０）の先端が、反射型
の光センサー（１９）の発射する光線をどれほど遮るか
で調整を図りながら下方に向けて押勢することにより、
下方に向けて正確にスライドするものであるので、この
スライド回転軸受（１０）に支持軸（９）を介して一体
に支持された上側の粘着テープロール（８）は上側の粘
着ラバーロール（４）に密着して下方へ押勢し、スライ
ド回転軸受に支持された上側の粘着ラバーロール（４）
は更に下方へスライドして、下側の粘着ラバーロール
（４’）と密着する。尚、洗浄対象物である基板又はシ
ート（２）が肉厚であるような場合には、上側の粘着ラ
バーロール（４）と下側の粘着ラバーロール（４’）が
密着せずに、その間に適宜の空間を保持するように、光
センサー位置調整ノブ（２１）を調整すればよい。

【００１７】そして、加圧ロッド（１４）によるスライ
ド回転軸受（１０）と一体となる受圧ロッド（１１）に
対する下方への押勢により、上側の粘着テープロール
（８）及び、この粘着テープロール（８）が密着するこ
ととなる上側の粘着ラバーロール（４）が下方へスライ
ドすることで、上下二本の粘着ラバーロール（４）
（４’）の間の空間（５）が狭まりあるいは密着するた
め、その上下二本の粘着ラバーロール（４）（４’）の
間を通過して表面に付着する塵埃が吸着され、転写除去
されることとなる基板又はシート（２）の表面に対して
の粘着ラバーロール（４）（４’）による圧力が大きく
なることから、これら二本の粘着ラバーロール（４）
（４’）間を通過する基板又はシート（２）の表面に付
着する塵埃を効率よく吸着し、転写除去することができ
ると共に、この上側の粘着テープロール（８）の支持軸
（９）の下方へのスライドは、当然のことながら上側の
粘着テープロール（８）の上側の粘着ラバーロール
（４）への密着・押勢を前提としているので、基板又は
シート（２）の表面に対して直接密着し、その表面に付
着する塵埃を吸着し、転写除去する上側の粘着ラバーロ
ール（４）に吸着される塵埃をも効率よく上側の粘着テ
ープロール（８）へ吸着させて、常に直接基板又はシー
ト（２）に密着する上側の粘着ラバーロール（４）表面
を清潔に保つことができ、粘着ラバーロール（４）の粘
着力を長期間維持することができる。

【００１８】又、下側の粘着テープロール（８’）にお
いては、前記上側の粘着テープロール（８）におけると
同様の作業が上下反転して行われるのであり、すなわち
下側の粘着テープロール（８’）の支持軸（９）を一体
に支持してなるスライド回転軸受（１０）は、直流モー
ター（１５）の作動によって上下方向に出没することと
なる加圧ロッド（１４）が、受圧ロッド（１１）を上方
に向けて、上述したように光センサー（１９）の光線を
受圧ロッド支持体（２３）において一体に取り付けられ
た被検知板（２０）の先端が、反射型の光センサー（１
９）の発射する 光線をどれほど遮るかで調整を図りなが
ら押勢することにより、上方に向けて正確にスライドす
るものであるので、このスライド回転軸受（１０）に支
持軸（９）を介して一体に支持された下側の粘着テープ
ロール（８’）は押勢されて下側の粘着ラバーロール
（４’）に密着する。これにより、基板又はシート
（２）の表面に対して直接密着し、その表面に付着する
塵埃を吸着し、転写除去する下側の粘着ラバーロール
（４’）に吸着される塵埃を、効率よく下側の粘着テー
プロール（８’）へ吸着させて、常に直接基板又はシー
ト（２）に密着する下側の粘着ラバーロール（４’）表
面を清潔に保つことができ、粘着ラバーロール（４’）
の粘着力を長期間維持することができる。

