KR20080008729A - 평판 표시 장치의 제조 방법 및 그에 사용되는 외면 박형화장치 - Google Patents

평판 표시 장치의 제조 방법 및 그에 사용되는 외면 박형화장치 Download PDF

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KR20080008729A
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Abstract

본 발명에 의한 외면 박형화 장치는 내부에서 외면 박형화 공정이 진행되는 체임버, 유리 기판을 장착하여 상기 체임버 내부로 이동시키는 카세트, 상기 카세트를 원하는 위치 및 각도로 조절하여 상기 카세트에 장착된 유리기판이 기울어지도록 하는 카세트 제어부, 상기 체임버의 상부에 위치하며 식각액을 분사하기 위한 노즐을 구비한 노즐유닛, 그리고 상기 노즐유닛에 연결되어 상기 노즐유닛에 식각액을 공급하는 공급 탱크를 포함하며, 상기 카세트 제어부는 상기 카세트에 장착된 유리 기판과 상기 노즐유닛의 노즐이 서로 하나씩 대응하도록 상기 카세트의 위치 및 각도를 조절한다. 또한 본 발명에 의한 평판 표시 장치의 제조 방법은 수직 배열된 표시 장치용 유리 기판을 장착한 카세트를 체임버 내부로 이동시키는 단계, 상기 유리 기판을 수평면에 대하여 1° 내지 89°기울어지도록 상기 카세트를 위치시켜 상기 체임버 상부에 위치하는 노즐유닛의 노즐에 유리 기판을 하나씩 대응시키는 단계, 식각액을 상기 노즐유닛에 공급하는 단계, 그리고 상기 노즐유닛의 노즐을 통하여 식각액을 상기 유리 기판의 한 외면에 분사하는 단계를 포함한다.
외면 박형화 장치, 유리 기판

Description

평판 표시 장치의 제조 방법 및 그에 사용되는 외면 박형화 장치 {METHOD FOR MANUFACTURING FLAT PANEL DISPLAY AND APPARATUS FOR SHAVING OUTER SURFACE OF GLASS SUBSTRATE FOR THEIR USE}
도 1은 평판 표시 장치의 한 예로서 본 발명의 한 실시예에 따른 액정 표시 장치의 제조 공정을 나타낸 도면
도 2와 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 장치 제조를 위한 외면 박형화 장치의 개략도
도 4는 도 3의 일부분을 확대한 도면으로 외면 식각 공정 진행의 모습을 나타낸 도면
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10, 15 : 전극 20 : 밀봉재
30 : 액정 100, 150 : 유리 기판
200 : 외면 박형화 장치 210 : 체임버
212 : 반입반출구 214 : 봉쇄 게이트
220 : 유리 기판 230 : 카세트
240 : 카세트 제어부 250 : 노즐유닛
252 : 노즐 254 : 넘침방지패드
260 : 공급 탱크 270 : 재활용부
E : 식각액
본 발명은 액정 표시 장치와 유기 발광 표시 장치 등의 평판 표시 장치(flat panel display)의 제조 방법 및 장치에 관한 것이다.
액정 표시 장치와 유기 발광 표시 장치 등의 평판 표시 장치는 컴퓨터의 모니터용과 텔레비전 수상기용, 휴대 전화의 표시부용 등 각종 전자 기기에 널리 사용되고 있다.
최근들어 전자 기기의 박형화, 경량화의 추세에 따라 평판 표시 장치의 박형화 및 경량화에 대해서도 관심이 증가되고 있다. 예를 들면 노트북 컴퓨터와 휴대전화에서는 모두 박형화와 경량화가 추구되고, 그에 따라 평판 표시 장치도 얇고 가벼운 것이 추구되고 있다.
이러한 평판 표시 장치의 박형화와 경량화에 중요한 요소는 유리 기판이다. 액정 표시 장치와 유기 발광 표시 장치는 안쪽 면에 전극이 형성된 한 쌍의 유리 기판을 포함한다. 여기서 유리는 비중이 크고, 또 기계적 강도를 확보하기 위하여 어느 정도의 두께가 필요하다. 따라서 유리 기판의 존재가 평판 표시 장치의 박형화와 경량화에 장애가 되고 있다.
일반적으로 평판 표시 장치의 제조 공정에서는 커다란 한 쌍의 유리 기판에 서 다수의 평판 표시 장치를 생산하는 공법이 사용되고 있다.
