JP4651029B2 - 漏液センサ - Google Patents
漏液センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP4651029B2 JP4651029B2 JP2006128132A JP2006128132A JP4651029B2 JP 4651029 B2 JP4651029 B2 JP 4651029B2 JP 2006128132 A JP2006128132 A JP 2006128132A JP 2006128132 A JP2006128132 A JP 2006128132A JP 4651029 B2 JP4651029 B2 JP 4651029B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor
- liquid
- liquid leakage
- leakage
- leak
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 322
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 238
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 76
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 claims description 65
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 18
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 claims description 17
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 9
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 4
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 54
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 40
- 239000000463 material Substances 0.000 description 35
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 32
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 31
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 22
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 16
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 13
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 13
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 12
- -1 thinner Chemical compound 0.000 description 12
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 11
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 10
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 9
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 8
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 7
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 6
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000009471 action Effects 0.000 description 5
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 5
- 231100001261 hazardous Toxicity 0.000 description 5
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 5
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 5
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 5
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 4
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 4
- 230000006870 function Effects 0.000 description 4
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 229920002725 thermoplastic elastomer Polymers 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229930182556 Polyacetal Natural products 0.000 description 2
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 2
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 description 2
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 2
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 description 2
- 239000003929 acidic solution Substances 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 230000008595 infiltration Effects 0.000 description 2
