TW200846573A - Transporting apparatus - Google Patents

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200846573 •九、發明說明： '【發明所屬之技術領域】 本發明是關於一種藉由使被搬送物夾持在一對滾輪 間’同時使一對滚輪旋轉而搬送被搬送物之搬送裝置。 【先前技術】 以往，巳知有一種藉由使被搬送物夾持在一對滾輪 間’同時使一對滾輪旋轉而搬送被搬送物之裝置。該種搬 鲁送裝置係在例如印刷基板等之製造步驟中，設置在用以去 除附著在基板表面之塵埃的洗淨裝置。（參照例如專利文獻 1)。該印刷基板等之洗淨裝置（以下簡稱為「基板洗淨裝置」) 係具備：對向配置於上下之一對具黏著性之清潔滾輪；及 用以將動力傳達至該清潔滾輪之動力傳達手段，且藉由使 基板夹持在一對清潔滾輪間，同時使一對清潔滾輪旋轉， 而搬送被搬送物，同時使附著在基板之塵埃吸附在清潔滾 輪者。 ♦(專利文獻1)曰本特開2000-84514號公報 【發明内容】 (發明所欲解決之課題） 然而，在上述之基板洗淨裝置中，將驅動源之旋轉力 傳達至清潔滾輪之機構係使用：由藉由驅動源繞著軸心旋 轉驅動之驅動側齒輪、及連結在清潔滚輪之被驅動側齒輪 所構成之齒輪機構等。然而，在習知之伴隨機誠性接觸之 齒輪機構的傳達方式中，可能會有因齒輪之磨耗、摩擦而 產生塵埃，X因該塵埃附著在基板或齒輪之潤滑油氣二而 319280 5 200846573 .造成基板被汚染等事態發生。儘管為一種用以洗淨基板之 •裝置，但仍可能發生無法以清淨之狀態搬送基板之情形。 再者上过之基板洗淨裝置係構成為：對向配置於上 下之清潔滚輪中上側之清潔滾輪可隨著安装在基板表面之 電氣零件等之凹凸而上下移動。亦即，當使厚度比預設之 兩滾輪間之間隔更厚之基板的凸部夾持在兩滾輪之間時， 會因為該凸部而使上侧清潔滾輪被推升至上方。在習 伴隨顏性接觸之齒輪機構的情況下，當上侧清潔滾輪往 上移動時，需要以其他手段來對應，俾使連結在上側清潔 滾輪之被驅動側齒輪之唾合狀態不會產生變化，而構 變為複雜之問題。 # 本發明係鐘於上述情事，而以提供一種不會因 輪之動力傳達手段的齒輪之磨耗、 生塵埃之搬送裝置為目的。 良 (解決課題之手段） 為了達成上述目的，本發明之申士圭 — 搬详奘罟尨目扭时 甲明專利靶圍弟1項的 搬k衣置係具備將旋轉傳達至一 廿益a你a b j，辰輪之動力傳達手段， 並猎由使被搬送物夾持在前述—對滾輪間，同 對滾輪旋轉而搬送被搬送物搬 ^ 傳達手段係具備：圓盤，係藉由其中，河述動力 動，且且右兹士… 動源而繞著軸心旋轉驅 =且，有错由以放射狀交互地異極排列ν極、s極之方 式將水久磁鐵裝設在其端面而形筮 · 圓铭 #八 弟1磁性面；及一對 口同，係刀別連結在前述一對滾輪， 交互地昱;χ ϊ vr α /、有猎由以螺旋狀 地異極排列Ν極、S極之方式將 八將求久磁鐵裝設在其外 319280 6 200846573 周而形成之第2磁性面；並且將前述—對圓 前述圓盤與圓筒之門# & ” -置成，在 面-前述第== 隙’且使前述第2磁性 wit 相對向，並湘前述永久磁鐵之磁性 力，使動力從前述圓盤傳達至前述一對圓言。 