【００１９】また、この上側の粘着テープロール（８）
への加圧が、直流モーター（１５）により回転するウォ
ームギア（１６）と遊星ギア（１７）を介して互いに噛
合することとなるラックギア（１８）からなる歯車機構
により上下方向に出没することとなる加圧ロッド（１
４）と、この加圧ロッド（１４）に対向する位置に配置
され、上側の粘着テープロール（８）の支持軸（９）を
一体に支持するスライド回転軸受（１０）と一体となる
受圧ロッド支持体（２３）に圧縮バネ（１３）を介して
設けられる受圧ロッド（１１）との間での押勢による加
圧制御機構により正確に行われるものであるから、直接
に基板又はシート（２）に密着することとなる上側の粘
着ラバーロール（４）が、過加圧によって過剰な摩擦や
密着状態を引き起こすことで発生する粘着ラバーロール
（４）（４’）の劣化を防止して、その耐久性をも著し
く向上させることができるものとなる。

【００２０】更に、上側の粘着テープロール（８）の支
持軸（９）を一体に支持するスライド回転軸受（１０）
に一体となる受圧ロッド支持体（２３）を構成する受圧
ロッド保持体（１２）の内部に圧縮バネ（１３）が内蔵
されており、加圧ロッド（１４）が直流モーター（１
５）の回転に従って下方へ向けて突出して受圧ロッド
（１１）を押勢した際、その受圧ロッド（１１）は圧縮
バネ（１３）を介して受圧ロッド支持体（２３）を、更
にはスライド回転軸受（１０）を下方へ押勢することか
ら、光センサー（１９）及び被検知板（２０）による制
御によって停止した際に、その圧縮バネ（１３）の圧縮
態様に余裕を持たせておくことにより、上下の粘着ラバ
ーロール（４）（４’）間を基板又はシート（２）が通
過し、その基板又はシート（２）の厚さに応じて上側の
粘着ラバーロール（４）に対して上方への押勢力が付加
された場合、その押勢力を上側の粘着ラバーロール
（４）から上側の粘着テープロール（８）を介して圧縮
バネ（１３）の更なる圧縮によって受け止め、すなわち
基板又はシート（２）が上下の粘着ラバーロール（４）
（４’）間を通過した際、上側の粘着ラバーロール
（４）及び上側の粘着テープロール（８）を基板又はシ
ート（２）の厚さに応じて若干上方へ移動させることが
できるので、基板又はシート（２）の損傷を防止するこ
とはもとより、より一層粘着ラバーロール（４）
（４’）の劣化を防止して、その耐久性をも著しく向上
させることができるものとなる。

【００２１】ところで、粘着テープロール（８）
（８’）による粘着ラバーロール（４）（４’）への押
勢を解除するには、直流モーター（１５）を逆回転させ
て、例えば上側の粘着テープロール（８）についての加
圧ロッド（１４）を上方へ戻すと、上側の粘着テープロ
ール（８）はフレーム（３）との間に掛け渡された粘着
テープロールバネ（２８）の弾撥力によって上側の粘着
ラバーロール（４）から離脱した状態に復帰し、又、そ
の上側の粘着ラバーロール（４）はやはり粘着ラバーロ
ールバネ（２７）の弾撥力によって、下側の粘着ラバー
ロール（４’）から離脱する。又、下側の粘着テープロ
ール（８’）は、加圧ロッド（１４）による押勢が解除
されると、自重によって下側の粘着ラバーロール
（４’）から離脱する。

【００２２】尚、図６に示すように、加圧ロッド（１
４）と受圧ロッド（１１）とを連接一体化したロッド
（２４）を使用するとともに、上側の粘着テープロール
（８）のスライド回転軸受（１０）に対する押勢を解除
する際に、そのロッド（２４）を上方へ引き戻す限界を
検知する上側リミット用光センサー（２５）とそのため
の上側リミット用被検知板（２６）を設置し、ロッド
（２４）の引き戻しによって上側の粘着テープロール
（８）を上側の粘着ラバーロール（４）から離脱した状
態に復帰させることもできる。