이와 같이 한 쌍의 유리 기판에서 다수의 평판 표시 장치를 생산하는 공법에서는 공정의 집약화가 행해지므로 제조 비용을 저렴하게 할 수 있는 장점이 있기 때문에 유리 기판이 커지는 경향이 있다. 그런데 이와 같이 유리 기판을 취급할 경우, 유리 기판을 너무 얇게 하면 깨지기 쉬워지거나 휘어지는 경우도 있다. 따라서 어느 정도의 두께가 필요하다.
한편, 각 구역으로 절단된 후의 것(반제품)과 제품이 된 것은 유리 기판의 크기가 작으므로 유리 기판의 두께가 어느 정도 얇아도 문제가 없다. 그렇기 때문에 한 쌍의 유리 기판을 조립한 후, 유리 기판 외면을 얇게 하고 각 구역으로 절단하는 방법이 이용되고 있다. 이와 같이 유리 기판을 얇게 하는 것이 평판 표시 장치의 박형화와 경량화에 있어서 중요한 요소이다.
이러한 평판 표시 장치의 박형화 및 경량화를 달성하기 위하여 유리 기판의 외면을 얇게 하는 기술은 유리 기판에 기계적 마찰을 가하는 기계적 박형화 기술과 유리의 화학적인 반응을 이용하는 식각 박형화 기술로 나뉠 수 있다.
식각 박형화 기술의 경우 유리 기판의 양면을 유리 기판과 반응이 가능한 식각 화합물을 이용하여 반응시켜 제거하는 방식을 사용한다. 이러한 식각 반응을 유도하기 위하여 종래의 식각 공정은 유리 기판을 식각액인 불산 화합물 등에 담그는 배스(bath)방식을 사용하거나, 유리 기판 표면에 식각액인 불산 화합물 등을 분무하는 분무(spray)방식을 사용하고 있다. 두 경우 모두 유리 기판의 양면이 화합물과 접촉하게 되므로 양면이 동일하게 반응하여 동일한 두께만큼 식각된다.
이러한 식각 박형화 기술은 원판 단위의 대면적 가공이 가능하기 때문에 생산성이 우수하며 가공 중의 기계적 파손이 적기 때문에 기계적 박형화 기술에 비해서 양산 적용에 유리하다. 그러나, 일반적으로 동일한 두께의 유리 기판 두장이 합착된 경우보다는 유리 기판 한쪽이 무겁고 다른 한쪽이 얇은 비대칭 구조가 이후 공정의 진행에 유리하고 파손 불량 발생률이 낮으며 기판의 기계적 강도도 높다. 이러한 이유로 현재는 기계적 박형화 기술을 이용하여 비대칭 구조의 평판 표시 장치를 형성한다.
그러나 비대칭 구조의 평판 표시 장치를 형성하기 위하여 기계적 박형화 기술을 사용하는 경우 생산성이 떨어지고 유리 기판의 기계적 파손이 많다.
본 발명의 기술적 과제는 평판 표시 장치의 박형화를 위하여 생산성이 우수하며 가공 중의 기계적 파손이 적고, 유리 기판의 원하는 면만을 균일하게 식각할 수 있는 평판 표시 장치 제조 방법 및 평판 표시 장치 제조를 위한 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 한 실시예에 따른 외면 박형화 장치는 내부에서 외면 박형화 공정이 진행되는 체임버, 유리 기판을 장착하여 상기 체임버 내부로 이동시키는 카세트, 상기 카세트를 원하는 위치 및 각도로 조절하여 상기 카세트에 장착된 유리기판이 기울어지도록 하는 카세트 제어부, 상기 체임버의 상부에 위치하며 식각액을 분사하기 위한 노즐을 구비한 노즐유닛, 그리고 상기 노즐유닛에 연결되어 상기 노 즐유닛에 식각액을 공급하는 공급 탱크를 포함하며, 상기 카세트 제어부는 상기 카세트에 장착된 유리 기판과 상기 노즐유닛의 노즐이 서로 하나씩 대응하도록 상기 카세트의 위치 및 각도를 조절한다.
상기 노즐유닛의 상기 노즐은 상기 카세트에 장착된 상기 유리 기판과 같은 개수이거나 상기 유리 기판의 개수보다 더 많은 개수인 것이 바람직하다.
상기 노즐유닛에 상기 식각액의 분사를 조절하는 제어부가 설치되어 있는 것이 바람직하다.
상기 노즐유닛에 상기 식각액의 분사를 조절하는 스위칭 소자가 설치되어 있는 것이 바람직하다.
