TW200541396A - Flat panel display and manufacturing method thereof, and device for shaving outer part - Google Patents

Description

.200541396 j 九、發明說明·· 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於液晶顯示器或電漿顯示器、有機電激 發光顯示器等平面顯示器之製造方法。 【先前技術】

液晶顯示器與電漿顯示器等平面顯示器多用於電腦之 顯示裝置與Ί7顯示裝置、行動電話之顯示裝置等各種電子 產品。近來，有機電激發光顯示器的開發不斷地進二

/ 月！J 景相當看好。其中上述有機電激發光顯示器具有高應答速 度以及不需要背光源就可以自己發光。 上述平面顯示器的重要課題之一就是薄型化的要求。 所谓的薄型化就是連同被搭載的電子產品也要薄型化與小 型化以及輕量化。例如，筆記型電腦與攜帶電話更要求薄 型化與輕里化，因此平面顯示器必須要朝輕薄化發展。 為了要將平面顯示器薄型化與輕量化，其中玻璃基板 是最重要的一個要素。在液晶顯示器、電漿顯示器、有播 電激發光顯示器中，老β H + ^ Λ 、 中^在—對貼合的玻璃基板之間配置 玻璃基板的比重很大’而且為了碎保機械 砂. ^ 的厚度。因此，玻璃基板對平面顯示 器之薄型化與輕量化的要欠 "、 妁要衣上造成一定程度的限制。 多數的平面顯示器之製程中，都是從大尺 玻璃基板切割許多小尺寸的平面顯示器。並且在一對大: 寸的玻璃基板中依不同用途於不同區域形成晝素電極。： 5147-7143-PF；Forever769 5 .200541396 進行完貼合工程之後，就會進行玻璃基板的切割製程。 在上述的製程中，由於製程相當密集且製造成本低 廉，因此玻璃基板朝向大型化發展。例如，在液晶顯示器 的製程中，使用220Ommx 1 800mm左右的基板。如此大的基 板在搬運的時候，如果玻璃基板的厚度不夠厚則會很容易 破裂，而且因為本身的重量也會使得玻璃基板呈現彎曲。 因此，必須要具有相當程度的厚度。 另外，經過切割製程之後的半成品或成品的時候，玻 璃基板的厚度如果很薄的話，因為尺寸較小的關係也不會 發生問題。由於上述原因，於特開平5一249422號公報之發 明中，在貼合一對玻璃基板後，將其中一面玻璃基板之外 部進行蝕刻以減少其厚度，之後再進行切割製程。 【發明内容】 上述公報所述之發明中，並由 如θ τ 具甲上述蝕刻製程係將玻璃

基板浸於溶解液之中。但是，根據本發明之發明人的研究， 上述蝕刻的方法’ ϋ沒有辦法得到相當好的平坦性，因此 沒有辦法十分充分地確認平面顯示器的品f。關於此點， 說明如下。 如前述公報之内容所述，僅揭露浸潰法的内容，但是 究竟使用何種的蝕刻液，並沒有具體的說明。本發明之發 明人的研究指出，㈣氟酸作為蝕刻液。但是，：果將‘ 璃基板浸潰於氟st中，並不能達到平面顯示器所要求之平 坦性，因此很難進行前述公報所提之蝕刻法。 5147-7143-PF；Forever769 6 200541396 一旦將玻璃基板浸潰於氟酸中，表面之玻璃會與I酸 反應而慢慢地軟化溶解。若要將蝕刻後之表面平坦化的 話，必須以新鮮、未反應的蝕刻液取代反應後的蝕刻液， 且均一地供給在玻璃基板表面。但是，在浸潰法中則相當 的困難。雖然必須將蝕刻液以及經過反應之後軟化溶融之 玻璃材料去除，並供給下層玻璃新鮮的蝕刻液，但是由於 要均一地去除軟化溶融之玻璃材料是非常困難，因此蝕刻 後之玻璃表面的平坦性非常的差。 另外’玻璃基板的組成與結晶狀態並非是完全均〜 地，不均一的情形在所難免。使用浸潰法的蝕刻製程中， 僅僅利用化學作用，很容易受到玻璃組成與結晶不均一性 的衫#。也就是說，局部的玻璃由於組成與結晶狀態不岣 一的緣故’因此不易被#刻而造成殘留的現象。所以會對 平坦性造成影響。玻璃基板之外部的平坦性不均的時候， 很容易引起由光散射所造成之顯示不均的現t，因此上述 Φ 採用浸潰法之蝕刻方式並不實用。 本發明同樣為了解決相關的課題， 顯示器之薄型化的實用技術。 種十面 為了解決上述問題，申請專利範圍1所記载之發明係 平面顯示器之製造方法，包括：電極形成製程，❹在_ 對基板之至少-方上形成電極，纟中該基板之—或雙方 玻璃基板；封裝製程，用於在電極形成製程後利用封膠材 科將該對基板封裝；外部賴製程，料㈣製 該對玻璃基板之-方或雙方的厚度；其特徵在於：該外= 5147-7143-PF;Forever769 7 200541396 中，利用可以溶解該玻璃基板之外部材料的溶解 :、者该外部喷射，以大於重力加速度之加速度對著該外 ^噴射’衝擊該外部，因此由於溶解液之化學作用加上衝 、成之物理作用而將該外部溶解，並削減該外部之厚 2所記载之 3所記載之 °·5kg/cm2 另外，為了解決上述問題，申請專利範圍 發明揭露：該溶解液是氟酸。