【００２３】又、図７に示すように、加圧ロッド（１
４）の出没機構として、直流モーター（１５）の回転軸
に１００分の１乃至２００分の１の減速ギアヘッド（２
９）を付設し、その他端側へ突出する減速回転軸（３
０）の先端に嵌合された回転ギア（３１）を加圧ロッド
（１４）の後端側に設けられたラックギア（１８）と噛
合させることにより構成することもできる。

【００２４】

【発明の効果】以上のとおり、基板又はシートの表面に
付着した塵埃を粘着ラバーロールによって吸着し、転写
除去してなる表面洗浄装置において、この粘着ラバーロ
ールに密着して、粘着ラバーロール表面に付着した塵埃
を更に吸着してなる粘着テープロールを、直流モーター
の駆動力を持って互いに噛合するギアを介して出没自在
となる加圧ロッドと、粘着テープロールの支持軸を支持
するスライド軸受と一体となる受圧ロッドとの間での光
センサーによる制御のもとでの押勢により、精密に粘着
テープロール及び粘着ラバーロールをスライドさせるこ
とで、基板又はシート表面上に対する圧力を最適にして
効率よく表面の塵埃を除去することができると共に、粘
着ラバーロールに密着しその表面に付着している塵埃を
吸着除去することとなる粘着テープロールへの塵埃の吸
着を円滑に、しかも効率よく行えて粘着ラバーロールの
表面を常に清潔に維持して、その粘着力の長期間の保持
を可能とし、更に、基板又はシートへの過剰な加圧を防
止できるので、粘着ラバーロールの不用意な摩耗や損傷
を少なくできることとなってその耐久性を著しく向上さ
せることができ、同時に基板又はシート自体の損傷をも
防止でき、しかもその基板又はシート表面洗浄装置の製
造コスト及びランニングコストの削減を図ることができ
るという優れた効果を有するものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施例である基板又はシート表面洗
浄装置の模式図である。

【図２】この発明の実施例である基板又はシート表面洗
浄装置の加圧制御機構を示した正面図である。

【図３】この発明の実施例である基板又はシート表面洗
浄装置の加圧制御機構における加圧ロッドの要部拡大正
面図である。

【図４】この発明の実施例である基板又はシート表面洗
浄装置の加圧制御機構における受圧ロッドの要部拡大正
面図である。

【図５】この発明の実施例である基板又はシート表面洗
浄装置において粘着テープロールから基板又はシートへ
の圧力伝達を示した図である。

【図６】この発明の他の実施例である基板又はシート表
面洗浄装置の加圧制御機構を示した正面図である。

【図７】この発明の他の実施例である基板又はシート表
面洗浄装置の加圧制御機構における加圧ロッドの要部拡
大正面図である。

【符号の説明】

１ 基板又はシート表面洗浄装置 ２ 基板又はシート ３ フレーム ４、４’ 粘着ラバーロール ５ 空間 ６ ベルト ７ モーター ８、８’ 粘着テープロール ９ 支持軸 １０ スライド回転軸受 １１ 受圧ロッド １２ 受圧ロッド保持体 １３ 圧縮バネ １４ 加圧ロッド １５ 直流モーター １６ ウォームギア １７ 遊星ギア １８ ラックギア １９ 光センサー ２０ 被検知板 ２１ 光センサー位置調整ノブ ２２ 粘着テープホルダー ２３ 受圧ロッド支持体 ２４ ロッド ２５ 上側リミット用光センサー ２６ 上側リミット用被検知板 ２７ 粘着ラバーロールバネ ２８ 粘着テープロールバネ ２９ 減速ギアヘッド ３０ 減速回転軸 ３１ 回転ギア