本發明之申請專利範圍第2項的搬置二 請專利範圍第i項中，H^ + 申 述圓盤配置在同_細=4數對之4滾輪時，將前 ·(發明之效果） 根據本發明之搬送裝置，由於係利用分別裝設在藉由 驅動源而旋轉驅動之圓盤、及分別連結於-對滾輪之圓„ 的磁鐵之磁性的引力及斥力，使動力從驅_之圓盤傳達 f被驅動侧之圓筒的構成’因此能以非接觸之方式使動力 從驅動側傳達至被驅動側，而不會發生如習知之齒輪機構 之傳達方式般因齒輪之機械性嚙合而產生塵埃等情形，且 可在保持於清淨狀態之狀態下搬送被搬送物。 _ #者，根據本發明之搬送裝置，由於藉由以放射狀交 互地異極排列N極、s極之方式將永久磁鐵裝設在前述圓 盤之端面而形成第丨磁性面，而且以螺旋狀交互地異極排 列N極、S極之方式將永久磁鐵裝設在前述一對圓筒之外 周而形成第2磁性面，並且將一對圓筒配置成，在圓盤與 圓筒之間保持預定之空隙且使第2磁性面與圓盤之第1磁 性面相對向，因此即使被驅動侧之圓筒相對於驅動側之圓 盤向上移動或向下移動，亦因圓盤與圓筒之間的空隙保持 為疋’故傳達至圓筒之旋轉轉矩不會極端地變小。結果， 319280 7 200846573 "即使夾持在一對滾輪間之被搬送物有凹凸，亦可維持所希 ，望之旋轉轉矩，並確保穩定之搬送功能。 【實施方式】 以下，參照附圖詳細說明本發明之搬送裝置的較佳實 施形態。此外，本發明並非由該實施形態所限定者。Λ 第1圖係概略顯示適用本發明實施形態之搬送裝置之 基板洗淨裝置之-部分的斜視圖。此外，本實施形態中作 為對象之「基板」係表示在表面上安裝有電氣零件等之印 刷基板氣零件前之印刷基板、液晶基板、電裝顯 不器基板等。 該基板洗淨裳置30具備：由石夕膠等黏著性彈性橡膠材 ，構成之-對清潔滾輪31、32;由黏著性比該清潔滾輪 卜32更強之材料所構成之黏著帶滾輪33、34;及將動力 傳達至一對之清潔滾輪3卜32的動力傳達手段1〇。再者， =際之基板洗淨裝置3G雖併設複數組上述各滾輪之構 ^ ’但為了方便說明在第1时僅顯示-對滾輪，而省略 其他滾輪之圖示。 _對>用潔滾輪31、32係隔著預定間隔對向配置於上 25、26以可旋轉之方式支持在側壁板（第 略圖示圖所示’各旋轉軸25、26之一 二：係：別連結在後述之動力傳達手段1〇之被驅動側 la]盤 21、22 〇 w π ϋ々、士 士 ，將迦漯滾輪31稱為「上侧清潔滾輪 輪㈡=為「下侧清潔滾輪32」。黏著帶滾 在接觸上側、下側清潔滾輪31、32之狀態下 319280 8 200846573 •分別配置在清潔滾輪31、32之外側，並經介旋轉轴以可旋 •轉之方式支持在侧壁板。 在具有上述構成之基板洗淨裝置30中，如第丨圖所 示，使基板50夾持在清潔滾輪31、32之間，同時藉由後 述之動力傳達手段10使清潔滾輪Η、Μ旋轉，而將基板 朝水平方向搬送，在此同時使附著在基板5〇之塵埃吸附在 清潔滾輪31、32之表©，而從基板5〇之表面去除塵埃。 此外附著m袞輪31、32之塵埃係與清潔滾輪^、 32接觸，同時轉黏在進行旋轉之黏著帶滾輪％％。 