- 238000001764 infiltration Methods 0.000 description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 2
- 238000007726 management method Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000012806 monitoring device Methods 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 2
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 2
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 2
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 2
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 2
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 229920006324 polyoxymethylene Polymers 0.000 description 2
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 2
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 2
- 238000012549 training Methods 0.000 description 2
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 description 2
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 2
- JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 1,2,3-triazine Chemical compound C1=CN=NN=C1 JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920008790 Amorphous Polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical compound [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001661 Chitosan Polymers 0.000 description 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920004449 Halon® Polymers 0.000 description 1
- 229920000877 Melamine resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004962 Polyamide-imide Substances 0.000 description 1
- 239000004693 Polybenzimidazole Substances 0.000 description 1
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 1
- 239000004697 Polyetherimide Substances 0.000 description 1
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- 229920001328 Polyvinylidene chloride Polymers 0.000 description 1
- 229920002472 Starch Polymers 0.000 description 1
- UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N Sulphide Chemical compound [S-2] UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001807 Urea-formaldehyde Polymers 0.000 description 1
- 229920000122 acrylonitrile butadiene styrene Polymers 0.000 description 1
- 229920003232 aliphatic polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920000180 alkyd Polymers 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 1
- GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N bromine Substances BrBr GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052794 bromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000012459 cleaning agent Substances 0.000 description 1
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 150000001925 cycloalkenes Chemical class 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- PXBRQCKWGAHEHS-UHFFFAOYSA-N dichlorodifluoromethane Chemical compound FC(F)(Cl)Cl PXBRQCKWGAHEHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229920006351 engineering plastic Polymers 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 125000000816 ethylene group Chemical group [H]C([H])([*:1])C([H])([H])[*:2] 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000004880 explosion Methods 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000000113 methacrylic resin Substances 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 239000003208 petroleum Substances 0.000 description 1