另卜為了解決上述問題，申請專利範圍 表月揭路·該溶解液對該外部之衝擊壓力係介於 至 3· 5kg/cm2 之間。 另外， 發明揭露： 板保持靜止 ^ 了解決上述問題，中請專利範圍4所記载之 溶解液在噴射時與該外部呈垂直狀態，且該美 狀態。 土

另外，為了解決上述問題 發明揭露··該貼合之玻璃基板 體之厚度變薄。 ’申請專利範圍5所記载之 之雙方的外部同時削減，整 6所記載之 而且該喷嘴 1 0 0mm之間。 7所記載之 各噴射孔係 另外，為了解決上述 發明揭露：外部削減裝置 另外，為了解決上述問題，申請專利範圍 發明揭露：該溶解液係由噴嘴之喷射孔喷出， 之噴射孔至該基板之外部的距離係介於5咖至 另外，為了解決上述問題，申請專利範圍 發明揭露：該溶解液係由喷嘴之喷射孔噴出， 等距設置’且各喷射孔至料部的距離皆相等 門題，申请專利範圍8所記載之 ，用於削減平面顯示器之玻璃基 5147-7143 _P：FzF〇rever769 8 200541396 板之外部的厚度，包括··處理室，用於進行外部削減處理； 基板保持具，用於將該玻璃基板保持在處理是内之預定位 置上，具有喷射孔之喷嘴，用於將溶解液喷射在固定於基 板保持具上之該玻璃基板之外部；溶解液供給系統，用於 供給溶解液至喷嘴；其特徵在於··該溶解液供給系統係以 特定之壓力將溶解液供給至該喷嘴，其中在該壓力下溶解 液以大於重力加速度之加速度噴射至該外部以衝擊該外 部，因而利用溶解液之化學作用m衝擊所引起之物理作 ®用而將該外部溶解並削減厚度。 另外，為了解決上述問題，申請專利範圍9所記載之 發明揭路·該溶解液是氟酸。 另外’為了解決上述問題，中請專利範圍i Q所記載之 發明揭露：該供給系統在介於05kg/cm2至35kg/cm2之壓 力下將該溶解液供給至該噴嘴，以使得該溶解液由該嗔嘴 之喷射孔噴射至該玻璃基板之外部而衝擊該外部。

發明揭露 另外’為了解決上述問題，申請專利範圍㈣記載之 定並使得溶解液與該外部呈垂直狀態 該基板保持具與溶解液喷射時，將玻璃基板固 另外’為了解決上述問題，申請專利範圍12所記載之 發明揭露：為了同時削減貼合之該對玻璃基板之外部，該 喷嘴設置在被固定於基板侔姓目* # μ ^ 、 ’、寺，、之該對玻璃基板的兩側。 另外’為了解決上述問題，中請專利範圍13所記載之 發明揭露·在開始進行削、、或制 士 減1粒時該噴嘴之喷射孔至該玻 璃基板之外部的距離係介於5咖至1〇〇mm之間。 5147-7143-PF；Forever769 9 -200541396 另外為了解决上述問題，申請專利範圍Η所記載之 發明揭露：該喷射孔係以笠花#堪 ^ ^ τ 乂等距设置’而且各噴射孔至該外 部之距離皆相等。 另外為了解決上述問題，申請專利範圍i 5所記载之 發明揭露：平面顯示器，具有-對已經貼合之玻璃基板， 且該對玻璃基板之内部具有光穿透控制部或發光部；其特 徵在於：該對玻璃基板之外部被溶解液喷射，其中該溶解 液係利用大於重力加速度之加速度喷射至該外部以衝擊該 籲外部而削減該外部之厚度，其中最頂部與最底部之距料 於0· 1微米，因此該平面顯示器具有良好之平坦性。 如下列之說明，根據本發明之申請專利範圍第五項或 8項所述之發明，新鮮（沒有融人外部材料）的溶解液依序 地供給’因為融入外部材料之溶解液由於衝擊的關係依序 地流出’因而可以進行效率良好且均—性良好的削減製 程。即使外部之玻璃的組成與結晶狀態有不均一的地方， φ但是由於併用物理作用的緣故，可以充分均一地削減。由 於上述緣故，削減外部的平坦性提高了，所製作出的平面 顯不器之顯不性能也提高了。 另外，根據申請專利範圍第3或10項所述之發明，除 了上述效果之外’ Χϋ為溶解液衝擊上述外部的壓力介於 0.5kg/Cra2至3.5kg/cm2之間’不但可以充分地供給新鮮的 溶解液而削減玻璃基板之外部，又因為可以充分地利用物 理作用，所以即使玻璃之組成或結晶狀態不均一也可以充 分地削減玻璃基板的外部，而且可以確保提高平扭性 5147-7143-PF；Forever769 10 .200541396 另外，根據申請範圍第4或1 1項所述之發明，除了上 述效果之外，在噴射溶解液的時候玻璃基板外部與溶解液 呈垂直狀態，因此可以促進玻璃基板外部之溶解液的置換 效果，可以十分有效率地進行外部削減製程。 另外，根據申請範圍第5或1 2項所述之發明，除了上 述效果之外’在已經貼合之一對玻璃基板的外部同時進行 削減製程，因此整體的厚度就變薄了，所以除了有助於已 經貼合之面板的薄型化要求之外，也可以提高製程的生產 另外’根據申睛範圍第6或1 3項所述之發明，除了上 述效果之外，於削減製程開始的時候喷嘴之噴射孔至基板 外部的距離係介於5mm至1 〇 〇匪之間，因此可以確保衝擊 i也均—十生0 另外，根據申請範圍第7或14項所述之發明，除了上 述效果，噴嘴之各喷射孔均等間隔設置，而且各噴射孔至 ♦外部的距離皆相同的緣故，所以可以很均-地控制噴射之 溶解液的衝擊廢力，由於上述的緣故可以提高平坦性並有 利於削減處理。 因為提供薄 化與輕量化 因而可以提 另外’根據申請範圍第1 5項所述之發明， 型化之顯示器，所以對應用之電子製品的薄型 相當有貢獻，另外因為提高了平坦性的緣故， 供顯示不均之缺陷較少且具有優越性能的製品 【實施方式】 5147-7143-PF；F〇rever769 11 .200541396 以下，說明本發明之較佳實施例。 平面的說明中’據液晶顯示器（以下，簡稱_為 千面顯不器的一個例子作為說明。 第1圖係緣示根據本發明一 λα制4 +丄 孕乂佳只施例之平面顯示器 的製造方法。在第1圖之

