KR20070013187A - 매엽반송용 트레이 및 트레이 매거진 - Google Patents

Abstract

박판 형상의 물품을 1장씩 적재하여, 복수 쌓기 올린 상태로 보관할 수 있는 매엽반송용 트레이로서, 쌓아 올려진 경우에도 트레이에 유래하는 먼지가 발생하지 않는 매엽반송용 트레이와, 이 트레이를 유지하는 트레이 매거진을 제공한다.

매엽반송용 트레이(1)의 상하의 적층부의 소정 위치에 상하로 관통하는 흡인구멍(20a)을 형성했다. 또한, 상하의 적층부를 클린 대책 재료로 이루어지는 수지블록(8)으로 구성했다. 또한 이들 매엽반송용 트레이(1)를 쌓아 올린 상태로 유지하는 트레이 매거진에는, 그 최하단 또는 최상단의 트레이의 흡인구멍(20a)으로부터 흡인하도록 하였다.

Description

매엽반송용 트레이 및 트레이 매거진{TRAY FOR CONVEYING SINGLE WAFER AND TRAY MAGAZINE}

도 1은 실시예의 매엽반송용 트레이(1)의 개요를 설명하는 사시도이다.

도 2는 실시예의 외부 프레임(2)을 구성하는 부재의 사시도이다.

도 3은 실시예의 외부 프레임(2)을 구성하는 부재 단부의 사시도이다.

도 4는 실시예의 수지블록(8)의 사시도이다.

도 5는 실시예의 수지블록(8)이 고정된 장변부재(2a)의 단면도이다.

도 6은 실시예의 장변부재(2a)에 고정된 수지블록(8)의 측면도이다.

도 7은 실시예의 접합부재(10)의 사시도이다.

도 8은 실시예의 가로대(4)의 일단부의 확대도이다.

도 9는 실시예의 접합부재(6)의 사시도이다.

도 10은 실시예의 매엽반송용 트레이(1)를 상하방향으로 복수장 겹친 상태를 모식적으로 나타내는 사시도이다.

도 11은 실시예의, 매엽반송용 트레이를 적재하는 트레이 매거진과, 매엽반송용 트레이를 들어 올리는 파지장치의 설명도이다.

도 12는 실시예의 매엽반송용 트레이(1)를 적용한 반송 시스템의 일형태를 모식적으로 나타내는 정단면도이다.

도 13은 실시예의 매엽반송용 트레이(1)를 파지장치(34)의 클로(35)가 지지하는 형태를 모식적으로 나타내는 정단면도이다.

도 14는 실시예의 매엽반송용 트레이(1)의 수지블록(8)을 파지장치(34)의 클로(35)가 지지하는 형태를 모식적으로 나타내는 측면도이다.

도 15는 쌓아 올려진 매엽반송용 트레이가 들어 올려질 때의, 흡인구멍의 기능을 설명하는 도면이며, 매엽반송용 트레이는 수지블록 이외를 생략해서 나타내고 있다.

도 16은 실시예의 매엽반송용 트레이(1)의 플랜지(14)를 컨베이어(33)가 지지하는 형태를 모식적으로 나타내는 정단면도이다.

(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)

1 : 매엽반송용 트레이 2 : 외부 프레임

2a : 장변부재 2b : 단변부재

4 : 가로대 6 : 접합부재

8 : 수지블록 10 : 접합부재

11 : 외측평탄부 12 : 내측평탄부

13 : 경사부 14 : 플랜지

15a,15b : 블록 설치구멍 16,18 : 접합구멍

17 : 가로대 설치구멍 19 : 공간

20 : 본체부 20a : 수지블록의 흡인구멍

21 : 볼록부 22 : 오목부

23 : 피지지부 24,27 : 외부프레임 설치구멍

25 : 부착부 26 : 돌출부

28 : 적재 핀 29 : 위치 결정 핀

31 : 트레이 매거진 31a : 승강대

32 : 수용시트 33a : 돌기부

33 : 컨베이어 34 : 파지장치

35 : 클로 36,37 : 매거진측 흡인구멍

본 발명은, 박판 형상의 물품을 1장씩 적재해서 반송하는 트레이에 관한 것이다. 특히, 반송시에 트레이로부터 먼지가 발생하지 않고, 반송하는 박판 형상의 물품(매엽)을 오염시키는 일이 없는 매엽반송용 트레이에 관한 것이다.

예컨대 박형 표시장치의 제조공정 등에 있어서, 유리기판으로 대표되는 박판 형상의 물품을 반송하는 기술이 필요로 되고 있다. 박판 형상의 물품은 비틀림이나 휨 등의 변형이 발생하기 쉽고, 반송중에 변형이 원인으로 되어 주위에 접촉해서 표면에 상처가 나거나, 파손될 우려가 있다. 이 때문에 반송에는, 박판 형상의 물품을 변형시키지 않고 적재할 수 있는 전용의 용기가 이용된다.

박판 형상의 물품을, 1장씩 개별 용기에 적재해서 반송함으로써, 반송중의 물품의 변형을 방지할 수 있다. 그러나 이러한 반송 형태에서는, 반송 도중에 일시 보관을 행할 경우에, 보관 공간을 넓게 차지해 버린다는 문제가 있었다. 또한, 다른 장소에 통합해서 이송하고 싶은 경우에도 수고가 든다는 문제가 있었다.