- 229920001568 phenolic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920001308 poly(aminoacid) Polymers 0.000 description 1
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 description 1
- 229920002312 polyamide-imide Polymers 0.000 description 1
- 229920001230 polyarylate Polymers 0.000 description 1
- 229920002480 polybenzimidazole Polymers 0.000 description 1
- 229920001707 polybutylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 229920001610 polycaprolactone Polymers 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920000570 polyether Polymers 0.000 description 1
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 1
- 229920001601 polyetherimide Polymers 0.000 description 1
- 229920001470 polyketone Polymers 0.000 description 1
- 229920001955 polyphenylene ether Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 229920005990 polystyrene resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 1
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 239000005033 polyvinylidene chloride Substances 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 239000008107 starch Substances 0.000 description 1
- 235000019698 starch Nutrition 0.000 description 1
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 1
- 229920006305 unsaturated polyester Polymers 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
- Alarm Systems (AREA)
Description
又、特許文献2の技術では、親機側で演算処理した後又はそのまま、親機側の表示手段に表示するシステム構成なので、親機が故障した場合には、漏液センサが正常に漏液を検知しても、漏液検知異常の警報を全く出力できないという問題点もあった。
又、本発明は、前記発音手段から発信される可聴周波数の警報音が、周波数が一定又は可変の断続音及び/又は連続音である、音色が一定又は可変の断続音及び/又は連続音である、音の強さが一定又は可変の断続音及び/又は連続音である、音のピッチが一定又は可変の断続音及び/又は連続音である、デュウティイ比が一定又は可変の断続音及び/又は連続音である、又は、これらを組み合わせた警報音を含むことにより、或いは前記警報手段が、警告灯を更に含むことにより、或いは前記警告灯が、パトライト及び/又はLEDを含むことにより、或いは前記警報手段が、前記発音手段から発信される可聴周波数の警報音の変動に対応して、前記警告灯の明るさを変動せしめるようにしたことにより、より効果的に達成される。
前記漏液センサの設置位置に対し、所定の空間範囲以内に、発音手段を含む警報手段を設け、前記漏液センサのセンサ異常を検知した場合、少なくとも前記発音手段により、前記所定の空間範囲の外側に設置された漏液センサと区別して、当該漏液センサの設置位置が特定可能なように、当該漏液センサのセンサ異常検知を可聴周波数の発信音で警報すると共に、
前記所定の空間範囲の内側に設置された単独又は複数の漏液センサにより、前記警報手段が共通して利用可能であることが好ましく、更に、当該警報手段の警告灯が容易に視認可能な空間位置に設置されていると、より一段と好ましい。
前記投光部及び受光部を底部が透明材又は半透明材で構成されたケースに収納し一体化すると共に、又は、
前記投光部及び受光部を底部が透明材又は半透明材で構成されたケースに収納し一体化すると共に、該ケース先端に当該漏液センサの床等の設置箇所の表面性状又は表面色からの影響を受けにくくし、かつ、当該ケースの転倒防止を兼ねたケースホルダを装着するようにすると共に、
前記漏液センサの異常検知手段、及び、発音手段を含む警報手段を、所定の空間範囲の外側に設置された他の漏液センサ設置箇所と区別して、当該漏液センサの設置位置が特定可能なように、当該漏液センサのセンサ異常検知を可聴周波数の発信音で警報すると共に、
前記所定の空間範囲の内側に設置された単独又は複数の漏液センサにより、前記警報手段が単独又は共通して利用可能であることが好ましく、更に、当該警報手段が容易に視認可能な空間位置に設置されていると、より一段と好ましい。
図1は、本発明の漏液検知システム1aを塗布現像装置に適用した場合の機械的1構成例を示すブロック図である。
図2は、その漏液検知部(漏液センサ部)を、漏液センサ20aと、発音手段を含む警報手段70aとを、一体に形成した構成の1例である。