έ中例如疋行動電話用的LCD 的製造方法。如篦彳同私一 …一弟圖所不之方法’包括：電極形成製程， 用於在一對基板丨之至少一 上七成電極11，其中該基板 1之一或雙方是破璃基板；封駐制# #裝製転，用於在電極形成製 Μ利用封膠材料12將該對基板1封裝，並注入液晶13; 外Μ減製程，用於封襄製程後削減該對玻璃基板】之一 方或雙方的厚度。 如第1圖所示之製造方法 <乃古，仗大致上相同形狀且相同 大小之一對玻璃基板1中產Ψ说垂▲ Απ τ 低上甲產出稷數個LCD。上述一對之玻 璃基板1係根據所產出之各La沾田、 的用途而進形步同的電極 形成製程’其中上述電極形成劁 成裳私係在相關區域中進行。 上述電極形成製程包括：透 攻月鬼極形成製程以及驅動 電極與共通電極的形成製 衣狂具中上述透明電極係由ιτο 所組成之透明導電膜形忐， 、 上述驅動電極與共通電極係 藉由電漿化學氣相沉積法所製造 1衣w之低皿多晶矽膜所組成。 在上述各製程中’包括曝光，顯影，蝕刻等微影蝕刻製程。 外一個玻璃基板1上方則進行彩色遽光片製程。上述 採色濾'光片製程就是在玻璃基板i上面形成顏色層與黑色 矩陣層以及透明電極。上M ^…、 逑顏色層的形成方法包括微影 法、印刷法、或電著法，以形成顯示彩色影像的顏料圖案。 5147-7l43-PF;Forever769 12 200541396 上黑色矩陣層係沿著晝素之間的部分而形成之遮 於“對比與防止混色，在多數的場合 、：用 而形成。上述透明電極在多數 ’、θ —化製程 形成之m旗。 夕數的、合係利用圖案化製程而 ，材：：程中，在其中-個破璃基板〗的表面上圓部封 =二上述封裝材料]2係沿著所產出之 ： 廓而塗佈。在上述封裝材料 輪 旦的广曰彳Q 2所包圍之内側區域内滴下定 Γ:::之後，散佈間隙子，並在預定的位置上與另 外一個玻璃基板i對準合貼合。 另 接著，進行本實施例之特徵-外部削減製程。在本實施 例之外部削減製程中，將可溶解玻璃基板1之外部材 溶解液L對著外部噴射，其中溶解液L以大於重力加速度 之加速度對著外部喷射。利用溶解液L喷射的結果，溶解 液L的化學作用加上喷射所造成之物理作用而將外部溶 解。而且’本實施例並不是單單地散佈溶解液l，而且其 喷射的加速度也不僅僅相者私舌 个值彳皇祁田於重力加速度，這是最大的不 同處。 而且，在本說明書中，一對基板相互面對的内側稱為 内部，而與内部相反的則稱為外部。在本實施例之外部削 咸耘中扣的疋將已經貼合的一對玻璃基板（以下，稱為 已經接貼合的面板10)之雙方的外部削減的製程。 如第1圖所示，在本實施例中，將已經接貼合的面板 1 〇保持直立，然後在已經接貼合的面板1 〇的兩側配置喷 鳴4,並由喷嘴4喷射出溶解液l。上述溶解液[可以使用 5147-7143-PF;Forever7 6 9 13 200541396 氟鲅。上述氟酸經與水稀釋後之濃度約介於至 (體積百分率）。作用於已經接貼合的面板1G之外部上的衝 擊壓力係介於〇.5kg/cy至3.5kg/cm2之間。 由噴嘴4所喷射出溶解液[衝擊在已經接貼合的面板