그래서, 박판 형상의 물품을 개별적으로 적재할 수 있고, 또한 일시 보관이나 다른 장소로의 이송시에는 용기끼리를 쌓아 올릴 수 있는 용기가 고안되었다. 그러나, 이들 용기에는, 용기 내에 먼지가 축적되거나, 쌓아 올릴 때에 자신으로부터 먼지가 발생해서 적재한 물품을 오염시켜 버린다는 문제가 발생했다. 또한, 쌓아 올려진 경우의 전체의 중량이 무거워지고, 보관이나 운반이 불편하다는 문제가 있었다.

이러한 문제점을 극복하기 위하여, 박판 형상의 물품을 반송하기 위해서, 복수장의 물품을 한번에 수용하는 카세트가 고안되었다. 그러나, 이러한 카세트를 이용하여 장치간의 반송을 행하는 경우에는, 물품을 투입하는 각 장치의 입구에, 박판 형상의 물품을 카세트로부터 취출하여 투입하기 위한 전용의 투입 로봇이 필요하게 되었다.

박형 표시장치 등은, 클린룸 내에서 제조되는 일이 많고, 클린룸 내의 반송이 필요하게 된다. 클린룸 내의 각 제조장치에 유리기판을 투입하기 위해서는, 먼지의 발생이 매우 적고, 또한 무인운전이 가능한 클린룸 대응의 투입 로봇이 필요하게 된다. 이러한 투입 로봇은 매우 고가이며, 반송 시스템의 도입 비용의 증대를 초래하고 있었다.

또한, 최근, 박형 표시장치의 급격한 대형화가 진행되고 있고, 표시장치에 사용되는 대형의 유리기판의 중량은 1장이 몇십 킬로그램이나 되어 있다. 또한, 대 형의 유리기판을 수용하는 카세트에는 상당한 강도가 요구되고 있기 때문에, 카세트 자체의 중량이 커지고 있다. 통상, 반송에는 20장~40장의 유리기판을 수용해서 한번에 반송하는 상자형상의 카세트가 사용되고 있지만, 유리기판을 수용한 카세트의 총중량은 1톤을 초과하는 경우가 있다.

대형화해서 무거운 유리기판을 투입하기 위한 로봇이, 더욱 고가의 것으로 되고 있을 뿐만 아니라, 총중량이 1톤 전후의 카세트를 공정과 공정 사이에서 반송하기 위해서는 크레인이 필요하게 되어 있다. 이들 설비가 필요하기 때문에, 카세트를 사용하는 반송 시스템에서는, 반송하는 물품의 대형화에 따라 현저하게 시스템의 도입 비용이 증대되어, 문제가 되고 있다.

또한, 1톤 전후의 카세트를 인력으로 반송하는 것이 매우 곤란하므로, 투입 로봇이나 크레인이 조정이나 수리를 위해 정지했을 때, 유리기판의 반송이 중단되버릴 가능성이 생겼다. 이 때문에, 종래의 반송 시스템에 있어서는, 투입 로봇이나 크레인의 정지에 의해 박형 표시장치의 제조공정이 정지되어 버려, 제조공정 전체의 가동률 저하를 초래할 우려가 있다.

본원 발명은, 상기 종래기술의 문제점을 감안하여 이루어진 것으로서, 박판 형상의 물품을 1장씩 적재하여, 반송하고, 복수장 쌓아 올린 상태로 보관할 수 있는 매엽반송용 트레이로서, 쌓아 올려진 경우에도 먼지의 발생에 의해 물품을 오염시킬 일이 없고, 임의적인 취출에 대응가능하며, 또한 경량화된 매엽반송용 트레이를 제공하는 것을 과제로 하고 있다.

청구항1의 발명은, 복수 쌓아 올려진 상태로 보관할 수 있는 매엽반송용 트레이로서, 상하의 적층부의 소정 위치에 상하로 관통하는 흡인구멍을 형성한 것을 특징으로 한다.

청구항2의 발명은, 청구항1에 기재된 매엽반송용 트레이로서, 상하의 적층부를 수지블록으로 구성한 것을 특징으로 한다.

청구항3의 발명은, 청구항1에 기재된 매엽반송용 트레이를 쌓아 올린 상태로 유지하는 트레이 매거진으로서, 최하단 또는 최상단의 트레이의 흡인구멍으로부터 흡인하는 것을 특징으로 한다.