而且，在本實施形態中，以可旋轉之方式將下側清潔 滾輪32及黏著帶滾輪34固定在侧壁板，另一方面，如第 圖所不’以可朝上下方向滑動之方式使上側清潔滾輪31 及黏著帶滾輪33支持在侧壁板。更詳細說明之，如第2 圖所示，上侧清潔滾輪31之旋轉軸25及黏著帶滾輪B 之旋轉軸35係分別隔介軸承部41支持在側壁板4〇。該轴 承部41係以上下可移動之方式將軸套（b〇SS)43農入設置在 ，壁=40之長孔44 ’並^以上下可移動之方式將用以固 疋由邛41於側壁板4〇之複數個螺栓42嵌入螺栓用長孔 45,藉此方式在支持各滾輪之狀態下可朝上下方向滑動。 而且’在黏著帶滾輪33之軸承部41，形成由未圖示之 ^加預定之氣屢’以使黏著帶滾輪33怪常地密接在清考 之構成。藉㈣成上述之構成，壯在搬送 产二：：件之基板等於表面形成有凹凸之被搬送物時，‘ 思者被搬送物表面之凹凸而使上側清潔滾輪Μ及黏著帶 319280 9 200846573 •滾輪33上下移動。 、接著’說明將旋轉傳達至上侧、 之動力傳達手段10。第3圖係從正面觀看第=31、32 ζ ' TJ，J ^ 31 ^ 3 2 ^ ^ # ^ ^ 1 〇 ^ _圖係顯示省略屬於被搬送物之基板5〇。 ， 二動力傳達手段1〇係具備··藉由作為驅動源:所 “、、第7圖）而繞著軸心旋轉驅動的圓盤u ;及隔介、於' 二、26分別連結在上侧、下侧清潔滾輪3i、J二對' =21 Ά再者’在以下之說明中，為了方便說明，將: 筒^之I盤、U f為圓产盤型磁性齒輪11 ’將被驅動側之圓 刀別稱為圓筒型磁性齒輪21、22。 第4圖係概略性顯示動力傳達手段1()之i上圖係動 於?】t手段1〇之前視圖。中圖及下圖係顯示圓盤型磁性齒 與圓筒型磁性齒輪21、22之磁㈣合之概念圖。圓 磁性齒輪η係由以下構件所構成者：由磁性體⑽如 幸人鐵材）構成之圓盤形狀的磁性盤12;連結該磁性盤12與 =達,旋轉軸13;及藉由利用接著剤等適當手段以放射狀 、、、間隔之方式將永久磁鐵裝設在磁性盤12之端面Μ而形 =之第1磁性面17。再者，磁性盤12之端面16係指磁性 盤12之單面部分（平面部分）。以下，將構成第】磁性面ρ 之各個永久磁鐵稱為磁性齒〗5。如第5圖所示，該磁性齒 15係以相鄰之磁性齒的極性為Ν極〇5]^)、s極（15§)交互 之方式配置。 另一方面’作為被驅動側之圓筒型磁性齒輪222 10 319280 200846573 … •係由以下構件所構成：由磁性体構成之磁性圓筒23、24; 、連結該磁性圓筒23、24與上侧、下側清潔滚輪η、^之 方疋轉軸25、26;及藉由以螺旋狀等間隔之方式將永久磁鐵 ί設遍及磁性圓筒23、24之各外周面28的-周而形成之 弟2磁性面29。以下，將構成第2磁性面29之各個永久 磁鐵稱為磁性齒27。該磁性齒27係以相鄰之磁性齒的極 ^為Ν極(27n)、S極(27叫交互之方式配置。再者，構成 • 1磁L 15、27之永久磁鐵係使用例如具有4〇MG〇e 之高能量積之稀土類材。 該圓筒型磁性齒輪2卜22係配置成，在與圓盤型磁性 齒輪11之間保持預定之空隙g，且使第2磁性面29與圓 i型磁性齒輪11之第J磁性面17相對向。