상기 노즐에 부착되어 상기 식각액이 원하는 유리 기판 외면 이외의 곳으로 흘러내리는 것을 방지하는 넘침방지 패드를 더 구비하는 것이 바람직하다.
상기 유리 기판은 상기 카세트 제어부에 의하여 수평면에 대하여 1° 내지 89°기울어지는 것이 바람직하다.
상기 체임버와 상기 공급 탱크에 연결되어 사용된 식각액을 재활용하기 위한 재활용부를 더 포함하는 것이 바람직하다.
상기 외면 박형화 장치에서 사용되는 식각액은 불산 또는 불산염 계열의 화합물, 또는 이들의 수용액 또는 혼합물을 포함하는 것이 바람직하다.
본 발명의 다른 실시예에 의한 평판 표시 장치의 제조 방법은 수직 배열된 표시 장치용 유리 기판을 장착한 카세트를 체임버 내부로 이동시키는 단계, 상기 유리 기판을 수평면에 대하여 1° 내지 89°기울어지도록 상기 카세트를 위치시켜 상기 체임버 상부에 위치하는 노즐유닛의 노즐에 유리 기판을 하나씩 대응시키는 단계, 식각액을 상기 노즐유닛에 공급하는 단계, 그리고 상기 노즐유닛의 노즐을 통하여 식각액을 상기 유리 기판의 한 외면에 분사하는 단계를 포함한다.
상기 식각액은 불산 또는 불산염 계열의 화합물, 또는 이들의 수용액 또는 혼합물을 포함하는 것이 바람직하다.
상기 유리 기판의 두께가 0.1 mm 내지 0.7mm가 되도록 식각하는 것이 바람직하다.
상기 평판 표시 장치는 액정 표시 장치인 것이 바람직하다.
그러면, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참고로 하여 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
이하에서 도 1을 참조하여 평판 표시 장치의 한 예로서 본 발명의 한 실시예에 따른 액정 표시 장치의 제조 방법에 대하여 상세하게 설명한다.
먼저 복수의 장치 영역을 가지는 한 쌍의 유리 기판(100, 150) 위에 전극(10, 15)을 형성한다. 이때 한 쪽의 유리 기판(100)에는 화소 전극을 형성하고, 다른 쪽의 유리 기판(150)에 대해서는 공통 전극을 형성할 수 있다. 이외에도 색필터(color filter)(도시하지 않음), 박막 트랜지스터(thin film transistor, TFT)(도시하지 않음), 각종 신호선(도시하지 않음), 차광 부재(또는 블랙 매트릭스) 등을 형성할 수 있다. 각각의 부분들을 형성할 때에는 사진 공 정(photolithography)과 식각 공정이 포함될 수 있으며, 사진 공정만 필요할 때도 있다.
유리 기판(100, 150)의 각 장치 영역 둘레를 따라 밀봉재(sealant)(20)를 도포한다.
두 기판(100, 150)을 정렬하고 밀봉재(20)로 결합한 다음, 각 장치 영역의 내측에 액정(30)을 주입한다. 그 후, 두 기판(100, 150)을 결합하기 전에 필요에 따라 간격재를 산포할 수 있다.
이어 유리 기판(100, 150)의 바깥 면을 깎아 두께를 얇게 하는 외면 박형화 단계를 수행한다. 그런 다음 유리 기판(100, 150)을 각 장치 영역으로 절단하여 제조를 마무리한다.
이와 같은 제조 방법으로 한 쌍의 유리 기판(100, 150)에서 실질적으로 같은 형상 및 크기를 가지는 다수의 액정 표시 장치가 생산된다.
도 2와 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 장치 제조를 위한 외면 박형화 장치의 개략도이고, 도 4는 도 3의 일부분을 확대한 도면으로 외면 식각 공정 진행의 모습을 나타낸 도면이다.
도 2는 외면 박형화 장치에 액정 표시 장치가 장착된 모습을 나타낸 도면이고, 도 3은 외면 박형화 장치에 장착된 액정 표시 장치를 기울여 식각액이 기울어진 경사면을 따라 흘러내리도록 하는 모습을 나타낸 도면이고, 도 4는 도 3의 노즐로부터 식각액이 액정 표시 장치의 유리 기판 한 면을 따라 흘러내리는 모습과 식각 반응 후의 유리 기판이 변화된 모습을 나타내는 도면이다.
도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 외면 박형화 장치(200)는 체임버(210), 카세트(230), 노즐유닛(nozzle unit)(250), 카세트 제어부(240), 공급 탱크(etchant supply tank)(260) 및 재활용부(recycle unit)(270)를 포함한다.