図2(A)は、本発明の漏液センサ20aの構造を示す平面図である。
図2(B)は、その2B−2Bでの、横断面図である。
図2(C)は、その側面図である。
図3(A)は、その3A−3Aでの縦断面図である。
図3(B)は、図2(B)の拡大図である。
図3(C)は、その3C−3Cでの横断面図である。
図4(A)は、本発明のホルダ5の平面図である。
図4(B)は、その中央横断面図である。
図4(C)は、切断部8dを有する薄紙8の平面図である。
図5は、本発明の高速漏液引込手段6の動作原理を示す拡大断面図である。
図6は、本発明の漏液センサ20aの信号処理の1構成例を示すブロック図である。
図7は、本発明の防爆型漏液検知システム1bの機械的1構成例を示すブロック図である。
図8は、その漏液検知部(漏液センサ部)を、漏液センサ20bと、発音手段を含む警報手段70bとを、分離して設置した構成の1例である。
図9は、本発明の防爆型警報手段70bの信号処理の1構成例を示すブロック図である。
先ず、図1は、本発明の漏液検知部(漏液センサ)20aを、漏液センサ部20aと、発音手段72を含む警報手段70aとを、一体に形成して構成した漏液検知システム1aの1例であり、漏液が浸透し得る気体層又は漏液浸透層を介して、漏液と接触し得る少なくとも1つの漏液検知部(図1では、当該漏液検知部が、少なくとも1つの光学式反射境界面を含む光学式漏液検知部から構成されているが、非絶縁性液体の存在によって電極間インピーダンスが変化する電極対を含む導電式漏液検知部、又は、液量計測式漏液検知部を利用することも可能である)を具えた漏液センサを、少なくとも1つ使用するように構成された(図1の例では、1つであるが、面積の広い同一の底面や床面では、複数の漏液センサを複数箇所に分散して設置することも可能である)漏液検知システム1aの1例であり、漏液センサ20aを、それぞれ、後述する各漏液収容部98の底面99に、各漏液収容部がシステムの管理者/保守担当者にとって、区別して空間的に識別可能なように設置し、この設置位置に対し、所定の空間範囲以内(漏液収容部98の底面上方空間)に、後述する発音手段を含む警報手段70aを設け、漏液センサ20aのセンサ異常(漏液検知異常やセンサ設置異常)を検知した場合、少なくとも発音手段により、上記所定の空間範囲の外側に設置された他の漏液センサ設置箇所と区別して(各漏液収容部をそれぞれ独立して区別可能なように)、漏液センサの設置位置が容易かつ直接的に特定可能なように、漏液センサのセンサ異常検知を可聴周波数の発信音で警報するようにしたもので、漏液センサ20aと警報手段70aとは、信号線により接続されると共に、一体に形成され設置されている。
恒温水タンク91には液レベル検出用のフロート94が設けられており、このフロート94は、その支持部95の近くに電気接点96を有する。この接点96は図示しない論理回路を介してソレノイドバルブ97の動作を制御可能に接続されている。この恒温水タンク91と処理液タンク82の下方に漏液収容パン98がそれぞれ独立して配置されており、この漏液収容パン98の底部99に漏液検出用漏液センサ20aがそれぞれ独立して相互に区別可能なように配置されている。
タンク91の液面が低下すると、フロート94が低下し、接点96はONになる。この時インバータA1の入力は0となり、出力は1(正論理のHレベル状態)になる。インバータA1の出力は、それぞれの遅延回路D1とD2を介してインバータA2とA3に伝達されるが、遅延回路D1は約1分の遅延時間を有し、遅延回路D2は約2秒の遅延時間を有する。従って接点96がONになってから約2秒後に、インバータA4の出力端子に信号1が生じるので、この時トランジスタTrがONとなり、ソレノイドバルブ97に電流が流れる。さらに約1分後にはインバータA2の出力が0になるので、トランジスタTrは再びOFFとなり、ソレノイドバルブ97の電流は遮断される。各遅延回路D1、D2にはダイオードが設けられており、これら遅延回路D1、D2は、0→1の信号を遅延するが、1→0の信号は遅れなく伝達する。従って遅延回路D1により、ソレノイドバルブ97が1分以上の期間開くことを防止し、遅延回路D2により、ソレノイドバルブ97が液面の波立ち等によってONとOFFを頻繁に繰返すことを防止することができる。
ABS樹脂、ポリエチレン、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン、ポリプロピレン、ポリビニルアルコール、メタクリル樹脂、石油樹脂、ポリアミド、ポリ塩化ビニリデン、ポリカーボネート、ポリアセタール、弗素樹脂、ポリイミド、ポリエーテルエステルケトン、ポリフェニレンスルフィド、ポリベンズイミダゾール、ポリシクロオレフィン等の熱可塑性樹脂、又は、フェノール樹脂、尿素樹脂、不飽和ポリエステル、ポリウレタン、アルキド樹脂、メラミン樹脂、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂、則ち、熱可塑性樹脂又は熱硬化性樹脂等の合成樹脂部材/プラスチック部材、又は、ポリアミノ酸、脂肪族ポリエステル、ポリーεーカプロラクトン、ポリビニルアルコール、キトサン、澱粉、セルロース等と汎用性ポリマーとの混合物等の生分解樹脂部材、又は、これらの組合せから成るグループから選択されたもの、
更に、ポリアミド、ポリカーボネート、ポリアセタール、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリフェニレンエーテル、ポリエーテルエステルケトン、ポリフェニレンスルフィド、ポリアリレート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリケトンスルフィド、ポリエーテルイミド、ポリアミドイミド、ポリイミド、ポリ四弗化エチレン、芳香族ポリエステル、ポリアミノビスマレイミド、トリアジン樹脂等のエンジニアリングプラスチック部材、又は、ガラス、又は、セラミックスを少なくとも1つを含む透明材又は半透明材で構成されたケース底部12dに、図5に示すような凸形状で、その底面12pが漏液収容部98の漏液検出対象底面99に直接密着接触可能な漏液検知部の一端を突設して設け、
この検知部には、漏液検出対象底面(又は床面)99に対して約35度〜50度の所定の傾斜角度で平面状の漏液検知用全反射面12m及び12nを設け、これらの平面状全反射面12m及び12nは、コーナーキューブと同等の機能を果たすように、全反射面の延長が相互に所定の角度で交差するように形成し、少なくとも1つの光源手段、受光手段及びこれらに結合された制御手段を、上記各反射境界面のそれぞれに対し、同一の側に配設し、上記第1の全反射境界面12mに対しては光源手段から光を投射し、第1の全反射境界面12mからの反射光を第2の全反射境界面12nに投射し、第2の全反射境界面12nからの反射光を受光手段で受光し、その出力を前記制御手段により演算処理して漏液を検知するため、