圓筒型磁性齒 輪21、22之軸線方向長度係形成為與第1磁性面17之半 徑大致相同之長度，其軸線係與第1磁性面17大致平行。 將圓泌型磁性齒輪!!之第1磁性面設為第4圖之中圖所示 鲁的XY座標平面時，上侧之圓筒型磁性齒輪^係配置成盥 圓盤型磁性齒輪11之第1磁性面17的第1象限對向。另 —方面’下側之圓筒型磁性齒輪21係配置成與 17的第3象限對向。 『面 在此利用第5圖，說明圓筒型磁性齒輪之磁性齒的 卜形為螺疑曲線時，圓盤型磁性齒輪之磁性齒的外形曲線 之异式。第5圖中’Γη係圓盤型磁性齒輪11〇之外周半护， ΓΠ係圓盤之軸部分的外周半徑。在此，設為r12-ru = h 且’將連結圓盤型磁性齒輪110之中心〇與圓盤外之定點 319280 11 200846573 Q的直線設為O-Q，且在該直線上設

點。如筮ς闫私—上 、’萌綠之起點A 時料轉Θ之點

中仗中〜ο至曲線的距離設為w，從作為起點之 =〇)至作為終點之B點W = 0 〇的距離係可用下’、、、一 r=hx(0/0l)+ril (數學式 υ P 另一方面，圓筒型磁性齒輪（未圖示）係在旋轉Θ护， 螺旋曲線前進長度h。如此，將圓盤型磁性齒★ ΐι〇2:角 速度設為^^，將圓筒型磁性齒輪之角速度設為時，在 圓盤型磁性齒輪1Π)旋轉之期間’圓筒型磁性齒輪必 須旋轉6> 2，故成立下式。 ^ ω2ΐωλ = θ 2ΙΘ λ (數學式 2) 再者，將圓盤型磁性齒輪11〇之磁性齒之數設為h， 將圓筒型磁性齒之數設為P2。此時，圓盤型磁性：輪15削 中’磁性齒係卩360VPl之間隔配置，在圓筒型磁J磁輪 中，磁性齒係以36(Γ/Ρ2的間隔配置。如此，在圓盤型磁 性齒輪110旋轉36〇νΡι之期間，圓筒型磁性齒輪係旋轉 360°/ρ2，故成立下式。 ω2/ω ι = (360°/ρ2)/(360°/ρ1)(數學式 3) 將（數學式2)及（數學式3)代入（數學式〗）時，(數學式〗）係 可由下式表示。 r=hx(0/02)x(pi/p2)+ril (數學式 4) 該（數學式4)係圓盤型磁性齒輪110之磁性齒的外形曲線 之數學式。 在上述之磁性齒輪中，藉由將圓盤型磁性齒輪與圓筒 319280 12 200846573 型磁性齒輪之磁性齒數（極數）適當地予以設定，即可獲得 所希望之旋轉比。例如，在本實施形態中，如第4圖所示， 圓盤型磁性嵩輪11之齒數係設為16,圓筒型磁性啬輪21、 22係分別設為8。因此，當將旋轉從圓盤型磁性齒輪η 傳達至圓筒型磁性齒輪21、Μ時，圓筒型磁性齒輪Μ、 22之角速度相較於圓盤型磁性齒輪η會增加為2倍。 在具有上述構成之動力傳達手段1〇中，藉由圓盤型磁 性齒輪11之磁性齒15與圓筒型磁性齒輪21、22之磁性齒 27的磁性嚙合’亦即藉由對向之磁鐵的ν極與$極間的引 力、Ν極與Ν極及S極與s極間之斥力，而以非接觸之方 式將旋轉轉矩從圓盤型磁性齒輪n傳達至圓筒型磁性齒 輪21、22。例如，如第4圖之中圖及下圖所示，當使圓般 型磁性齒輪η朝逆時鐘方向旋轉時，藉由作用在圓筒型ς 性齒輪2j、22之㈣賴之引力及斥力，圓筒型磁性齒輪 21、22係朝圓盤型磁性齒輪u之旋轉方向移動。