之外部後’由於溶解液k化學作用而溶解已經接貼合 '板之外°卩，而外部上的溶解液L·也由於溶解液衝擊 々關係而往下。目此，外部的厚度被削減，所以玻璃基 板1的厚度（已經接貼合的面板10之全體厚度）變薄。 的時候，上述保護膠帶可以是聚丙浠（PGlyprcwiene)、或 鐵氟龍（註冊商標）等含氟樹脂之耐酸性玻片中塗佈有數十 微米厚的黏著劑之材料。例如，曰東電工股份有限公司所 製造之SPV-362M等。 進行削減製程的時候，為了不碰觸溶解液L，可以貼 附保護膠帶（masking tape)作為保護。t溶解液l是強酸 在上述外部削減製程後，進行外部洗淨製程並進行切 割製程。上述切割製程係沿著產出之各LCD的輪廟，將1〇 切割之製程。 根據上述之本貫施例的製造方法 為利用可以溶解 ， 9 ^ / N 4 該玻璃基板1之外部材料的溶解㈣著該外部喷射，並以 大於重力加速度之加速度對著該外部噴射，以衝擊該:卜 部’藉由溶解液之化學作用加上衝擊所造成之物理作用而 將該外部溶解，並削減該外部之厚度；而新鮮（沒有融入外 部材料）的溶解液依序地供給.，因為融入外部祌料之 由於衝擊的關係依序地流出，因而可以 彳 逆仃效率良好且均 5147-7143-PF；Forever769 14 •200541396 一性良好的削減製程。即使外部之玻璃的組成與結晶狀態 有不均一的地方，但是由於併用物理作用的緣故，可以充 刀均地削減。由於上述緣故，削減外部的平坦性提高了， 所製作出的平面顯示器之顯示性能也提高了。 接著，說明適用於上述製造方法之外部削減裝置。以 下的說性係包括外部削減裝置的一較佳實施例。

第2圖係繪不根據本發明一較佳實施例之外部削減裝 置之正面示意圖。第3圖係繪示第2圖所示之裝置之側面 剖面示意圖。在第2圖以及第3圖所示之外部削減裝置中， 包括··處理室2，用於進行外部削減處理；基板保持具3， 用於將該玻璃基板1保持在處理室2内之預定位置上；具 有喷射孔之喷嘴4,用於將溶解液L噴射在固定於基板保 持具3上之該玻璃基板1之外部；溶解液供給系統5，用 於供給溶解液L至喷嘴4 ;其中該溶解液供給系統5係以 特定之壓力將溶解液L供給至該喷嘴4。在此實施例中， 為了在貼合製程後進行外部蝕刻製程，上述基板保持具3 係用於固定已經貼合之面板1 〇。 口 22 ;其中上述搬入 而上述搬出口 22用於 以及搬出口 22係由封 封鎖閘門2 3移動之方 2之紙面垂直方向）。 處理室2具有搬入口 21與搬出 口 21用於搬入已經貼合之面板1 〇， 搬出已經貼合之面板10。搬入口 21 鎖閘門23來控制開關狀態。而且， 向係與搬送方向垂直之水平方向（圖 处掀迗機構30甩於將已 設置搬送機構 貼合之面板ίο運送通過搬入口 21以及搬出口 22。基板保 5147-7143-PF；Forever769 15 200541396 持具3係構成搬送機構3Q的部分㈣。第4圖料示第2 及3时所示之裝置中基板保持具3之斜視示意圖。 第4圖所不，基板保持具3用於將已經貼合之面板 10保持在垂直站立的狀態。基板保持具3主要由水平之底 板3卜設置於底板31上之支柱32、|置於支柱32上的緩 衝具33所構成。