이하에 발명을 실시하기 위한 최선의 형태를 열기한다. (형태1) 매엽반송용 트레이는, 4개의 판형상부재를 대략 직사각형으로 접합함으로써 구성된 외부 프레임의 사이에, 복수의 가로대를 걸쳐서 가설함으로써 박판 형상의 물품의 적재부가 형성되어 있다. (형태2) 대략 직사각형의 외부 프레임은, 외측평탄부와 외측평탄부보다 낮은 위치에 설치된 내측평탄부를 구비하고 있고, 외측평탄부와 내측평탄부의 사이에 경사부가 설치되어 있다. 복수개의 수지블록이, 외측평탄부의 4변 전체에 부착되어 있다. (형태3) 수지블록에는, 클린 대책 재료로서, 내마모성이 높고, 기계적인 강도에 우수하기 때문에 먼지가 발생하기 어려운 수지인 초고분자량(고밀도) 폴리에틸렌(UPE)이 사용된다. (형태4) 수지블록의 상면은, 외부 프레임의 외측평탄부의 상면보다 높은 위치에 있고, 수지블록의 하면은, 외측평탄부의 하면보다 낮은 위치에 있다. 상하방향으로 매엽반송용 트레이를 다단으로 쌓아 올린 상태에 서는, 각각의 수지블록의 상면과 하면이 접하고 있고, 수지블록이 매엽반송용 트레이의 중량을 지지한다. (형태5) 수지블록의 상면에는 볼록부가 형성되어 있고, 수지블록의 하면에는 오목부가 형성되어 있다. 하면의 오목부는, 상면의 볼록부에 대응한 형상을 갖고 있다. 상하방향으로 겹친 매엽반송용 트레이의 수지블록의 볼록부와 오목부를 끼워맞춤으로써, 매엽반송용 트레이의 위치 결정 고정이 이루어진다. (형태6) 수지블록의 피지지부가, 외측평탄부의 하면을 따라 수지블록의 좌우로 넓혀져 있다. 파지장치의 클로가 수지블록의 피지지부를 지지함으로써 매엽반송용 트레이를 들어 올릴 수 있다. (형태7) 매엽반송용 트레이가 복수 쌓기 올려져 적재되는 장소(예컨대 「수용시트」. 도 12의 부호32 참조)에는, 수지블록 등의 적층부의 흡인구멍에 연통하는 매거진측 흡인구멍이 형성되어 있고, 이 매거진측 흡인구멍이 흡인 펌프 등에 의해 흡인시켜 둠으로써, 최하단의 매엽반송용 트레이의 흡인구멍에 대한 흡인원으로 할 수 있다. (형태8) 또한 최상단의 매엽반송용 트레이에 대한 흡인원은, 복수 쌓아 올려진 매엽반송용 트레이의 상방에 형성된 매거진측 흡인구멍이다. 그리고, 이 복수장 매엽반송용 트레이의 높이 변화에 추종할 수 있게 형성된 것이다. 그 구성의 형태예로서는, 이 매거진측 흡인구멍을 트레이측 흡인구멍의 상방에 형성할 때에는, 상하 이동 가능하게 형성함과 아울러 하방으로 밀린 상태에서 아랫방향으로 형성하는 것이다. 그리고, 하방의 복수의 매엽반송용 트레이가, 승강됨으로써, 그 최상단도 승강하지만, 이것에 의해 최상단의 매엽반송용 트레이는, 그 흡인구멍이 상방에 있는 매거진측 흡인구멍에 아래에서부터 가압되고, 이것에 의해 매엽반송용 트레이의 흡인구멍을 흡인할 수 있게 되는 것이다.

[실시예]

이하, 본 발명을 적용한 매엽반송용 트레이(이하, 트레이라고도 말함)의 실시예를, 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다. 도 1은, 본 발명에 의한 매엽반송용 트레이의 일실시예의 구성을 나타내는 사시도이다.

본 실시예에 있어서의 매엽반송용 트레이(1)는, 외부 프레임(2)과, 외부 프레임(2)의 대향하는 변의 사이에 걸쳐진 복수의 가로대(4)와, 외부 프레임용 부재의 접합부 근방에서 서로 이웃하는 부재의 사이에 경사지게 걸쳐지는 접합부재(6)를 구비하고 있다.

외부 프레임(2)은, 2개의 장변부재(2a)와 2개의 단변부재(2b)로 구성된다. 본 실시예에 있어서의 장변부재(2a)와 단변부재(2b)에는 일정한 판두께의 SUS304가 사용되고 있고, 판금가공에 의해 동일한 단면형상이 되도록 가공되어 있다.

도 2와 도 3에, 장변부재(2a)와 단변부재(2b)를 나타낸다. 장변부재(2a)와 단변부재(2b)는, 외측평탄부(11)와, 외측평탄부(11)보다 낮은 위치에 형성되는 내측평탄부(12)를 구비하고 있고, 외측평탄부(11)와 내측평탄부(12) 사이에 경사부(13)가 설치되어 있다. 경사부(13)는, 외부 프레임(2)이 형성되었을 때에 상방으로 향해 넓혀진 콘 형상으로 되도록 각도가 붙여져 있다. 또한, 외측평탄부(11)의 외측에는 플랜지(14)가 설치되어 있다.

이 경사부(13)의 높이는, 1장의 박판 형상의 물품을 안전하게 수용하기 위해 필요한 수용 높이를 초과한 길이로 되어 있다. 그 길이는, 장변부재(2a)와 단변부재(2b)가 직사각형의 외부 프레임(2)으로서 조합된 경우에, 외부 프레임(2)의 평면 을 유지하기 위해 필요한 강도를 유지할 수 있는 길이로 설정되어 있고, 외부 프레임(2)의 형상이 대형화된 경우에는, 외부 프레임(2)을 강화하기 위해 경사부(13)의 높이는 더욱 길어진다.

장변부재(2a)와 단변부재(2b)를 접합함으로써, 본 실시예의 외부 프레임(2)이 형성된다. 본 실시예의 외부 프레임(2)은, 그 단면형상이, 상술한 바와 같이, 플랜지(14), 이보다 조금 높은 외측평탄부(11), 이것에 연속해서 하강하는 경사부(13), 이 경사부(13)의 하방으로 연속하는 내측평탄부(12)로 형성된다. 형성된 외부 프레임(2) 단체(單體)의 높이는, 경사부(13)의 높이에 의해 결정되지만, 복수장의 매엽반송용 트레이(1)를 쌓아 올릴 경우에는, 이 경사부(13)를 이용해서 보다 작은 피치로 쌓아 올릴 수 있게 되므로, 쌓아 올림 높이를 그다지 높지 않게 할 수 있다.