先ず、漏液検知用の第1の光学系を形成する光源手段14aからの投射光22uが、全反射面12mに上方から下方に全反射面12mで所定の臨界角以上で全反射するように、透明材又は半透明材12dの屈折率に応じた所定の入射角で照射され、その反射光22vが全反射面12nに投射され、全反射面12nからの全反射光24uが、透明材又は半透明材12dの屈折率に応じた所定の受光角度でCCDやMOS型ホトダイオード等から成る光電変換素子の受光手段16で受光され、かかる光学経路を伝搬した漏液検知光が電気信号に変換され、その出力が、例えば、図6に示すようなマルチプレクサ31を介して、所定のサンプリング周期毎にA/D変換手段32によりデジタル信号に変換され、マイクロプロセッサ(MPU)36を含み漏液検知手段18を兼ねた制御手段30内の、バッファメモリ34に順次書込まれ、デジタル処理されたり、受光手段16のアナログ出力が、直接、図示しないアナログ比較器等から成るアナログ演算手段に入力され、アナログ回路から構成された検知手段18を兼ねた制御手段30内で、所定の基準レベルと比較し、反射光量の大小により漏液の有無をアナログ処理することも可能である。
上記光源手段/投光手段としては、LEDや赤外線発光素子、半導体レーザ、投光用光ファイバ等が利用可能であり、又、発音手段72を含む警報手段70aと漏液センサ20aとを、一体に形成して構成した漏液検知システム1aでは、上記光源手段14a、受光手段16、警告灯29、検知手段18、発音手段72への駆動電力を供給制御する警報手段70aの制御部700、及び/又は、制御手段30等は、遮光材を兼ねた回路基板7に、一体に形成し、固定するのが好ましい。尚、警報手段70aの電気的制御部700の内部には、有線又は無線の通信手段702を設けることが好ましく、かかる通信手段702により、発音手段72のオン−オフ制御や出力発信音の音量制御、発音手段72のリセット操作等が外部からの遠隔操作指令を介して実行できると、漏液発生後の保守・復旧作業が、確実/迅速に実施でき好ましい。
更に、共鳴器75は、透明材及び/又は半透明材で構成すると、回路基板7の上面に配設した警告灯29の点灯状態が外部から直接観測可能となり好ましい。
尚、共鳴手段/共鳴器を、ケース12側及びホルダ5側の2箇所に分散させて配置・形成すると、保守点検/漏液発生後の復旧作業時に、本体ケース12をホルダ5から取り外した場合、警報音の音量を低減でき、復旧作業等での不要な高い警報音を減らすことができ好ましい。
尚、ホルダ5の外径がケース12の外径の1.3倍以上の大きさのものを使用した方が、センサ20aの転倒防止の面から好ましく、ケーブル26の腰が強い場合、ケース12を単独で設置すると、ケース12が容易に転倒しやすいので、通常は、ケース12を挿入したホルダ5を漏液検出対象底面99にネジ等の固定材によりしっかりと固定し、更に/又は、建物や装置等の側壁や側面61からケース12を固定するためのアーム状の圧接手段60をケース側面部に延設し、その一端62をネジ、釘等の固定材64により建物61側に固定すると共に、他端66をケース側面部に圧接し、ケース12の転倒防止を図ってもよい。
更に、警報手段70aでは、警告灯/表示手段29をエラー(赤色)点灯させることが可能であるが、発音手段72から発信される可聴周波数の警報音の変動に対応して、警告灯29の明るさを変動せしめることも可能であり、その対応関係は、警報音の変動に同期させて明るさや発光波長等を変動させてもよいし、それぞれ独立に変動させてもよい。
又、漏液検知用光学系を形成する光源手段14aからの投射光22uが、第1の全反射面12mに上方から下方に全反射面12mで所定の臨界角以上で全反射するように、透明材又は半透明材12dの屈折率に応じた所定の入射角で照射され、その全反射光22vが第2の全反射面12nに投射され、全反射面12nからの全反射光24uが、透明材又は半透明材12dの屈折率に応じた所定の受光角度で受光手段16により受光され、かかる光学経路を伝搬した漏液検知光が光電変換素子により電気信号に変換され、その出力が、検知手段18を兼ねた制御手段30内で、デジタル処理されたり、受光手段16のアナログ出力が、直接、アナログ比較器等から成るアナログ演算手段に入力され、アナログ回路から構成された検知手段18を兼ねた制御手段30内で、アナログ処理される。尚、漏液が存在しない場合には、上記例では、何れの受光手段でも正常な受光量が検知され、受光量の低下現象は発生しない。
かくして、漏液検知手段18を兼ねた制御手段30により、漏液2aが検出されると、表示手段29を正常(緑色)点灯からエラー(赤色)点灯させると共に、外部出力設定器33に設定されたPNP出力又はNPN出力のディジタル出力形式で、ケーブル26を介して外部に漏液検知信号をディジタル出力する(漏液検知エラーコードER−B)。
尚、発音手段72及び共鳴器75から発信される警報音は、周波数が一定又は可変の断続音及び/又は連続音である、音色が一定又は可変の断続音及び/又は連続音である、音の強さが一定又は可変の断続音及び/又は連続音である、音のピッチが一定又は可変の断続音及び/又は連続音である、デュウティイ比が一定又は可変の断続音及び/又は連続音である、又は、これらを組み合わせた警報音を含む発信音が利用可能である。
更に、警報手段70aでは、警告灯/表示手段29をエラー(赤色)点灯させることが可能であるが、発音手段72から発信される可聴周波数の警報音の変動に対応して、警告灯29の明るさを変動せしめることも可能であり、その対応関係は、警報音の変動に同期させて明るさや発光波長等を変動させてもよいし、それぞれ独立に変動させてもよい。
更に、発音手段72から漏液検知時に放射される警報発信音は、ケースの設置異常時に放射される警報発信音と同一音でなく、いずれのセンサ異常か識別可能なように相互に区別可能な異なる発信音が好ましく、かかる相互に区別可能な異なる発信音としては、例えば、警報発信音の音量を変更する、警報発信音の音色を変更する、警報発信音の周波数を変更する、警報発信音のデューティ比を変更する、警報発信音を連続音と断続音とで出力する、又は、これらの組合せた発信音とする等、種々の組合せが利用可能である。
全反射面12mで全反射され、その全反射光22vが全反射面12nに投射された場合には、漏液2のために全反射面12nでは全反射せず、直ちに、全反射面12nを大略直進し、更に、空隙部d4に充満した漏液2の中を屈折直進した後、漏液検出対象底面99で反射され、受光手段16の設置位置と全く関係ない方向に伝搬・進行する。
従って、一度に大量の漏液2が発生した場合には、漏液検知用光学経路の一部を形成する全反射面12nで全反射された光24uが、受光手段16で受光される光量は、漏液2が存在しない場合と比較すると、大幅に低下し、その出力を制御手段30により演算処理して、漏液2の大量発生を、非常に初期の段階で、非常に高速に検知することができる。