支柱32主要設置在細長的長方形之底板的四個角 :部分上4計4個。喷射孔34沿著底板Μ之長邊方向 又置且係在支柱32的上端而補強基板保持具各支柱 32比已經貼合之面板1〇稍微高一點。位於底板μ之短邊 上的兩根支柱32之間的間隔比已經貼合 務微大—點。_位在底板31之長邊方向上的兩支支柱 的間比已經貼合之面板j。的長度稍微長一點。已經貼合 之面板1 G則是被固定在四支支柱所圍出的空間。 缓衝八3 3疋直接接觸已經貼合之面板^ Q的零件，以 固定以接合之面板1Ge緩衝具33係由不會被溶解液^斤 腐=之材料所構成（耐藥性佳的村料），❹是鐵I龍（註冊 商標）之氟素樹脂所組成之材料。 如第4圖所示，緩衝具33設置於底板31之長邊方向 的兩端上並與各支柱之下端聯繫，同時也設置於底板31之 長邊方向之兩端上並與各支柱32的上端相聯繫。已經貼合 之面板10纟與上述緩衝具之各角落接觸。已經貼合之面板 1 〇的下端角部接觸之下側的緩衝貧33中，，短邊方向的剖 面形狀呈現凹狀而長邊方向的剖面形狀呈現[字型狀。二 5147-7143-PF；Forever769 16 200541396 外，與已經at人々工， 一 6 板1 〇上端角落接觸的緩衝具3 3中， 短邊方向的判品/ " >狀呈現凹狀。如第4圖所示，在放置已 經貼合之面柘7 η从士 牡風置巳 、％候，由上而下***並與各緩衝 的凹部接觸。 及珂，、w 構Μ例如是由支架與小齒輪（andpinic)n)所組 /、底板31作為支架（rack)，而小齒輪3〇1與底板 3二义°而構成搬送機構30。小齒輪沿著搬送線以一定的間 U。小齒輪301設置於處理室2内外。另外，可以$ 置導引零件以導引基板保持具3。 °又 如第3圖所示’噴嘴4係設置於被固定在基板保持具 已經貼合之面板10的兩側並對著已經貼合之面板！。的 兩側之外部同時噴射溶解液L。第5圖係緣示第3圖所示 之噴嘴4之形狀之斜視示意圖。 如第5圖所示，噴嘴4係具有噴射孔41的管狀零件， 如第5圖所示，噴嘴4沿著垂直方向配置，並在已經點人 之面板1〇的長度方向（搬送方向）上等間隔地設置。喷射孔 41係設置於噴嘴4之中並設置在靠近已經點合之面板、。 的位置’而且沿著圓管的方向(垂直方向)上等距離設置。 另外’噴嘴4的構成除了如第5圖所示之外，數量上可以 增加或減少。另外，喷嘴4的構成也可以是沿著水平方向 或傾斜方向設置之複數個喷嘴的構成。另外，噴嘴4的形 狀除了管狀之外也可以是板狀或其它形狀。 溶解液供給系統5由儲存溶解液L之..液體儲檜51、連 接液體儲槽51以及各喷嘴4之配管52、設置於配管52上 5l47-7l43-PF；Forever769 17 200541396 的間件心幫浦54等構成。另外也可以設㈣網與調整 屋力用的閥件，其令上述遽網用於從供給之溶解液L除去 雜質與垃圾。 /合解/夜L由〆谷解液供給系、统5輸送至各喷嘴[鈇後 由各喷射孔41噴向被^於基板保持具3的已經貼合之面 板1〇的外部。被噴射出來的溶解液L衝擊基板外部，並溶 解基板的外部而削減基板外部的厚度。 卜士第2圖所不’處理室2的底部是漏斗狀，最 下面的部分設置排出孔24。排出孔24連接排出管25，其 中上述排出管25用於排放使用過後的溶解液l。如上所述 之含有已㈣合之面板10之材料的溶解液係流至處理室2 的底部，然後藉由排出孔24以及排出管25排放至外界。 料4_室2的内壁’處理室2内的各零件之表 面都是由耐藥性的材料所構成’都可以抵抗溶解液L的侵 钱。例如溶解液是氣酸的時候，内壁面與各零件的表面皆 塗佈㈣氟龍（註冊商標）等氟酸樹脂材料。另外，控制搬 入口 2i與搬出口 22之開關狀態的封鎖閑門以 解液漏出的功能。 本實施例之襄置中，為了提高削減後之外部的平坦 性，因此對噴嘴4下了特別的功夫。關於這點，由第5圖 以及第6圖加以說明。篦R岡焱；立 # 6 圖’用於說明溶解液 L從各噴射孔41均一地喳AΊ n t 地噴在面板10之外部上的嘴射點。 如第5圖所示’各噴射孔41係货外在與嘴嘴4之管的 延伸方向（垂直方向）呈45度傾斜的方向上。因此，如第5 5147-7143-PF；Forever769 18 200541396 從各噴射孔41噴射出來的溶解液L在上述傾斜的 方向上呈現往外擴之喇叭狀。 =6之中，示單一喷嘴4之各喷孔“所喷射出來 二Ή。在圖6的右側，此圖是從已經貼合之面板 /來看，各喷射孔41之溶解液L的喷射量的分佈 圖。已經貼合之面你彳n 工y Ϊ 之面板10通過兩側之噴嘴4之間 7合之面板1()之外部的各點可以接受來自任何_個嘴已 孔41所供給之溶解液L。此時，位於外部之點p通下

