KR20050041974A - 누액 센서 및 누액 검출 시스템 - Google Patents

누액 센서 및 누액 검출 시스템 Download PDF

Info

Publication number
KR20050041974A
KR20050041974A KR1020040087344A KR20040087344A KR20050041974A KR 20050041974 A KR20050041974 A KR 20050041974A KR 1020040087344 A KR1020040087344 A KR 1020040087344A KR 20040087344 A KR20040087344 A KR 20040087344A KR 20050041974 A KR20050041974 A KR 20050041974A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
liquid
leakage
sensor
light
alarm
Prior art date
Application number
KR1020040087344A
Other languages
English (en)
Inventor
하야시다다테카즈
시마이후토시
오마타요헤이
Original Assignee
쭈덴 가부시키 가이샤
도쿄 오카 고교 가부시키가이샤
도요코가가쿠 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 쭈덴 가부시키 가이샤, 도쿄 오카 고교 가부시키가이샤, 도요코가가쿠 가부시키가이샤 filed Critical 쭈덴 가부시키 가이샤
Publication of KR20050041974A publication Critical patent/KR20050041974A/ko

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/38—Investigating fluid-tightness of structures by using light
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/16—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using electric detection means
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
    • G01N27/06—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a liquid
    • G—PHYSICS
    • G08—SIGNALLING
    • G08B—SIGNALLING OR CALLING SYSTEMS; ORDER TELEGRAPHS; ALARM SYSTEMS
    • G08B21/00—Alarms responsive to a single specified undesired or abnormal condition and not otherwise provided for
    • G08B21/18—Status alarms
    • G—PHYSICS
    • G08—SIGNALLING
    • G08B—SIGNALLING OR CALLING SYSTEMS; ORDER TELEGRAPHS; ALARM SYSTEMS
    • G08B25/00—Alarm systems in which the location of the alarm condition is signalled to a central station, e.g. fire or police telegraphic systems
    • G08B25/01—Alarm systems in which the location of the alarm condition is signalled to a central station, e.g. fire or police telegraphic systems characterised by the transmission medium
    • G08B25/10—Alarm systems in which the location of the alarm condition is signalled to a central station, e.g. fire or police telegraphic systems characterised by the transmission medium using wireless transmission systems
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
    • G01N2291/02—Indexing codes associated with the analysed material
    • G01N2291/022—Liquids

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Emergency Management (AREA)
  • Business, Economics & Management (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

바닥면이나 누액 수용부 등의 시스템의 최하부에 설치되는 누액 센서를, 누액 이상이 발생한 경우에, 누액 발생 부분을 용이하게 특정할 수 있도록 구성한다.
누액이 침투할 수 있는 기체층 또는 누액 침투층을 통하여, 상기 누액과 접촉할 수 있는 적어도 1개의 누액 검출부를 구비한 누액 센서를 적어도 1개 사용하는 누액 검출 시스템에 있어서, 누액 센서의 설치 위치에 대해, 소정의 공간 범위 이내에, 발음 수단을 포함하는 경보 수단이 설치되고, 누액 센서가 센서 이상을 검출한 경우, 적어도 상기 발음 수단에 의해, 상기 소정의 공간 범위의 외측에 설치된 누액 센서와 구별하여, 상기 누액 센서의 설치 위치가 특정될 수 있도록, 상기 누액 센서의 이상 검출을 경보한다.