かくして、漏液検知手段18を兼ねた制御手段30により、漏液2a又は漏液2が検出されると、表示手段29をエラー点灯させると共に、ケーブル26を介して外部に漏液の有無をディジタル出力する(漏液検知エラーコードER−B)。
a)各受光素子28i(i=a〜n)の感度補正を行なった後、受光パターンを移動平均処理等により平滑化する。
b1)平滑化した受光パターンの明暗のピーク位置を演算し、この位置が漏液無し範囲内にあるか否かで漏液の有無を判定する。
b2)平滑化した受光パターンR(j)の反射光量の輝度分布の重心XGを次式により演算し、この重心位置が、漏液無し範囲内にあるか否かで漏液の有無を判定する。
XG=ΣR(j)・j/Σj (j=1からn) ・・・(1)
但し、R(j):受光レベル 、j=1からn:受光位置
例えば、漏液無し位置より所定の距離(mth)以上離れた位置(m>mth)で、かつ、所定の類似度Thcr以上テンプレート波形と類似した明暗パターンCR(m)が検出された場合、漏液有りと判定し、それ以外の場合には漏液無しと判定する。
c)かくして、漏液検知手段18を兼ねた制御手段30により、b1)からb3)の演算の中から、所望の演算又は組合わせた演算により、漏液2が検出されると、ケーブル26を介して外部に漏液の有無をディジタル出力する(漏液検知エラーコードER−B)。
尚、上述のb1)及びb2)の処理では、レンズ、凹面鏡等の集光手段により広く反射光を集めることにより、最小限2箇所の受光部(素子)により、漏液の有無演算が実行できる。又、b3)の相関演算では、最小限4〜8箇所の異なる位置からの受光部(受光素子)による反射光データの収集が好ましい。
又、上述の第2の光学系では、遠隔地に設けられた光源手段14からの照射光の他の一部が、光伝送手段40cによりケース12内に導かれ、臨界角以内又は臨界角以上の所定の角度で、反射部材5jへ投射光22zとして照射され、その反射光24zは光伝送手段42cにより受光され、遠隔地に設けられた受光素子16cに伝送され、マルチプレクサ31、AD変換手段32、ダブルバッファ34を介して検知手段18を兼ねた制御手段30に入力されるようになっている。更に、ケース12の底部は、透明材又は半透明材からなる透過光部材12dを基材として構成し、その外側を光の照射面及び反射面/受光面を除いて遮光性の合成樹脂等の遮光材で被覆又は構成し、透過光部材12dと一体成形するのが好ましく、かかる遮光部材を使用すると、ホルダ5がなくても周囲ノイズ光の影響を受けにくく、又漏液浸入時に漏液検出対象となる床面が白色又は鏡面であっても、不要な反射光を床面から受光しないような光学的構造が実現できる。
又、漏液センサ20bでは、ホルダ5を使用せず、ケース12を単体で漏液センサとして使用するので、建物や装置等の側壁や側面61からケース12を固定するためのアーム状の圧接手段60をケース上蓋に延設し、その一端62を固定部材64により建物61側に固定すると共に、他端66をケース上部に圧接し、ケース12の転倒防止を図るのが好ましい。
具体的には、ケース底部は、本体部12dと高速漏液引込手段6bとがヒンジで連結されて一体に形成され、本体部12dと高速漏液引込手段6bとが外周縁でV字状の溝部により連結され、合成樹脂材、すなわち、熱可塑性プラスチック樹脂または熱可塑性エラストマーにより一体成形されるようになっており、V字状の溝部を介して、全反射面12m側に折曲すると、面12vの先端部側に形成した所定の高さd7の複数の小突起を介して空隙部d7を形成し、又、高速漏液引込手段6bの面12w側に形成された所定の高さd6の複数の小突起を介して、折曲した場合に漏液検出対象底面99との間で空隙部d6を形成すると共に、反発力を生成する開閉機構を構成するようになっている。従って、ケースの本体部12dと高速漏液引込手段6bとを全反射面12m側に折曲して、ケース12の設置面に対して略水平状態に閉じたときには、自重または外部からの圧接手段60により本体部12dと高速漏液引込手段6bとが空隙部d7を形成した状態を維持でき、かつ、光学式設置異常検知手段4bの光学経路の一部を形成するようになっている。則ち、水平な漏液検出対象底面99にケース12を設置した場合は、ケース12の設置面は、水準器等から規定される基準水平面に対し水平/平行となる。
かかる漏液センサ20bと、発音手段72を含む警報手段70bとを、分離して設置し、無線により、漏液センサ20bと警報手段70bとを、相互に接続する構成では、かかる分離した警報手段70bを、漏液検知システム1bの上部空間で、漏液収容部98の水平断面を略鉛直上方に延長して形成される上部空間内で、他の漏液収容器98と識別可能なように所定の距離(例えば、2m以内、より好ましくは、1.5m以内、更に好ましくは、1m以内)だけ相互に分離した視認性の良好な上部空間位置に設置するのが好ましく、かかる防爆構造の警報手段70bを利用すると、揮発性の液体や引火性の液体の漏液検知及び/又は警報処理を、非常に安全かつ確実に実施でき、又、システムの調整作業や、保守・監視作業が、特別な訓練を受けなくても誰でも容易にできる利点もある。
具体的には、先ず、光学式設置異常検知手段4bでは、光源手段14ー光伝送手段40cからの投射光22zが、高速漏液引込手段6bの上面に設けられた反射材5jに、臨界角未満の入射角で照射され、その反射光24zが光伝送手段42cー受光手段16cにより受光され、電気信号に変換されて制御手段30に入力されるようになっている。尚、白色または鏡面状等の反射材5jに基づく反射面は、突起部12uの上面に設けることが可能であり、突起部12uに接着、溶融、圧入して形成するようにし、又は、突起部12uの上面に凸凹の反射面を刻設して、投射光22zの反射面を形成してもよい。
更に、漏液検知用光学系を形成する光源手段14ー光伝送手段40aからの投射光22uが、第1の全反射面12mに上方から下方に全反射面12mで所定の臨界角以上で全反射するように、透明材又は半透明材12dの屈折率に応じた所定の入射角で照射され、その全反射光22vが第2の全反射面12nに投射され、全反射面12nからの全反射光24uが、透明材又は半透明材12dの屈折率に応じた所定の受光角度で、光伝送手段42aの一端で受光され、光伝送手段42aを介して受光手段16に伝送され、かかる光学経路を伝搬した漏液検知光が光電変換素子16により電気信号に変換され、その出力が、検知手段18を兼ねた制御手段30内で、デジタル処理されたり、受光手段16のアナログ出力が、直接、アナログ比較器等から成るアナログ演算手段に入力され、アナログ回路から構成された検知手段18を兼ねた制御手段30内で、アナログ処理される。尚、漏液が存在しない場合には、上記例では、何れの受光手段でも正常な受光量が検知され、受光量の低下現象は発生しない。