본 실시예에 있어서의 장변부재(2a)와 단변부재(2b)에는, 외측평탄부(11)에, 수지블록(8)을 부착하기 위한 블록 설치구멍(15a,15b)이 1부재에 각각 2개소씩 형성되어 있다. 또한, 각각의 부재의 외측평탄부(11)의 단부에는, 부재끼리를 접합하기 위한 접합구멍(16)이 3개씩 형성되어 있다. 내측평탄부(12)에는, 가로대(4)를 접합하기 위한 가로대 설치구멍(17)이 형성되어 있다.

도 4에, 장변부재(2a)와 단변부재(2b)에 부착되기 전의 수지블록(8)의 사시도를 나타낸다. 수지블록(8)은, 대략 직육면체의 본체부(20)의 상면에 볼록부(21)가 형성되어 있고, 수지블록의 하면에는 오목부(22)가 형성되어 있다. 또한 이 본체부(20)에는 그 상면으로부터 하면으로 관통하는 흡인구멍(20a)이 평면에서 봐서 사각형인 본체부의 네 코너 부근에 형성되어 있다. 또한, 본체부(20)의 높이는, 1장의 박판 형상의 물품을 안전하게 수용하기 위한 수용 높이와 같게 되도록 형성되어 있다.

본 실시예에 있어서의 수지블록(8)의 볼록부(21)는, 원추대 형상으로 형성되어 있다. 하면의 오목부(22)는, 상면의 볼록부(21)에 대응한 형상을 갖고 있다. 본체부(20)의 우측면과 좌측면에는, 파지장치와의 접촉부로 되는 피지지부(23)가 신장되어 있다. 피지지부(23)에는, 장변부재(2a) 또는 단변부재(2b)에 수지블록(8)을 고정하기 위한 외부 프레임 설치구멍(24)이 관통되어 있다.

수지블록(8)은, 상하로 쌓아 올려지는 매엽반송용 트레이(1)와의 접촉부가 되기 때문에, 클린 대책 재료로 형성되는 것이 바람직하다. 본 실시예에 있어서의 수지블록(8)은, 내마모성이 높고, 기계적인 강도가 우수한 초고분자량(고밀도) 폴리에틸렌(UPE)으로 형성되어 있다. 수지블록(8)은, 블록끼리가 접촉해도 마모되지 않고, 먼지를 발생하는 일이 없기 때문에, 반송하는 박판 형상의 물품이 오염되지 않는다.

수지블록(8)은, 외부 프레임(2)에, 리벳 또는 나사에 의해 고정되어 있다. 도 5와 도 6은, 수지블록(8)이 장변부재(2a)에 리벳 또는 나사에 의해 고정된 상태를 모식적으로 나타내는 도면이다. 도 5는, 장변부재(2a)의 길이방향의 단면도를 나타내고 있고, 도 6은, 장변부재(2a)의 측면도를 나타내고 있다. 수지블록(8)은, 피지지부(23)의 상면이 장변부재(2a)의 외측평탄부의 하면에 접촉되어, 블록 설치구멍(15a)으로부터 볼록부(21)와 본체부(20)의 상부가 돌출한 상태로 고정되어 있 다.

외부 프레임(2)에 고정된 수지블록(8)은, 본체부(20)의 상면이, 장변부재(2a)의 외측평탄부(11)보다 높게 되어 있다. 또한, 본체부(20)의 하면은, 외측평탄부(11)에 설치된 플랜지(14)의 하면보다 낮게 되어 있다. 이러한 배치를 채용함으로써, 상하방향으로 매엽반송용 트레이(1)를 다단으로 쌓아 올리면, 각각의 트레이의 수지블록(8)의 본체부(20)의 상면과 하면이 서로 접하게 되고, 매엽반송용 트레이(1)는, 1장의 박판 형상의 물품을 안전하게 수용하기 위한 수용 높이를 피치로 하여 쌓아 올려진다. 또한 이렇게 쌓아 올리면, 본체부(20)에 형성되어 있는 4개의 흡인구멍(20a)은, 상하에 인접하는 다른 수지블록의 흡인구멍(20a)과 연통하게 된다. 즉 복수 쌓아 올려진 매엽반송용 트레이는, 그 최상단에서 최하단까지 관통하게 하여, 그들의 흡인구멍(20a)이 연통하게 되는 것이다. 또한 이 때, 매엽반송용 트레이(1)의 중량은, 수지블록(8)에 의해 지지되어 있다.

상하의 트레이의 접촉부가 되는 수지블록(8)과 외부 프레임(2)을 다른 소재로 각각 형성하고나서 고정하는 구성을 취함으로써, 본 실시예의 매엽반송용 트레이(1)는, 접촉부(8)를 용이하게 가공하여, 형성할 수 있다. 또한, 외부 프레임(2)의 소재에 클린 대책 재료 이외의 것을 적용할 수 있게 되고, 외부 프레임(2)의 소재를 선택하는 자유도를 넓힐 수 있다.

외부 프레임(2)의 구성에 대해서 더욱 설명한다. 장변부재(2a)와 단변부재(2b)는, 도 7에 나타내는 L자형의 접합부재(10)를 이용하여 접합되어 있다. 본 실시예에 있어서의 접합부재(10)에는, L자형의 각각의 변에 3개씩 합계 6개의 접합구 멍(18)이 형성되어 있다. 접합구멍(18)끼리의 상대 위치는, 장변부재(2a)와 단변부재(2b)의 접합구멍(16)의 구멍끼리의 상대 위치 관계와 동일하게 되도록, 배치되어 있다.