目鄰之兩個噴射孔41之正中間的位置時，上述點P接受I 上迷兩個相鄰之喷射孔41所喷射之溶解液L。由於上过 …於形成树之溶解液的端部位置，如第6圖之= 側圖所示，點P接受於來自一 其他點的二分之一，而上下射孔的洛解液L的量是 旦力扭士 ❿上下兩相鄰之噴射孔之溶解液的 =加起來就是-個喷射孔41所供應之溶解^的量。因的 二已經貼合之面板1〇之高度方向上，外部個點所接受到 的溶解液L之供給量是均—地。另外，如第5圖所 解液L·呈現喇叭狀之外，也可以β 丁如 形狀（正方形、長方形） 疋/圓狀、圓狀、方 曼$狀、平行四邊形等形狀。 接著，說明上述裝置的作動情形。 放置ί =裝工程完成之後’已經貼合之面板1〇被舉起並 置在處理室2外面的基板保持具3上面 作可以利用機器手臂完成， 戰的動 # ^ , σ以由作業員徒手完成。於 濩膠Τ進行保護的動作。 保 5147-7143-PF；Forever769 •200541396 接著，搬送機構30開始動作，搬入口 23打開，基板保持具通過搬 貞閘門 z 1而在處理室2内款氣 接著，基板保持具3將已經心之面 内移動。 嘴“間的預定位置上。搬入口21的：：置於兩側之喷 „ 山士 的封鎖間門23接著關 閉。此時，溶解液供給系統5的閥件 =者關 體的幫浦54以預定的壓力my r 丁開接考輸运液 、 刀將冷解液L送至各噴嘴4。姓里 溶解液由各噴嘴4的各喷射孔41喷 ，、°， _ ^ ^出，在預疋的#力 =已經貼合之面板10的外部。因此，削減了已經:！ :10的外部。混有溶解之外部材料的溶解液L往下流 至排出孔24而排出。 溶解液L喷射了一定時間之後， m 〇 、寶/有54關掉’並關 ]閥件53。接著，搬送機構3〇 ^ 4 j作動，移動基板保持 去。之後 '至。接者，利用純水等洗淨液將保護勝帶除 云 之後，進行切割製程。 2述裝置的作動中’於溶解液L喷射時需改變已經 貼δ之面板10的位置。已經貼合之面 與各噴嘴4之各喷射孔41之相對距離 卜°卩上各點， 離最紐的點所受的衝擊 車父馬’因此必須在溶解液L喷射的時候將已經貼合之 反:前後移動’以使得外部個點所受的衝擊壓力均相 。此，可以提高削減後之平坦性。另外， 面板10的移動方向也可以是上下方向。 上述裝置具有控制全體的控制..部，（圖未顯示）^上述控 制部可以有頻率地控制各部，可以控制上述的作動、以: 5147-7143-PF；p〇rever769 2〇 200541396 為了將衝擊均—几七#、 另外二之基板保持具3的移動動作。 另外，在上述裝置的構成中，幫 塵力介於0.叫/W至3. 5kg/cffi :送溶解液L之 各喷射孔41盥外$ & # 4扦，各喷嘴4之 的斤因之一 ^ P㈣（如第3圖所示之D)是非常重要 ’、 距離D較大的時候，若不弹一紐 體之塵力則無法達到上述溶解液l之衝擊南幫《送液 離"交小的時候，衝擊壓力較 #外，距 嗔射孔4Ϊ县4 竿又易保持在最適值，但是距離 S的點所承受的衝擊壓力會過高，而演伸衝擊 壓力不均的問題。衝擊的均負伸衝擎 若要砝# Μ 4 (也就疋說，削減的平坦性） :確保的話，距離D較佳者是介於^…〇〇龍之間。 解液L進行削減的過程中，嗔射孔4!至外部 =之變化非常的少，其開始削減時的距離大約介於5_ 至100_之間。 、另外’-旦衝擊壓力小於0.5kg/CIn2，因為新鮮之溶解 液L的供給量變少而無法進行削減，而且也因為完全沒有 物理作用的緣故，益法香公士浴丨 …沄死刀地削減玻璃之組成與結晶狀態 不均-的地方，因此平坦性會將低。料，一旦衝擊遷力 大於3.5kg/cm2，只有距離喷嘴4之噴射孔41最短的點被 削除最多，因此在這各點的平坦性非常不良。因此，較佳 的衝擊壓力之範圍大約介於〇5kg/cm2至35kg/cm2之間。 根據上述裝置，因為可以利用溶解液L的化學作用再 加上衝擊所引起之物理作用而將外部削減，除了可以提高 削減的平坦性之外，由於玻璃基板1之搬送與射減處理皆 自動化的關係，因此生產效率非常高。 5147-7143-PF；F〇rever769 21 200541396 另外喷觜4之各喷射孔41都是等距離設置，因為各 喷射孔41至外部的距離都_樣的關係，所以很容易控制嘴 射出來之公解液L的衝擊璧力，因此對於提高削減處理之 平坦性也很有貢獻。 另外’已經貼合之面板1〇保持在垂直站力的狀態，因 此可以促進外部之溶解液L的置換，可以十分有效率進行 外部削減製程。 ❿且’喷嘴4設置於已經貼合之面板10的兩側，因為 籲同時削減兩邊基板之外部，因此可以將已經貼合之面板 薄型化，另外也可以提高生產效率。 在上述之各實施例之構成中，上述利用溶解液所進行 之外部削減製程也可以採用钱刻的方式。但是，除了化學 作用之外’因為也併用物理作料緣故，因此與單純浸2 於钱刻液中以使得钕刻液散佈之化學姓刻法相比的話，本 質上並不相同。 • 接著，上述實施例中，外部削減處理係於貼合一對破 璃基板1之後進行，但是也可以在貼合面板之前進行外部 削減處理。也就是說，在電極形成製程之前進行外部削減 處理，在彩色濾光片形成製程進行外部削減處理。此時， 基板保持具3 —次只固定一個玻璃基板2。一旦將破^基 板1薄化，會產生強度的問題。但是使用氟酸等強酸進行 削減的時候，由於強酸的作用也會使得玻璃產生強化的效 果，因此即使玻璃厚度變薄也不會有問題。而且，也可以 在切割製程之後再進行外部削減製程。另外，同時固定複 5147-7143-pp;p〇rever7g9 22 200541396 數個已經貼合之面板1 0，π π士 k υ问時進行外部削減處理。 在上述實施例中，掂 才木用LCD，但是其他實施例也可以 採用電漿顯示器與有機電激-抑 电歲毛先顯不斋。由於電漿顯示器 與有機電激發光顯示器不需 ^ 卜而要月先源，因此有一個基板可 以不是玻璃基板。換句話句 說，/、要其中一個基板是玻璃基 板即可。另外，在本發明中 ^ 月中，對此一對玻璃基板中之一進 行外面削減處理，也可u、去 也」以達到本發明的效果。 接著，平面顯示器之發明的實施例之說明。 第7圖係繪示根據本發 一 ^罕乂侄X細例之平面顯示哭 之剖面示意圖。如第7圖所示 ％ σ〇 q π不 < 十面顯不态，係由一對已 經貼合之玻璃基板1所組成 取如第7圖所不，以前述之實 施例讓使用液晶顯示器作為％ 、 邗為說明。在一對的玻璃基板之内 部形成光透過控制部。上祕本、泰、a '上述先透過控制部係由形成於盆中 -個玻璃基板！之内面上的電極(元件電極、共通電極 等川與封於内部之液晶ϊ3。另外，在另—個玻璃基板^ 的内面上形成彩色濾光片14。上沭# n u上迷光透過控制部之構成盥 習知的液晶顯示器一樣。 〃 ,上述第7圖所示之平面顯示器的特徵在於，使用外部 削減處理以削減-對玻璃基板！之兩個基板的外部。上述 外部削減處理因為與上述各實施例相同，因此在此省略= 加詳述。此實施例之平面顯示器最大特徵在於，進行如上 =述之外不削減處理’外部100具有良好的平坦性，^就 是說外部的表面高度差在〇·；[微米以下。 如第7圖之放大圖所示’外部1〇〇的最頂部ι〇ι與最 5147-7143-PF；Forever769 23 200541396 底部102的距離相者认主 田於表面粗糙度測定中所測定到的最大 粗才造度（Rmax )。可以你古 士 k市面上販買之用於測定表面粗糙度的