Description

누액 센서 및 누액 검출 시스템{LIQUID LEAKAGE SENSOR AND LIQUID LEAKAGE DETECTING SYSTEM}
본 발명은, 물, 산성 용액, 알칼리 용액 등의 전기적 전도성을 가진 액체나, 초순수, 알코올, 희석제, 벤진 등의 유기성 용액 등의 절연성을 가진 액체의 누액(漏液)을 검출하는 누액 센서 및 누액 검출 시스템의 개량에 관한 것이다.
종래에 공장 등의 설비에서는 배관에 의해 액체를 공급하고 있다. 그러나, 배관에는 많은 위치에 접속용의 이음새가 설치되어 있으므로 이음새로부터 액체가 누액되는 경우가 많다. 그래서, 액체의 종류에 따라서는 누액의 감시를 사람이 항상 행하지 않으면 안 되었다. 이러한 종래의 누액 센서로서는, 전극 사이의 임피던스 변화를 검출하는 도전(導電) 방식의 누액 센서나, 원하는 액체의 액량을, 소정의 용량의 액체가 공급되었는지 아닌지 계측하는 액량 계측 방식의 누액 센서가 알려져 있다. 또, 일본국 특허공보 평4-70572호에는 누액을 흡수하면 투명하게 되는 필터에 투광부(광원)로부터 광을 조사하고, 누액이 있었을 때에 상기 필터로부터의 투과광 또는 반사광의 수광량의 변화량을 검출함으로써 누액을 확실하게 검출 가능하도록 한 광학식 누액 센서 기술이 기재되어 있다. 이러한 종래의 누액 센서에서는, 일반적으로, 누액을 검출한 누액 검출 이상이나, 센서가 소정의 공간 위치에 설치되어 있지 않은 센서의 설치 이상을 검출하면, 이들 이상 상태 정보를 LED 등의 표시 수단에 의해 경보 표시하는 동시에, 접점 신호 등으로 외부에 디지털 방식으로 출력하도록 되어 있었다.
한편, 일본국 특허공개공보 제2002-350275호에는, 복수개의 누액 센서의 전극간 임피던스 등의 원하는 정보를, 자(子機)-친기(親機) 사이에서 통신하고, 친기 측에서 연산 처리한 후 또는 그대로, 친기 측의 표시 수단에 표시하는 누액 감시 장치가 기술되어 있어, 일본국 특허공개공보 제2002-350275호에서는, 누액 등의 이상이 발생하였다고 판정한 경우, 그 누액 등의 경보 표시는, 영상 및/또는 기록 수단에 표시하는 동시에, 버저 등의 음성으로도 표시하도록 되어 있다.
그런데, (A) 세정제/용제로서, 예를 들면, 20oC에 있어서, 6×10-2N/m 이하인 저표면 장력을 가진 액체의 누액을 검출하는 경우에 있어, 특히, 염소나 취소를 포함하지 않는 저분자의 클로로플루오로카본(CFC)이나 할론 등의, 표면 장력이, 20oC에 있어서, 3×10-2N/m 이하인 저표면 장력을 가진 액체의 누액(2a)을 검출하는 경우에는, 누액이 매우 얇은 층 모양을 형성하면서 확산하고, 예를 들면, 도 6(B)에 도시한 바와 같이, 이러한 누액층의 두께 d1가, 0.5mm 이하의 박막층 모양으로 균일하게 신속하게 확산하는 동시에, O.1mm 이하의 매우 간격이 좁은 틈새부에도 용이하게 침투하므로, 누액 센서 본체를 수납하는 케이스의 홀더와 바닥면의 틈새 d2(<dl)에, 먼저 누액이 침투해(도 6(C), 홀더 상면까지 누액이 확산하는데 장시간을 필요로 하여, 결과적으로, 소량의 누액 검출이 전혀 불가능하고, 누액의 검출이 늦는다고 하는 문제점이 발생하였다.
(B) 또, 종래, 누액 센서는, 복수개의 누액 센서가, 그 경보 디지털 출력을 와이어드(wired)·OR 연산되어, 소정의 그룹마다, 일괄하여, 시퀀서나 친기 등에 의해 경보 출력되므로, 누액 검출 이상을 나타내는 경보가 출력되었을 경우, 실제로, 어디에 설치한 센서가 누액을 검출했는지, 플랜트 등 시스템을 보수하는 측면에서는, 즉시 누액 발생 부분을 특정할 수 없다고 하는 문제점이나, 누액 센서가, 일반적으로, 바닥면이나 누액 수용 팬(pan) 등의 시스템의 최하부에 설치되고, 그 윗쪽 공간에는, 여러 가지 시스템 구성 부재 등이 가설되는 사용 환경 조건으로, 누액 센서 자체에 장착 LED 등의 발광식 경보 표시 수단이, 누액 이상이 발생한 경우에, 일반적으로는, 눈으로 인식하기 매우 어렵고, 누액 발생 부분을 용이하게 특정하기 어렵다고 하는 문제점도 있었다.
(C) 또한, 일본국 특허공개공보 제2002-350275호 등의 누액 검출 시스템에서는, 일반적으로, 누액 센서를 설치하는 사람과 플랜트 등의 시스템을 보수·관리하는 사람은 전혀 관계가 없고, 누액 센서를 설치하는 사람에게 있어서는, 다수의 누액 센서를 단시간에 정확하게 모두 소정의 위치에 설치하는 것이 요구되므로, 탁상의 이론으로서는, 센서의 설치 위치를 감시 장치에 1개씩 등록하는 조작을 요구하는 것이 가능하여도, 실제로, 4O개 이상의 센서를 배선 오류 없이 정확하게 등록 하고, 확인하는 것을 요구하는 것은 1명의 작업자로는 불가능하고, 시스템 구축 작업에 있어서, 복수개의 작업자로 설치 작업을 실행하는 것은, 장치의 구입 비용을 폭등시키게 되어, 누액 센서의 실제의 설치 작업자에게는, 완전히, 실용성이 없는 기술이 되어 있었다.
또, 일본국 특허공개공보 제2002-350275호의 기술에서는, 친기 측에서 연산 처리한 후 또는 그대로, 친기 측의 표시 수단에 표시하는 시스템 구성이므로, 친기가 고장났을 경우에는, 누액 센서가 정상적으로 누액을 검출해도, 누액 검출 이상을 나타내는 경보를 전혀 출력할 수 없다고 하는 문제점도 있었다.
또한 또, 일본국 특허공개공보 제2002-350275호의 기술에서는, 친기 측에서 연산 처리한 후 또는 그대로, 친기 측의 경보 수단에 의해 음성 메시지에 의해 누액 이상을 통보하는 시스템이므로, 누액 발생 부분이 음성 메시지의 내용에 포함되는 것이 필수적인 것인 동시에, 플랜트 등의 시스템을 보수·관리하는 사람에게 있어, 누액 발생 장소 정보가 실제로는, 공간적으로 어디의 위치에 상기하는 것인지, 음성 장소 정보를 정확하게 알아 들어 이해할 수 있는 사람이 아니면 정확한 누액 발생 부분의 공간 위치 정보를 특정하는 것이 불가능하며, 특히, 파견 사원이나 인사 이동이 심한 직장/현장 환경에서는, 누액 센서의 설치 부분의 교육 등에 투자할 수 있는 시간/비용 등은 거의 전무하며, 신인의 오퍼레이터나 기억력/학습 능력이 충분하지 않은 오퍼레이터에게는, 전혀 도움이 되지 않는 경보 시스템으로 되어 버린다고 하는 문제점도 있었다.
(D) 또, 누액 센서와 경보 수단을 일체로 형성한 경우에는, 누액 센서는, 일반적으로, 좁고 바닥면에 가까운 하방 설치 공간에 설치되는 동시에, 작업자의 통행 공간과 간섭하기 쉽기 때문에, 센서 전체의 바닥면으로부터의 높이는, 극히, 낮은 것이 바람직하다.
따라서 본 발명은 전술한 같은 사정을 감안하여 이루어진 것이며, 본 발명의 목적은, 20oC에서, 6×10-2N/m 이하인 저표면 장력을 가진 액체의 소량의 누액에서도, 고속으로 검출하는 것이 가능한 누액 센서를 제공하는 것에 있다.
또, 본 발명의 목적은, 복수개의 누액 센서가, 소정의 그룹마다, 일괄하여 제어 시스템에 내장하고 있어도, 누액 검출 이상을 나타내는 경보가 출력되었을 경우, 실제로, 어디에 설치한 누액 센서가 작동 하여 누액 검출했는지, 플랜트 등 시스템의 유지보수 측에서, 누액 발생의 공간 위치/부분이, 정확하고 용이하게 특정할 수 있는 누액 센서 및 누액 검출 시스템을 제공하는 것에도 있다.
또한 또, 본 발명의 목적은, 복수개의 누액 센서를, 소정의 그룹마다, 일괄하여 제어 시스템에 설치하는 경우, 1명의 작업자라도, 다수의 누액 센서를, 단시간에, 정확하게 모두 소정의 공간 위치에 설치하는 것이 가능한 누액 센서 및 누액 검출 시스템을 제공하는 것에도 있다. 또, 제어 시스템이 고장나거나 친기가 없는 경우라도, 누액 센서가 정상적으로 누액을 검출한 경우에는, 확실하게 누액 검출 이상을 나타내는 경보를 출력하고, 플랜트 등 시스템의 유지보수 측에서 누액 발생의 공간 위치/부분을, 정확하고 용이하게 특정할 수 있는 누액 센서 및 누액 검출 시스템을 제공하는 것에도 있다.
본 발명은, 누액이 침투할 수 있는 기체층 또는 누액 침투층을 통하여, 상기누액과 접촉할 수 있는 적어도 1개의 누액 검출부를 구비한 누액 센서를, 적어도 1개 사용하는 누액 검출 시스템에 관한 것으로서, 본 발명의 상기 목적은,
상기 누액 센서의 설치 위치에 대해, 소정의 공간 범위 이내에, 발음 수단을 포함하는 경보 수단을 설치하고, 상기 누액 센서의 이상을 검출한 경우, 적어도 상기 발음 수단에 의해, 상기 소정의 공간 범위의 외측에 설치된 누액 센서와 구별하여, 상기 누액 센서의 설치 위치가 특정될 수 있도록, 상기 누액 센서의 이상 검출을 가청 주파수의 발신음으로 경보함으로써 달성된다.
또, 본 발명은, 누액이 침투할 수 있는 기체층 또는 누액 침투층을 통하여, 상기 누액과 접촉할 수 있는 적어도 1개의 반사 경계면, 투광부, 수광부 및 이들에 결합된 제어 수단으로 이루어지는 누액 센서에도 관한 것으로서, 본 발명의 상기 목적은,
상기 투광부 및 수광부가, 저부가 투명재 또는 반투명재로 구성된 케이스에 수납되어 일체화되어 있거나, 또는,
상기 투광부 및 수광부가, 저부가 투명재 또는 반투명재로 구성된 케이스에 수납되어 일체화되어 있는 동시에, 상기 케이스 선단에 상기 누액 센서의 바닥 등의 설치 부분의 표면 성질과 상태 또는 표면색으로부터의 영향을 받기 어렵게 하고, 또한, 상기 케이스의 쓰러짐 방지를 겸한 케이스 홀더가 장착되며,
상기 누액 센서의 이상 검출 수단, 및, 발음 수단을 포함하는 경보 수단이 설치되어 있고,
상기 이상 검출 수단에 의해 센서 이상을 검출한 경우, 적어도 상기 발음 수단에 의해 이상 검출을 가청 주파수의 발신음으로 경보함으로써도 달성된다.
본 발명에 관한 누액 검출 시스템에 의하면, 누액 센서의 설치 위치에 대해, 소정의 공간 범위 이내에, 발음 수단을 포함하는 경보 수단을 설치하고, 상기 누액 센서가 상기 누액 센서의 이상을 검출한 경우, 적어도 상기 발음 수단에 의해, 상기 소정의 공간 범위의 외측에 설치된 다른 누액 센서 설치 부분과 구별하여, 상기 누액 센서의 설치 위치가 특정될 수 있도록, 상기 누액 센서의 이상 검출을 오퍼레이터 등에 가청 주파수의 발신음으로 경보/통보하는 것이 가능해서, 복수개의 누액 센서를, 소정의 그룹마다, 일괄하여 제어 시스템 내에 설치하는 경우, 한 사람의 작업자라도, 다수의 누액 센서를, 단시간에, 정확하게 모두 소정의 위치에 설치해, 이러한 설치 상태를 혼자서 확인하는 것이, 종래의 센서와 같이 바닥면을 하나 하나 들여다 보아 확인하지 않고도 실시 가능하며, 누액 검출 시스템의 신뢰성을 매우 향상시킬 수 있다.
또, 본 발명의 누액 센서 및 누액 검출 시스템에서는, 상기 시스템의 친기가 불필요하고, 시스템의 중계기 등이 고장난 경우라도, 누액 센서가 단독으로 작동 가능하면, 정상적으로 누액 상태를 검출해 가청 주파수의 발신음으로 경보하는 것이 가능하며, 이러한 누액 상태를 상기 누액 센서가 검출한 경우, 확실하게 누액 검출 경보를, 소정의 공간 범위의 외측에 설치된 다른 누액 센서 설치 부분과 구별하여, 상기 누액 센서의 설치 위치가 특정될 수 있도록, 오퍼레이터 등에 가청 주파수의 발신음으로 경보/통보하는 것이 가능해서, 누액 센서 및 누액 검출 시스템을 보수하는 경우, 복수개의 동일 기능의 센서가 병렬로 배치된 반도체 제조 공정과 같은 혼동/오인이 발생하기 쉬운 유지보수 환경에서도, 정확한 누액 발생 부분의 특정/발견이, 경보 발신음에 기초하여 음의 근원에 접근하여 가는 것만으로도 가능하며, 누액 센서의 배치 맵의 학습 등의 특별한 훈련을 받지 않아도 실제로 유지보수하는 담당자에게 있어 다른 센서와 혼동/오인하지 않고 매우 용이하게 누액 발생 부분을 특정/식별 가능하며, 매우 유용하다.
또한, 본 발명의 누액 센서 및 누액 검출 시스템에서는, 물, 산성 용액, 알칼리 용액 등의 전기적 도전성을 가진 액체나, 초순수, 알코올, 희석제, 벤진 등의 유기성 용액 등의 절연성을 가진 액체의 누액을, 소량의 누액 양에서도 확실하게 검출 가능한 동시에, 20oC에서, 6×10-2N/m 이하인 저표면 장력을 가진 액체, 특히 3×10-2N/m 이하인 저표면 장력을 가진 박층 모양의 액체, 즉, 미소량의 누액에서도, 고속으로 검출하는 것이 가능하다.
본 발명의 누액 검출 시스템에서는, 누액이 침투할 수 있는 기체층 또는 누액 침투층을 통하여, 상기 누액과 접촉할 수 있는 적어도 1개의 누액 검출부를 구비한 누액 센서를, 적어도 1개 사용하는 구성으로 되어 있고,
상기 누액 센서의 설치 위치에 대해, 소정의 공간 범위 이내에, 발음 수단을 포함하는 경보 수단을 설치하고, 상기 누액 센서의 이상을 검출한 경우, 적어도 상기 발음 수단에 의해, 상기 소정의 공간 범위의 외측에 설치된 누액 센서와 구별하여, 상기 누액 센서의 설치 위치가 특정될 수 있도록, 상기 누액 센서의 이상 검출을 가청 주파수의 발신음으로 경보하는 동시에,
상기 소정의 공간 범위의 내측에 설치된 단독 또는 복수개의 누액 센서에 의해, 상기 경보 수단이 공통적으로 이용 가능한 것이 바람직하고, 또한, 상기 경보 수단의 경고등이 용이하게 시각적으로 인식 가능한 공간 위치에 설치되어 있으면, 더욱 바람직하다.
그러나, 본 발명의 누액 검출 시스템에 사용하는 누액 센서에서는, 누액 센서와 발음 수단을 포함하는 경보 수단을 일체로 형성해도 되고및/또는 누액 센서와 발음 수단을 포함하는 경보 수단을 분리하여 설치하여, 유선 및/또는 무선에 의해, 누액 센서와 발음 수단을 포함하는 경보 수단을 서로 접속해도 된다.
상기 누액 센서와 발음 수단을 포함하는 경보 수단을 일체로 형성하는 시스템 구성에서는, 누액 센서의 설치 위치에 경보 수단도 일체로 고정 배치되므로, 특별한 접속 번호 등의 설정 조작은 일체 불필요하고, 시스템의 구축이 매우 용이하며, 접속의 확인 작업도 용이하여, 이러한 시스템의 보수·감시 작업도, 매우 직감적으로, 이해하기 쉬운 시스템을 제공하는 것이 가능하다.
또, 상기 누액 센서와 발음 수단을 포함하는 경보 수단을, 분리하여 설치하고, 유선에 의해 누액 센서와 발음 수단을 포함하는 경보 수단을 서로 접속하는 시스템 구성에서는, 이러한 분리한 경보 수단을 상기 시스템의 상부 공간에서, 시각적 인식성이 양호한 위치에 설치하는 것이 가능하며, 시스템의 조정 작업이나, 보수·관리 작업이 누구라도 용이하게 할 수 있는 이점이 있다.
또한, 상기 누액 센서와 발음 수단을 포함하는 경보 수단을 분리하여 설치하고, 무선에 의해 누액 센서와 발음 수단을 포함하는 경보 수단을 서로 접속하는 시스템 구성에서는, 이러한 분리된 경보 수단을 상기 시스템의 상부 공간에서, 시각적 인식성이 양호한 위치에 설치함과 동시에, 방폭 구조의 경보 수단을 제공할 수 있어, 휘발성의 액체나 인화성의 액체의 누액 검출 및/또는 경보·감시 처리를 매우 안전하고 확실하게 실시할 수 있고, 또, 시스템의 조정 작업이나, 보수·관리 작업이, 특별한 센서 배치 맵 등을 학습하지 않고도 누구라도 용이하게 할 수 있는 이점도 있다.
또한, 본 발명의 누액 센서의 일예에서는, 누액이 침투할 수 있는 기체층 또는 누액 침투층을 통하여, 상기 누액과 접촉할 수 있는 적어도 1개의 반사 경계면과, 투광부, 수광부 및 이들에 결합된 제어 수단으로 이루어지는 누액 센서가 이용 가능하며,
상기 투광부 및 수광부를 저부가 투명재 또는 반투명재로 구성된 케이스에 수납하여 일체화하거나,
상기 투광부 및 수광부를 저부가 투명재 또는 반투명재로 구성된 케이스에 수납해 일체화하는 동시에, 상기 케이스 선단에 상기 누액 센서의 바닥 등의 설치 부분의 표면 성질과 상태 또는 표면색으로부터의 영향을 받기 어렵게 하고, 또한, 상기 케이스의 엎어짐 방지를 겸한 케이스 홀더를 장착하도록 하는 동시에,
상기 누액 센서의 이상 검출 수단, 및, 발음 수단을 포함하는 경보 수단을, 소정의 공간 범위의 외측에 설치된 다른 누액 센서 설치 부분과 구별하여, 상기 누액 센서의 설치 위치가 특정될 수 있도록, 상기 누액 센서의 이상 검출을 가청 주파수의 발신음으로 경보하는 동시에,
상기 소정의 공간 범위의 내측에 설치된 단독 또는 복수개의 누액 센서에 의해, 상기 경보 수단이 단독 또는 공통적으로 이용 가능한 것이 바람직하고, 또한, 상기 경보 수단이 용이하게 시각적으로 인식 가능한 공간 위치에 설치되어 있으면, 더욱 바람직하다.
본 발명에 따른 누액 센서 및 누액 검출 시스템에 대하여, 이하, 도면을 참조하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 누액 검출 시스템(1a)을 도포 현상 장치에 적용한 경우의 기계적인 한 구성예를 도시한 블록도이다.
도 2는 그 누액 검출부(누액 센서부)를, 누액 센서(20a)와 발음 수단을 포함하는 경보 수단(70a)과 일체로 형성한 구성의 일예를 도시하는 도면으로서, 도 2의 (A)는 본 발명의 누액 센서(20a)의 구조를 도시한 평면도이고, 도 2의 (B)는 2B-2B에서의, 횡단면도이며, 도 2의 (C)는 그 측면도이다.
도 3의 (A)는 그(3A-3A)에서의 종단면도이다.
도 3의 (B)는 도 2의 (B)의 확대도이다.
도 3의 (C)는 3C-3C에서의 횡단면도이다.
도 4의 (A)는 본 발명의 홀더(5)의 평면도이다.
도 4의 (B)는 그 중앙 횡단면도이다.
도 4의 (C)는 절단부(8d)를 가진 얇은 종이(8)의 평면도이다.
도 5는 본 발명의 고속 누액 인입수단(6)의 동작 원리를 도시한 확대 단면도이다.
도 6은 본 발명의 누액 센서(20a)의 신호 처리의 한 구성예를 도시한 블록도이다.
도 7은 본 발명의 방폭형 누액 검출 시스템(1b)의 기계적인 한 구성예를 도시한 블록도이다.
도 8은 그 누액 검출부(누액 센서부)를, 누액 센서(20b)와 발음 수단을 포함하는 경보 수단(70b)과 분리하여 설치한 구성의 일예이다.
도 9는 본 발명의 방폭형 경보 수단(70b)의 신호 처리의 한 구성예를 도시한 블록도이다
(실시예 1)
본 발명의 누액 검출 시스템을, 반도체 웨이퍼(이하, 웨이퍼라고 부른다)의 도포 현상 장치에 적용한 경우에 관해서, 도 1 내지 도 6을 참조하여, 이하에서 설명한다.
먼저, 도 1은, 본 발명의 누액 검출부(누액 센서)(20a)를, 누액 센서부(20a)와 발음 수단(72)을 포함하는 경보 수단(70a)과 일체로 형성하여 구성한 누액 검출 시스템(1a)의 일예이며, 누액이 침투할 수 있는 기체층 또는 누액 침투층을 통하여, 누액과 접촉할 수 있는 적어도 1개의 누액 검출부(도 1에서는, 상기 누액 검출부가, 적어도 1개의 광학식 반사 경계면을 포함하는 광학식 누액 검출부로 구성되어 있지만, 비절연성 액체의 존재에 의해 전극간 임피던스가 변화하는 전극쌍을 포함하는 도전식(導電式) 누액 검출부, 또는, 액량 계측식 누액 검출부를 이용하는 것도 가능하다)를 구비한 누액 센서를, 적어도 1개 사용하도록 구성된(도 1의 예에서는, 1개이지만, 면적이 넓은 동일한 저면이나 바닥면에서는, 복수개의 누액 센서를 복수 부분에 분산하여 설치하는 것도 가능하다) 누액 검출 시스템(1a)의 일예이며, 누액 센서(20a)를, 각각, 후술하는 각 누액 수용부(98)의 저면(99)에, 각 누액 수용부가 시스템의 관리자/보수 담당자에 의해, 구별하여 공간적으로 식별 가능하도록 설치하고, 이 설치 위치에 대해, 소정의 공간 범위 이내(누액 수용부(98)의 저면 윗쪽 공간)에, 후술하는 발음 수단을 포함하는 경보 수단(70a)을 설치하고, 누액 센서(20a)의 이상(누액 검출 이상이나 센서 설치 이상)을 검출한 경우, 적어도 발음 수단에 의해, 상기 소정의 공간 범위의 외측에 설치된 다른 누액 센서 설치 부분과 구별하여(각 누액 수용부를 각각 독립하여 구별 가능하도록), 누액 센서의 설치 위치가 용이하게 직접적으로 특정할 수 있도록, 누액 센서의 이상 검출을 가청 주파수의 발신음으로 경보하도록 한 것으로, 누액 센서(20a)와 경보 수단(70a)은 신호선에 의해 접속되는 동시에, 일체로 형성되고 설치되어 있다.
그러나, 상기 웨이퍼의 도포 현상 장치는, 웨이퍼에 여러 가지가 처리를 가하는 처리 기구가 설치된 처리 기구 유닛과, 처리 기구 유닛에 웨이퍼를 반입·반출 하기 위한 반입 반출 기구로 일반적으로 구성되며, 반입 반출 기구는, 처리전의 웨이퍼를 수납하는 웨이퍼 캐리어와, 처리 후의 웨이퍼를 수납하는 웨이퍼 캐리어와, 웨이퍼를 흡착 유지하는 암과, 이 암을 수평의 X 방향, Y 방향 및 θ(회전)방향으로 각각 이동시키기 위한 X 방향 이동 기구, Y 방향 이동 기구 및 θ방향 이동 기구와, 처리 기구 유닛 사이에서 웨이퍼의 수수를 행하는 탑재 받침대를 구비하고고, 또한, 상기 처리 기구 유닛에는, 웨이퍼와 레지스트막의 밀착성을 향상시키기 위한 사전 처리를 행하는 접착 도포 기구와, 웨이퍼의 상면에 레지스트 액을 도포하는 도포 기구(81a)와, 도포 기구(81a)로 레지스트 액을 도포하기 전의 웨이퍼를 냉각하여 소정 온도로 조정하는 냉각 기구와, 웨이퍼에 도포된 레지스트막중에 잔존하는 용제를 증발시키기 위한 가열 처리를 행하는 베이킹 기구와, 노광 후의 레지스트를 현상 처리하는 현상 기구(81b)로 이루어지는 각 처리 기구가 형성되어 있다. 또한, 처리 기구 유닛에는, 상기 각 처리 기구(81a, 81b) 등에 웨이퍼의 반입/반출을 행하기 위한 암을 가진 반송 기구가 반송로를 따라 설치되어, 상기와 같이 구성된 처리 유닛에 있어서, 반입 반출 기구로부터 반입된 웨이퍼는, 접착 도포 기구로 사전 처리 된 후, 냉각 처리 및 도포 처리되어 베이킹 기구에서 가열 처리되고 또, 현상 기구(81b)로 현상 처리되거나 하여, 그 후, 반입 반출 기구에 보내지고, 웨이퍼 캐리어에 수납된다. 이러한 구성에 있어서, 본 발명의 누액 검출 시스템(1a)을 구비한 처리액 탱크(82)로부터 레지스트 액도포 기구(81a)로 처리액, 즉 레지스트 액이 공급된다.
상기 반도체 웨이퍼 처리 장치에서의 처리액 탱크(82)의 배치 및 처리액용 온도 제어부(84)의 배치가, 도 1에 도시되고, 이들 처리액 탱크(82) 및 온도 제어부(84)에, 각각 누액 검출 시스템(1a)이 형성되어 있다. 그러나, 처리액 탱크(82)로부터 나온 송출 도관(83)은 도포 기구(81a)에 접속되고, 처리액 탱크(82)의 상부 주위에 설치된 외부 탱크(89)에도 누액 센서를 설치할 수 있고, 송출 도관(83)에는 온도 제어 유닛(85)이 설치되어 있고, 그것에 의해 도포 기구(81a)에 공급되는 처리액은 일정한 온도로 유지된다. 온도 제어 유닛(85)에는, 온도 조정 유닛(84a)에 의해 일정한 온도로 제어된 온도 제어 용액인 항온수(恒溫水)가 순환 공급된다. 온도 제어부(84)는, 항온수 탱크(91)와 펌프(90) 및 서모 모듈(88)을 가진 이송 도관(87)과 복귀 도관(86) 등으로 이루어지는 온도 조정 유닛(84a)과, 열교환기로서 구성된 온도 제어 유닛(85)으로 구성되어 있다. 서모 모듈(88)은, 상세하게는 도시 되어 있지 않지만, 여기에 제어 전류를 흐르게 함으로써 온도 조절수를 일정한 온도로 유지할 수 있다.
항온수 탱크(91)에는 액체 레벨 검출용의 플로트(float)(94)가 설치되어 있고, 이 플로트(94)는 그 지지부(95)의 근처에 전기 접점(96)을 가진다. 이 접점(96)은 도시하지 않은 논리 회로를 통하여 솔레노이드 밸브(97)의 동작을 제어 가능하게 접속되어 있다. 이 항온수 탱크(91)와 처리액 탱크(82)의 하방에 누액 수용 팬(pan)(98)이 각각 독립적으로 배치되어 있고, 이 누액 수용 팬(98)의 저부(99)에 누액 검출용 누액 센서(20a)가 각각 독립적으로 서로 구별 가능하도록 배치되어 있다.
상기 도시하지 않은 논리 회로는, 액량이 감소된 때에 솔레노이드 밸브(97)을 열린 상태로 해 온도 제어 용액(이하, 온도 조절액이라고 한다)을 공급하기 위한 것이다. 변환 스위치는, 온도 조절액 공급의 자동과 수동을 전환하기 위해 사용된다. 스위치의 접점이 우측으로 접속되어 있으면, 솔레노이드 밸브(97)에는 전류가 흘러 밸브가 열려, 수동으로 온도 조절액이 보충 공급된다. 스위치의 접점이 좌측으로 접속되어 있으면, 온도 조절액의 공급은 자동적으로 행해진다.
탱크(91)의 액면이 저하되면, 플로트(94)가 저하되고, 접점(96)은 ON이 된다. 이 때 인버터 A1의 입력은 0이 되고, 출력은 1(정논리의 H레벨 상태)이 된다. 인버터 A1의 출력은, 각각의 지연 회로 D1와 D2를 통하여 인버터 A2와 A3에 전달되지만, 지연 회로 D1는 약 1분의 지연 시간을 가지고, 지연 회로 D2는 약 2초의 지연 시간을 가진다. 따라서 접점(96)이 ON이 되고 나서 약 2초 후에, 인버터 A4의 출력 단자에 신호 1이 생기므로, 이 때 트랜지스터 Tr가 ON이 되어, 솔레노이드 밸브(97)에 전류가 흐른다. 또한 약 1분 후에는 인버터 A2의 출력이 0이 되므로, 트랜지스터 Tr는 다시 OFF가 되어, 솔레노이드 밸브(97)의 전류는 차단된다. 각 지연 회로 D1, D2에는 다이오드가 설치되어 있고, 이들 지연 회로 D1, D2는, 0→1의 신호를 지연하지만, 1→0의 신호는 늦지 않게 전달한다. 따라서 지연 회로 D1에 의해, 솔레노이드 밸브(97)가 1분 이상의 기간 동안 여는 것을 방지하고, 지연 회로 D2에 의해, 솔레노이드 밸브(97)가 액면의 파 등에 의해 ON과 OFF를 빈번하게 반복하는 것을 방지할 수 있다.
도 2는, 본 발명에 있어서의 발음 수단을 포함하는 경보 수단(70a)을 광학식 누액 센서(누액 검출부가 광학 반사면으로 구성된 누액 센서)(20a)와 일체로 형성한 구성을 확대해 도시한 일예이며, 누액 센서(20a)는, 광원 수단(14a) 및 수광 수단(16)을 저부(12d)가 투명재 또는 반투명재로 구성된 케이스에 수납해 일체화한 케이스(12)와, 상기 케이스를 장착하는 케이스 홀더(5)로 구성되며, 누액 수용부(98)의 누액 검출 대상 저면(누액 센서를 직접, 건물 등의 바닥면에 설치하는 경우에는, 설치용 바닥면에 찔러 넣는다)(99)에, 나사/못 등의 고정 부재에 의해 고정 설치되거나, 도시하지 않은 다른 고정 수단에 의해 누액 수용부(98)의 소정의 누액 검출 부분에 고정되는 동시에, 표면 장력이, 20oC에 있어서, 6×10-2N/m 이하인 저표면 장력의 누액을, 소정의 틈새 및 소정의 단면 형상의 모세관 현상을 발휘할 수 있는 틈새부를 이용하여(예를 들면, 틈새 1mm 이하의 평행 틈새부 및/또는 최대 틈새 1mm 이하로 윗쪽으로 향해 점차 좁아지는 쐐기 모양 틈새부), 중력에 저항하여, 누액 검출용 반사 경계면의 누액 검출 위치까지 누액 검출 대상 바닥면(99)으로부터, 소량의 누액에서도, 직접 신속하게 끌어올리고 인도하기 위한 후술하는 고속 누액 인입수단(6)을, 적어도 1개 설치한 것이며,
ABS 수지, 폴리에틸렌, 폴리염화비닐, 폴리스티렌, 폴리프로필렌, 폴리비닐 알코올, 메타크릴 수지, 석유 수지, 폴리아미드, 폴리 염화 비닐리덴, 폴리카보네이트, 폴리아세탈, 불소 수지, 폴리이미드, 폴리에테르에스테르케톤, 폴리페닐렌설파이드, 폴리벤즈이미다졸, 폴리사이클로올레핀 등의 열가소성 수지, 또는, 페놀 수지, 요소 수지, 불포화 폴리에스테르, 폴리우레탄, 알키드 수지, 멜라민 수지, 에폭시 수지 등의 열강화성 수지, 즉, 열가소성 수지 또는 열경화성 수지 등의 합성 수지 부재/플라스틱 부재, 또는, 폴리 아미노산, 지방족 폴리에스테르, 폴리-ε-카프로락톤, 폴리비닐알코올, 키토산, 전분, 셀룰로오스 등과 범용성 폴리머와의 혼합물 등의 생분해 수지 부재, 또는, 이들 조합으로 이루어지는 군으로부터 선택된 것,
또한, 폴리아미드, 폴리카보네이트, 폴리아세탈, 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 폴리부틸렌 테레프탈레이트, 폴리페닐렌에테르, 폴리에테르에스테르케톤, 폴리페닐렌설파이드, 폴리알릴레이트, 폴리술폰, 폴리에테르술폰, 폴리케톤설파이드, 폴리에테르이미드, 폴리아미도이미드, 폴리이미드, 폴리4불화에틸렌, 방향족 폴리에스테르, 폴리아미노비스말레이미드, 트리아진 수지 등의 엔지니어링 플라스틱 부재, 또는, 유리, 또는, 세라믹스를 적어도 1개 포함하는 투명재 또는 반투명재로 구성된 케이스 저부(12d)에, 도 5에 도시한 바와 같은 볼록형상으로, 그 저면(12p)이 누액 수용부(98)의 누액 검출 대상 저면(99)에 직접 밀착 접촉 가능한 누액 검출부의 일단을 돌출하여 설치되고,
이 검출부에는, 누액 검출 대상 저면(또는 바닥면)(99)에 대해서 약 35도~50도의 소정의 경사각도로 평면형의 누액 검출용 전반사면(12m 및 12n)을 설치하고, 이들 평면상 전반사면(12m 및 12n)은, 코너-큐브(corner cube)와 동등의 기능을 완수하도록, 전반사면의 연장이 서로 소정의 각도로 교차하도록 형성하고, 적어도 1개의 광원 수단, 수광 수단 및 이들에 결합된 제어 수단을, 상기 각 반사 경계면의 각각에 대해, 동일한 측에 설치하고, 상기 제1 전반사 경계면(12m)에 대해서는 광원 수단으로부터 광을 투사하고, 제1 전반사 경계면(12m)으로부터의 반사광을 제2 전반사 경계면(12n)에 투사하고, 제2 전반사 경계면(12n)으로부터의 반사광을 수광 수단에 의해 수광하고, 그 출력을 상기 제어 수단에 의해 연산 처리하여 누액을 검출하기 때문에,
먼저, 누액 검출용의 제1 광학계를 형성하는 광원 수단(14a)으로부터의 투사광(22u)이, 전반사면(12m)에 윗쪽으로부터 하방에 전반사면(l2m)에서 소정의 임계각 이상으로 전반사하도록, 투명재 또는 반투명재(12d)의 굴절률에 따른 소정의 입사각으로 조사되어, 그 반사광(22v)이 전반사면(12n)에 투사되어 전반사면(12n)으로부터의 전반사광(24u)이, 투명재 또는 반투명재(12d)의 굴절률에 따른 소정의 수광 각도로 CCD나 MOS형 광다이오드 등으로 이루어지는 광전 변환 소자의 수광 수단(16)에서 수광되어, 이러한 광학 경로를 따라 전달된 누액 검출광이 전기 신호로 변환되고, 그 출력이, 예를 들면, 도 6에 도시한 바와 같은 멀티플렉서(31)를 통하여, 소정의 샘플링 주기마다 A/D 변환 수단(32)에 의해 디지털 신호로 변환되어 마이크로프로세서(MPU)(36)을 포함해 누액 검출 수단(18)을 겸한 제어 수단(30) 내의 버퍼 메모리(34)에 순차 기입 , 디지털 처리되거나 수광 수단(16)의 아날로그 출력이, 직접, 도시하지 않은 아날로그 비교기 등으로 이루어지는 아날로그 연산 수단에 입력되고, 아날로그 회로로 구성된 검출 수단(18)을 겸한 제어 수단(30) 내에서, 소정의 기준 레벨과 비교해, 반사광량의 대소에 의해 누액의 유무를 아날로그 처리하는 것도 가능하다.
그러나, 누액 센서(20a)의 내부에서 연산 처리되고 생성된 누액의 유무를 도시한 누액 검출 정보는, 외부 출력 설정기(33) 및 신호선(26)을 통하여{설정기(33) 내부의 딥·스위치 등으로 특정된 PNP 출력 또는 NPN 출력의 외부 출력 형식으로}외부에 디지털 방식으로 출력되는 동시에, 이러한 외부 출력 정보와는 독립적으로 작동하는 경보 수단, 예를 들면, 공명체를 침으로써 발음하는 수단을 포함하는 발음 수단 및/또는 휘슬 또는 사이렌을 포함하는 발음 수단 및/또는 진동함으로써 발음하는 수단(예를 들면, 압전 버저 등) 및/또는 진동함으로써 발음하는 수단과 이것에 결합된 공명 수단을 포함하는 발음 수단(72)을 적어도 1개 구비한 경보 수단(70a)에도 출력되고, 또한 경보 수단(70a)에는, 경고등(29)도 접속하는 것이 바람직하고, 상기 누액 검출 부분을 다른 누액 검출 부분과 구별하여, 초심자라도 가청 주파수의 발신음으로 직접 인지 가능하도록, 보수 인력에 경보·통지하도록 되어 있다.
상기 광원 수단/투광 수단으로서는, LED나 적외선 빌광 소자, 반도체 레이저, 투광용 광 파이버 등이 이용 가능하며, 또, 발음 수단(72)을 포함하는 경보 수단(70a)과 누액 센서(20a)를, 일체로 형성하여 구성한 누액 검출 시스템(1a)에서는, 상기 광원 수단(14a), 수광 수단(16), 경고등(29), 검출 수단(18), 발음 수단(72)에의 구동 전력을 공급 제어하는 경보 수단(70a)의 제어부(700) 및/또는 제어 수단(30) 등은, 차광재를 겸한 회로 기판(7)에, 일체로 형성하고, 고정하는 것이 바람직하다. 그리고, 경보 수단(70a)의 전기적 제어부(700)의 내부에는, 유선 또는 무선의 통신 수단(702)를 설치하는 것이 바람직하고, 이러한 통신 수단(702)에 의해, 발음 수단(72)의 온-오프 제어나 출력 발신음의 음 양 제어, 발음 수단(72)의 리셋 조작 등이 외부로부터의 원격 조작 지령을 통하여 실행할 수 있으면, 누액 발생 후의 보수·복구 작업이, 확실/신속히 실시할 수 있어 바람직하다.
그러나, 경보 수단(70a)의 전기적 제어부(700)는, 제어 수단(30)에 겸용시키는 것이 가능하며, 그 고정대(71)는, 회로 기판(7)에 나사 등의 고정구에 의해 고정되는 동시에, 그 상면에, 압전 진동 소자(예를 들면, 쿄토부에 있는 주식회사 무라타 제작소의 압전 진동 소자 PKLCS1212E4001-Rl) 등으로 이루어지는 발음 수단(72)이 진동 가능한 상태로, 소정의 위치에 고정되고, 그 상면에, 중공 하부의 내측 하면에 진동 전달면(74)이 형성되고, 경보 수단(70a)의 본체부를 이루는 원통형 커버(73)가, 광학식 누액 센서(20a)의 상부 원주 주위 둘레부에 형성된 결합 오목홈에, 하단 주연부에 형성된 삽입 볼록부(78)를 통하여 원터치 장착 및 분리 가능하게 일체로 형성되고, 원통형 커버(73)의 중공 상부는 커버부(76)와 함께 발음 수단(72)의 공명기(75)를 형성하고, 또한, 원통형 커버(73)의 중공 상부 측벽 및/또는 커버부(76)에는, 발음 수단(72)의 공명음을 방사하는 창(77)이 단독, 또는, 복수개 형성되도록 되어 있다. 그리고, 상기 창(77)은, 커버(73)의 상면에 형성하는 것보다는 측면에 형성하는 것이, 누액이 직접 공명기(75)의 내부에 유입하는 것을 방지할 수 있고 바람직하다.
또한, 공명기(75)는, 투명재 및/또는 반투명재로 구성하면, 회로 기판(7)의 상면에 배치한 경고등(29)의 점등 상태가 외부로부터 직접 관측 가능해져 바람직하다.
또, 상기 실시예에서는, 경보 수단(70a)을 누액 센서 본체의 케이스(12)와 일체로 형성하는 구성으로 설명했지만, 경보 수단(70a)의 발음 수단의 진동원/진동부는, 홀더(5)측에 설치하는 것도 가능하며, 또, 케이스와 홀더와의 두 위치에 분산시켜 형성하는 것도 가능하다. 또, 상기 공명 수단/공명기도, 케이스(12)측에 설치하는 구성 외에, 홀더(5)측에 배치하거나, 케이스와 홀더와의 두 위치에 분산시켜 배치·형성하는 것도 가능하며, 또한 또, 후술하는 바와 같이, 누액 센서의 설치 부분과는 분리한 윗쪽의 소정의 공간 위치에, 별도, 유선·무선의 통신 수단을 통하여 설치하는 것도 가능하다.
그리고, 공명 수단/공명기를, 케이스(12)측 및 홀더(5)측의 두 위치에 분산시켜 배치·형성하면, 보수 점검/누액 발생 후의 복구 작업시에, 본체 케이스(12)를 홀더(5)로부터 떼어냈을 경우, 경보음의 음량을 저감할 수 있어 복구 작업 등에서의 불필요한 높은 경보음을 줄일 수가 있어 바람직하다.
다음에, 케이스(12)의 누액 검출 대상 저면(99)에 대한 떠오름/경사가 발생하지 않는지 평행도를 첵크하는 설치 이상 검출 수단(4)으로서 제2 광학계가, 상기 제1 누액 검출용 광학계와는 독립적으로 설치되고, 이 제2 광학계에서는, 광원 수단(14c)으로부터의 투사광이 케이스 저부(12d)를 굴절·투과하여 윗쪽로부터 얇은 종이(8)로 향해 투사되어 홀더(5)의 중공부를 가진 링형 프레임(5a)의 내주부에, 내측 링 중심 방향으로 향해, 돌기부(5h)가 프레임(5a)과 일체로 형성되고, 이 돌기부(5h)의 상면에, 광의 흡수재/투광재로 형성된 얇은 종이 탑재 평면(5j)이 형성되고, 이러한 평면(5j) 상에 얇은 종이(8)의 일부분이 탑재되어 제3 광학 목표 반사(경계)면인 얇은 종이(8)에 대해, 케이스 저부(12d)의 임계각 미만의 입사각으로 광(22z)이 조사되어 얇은 종이로 굴절하여 투사되어 그 반사광(24z)이 수광 수단(16c)에 의해 수광되어 전술한 바와 마찬가지로 하여 전기 신호로 변환되어 제어 수단(30)에 입력되도록 되어 있다. 그리고, 광원 수단(14c)과 수광 수단(16c) 사이에, 광원 수단(14c)으로부터 수광 수단(16c)에 직접 입사하는 투사광의 차광재(12q)를 충전/형성하는 것이 바람직하고, 이와는 별도로, 상기 제1 광학계와 제2 광학계를 광학적으로 분리하기 위해, 제1 및 제2 광학계의 사이에도, 차광재(12q)를 충전/형성하는 것이 바람직하다.
또, 제어 수단(30)은, 누액의 유무 판정 수단(누액 검출 수단)과 케이스의 설치 이상 판정 수단과, 경보 수단(70a)의 제어부(700)을 겸해 동작하게 하는 것이 가능하며, 또, 케이스(12)의 저면(또는 바닥면)(99)에 대한 평행도를 체크하는 설치 이상 검출 수단(4)은, 상기예에서는, 광학식 설치 이상 검출 수단이지만, 이 외에, 자석이우나 정전 용량의 변화를 이용한 설치 이상 검출 수단도 이용 가능하다.
또, 케이스 저부(12d)의 내측에는, 금속박 등의 차광재를 접착하는 것도 가능하며, 이러한 차광재는, 케이스 저부의 광의 조사면 및 수광 수단 근방의 반사광 수광면을 제외한 공간 범위에 설치하면, 바닥면이 백색 또는 거울면으로 구성된 바닥면에 누액이 침수한 경우라도, 수광 수단이 불필요한 바닥면으로부터의 반사광을 수광하지 않는 광학적 목표 효과가 있다. 또한, 제어 수단(30)으로 처리한 누액의 검출 출력이나 설치 이상 등의 센서 이상 정보는 외부에 케이블(26)을 통하여 전기 신호로서 출력되는 동시에, 또한 케이스(12)의 회로 기판(7)의 상면에 설치된 표시 수단(29)에도, 주위색/적색 전환 점등 가능한 LED 등에 의해 경고 표시되도록 되어 있다. 그리고, 홀더(5)의 외경이 케이스(12)의 외경의 1.3배 이상의 크기의 것을 사용하는 편이, 센서(20a)의 쓰러짐 방지의 면으로부터 바람직하고, 케이블(26)의 끈기가 강한 경우, 케이스(12)를 단독으로 설치하면, 케이스(12)가 용이하게 쓰러지기 쉽기 때문에, 통상은, 케이스(12)를 삽입한 홀더(5)를 누액 검출 대상 저면(99)에 나사 등의 고정재에 의해 고정하고, 또한/또는, 건물이나 장치 등의 측벽이나 측면(61)으로부터 케이스(12)를 고정하기 위한 암 형상의 압접 수단(60)을 케이스 측면부에 연장 형성하고, 그 일단(62)을 나사, 못 등의 고정재(64)에 의해 건물(61)측에 고정하는 동시에, 타단(66)을 케이스 측면부에 압접하여, 케이스(12)의 쓰러짐 방지를 도모하여도 된다.
또, 케이스 저부(12d)와 누액 검출 대상 저면(99)의 간격 d4는, 검출하는 액체의 점도/표면 장력에 대응하여 여러 가지의 것으로 변경할 수 있는 것이 바람직하지만, 지진이나 중량물의 이동 등에 의해, 반사 경계면(12m, 12n)과 누액 검출 대상 저면(99)과의 각도나 간격이 변화하면, 누액 센서의 누액 유무 판정의 오동작의 원인이 되기 쉽기 때문에, 홀더(5)와 케이스(12)는, 후술하는 같은 원터치 장착 및 분리 가능하며, 또한, 간격 d4가 외부의 진동에 대해서도 변화하지 않는 구조의 것이 바람직하다. 또, 홀더(5)는 차광재로 구성하면, 케이스(12)의 주위로부터 노이즈 광이 침입하거나, 바닥면으로부터의 불필요한 반사광의 수광을 방지하는 효과가 있다. 또, 홀더(5)를 사용하지 않고, 케이스(12)를 단일체로 누액 센서(20a)로서 사용하는 경우는, 전술한 간격 d4가 외부의 진동에 대해서도 변화하지 않게, 별도 설치한 압접 수단(60) 등에 의해 저면(99)에 고정하는 것이 바람직하다. 그리고, 상기 광원 수단(14c), 수광 수단(l6c), 및, 표시 수단(29) 등이나, 차광재를 겸한 회로 기판(7)에 일체로 형성하고 고정하는 것이 바람직하다.
다음에, 누액 검출용 투사광(22u)의 전반사면(12m)에의 조사 위치는, 전반사면(l2m)의 부위로서 누액 검출 대상 저면(99)에 가까운 하방의 위치가 바람직하고, 케이스(12)의 저부에 설치된 볼록형상의 누액 검출부 저면(12p) 등은, 도 4의 (C)에 도시한 바와 같은 절단선(8d)을 소정 부분에 형성한 얇은 종이(8)에 대한 밀착 시트 누르기로서 이용 가능하다. 또, 광원 수단(14a)와 수광 수단(16)사이에, 광원 수단(14a)으로부터 수광 수단(16)에 직접 입사하는 투사광의 차광재(12q)를 충전/형성하는 것이 바람직하다.
그러나, 케이스(12) 전체는, 본 발명의 주로 중앙 중공부를 가진 링형 프레임(5a)으로 이루어지는 홀더(5){도 4의 (A) 및, (B)}에 삽입/장착에 의해 결합되어 고정되도록 되어 있고(도 2), 프레임(5a)의 누액 검출 대상 저면(99)에 대향하는 저면(5b){도 4의 (B)}은, 누액 검출 대상 저면(99)으로부터 소정의 간격 d5(통상 2mm~5mm의 범위의 틈새부가 형성될 수 있는 간격이 바람직하다)를 유지해 대략 평행으로 형성되고, 케이스(12)의 저부(12d)에, 볼록형상으로 저면(12p)이 얇은 종이(8)를 사이에 끼어 저면(99)에 직접 밀착 접촉하는 누액 검출부가 돌출하여 형성되어 있기 때문에{도 2의 (B), 도 5}, 누액 검출 대상 저면(99)에 얇은 막 상태로 확산하는 저표면 장력의 누액(2a)을, 중앙 중공부에 확산한 누액 검출 대상 저면(99)으로부터 직접 검출하는 것이 가능하며, 한편, 홀더(5)는, 링 중심으로부터 외측 방향의 외주부에 설치된 단일 또는 복수 부분의 돌기부(5c)에 형성된 관통공(5d)를 이용하여, 저면(99)에 못/나사 등의 고정재에 의해 고정해도 되고, 돌기부(5c)의 부채꼴 저면에 접착제를 접착해 저면(99)에 밀착하여 접착 고정해도 된다(도 4). 또, 고정하지 않고, 단지 누액 검출 대상 저면(99)에 이동 가능하게 탑재하여 두는 것만으로도 된다. 또한, 건물이나 장치 등의 측벽이나 측면(61)으로부터 케이스(12)를 고정하기 위한 암 형상의 압접 수단(60)을 케이스 측면부에 연장 형성하고, 그 일단(62)을 고정 부재(64)에 의해 건물(61)측에 고정하는(도 8) 동시에, 타단(66)을 케이스 측면부에 압접하고, 케이스(12)의 쓰러짐 방지를 도모해도 된다.
또한, 도 2의 예에서는, 광원 수단(14a, 14c) 및 수광 수단(16, 16c)을, 저부(12d)가 투명재 또는 반투명재로 구성된 케이스 내부에 수납해 일체화한 케이스의 일예로 되어 있어, 케이스(12)를 장착하는 케이스 홀더(5)와 케이스(12)로 고속 누액 인입수단(6)을 구성하도록 되어 있어, 그 구성(도 5)은, 예를 들면, 프레임(5a)의 내주부에, 내측 링 중심 방향으로 향해, 선단부(5f)가 쐐기 모양인 직사각형 돌기부(5e)를, 프레임(5a)과 일체로 형성하고, 이 돌기부(5e)는, 누액 검출용 투사광의 흡수재/투광재로 형성하는 것이 바람직하고, 돌기부(5e)의 저면(5g)은, 누액 검출 대상 저면(99)과 밀착하지 않고, 누액 검출 대상 저면(99) 사이에, 소정의 틈새 d6=1mm 이하(바람직하게는, 0.9mm 이하, 더욱 바람직하게는, 0.5mm 이하)의 평행 틈새부 d6를 형성하고, 20oC에서, 6×10-2N/m 이하인 저표면 장력의 누액(2a)을, 평행 틈새부 d6의 모세관 현상을 이용하여, 누액 검출 대상 저면(99)에 대향하는 저면(5g)에, 고속으로 확산하게 되어 있고, 또, 저면(5g)의 일단에서 돌기부(5e)의 선단부(5f)는, 케이스(12)의 전반사면(12m) 사이에, 소정의 틈새 d7=1mm 이하(바람직하게는, 0.9mm 이하, 보다 바람직하게는, 0.5mm 이하)의 평행 틈새부 d7를 형성하고 및/또는 하단부의 최대 틈새 d7=1mm 이하(바람직하게는, 0.9mm 이하, 보다 바람직하게는, 0.5mm 이하)로 윗쪽으로 향해 점차 좁아지는 쐐기 모양 틈새부 d7를 형성하고, 이러한 틈새부 d7의 모세관 현상을 이용하여, 20oC에서, 6×10-2N/m 이하인 저표면 장력의 누액(2a)을, 중력에 저항하여, 누액 검출용 반사 경계면(12m)의 소정의 누액 검출 위치의 윗쪽까지 저면(99)으로부터, 소량에서도, 직접 신속하게 끌어올리고 안내하도록 되어 있다.
그리고, 틈새부 d7에는, 절단편(8d)을 가진 누액 검출용 얇은 종이(8)의 일부분을 삽입시키는 것도 가능하며, 저표면 장력의 누액(2a)을 검출하는 속도는, 실험에 의하면, 얇은 종이(8)가 틈새부 d7에 삽입되어 있든, 삽입되지 않았든 상관 없이, 대략 동일한 정도의 검출 속도였다. 또, 케이스(12)전체는, 링형 프레임(5a)의 상면 내주부에 복수 개의 위치에 직립으로 설치된 삽입 걸림부(5n)에 삽입/장착에 의해 삽입될 수 있어, 회전 가능하게 고정되도록 되어 있고{도 2의 (A) 및 (B)}, 걸림부(5n)의 선단부(5p)에는, 경사 윗쪽에 테이퍼면을 형성하고, 케이스(12)의 장착 및 분리 조작이, 원터치로 가능한 구조가 바람직하다{도 4의 (B)}.
이러한 구성에 있어서 누액 센서(20a)의 동작을 도 3의 (C) 및 도 5를 참조하여 설명하면, 먼저, 케이스(12)가 홀더(5)나 압접수단(60)에 의해, 제대로 누액 검출 대상 저면(99)에 고정되어 있지 않은 경우에는, 케이스(12)와 홀더(5)가, 뜨거나 경사지거나, 전도된 설치 이상 상태로 되어, 광학식 설치 이상 검출 수단(4)의 투사광/반사광의 광학 경로(22z/24z)가 정상적인 위치에 형성되지 못하고, 광원 수단(14c)의 투사광(22z)는, 본체부(12d)의 광학 목표 반사 경계면(12a)으로부터 공기 등의 기체층에 투과/확산하여, 반사 부재(얇은 종이(8)에 도달하지 않는지, 또는, 소정의 각도 이상으로 굽혀져 투사되어 그 반사광(24z)은, 거의 수광 수단(16c)에 도달하지 않게 되므로, 큰 폭으로 수광량이 감소하고 수광 수단(16c)의 출력을 검출 수단(18)에 의해 정상적인 반사광 레벨과 비교함으로써, 용이하게 누액 센서(20a)의 설치 이상이 검출되어 MPU 등으로 이루어지는 제어 수단(30)을 통하여 설치 이상 경보 신호(또는 에러 코드 ER-A)가, 외부 출력 설정기(33)에 설정된 PNP 출력 또는 NPN 출력의 디지털 출력 형식으로 케이블(26)을 통하여 외부에 출력되고, 또한, 도시하지 않은 전원 제어부에 의해, 광원 수단(14a, 14c) 및 수광 수단(16, 16c)에의 전원 공급이 정지되어 누액 센서(20a)는 에러 대기 상태로 된다.
이 시점에서, 설치 이상 검출 수단(4)으로부터 경보 수단(70a)에 상기 설치 이상 경보 신호와는 독립적으로 가청 주파수의 경보 발신 신호를 출력하고, 발음 수단(72)의 진동이 공명기(75)에 의해 증폭되어 공중에 방사되어 설치 이상 경보 신호로 경고된 오퍼레이터(통상적으로, 보수실 등에서 대기하고 있음)는, 경보 발생 현장에 급히 간 경우에, 즉시, 어느 부분에 설치된 누액 센서의 설치 이상이 발생하고 있는지, 종래와 같이, 하나 하나 바닥면이나 누액 수용부의 저면을 점검할 필요가 없고, 발음 수단(72) 및 공명기(75)로부터 발신되는 가청 주파수의 경보음을 따라 발음원에 가까워지면, 극히 용이하게, 상기 설치 이상 부분을 다른 누액 센서 설치 부분과 구별하여 특정할 수 있다. 그리고, 발음 수단(72) 및 공명기(75)로부터 발신되는 경보음은, 주파수가 일정 또는 가변의 단속음 및/또는 연속음, 음색이 일정 또는 가변의 단속음 및/또는 연속음, 음의 강도가 일정 또는 가변의 단속음 및/또는 연속음, 음의 피치가 일정 또는 가변의 단속음 및/또는 연속음, 듀티비가 일정 또는 가변의 단속음 및/또는 연속음, 또는, 이들을 조합된 경보음을 포함하는 발신음이 이용 가능하다.
또한, 경보 수단(70a)에서는, 경고등/표시 수단(29)을 에러(적색) 점등시키는 것이 가능하며, 발음 수단(72)으로부터 발신되는 가청 주파수의 경보음의 변동에 대응하여, 경고등(29)의 밝기를 변동하는 것도 가능하며, 그 대응 관계는, 경보음의 변동에 동기시켜 밝기나 발광 파장 등을 변동시켜도 되고, 각각 독립적으로 변동시켜도 된다.
이러한 경보 신호가 출력되지 않는 통상의 정상 설치된 상태에서는, 전원 제어부로부터, 광원 수단(14a, 14c) 및 수광 수단(16, 16c)에 전원이 공급되고, 누액 센서(20a)는 작동 상태로 되어, 어떠한 누액도 존재하지 않는 경우에는, 도 3의 (C)에 도시한 바와 같이 광학식 설치 이상 검출 수단(4)의 투사광/반사광의 광학 경로(22z/24z)가 정상적인 위치에 형성되고, 광원 수단(14c)으로부터의 투사광(22z)이, 홀더 저면(5j)에 탑재된 반사재{얇은 종이(8)}의 반사면에서 반사되어, 그 반사광(24z)이 수광 소자(16c)에 입력되고, 그 출력을 검출 수단(18)에 의해 정상적인 반사광 레벨과 비교함으로써, 용이하게 누액 센서(20a)의 정상 설치 상태가 검출된다.
또, 누액 검출용 광학계를 형성하는 광원 수단(14a)으로부터의 투사광(22u)이, 제1 전반사면(12m)에 윗쪽으로부터 하방으로 전반사면(12m)에서 소정의 임계각 이상으로 전반사하도록, 투명재 또는 반투명재(12d)의 굴절률에 따른 소정의 입사각으로 조사되어 그 전반사광(22v)이 제2 전반사면(12n)에 투사되어 전반사면(12n)로부터의 전반사광(24u)이, 투명재 또는 반투명재(12d)의 굴절률에 따른 소정의 수광 각도로 수광 수단(16)에 의해 수광되고, 이러한 광학 경로를 따라 전달된 누액 검출광이 광전 변환 소자에 의해 전기 신호로 변환되고, 그 출력이, 검출 수단(18)을 겸한 제어 수단(30) 내에서, 디지털 처리되거나 수광 수단(16)의 아날로그 출력이, 직접, 아날로그 비교기 등으로 이루어지는 아날로그 연산 수단에 입력되고, 아날로그 회로로 구성된 검출 수단(18)을 겸한 제어 수단(30) 내에서, 아날로그 처리된다. 그리고, 누액이 존재하지 않는 경우에는, 상기예에서는, 어느 쪽의 수광 수단에 의해서도 정상적인 수광량이 검출되어 수광량의 저하 현상은 발생하지 않는다.
다음에, 20oC에서, 6x10-2N/m 이하인 저표면 장력의 누액(2a)이, 누액 검출 대상 저면(99)에 얇은 막 상태로 확산하는 경우에는, 고속 누액 인입수단(6)의 일부를 형성하는 직사각형 돌기부(5e)의 저면(5g)에 대향하는 누액 검출 대상 저면(99)의 영역까지, 액체 레벨 d1의 누액(2a)이 확산하여 온 시점에서, 누액 검출 대상 저면(99)과 저면(5g) 사이에 형성된 평행 틈새부 d6에 의해, 틈새부 d6의 간격과 누액(2a)의 액체 레벨 d1의 길이를, 대략 동일한 정도의 길이, 또는, 액체 레벨 d1>간격 d6의 길이에 설정하여 두면, 틈새부 d6의 모세관 현상을 이용하여, 누액(2a)이 평행 틈새부 d6에 신속히 끌어 들여지고(도 5의 2al), 누액(2a)이 저면(5g)에 접촉하는 동시에, 누액 검출 대상 저면(99)에 대향하는 저면(5g) 전체에, 고속으로 확산된다.
그 후, 저면(5g)의 일단에서, 돌기부(5e)의 선단부(5f)의 일단을 형성하는 최하 단부까지 누액(2a)이 확산하면(도 5의 2a2), 누액(2a)은, 또한, 케이스(12)의 전반사면(12m)과 선단부(5f)로 형성된 평행 틈새부 d7의 일단에 도달하고, 틈새부 d7는, 소정의 틈새 d7에서 누액(2a)의 모세관 현상이 발생하도록 설정되어 있으므로, 누액(2a)의 누수량이 소량이라도, 중력에 저항하여, 누액 검출용 반사 경계면(12m)의 소정의 누액 검출 위치보다 윗쪽까지, 누액 검출 대상 저면(99)으로부터 직접 신속하게 끌어올리게 안내된다(도 5의 2a3). 이렇게 해서, 누액(2a)이, 누액 검출용 반사 경계면(12m)의 소정의 누액 검출 위치를 윗쪽으로 통과하면, 광원 수단(14a)으로부터의 투사광(22u)의 대부분은, 전반사면(12m)에서 전반사하지 않고, 저부(12d) 및 전반사면(12m)을, 대략 직진하고, 또한, 틈새부 d7에 채워진 누액(2a)을 굴절 직진한 후, 투사광의 흡수재/투광재로 형성된 직사각형 돌기부(5e) 및 틈새부 d6에 채워진 누액(2a) 속을 대략 직진하여, 누액 검출 대상 저면(99)에서 반사되어 전반사면(12n)과 반대 방향으로 전달·진행한다.
따라서, 누액 검출용 광학 경로의 일부를 형성하는 전반사면(12m)에서 전반사하고, 그 후 전반사면(12n)에서도 전반사된 광(24u)이, 수광 수단(16)에서 수광되는 광량은, 큰 폭으로 저하되고, 그 출력을 제어 수단(30)에 의해 연산 처리하여, 소량의 누액(2a)이, 누액 검출 대상 저면(99)에 얇게 확산하기 시작한 매우 초기의 단계에서, 매우 고속으로 검출할 수 있다. 또, 저표면 장력의 누액(2a)이, 누액 검출 대상 저면(99)에 한번에 대량으로 새기 시작한 경우에는, 케이스(12)의 외주는 모두 누액(2a)으로 침수가 되고, 또한, 누액 검출용 반사 경계면(12n)의 소정의 누액 검출 위치도 누액(2a) 속에 수몰되므로, 광원 수단(14a)으로부터의 투사광(22u)이, 전반사면(12m)에서 전반사되어, 그 전반사광(22v)이 전반사면(12n)에 투사되어도, 누액(2a) 때문에 전반사면(12n)에서 전반사하지 않고, 즉시, 전반사면(12n)을 대략 직진하고, 또한, 틈새부 d4에 채워진 누액(2a) 속을 굴절 직진한 후, 케이스(12)의 외주 방향으로 확산·방사되어 수광 수단(16)의 설치 위치와 전혀 관계없는 방향으로 전달·진행한다. 따라서, 누액 검출용 광학 경로의 일부를 형성하는 전반사면(12n)에서 전반사된 광(24u)이, 수광 수단(16)에서 수광되는 광량은, 큰 폭으로 저하되고, 그 출력을 제어 수단(30)에 의해 연산 처리하여 누액(2a)의 대량 발생을, 매우 초기의 단계에서, 매우 고속으로 검출할 수 있다.
이렇게 해서, 누액 검출 수단(18)을 겸한 제어 수단(30)에 의해, 누액(2a)이 검출되면, 표시 수단(29)을 정상(녹색) 점등으로부터 에러(적색) 점등시키는 동시에, 외부 출력 설정기(33)에 설정된 PNP 출력 또는 NPN 출력의 디지털 방식의 출력 형식으로, 케이블(26)을 통하여 외부에 누액 검출 신호를 디지털 방식으로 출력한다(누액 검출 에러 코드 ER-B).
이 시점에서, 누액 검출부(18)로부터 경보 수단(70a)에, 외부에 디지털 방식으로 출력되는 누액 검출 신호와는 별도로 경보음 발신 신호가 출력되면, 발음 수단(72)이 구동되고, 예를 들면, 압전소자 등에 의한 진동에 의해 생성된 발진음이 공명기(75)에 의해 공명 증폭되어 공중에 방사되므로, 보수 감시실 등에서 대기하고 있는 오퍼레이터는, 누액 검출 신호 ER-B로 누액의 발생이 경고된 후, 경보 발생 현장에 급히 간 경우에, 즉시, 어느 부분에 설치된 누액 센서가 누액을 검출했는지, 종래와 같이, 하나 하나 바닥면이나 누액 수용부의 저면을 점검할 필요가 없고, 발음 수단(72) 및 공명기(75)로부터 발신되는 증폭 경보음에 따라 발음원에 가까워지면, 극히 용이하게, 상기 누액 발생 부분을 다른 누액 센서 설치 부분과 구별하여 특정할 수 있다.
그리고, 발음 수단(72) 및 공명기(75)로부터 발신되는 경보음은, 주파수가 일정 또는 가변의 단속음 및/또는 연속음, 음색이 일정 또는 가변의 단속음 및/또는 연속음, 음의 힘이 일정 또는 가변의 단속음 및/또는 연속음, 음의 피치가 일정 또는 가변의 단속음 및/또는 연속음, 듀우티이비가 일정 또는 가변의 단속음 및/또는 연속음, 또는, 이들을 조합된 경보음을 포함하는 발신음이 이용 가능하다.
또한, 경보 수단(70a)에서는, 경고등/표시 수단(29)을 에러(적색) 점등시키는 것이 가능하지만, 발음 수단(72)으로부터 발신되는 가청 주파수의 경보음의 변동에 대응하여, 경고등(29)의 밝기를 변동하게 하는 것도 가능하며, 그 대응 관계는, 경보음의 변동에 동기시켜 밝기나 발광 파장 등을 변동시켜도 되고, 각각 독립적으로 변동시켜도 된다.
또한, 발음 수단(72)으로부터 누액 검출 시에 방사되는 경보 발신음은, 케이스의 설치 이상 시에 방사되는 경보 발신음과 동일 음이 아니고, 어느 센서가 이상인지 식별 가능하도록 서로 구별 가능한 상이한 발신음이 바람직하고, 이러한 서로 구별 가능한 상이한 발신음으로서는, 예를 들면, 경보 발신음의 음량을 변경하는, 경보 발신음의 음색을 변경하는 것, 경보 발신음의 주파수를 변경하는 것, 경보 발신음의 듀티비를 변경하는 것, 경보 발신음을 연속음과 단속음으로 출력하는 것, 또는, 이들 조합 발신음으로 하는 등, 여러 가지의 조합이 이용 가능하다.
다음에, 20OC에서, 6×10-2N/m 이상의 표면 장력의 누액(2)이, 누액 검출 대상 저면(99)에 확산되었을 경우에는, 누액 검출 대상 저면(99)과 케이스 저부(12d) 사이에 형성된 평행 틈새부 d4에, 얇은 종이(8)가 삽입되어 있으므로, 액체 레벨 d3의 누액(2)이, 얇은 종이(8)의 외주부 또는 일부에 접촉한(도 5) 직후에, 누액(2)이 얇은 종이(8)의 전면에 침투/확산하고, 누액(2)이 얇은 종이(8)를 통하여 전반사면(12n) 근방까지 급속히 끌어 들여진다. 이렇게 해서, 누액(2)이, 누액 검출용 반사 경계면(12n)의 소정의 누액 검출 위치에 도달하면, 광원 수단(14a)으로부터의 투사광(22u)은, 전반사면(12m)에서 전반사되어 그 전반사광(22v)이 전반사면(12n)에서는, 누액(2) 때문에 전반사하지 않고, 전반사면(12n)을, 대략 직진하고, 또한, 누액(2)이 침투한 얇은 종이(8) 속을 굴절 직진한 후, 누액 검출 대상 저면(99)에서 반사되어 수광 수단(16)의 설치 위치와 전혀 관계없는 방향으로 전달·진행한다. 따라서, 누액 검출용 광학 경로의 일부를 형성하는 전반사면(12n)에서 전반사된 광(24u)이, 수광 수단(16)에서 수광되는 광량은 큰 폭으로 저하되고, 그 출력을 제어 수단(30)에 의해 연산 처리하여 누액(2)을, 저면(99)에 얇게 확산하기 시작한 매우 초기의 단계에서, 매우 고속으로 검출할 수 있다.
또, 한번에 대량의 누액(2)이 발생한 경우에는, 케이스(12)의 외주는 모두 누액(2)으로 침수되고, 또한, 누액 검출용 반사 경계면(12n)의 소정의 누액 검출 위치도 누액(2) 중에 수몰되므로, 광원 수단(14a)으로부터의 투사광(22u)이, 전반사면(12m)가 누액(2) 중에 수몰되고 있은 경우에는, 전반사하지 않고 전반사면(12m)을 대략 직진하고, 또한, 틈새부 d7에 채워진 누액(2) 속을 굴절 직진하고, 전반사면(12n)과 전혀 관계없는 방향으로 전달·진행 하거나, 또는, 전반사면(12m)에서 전반사되어 그 전반사광(22v)이 전반사면(12n)에 투사되었을 경우에는, 누액(2) 때문에 전반사면(12n)에서는 전반사하지 않고, 즉, 전반사면(12n)을 대략 직진하고, 또한, 틈새부 d4에 채워진 누액(2) 속을 굴절 직진한 후, 누액 검출 대상 저면(99)에서 반사되어 수광 수단(16)의 설치 위치와 전혀 관계없는 방향으로 전달·진행한다.
따라서, 한번에 대량의 누액(2)이 발생한 경우에는, 누액 검출용 광학 경로의 일부를 형성하는 전반사면(12n)에서 전반사된 광(24u)이, 수광 수단(16)에서 수광되는 광량은, 누액(2)이 존재하지 않는 경우와 비교하면, 큰 폭으로 저하되고, 그 출력을 제어 수단(30)에 의해 연산 처리하여, 누액(2)의 대량 발생을, 매우 초기의 단계에서, 매우 고속으로 검출할 수 있다.
이렇게 해서, 누액 검출 수단(18)을 겸한 제어 수단(30)에 의해, 누액(2a) 또는 누액(2)이 검출되면, 표시 수단(29)을 에러 점등시키는 동시에, 케이블(26)을 통하여 외부에 누액의 유무를 디지털 방식으로 출력한다(누액 검출 에러 코드 ER-B).
그와 동시에, 누액 검출 수단(18)으로부터 경보 수단(70a)에 경보음 발신 신호를 출력하고, 발음 수단(72)의 진동이 공명기(75)에 의해 공명 증폭 되어 공중에 방사되고, 누액 검출 신호 ER-B로 경고된 보수 감시실의 오퍼레이터 등은, 누액 발생 현장에 급히 간 경우, 즉시, 어느 부분에 설치된 누액 센서가 누액을 검출했는지, 종래와 같이, 하나 하나 바닥면이나 누액 수용부의 저면을 점검할 필요가 없고, 공명 증폭해 방사된 경보음 발신 위치에 가까워지는 것으로, 극히 용이하게, 상기 누액 발생 부분을 다른 누액 센서 설치 부분과 구별하여 용이하게 특정할 수 있다.
그리고, 전술한 수광 처리에서 수광 수단으로서 1차원 또는 2차원 어레이 센서를 사용하는 경우에는, 복수개의 각 수광 소자의 A/D 변환 후의 디지털 출력을 이중 버퍼 메모리(34)에 기입한 후, MPU36 등에 의해 이하의 처리를 행하면 된다.
a) 각 수광 소자(28i)(i=a~n)의 감도 보정을 행한 후, 수광 패턴을 이동평균 처리 등에 의해 평활화한다.
bl) 평활화한 수광 패턴의 명암의 피크 위치를 연산하고, 이 위치가 누액 없음 범위 내에 있는지 아닌지로 누액의 유무를 판정한다.
b2) 평활화한 수광 패턴 R(j)의 반사광량의 휘도 분포의 중심 XG를 다음 식에 의해 연산하고, 이 중심 위치가, 누액 없음 범위 내에 있는지 아닌지로 누액의 유무를 판정한다.
XG=ΣR(j)·j/Σj (j=1로부터 n)···(1)
단, R(j): 수광 레벨,
j=1로부터 n: 수광 위치
b3) 미리, 반사광의 명암 패턴의, 파형 상승 부분 및/또는, 파형 피크 부분및/또는 파형 하강 부분 등을, 누액이 있을 때의 반사광 패턴 중에서 잘라 템플릿 메모리(35) 등에, 누액 템플릿 패턴 T(j)으로서 등록하여 두고, 이 템플릿 패턴 T(j)과 유사한 파형 위치를, 평활화한 수광 패턴 R(j) 중에서 상관치 CR(m)의 연산을함으로써 구한다.
예를 들면, 누액 없음 위치로부터 소정의 거리(mth) 이상 떨어진 위치(m>mth)에서, 또한, 소정의 유사도 Thcr 이상 템플릿 파형과 유사한 명암 패턴 CR(m)이 검출되었을 경우, 누액 있음이라고 판정하고, 그 이외의 경우에는 누액 없음으로 판정한다.
c) 이렇게 해서, 누액 검출 수단(18)을 겸한 제어 수단(30)에 의해, bl)으로부터 b3)의 연산 중에서, 원하는 연산 또는 조합한 연산에 의해, 누액(2)이 검출되면, 케이블(26)을 통하여 외부에 누액의 유무를 디지털 방식으로 출력한다(누액 검출 에러 코드 ER-B).
그리고, 전술한 bl) 및 b2)의 처리에서는, 렌즈, 오목면 거울 등의 집광 수단에 의해 널게 반사광을 모음으로써, 최소한 두 위치의 수광부(소자)에 의해, 누액의 유무 연산을 실행할 수 있다. 또, b3)의 상관 연산에서는, 최소한 4~8개의 상이한 위치로부터의 수광부(수광 소자)에 의한 반사광 데이터의 수집이 바람직하다.
또한, 누액 센서(20a)에서는, 케이스(12)와 홀더(5)사이에, 얇은 종이(8)를 삽입하고 있으므로, 누액 검출 대상 저면(99)에 확산하여 온 누액(2)이, 얇은 종이(8)를 순차 침투하여, 얇은 종이(8)를 투명층으로 변환하면서 확산하고, 링형 프레임(5a)의 내주측에 설치된 돌기부(5h)의 상면에 형성된 탑재 평면(5j)까지 누액(2)이 침투해 확산하면, 제3 광학 목표 (반사)경계면인 얇은 종이(8)에 대해, 케이스 저부(12d)로부터 조사된 광(22z)이, 얇은 종이(8)의 표면에서는 반사하지 않고, 그대로 누액이 침투한 얇은 종이(8) 속을 직진하고, 또한, 광의 흡수재/투광재로 형성된 탑재 평면(5j)의 내부에, 소정의 굴절각으로 직진하므로, 수광 수단 l6c에 의해 수광되는 반사광(24z)의 광량이 큰 폭으로 감소하고, 케이스의 설치 이상 검출 수단(4)으로서의 제어 수단(30)이 작동하고, 케이스의 설치 이상 에러로서도, 누액(2)이 검출 가능하다. 따라서, 누액 검출용의 제1 광학계가 고장나 정상적으로 동작하지 않는 경우라도, 케이스의 설치 이상 에러로서, 누액(2)이 검출 가능해져, 센서의 에러 검출 기능을, 일층 향상시킬 수 있다.
이렇게 해서, 도 2의 (B) 및 도 5의 누액 센서(20a)는, 누액이 침투할 수 있는 기체층 d6, d7 또는 누액 침투층(예를 들면, 도 5에서는, 누액 수용부(98)의 누액 검출 대상 저면(99)과 케이스 저면 l2p 사이에 삽입된 얇은 종이(8)의 일부)을 통하여, 상기 누액과 접촉할 수 있는 적어도 1개의 누액 검출용 반사 경계면(12m, 12n), 광원 수단(14a), 수광 수단(16), 및 이들에 결합된 제어 수단(30)으로 이루어지는 누액 센서의 일종이며, 기체층 d6 또는 누액 침투층(d4 또는 누액 검출 대상 저면(99)과 저면(12p) 사이에 삽입된 얇은 종이(8)의 누액 수용부(98)의 저면(99)에 대향하는 면의 일부 또는 전체를, 직접, 누액 검출 대상 저면(99)측에 개방하거나(도 5의 예에서는, 기체층 d6는, 바닥측 전체), 또는, 기체층 또는 누액 침투층의 일부로서 바닥면을 구성하고(예를 들면, 도 5에서는, 누액 수용부(98)의 누액 검출 대상 저면(99)과 케이스 저면(12p) 사이에 삽입된 얇은 종이(8)의 일부), 또한, 표면 장력이, 20oC에 있어서, 6×10-2N/m 이하인 저표면 장력의 누액(2a)을, 소정의 틈새 d0 및 소정의 단면 형상의 모세관 현상을 발휘할 수 있는 틈새부를 이용하여, 중력에 저항하여, 누액 검출용 반사 경계면(12m)까지 누액 수용부(98)의 누액 검출 대상 저면(99)으로부터, 소량에서도, 직접 신속하게 끌어올리고 인도하기 위한 고속 누액 인입수단(6)을, 적어도 1개 갖추어 광원 수단(14a)의 투사광(22u)을 누액 검출용 반사 경계면(12m)에 조사하고, 반사 경계면(12m)으로부터의 반사광을 수광 수단(16)에서 수광하고, 그 출력을 제어 수단(30)에 의해 연산 처리하여, 저표면 장력의 누액(2a)의 유무를 신속하게 판정 가능하도록 한 누액 센서라고 할 수 있다.
또, 도 2의 (B) 및 도 5의 누액 센서(20a)는, 누액에 접촉 할 수 있는 적어도 2개의 누액 검출용 전반사 경계면(12m, 12n)을, 기체층 d6, d7 또는 누액 침투층(예를 들면, 도 5에서는, 누액 수용부(98)의 누액 검출 대상 저면(99)과 케이스 저면(12p) 사이에 삽입된 얇은 종이(8)의 일부)를 삽입하여 형성하고, 적어도 1개의 광원 수단(14a), 수광 수단(16) 및 이들에 결합된 제어 수단(30)을, 각 반사 경계면의 각각에 대해, 동일한 측에 설치하고, 제1 전반사 경계면(12m)에 대해서는 광원 수단(14a)으로부터 광(22u)을 투사하고, 제1 전반사 경계면(12m)으로부터의 반사광(22v)을 제2 전반사 경계면(12n)에 투사하고, 제2 전반사 경계면(12n)으로부터의 반사광(24u)을 수광 수단(16)에서 수광하고, 그 출력을 제어 수단(30)에 의해 연산 처리하여 누액을 검출하도록 한 누액 센서의 일종이며, 기체층 d6, d7 또는 누액 침투층의 누액 검출 대상 저면(99)에 대향하는 면의 일부 또는 전체를, 직접, 누액 검출 대상 저면(99)측에 개방하거나, 또는, 기체층 또는 누액 침투층의 일부로 하고 누액 수용부(98)의 저면(99)측을 구성하고, 또한, 표면 장력이, 20OC에서, 6×10-2N/m 이하인 저표면 장력의 누액(2a)을, 소정의 틈새 d0 및 소정의 단면 형상의 모세관 현상을 발휘할 수 있는 틈새부를 이용하여, 중력에 저항하여, 누액 검출용 반사 경계면(12m)까지 누액 검출 대상 저면 g9DM로부터, 소량에서도, 직접 신속하게 끌어올리고 인도하기 위한 고속 누액 인입수단(6)을, 적어도 1개 갖추어 저표면 장력의 누액(2a)의 유무를, 소량의 누수량에서도, 신속하게 판정 가능하도록 한 누액 센서라고 할 수도 있다.
그리고, 상기 모세관 현상을 발휘할 수 있는 틈새부의 소정의 틈새 d0로서는, 저표면 장력의 누액(2a)을, 소량, 누액 수용부(98)의 누액 검출 대상 저면(99)에 늘어뜨렸을 경우의, 도 1의 (C)에 도시한 누액(2a)의 두께 d1와 동등한 길이, 또는, 이것보다 작은(d0<dl) 길이로서, 누액(2a)의 모세관 현상을 안정적으로 발휘할 수 있는 길이가 바람직하고, 또, 상기 모세관 현상을 안정적으로 발휘할 수 있는 틈새부의 소정의 단면 형상으로서는, 예를 들면, 틈새dO 이하의 평행 틈새부 단면 및/또는 최대 틈새 dO 이하로 윗쪽으로 향해 점차 좁아지는 쐐기 모양 틈새부 단면 등이 이용 가능하며, 모세관 현상을 안정적으로 발휘할 수 있는 단면 형상이면, 어떠한 형상의 것이라도 이용 가능하다.
[실시예 2]
다음에, 도 1 내지 도 6에 대응시켜 도시한 도 7 내지 도 9는, 본 발명의 누액 검출부(누액 센서부)를, 누액 센서 본체(20b)와, 발음 수단을 포함하는 경보 수단(70b)을, 분리하여 설치한 누액 검출 시스템(1b 및 1c)의 다른 일실시예를 도시한 것이며, 각각 동일한 도면번호를 부여한 장치는 동일한 기능을 완수함과 동시에, 도 7의 누액 검출 시스템(1b)에서는, 누액 센서(20b)와, 분리 설치된 경보 수단(70b)이, 무선을 통하여 신호가 중계된 방폭형 누액 검출 시스템(1b)으로 되어 있고, 또, 누액 검출 시스템(1c)에서는, 누액 센서(20b)와, 분리 설치된 경보 수단(70b)이, 유선을 통하여 중계된 방폭형 누액 검출 시스템(1c)으로 되어 있다.
또한, 방폭형 누액 검출 시스템에서는, 도 8에 도시한 바와 같이 위험 공간에 설치되는 누액 센서부(누액 검출부)(20b)와, 안전한 공간에 설치되고 전기 회로를 구성하는 제어부(39)가 물리적으로 분리하여 설치되는 동시에, 케이스(12)측에만 고속 누액 인입수단(6b)을 구성하고, 또한, 누액 검출부(20b)측에는 전기 배선을 완전하게 없애고, 전기적 발화/인화의 사고가 절대 발생하지 않는 방폭 구조를 실현함과 동시에, 홀더(5)를 불요로 하지 않고, 센서 케이스 단일체로 작동 가능하도록 구성한 것이며, 광 파이버 등의 제1 광 전송 수단(4Oa, 40c)에 의해, 원격지의 안전지대에 설치된 제어부(39) 내에 별도 격리해 설치된 광원 수단(14)으로부터, 투사광(22x, 22z)을, 각각, 광 전송 수단(40a, 42a)에 의해, 누액 검출부(20b)까지 전송하고, 반사 경계면(12m, 12n)에의 광의 투광 및 수광을 행하는 제1 광학계(14-40a-12m-12n-42a-16)를 형성하고, 광 전송 수단(40c, 42c)에 의해, 후술하는 고속 누액 인입수단(6b)의 상면에 형성된 반사 탑재면(5j){이 예에서는, 면(5j)은, 얇은 종이(8)를 이용하지 않기 때문에 광 반사재(백색 또는 거울면)를 사용하는 것이 바람직하다}에의 광의 투광 및 수광을 행하는 제2 광학계{광학식 설치 이상 검출 수단(4b)의 광학 경로: 14-40c-5j-42c-16c}를 형성하도록 했기 때문에, 누액 검출용 액체(2)/(2a)가 휘발성으로 인화, 폭발의 위험이 있는 경우라도, 극히 안전하게 누액 검출이 가능하도록 한 것이다.
즉, 전술한 제1 광학계에서는, 원격지에 설치된 광원 수단(14)으로부터의 조사광의 일부가, 광 전송 수단(40a)에 의해 케이스(12) 내에 이끌려 전반사를 일으키는 임계각 이상의 소정의 각도로, 케이스 저부의 반사 경계면(12m)에 투사광(22u)으로서 조사되어 반사 경계면(12n)에서 다시 전반사되고, 그 반사광(24u)은, 광 전송 수단(42a)에 의해 수광되어 원격지에 설치된 제어부(39) 내의 수광 소자(16)에 전송되어 멀티플렉서(31), AD 변환 수단(32), 이중 버퍼(34)를 통하여 검출 수단(18)을 겸한 제어 수단(30)에 입력되도록 되어 있다.
또, 전술한 제2 광학계에서는, 원격지에 설치된 광원 수단(14)으로부터의 조사광의 다른 일부가, 광 전송 수단(40c)에 의해 케이스(12) 내에 이끌려 임계각 이내 또는 임계각 이상의 소정의 각도로, 반사 부재(5j)에 투사광(22z)으로서 조사되어, 그 반사광(24z)은 광 전송 수단(42c)에 의해 수광되어 원격지에 설치된 수광 소자(16c)에 전송되어 멀티플렉서(31), AD 변환 수단(32), 이중 버퍼(34)를 통하여 검출 수단(18)을 겸한 제어 수단(30)에 입력되도록 되어 있다. 또한, 케이스(12)의 저부는, 투명재 또는 반투명재로 이루어지는 투과광 부재(12d)를 베이스재로 하여 구성하고, 그 외측을 광의 조사면 및 반사면/수광면을 제외하고 차광성의 합성 수지 등의 차광재로 피복 또는 구성하고, 투과광 부재(12d)와 일체로 성형하는 것이 바람직하고, 이러한 차광 부재를 사용하면, 홀더(5)가 없어도 주위 노이즈 광의 영향을 받기 어렵고, 또 누액 침수시에 누액 검출 대상으로 되는 바닥면이 백색 또는 거울면이라도, 불필요한 반사광을 바닥면으로부터 수광하지 않는 광학 목표 구조를 실현할 수 있다.
그러나, 제어부(39)에서는, 수광 수단(16 및 16c)에 의해, 누액 검출면의 반사광량이 끊임없이 체크되어, 도 8의 예에서는, 소정의 반사광량이 검출되지 않는 경우, 누액을 검출한, 또는, 설치 이상이 발생하였다고 판정되어, 이상 검출 신호가, 종래와 마찬가지로 유선(26)을 통하여 외부의 제어부에 출력되는 동시에, 무선 LAN 등을 포함하는 무선 통신 수단(37)을 통하여, 이상 검출 신호가 후술하는 경보 수단(70b)의 무선 수신 수단(79c)에 전송되도록 되어 있다.
또, 누액 센서(20b)에서는, 홀더(5)를 사용하지 않고, 케이스(12)를 단일체로 누액 센서로서 사용하므로, 건물이나 장치 등의 측벽이나 측면(61)으로부터 케이스(12)를 고정하기 위한 암 형상의 압접 수단(60)을 케이스 상부 덮개에 연장 형성하고, 그 일단(62)을를 고정 부재(64)에 의해 건물(61)측에 고정하는 동시에, 타단(66)을 케이스 상부에 압접 하고, 케이스(12)의 쓰러짐 방지를 도모하는 것이 바람직하다.
또한 도 8의 예에서는, 케이스(12)측에만 고속 누액 인입수단(6b)을 구성하도록 되어 있어, 그 구성은, 예를 들면, 케이스 저부(12d)와 누액 검출 대상 저면(99) 사이에, 케이스(12)의 중심 방향으로 향해, 선단부(12v)가 쐐기 모양인 직사각형 돌기부(12u)를, 케이스 저부(12d)에 대해서, 투명재 또는 반투명재로 구성하고, 또한, 본체부(12d)와 고속 누액 인입수단(6b)으로 절곡/분할 가능한 일체로 성형된 합성 수지재로 구성하도록 되어 있다. 이 돌기부(12u)는, 누액 검출용 투사광의 흡수재/투광재로 형성하는 것이 바람직하고, 돌기부(12u)의 저면(12w)은, 누액 검출 대상 저면(99)과 밀착하지 않고, 저면(99) 사이에, 소정의 틈새 d6=1mm 이하(바람직하게는, 0.9mm 이하, 보다 바람직하게는, 0.5mm 이하)의 평행 틈새부 d6를 형성하고, 20OC에서, 6×10-2N/m 이하인 저표면 장력의 누액(2a)을, 평행 틈새부 d6의 모세관 현상을 이용하여, 누액 검출 대상 저면(99)에 대향하는 저면(12w)에, 고속으로 확산하게 되어 있고, 또, 저면(12w)의 일단으로 돌기부(12u)의 선단부(12v)는, 케이스(12)의 전반사면(12m) 사이에, 소정의 틈새 d7=1mm 이하(바람직하게는, 0.9mm 이하, 보다 바람직하게는, 0.5mm 이하)의 평행 틈새부 d7를 형성하고 및/또는 하단부의 최대 틈새 d7=1mm 이하(바람직하게는, 0.9mm 이하, 보다 바람직하게는, 0.5mm 이하)로 윗쪽으로 향해 점차 좁아지는 쐐기 모양 틈새부 d7를 형성하고, 이러한 틈새부 d7의 모세관 현상을 이용하여, 20oC에서, 6×10-2N/m 이하인 저표면 장력의 누액(2a)을, 중력에 저항하여, 누액 검출용 반사 경계면(12m)의 소정의 누액 검출 위치의 윗쪽까지 누액 검출 대상 저면(99)으로부터, 소량에서도, 직접 신속하게 끌어올리고 안내하도록 되어 있다.
이러한 일체 성형용의 합성 수지 부재로서는, 일반적인 열가소성 플라스틱 수지나 열가소성 탄성중합체를 이용할 수 있고, 열가소성 플라스틱 수지로서는, 예를 들면, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 비정질 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리에테렌, 폴리스티렌, 폴리프로필렌 등이 사용될 수 있고, 또, 일체 성형용의 열가소성 탄성중합체로서는, 폴리부타디엔 수지가 사용 가능하다.
구체적으로는, 케이스 저부는, 본체부(12d)와 고속 누액 인입수단(6b)이 경첩으로 연결되어 일체로 형성되고, 본체부(12d)와 고속 누액 인입수단(6b)이 외주 주위로 V자 모양의 홈에 의해 연결되어, 합성 수지재, 즉, 열가소성 플라스틱 수지 또는 열가소성 탄성중합체에 의해 일체로 성형되도록 되어 있어, V자 모양의 홈을 통하여, 전반사면(12m)측으로 절곡하면, 면(12v)의 선단부 측에 형성한 소정의 높이 d7의 복수개의 작은 돌기를 통하여 틈새부 d7를 형성하고, 또, 고속 누액 인입수단(6b)의 면(12w)측에 형성된 소정의 높이 d6의 복수개의 작은 돌기를 통하여, 절곡한 경우에 누액 검출 대상 저면(99) 사이에서 틈새부 d6를 형성함과 동시에, 반발력을 발생하는 개폐 기구를 구성하도록 되어 있다. 따라서, 케이스의 본체부(12d)와 고속 누액 인입수단(6b)을 전반사면(12m)측으로 절곡하여, 케이스(12)의 설치면에 대해서 대략 수평 상태로 닫았을 때에는, 자중 또는 외부로부터의 압접 수단(60)에 의해 본체부(12d)와 고속 누액 인입수단(6b)이 틈새부 d7를 형성한 상태를 유지할 수 있고, 또한, 광학식 설치 이상 검출 수단(4b)의 광학 경로의 일부를 형성하도록 되어 있다. 즉, 수평인 누액 검출 대상 저면(99)에 케이스(12)를 설치한 경우는, 케이스(12)의 설치면은, 수준기 등으로부터 규정되는 기준 수평면에 대해 수평/평행으로 된다.
다음에, 도 9를 참조하여, 분리 설치한 방폭형 경보 수단(70b)의 한 구성예를 설명하면, 제어부(39)와 동시에 안전한 공간(비위험 장소)으로로 분리 설치된 전원(79a)으로부터 제너 배리어(Zener barrier)(78a)를 통하여, 위험 장소에 분리 설치된 경보 수단(70b)에 소정의 전원이 공급되고, 또, 상기 경보 수단(70b)을 별도 설치된 다른 경보 수단(70b) 등과 구별하여 식별하기 위한 식별 번호 설정 수단(79d)(예를 들면, 딥·스위치 등으로 이루어지는)의 출력이 제어부(79b)에 입력되고, 또한, 경보 수단(70b)에서는, 제어부(79b)에, 제어부(39)로부터 누액을 검출한 경우 또는 설치 이상이 발생하였다고 판정된 경우에, 무선 통신 수단(37)으로부터 출력되는 이상 검출 신호를 수신하는 무선 수신 수단(79c)이 설치되고, 스위치 수단(79e)을 통하여 제너 배리어(78a)로부터의 전원 전력이 출력 구동 수단(79h)에 공급되면, 적색 LED 등으로 구성된 파토 라이트 등의 경고등(79k)을 점등 구동하는 동시에, 발음 수단(72), 공명기(75) 등을 통하여 이상 발생 경고음이 공중에 방사 되도록 되어 있다.
이러한 누액 센서(20b)와 발음 수단(72)를 포함하는 경보 수단(70b)을, 분리하여 설치해, 무선에 의해, 누액 센서(20b)와 경보 수단(70b)을, 서로 접속하는 구성에서는, 이러한 분리한 경보 수단(70b)을, 누액 검출 시스템(1b)의 상부 공간에, 누액 수용부(98)의 수평 단면을 대략 연직 윗쪽으로 연장하여 형성되는 상부 공간 내에서, 다른 누액 수용기(98)와 식별 가능하도록 소정의 거리(예를 들면, 2m 이내, 보다 바람직하게는, 1.5m 이내, 또한 바람직하게는, 1m 이내)만 서로 분리한 시각적 인식성이 양호한 상부 공간 위치에 설치하는 것이 바람직하고, 이러한 방폭 구조의 경보 수단(70b)을 이용하면, 휘발성의 액체나 인화성의 액체의 누액 검출 및/또는 경보 처리를, 매우 안전하고 확실하게 실시할 수 있고, 또, 시스템의 조정 작업이나, 보수·감시 작업이, 특별한 훈련을 받지 않아도 누구라도 용이하게 할 수 있는 이점도 있다.
이러한 구성에 있어서, 그 동작을 다음에 설명하면, 도 5의 고속 누액 인입수단(6)과 도 8의 고속 누액 인입수단(6b)은 고속 누액 인입수단(6 및 6b)의 구성이, 얇은 종이(8)를 사용하지 않고, 또, 광학 경로의 일부에, 투광/수광용의 광 전송 수단이, 각각, 추가되어 있는 점을 제외하고는, 완전히 동일하기 때문에, 그 동작도 기본적으로 같다.
구체적으로는, 먼저, 광학식 설치 이상 검출 수단(4b)에서는, 광원 수단(14)-광 전송 수단(4Oc)으로부터의 투사광(22z)이, 고속 누액 인입수단(6b)의 상면에 설치된 반사재(5j)에, 임계각 미만의 입사각으로 조사되어, 그 반사광(24z)이 광 전송 수단(42c)-수광 수단(16c)에 의해 수광되어 전기 신호로 변환되어 제어 수단(30)에 입력되도록 되어 있다. 그리고, 백색 또는 거울면 모양 등의 반사재(5j)에 기초하는 반사면은, 돌기부(12u)의 상면에 설치하는 것이 가능하며, 돌기부(12u)에 접착, 용융, 압입하여 형성하도록 하고, 또는, 돌기부(12u)의 상면에 오목 볼록의 반사면을 각인 설치 하여, 투사광(22z)의 반사면을 형성해도 된다.
한편, 케이스(12)의 본체부(12d)와 돌기부(12u)가 소정의 간격으로 틈새부 d7를 형성하지 않는 경우는, 상기 경첩 기구로부터 생성되는 반발력에 의해, 본체부(12d)와 돌기부(12u)가, 뜨거나 경사지거나, 전도된 설치 이상 상태로 되어, 본체부(12d)와 돌기부(12u)가 간격 d7 이상으로 열린 상태를 유지할 수 있는 개폐 기구가 미리 케이스(12)에 가압되어 있고, 그러므로 설치 이상 상태에서는, 정상적인 제2 광학 경로가 형성되지 않고, 투사광이 공기 등의 기체층에 확산하고, 전술한 광학식 설치 이상 검출 수단(4b)의 투사광 및 반사광의 광학 경로(22z/24z)가, 정상적인 위치에 형성하지 못하고, 용이하게 케이스(12)의 설치 이상이 검출되어, 비위험지대에 설치된 제어부(39)에서는, MPU 등으로 이루어지는 제어 수단(30)을 통하여 설치 이상 경보 신호(또는 에러 코드 ER-A)가 케이블(26)에 의해 외부에 디지털 방식으로 출력되어 누액 센서(20b)는 에러 대기 상태로 된다.
이 시점에서, 또한, 설치 이상 검출 수단(4b)로부터 비위험지대에 설치된 제어부(39) 내의 무선 통신 수단(37)에 의해 설치 이상 검출 신호가 무선 신호로 방사되어, 위험지대에 설치된 경보 수단(70b) 내의 수신 수단(79c)에 의해 이 무선 이상 검출 신호가 수신되면, 제어부(79b)에서는, 스위치 수단(79e)를 통하여 제너 배리어(78a)로부터의 공급 전력이 출력 구동 수단(79h)에 공급되고, 파토 라이트 등의 경고등(79k)이 점등 구동됨과 동시에, 발음 수단(72), 공명기(75) 등을 통하여 이상 발생 경고 음이 외부에 방사된다. 그리고, 복수개의 누액 센서(20b)에 의해 공통의 경보 수단(70b)을 공동으로 이용하는 경우나, 가까이의 공간에 경보 수단(70b)이 복수개 설치되어 있는 경우에는, 이러한 복수개의 경보 수단(70b)을 서로 구별하기 위해, 통신 수단(37)으로부터 방사되는 무선 이상 신호 중에, 각 경보 수단을 특정하는 식별 번호 등을 부가하여, 상기 무선 검출 신호를 출력하는 것이 바람직하다. 이러한 식별 번호는, 제어부(79b)에 의해 자동적으로 추출되어 설정 수단(79d)으로부터 출력되는 식별 번호와 비교해, 상기 경보 수단(70b)이 선택되었는지 아닌지가 판정된다.
이렇게 해서, 식별 번호 등으로 경보 수단(70b)이 특정되면, 상기 경보 수단(70b)의 출력 구동 수단(79h)에 의해, 발음 수단(72)이 구동되고, 그 진동이 공명기(75)에 의해 증폭되어 공중에 방사되어, 별도 처리된 설치 이상 경보 신호(26)로 경고된 오퍼레이터는, 즉시, 어느 부분에 설치된 누액 센서의 설치 이상이 발생하고 있는지, 종래와 같이, 하나 하나 바닥면이나 누액 수용부의 저면을 점검할 필요가 없고, 경보 발생 현장에 급히 간 경우에, 극히 용이하게, 공명 증폭된 누액 근원 경고 발신음을 기초로 하여, 상기 설치 이상 검출 부분을 다른 누액 센서 설치 부분과 구별하여 특정할 수 있다.
이러한 경보 신호가 출력되지 않는 통상의 정상 설치 상태에서는, 누액 센서(20b)는 작동 상태로 되고, 어떠한 누액도 존재하지 않는 경우에는, 광학식 설치 이상 검출 수단(4b)의 투사광/반사광의 광학 경로(22z/24z)가 정상적인 위치에 형성되고, 광원 수단(14)과 광 전송 수단(40c)으로부터의 투사광(22z)이, 돌기부(12u)의 반사면(5j)에서 반사되어, 그 반사광(24z)이, 광 전송 수단(42c)을 통하여 전송되어 수광 소자(16c)에 입력되고, 그 출력을 검출 수단(18)에 의해 정상적인 반사광 레벨과 비교함으로써, 용이하게 누액 센서(20b)의 정상 설치 상태가 검출된다.
또한, 누액 검출용 광학계를 형성하는 광원 수단(14)과 광 전송 수단(40a)으로부터의 투사광(22u)이, 제1 전반사면(12m)에 윗쪽으로부터 하방에 전반사면(12m)에서 소정의 임계각 이상으로 전반사하도록, 투명재 또는 반투명재(12d)의 굴절률에 따른 소정의 입사각으로 조사되어, 그 전반사광(22v)이 제2 전반사면(12n)에 투사되어, 전반사면(12n)로부터의 전반사광(24u)이, 투명재 또는 반투명재(12d)의 굴절률에 따른 소정의 수광 각도로, 광 전송 수단(42a)의 일단으로 수광되어, 광 전송 수단(42a)을 통하여 수광 수단(16)에 전송되어, 이러한 광학 경로를 따라 전달괸 누액 검출광이 광전 변환 소자(16)에 의해 전기 신호로 변환되고, 그 출력이, 검출 수단(18)을 겸한 제어 수단(30) 내에서, 디지털 처리되거나 수광 수단(16)의 아날로그 출력이, 직접, 아날로그 비교기 등으로 이루어지는 아날로그 연산 수단에 입력되고, 아날로그 회로로 구성된 검출 수단(18)을 겸한 제어 수단(30) 내에서, 아날로그 처리된다. 그리고, 누액이 존재하지 않는 경우에는, 상기예에서는, 어느 쪽의 수광 수단에 의해서도 정상적인 수광량이 검출되어 수광량의 저하 현상은 발생하지 않는다.
다음에, 20oC에서, 6×10-2N/m 이하인 저표면 장력의 누액(2a)이, 누액 검출 대상 저면(99)에 박막층 모양으로 확산되는 경우에는, 고속 누액 인입수단(6b)의 일부를 형성하는 직사각형 돌기부(12u)의 저면(12w)에 대향하는 누액 검출 대상 저면(99)의 영역까지, 액체 레벨 d1의 누액(2a)이 확산하여 온 시점에서, 누액 검출 대상 저면(99)와 케이스 저면(12w) 사이에 형성된 평행 틈새부 d6에 의해, 틈새부 d6의 간격과 누액(2a)의 액체 레벨 d1의 길이를, 대략 동일한 정도의 길이, 또는, 액체 레벨 d1>간격 d6의 길이로 설정하여 두면, 틈새부 d6의 모세관 현상을 이용하여, 누액(2a)이 평행 틈새부 d6에 급속히 끌어 들여지고(도 5의 2al), 누액(2a)이 저면(12w)에 접촉하는 동시에, 누액 검출 대상 저면(99)에 대향하는 케이스 저면(12w) 전체에, 고속으로 확산된다.
그 후, 저면(12w)의 일단에, 돌기부(12u)의 선단부(12v)의 일단을 형성하는 최하 단부까지 누액(2a)이 확산하면(도 5의 2a2), 누액(2a)은, 또한, 케이스(12)의 전반사면(12m)와 선단부(12v)로 형성된 평행 틈새부 d7의 일단에 도달하고, 틈새부 d7는, 소정의 틈새 d7로 누액(2a)의 모세관 현상이 발생하도록 설정되어 있으므로, 누액(2a)의 누수량이 소량이라도, 중력에 저항하여, 누액 검출용 반사 경계면(12m)의 소정의 누액 검출 위치보다 윗쪽까지, 누액 검출 대상 저면(99)으로부터 직접 신속하게 끌어올리고 안내된다(도 5의 2a3). 이렇게 해서, 누액(2a)이, 누액 검출용 반사 경계면(12m)의 소정의 누액 검출 위치를 윗쪽에서 통과하면, 광원 수단(14)으로부터의 투사광(22u)의 대부분의 광은, 전반사면(12m)에서 전반사하지 않고, 저부(12d) 및 전반사면(12m)을, 대략 직진하고, 또한, 틈새부 d7에 채워진 누액(2a)을 굴절 직진한 후, 투사광의 흡수재/투광재로 형성된 직사각형 돌기부(12u) 및 틈새부 d6에 채워진 누액(2a) 속을 대략 직진하여, 누액 검출 대상 저면(99)에서 반사되어 전반사면(12n)과 반대 방향으로 전달·진행한다. 따라서, 누액 검출용 광학 경로의 일부를 형성하는 전반사면(12m)에서 전반사하고, 그 후 전반사면(12n)에서도 전반사된 광(24u)이, 광 전송 수단(42a)의 일단으로 수광되어 광 전송 수단(42a)을 통하여 수광 수단(16)에 전송되는 수광 광량은, 큰 폭으로 저하되고, 그 출력을 제어 수단(30)에 의해 연산 처리하여, 소량의 누액(2a)이, 누액 검출 대상 저면(99)에 얇게 확산하기 시작한 매우 초기의 단계에서, 매우 고속으로 검출할 수 있다.
또, 저표면 장력의 누액(2a)이, 누액 검출 대상 저면(99)에 한번에 대량으로 새기 시작한 경우에는, 케이스(l2)의 외주는 모두 누액(2a)으로 침수가 되어, 또한, 누액 검출용 반사 경계면(12n)의 소정의 누액 검출 위치도 누액(2a)중에 수몰되므로, 광원 수단(14)으로부터의 투사광(22u)이, 전반사면(12m)에서 전반사되어 그 전반사광(22v)이 전반사면(12n)에 투사되어도, 누액(2a) 때문에 전반사면(12n)에서 전반사하지 않고, 즉시, 전반사면(12n)을 굴절하여 대략 직진하고, 또한, 틈새부 d4에 채워진 누액(2a) 속을 굴절 직진한 후, 누액 검출 대상 저면(99)에서 반사되어, 광 전송 수단(42a)의 설치 위치와 전혀 관계없는 방향으로 전달·진행한다. 따라서, 누액 검출용 광학 경로의 일부를 형성하는 전반사면(12n)에서 전반사된 광(24u)이, 광 전송 수단(42a)의 일단으로 수광되는 광량은, 큰 폭으로 저하되고, 광 전송 수단(42a)을 통하여 수광 수단(16)에 전송되는 수광 출력을 제어 수단(30)에 의해 연산 처리하여 누액(2a)의 대량 발생을, 매우 초기의 단계에서, 매우 고속으로 검출할 수 있다.
이렇게 해서, 누액 검출 수단(18)을 겸한 제어 수단(30)에 의해, 누액(2a) 및/또는 누액(2)이 검출되면, 케이블(26)을 통하여 외부에 누액의 유무를 디지털 방식으로 출력한다(누액 검출 에러 코드 ER-B).
이 시점에서, 또한, 누액 검출 수단(18/30)으로부터 비위험지대에 설치된 제어부(39) 내의 무선 통신 수단(37)에 의해 누액 검출 에러 신호가 방사되어 위험지대에 설치된 경보 수단(70b) 내의 수신 수단(79c)에 의해 이 누액 에러 검출 신호가 수신 되면, 제어부(79b)에서는, 스위치 수단(79e)를 통하여 제너 배리어(78a)로부터의 공급 전력이 출력 구동 수단(79h)에 공급되고, 파토 라이트 등의 경고등(79k)이 에러 점등 구동됨과 동시에, 발음 수단(72), 공명기(75) 등을 통하여 공명 증폭된 이상 발생 경고음이 외부에 방사된다. 그리고, 복수개의 누액 센서(20b)에 의해 공통의 경보 수단(70b)을 공동으로 이용하는 경우나, 가까이의 공간에 경보 수단(70b)이 복수개 설치되어 있는 경우에는, 이러한 복수개의 경보 수단(70b)을 서로 구별 하기 위해, 통신 수단(37)으로부터 방사되는 무선 이상 신호 중에, 경보 수단을 특정하는 식별 번호 등을 부가하여, 상기 무선 검출 신호를 출력하는 것이 바람직하다. 이러한 식별 번호는, 제어부(79b)에 의해 자동적으로 추출되어 설정 수단(79d)으로부터 출력되는 식별 번호와 비교해, 상기 경보 수단(70b)이 선택되었는지 아닌지가 판정된다.
이렇게 해서, 식별 번호 등으로 경보 수단(70b)이 특정되면, 상기 경보 수단(70b)의 출력 구동 수단(79h)에 의해, 발음 수단(72)이 구동되고, 그 진동이 공명기(75)에 의해 공명 증폭되어 공중에 방사되어, 별도 처리된 누액 검출 에러 신호로 경고된 오퍼레이터는, 즉시 누액 발생 현장에 급히 간 경우에, 공명 증폭된 경보음 발신원에 접근하여 감으로써, 어느 부분에 설치된 누액 센서의 설치 이상이 발생하고 있는지, 종래와 같이, 하나 하나 바닥면이나 누액 수용부의 저면을 점검할 필요가 없고, 극히 용이하게, 상기 누액 발생 부분을 다른 누액 센서 설치 부분과 구별하여 특정할 수 있다.
다음에, 20oC에서, 6×10-2N/m 이상의 표면 장력의 누액(2){도 6의 (D)}에 도시한 바와 같은)이, 누액 검출 대상 저면(99)에 확산하여 왔을 경우에는, 도 8의 예에서는, 액체 레벨 d3의 누액(2)이 저면(99)과 케이스 저부(12d) 사이에 형성된 평행 틈새부 d4에 확산하여도, 얇은 종이(8)가 삽입되어 있지 않으므로, 그대로 누액 검출 대상 저면(99)을 전반사면(12n)의 방향으로 확산하여 간다. 이렇게 해서, 누액(2)이, 누액 검출용 반사 경계면(12n)의 소정의 누액 검출 위치에 도달하면, 광원 수단(14)과 광 전송 수단(40a)으로부터의 투사광(22u)은, 전반사면(12m)에서 전반사되어, 그 전반사광(22v)이 전반사면(12n)에서는, 누액(2) 때문에 전반사하지 않고, 전반사면(12n)을 굴절하여, 대략 직진하고, 또한, 누액(2) 속을 굴절 직진한 후, 누액 검출 대상 저면(99)에서 반사되어, 광 전송 수단(42a)의 일단이 설치되어 있는 소정의 위치와 전혀 관계없는 방향으로 전달·진행한다. 따라서, 누액 검출용 광학 경로의 일부를 형성하는 전반사면(12n)에서 전반사된 광(24u)이, 광 전송 수단(42a)의 일단으로 수광되는 광량은, 큰 폭으로 저하되고, 광 전송 수단(42a)을 통하여 전송되는 수광 수단(16)의 출력을 제어 수단(30)에 의해 연산 처리하여, 누액(2)이 누액 검출 대상 저면(99)에 얇게 확산하기 시작한 매우 초기의 단계에서, 매우 고속으로 검출할 수 있다.
또, 한번에 대량의 누액(2)이 발생한 경우에는, 케이스(12)의 외주는 모두 누액(2)으로 침수, 또한, 누액 검출용 반사 경계면(12n)의 소정의 누액 검출 위치도 누액(2) 중에 수몰되므로, 광원 수단(14)과 광 전송 수단(40a)으로부터의 투사광(22u)이, 전반사면(12m)에서 전반사되어, 그 전반사광(22v)이 전반사면(12n)에 투사되어도, 누액(2) 때문에 전반사면(12n)에서는 전반사하지 않고, 즉시, 전반사면(12n)을 굴절해 대략 직진하고, 또한, 틈새부 d4에 채워진 누액(2) 속을 굴절 직진한 후, 누액 검출 대상 저면(99)에서 반사되어, 광 전송 수단(42a)의 일단이 설치되어 있는 위치와 전혀 관계없는 방향으로 전달·진행한다. 따라서, 누액 검출용 광학 경로의 일부를 형성하는 전반사면(12n)에서 전반사된 광(24u)이, 광 전송 수단(42a)을 통하여 수광 수단(16)에서 수광되는 광량은, 큰 폭으로 저하되고, 그 출력을 제어 수단(30)에 의해 연산 처리하여, 누액(2)의 대량 발생을, 매우 초기의 단계에서, 매우 고속으로 검출할 수 있다.
이렇게 해서, 누액 검출 수단(18)을 겸한 제어 수단(30)에 의해, 누액(2a 또는 2)이 검출되면, 케이블(26)을 통하여 오퍼레이터 등에 경고하기 위해서, 외부에 누액의 유무를 디지털 방식으로 출력한다(누액 검출 에러 코드 ER-B). 그리고, 전술한 수광 처리에서는, 렌즈, 오목면 거울 등의 집광 수단에 의해 널리 반사광을 모으는 것으로, 수광 수단(소자)(16, 16c)의 감도를 향상시키는 것도 가능하다.
이 시점에서, 또한, 누액 검출 수단(18/30)으로부터 비위험지대에 설치된 제어부(39) 내의 무선 통신 수단(37)에 의해 무선 누액 검출 에러 신호가 방사되어, 위험지대에 설치된 경보 수단(70b) 내의 수신 수단(79c)에 의해 이 무선 누액 에러 검출 신호가 수신되면, 제어부(79b)에서는, 스위치 수단(79e)을 통하여 제너 배리어(78a)로부터의 공급 전력이 출력 구동 수단(79h)에 공급되고, 파토 라이트 등의 경고등(79k)이 점등 구동됨과 동시에, 발음 수단(72), 공명기(75) 등을 통하여 공명 증폭된 가청 주파수의 이상 발생 경고음이 외부에 방사된다. 이렇게 해서, 식별 번호 등으로 경보 수단(70b)이 특정되면, 상기 경보 수단(70b)의 출력 구동 수단(79h)에 의해, 발음 수단(72)이 구동되고, 그 진동이 공명기(75)에 의해 증폭되어 공중에 방사되어, 별도 처리된 누액 검출 에러 신호로 경고된 오퍼레이터는, 즉시, 어느 부분에 설치된 누액 센서의 설치 이상이 발생하고 있는지, 종래와 같이, 하나 하나 바닥면이나 누액 수용부의 저면을 점검할 필요가 없고, 경보 발생 현장에 급히 간 경우에, 극히 용이하게, 상기 누액 발생 부분을 다른 누액 센서 설치 부분과 구별하여 특정할 수 있다.
따라서 도 8에 도시한 바와 같은 구조의 누액 센서(20b)에 의하면, 누액 센서(20b)를 누액 검출 대상 저면(99)에 두는 것만으로도, 홀더(4, 5)나 얇은 종이(8)가 없어도 외래 광의 영향을 대략 받지 않고 , 또한, 누액(2a 또는 2)이, 홀더(4)의 상면까지 도달하기 이전의, 누액 검출 대상 저면(99)에 소량만 유출한 누액 유출의 초기 단계에서, 신속하게 누액을 검출할 수 있는 이점이 있다. 또, 누액 검출부에는 전기 신호가 일체 흐르지 않기 때문에, 휘발성의 누액에 대해서도, 극히 안전하게 검출 처리를 행할 수 있어, 한번에 대량의 누액이 유출 해도, 이 누액을 2중, 3중으로 체크하여 검출하고, 누액 검출 처리의 신뢰성을 한층 향상시킬 수가 있음과 동시에, 광 전송 수단(40/42)의 길이를 변경함으로써, 광원 수단(14) 및 수광 수단(16, 16c) 등과 반사 경계면(12m)/(12n) 등의 물리적 거리를 원하는 거리로 변경할 수 있다.
또, 케이스의 본체부(12d)와 돌기부(12u)가 소정의 간격 d6, d7를 유지할 수 없는 상태에서는, 광학식 설치 이상 검출 수단(4b)의 광학 경로가 소정의 위치에 형성되지 않고, 경첩 기구로부터 생성되는 반발력에 의해, 본체부(12d)와 돌기부(12u)가, 뜨거나 경사지거나, 전도된 설치 이상 상태로 되어, 본체부(12d)와 돌기부(12u)가 열린 상태를 유지할 수 있는 개폐 기구에 의해, 투사광의 반사 경로가 크게 굽힐 수 있으므로, 설치 이상 상태가 용이하게 검출할 수 있고, 누액 에러와 설치 이상 에러를 구별하여 검출하는 동시에, 전송하거나, 대처할 수 있다.
그리고, 도 8의 누액 센서(20b)에서도, 도 5와 마찬가지로 얇은 종이(8)를 사용하는 것은 가능하다.
상기 실시예에서는, 레지스트 액 도포 기구(81a)에 공급되는 레지스트 액의 누액 및 레지스트 액용 온도 조절액의 누액의 검출에 대하여 설명했지만, 현상 기구(81b)에 공급되는 현상액의 누액 및 현상액용 온도 조절액의 누액의 검출에도, 마찬가지로 상기 설명이 적용될 수 있다. 또, 에칭 처리, 세정 처리 등에도 적용할 수 있다. 또한, 상기 각 처리액을 일시 저장하는 탱크로부터의 누액의 검출에도 적용할 수 있다. 상기 누액의 원인으로서는, 예를 들면, 각 액체 탱크의 파손, 공급계의 고장에 의한 오버플로우, 배관부 등으로부터의 누액, 배출계의 고장에 의한 오버플로우 등이 있다.
그리고, 상기 실시예에서는 본 발명의 처리 장치를 반도체 웨이퍼의 도포 현상 장치에 적용한 경우에 대하여 설명했지만, 반드시 이 장치에 한정되는 것이 아니고, 반도체 웨이퍼 외의 처리 장치나 LCD 기판, 유리 기판 또는 CD/DVD 기판 등의 처리 장치에도 적용할 수 있는 것은 물론이다. 본 발명의 누액 검출 시스템에 의하면, 상기와 같이 구성되어 있으므로, 처리액이나 온도 제어 용액의 누액을 정확하고 안전하게 검출할 수 있고, 누액에 의한 주변부의 오염이나 부식 등을 방지 할 수 있다. 또, 누액 발생을 검출한 경우, 공간적으로 어느 부분으로부터 액체가 새고 있는지, 공명 증폭된 가청 주파수의 경고 발신음에 의해 직감적으로 이해할 수 있으므로, 유지보수가 용이해져, 처리 장치의 처리 효율의 향상을 도모할 수 있다.
그리고, 상기 고속 누액 인입수단은, 홀더 측에만, 광학적으로 구성하는 것도 가능하다. 또, 방폭 구조의 누액 센서가 아니어도, 도 7에 도시한 바와 같이, 누액 센서부와 경보 수단을 무선 통신 수단에 의해, 서로 접속하는 것은 가능하다.
본 발명에 관한 누액 검출 시스템에 의하면, 누액 센서의 설치 위치에 대해, 소정의 공간 범위 이내에, 발음 수단을 포함하는 경보 수단을 설치하고, 상기 누액 센서가 상기 누액 센서의 이상을 검출한 경우, 적어도 상기 발음 수단에 의해, 상기 소정의 공간 범위의 외측에 설치된 다른 누액 센서 설치 부분과 구별하여, 상기 누액 센서의 설치 위치가 특정될 수 있도록, 상기 누액 센서의 이상 검출을 오퍼레이터 등에 가청 주파수의 발신음으로 경보/통보하는 것이 가능해서, 복수개의 누액 센서를, 소정의 그룹마다, 일괄하여 제어 시스템 내에 설치하는 경우, 한 사람의 작업자라도, 다수의 누액 센서를, 단시간에, 정확하게 모두 소정의 위치에 설치해, 이러한 설치 상태를 혼자서 확인하는 것이, 종래의 센서와 같이 바닥면을 하나 하나 들여다 보아 확인하지 않고도 실시 가능하며, 누액 검출 시스템의 신뢰성을 매우 향상시킬 수 있다.
또, 본 발명의 누액 센서 및 누액 검출 시스템에서는, 상기 시스템의 친기가 불필요하고, 시스템의 중계기 등이 고장난 경우라도, 누액 센서가 단독으로 작동 가능하면, 정상적으로 누액 상태를 검출해 가청 주파수의 발신음으로 경보하는 것이 가능하며, 이러한 누액 상태를 상기 누액 센서가 검출한 경우, 확실하게 누액 검출 경보를, 소정의 공간 범위의 외측에 설치된 다른 누액 센서 설치 부분과 구별하여, 상기 누액 센서의 설치 위치가 특정될 수 있도록, 오퍼레이터 등에 가청 주파수의 발신음으로 경보/통보하는 것이 가능해서, 누액 센서 및 누액 검출 시스템을 보수하는 경우, 복수개의 동일 기능의 센서가 병렬로 배치된 반도체 제조 공정과 같은 혼동/오인이 발생하기 쉬운 유지보수 환경에서도, 정확한 누액 발생 부분의 특정/발견이, 경보 발신음에 기초하여 음의 근원에 접근하여 가는 것만으로도 가능하며, 누액 센서의 배치 맵의 학습 등의 특별한 훈련을 받지 않아도 실제로 유지보수하는 담당자에게 있어 다른 센서와 혼동/오인하지 않고 매우 용이하게 누액 발생 부분을 특정/식별 가능하며, 매우 유용하다.
또한, 본 발명의 누액 센서 및 누액 검출 시스템에서는, 물, 산성 용액, 알칼리 용액 등의 전기적 도전성을 가진 액체나, 초순수, 알코올, 희석제, 벤진 등의 유기성 용액 등의 절연성을 가진 액체의 누액을, 소량의 누액 양에서도 확실하게 검출 가능한 동시에, 20oC에서, 6×10-2N/m 이하인 저표면 장력을 가진 액체, 특히 3×10-2N/m 이하인 저표면 장력을 가진 박층 모양의 액체, 즉, 미소량의 누액에서도, 고속으로 검출하는 것이 가능하다.
도 1은 본 발명의 누액 검출 시스템(la)를 도포 현상 장치에 적용한 경우의 기계적인 한 구성예를 도시한 블록도이다.
도 2는 본 발명의 누액 검출부를, 누액 센서(20a)와 발음 수단을 포함하는 경보 수단(70a)을, 일체로 형성한 구성의 일예를 도시하는 도면이다.
도 3은 그 단면도 및 확대도이다.
도 4는 본 발명의 홀더(5)의 일구성예를 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 고속 누액 인입수단(6)의 동작 원리를 도시한 확대 단면도이다.
도 6은 본 발명의 누액 센서(20a)의 신호 처리의 한 구성예를 도시한 블록도이다.
도 7은 본 발명의 방폭형 누액 검출 시스템(1b)의 기계적인 한 구성예를 도시한 블록도이다.
도 8은 그 누액 검출부를, 누액 센서(20b)와 경보 수단(70b)을, 분리하여 설치한 구성의 일예를 도시하는 도면이다.
도 9는 본 발명의 방폭형 경보 수단(70b)의 신호 처리의 한 구성예를 도시한 블록도이다.

Claims (32)

  1. 누액이 침투할 수 있는 기체층 또는 누액 침투층을 통하여, 상기 누액과 접촉할 수 있는 적어도 하나의 누액 검출부를 구비한 누액 센서를, 적어도 하나 사용하는 누액 검출 시스템에 있어서,
    상기 누액 센서의 설치 위치에 대해, 소정의 공간 범위 이내에, 발음 수단을 포함하는 경보 수단이 설치되어 있고,
    상기 누액 센서의 이상을 검출한 경우, 적어도 상기 발음 수단에 의해, 상기 소정의 공간 범위의 외측에 설치된 누액 센서와 구별하여, 상기 누액 센서의 설치 위치가 특정될 수 있도록, 상기 누액 센서의 이상 검출을 가청 주파수의 발신음으로 경보하도록 한 것을 특징으로 하는 누액 검출 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 소정의 공간 범위가, 누액 수용부의 내부 공간 및 상기 누액 수용부의 윗쪽의 공간 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 누액 검출 시스템.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 누액 센서와 상기 경보 수단이, 신호선에 의해 접속 및/또는 무선 통신 수단에 의해 접속 및/또는 일체로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 누액 검출 시스템.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 누액 검출부가, 적어도 하나의 광학식 반사 경계면을 포함하는 광학식 누액 검출부 및/또는 적어도 하나의 광학식 투과 경계면을 포함하는 광학식 누액 검출부 및/또는 비절연성 액체의 존재에 의해 전극간 임피던스가 변화하는 전극쌍을 포함하는 도전식(導電式) 누액 검출부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 누액 검출 시스템.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 발음 수단이, 공명체를 치는 것에 의해 발음하는 수단 및/또는 휘슬 또는 사이렌, 진동함으로써 발음하는 수단 및/또는 진동함으로써 발음하는 수단과 이것에 결합된 공명 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 누액 검출 시스템.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 발음 수단으로부터 발신되는 가청 주파수의 경보음이, 주파수가 일정 또는 가변인 단속음 및/또는 연속음, 음색이 일정 또는 가변인 단속음 및/또는 연속음, 음의 강도가 일정 또는 가변인 단속음 및/또는 연속음, 음의 피치가 일정 또는 가변인 단속음 및/또는 연속음, 듀티비가 일정 또는 가변인 단속음 및/또는 연속음, 또는, 이들을 조합한 경보음을 포함하는 것을 특징으로 하는 누액 검출 시스템.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 경보 수단이 경고등을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 누액 검출 시스템.
  8. 제7항에 있어서,상기 경보 수단이,
    상기 발음 수단으로부터 발신되는 가청 주파수의 경보음의 변동에 대응하여, 상기 경고등의 밝기를 변동시키는 것을 특징으로 하는 누액 검출 시스템.
  9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 발음 수단으로부터 발신되는 가청 주파수의 상기 센서 이상 검출 경보음이, 상기 센서의 누액 이상과 상기 센서의 설치 이상을 경보하는 경우, 어느 센서가 비정상인가 식별 가능하도록, 각각 상이한 발신음으로 경보하도록 한 것을 특징으로 하는 누액 검출 시스템.
  10. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 경보 수단이, 상기 경보 수단을 특정하기 위한 식별 번호 설정 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 누액 검출 시스템.
  11. 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 누액 센서가 방폭구조로 구성된 것을 특징으로 하는 누액 검출 시스템.
  12. 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 경보 수단이, 방폭 구조로 구성되는 동시에, 제너 배리어(Zener barrier)를 통하여 전원이 공급되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 누액 검출 시스템.
  13. 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 경보 수단이, 외부로부터의 조작 지령으로, 상기 경보음의 온-오프 제어, 리셋 및 재시동의 제어를 하는 것을 특징으로 하는 누액 검출 시스템
  14. 제1항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 누액 센서가, 20oC에 있어서, 6x10-2N/m 이하인 저표면 장력을 가진 액체의 소량의 누액에서도, 고속으로 검출하는 것이 가능한 고속 누액 인입수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 누액 검출 시스템.
  15. 누액이 침투할 수 있는 기체층 또는 누액 침투층을 통하여, 상기 누액과 접촉할 수 있는 적어도 하나의 반사 경계면, 투광부, 수광부 및 제어 수단으로 이루어지는 누액 센서에 있어서,
    상기 투광부 및 수광부가, 저부가 투명재 또는 반투명재로 구성된 케이스에 수납되어 일체화되어 있거나, 또는,
    상기 투광부 및 수광부가, 저부가 투명재 또는 반투명재로 구성된 케이스에 수납되어 일체화되어 있는 동시에, 상기 케이스 선단에 상기 누액 센서의 바닥 등의 설치 부분의 표면 성질과 상태 또는 표면색으로부터의 영향을 받기 어렵게 하고, 또한, 상기 케이스의 쓰러짐 방지를 겸한 케이스 홀더가 장착되며,
    상기 누액 센서의 이상 검출 수단, 및 발음 수단을 포함하는 경보 수단이 설치되어 있고,
    상기 이상 검출 수단에 의해 센서의 이상을 검출한 경우, 적어도 상기 발음 수단에 의해 이상 검출을 가청 주파수의 발신음으로 경보하도록 구성된 것을 특징으로 하는 누액 센서.
  16. 누액에 접촉할 수 있는 적어도 2개의 전반사 경계면이, 기체층 또는 누액 침투층을 통하여 형성되어 있고, 적어도 하나의 투광부, 수광부 및 이들에 결합된 제어 수단이, 상기 각 전반사 경계면 각각에 대해, 동일한 측에 설치되어 있고, 상기 제1 전반사 경계면에 대해서는 상기 투광부로부터 광을 투사하고, 상기 제1 전반사 경계면으로부터의 반사광을 상기 제2 전반사 경계면에 투사하고, 상기 제2 전반사 경계면으로부터의 반사광을 상기 수광부에서 수광하고, 그 출력을 상기 제어 수단에 의해 연산 처리하여 누액을 검출하도록 한 누액 센서에 있어서,
    상기 투광부 및 수광부가, 저부가 투명재 또는 반투명재로 구성된 케이스에 수납되어 일체화되어 있거나, 또는,
    상기 투광부 및 수광부가, 저부가 투명재 또는 반투명재로 구성된 케이스에 수납되어 일체화되어 있는 동시에, 상기 케이스 선단에 상기 누액 센서의 바닥 등의 설치 부분의 표면 성질과 상태 또는 표면색으로부터의 영향을 받기 어렵게 하고, 또한, 상기 케이스의 쓰러짐 방지를 겸한 케이스 홀더가 장착되며,
    상기 누액 센서의 이상 검출 수단, 및, 발음 수단을 포함하는 경보 수단이 설치되어 있고,
    상기 이상 검출 수단에 의해 센서 이상을 검출한 경우, 적어도 상기 발음 수단에 의해 이상 검출을 가청 주파수의 발신음으로 경보하도록 구성된 것을 특징으로 하는 누액 센서.
  17. 제15항 또는 제16항에 있어서,
    상기 제어 수단이 상기 이상 검출 수단을 겸하고,
    상기 이상 검출 수단에 의해, 상기 누액의 유무 판정 및/또는 상기 센서의 설치 이상 상태 판정을 실행할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 누액 센서.
  18. 제15항 내지 제17항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 발음 수단이, 공명체를 침으로써 발음하는 수단 및/또는 휘슬 또는 사이렌, 진동함으로써 발음하는 수단 및/또는 진동함으로써 발음하는 수단과 이것에 결합된 공명 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 누액 센서.
  19. 제15항 내지 제18항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 발음 수단이, 상기 케이스 측에, 상기 케이스 홀더 측에, 또는, 상기 케이스측과 상기 케이스 홀더측에 배치된 것을 특징으로 하는 누액 센서.
  20. 제15항 내지 제19항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 발음 수단이, 상기 케이스 측에, 상기 케이스 홀더 측에, 또는, 상기 케이스측과 상기 케이스 홀더측에, 원터치 장착 및 분리 가능하게 구성된 것을 특징으로 하는 누액 센서.
  21. 제15항 내지 제20항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 발음 수단으로부터 발신되는 가청 주파수의 경보음이, 주파수가 일정 또는 가변인 단속음 및/또는 연속음, 음색이 일정 또는 가변인 단속음 및/또는 연속음, 음의 강도가 일정 또는 가변인 단속음 및/또는 연속음, 음의 피치가 일정 또는 가변인 단속음 및/또는 연속음, 듀티비가 일정 또는 가변인 단속음 및/또는 연속음, 또는, 이들을 조합한 경보음을 포함하는 것을 특징으로 하는 누액 센서.
  22. 제15항 내지 제21항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 경보 수단이 경고등을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 누액 센서.
  23. 제22항에 있어서,
    상기 경보 수단이, 상기 발음 수단으로부터 발신되는 가청 주파수의 경보음의 변동에 대응하여, 상기 경고등의 밝기를 변동시키는 것을 특징으로 하는 누액 센서.
  24. 제17항 내지 제23항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 발음 수단으로부터 발신되는 가청 주파수의 경보음이, 상기 센서의 누액 이상과 상기 센서의 설치 이상을 경보하는 경우, 어느 센서가 비정상인가 식별 가능하도록, 각각 상이한 발신음으로 경보하는 것을 특징으로 하는 누액 센서.
  25. 제15항 내지 제24항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 경보 수단이, 상기 경보 수단을 특정하기 위한 식별 번호 설정 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 누액 센서.
  26. 제15항 내지 제25항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 누액 센서가 방폭 구조로 구성된 것을 특징으로 하는 누액 센서.
  27. 제15항 내지 제26항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 경보 수단이, 외부로부터의 조작 지령으로, 상기 경보음의 온-오프 제어, 리셋, 및, 재시동의 제어를 하는 것을 특징으로 하는 누액 센서.
  28. 제15항 내지 제27항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 케이스가 본체부와 커버부로 분할되어 구성되어 있고,
    상기 발음 수단이 상기 커버부에 일체로 구성된 것을 특징으로 하는 누액 센서.
  29. 제15항 내지 제28항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 반사 경계면이 상기 케이스 저부 및/또는 상기 케이스 홀더의 상면인 것을 특징으로 하는 누액 센서.
  30. 제15항 내지 제29항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 반사 경계면의 적어도 하나에 누액의 침투에 의해 투명하게 되는 얇은 종이가 병렬 설치되고 밀착되어 있는 것을 특징으로 하는 누액 센서.
  31. 제15항 내지 제30항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기체층 또는 누액 침투층에, 상기 누액의 침투에 의해 투명하게 되고, 또한, 소모품으로서 교환되는 얇은 종이가 병렬 설치되지 않고, 틈새부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 누액 센서.
  32. 제15항 내지 제31항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 수광부의 출력을 연산 처리하여 반사광량의 대소에 의해, 누액의 유무 판정 및 상기 설치 이상 상태 판정을 하거나, 또는
    상기 수광부를 복수개 각각의 수광 각도가 서로 상이하도록 설치하고, 상기 복수개의 수광부에 의해 반사광의 수광 위치가 서로 식별 가능하도록 하여 전기 신호로 변환해, 이들 수광부의 출력을 연산 처리하여 상기 반사광의 명암 패턴의 배치를 소정의 주기마다 결정하고, 상기 반사광의 명암 패턴의 변동에 의해, 누액의 유무 판정 및 상기 설치 이상 상태 판정을 하는 것을 특징으로 하는 누액 센서.
KR1020040087344A 2003-10-30 2004-10-29 누액 센서 및 누액 검출 시스템 KR20050041974A (ko)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003370439 2003-10-30
JPJP-P-2003-00370439 2003-10-30
JP2004277372A JP2005156541A (ja) 2003-10-30 2004-09-24 漏液センサ及び漏液検知システム
JPJP-P-2004-00277372 2004-09-24

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20050041974A true KR20050041974A (ko) 2005-05-04

Family

ID=34741196

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020040087344A KR20050041974A (ko) 2003-10-30 2004-10-29 누액 센서 및 누액 검출 시스템

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP2005156541A (ko)
KR (1) KR20050041974A (ko)
CN (1) CN100514016C (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190014937A (ko) 2017-08-04 2019-02-13 주식회사 젠스타 누수 감시 시스템 및 누수 감시 방법
USD1037522S1 (en) 2022-11-30 2024-07-30 Eaton Intelligent Power Limited Floodlight

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4441573B2 (ja) * 2006-01-13 2010-03-31 株式会社コスモ計器 洩れ検査装置の異常検出方法、洩れ検査装置
JP4999493B2 (ja) * 2007-02-28 2012-08-15 株式会社ツーデン 漏液センサ
KR101631138B1 (ko) * 2009-09-30 2016-06-17 파나소닉 디바이스 썬크스 주식회사 액체 누출 검출 장치
JP5755853B2 (ja) * 2010-08-10 2015-07-29 株式会社Ｉｈｉ検査計測 液体検知器及び液体識別システム
CN102798649A (zh) * 2011-05-25 2012-11-28 上海嘉微工程技术有限公司 一种漏液检测仪
CA2841352C (en) * 2011-07-11 2018-09-18 Abb Technology Ag Optics sensor structure for detecting water or oil leakage inside a conservator having a bladder or membrane
JP5964656B2 (ja) * 2012-05-28 2016-08-03 タツタ電線株式会社 漏液検知線
CN103264006A (zh) * 2013-04-18 2013-08-28 合肥京东方光电科技有限公司 一种印刷机
CN103728950A (zh) * 2014-01-03 2014-04-16 合肥彩虹蓝光科技有限公司 一种在线监测漏液装置
CA3055793A1 (en) * 2017-04-20 2018-10-25 Becton Dickinson And Company Infusion set with leakage indicator
CN107314867A (zh) * 2017-06-30 2017-11-03 徐校竹 一种漏水检测装置
CN107490622A (zh) * 2017-09-21 2017-12-19 保定芯之恒流泵有限公司 一种新型漏液检测装置
US10943802B2 (en) * 2018-07-31 2021-03-09 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Photoresist bottle container
JP6971948B2 (ja) * 2018-10-05 2021-11-24 三菱電機ビルテクノサービス株式会社 漏液検出装置
CN112284632B (zh) * 2020-10-15 2023-10-20 曙光信息产业(北京)有限公司 漏液检测薄膜和***
CN112325677A (zh) * 2020-11-06 2021-02-05 常德天盛电化有限公司 一种多股流换热器
CN112525953A (zh) * 2020-11-18 2021-03-19 上海览宋科技有限公司 液体传感器、液体传感器的破损检测装置及破损检测方法
CN112950905B (zh) * 2021-02-01 2022-03-22 航天科技控股集团股份有限公司 一种基于物联网的加油站的预警***及预警方法
CN114001875B (zh) * 2021-10-29 2023-12-01 国网浙江省电力有限公司台州供电公司 一种石英晶体谐振器真空检漏装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63201546A (ja) * 1987-02-18 1988-08-19 Tsuuden:Kk 漏液センサ
JPH07119664B2 (ja) * 1991-03-29 1995-12-20 タツタ電線株式会社 漏液検知装置
JP2001050856A (ja) * 1999-08-16 2001-02-23 Tsuuden:Kk 漏液センサ
JP3220440B2 (ja) * 1999-09-01 2001-10-22 株式会社ツーデン 漏液センサ
JP2002214181A (ja) * 2001-01-16 2002-07-31 Inaba Rubber Kk 漏洩液の検知方法
JP2002350275A (ja) * 2001-05-30 2002-12-04 Tatsuta Electric Wire & Cable Co Ltd 漏液監視装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190014937A (ko) 2017-08-04 2019-02-13 주식회사 젠스타 누수 감시 시스템 및 누수 감시 방법
USD1037522S1 (en) 2022-11-30 2024-07-30 Eaton Intelligent Power Limited Floodlight

Also Published As

Publication number Publication date
CN100514016C (zh) 2009-07-15
JP2005156541A (ja) 2005-06-16
CN1611924A (zh) 2005-05-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20050041974A (ko) 누액 센서 및 누액 검출 시스템
US7158039B2 (en) Liquid leakage sensor and liquid leakage detecting system
KR101975757B1 (ko) 상태감지 투시 보관함
CA1061435A (en) Optical-electrical liquid probe
JP4651029B2 (ja) 漏液センサ
JP2005156541A5 (ko)
US7259383B2 (en) Optical transducer for detecting liquid level
JP5096276B2 (ja) 炎感知ユニット
CN111324007B (zh) 掩膜板自动光学检测仪
CN101206181A (zh) 检测晶圆边缘洗边效果的装置及方法
CN112362134B (zh) 一种液面位置检测装置和检测方法
JP2006010597A (ja) 液体切れ検知センサ
US4644332A (en) Dry lube level sensor
JP5904578B2 (ja) 光学式液漏れ検知装置および方法
JP2004294164A (ja) 漏液センサ
JP3220440B2 (ja) 漏液センサ
CN202074239U (zh) 管路漏液侦测装置
JP2002181695A (ja) 漏液センサー
JP4192587B2 (ja) 光透過性容器の中の液体の有無を検知する装置
CN220796111U (zh) 一种具有警报功能的水塔水位监控演示装置
JP2001050856A (ja) 漏液センサ
KR102126902B1 (ko) 사물인터넷을 기반으로 하는 유해화학용액 누설 감지센서
JPH1130547A (ja) 光電式液面検出装置
CN113762448B (zh) 电子标签及电子标签***
US20240183738A1 (en) Leakage detection sensor module

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
AMND Amendment
J201 Request for trial against refusal decision
E801 Decision on dismissal of amendment
B601 Maintenance of original decision after re-examination before a trial
J301 Trial decision

Free format text: TRIAL DECISION FOR APPEAL AGAINST DECISION TO DECLINE REFUSAL REQUESTED 20061222

Effective date: 20080130