본 실시예에 따른 유리 기판(220)의 외면 박형화 처리는 체임버(210) 내에서 식각액(E)을 사용하여 행한다.
체임버(210)에는 유리 기판(220)을 반입하고 반출하는 반입반출구(212)가 형성되어 있으며, 반입반출구(212)를 개폐하는 봉쇄 게이트(214)가 구비되어 있다. 체임버(210)의 안쪽 벽면과 체임버(210) 내의 각 부재 표면은 식각액에 대해서 내약품성을 가진다. 예를 들면, 식각액(E)이 불산인 경우, 내벽면과 각 부재의 표면은 테플론과 같은 불소 수지가 코팅되어 있을 수 있다.
카세트(230)는 액정 표시 장치용 유리 기판(220)을 실어 체임버(210) 내부로 이동한다. 카세트(230)는 유리 기판(220)을 세로 방향으로 꽂을 수 있도록 되어 있다.
노즐유닛(250)은 체임버(210) 상부에 위치하여 식각액(E)을 액정 표시 장치의 유리 기판(220)에 분사하기 위한 노즐(252)을 구비한다. 여기서 노즐(252)은 카세트(230)에 장착된 유리 기판(220)과 같은 개수이거나 또는 유리 기판(220)의 개수보다 더 많은 개수 일수 있다. 또한 노즐유닛(250)에는 식각액(E)의 분사를 조절하기 위한 제어부(미도시)가 설치되어 식각액(E)의 분사 압력 및 유량 등을 조절할 수 있으며 스위칭 소자가 연결되어 있을 수 있다. 그리고 노즐(252)에는 넘침방지 패드(254)가 노즐(252)의 모양과 유사한 형태로 노즐에 부착되어 있어 식각액(E)이 원하는 유리 기판 외면 이외의 곳으로 흘러내리는 것을 방지한다.
카세트 제어부(240)는 카세트(230)를 원하는 위치 및 각도로 조절할 수 있는 기계적 장치를 포함한다. 따라서 카세트 제어부(240)는 카세트(230)에 세로로 장착된 액정 표시 장치를 기울여 유리 기판(210)이 경사지도록 한다. 즉 카세트 제어부(240)는 카세트(230)의 상부를 카세트(230)가 장착된 위치에서 노즐유닛(250)의 노즐(252)방향으로 이동시켜 각각의 노즐(252)에 각각의 유리 기판(220)이 하나씩 대응하도록 한다. 여기서 카세트(230)의 하부는 카세트(230)의 상부와 다른 거리만큼 이동시킨다. 따라서 카세트(230)에 장착된 유리 기판(210)을 기울일 수 있다. 여기서 유리 기판의 기울기는 수평면에 대하여 1° 내지 89°이며, 기울기를 조절함으로써 식각 반응 속도 및 표면 품질의 조절이 가능하다.
공급 탱크(260)는 체임버(210)의 노즐유닛(250)에 식각액(E)을 공급한다. 식각액의 예로는 불산 및 불산염 계열의 화합물, 또는 이들의 수용액 및 혼합물을 들 수 있다.
재활용부(270)는 사용된 식각액(E)을 재활용하기 위한 것이다.
그러면 외면 박형화 공정에 대하여 상세히 설명한다.
도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 수직 배열된 유리 기판(220)을 장착한 카세트(230)를 반입반출구(212)를 통하여 체임버(210) 내부로 이동시킨다. 이동 동작은 로봇에 의해 이루어질 수도 있고, 작업자의 손으로 이루어질 수도 있다.
카세트 제어부(240)는 체임버(210) 내부로 이동시킨 카세트(230)의 상부를 체임버(210)의 상부에 위치하는 노즐유닛(250)의 노즐(252)에 카세트(230)에 장착된 유리 기판(220)이 하나씩 대응하도록 위치시킨다. 이때 카세트(230)의 하부는 카세트(230)의 상부와 다른 거리만큼 이동시켜 유리 기판(220)이 기울어지도록 한다. 즉 유리 기판(220)이 수평면에 대하여 1° 내지 89°로 기울어지도록 한다. 여기서 기울기를 조절함으로써 식각 반응 속도 및 표면 품질의 조절이 가능하다.
한편, 공급 탱크(260)에서는 유리 기판(220)의 식각 두께 및 식각액(E)의 종류 등에 따라 식각액(E)의 농도를 조절한다.