접합부재(10)의 한 변은, 장변부재(2a)의 단부에 겹쳐진다. 장변부재(2a)의 접합구멍(16)과 접합부재(10)의 접합구멍(18) 양쪽을 관통하도록 블라인드 리벳이 박아져, 장변부재(2a)와 접합부재(10)가 리벳 접합된다. 접합부재(10)의 타변은, 단변부재(2b)의 단부에 겹쳐진다. 단변부재(2b)의 접합구멍(16)과 접합부재(10)의 접합구멍(18) 양쪽을 관통하도록 블라인드 리벳이 박아져, 단변부재(2b)와 접합부재(10)가 블라인드 리벳 접합된다. 2개의 장변부재(2a)와 2개의 단변부재(2b)가 4개의 접합부재(10)를 이용하여 블라인드 리벳 접합되어서, 대략 직사각형의 외부 프레임(2)이 형성된다.

블라인드 리벳 접합에 의해 형성된 외부 프레임(2)은, 장변부재(2a)와 단변부재(2b)의 접합부의 상부에, 공간(19)(도 1 참조)이 형성되어 있다. 공간(19)이 형성되어 있음으로써, 접합부에 먼지가 머물 일이 없고, 또한 외부 프레임(2)의 세정과 건조를 용이하게 행할 수 있다. 즉 공간(19)을 형성함으로써, 외부 프레임(2)의 접합부에 먼지가 축적되지 않게 되어, 적재되는 박판 형상의 물품의 오염을 미연에 방지하는 효과가 얻어진다.

본 실시예의 매엽반송용 트레이(1)는, 외부 프레임(2)의 대향하는 단변부재(2b)의 사이에, 복수의 가로대(4)가 걸쳐져서, 박판 형상의 물품의 적재부가 형성되어 있다. 가로대(4)에는 일정한 판두께의 SUS304가 사용되고 있고, 판금가공에 의해 소정의 단면형상을 가지도록 가공되어 있다.

가로대(4)의 일단부의 확대도를 도 8에 나타낸다. 가로대(4)는, 양측에 외부 프레임(2)으로의 평탄한 부착부(25)가 형성되어 있고, 평탄부의 사이에 상방으로 돌출하는 돌출부(26)가 형성되어 있다. 부착부(25)의 단부에는, 외부 프레임(2)에 접합하기 위한 외부프레임 설치구멍(27)이 형성되어 있다. 돌출부(26)에는, 박판 형상의 물품을 지지하기 위한 복수의 적재 핀(28)이 고정되어 있다.

적재 핀(28)은 내마모성이 높은 초고분자량(고밀도) 폴리에틸렌(UPE)으로 형성되어 있고, 박판 형상의 물품을 반복해서 탑재하더라도, 마모에 의한 먼지가 발생하지 않고, 박판 형상의 물품이 오염되지 않는다.

가로대(4)의 외부프레임 설치구멍(27)과, 외부 프레임(2)의 가로대 설치구멍(17)을 관통하도록 리벳이 박아져서, 외부 프레임(2)과 가로대(4)가 리벳 접합되어 있다. 가로대(4)가 돌출부(26)를 구비하고 있으므로, 가로대(4)는 외부 프레임(2)에 대해서 양단에 개구부를 가진 상태로 접합되어 있다. 이 때문에 외부 프레임(2)과 가로대(4)의 접합부에 먼지가 축적되기 어렵고, 또한 매엽반송용 트레이(1)를 세정할 때에 가로대(4)의 부분의 세정과 건조를 용이하게 행할 수 있다.

또한, 가로대(4)는, 돌출부(26)가 형성되어 있으므로, 평판의 부재를 이용한 경우보다 빔 강도가 향상되어 있다. 이 때문에, 가로대(4)에는 더욱 판두께가 얇은 소재를 사용할 수 있게 되어 있어, 가로대(4)의 경량화가 도모되어 있다.

접합부재(6)는, 매엽반송용 트레이(1)에 탑재되는 박판 형상의 물품의 위치 결정과, 외부 프레임(2)의 코너부의 보강을 위해서, 외부 프레임(2)의 코너부 근방 의 장변부재(2a)와 단변부재(2b) 사이에, 경사지게 걸쳐져 있다. 접합부재(6)의 사시도를 도 9에 나타낸다. 접합부재(6)는, 가로대(4)와 마찬가지로 돌출부(26)가 형성되어 있고, 돌출부 상에, 박판 형상의 물품을 지지하기 위한 적재 핀(28)과, 박판 형상의 물품의 코너부를 접촉하여 적재 위치의 위치 결정을 행하기 위한 2개의 위치 결정 핀(29)이 고정되어 있다.

접합부재(6)의 위치 결정 핀(29)은, 박판 형상의 물품의 코너 위치를 정하기 위해서 설치되어 있고, 실제의 박판 형상의 물품의 치수에 대해서 편측에서 2밀리미터로~3밀리미터의 간극을 확보할 수 있게 배치되어 있다. 위치 결정 핀(29)은, 내마모성이 높은 초고분자량(고밀도) 폴리에틸렌으로 형성되어 있고, 박판 형상의 물품이 위치 결정을 위해 반복해서 접촉하더라도, 마모에 의한 먼지가 발생하지 않아, 박판 형상의 물품이 오염되지 않는다.