工具中選出幾個，以用协 A 用於測疋上述外部1 0 0之平坦性。根 據本發明之發明人的辟处 y 的研九，進行上述外部削減處理之後， 一個玻璃基板1的厚彦女& 予度大約在〇· 5mm以下，平坦性（RMAx)可 以控制在0.1微米以下，^ 、 下除了可以達到薄型化、輕量化的 要求之外，也可以避务黯+ 您光顯不不均的現象而提高平面顯示器

的顯示性能。另外，伎梯认& L 乂樣的千坦性以進行外部削減處理之 w 前的玻璃基板1之外部的in α上水 r σ|的十坦性相當，因此進行外面削減 處理並不會影響玻璃基板的平坦性。 在上述的例子中’以最大粗縫度作為平坦性，另外也 可以以中心線平均粗輪度（Ra)作為平坦性的依據。其實， 可以將外部100之凹凸的平均高度求出來，在將凹凸部分 的高度與平均高度之差異的絕對值的平均求出來。因為也 p、使用市面上販I的表面粗糙度計測定中心線平均粗縫 Φ )所以可以使用適當的工具。當中心線平均粗糙度 在〇· 03mm以下的日守候，平面顯示器就不會出現顯示不均的 現象’而這樣的平坦性也可以利用上述外部削減處理來達 成。 另外，上述的構成除了適用於液晶顯示器以外，也可 以適用其他的平面顧千哭 卞”、、員不裔例如有機電激發光顯示器等之 發光的平面顯示中，| w —ru Β ^ 〇 T 了以5又置發光部代替光透過控制部。 圖式簡單說明】 5147-7143~Pp；porever769 200541396 第1圖係繪示根據本發明 之概略製程剖面圖。 第2圖係繪示根據本發明 置之正面示意圖。 一較佳實施例之平面顯示器 一較佳實施例之外部削減裝 第3圖係繪示第 第4圖係繪示第 3之斜視示意圖。 2圖所示之裴置之側面剖面示意圖。 2及3圖中所示之裝置中基板保持具 圖所示之噴嘴 第5圖係繪示第 圖0 之形狀之斜視示意 第6圖係示意®，用於說明 一地喑i ，合解液L從各噴射孔41均 喷在面板10之外部上的喷射點。 第7圖係繪示根據本發明一較佳fY f 之剖面示意圖。 …例之平面顯示器 【主要元件符號說明】 L〜溶解液； 2〜處理室； 4〜喷嘴； 11〜電極； 13〜液晶； 21〜搬入口； 23〜封鎖閘門； 30〜搬送機構； 3 2〜支柱； 1〜破璃基板； 3〜基板保持具； 5〜溶解液供給系統； 12〜封膠部； 14〜彩色濾光片； 22〜搬出口 ； 24〜排出孔； 31〜底板； 33〜緩衝具； 5147-7143-PF；Forever7 6 9 25 200541396 41~喷射孔； 5卜 52〜配管； 53〜 54〜幫浦； 301 液體儲槽； 閥件； 〜小齒輪。