이후 노즐유닛(250)은 공급 탱크(260)로부터 식각액(E)을 공급받아 노즐유닛(250)의 노즐(252)을 통하여 유리 기판(220)에 분사한다. 이때 유리 기판(220)에 분사된 식각액(E)이 경사진 유리 기판(220)의 면을 따라 체임버(210) 아래로 흘러내리면서 유리 기판(220)의 원하는 한 면만을 식각한다. 따라서 도 4에 도시된 바와 같이, 유리 기판(220)의 한 면만이 식각된다.
노즐유닛(250)은 식각액(E)의 분사압력 및 유량 등을 조절하기 위한 제어부가 설치되어 있을 수 있으며, 스위칭 소자가 연결되어 식각액(E)의 분사를 조절할 수 있다.
또한 도 4에 도시된 바와 같이, 노즐유닛(250)의 노즐(252)으로부터 분사되는 식각액(E)이 다른 유리 기판(220)으로 흘러내리는 것을 방지하기 위하여 넘침방지패드(254)가 노즐(252)에 부착되어 있을 수 있다. 따라서 식각액(E)이 다른 곳으로 흘러 다른 유리 기판이 식각되거나 유리 기판 사이에 있는 액정 안으로 흘러 들어가는 것을 방지한다. 결과적으로 반대편의 유리 기판에 식각액이 흘러들어가는 것을 방지하여 유리 기판의 원하는 면만을 선택적으로 균일하게 식각하고, 유리 기판의 반대편 면은 손상이 없도록 한다.
그리하여 유리 기판(220)의 두께가 0.1 mm 내지 0.7mm가 되도록, 그리고 두 유리 기판(220)의 두께 차이가 0.01 mm 내지 0.6mm가 되도록 유리 기판(220)을 식각할 수 있다.
이와 같이 유리 기판(220) 외면을 소정시간 식각한 후 유리 기판(220)이 원하는 두께가 되면 식각액(E)의 분사를 멈추고, 카세트(230)를 체임버(210)내의 처음 위치로 이동시킨다. 이후 반입반출구(212)를 통하여 유리 기판(220)을 장착한 카세트(230)를 체임버(210) 밖으로 이동시킨다.
그 후 다음 절단 공정 등을 행한다.
여기서 사용된 식각액(E)은 체임버(210) 아래에 설치된 재활용부(270)로 다시 수집되어 재생된다. 그리고 재생된 식각액(E)은 다시 공급 탱크(260)로 보내져서 다시 유리 기판(220)의 외면 박형화를 위한 식각액(E)으로 사용된다. 따라서 원가가 절감되는 효과가 있다.
이러한 외면 박형화 장치는 전체를 제어하는 제어부(미도시)를 포함할 수 있다. 제어부는 각 부분을 시퀀스(sequence) 제어하는 기능을 포함한다.
본 발명에 의한 외면 박형화 공정은 유리 기판 표면에 식각액이 흘러내리면서 식각 반응을 일으키기 때문에, 유리 기판의 원하는 면만을 균일하게 식각할 수 있다. 따라서 본 발명에 의한 외면 박형화 공정에 의한 유리 기판은 기존의 식각 박형화 기술 중 분무(spray)방식이나 배스(bath)방식에 의한 유리 기판보다 유리 기판 표면의 품질 및 평탄도가 우수하다. 또한 식각액의 사용 효율이 높아 원가절감에도 유리하다.
또한 종래 외면 박형화 공정은 식각액의 화학적인 작용과 함께 충격이라는 물리적인 작용을 이용해 외면 박형화 공정을 수행하므로 유리 기판에 기계적인 스트레스를 가하게 되어 공정 중의 파손 가능성이 있으나, 본 발명에 의한 외면 박형화 공정은 유리 기판 표면에 식각액이 중력에 의하여 자연적으로 흘러내리면서 식각 반응을 일으키기 때문에 유리 기판에 기계적인 스트레스를 가하지 않아 파손 가능성이 낮다.
상기 본 발명의 실시예의 설명으로 액정 표시 장치를 예시하였지만, 유기 발광 표시 장치 등의 평판 표시 장치 경우라도 동일하게 실시 가능하다. 이와 같은 평판 표시 장치는 백라이트를 필요로 하지 않으므로 어느 하나의 기판은 유리 기판이 아닌 것이 있다. 따라서 한쪽만 유리 기판인 것도 있다. 이때 본 발명의 효과를 얻을 수 있다.
