KR20050115194A - 평판 디스플레이 제조방법, 평판 디스플레이용 유리기판의외면삭감장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (15)
- 한 방향 또는 쌍방이 유리 기판인 한대의 기판이 적어도 한 방향에 전극을 형성하는 전극형성공정과, 상기 전극형성공정 후에 한대의 기판을 시일재를 포개 조립해 내부를 봉지하는 봉지공정과, 상기 봉지공정 후, 상기 유리기판의 한 방향 또는 쌍방의 기판 외면을 깎아 두께를 얇게 하는 외면삭감공정을 포함한 평판 디스플레이의 제조방법에 있어서,상기 외면삭감공정에서는 상기 유리기판의 외면재료를 용출시키는 용출액을 상기 외면에 분사해 자중으로 가속도보다 큰 가속도를 내 용출액을 상기 외면쪽으로 불어 상기 외면을 충격하고, 용출액 화학적 작용을 더해 충격에 의한 물리적 작용을 이용해 상기 외면을 녹여 삭감하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 제조방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 용출액은 불산(HF)인 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 제조방법.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 용출액에 의한 상기 외면에 충격을 가했을 때의 압력은 0.5 kg/㎠ ~ 3.5 kg/㎠ 범위인 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 제조방법.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중의 어느 한 항에 있어서,상기 용출액 분사 중에 상기 외면이 수직인 자세가 되도록 상기 기판이 유지되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 제조방법.
- 제 1 항 내지 제 4 항 중의 어느 한 항에 있어서,상기 조립된 한대의 유리기판 양방향의 외면을 동시에 깍아 전체 두께를 얇게 하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 제조방법.
- 제 1 항 내지 제 5 항 중의 어느 한 항에 있어서,상기 용출액의 분사는 분사공을 갖는 노즐에 의해 행해진 것으로서 삭감을 시작할 때의 노즐의 분사공에서 상기 기판 외면까지의 거리는 5 mm 이상, 100 mm 이하가 되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 제조방법.
- 제 1 항 내지 제 5 항 중의 어느 한 항에 있어서,상기 용출액의 분사는 분사공을 소유하는 노즐에 의해 행해지는 것으로서 각 분사공은 간격에 있어서 복수로 되어있으며 각 분사공에서 상기 외면까지의 거리는 일정한 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 제조방법.
- 평판 디스플레이용 유리기판의 외면을 삭감해 두께를 얇게 하는 외면 삭감 장치에 있어서,내부에서 외면삭감처리가 행해지는 처리 챔버와,상기 처리 챔버 내의 소정위치에 상기 유리기판을 유지하는 기판 지지구와,상기 기판 지지구에 보유된 상기 유리기판의 외면 쪽으로 용출액을 분사하는 분사공을 갖는 분사 노즐과,상기 분사노즐에 용출액을 공급하는 용출액 공급 시스템을 포함하며,상기 용출액 공급 시스템은 자중에 의해 가속도보다 큰 가속도를 내 상기 용출액을 상기 외면 쪽에 불어 상기 외면을 충격하고, 상기 용출액의 화학적 작용을 가해 충격에 의한 물리적 작용을 이용하여 상기 외면을 녹여 삭감할 수 있는 압력으로 상기 용출액을 상기 분사 노즐에 공급하는 것을 특징으로 하는 외면 삭감 장치.
- 제 8 항에 있어서,상기 용출액은 불산(HF)인 것을 특징으로 하는 외면 삭감 장치.
- 제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,상기 용출액 공급 시스템은 상기 노즐의 분사공에서 상기 용출액이 분사되어 상기 유리기판 외면을 0.5 kg/㎠ ~ 3.5 kg/㎠ 범위의 압력으로 충격 받도록 상기 노즐에 상기 용출액을 공급하는 것을 특징으로 하는 외면 삭감 장치.
- 제 8 항 내지 제 10 항 중의 어느 한 항에 있어서,상기 기판 지지구는 용출액의 분사 중에 전기외면이 수직인 자세가 되도록 상기 유리기판을 보유하는 것을 특징으로 하는 외면 삭감 장치.
- 제 8 항 내지 제 11 항 중의 어느 한 에 있어서,상기 노즐은, 상기 조립된 한 쌍의 유리기판의 양방향의 외면을 동시에 삭감 가능하도록, 상기 기판 지지구에 보유된 한 쌍의 유리기판 양측에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 외면 삭감 장치.
- 제 8 항 내지 제 12 항 중의 어느 한 항에 있어서,상기 삭감을 시작할 때, 상기 노즐의 분사공에서 상기 유리기판의 외면까지의 거리는 5 mm 이상, 100 mm 이하인 것을 특징으로 하는 외면 삭감 장치.
- 제 8 항 내지 제 13 항 중의 어느 한 항에 있어서,상기 분사공은 등간격을 두고 복수개가 제공되어있고, 각 분사공에서 상기 외면까지의 거리는 일정한 것을 특징으로 하는 외면 삭감 장치.
- 한 쌍의 유리기판을 조립해 형성되어 내부에 광투과 제어부 또는 발광부를 소유한 평판 디스플레이에 있어서,한 쌍의 유리기판 양방의 외면은 용출액을 당해 외면을 향해 분사해, 자중에 의해 가속도보다 큰 가속도로 용출액을 불어 충격을 당해 삭감되고, 최정부(最頂部)와 최저부(最底部)와의 거리가 0.1 ㎛ 이하인 평탄성을 갖고 있는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이.
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