亦即， 圓筒型磁性齒輪21、22係分別朝第4圖所示之箭頭方向旋 轉，且上侧之11筒型磁性齒輪21與下側之圓筒型磁性齒輪 22之旋轉方向係相反。 連結在上述之上側之圓筒型磁性齒輪21的上側清潔 滚輪31、/及連結在下側之圓筒型磁性錄22 #下側清潔、 滾輪32係如第1圖所示’旋轉方向為相反方肖。由此，作 為被搬送物之基板5G健㈣在上側、下側清潔滾輪Μ、 32之間，同時朝水平方向被搬送。 第6圖係顯示配置有複數組之上述動力傳達手段⑺ 319280 13 200846573 之狀態的不意圖。併設複數對上述清潔滾輪3丨、u時，如 第6圖所示，複數個圓盤型磁性齒輪u係配置在焉達1 之同一軸心上，且與各圓盤型磁性齒輪u之間保持預定之 1 空隙而配置有複數個圓筒型磁性齒輪21、22。亦即，、疋 達1之旋轉軸13配置有複數組之動力傳達手段1〇。 個圓盤型磁性齒輪U之配置間隔係可對應上侧、下側清潔 滾輪31、32之配置位置而自由設定。 月〆糸 第7圖係顯示上侧清潔滾輪31隨著基板5〇之表面凹 凸而上下移動之狀態的示意圖。第8圖係顯示上側之圓筒 型磁性齒輪21朝上方移動時相對於圓盤型磁性齒輪= 位置的示意圖。如第7圖所示，當藉由具有比預設之"上侧、 下側清潔滾輪31、32之間隔更大之厚度的凸部51將上側 f潔滾輪3i往上方推升時，連結在上侧清潔滾輪^之圓 筒型磁性齒輪21亦會伴隨上述動作而被推升至上方。如第 8圖之上圖所示’當圓筒型磁性#輪21從平常位置移動至 • ^時’與圓盤型磁性齒輪㈣纟之嗔合面積雖會比位於 平常位置時小，但如下圖所示，與圓盤型磁性齒輪11之間 的二隙（氣隙）係保持在一定。因此，即使圓筒型磁性齒輪 _ 4上方私動傳達至上側清潔滾輪3 1之旋轉轉矩亦不 會極端地變小。 、/如以上說明，根據本實施形態之基板洗淨裝置，由 於係利用裝設在圓盤型磁性齒輪n及圓筒型磁性齒輪 21、22之磁鐵的磁性引力及斥力，使動力從圓盤型磁性齒 輪11傳達至圓筒型磁性齒輪21、22的構成，因此能以非 319280 14 200846573 .接觸之方式使動力從驅動侧傳達至被驅動側，不會發生如 •習知般因齒輪之機械性嚙合而產生塵埃等情形，且可在保 持於清淨狀態之狀態下搬送作為被搬送物的基板5〇。 再者，在本實施形態中，由於藉由將永久磁鐵以放射 狀交互地異極排列N極、s極之方式將第！磁性面17形成 在圓盤型磁性齒輪Π之端面16，而且將永久磁鐵以螺旋 狀交互地異極排列N極、s極之方式將第2磁性面29形成 在圓筒型磁性齒輪21、22之各外周面28，並且將圓筒型 磁性齒輪21、22配置成，在圓盤型磁性齒輪^與圓筒型 ，性齒輪2卜22之間保持預定之空隙，且使第2磁性面與 第1磁性面相對向，藉由上述構成，即使圓筒型磁性齒輪 21、22相對於圓盤型磁性齒輪u向上移動或向下移動， 亦因圓盤型磁性齒輪u與圓筒型磁性齒輪21、22間之空 隙保持為一定，故傳達至圓筒型磁性齒輪2卜22之旋轉轉 矩不會極端地變小。結果，即使夾持在—對滾輪間之被搬 瞻C物有凹凸，亦可維持所希望之旋轉轉矩，並癌保穩定之 搬送功能。 