도 10에, 매엽반송용 트레이(1)를 상하방향으로 복수장 겹친 상태를 모식적으로 나타낸다. 매엽반송용 트레이(1)는, 외부 프레임(2)의 경사부(13)를 이용함으로써, 1장의 박판 형상의 물품을 안전하게 수용하기 위해 필요한 수용 높이를 상하의 피치로 하여 쌓아 올려져 있고, 작은 공간에서 많은 트레이를 보관할 수 있게 되어 있다. 매엽반송용 트레이(1)는, 모든 수지블록(8)의 볼록부(21)와 오목부(22)를 끼워맞춰 쌓아 올려져 있다. 볼록부(21)가 원추대 형상이기 때문에, 위로부터 쌓아지는 매엽반송용 트레이(1)가 다소 어긋나서 강하해 온 경우에도, 볼록부(21)와 오목부(22)의 정확한 끼워맞춤이 가능하다.

이와 같이 매엽반송용 트레이(1)는, 볼록부(21)와 오목부(22)를 끼워맞춤으 로써, 위치 결정되어 정확하게 쌓아 올려진다. 쌓아 올려진 상태에서는, 다소의 충격이 가해진 경우에도, 쌓아 올려진 매엽반송용 트레이(1)가 어긋나거나 떨어지거나 할 우려가 없어, 안정되게 쌓아 올려진다.

본 실시예의 매엽반송용 트레이(1)가 상하방향으로 쌓기 올려져 있을 때, 상하의 매엽반송용 트레이(1)의 사이에서는, 수지블록(8)만이 접촉되어 있고, 외부 프레임(2)과 가로대(4)는 다른 매엽반송용 트레이(1)와 전혀 접촉하지 않는다. 수지블록(8)은 초고분자량(고밀도) 폴리에틸렌수지로 형성되어 있기 때문에 접촉에 의해서도 먼지가 발생하지 않는다. 또한 외부 프레임(2)과 가로대(4)는 다른 매엽반송용 트레이(1)와 접촉하지 않으므로 먼지를 발생시키지 않는다. 이와 같이, 본 실시예의 매엽반송용 트레이(1)는 쌓아 올려도 먼지가 발생하지 않아, 박판 형상의 물품이 오염되지 않는다.

또한, 본 실시예의 매엽반송용 트레이(1)는, 위로부터 쌓아진 매엽반송용 트레이(1)의 하중을, 수지블록(8)이 지지하는 구성으로 되어 있고, 외부 프레임(2)에는, 상측의 매엽반송용 트레이(1)의 하중이 가해지는 일이 없다. 이 때문에, 외부 프레임(2)은, 자기의 중량과, 적재한 박판 형상의 물품의 중량을 지지할 수 있는 강도를 구비하고 있으면 되고, 외부 프레임(2)에 의해 위로부터 쌓아진 매엽반송용 트레이(1)를 지지하는 구성을 채용한 경우와 비교하면, 요구되는 강도는 작다. 이 때문에, 외부 프레임(2)의 판두께를 더욱 얇게 해서 경량화할 수 있게 된다.

이상의 같은 매엽반송용 트레이는, 도 11에 나타내는 트레이 매거진에 쌓아 올려져 적재되고, 트레이 매거진의 상방에 설치된 파지장치(34)에 의해, 쌓아 올려 진 매엽반송용 트레이의 상방측의 몇장이 파지되게 되어 있는 즉, 트레이 매거진(31)은, 승강가능한 승강대(31a)와, 이 승강대(31a)의 상면에 설치된 수용시트(32)를 갖고 있다. 이 수용시트(32)는, 승강대(31a)에 적재되는 매엽반송용 트레이의 수지블록을 수용하기 위한 것이고, 따라서, 매엽반송용 트레이를 이 승강대에 적재했을 때의, 외부 프레임에 설치된 수지블록을 수용하는 위치의 8개소에 설치된 것이다.

이 수용시트(32)는 상방에 세워 설치하는 돌기부(32a)를 갖고 있고, 이 돌기부(32a)의 상면이, 최하단의 매엽반송용 트레이의 수지블록을 수용하는 형태로 되어 있다(후술의 도 12 참조). 그리고 돌기부(32a) 상면은, 최하단의 수지블록의 본체부(20)의 하면과 겹쳐질 수 있는 평면으로 형성되어 있다.

또한 이 수용시트(32)에는, 그 돌기부(32a) 상면에, 트레이측의 흡인구멍에 연통하는 매거진측 흡인구멍(36)이 4개 형성되어 있고, 이 매거진측 흡인구멍은, 승강대 아래로부터 인출되어 있는 흡인 튜브와 연통하도록 구성되어 있다. 그리고 이 흡인 튜브가 도시하지 않은 흡인 펌프에 의해 흡인됨으로써, 최하단의 매엽반송용 트레이의 흡인구멍에 대한 흡인원으로 할 수 있다.

그리고, 이와 같이, 트레이 매거진(31)에 의한 흡인은, 쌓아 올려진 매엽반송용 트레이(1)의, 상하로 연속해 있는 수지블록에 연통하는 흡인구멍(20a) 전체도 흡인할 수 있는 것이다.

또한, 이와 같은 매거진측 흡인구멍은, 최하단의 매엽반송용 트레이에 연통하는 것에 한정되는 것은 아니고, 최상단측의 흡인구멍(20a)에 통과시켜도 된다. 이 경우에는, 하방향으로 된 매거진측 흡인구멍을, 승강대에 쌓아 올려진 매엽반송용 트레이의 더욱 상방에 위치하도록 설치되는 것이다(도 11의 부호37).