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Claims (1)

1. 200541396 •十、申請專利範圍·· 1. 種平面gg + $ …員不裔之製造方法，包括·· 電極形成製程，用 極，其中該基板之1雙=對基板之至少一方上形成電 A雙方疋玻璃基板； 封裝製程，用於尤 對基板封裝；以及' 成製程後利用封耀材料將該 方今雔削減I私’用於封裝製程後削減該對玻璃基板之 一方或雙方的厚度； •其特徵在於： 該外部削減製程Φ，糾 ^^^ 中利用可以溶解該玻璃基板之外部 著該外部噴射，以大於重力加速度之加速 =υ 噴射’以衝擊該外部，藉由溶解液之化學作 用加上衝擊所造成之物 理作用而將該外部溶解，並削減該 外部之厚度。 、·如申明專利靶圍第1項所述之平面顯示器之製造方 • 法，其中該溶解液是氟酸。 3·如申請專利範圍第1或2項中任一項所記载之平面 顯示器之製造方法，其中該溶解液對該外部之衝擊麼力係 介於 0.5kg/cm2 至 3.5kg/cm2 之間。 4·如申請專利範圍第1至3項中任-項所述之平面顯 不盗之製造方法’其中溶解液在噴射時與該外部呈垂直狀 態，且該基板保持靜止狀態。 .如申請專利範圍第1至4項中任-項所述之平面顯 不器之製造方法，其中該貼合之玻璃基板之雙方的外部同 5147-7143-PF；Forever769 200541396 時被削減，整體之厚度變薄。 6·如申請專利範圍第1至5項中任一項所述之 示器之製造方法，其中該溶解液係由噴嘴之喷射孔噴出 而且該喷嘴之噴射孔至該基板之外部的距離係介於5mm至 1 ◦ Omm之間。 7·如申請專利範圍第1至5項中任一項所述之平面顯 示器之製造方法，其中該溶解液係由喷嘴之喷射孔噴出， 各噴射孔係等距設置，且各喷射孔至該外部的距離皆相等。 8· —種外部削減裝置，用於削減平面顯示器之玻璃基 板之外部的厚度，包括： 處理室，用於進行外部削減處理； 基板保持具，用於將該玻璃基板保持在處理室内之預 定位置上； 具有喷射孔之喷嘴，用於將溶解液喷射在固定於基板 保持具上之該玻璃基板之外部；以及 溶解液供給系統，用於供給溶解液至喷嘴； 其特徵在於： 該/合解液供給系統係以特定之壓力將溶解液供給至該 噴嘴，其中在該壓力下溶解液以大於重力加速度之加速度 噴射至該外部以衝擊該外部，因而利用溶解液之化學作用 以及衝擊所引起之物理作用而將該外部溶解並削減厚度。 9 ·如申請專利範圍第8項所述之外部削減裝置，其中 該溶解液是氟酸。 1 〇_如申請專利範圍第8或9項之任一項所述之外部削 5l47-7143-PF；Forever769 28 200541396 減裝置，其中該供給系統在介於0.5kg/cm2至3 5kg/cjn2之 屢力下將該溶解液供給至該喷嘴，以使得該溶解液由該喷 嘴之喷射孔喷射至該玻璃基板之外部而衝擊該外部。 11.如申請專利範圍第8至1〇項所述之外部削減裝 置，其中該基板保持具於溶解液喷射_，將玻璃基板固定 並使传丨谷解液與該外部呈垂直狀態。 12.如申請專利範圍第8至^項中任何一項所述之外 部削減裝置’其中為了同時削減貼合之該對玻璃基板之外 卩該噴嘴口 又置在被固定於基板保持具之該對玻璃基板的 兩側。 13. 如申請專利範圍第8至12項中任何—項所述之外 部削減裝置，其中在開始進行削減製程時該喷嘴之嗔射孔 至該玻璃基板之外部的距離係介於5咖至1〇〇龍之間。 14. 如申請專利範圍第8至13項巾任何—項所述之外 部削減裝置’其中該喷射孔係以等距設置，而且各喷射孔 至該外部之距離皆相等。 15· —種平面顯示器，包括： 一對已經貼合之玻璃其知，n ^ 土板且該對玻璃基板之内部具 有光穿透控制部或發光部； 其特徵在於： 該對玻璃基板之外部被溶解 攸/合鮮履噴射，其甲該溶解液係 利用大於重力加速度之加诘许+ & ^ ^ i<加速度噴射至該外部以衝擊該外部 而削減該外部之厚度，盆φ导苔A 度其中最頂部與最底部之距離小於0.1 微米’因此該平面顯示器具有良好之平坦性。 5147-7143-PF;Forever769 29