KR20070013190A - 매엽반송용 트레이 - Google Patents
매엽반송용 트레이 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20070013190A KR20070013190A KR1020060010432A KR20060010432A KR20070013190A KR 20070013190 A KR20070013190 A KR 20070013190A KR 1020060010432 A KR1020060010432 A KR 1020060010432A KR 20060010432 A KR20060010432 A KR 20060010432A KR 20070013190 A KR20070013190 A KR 20070013190A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- tray
- outer frame
- unit
- height
- resin block
- Prior art date
Links
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 47
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 47
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims description 20
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 14
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 abstract 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 abstract 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 abstract 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 abstract 2
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 36
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 11
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 4
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 3
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000013585 weight reducing agent Substances 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 229920006178 high molecular weight high density polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 1
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A47—FURNITURE; DOMESTIC ARTICLES OR APPLIANCES; COFFEE MILLS; SPICE MILLS; SUCTION CLEANERS IN GENERAL
- A47C—CHAIRS; SOFAS; BEDS
- A47C3/00—Chairs characterised by structural features; Chairs or stools with rotatable or vertically-adjustable seats
- A47C3/16—Chairs characterised by structural features; Chairs or stools with rotatable or vertically-adjustable seats of legless type, e.g. with seat directly resting on the floor; Hassocks; Pouffes
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/20—Heating elements having extended surface area substantially in a two-dimensional plane, e.g. plate-heater
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61F—FILTERS IMPLANTABLE INTO BLOOD VESSELS; PROSTHESES; DEVICES PROVIDING PATENCY TO, OR PREVENTING COLLAPSING OF, TUBULAR STRUCTURES OF THE BODY, e.g. STENTS; ORTHOPAEDIC, NURSING OR CONTRACEPTIVE DEVICES; FOMENTATION; TREATMENT OR PROTECTION OF EYES OR EARS; BANDAGES, DRESSINGS OR ABSORBENT PADS; FIRST-AID KITS
- A61F7/00—Heating or cooling appliances for medical or therapeutic treatment of the human body
- A61F7/02—Compresses or poultices for effecting heating or cooling
- A61F2007/0225—Compresses or poultices for effecting heating or cooling connected to the body or a part thereof
- A61F2007/0228—Compresses or poultices for effecting heating or cooling connected to the body or a part thereof with belt or strap, e.g. with buckle
- A61F2007/023—Compresses or poultices for effecting heating or cooling connected to the body or a part thereof with belt or strap, e.g. with buckle with pockets for receiving packs or pouches
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61N—ELECTROTHERAPY; MAGNETOTHERAPY; RADIATION THERAPY; ULTRASOUND THERAPY
- A61N5/00—Radiation therapy
- A61N5/06—Radiation therapy using light
- A61N2005/0658—Radiation therapy using light characterised by the wavelength of light used
- A61N2005/0659—Radiation therapy using light characterised by the wavelength of light used infrared
- A61N2005/066—Radiation therapy using light characterised by the wavelength of light used infrared far infrared
Landscapes
- Stackable Containers (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Pallets (AREA)
Abstract
박판형상의 물품을 1장씩 적재해서 반송하는 매엽반송용 트레이로서, 작은 피치로 겹쳐 쌓을 수 있고, 또한 충분한 강도를 갖춘 매엽반송용 트레이를 제공한다.
매엽반송용 트레이의 외부 프레임(2)의 단면형상을 플랜지(14), 이보다 조금 높은 외측평탄부(11), 이것에 연속해서 하강하는 경사부(13), 이 경사부(13)의 하측으로 연속하는 내측평탄부(12)로 형성한다. 경사부(13)의 높이를 적절히 조정해서 외부 프레임(2)에 요구되는 강도를 얻는다. 겹쳐 쌓았을 때에 상방으로부터 다른 트레이가 들어가는 수용부로서 경사부(13)를 구성한다.
Description
도 1은 실시예의 매엽반송용 트레이(1)의 개요를 설명하는 사시도이다.
도 2는 실시예의 외부 프레임(2)을 구성하는 부재의 사시도와 단면도이다.
도 3은 실시예의 외부 프레임(2)을 구성하는 부재 끝부의 사시도이다.
도 4는 실시예의 수지블록(8)의 사시도이다.
도 5는 실시예의 수지블록(8)이 고정된 장변부재(2a)의 단면도이다.
도 6은 실시예의 장변부재(2a)에 고정된 수지블록(8)의 측면도이다.
도 7은 실시예의 접합부재(10)의 사시도이다.
도 8은 실시예의 가로대(4)의 일단부의 사시도이다.
도 9는 실시예의 접합부재(6)의 사시도이다.
도 10은 실시예의 매엽반송용 트레이(1)를 상하방향으로 복수장 겹친 상태를 모식적으로 나타내는 사시도이다.
도 11은 실시예의 매엽반송용 트레이(1)를 3장 겹친 상태에 있어서의 수지블록 근방의 측단면도이다.