이 최상단용이 되는 매거진측 흡인구멍(37)은, 상하 이동할 수 있게 형성됨과 아울러 하방으로 밀린 상태에서 하방향으로 형성함으로써 구성할 수 있다.

이와 같은 구성으로 한 이유이지만, 승강대(31a)는 여러가지 높이로 상승하므로, 최상단의 매엽반송용 트레이의 높이 위치도 어느 정도의 상하폭을 가지게 되고, 이러한 높이 위치가 한결같지 않은 최상단의 매엽반송용 트레이에 매거진측 흡인구멍(37)을 연통시키고자 하기 위해서는, 상술한 바와 같이 「하방 바이어싱」을 가진 상태에서 「상하 이동 가능」하게 형성함으로써, 흡인 가능하게 되기 때문이다.

이것에 의해, 하방의 복수의 매엽반송용 트레이가, 승강되면, 그 최상단이 어떠한 높이로 상승하더라도, 이것에 의해 최상단의 트레이측 흡인구멍이, 이것에 면하는 상방의 매거진측 흡인구멍에 가압되어, 매엽반송용 트레이의 흡인구멍을 흡인할 수 있는 형태로 되는 것이다.

본 실시예의 매엽반송용 트레이(1)를 적용한 반송 시스템의 일형태를, 도 12~도 16에 나타내고, 수지블록(8)에 설치된 피지지부(23)의 작용 효과에 대해서 설명한다. 여기서는, 박판 형상의 물품을 적재해서 쌓아 올려진 매엽반송용 트레이(1) 중에서, 임의의 매엽반송용 트레이(1)를 지정해서 반출할 경우를 예로 들어서 상세한 설명을 행한다.

매엽반송용 트레이(1)는, 박판 형상의 물품을 적재해서 트레이 매거진(31)의 수용시트(32) 상에 쌓아 올려져 있다. 트레이 매거진(31)은, 도시되지 않은 반송 컨트롤러에 의해 제어되고 있고, 반송 컨트롤러가 지정한 매엽반송용 트레이(1)를, 트레이 매거진(31)의 상부에 설치된 컨베이어(33)에 이송할 수 있는 위치로 이동시킨다.

반송 컨트롤러가 반출을 지정한 매엽반송용 트레이(1) 상에, 다른 트레이(1)가 쌓아 올려져 있을 경우에는, 컨베이어(33)의 상부에 배치되어 있는 파지장치(34)가 강하하여, 지정된 매엽반송용 트레이(1) 상에 쌓아 올려져 있는 트레이(1)를 수용해서 파지하는 것이다.

파지장치(34)는, 매엽반송용 트레이(1)의 대향하는 2변에 고정되어 있는 수지블록(8)을 지지하여, 매엽반송용 트레이(1)를 들어 올릴 수 있게 파지하는 것이다. 여기서, 파지장치(34)의 클로(35)는, 도 13 및 도 14에 나타내는 바와 같이, 수지블록(8)의 피지지부(23)를 하방으로부터 지지함으로써 매엽반송용 트레이를 상대적으로 들어 올리는 것이다. 즉, 이 파지장치(34) 자신이 들어 올리는 것은 아니고, 상승한 승강대(31a)가, 소정의 매엽반송용 트레이의 파지가 이루어진 후에 강하함으로써, 파지장치(34)에 파지된 몇장의 매엽반송용 트레이는, 승강대(31a)에 대해서는, 상대적으로 들어 올려지게 되는 것이다.

이 때, 상대적으로 들어 올려진 매엽반송용 트레이(1)는, 그 1개 아래의, 들어 올려지지 않은 매엽반송용 트레이(1)로부터 위로 떨어지게 되지만, 구체적으로는, 이들 상하의 매엽반송용 트레이(1)의, 도 15에 나타내는 바와 같이, 그 수지블록(8)끼리가 떨어지는 것이다. 이것에 의해, 이들 수지블록(8) 중에 연통하고 있었 던 흡인구멍(20a)끼리도 상하로 분리되게 되는 것이다. 이 경우, 상하의 수지블록(8)의 접촉하고 있었던 면으로부터 먼지가 발생할 일이 있지만, 이 상하의 수지블록(8)이 떨어지는 직후에는 상하의 사이에는 좁은 간극(G)이 생기고, 이 간극(G)이 흡인구멍에 흡인되게 되는 것이다. 즉, 상하 2개의 수지블록(8)은, 그들의 본체부(20)끼리가, 상면과 하면이 서로 밀착하도록 겹쳐져 있는 것이지만, 이 겹쳐져 있는 상하의 면이 상하로 떨어지는 순간에, 균일한 좁은 간극이 겹침면의 사이에 생기고, 이 떨어진 직후의 간극을 흡인하게 되는 것이다. 그리고, 이 흡인에 의해, 떨어졌을 때에 접촉면으로부터 발생하는 먼지를 흡인할 수 있고, 따라서 매엽반송용 트레이의 적재되어 있는 박판 형상의 물품이 오염되지 않는 것이다. 또한 이러한 간극으로의 흡인은, 간극이 넓어져 버리면 그 흡인이 효과적이지 못하므로, 매엽반송용 트레이가 들어 올려지는 순간에 이루어지는 작용이다.

또한 수지블록(8)은 초고분자량(고밀도) 폴리에틸렌 수지로 형성되어 있고, 피지지부(23)도 동일한 소재로 형성되어 있기 때문에, 파지장치(34)의 클로(35)가 접촉하더라도, 먼지가 발생하지 않는다. 즉, 본 실시예의 매엽반송용 트레이(U)는 반출, 반입을 위해서 파지장치(34)의 클로(35)에 지지되는 경우에도, 쌓기 올려 보관하는 경우와 마찬가지로 먼지가 발생하지 않아, 박판 형상의 물품이 오염되지 않는다.

반출이 지정된 매엽반송용 트레이(1)는, 위로부터 쌓아진 매엽반송용 트레이(1)가 파지장치(34)에 의해 제거되면, 도 16에 나타내는 바와 같이, 컨베이어(33)에 의해 외부 프레임(2)의 플랜지부(14)가 지지된다. 트레이 매거진(31)이 강하하 여, 반출되는 이외의 매엽반송용 트레이(1)는 낮은 위치에 유지된다. 지정된 매엽반송용 트레이(1)는 컨베이어(33)에 의해 반출된다.

이상 서술한 바와 같이, 본 실시예의 매엽반송용 트레이(1)는, 외부 프레임(2)에 수지블록(8)이 고정되어 있고, 쌓아 올려졌을 때에는, 수지블록(8)의 상면과 하면에서 상하의 매엽반송용 트레이(1)가 접촉한다. 또한, 반입과 반출시에는, 파지장치(34)의 클로(35)가 수지블록(8)의 피지지부(23)를 지지한다. 수지블록(8)은, 내마모성이 높고, 기계적인 강도가 우수한 수지로 형성되어 있기 때문에, 쌓아 올려졌을 때나, 파지장치(34)에 지지되었을 때에 먼지를 발생시키지 않아, 적재되어 있는 박판 형상의 물품이 오염되지 않는다.

또한, 상하의 매엽반송용 트레이(1)의 접촉부가 되는 수지블록(8)과 외부 프레임(2)을 다른 소재로 각각 형성하고나서 고정하는 구성을 취함으로써, 본 실시예의 매엽반송용 트레이(1)는, 접촉부(8)를 용이하게 가공하여, 형성할 수 있다. 또한, 외부 프레임(2)의 소재에 클린 대책 재료 이외의 것을 적용할 수 있게 되어, 외부 프레임(2)의 소재를 선택하는 자유도를 넓힐 수 있다.

또한, 본 실시예의 매엽반송용 트레이(1)의 가로대(4)는, 돌출부를 형성함으로써 종래보다 빔 강도가 높여져 있다. 이것에 추가로, 본 실시예의 매엽반송용 트레이(1)는, 위로부터 쌓아진 매엽반송용 트레이(1)의 하중을 수지블록(8)이 지지하는 구성을 채용하고 있어, 외부 프레임(2)에 필요한 강도가 저감되어 있다. 이들 구성에 의해서, 매엽반송용 트레이(1)의 외부 프레임(2)과 가로대(4)를 종래보다 경량화할 수 있게 되었다.

이상, 실시예에 있어서 본 발명의 구체예를 상세하게 설명했지만, 이들은 예시에 지나지 않고, 특허청구의 범위를 한정하는 것은 아니다. 특허청구의 범위에 기재된 기술에는, 이상에서 예시한 구체예를 다양하게 변형, 변경한 것이 포함된다. 예컨대, 실시예에 있어서의 외부 프레임(2)의 장변부재(2a)와 단변부재(2b)의 접합방법이나 접합 개소, 외부 프레임(2)과 가로대(4)의 접합방법이나 접합 개소는, 탑재하는 박판 형상의 물품의 크기나 중량에 맞추어서, 적절히 변경할 수 있다. 또한, 수지블록(8)의 형상이나 배치도 작용 효과를 손상시키지 않는 범위에서 변경이 가능하다.

본원 청구항1에 기재된 발명의 매엽반송용 트레이에 의하면, 상하로 쌓아 올림으로써, 적층부로부터 먼지가 발생하더라도, 이것을 흡인구멍에 의해 흡인해서 용이하게 제거할 수 있어, 수납되는 물품이 오염되는 것을 방지할 수 있다.

또한 본원 청구항2에 기재된 발명의 매엽반송용 트레이에 의하면, 상하의 적층부를 수지블록으로 구성했으므로, 이것에 의해서도 접촉부로부터의 먼지의 발생 자체를 억제할 수 있다. 또한, 흡인구멍을 용이하게 형성할 수 있다.

또한 본원 청구항3에 기재된 발명의 트레이 매거진에 의하면, 상기와 같은 매엽반송용 트레이가 적재됨으로써, 상기 매엽반송용 트레이에서의 흡인에 대한 흡인원을 제공할 수 있다.

Claims (3)

1. 복수 쌓아 올려진 상태로 보관할 수 있는 매엽반송용 트레이로서, 상하의 적층부의 소정 위치에 상하로 관통하는 흡인구멍을 형성한 것을 특징으로 하는 매엽반송용 트레이.
2. 제1항에 있어서, 상하의 적층부를 수지블록으로 구성한 것을 특징으로 하는 매엽반송용 트레이.
3. 제1항에 기재된 매엽반송용 트레이를 쌓아 올린 상태로 유지하는 트레이 매거진으로서, 최하단 또는 최상단의 트레이의 흡인구멍으로부터 흡인하는 것을 특징으로 하는 트레이 매거진.

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