따라서 본 발명에 따르면 외면 박형화 공정 수행 시 높은 생산성 및 균일한 두께 분포 유지 등의 특성을 유지하면서도 유리 기판의 원하는 면만을 선택적으로 식각하는 것이 가능하다.
본 발명에 따른 외면 박형화 장치 및 외면 박형화 방법은 외면 박형화 공정 수행 시 높은 생산성 및 균일한 두께 분포 유지 등의 특성을 유지하면서도 유리 기판의 원하는 면만을 선택적으로 식각하는 것이 가능하다.
또한 종래 외면 박형화 공정은 식각액의 화학적인 작용과 함께 충격이라는 물리적인 작용을 이용해 외면 박형화 공정을 수행하므로 유리 기판에 기계적인 스트레스를 가하게 되어 공정 중의 파손 가능성이 있으나, 본 발명에 의한 외면 박형화 공정은 유리 기판 표면에 식각액이 중력에 의하여 자연적으로 흘러내리면서 식각 반응을 일으키기 때문에 유리 기판에 기계적인 스트레스를 가하지 않아 파손 가능성이 낮다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.

Claims (12)

  1. 내부에서 외면 박형화 공정이 진행되는 체임버,
    유리 기판을 장착하여 상기 체임버 내부로 이동시키는 카세트,
    상기 카세트를 원하는 위치 및 각도로 조절하여 상기 카세트에 장착된 유리기판이 수평면에 대하여 일정각도로 기울어지도록 하는 카세트 제어부,
    상기 체임버의 상부에 위치하며 식각액을 분사하기 위한 노즐을 구비한 노즐유닛, 그리고
    상기 노즐유닛에 연결되어 상기 노즐유닛에 식각액을 공급하는 공급 탱크
    를 포함하며,
    상기 카세트 제어부는 상기 카세트에 장착된 유리 기판과 상기 노즐유닛의 노즐이 서로 하나씩 대응하도록 상기 카세트의 위치 및 각도를 조절하는 외면 박형화 장치.
  2. 제1항에서,
    상기 노즐유닛의 상기 노즐은 상기 카세트에 장착된 상기 유리 기판과 같은 개수이거나 상기 유리 기판의 개수보다 더 많은 개수인 외면 박형화 장치.
  3. 제1항에서,
    상기 노즐유닛에 상기 식각액의 분사를 조절하는 제어부가 설치되어 있는 외 면 박형화 장치.
  4. 제1항에서,
    상기 노즐유닛에 상기 식각액의 분사를 조절하는 스위칭 소자가 설치되어 있는 외면 박형화 장치.
  5. 제1항에서,
    상기 노즐에 부착되어 상기 식각액이 원하는 유리 기판 외면 이외의 곳으로 흘러내리는 것을 방지하는 넘침방지패드를 더 구비하는 외면 박형화 장치.
  6. 제1항에서,
    상기 유리 기판은 상기 카세트 제어부에 의하여 수평면에 대하여 1° 내지 89°기울어지는 외면 박형화 장치.
  7. 제1항에서,
    상기 체임버와 상기 공급 탱크에 연결되어 사용된 식각액을 재활용하기 위한 재활용부를 더 포함하는 외면 박형화 장치.
  8. 제1항에서,
    상기 외면 박형화 장치에서 사용되는 식각액은 불산 또는 불산염 계열의 화 합물, 또는 이들의 수용액 또는 혼합물을 포함하는 외면 박형화 장치.
  9. 수직 배열된 평판 표시 장치용 유리 기판을 장착한 카세트를 체임버 내부로 이동시키는 단계,
    상기 유리 기판을 수평면에 대하여 1° 내지 89°기울어지도록 상기 카세트를 위치시켜 상기 체임버 상부에 위치하는 노즐유닛의 노즐에 유리 기판을 하나씩 대응시키는 단계,
    식각액을 상기 노즐유닛에 공급하는 단계, 그리고
    상기 노즐유닛의 노즐을 통하여 식각액을 상기 유리 기판의 한 외면에 분사하는 단계를 포함하는 평판 표시 장치의 제조 방법.
  10. 제9항에서,
    상기 식각액은 불산 또는 불산염 계열의 화합물, 또는 이들의 수용액 또는 혼합물을 포함하는 평판 표시 장치의 제조 방법.
  11. 제9항에서,
    상기 유리 기판의 두께가 0.1 mm 내지 0.7mm가 되도록 식각하는 평판 표시 장치의 제조 방법.
  12. 제9항에서,
    상기 평판 표시 장치는 액정 표시 장치인 평판 표시 장치의 제조 방법.
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