再者，根據本實施形態之基板洗淨裝置3〇，由於係設 成在併設複數對之清潔滾輪31、32時將複數個圓盤型磁性 回輪11配置在驅動用馬達之同一軸心上的構成，因此具有 對於複數、、且之動力傳達手段j〇只要使用工個作為驅動源之 馬達1即可的效果。而且，在將複數個圓盤型磁性齒輪η 配置在同軸心上時’可自由地設定該等之配置間隔，結 果亦/、有可自由设定複數對之清潔滚輪之設置間隔的效 319280 15 200846573 , 果。 ’ 号者’在上述實施形態中，雖僅將上侧清潔滾輪3置 構成為可上下移動，但將上側、下側清潔滾輪之兩方構成 為可上下移動，亦可獲得與上述實施形態同様之效果。 (產業上之利用可能性） 如上所述，本發明之搬送裝置係可有效地使用在··以 上述實施形態所示之基板洗淨裝置為首，對應夾持在一對 滾輪間之被絲物之凹凸而使滾輪上下移冑，同時使滾輪 方疋轉以搬送被搬送物之搬送裝置。 【圖式簡單說明】 第1圖係概略顯示具備本發明實施形態之搬送裝置之 基板洗淨裝置之一部分的斜視圖。 第2圖係顯示基板洗淨裝置之清潔滾輪及黏著帶滾輪 之支持構造的示意圖。 第3圖係第1圖中從正面觀看清潔滾輪及動力傳達手 _段的圖。 -第4圖係基板洗淨裝置之動力傳達手段之前視圖及顯 示動力傳達手段之磁性嚙合的概念圖。 第5圖係圓盤型磁性齒輪之磁性齒之外形曲線的說明 圖。 一第6圖係顯示配置有複數組之動力傳達手段之狀態的 示意圖。 〜 第7圖係顯示清潔滾輪隨著被搬送物表面之凹凸而上 下移動之狀態的示意圖。 319280 16 200846573 第8圖係顯示’型磁性齒輪相對於圓盤型磁性齒輪 之位置的示意圖。 【主要元件符號說明】 1 馬達（驅動源） μ 動力傳達手段 11、110圓盤型磁性齒輪12 磁性盤 3 25 26、35方疋轉軸15、27磁性齒（永久磁鐵） 16 (圓盤型磁性齒輪之）端面 17 弟1磁性面

23、24 磁性圓筒 21、22圓筒型磁性齒輪（圓筒） 28 29 (圓筒型磁性齒輪之）外周面 弟2磁性面 'η 31 上側清潔滾輪（滚輪） 32 33 > 34黏著帶滾輪 40 41 軸承部 42 43 轴套 44 45 螺栓用長孔 50 51 凸部

基板洗淨裝置 下侧清潔滚輪（滾輪) 侧壁板 螺栓 長孔 基板（被搬送物） 319280

Claims (1)

1. 200846573 ，十、申請專利範圍： • =送裝置，係具備將旋轉傳達至—對滾輪之動力傳 達手#又，並猎由使被搬送物夾持在前述一對滾輪間，门 時使前述一對滾輪旋轉，從而搬送被搬送物，該搬I 置之特徵為： 、衣 前述動力傳達手段係具備： —圓盤，係藉由驅動源而繞著軸心旋轉驅動，且具有 藉由隨射狀交互地異極排列Ν極、S極之方式时久 磁鐵衣叹在其端面而形成之第丨磁性面；及 子圓同，係分別連結在前述一對滾輪，且具有藉 由以螺％狀父互地異極排列N極、s極之方式將永久磁 鐵衣=在其外周而形成之第2磁性面； 並且將勒述一對圓筒配置成，在前述圓盤與圓筒之 間保持預疋之空隙，且使前述第2磁性面與前述第1磁 性面相對向，

   、、利用别述永久磁鐵之磁性引力及斥力，使動力從前 述圓盤傳達至前述一對圓筒。 2. 專利範圍第1項之搬送裝置，其中，當併設複數 之刖述;袞輪時，將前述圓盤配置在同_軸心上。 319280 18