かくして、漏液検知手段18を兼ねた制御手段30により、漏液2a及び/又は漏液2が検出されると、ケーブル26を介して外部に漏液の有無をディジタル出力する(漏液検知エラーコードER−B)。
かくして、漏液検知手段18を兼ねた制御手段30により、漏液2a又は2が検出されると、ケーブル26を介してオペレータ等に警告するため、外部に漏液の有無をディジタル出力する(漏液検知エラーコードER−B)。尚、上述の受光処理では、レンズ、凹面鏡等の集光手段により広く反射光を集めることにより、受光手段(素子)16、16cの感度を向上させることも可能である。
尚、図8の漏液センサ20bでも、図5と同様に薄紙8を使用することは可能である。
尚、上記高速漏液引込手段は、ホルダ側のみでも、光学的に構成することは可能である。又、防爆構造の漏液センサでなくても、図7に示すように、漏液センサ部と、警報手段とを無線通信手段により、相互に接続することは可能である。
2,2a 漏液
4 設置異常検知手段
5 ホルダ
5s,5t、12m,12n 光学的境界面
6、6b 高速漏液引込手段
8 薄紙
d、d1〜d8 空隙部
12 ケース
14、14b 光源手段
16、16c 受光手段
20a、20b 漏液センサ
22u、22z 投射光
24u、24z 反射光
30 制御手段
37、79c 通信手段
39、700 制御部
40a、40c、42a、42c 光伝送手段
70a,70b 警報手段
72 発音手段
75 共鳴器
79k 警告灯
98 漏液収容部
99 底面、床面
Claims (4)
- 本体部と蓋部とに分割して構成し、且つ防爆構造で構成した漏液センサにおいて、
当該漏液センサを前記漏液の収容部の内部空間に設置すると共に、前記漏液センサの設置位置に対し、前記漏液の収容部の内部空間、及び/又は、前記漏液の収容部の上方の空間の少なくとも1つを含む空間範囲以内に、前記漏液センサと共鳴器を有する発音手段とを一体に形成し、警告灯を含む警報手段を分離又は有線及び/若しくは無線により、前記漏液センサと前記発音手段及び前記警告灯を含む警報手段とを相互に接続して設け、
前記警報手段の本体部をなす円筒殻体が、前記漏液センサの上部円周周縁部に形成された嵌合凹部溝に、下端周縁部に形成された嵌合凸部を介してワンタッチ着脱可能に一体形成され、前記円筒殻体の中空上部は前記蓋部と共に前記共鳴器を形成し、
前記発音手段が、共鳴体を打つことにより発音する手段を含む、及び/又は、ホイッスル又はサイレンを含む、及び/又は、振動することにより発音する手段を含み、
前記漏液センサがセンサ異常を検知した場合、少なくとも前記発音手段により、前記空間範囲の外側に設置された漏液センサと区別して、当該漏液センサの設置位置が特定可能なように、当該漏液センサのセンサ異常検知を、前記発音手段から出力される可聴周波数の発信音を前記共鳴器により増幅し、且つ、前記発音手段から発信される可聴周波数の警報音が、当該センサの漏液異常と当該センサの設置異常とを警報する場合、いずれのセンサ異常か識別可能なように、それぞれ異なる発信音で警報するようにしたことを特徴とする漏液センサ。 - 前記発音手段から発信される可聴周波数の警報音が、周波数が一定又は可変の断続音及び/又は連続音である、音色が一定又は可変の断続音及び/又は連続音である、音の強さが一定又は可変の断続音及び/又は連続音である、音のピッチが一定又は可変の断続音及び/又は連続音である、デュウティイ比が一定又は可変の断続音及び/又は連続音である、又は、これらを組み合わせた警報音を含む請求項1に記載の漏液センサ。
- 前記警告灯が、パトライト及び/又はLEDを含む請求項1又は2に記載の漏液センサ。
- 前記警報手段が、前記発音手段から発信される可聴周波数の警報音の変動に対応して、前記警告灯の明るさを変動せしめるようにした請求項1乃至3のいずれか1項に記載の漏液センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006128132A JP4651029B2 (ja) | 2003-10-30 | 2006-05-02 | 漏液センサ |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003370439 | 2003-10-30 | ||
JP2006128132A JP4651029B2 (ja) | 2003-10-30 | 2006-05-02 | 漏液センサ |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004277372A Division JP2005156541A (ja) | 2003-03-26 | 2004-09-24 | 漏液センサ及び漏液検知システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006300956A JP2006300956A (ja) | 2006-11-02 |
JP4651029B2 true JP4651029B2 (ja) | 2011-03-16 |
Family
ID=37469371
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006128132A Active JP4651029B2 (ja) | 2003-10-30 | 2006-05-02 | 漏液センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4651029B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101993467B1 (ko) * | 2018-10-08 | 2019-09-30 | 한국소방산업기술원 | 유해화학물질 누설통보장치 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5475432B2 (ja) * | 2009-12-22 | 2014-04-16 | ダイニチ工業株式会社 | 燃焼装置 |
JP2014150755A (ja) * | 2013-02-07 | 2014-08-25 | Yanmar Co Ltd | コンバインの穀粒排出装置 |
US11934259B2 (en) * | 2020-02-27 | 2024-03-19 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Failure diagnosis device, failure diagnosis system, household electrical appliance, sensor unit, and failure diagnosis method |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001074589A (ja) * | 1999-09-01 | 2001-03-23 | Tsuuden:Kk | 漏液センサ |