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) B08B 11/00 B08B 1/04

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 フレームにおいてスライド自在に支持さ
   れて、基板又はシートの表面に直接密着可能となる粘着
   ラバーロールと、この粘着ラバーロールの表面に密着、
   離脱自在となり、その表面に付着する塵埃を吸着して転
   写除去する粘着テープロールとの間で、上記粘着テープ
   ロールを上下方向へスライド可能となるように支持して
   なるスライド回転軸受に受圧ロッド支持体を一体に付設
   し、その受圧ロッド支持体に圧縮バネを介して設けられ
   る受圧ロッドを、モーターの駆動によりこのモーター軸
   に連絡する歯車機構を介して回転を伝達することにより
   移動自在としてなる加圧ロッドをもって押勢し、粘着テ
   ープロールを粘着ラバーロール側へスライドさせること
   で、当初間隔を設けてなる粘着テープロールと粘着ラバ
   ーロール間の、又、粘着テープロールを介して、当初間
   隔を設けてなる粘着ラバーロールと基板又はシート間の
   圧力を適宜加減圧させてなる基板又はシート表面洗浄に
   おける加圧制御機構。
2. 【請求項２】 受圧ロッドと加圧ロッドとを連接一体と
   してロッドとする請求項１記載の加圧制御機構。
3. 【請求項３】 フレームにおいて、その空間を通過する
   基板又はシート表面に付着する塵埃を吸着して転写除去
   するため、回動自在に上下二本に並設、支持され、それ
   らの少なくとも一方をモーターの駆動により回転して、
   その間を基板又はシートが当接しつつ通過する粘着ラバ
   ーロールと、この二本の各粘着ラバーロールに対して、
   粘着ラバーロールの表面に吸着される塵埃を更に吸着し
   て転写除去するため、上下二本の各粘着ラバーロールに
   密着可能かつ回転自在に支持される各粘着テープロール
   から構成されるものであって、上記上下二本の粘着ラバ
   ーロール及び各粘着ラバーロールに密着可能となる各粘
   着テープロールをそれぞれ離隔して設けた上、後記加圧
   ロッドによる押勢力が解除された際には、自動的に当初
   の離隔して設けた位置に粘着ラバーロール及び粘着テー
   プロールを復帰させる復帰機構を有し、上記上下二本に
   並設される粘着ラバーロールのうちいずれか一方あるい
   は双方の粘着ラバーロールを上下方向にスライド自在と
   するとともに、それらに対してそれぞれ密着可能となる
   各粘着テープロールの支持軸を、上下方向へスライド可
   能となるスライド回転軸受により一体に支持し、このス
   ライド回転軸受の一方あるいは双方において、スライド
   回転軸受に受圧ロッド支持体を一体に付設し、その受圧
   ロッド支持体に圧縮バネを介して設けられる受圧ロッド
   に対し、モーターの駆動によりこのモーター軸に連絡す
   る歯車機構を介して回転を伝達することにより移動自在
   としてなる加圧ロッドをもって押勢自在とするととも
   に、スライド回転軸受に一体に付設される受圧ロッド支
   持体にセンサーを設け、且つ、該受圧ロッド支持体に圧
   縮バネを介して設けられる受圧ロッドと一体となるよう
   被検知板を設けることにより、加圧ロッドが受圧ロッド
   を押勢した際に、該圧縮バネの圧縮により生ずる受圧ロ
   ッドの移動量と受圧ロッド支持体の移動量との差を前記
   センサー及び被検知板により検知可能として、右検知結
   果により前記加圧ロッドによる受圧ロッドに対する押勢
   力を制御することによって、受圧ロッド支持体及びスラ
   イド回転軸受を介して粘着テープロールを最適位置にス
   ライドさせて、当初間隔を設けてなる粘着テープロール
   と粘着ラバーロール間の、又、粘着テープロールを介し
   て、当初間隔を設けてなる粘着ラバーロールと基板又は
   シート間の圧力を適宜加減圧させてなる基板又はシート
   表面洗浄装置。
4. 【請求項４】 受圧ロッドと加圧ロッドとを連接一体と
   してロッドとする加圧制御機構を具える請求項３記載の
   基板又はシート表面洗浄装置。