(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)
1:매엽반송용 트레이 2:외부 프레임
2a:장변부재 2b:단변부재
4:가로대 6:접합부재
8:수지블록 10:접합부재
11:외측평탄부 12:내측평탄부
13:경사부 14:플랜지
15a, 15b:블록 설치구멍 16, 18:접합구멍
17:가로대 설치구멍 19:공간
20:본체부 21:볼록부
22:오목부 23:피지지부
24, 27:외부 프레임 설치구멍 25:부착부
26:돌출부 28:적재 핀
29:위치 결정 핀
본 발명은, 박판형상의 물품을 1장씩 적재해서 반송하는 트레이에 관한 것이다. 특히, 작은 공간에 많은 트레이를 겹쳐 쌓아서 보관할 수 있는 매엽반송용 트레이에 관한 것이다.
예를 들면 박형 표시장치의 제조공정 등에 있어서, 유리기판으로 대표되는 박판형상의 물품을 반송하는 기술이 필요로 되고 있다. 박판형상의 물품은 비틀림이나 휨 등의 변형이 발생하기 쉽고, 반송 중에 변형이 원인으로 주위에 접촉해서 표면에 상처가 나거나, 파손되어 버릴 우려가 있다. 이 때문에 반송에는 박판형상의 물품을 변형시키지 않고 적재할 수 있는 전용 용기가 사용된다.
박판형상의 물품을 1장씩 개별 용기에 적재해서 반송함으로써 반송 중의 물품의 변형을 방지할 수 있다. 그러나 이러한 반송 형태에서는, 반송 도중에 일시 보관을 행할 경우에 보관 공간을 넓게 차지해 버린다는 문제가 있었다. 또한, 다른 장소로 정리해서 이송하고 싶을 경우에도 수고가 든다는 문제가 있었다.
그래서, 박판형상의 물품을 개별적으로 적재할 수 있고, 또한 일시 보관이나 다른 장소로의 이송시에는 용기끼리를 겹쳐 쌓을 수 있는 용기가 고안되었다. 그러나, 이들 용기에는 용기 내에 먼지가 축적되거나, 겹쳐 쌓을 때에 자신으로부터 먼지가 발생해서 적재한 물품을 오염시켜 버린다는 문제가 발생했다. 또한, 겹쳐 쌓은 경우의 전체의 중량이 무거워져, 보관이나 운반이 불편하다는 문제가 있었다.
이러한 문제점을 극복하기 위해, 박판형상의 물품을 반송하기 위해서, 복수장의 물품을 한번에 수용하는 카세트가 고안되었다. 그러나, 이러한 카세트를 사용해서 장치 사이의 반송을 행할 경우에는, 물품을 투입하는 각 장치의 입구에 박판형상의 물품을 카세트로부터 꺼내어 투입하기 위한 전용 투입 로봇이 필요하게 되었다.
박형 표시장치 등은 클린룸 내에서 제조되는 일이 많고, 클린룸 내의 반송이 필요하게 된다. 클린룸 내의 각 제조장치에 유리기판을 투입하기 위해서는, 먼지의 발생이 매우 적고, 또한 무인운전이 가능한 클린룸 대응의 투입 로봇이 필요하게 된다. 이러한 투입 로봇은 매우 고가이며, 반송 시스템의 도입 비용의 증대를 초래 하고 있었다.
또한, 최근 박형 표시장치의 급격한 대형화가 진행되고 있고, 표시장치에 사용되는 대형 유리기판의 중량은 1장이 수십 킬로그램으로 되어 있다. 또, 대형 유리기판을 수용하는 카세트에는 상당한 강도가 요구되고 있기 때문에, 카세트 자체의 중량이 커지고 있다. 통상, 반송에는 20장에서 40장의 유리기판을 수용해서 한번에 반송하는 상자형상의 카세트가 사용되고 있지만, 유리기판을 수용한 카세트의 총중량은 1톤을 초과하는 경우가 있다.
대형화해서 무거운 유리기판을 투입하기 위한 로봇이 더욱 고가의 것으로 되고 있을 뿐만 아니라, 총중량이 1톤 전후의 카세트를 공정과 공정 사이에서 반송하기 위해서는 크레인이 필요하게 되어 있다. 이들 설비가 필요하기 때문에 카세트를 사용하는 반송 시스템에서는, 반송하는 물품의 대형화에 따라서 시스템의 도입 비용이 현저하게 증대되어 문제가 되고 있다.
또, 1톤 전후의 카세트를 인력으로 반송하는 것이 매우 곤란하기 때문에, 투입 로봇이나 크레인이 조정이나 수리를 위해 정지했을 때, 유리기판의 반송이 중단되어 버릴 가능성이 생겼다. 이 때문에, 종래의 반송 시스템에 있어서는 투입 로봇이나 크레인의 정지에 의해 박형 표시장치의 제조공정이 정지되어 버려서, 제조공정 전체의 가동률 저하를 초래할 우려가 있다.
본원 발명은, 상기 종래 기술의 문제점을 감안하여 이루어진 것이고, 박판형상의 물품을 1장씩 적재하여, 반송하고, 복수장 겹쳐 쌓은 상태로 보관할 수 있는 매엽반송용 트레이로서, 작은 공간에 많은 트레이를 겹쳐 쌓을 수 있고, 대형 박판형상의 물품을 변형시키는 일 없이 유지할 수 있는 강도를 유지할 수 있으며, 겹쳐 쌓을 때에 먼지의 발생에 의해 물품을 오염시킬 일이 없고, 또한 경량화된 매엽반송용 트레이를 제공하는 것을 과제로 하고 있다.
청구항 1의 발명은, 복수 겹쳐 쌓은 상태로 보관할 수 있는 매엽반송용 트레이에 관한 것이다. 본 발명의 매엽반송용 트레이는 외부 프레임 사이에 가로대를 걸침으로써 공작물 적재부를 형성함과 아울러, 외부 프레임에 상방으로부터 다른 트레이가 들어가는 수용부를 설치한 것을 특징으로 한다.
청구항 2의 발명은, 외부 프레임의 상하의 트레이와의 접촉부를 다른 부분에 비교해서 먼지의 발생이 적은 수지블록으로 구성하고, 수용부에 있어서는 상하의 트레이가 접촉하지 않도록 한 것을 특징으로 하는 매엽반송용 트레이다.
청구항 3의 발명은, 상방으로부터 다른 트레이가 들어가는 수용부를, 상방을 향해서 넓어지는 경사면으로 구성한 것을 특징으로 하는 매엽반송용 트레이다.
이하에 발명을 실시하기 위한 최선의 형태를 열기한다. (형태1)매엽반송용 트레이는, 4개의 판형상 부재를 대략 직사각형으로 접합함으로써 구성된 외부 프레임의 사이에 복수의 가로대를 걸쳐서 설치함으로써 박판형상의 물품의 적재부가 형성되어 있다. (형태2)대략 직사각형의 외부 프레임은, 외측평탄부와 외측평탄부보다 낮은 위치에 설치된 내측평탄부를 구비하고 있고, 외측평탄부와 내측평탄부 사이에 경사부가 설치되어 있다. 경사부의 길이는, 외부 프레임(2)의 평면을 유지하 기 위해 요구되는 강도를 유지할 수 있는 길이로 설정된다. 요구되는 강도가 클 때 경사부는 길어지고, 요구되는 강도가 작을 때 경사부는 짧아진다. (형태3)접촉부를 구성하기 위해서, 복수개의 수지블록이 외측평탄부의 4변 전체에 부착되어 있다. 수지블록의 높이는, 1장의 박판형상의 물품을 안전하게 수용하기 위한 수용 높이와 같게 되어 있다. (형태4)수지블록에는 내마모성이 높고, 기계적인 강도가 뛰어나기 때문에 먼지가 발생하기 어려운 수지인 UPE(초고분자량(고밀도) 폴리에틸렌)가 사용된다. (형태5)복수장의 매엽반송용 트레이를 상하방향으로 겹쳐 쌓을 경우에는, 경사부로 둘러싸여진 부분이 상방으로부터 다른 트레이가 들어가기 위한 수용부로서 기능하기 때문에, 소정의 수용 높이를 바꾸는 일 없이 겹쳐 쌓을 수 있게 된다. (형태6)수지블록의 상면은 외부 프레임의 외측평탄부의 상면보다 높은 위치에 있고, 수지블록의 하면은 외측평탄부의 하면보다 낮은 위치에 있다. 복수장의 매엽반송용 트레이를 겹쳐 쌓은 상태에서는, 수지블록의 높이가 상하의 적층 피치로 된다. (형태7)수지블록의 상면에는 볼록부가 형성되어 있고, 수지블록의 하면에는 오목부가 형성되어 있다. 하면의 오목부는, 상면의 볼록부에 대응한 형상을 갖고 있다. 상하방향으로 겹친 매엽반송용 트레이의 수지블록의 볼록부와 오목부를 끼워 맞춤으로써, 매엽반송용 트레이의 위치 결정 고정이 이루어진다.
[실시예]
이하, 본 발명을 적용한 매엽반송용 트레이(이하, 트레이라고 생략하는 경우도 있다)의 실시예를, 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다. 도 1은, 본 발명에 의한 매엽반송용 트레이의 일실시예의 구성을 나타내는 사시도이다.
본 실시예에 있어서의 매엽반송용 트레이(1)는 외부 프레임(2)과, 외부 프레임(2)의 대향하는 변의 사이에 걸쳐진 복수의 가로대(4)와, 외부 프레임용 부재의 접합부 근방에서 인접하는 부재의 사이에 비스듬하게 걸쳐지는 접합부재(6)를 구비하고 있다.
외부 프레임(2)은, 2개의 장변부재(2a)와 2개의 단변부재(2b)로 구성된다. 본 실시예에 있어서의 장변부재(2a)와 단변부재(2b)에는 일정한 판두께의 SUS304가 사용되고 있고, 판금가공에 의해 동일한 단면형상이 되도록 가공되어 있다.
도 2(a)에 장변부재(2a)와 단변부재(2b)의 사시도를 나타내고, 도 2(b)에 그 A-A 단면도를 나타낸다. 또한, 도 3에 장변부재(2a)와 단변부재(2b)의 끝부 부근의 사시도를 나타낸다. 장변부재(2a)와 단변부재(2b)는 도 2(b)의 단면형상에서 알 수 있는 바와 같이, 외측평탄부(11)와, 외측평탄부(11)보다 낮은 위치에 형성되는 내측평탄부(12)를 구비하고 있고, 외측평탄부(11)와 내측평탄부(12) 사이에 경사부(13)가 설치되어 있다. 경사부(13)는, 외부 프레임(2)이 형성되었을 때에 상방을 향해서 넓혀진 콘 형상으로 되도록 각도가 붙여져 있다. 또한, 외측평탄부(11)의 외측에는 플랜지(14)가 설치되어 있다.
경사부(13)의 높이는, 장변부재(2a)와 단변부재(2b)가 직사각형의 외부 프레임(2)으로서 조합된 경우에, 외부 프레임(2)의 평면을 유지하기 위해 필요한 강도를 유지할 수 있는 높이로 설정된다. 이 때문에, 경사부(13)의 높이가 1장의 박판형상의 물품을 안전하게 수용하기 위해서 필요한 수용 높이를 초과한 높이로 되는 경우가 있다. 외부 프레임(2)의 형상이 대형화된 경우에는 요구되는 강도가 커지 고, 외부 프레임(2)을 강화하기 위해서 경사부(13)의 높이는 보다 높아진다. 소형의 외부 프레임(2)에서 요구되는 강도가 작을 경우에는 경사부(13)를 낮게 할 수 있다.
장변부재(2a)와 단변부재(2b)를 접합함으로써, 본 실시예의 외부 프레임(2)이 형성된다. 본 실시예의 외부 프레임(2)은, 그 단면형상이 상술한 바와 같이 플랜지(14), 이보다 조금 높은 외측평탄부(11), 이것에 연속해서 하강하는 경사부(13), 이 경사부(13)의 하방으로 연속하는 내측평탄부(12)로 형성된다. 형성된 외부 프레임(2)의 단체(單體)로서의 높이는 경사부(13)의 높이로 결정되지만, 복수장의 매엽반송용 트레이(1)를 겹쳐 쌓을 경우에는 경사부(13)로 둘러싸여진 부분의 일부가, 다른 트레이가 들어가기 위한 수용부(13b)로서 기능하기 때문에 보다 작은 피치로 겹쳐 쌓을 수 있게 된다.
본 실시예에 있어서의 장변부재(2a)와 단변부재(2b)에는, 외측평탄부(11)에 수지블록(8)을 부착하기 위한 블록 설치구멍(15a, 15b)이 1부재에 각각 2개소씩 형성되어 있다. 또한, 각각의 부재의 외측평탄부(11)의 끝부에는, 부재끼리를 접합하기 위한 접합구멍(16)이 3개씩 형성되어 있다. 내측평탄부(12)에는, 가로대(4)를 접합하기 위한 가로대 설치구멍(17)이 형성되어 있다.
도 4에, 장변부재(2a)와 단변부재(2b)에 부착되기 전의 수지블록(8)의 사시도를 나타낸다. 수지블록(8)은, 대략 직육면체의 본체부(20)의 상면에 볼록부(21)가 설치되어 있고, 수지블록의 하면에는 오목부(22)가 설치되어 있다. 본체부(20)의 높이는, 1장의 박판형상의 물품을 안전하게 수용하기 위한 수용 높이(H1)와 같 게 되도록 형성되어 있다.
본 실시예에 있어서의 수지블록(8)의 볼록부(21)는, 원추대 형상으로 형성되어 있다. 하면의 오목부(22)는, 상면의 볼록부(21)에 대응한 형상을 갖고 있다. 본체부(20)의 오른쪽 면과 왼쪽 면에는, 트레이 매거진과의 접촉부로 되는 피지지부(23)가 신장되어 있다. 피지지부(23)에는, 장변부재(2a) 또는 단변부재(2b)에 수지블록(8)을 고정하기 위한 외부 프레임 설치구멍(24)이 관통되어 있다.
수지블록(8)은, 상하로 겹쳐 쌓여지는 매엽반송용 트레이(1)와의 접촉부가 되기 때문에, 먼지의 발생을 억제할 수 있는 소재로 형성되는 것이 바람직하다. 본 실시예에 있어서의 수지블록(8)은 내마모성이 높고, 기계적인 강도가 뛰어난 UPE로 형성되어 있다. 수지블록(8)은 블록끼리가 접촉해도 마모되지 않고, 먼지를 발생시키는 일이 없기 때문에, 반송하는 박판형상의 물품을 오염시키지 않는다.
수지블록(8)은, 외부 프레임(2)에 리벳 혹은 나사에 의해 고정된다. 도 5와 도 6은, 수지블록(8)이 장변부재(2a)에 리벳 혹은 나사에 의해 고정된 상태를 모식적으로 나타내는 도면이다. 도 5는 장변부재(2a)의 길이방향의 단면도를 나타내고 있고, 도 6은 장변부재(2a)의 측면도를 나타내고 있다. 수지블록(8)은, 피지지부(23)의 상면이 장변부재(2a)의 외측평탄부의 하면에 접촉되어서, 블록 설치구멍(15a)으로부터 볼록부(21)와 본체부(20)의 상부가 돌출된 상태로 고정되어 있다.
외부 프레임(2)에 고정된 수지블록(8)은, 본체부(20)의 상면이 장변부재(2a)의 외측평탄부(11)보다 높게 되어 있다. 또한, 본체부(20)의 하면은, 외측평탄부(11)에 설치된 플랜지(14)의 하면보다 낮게 되어 있다.
외부 프레임(2)과 수지블록(8)의 이러한 배치를 채용함으로써, 상하방향으로 매엽반송용 트레이(1)를 다단으로 겹쳐 쌓으면, 각각의 트레이의 수지블록(8)의 본체부(20)의 상면과 하면이 서로 접하게 되고, 매엽반송용 트레이(1)는 수지블록(8)의 본체부(20)의 높이를 피치로 해서 겹쳐 쌓여진다.
본 실시예의 매엽반송용 트레이(1)는, 접촉부인 수지블록(8)과 외부 프레임(2)을 다른 소재로 따로 형성하고나서 고정하는 구성으로 되어 있다. 이것에 의해, 접촉부에만 먼지의 발생을 억제할 수 있는 소재를 적용할 수 있게 되어, 접촉부를 용이하게 가공하여 형성할 수 있다. 한편, 외부 프레임(2)의 다른 부분은 다른 매엽반송용 트레이(1)나 설비 등과 거의 접촉하지 않기 때문에, 먼지의 억제보다 강도를 중시한 소재를 적용할 수 있게 되어서, 외부 프레임(2)의 소재를 선택하는 자유도를 넓힐 수 있다.
외부 프레임(2)의 구성에 대해서 또한 설명한다. 장변부재(2a)와 단변부재(2b)는, 도 7에 나타내는 L자형 접합부재(10)를 사용해서 접합되어 있다. 본 실시예에 있어서의 접합부재(10)에는, L자형의 각각의 변에 3개씩 합계 6개의 접합구멍(18)이 형성되어 있다. 접합구멍(18)끼리의 상대 위치는, 장변부재(2a)와 단변부재(2b)의 접합구멍(16)의 구멍끼리의 상대 위치 관계와 동일하게 되도록 배치되어 있다.
접합부재(10)의 한 변은 장변부재(2a)의 끝부에 겹쳐진다. 장변부재(2a)의 접합구멍(16)과 접합부재(10)의 접합구멍(18) 양쪽을 관통하도록 블라인드 리벳이 박아져, 장변부재(2a)와 접합부재(10)가 리벳 접합된다. 접합부재(10의 타변은 단 변부재(2b)의 끝부에 겹쳐진다. 단변부재(2b)의 접합구멍(16)과 접합부재(10)의 접합구멍(18) 양쪽을 관통하도록 블라인드 리벳이 박아져, 단변부재(2b)와 접합부재(10)가 블라인드 리벳 접합된다. 2개의 장변부재(2a)와 2개의 단변부재(2b)가 4개의 접합부재(10)를 사용하여 블라인드 리벳 접합되어서, 대략 직사각형의 외부 프레임(2)이 형성된다.
블라인드 리벳 접합에 의해 형성된 외부 프레임(2)은, 장변부재(2a)와 단변부재(2b)의 접합부의 상부에 공간(19)(도 1 참조)이 형성되어 있다. 공간(19)이 형성되어 있음으로써 접합부에 먼지가 고이는 일이 없고, 또한 외부 프레임(2)의 세정과 건조를 용이하게 행할 수 있다. 즉 공간(19)을 형성함으로써, 외부 프레임(2)의 접합부에 먼지가 축적되지 않게 되어서, 적재되는 박판형상의 물품의 오염을 미연에 방지하는 효과가 얻어진다.
본 실시예의 매엽반송용 트레이(1)는, 외부 프레임(2)의 대향하는 단변부재(2b)의 사이에 복수의 가로대(4)가 걸쳐져서, 박판형상의 물품의 적재부가 형성되어 있다. 가로대(4)에는 일정한 판두께의 SUS304가 사용되고 있고, 판금가공에 의해 소정의 단면형상을 갖추도록 가공되어 있다.
가로대(4)의 일단부의 확대도를 도 8에 나타낸다. 가로대(4)는, 양측에 외부 프레임(2)으로의 평탄한 부착부(25)가 형성되어 있고, 평탄부의 사이에 상방으로 돌출되는 돌출부(26)가 형성되어 있다. 부착부(25)의 끝부에는, 외부 프레임(2)에 접합하기 위한 외부 프레임 설치구멍(27)이 형성되어 있다. 돌출부(26)에는, 박판형상의 물품을 지지하기 위한 복수의 적재 핀(28)이 고정되어 있다.
적재 핀(28)은 내마모성이 높은 UPE로 형성되어 있고, 박판형상의 물품을 반복하여 탑재해도 마모에 의한 먼지가 발생하지 않아서, 박판형상의 물품을 오염시키지 않는다.
가로대(4)의 외부 프레임 설치구멍(27)과 외부 프레임(2)의 가로대 설치구멍(17)을 관통하도록 리벳이 박아져서, 외부 프레임(2)과 가로대(4)가 리벳 접합되어 있다. 가로대(4)가 돌출부(26)를 구비하고 있기 때문에, 가로대(4)는 외부 프레임(2)에 대해서 양단에 개구부를 가진 상태로 접합되어 있다. 이 때문에 외부 프레임(2)과 가로대(4)의 접합부에 먼지가 축적되기 어렵고, 또한 매엽반송용 트레이(1)를 세정할 때에 가로대(4)의 부분의 세정과 건조를 용이하게 행할 수 있다.
또한, 가로대(4)는 돌출부(26)가 형성되어 있기 때문에, 평판의 부재를 사용했을 경우보다 빔강도가 향상되어 있다. 이 때문에, 가로대(4)에는 보다 판두께가 얇은 소재를 사용할 수 있게 되어 있어, 가로대(4)의 경량화가 도모되어 있다.
접합부재(6)는, 매엽반송용 트레이(1)에 탑재되는 박판형상의 물품의 위치 결정과, 외부 프레임(2)의 코너부의 보강을 위해서, 외부 프레임(2)의 코너부 근방의 장변부재(2a)와 단변부재(2b) 사이에 비스듬하게 걸쳐져 있다. 접합부재(6)의 사시도를 도 9에 나타낸다. 접합부재(6)는, 가로대(4)와 마찬가지로 돌출부(26)가 형성되어 있고, 돌출부 위에 박판형상의 물품을 지지하기 위한 적재 핀(28)과, 박판형상의 물품의 코너부를 접촉시켜서 적재 위치의 위치 결정을 행하기 위한 2개의 위치 결정 핀(29)이 고정되어 있다.
접합부재(6)의 위치 결정 핀(29)은, 박판형상의 물품의 코너 위치를 정하기 위해서 설치되어 있고, 실제의 박판형상의 물품의 치수에 대하여 편측에서 2밀리미터~3밀리미터의 클리어런스를 확보할 수 있도록 배치되어 있다. 위치 결정 핀(29)은, 내마모성이 높은 UPE로 형성되어 있고, 박판형상의 물품이 위치 결정 때문에 반복하여 접촉해도 마모에 의한 먼지가 발생하지 않아서, 박판형상의 물품을 오염시키지 않는다.
도 10에, 매엽반송용 트레이(1)를 상하방향으로 복수장 겹친 상태를 모식적으로 나타낸다. 또한, 도 11에 3장 겹쳐진 매엽반송용 트레이(1) 중의 1개의 수지블록(8) 주변의 단면도를 나타낸다. 도 10과 도 11에 나타내는 바와 같이, 하측의 트레이(1)의 경사부(13)에 위로부터 적재된 다른 트레이(1)의 경사부(13)가 들어가서 겹쳐 쌓여진다.
하측의 트레이(1)의 경사부(13)에 위로부터 적재된 다른 트레이(1)의 경사부(13)가 들어감으로써, 겹쳐 쌓았을 때에 작은 공간에서 많은 트레이를 보관할 수 있게 되어 있다. 본 실시예의 복수의 매엽반송용 트레이(1)를 겹쳐 쌓았을 때의 전체의 높이에 대해서 적층의 피치와, 상측에 적재되는 트레이(1)가 아래의 트레이에 들어가는 높이, 즉 수용부(13b)의 높이와의 관계를 밝히면서 설명한다.
본 실시예의 매엽반송용 트레이(1)는, 외부 프레임(2)에 고정된 수지블록(8)의 본체부(20)의 상면과 하면만이 서로 접한 상태에서 겹쳐 쌓여진다. 수지블록(8)의 높이가 1장의 박판형상의 물품을 안전하게 수용하기 위한 수용 높이(Hl)로 되어 있고, 매엽반송용 트레이(1)의 외부 프레임(2)의 다른 부분 및 가로대(4)는 겹쳐 쌓았을 때에 상하의 트레이(1)와는 접촉하지 않는다. 이것으로부터, 매엽반송용 트 레이(1)는 수지블록(8)에 의해 규정되는 높이, 즉 수용 높이(H1)를 피치로 해서 겹쳐 쌓여진다.
매엽반송용 트레이(1)가 수지블록(8)에 의해서 규정되는 수용 높이(H1)의 피치로 겹쳐 쌓여질 때, 하측의 트레이(1)의 외부 프레임(2)에, 위로부터 적재된 다른 트레이(1)의 외부 프레임(2)이 들어간다. 들어간 상측의 트레이(1)의 내측평탄부(12)의 하면으로부터 하측의 매엽반송용 트레이(1)의 내측평탄부(12)의 하면까지의 거리를 13a라고 하면, 여기서 나타내어지는 높이(13a)가 수지블록(8)의 높이(H1)와 같은 것은 분명하다. 그리고, 하측의 트레이(1)의 경사부(13)에 위로부터 적재된 다른 트레이(1)의 경사부(13)가 들어가는 높이, 즉 수용부(13b)의 높이는 경사부(13)의 높이(H)로부터 수용 높이(H1)을 뺀 높이(H2)가 된다.
겹쳐 쌓여지는 매엽반송용 트레이(1)의 장수가 1장 늘어날 때마다 필요하게 되는 높이의 증가분은, 경사부의 높이(H)에 관계없이 적층의 피치인 수용 높이(H1)이다. 예를 들면, 경사부의 높이(H), 수용 높이(H1), 수용부의 높이(H2)의 매엽반송용 트레이(1)를 n장 겹쳐 쌓았을 경우의 전체의 높이는, 이하에 나타내는 식1로 나타내어진다.
H1×n+H2 ····(식1) n장의 매엽반송용 트레이(1)를 겹쳐 쌓았을 경우에, 전체의 높이에 가장 영향을 미치는 높이는, 매수에 비례하는 부분의 적층의 피치 즉 수용 높이(H1)인 것은 위의 식으로부터 분명하다. 가령, 외부 프레임(2)의 강도를 높게 하기 위해서 경사부의 높이(H)를 길게 한 매엽반송용 트레이(1)를 겹쳐 쌓았다고 해도, 전체 높이에 대한 경사부(13)의 높이의 변경의 영향은 1장분의 수용부(13b)의 높이(H2)만큼이며, 전체의 높이에 대한 영향은 약간이다. 이렇게, 본 실시예의 매엽반송용 트레이(1)는 하측의 트레이(1)의 경사부(13)에, 위로부터 적재된 다른 트레이(1)의 경사부(13)가 들어가는 수용부(13b)가 설치됨으로써, 가령 경사부(13)의 높이를 변경했을 경우여도, 평소보다 작은 피치로 겹쳐 쌓을 수 있게 되어 있다.
상술한 바와 같이, 본 실시예의 매엽반송용 트레이(1)가 상하방향으로 겹쳐 쌓여져 있을 때, 상하의 매엽반송용 트레이(1)의 사이에서는 수지블록(8)만이 접촉되어 있고, 외부 프레임(2)과 가로대(4)는 다른 매엽반송용 트레이(1)와 전혀 접촉하지 않는다. 수지블록(8)은 UPE로 형성되어 있기 때문에 접촉에 의해서도 먼지가 발생하지 않는다. 또 외부 프레임(2)과 가로대(4)는 다른 매엽반송용 트레이(1)와 접촉하지 않기 때문에 먼지를 발생시키지 않는다. 이렇게, 본 실시예의 매엽반송용 트레이(1)는 겹쳐 쌓아도 먼지가 발생하지 않아서, 박판형상의 물품을 오염시키지 않는다.
또한, 본 실시예의 매엽반송용 트레이(1)는 위에 쌓여진 매엽반송용 트레이(1)의 하중을 수지블록(8)이 지지하는 구성으로 되어 있고, 외부 프레임(2)에는 상측의 매엽반송용 트레이(1)의 하중이 가해지는 일이 없다. 이 때문에 외부 프레임(2)은 자기의 중량과, 적재한 박판형상의 물품의 중량을 지지할 수 있는 강도를 갖추고 있으면 되고, 외부 프레임(2)에 의해서 위에 쌓여진 매엽반송용 트레이(1)를 지지하는 구성을 채용한 경우와 비교하면, 요구되는 강도는 작다. 이 때문에 외부 프레임(2)에 요구되는 강도를 용이하게 얻을 수 있고, 경량화를 도모할 수 있다.
이상 서술한 바와 같이, 본 실시예의 매엽반송용 트레이(1)의 외부 프레임(2)은 그 단면형상이 플랜지(14), 이보다 조금 높은 외측평탄부(11), 이것에 연속해서 하강하는 경사부(13), 이 경사부(13)의 하방에 연속하는 내측평탄부(12)로 형성되어 있고, 경사부(13)의 높이를 적절히 조정함으로써 외부 프레임(2)에 요구되는 강도를 용이하게 얻을 수 있다.
또한, 본 실시예의 매엽반송 트레이(1)는 경사부(13)의 일부가 상방으로부터 다른 트레이가 들어가기 위한 수용부(13b)로서 기능하고 있다. 이것에 의해, 가령 경사부(13)의 높이를 길게 했을 경우여도, 실제로 복수의 트레이(1)를 겹쳐 쌓았을 경우에는 경사부(13)의 높이보다 작은 수용 높이(H1)를 상하의 피치로 할 수 있고, 보다 작은 공간에서 많은 트레이를 보관할 수 있다.
또한, 상하의 매엽반송용 트레이(1)의 접촉부가 되는 수지블록(8)과 외부 프레임(2)을 다른 소재로 따로 형성하고나서 고정하는 구성을 갖춤으로써, 본 실시예의 매엽반송용 트레이(1)는 먼지를 발생시키기 어려운 접촉부(8)를 용이하게 가공하여, 형성할 수 있다. 외부 프레임(2)의 소재에는, 강도를 중시한 소재를 적용할 수 있게 되어, 외부 프레임(2)의 소재를 선택하는 자유도를 넓힐 수 있다.
이상, 실시예에 있어서 본 발명의 구체예를 상세하게 설명했지만, 이들은 예시에 지나지 않고, 특허청구의 범위를 한정하는 것은 아니다. 특허청구의 범위에 기재된 기술에는, 이상에 예시한 구체예를 다양하게 변형, 변경한 것이 포함된다. 예를 들면, 실시예에 있어서의 외부 프레임(2)의 장변부재(2a)와 단변부재(2b)의 접합방법이나 접합 개소, 외부 프레임(2)과 가로대(4)의 접합방법이나 접합 개소 는, 탑재되는 박판형상의 물품의 크기나 중량에 맞추어서 적절히 변경할 수 있다. 또한, 외부 프레임(2)의 형상이나 수지블록(8)의 형상이나 배치를, 작용 효과를 손상하지 않는 범위에서 변경할 수 있다.
본원 발명에 의해, 겹쳐 쌓았을 때의 상하의 피치를 작게 할 수 있기 때문에 작은 공간에서 많은 트레이를 보관할 수 있는 매엽반송용 트레이가 제공된다. 또한, 외부 프레임에 요구되는 강도를 용이하게 얻을 수 있다.
본원 발명에 의해, 강도를 중시해서 외부 프레임의 재질을 선택할 수 있음과 아울러, 공작물의 오염을 방지할 수 있는 매엽반송 트레이가 제공된다.
본원 발명에 의해, 상방으로부터 다른 트레이가 들어가는 수용부를 용이하게 형성할 수 있다.
Claims (3)
- 복수 겹쳐 쌓은 상태로 보관할 수 있는 매엽반송용 트레이로서, 외부 프레임 사이에 가로대를 걸침으로써 공작물 적재부를 형성함과 아울러, 외부 프레임에 상방으로부터 다른 트레이가 들어가는 수용부를 설치한 것을 특징으로 하는 매엽반송용 트레이.
- 제 1항에 있어서, 외부 프레임의 상하의 트레이와의 접촉부를 다른 부분에 비해서 먼지의 발생이 적은 수지블록으로 구성하고, 수용부에 있어서는 상하의 트레이가 접촉하지 않도록 한 것을 특징으로 하는 매엽반송용 트레이.
- 제 1항에 있어서, 상방으로부터 다른 트레이가 들어가는 수용부를, 상방을 향해서 넓어지는 경사면으로 구성한 것을 특징으로 하는 매엽반송용 트레이.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JPJP-P-2005-00214156 | 2005-07-25 | ||
JP2005214156A JP2007035761A (ja) | 2005-07-25 | 2005-07-25 | 枚葉搬送用トレイ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20070013190A true KR20070013190A (ko) | 2007-01-30 |
Family
ID=37673062
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020060010432A KR20070013190A (ko) | 2005-07-25 | 2006-02-03 | 매엽반송용 트레이 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007035761A (ko) |
KR (1) | KR20070013190A (ko) |
CN (1) | CN1903667A (ko) |
TW (1) | TW200720156A (ko) |
-
2005
- 2005-07-25 JP JP2005214156A patent/JP2007035761A/ja active Pending
-
2006
- 2006-02-03 KR KR1020060010432A patent/KR20070013190A/ko not_active Application Discontinuation
- 2006-06-13 TW TW095120987A patent/TW200720156A/zh not_active IP Right Cessation
- 2006-07-25 CN CNA2006101074652A patent/CN1903667A/zh active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW200720156A (en) | 2007-06-01 |
CN1903667A (zh) | 2007-01-31 |
JP2007035761A (ja) | 2007-02-08 |
TWI353951B (ko) | 2011-12-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4182521B2 (ja) | 容器の一時的搬入、留置、搬出用装置 | |
JP5168594B2 (ja) | 基板搬送設備 | |
KR102397716B1 (ko) | 물품 반송 장치 | |
KR20070013189A (ko) | 매엽반송용 트레이 | |
JP2009184687A (ja) | ワーク搬送用トレイ | |
JP2010241547A (ja) | 走行車システム | |
KR100965526B1 (ko) | 매엽반송용 트레이 | |
KR20070013190A (ko) | 매엽반송용 트레이 | |
KR102189288B1 (ko) | 다이 본딩 장치 | |
KR20070013187A (ko) | 매엽반송용 트레이 및 트레이 매거진 | |
JP2010235213A (ja) | 走行車システム | |
JP2006319005A (ja) | 液晶ガラス基板の枚葉搬送トレー | |
KR102189275B1 (ko) | 이송 로봇 및 이를 포함하는 이송 장치 | |
JP4407587B2 (ja) | 枚葉搬送用トレイ | |
JP4858045B2 (ja) | 板状物の受け取り方法および板状物の受け取り装置 | |
JP2007201341A (ja) | 枚葉搬送用トレイ | |
JP2007200959A (ja) | 枚葉搬送用トレイ | |
KR20080050285A (ko) | 매엽 반송용 트레이 | |
JP5157787B2 (ja) | 搬送システム | |
JP4557619B2 (ja) | トレイ段積み装置及びそれを用いた段積みトレイの移し替え方法 | |
JP7443151B2 (ja) | 搬送システム | |
JP6995027B2 (ja) | ウエハカセット | |
WO2023182115A1 (ja) | 基板処理装置 | |
JP2007191240A (ja) | トレイの搬送コンベヤ | |
KR20160066213A (ko) | 그립부 지지유닛 및 이를 갖는 캐리어 이송 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E601 | Decision to refuse application |