JP2002169565A (ja) * | 2000-11-30 | 2002-06-14 | Hochiki Corp | ブザーの放音構造 |
JP2002214181A (ja) * | 2001-01-16 | 2002-07-31 | Inaba Rubber Kk | 漏洩液の検知方法 |
JP2002323894A (ja) * | 2001-04-25 | 2002-11-08 | Sumitomo Wiring Syst Ltd | ブザー駆動装置 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07119664B2 (ja) * | 1991-03-29 | 1995-12-20 | タツタ電線株式会社 | 漏液検知装置 |
-
2006
- 2006-05-02 JP JP2006128132A patent/JP4651029B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001074589A (ja) * | 1999-09-01 | 2001-03-23 | Tsuuden:Kk | 漏液センサ |
JP2002169565A (ja) * | 2000-11-30 | 2002-06-14 | Hochiki Corp | ブザーの放音構造 |
JP2002214181A (ja) * | 2001-01-16 | 2002-07-31 | Inaba Rubber Kk | 漏洩液の検知方法 |
JP2002323894A (ja) * | 2001-04-25 | 2002-11-08 | Sumitomo Wiring Syst Ltd | ブザー駆動装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101993467B1 (ko) * | 2018-10-08 | 2019-09-30 | 한국소방산업기술원 | 유해화학물질 누설통보장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006300956A (ja) | 2006-11-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2005156541A (ja) | 漏液センサ及び漏液検知システム | |
US7158039B2 (en) | Liquid leakage sensor and liquid leakage detecting system | |
JP5135140B2 (ja) | 炎感知器 | |
JP4651029B2 (ja) | 漏液センサ | |
US11845586B2 (en) | Condition detection see-through storage box | |
CA1061435A (en) | Optical-electrical liquid probe | |
US8138928B2 (en) | Multiple event notification appliance | |
KR100895726B1 (ko) | 광원 장치 | |
JP2005156541A5 (ja) | ||
JP5096276B2 (ja) | 炎感知ユニット | |
JP3719130B2 (ja) | 液面監視装置 | |
CN112362134A (zh) | 一种液面位置检测装置和检测方法 | |
JP2006010597A (ja) | 液体切れ検知センサ | |
JP2009014660A (ja) | 2液漏液センサ及びそのためのプリズム | |
JP2004294164A (ja) | 漏液センサ | |
JP3220440B2 (ja) | 漏液センサ | |
KR200429436Y1 (ko) | 원격 무선 누수 감지 시스템 | |
JPH11223630A (ja) | 光ファイバを利用した化学的又は生物学的種検知装置及びそれを使用した遠方監視システム | |
JP2002181695A (ja) | 漏液センサー | |
JP5135141B2 (ja) | 炎感知器 | |
US20120104237A1 (en) | Energy beam burn through sensor and method therefor | |
JP2001050856A (ja) | 漏液センサ | |
JP2023137213A (ja) | 製造ラインおよび製造ラインの稼働方法 | |
KR102527745B1 (ko) | 누설 경보 리셋 스위치가 구비된 누설감지센서, 누설 경보 복구 시스템 | |
CN113762448B (zh) | 电子标签及电子标签*** |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070907 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100406 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100604 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20100721 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100727 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20100721 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100924 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101116 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101210 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4651029 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131224 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |